JPH0115178Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0115178Y2 JPH0115178Y2 JP16742783U JP16742783U JPH0115178Y2 JP H0115178 Y2 JPH0115178 Y2 JP H0115178Y2 JP 16742783 U JP16742783 U JP 16742783U JP 16742783 U JP16742783 U JP 16742783U JP H0115178 Y2 JPH0115178 Y2 JP H0115178Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- chemical
- tank
- carrier
- chemical solution
- Prior art date
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- Expired
Links
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Landscapes
- Weting (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案はシリコンウエフア（以下単にウエフア
という）の処理装置に関するものである。
という）の処理装置に関するものである。
ウエフアの処理工程の中には、研磨粉を用いて
表面をラツプ仕上げするなどの処理が行なわれ、
処理後に種々の薬液例えばアルカリ水溶液に浸漬
して表面の汚れを洗浄し、そのあと薬液からウエ
フアを取り出し、ウエフアの表面に薬液が残らな
いように純水で水洗いする工程がある。
表面をラツプ仕上げするなどの処理が行なわれ、
処理後に種々の薬液例えばアルカリ水溶液に浸漬
して表面の汚れを洗浄し、そのあと薬液からウエ
フアを取り出し、ウエフアの表面に薬液が残らな
いように純水で水洗いする工程がある。
この場合、ウエフアを薬液槽から取り出して純
水の槽に移すまでに要する時間が極めて短かけれ
ば、その間にウエフアは乾燥しないが、普通２〜
３秒の短時間で乾燥し始める。そこで乾燥しない
間に移送しようと目論んでも移送機構に制約さ
れ、極端に早く移送できないから、移送中にウエ
フアが乾燥するのを避けることができない。
水の槽に移すまでに要する時間が極めて短かけれ
ば、その間にウエフアは乾燥しないが、普通２〜
３秒の短時間で乾燥し始める。そこで乾燥しない
間に移送しようと目論んでも移送機構に制約さ
れ、極端に早く移送できないから、移送中にウエ
フアが乾燥するのを避けることができない。
ウエフアが乾燥すると、表面に薬液が固着した
り、ごみやほこりが固着又は付着して残り、あと
の工程でこの汚れを取り除くのに苦労したり、製
品の品質低下の原因にもつながる。
り、ごみやほこりが固着又は付着して残り、あと
の工程でこの汚れを取り除くのに苦労したり、製
品の品質低下の原因にもつながる。
このような不都合を生ずるのは、薬液槽から純
水の槽にウエフアを移す間にウエフアが乾燥する
のが原因であるから、乾燥しないように、水でウ
エフアを濡らしながら移送すればよいが、単に水
を吹きつけるのでは、薬液の中に水が混入してし
まうので具合が悪いし、それを避けるため槽の中
の薬液と同じものを吹きつけるようにすると、不
必要な外部に散逸して思わぬ損失を与えるなどの
悪影響を生ずるので具合が悪い。かかる事情を勘
案して本考案は乾燥防止に適するウエフアの処理
装置を提供するもので、以下に実施例に基づいて
詳細に説明する。
水の槽にウエフアを移す間にウエフアが乾燥する
のが原因であるから、乾燥しないように、水でウ
エフアを濡らしながら移送すればよいが、単に水
を吹きつけるのでは、薬液の中に水が混入してし
まうので具合が悪いし、それを避けるため槽の中
の薬液と同じものを吹きつけるようにすると、不
必要な外部に散逸して思わぬ損失を与えるなどの
悪影響を生ずるので具合が悪い。かかる事情を勘
案して本考案は乾燥防止に適するウエフアの処理
装置を提供するもので、以下に実施例に基づいて
詳細に説明する。
第１図は実施例の構成の概略を示すもので、１
は搬送機２（内部機構は図示を省略）に連結され
たアーム、３，３′はアーム１に取付けられた支
持腕、４はアーム１に固定された加湿器本体、５
は給水パイプ（矢印は給水）、６は排水パイプ
（矢印は排水）、７は加湿器本体５から発生する霧
を吹き出す送出口、８は複数個のウエフア９を収
納するキヤリア、１０は薬液槽、１１は液、１２
は送出口７からウエフア９に吹きつけられた霧で
ある。
は搬送機２（内部機構は図示を省略）に連結され
たアーム、３，３′はアーム１に取付けられた支
持腕、４はアーム１に固定された加湿器本体、５
は給水パイプ（矢印は給水）、６は排水パイプ
（矢印は排水）、７は加湿器本体５から発生する霧
を吹き出す送出口、８は複数個のウエフア９を収
納するキヤリア、１０は薬液槽、１１は液、１２
は送出口７からウエフア９に吹きつけられた霧で
ある。
第１図に示した状態で搬送機２に連結されたア
ーム１が駆動され、薬液槽１０の液１１中にキヤ
リヤ８が浸漬され、薬液でウエフア９が処理され
たあと、次の水洗槽に移送されるとき、薬液槽１
０からキヤリヤ８が外部に出ると直ちに送出口７
から霧を送り出し、ウエフア９の表面にしめり気
を持たせるように加湿器本体を駆動（この駆動は
自動制御で行なう）すると、移送中にウエフア９
は乾燥しない。
ーム１が駆動され、薬液槽１０の液１１中にキヤ
リヤ８が浸漬され、薬液でウエフア９が処理され
たあと、次の水洗槽に移送されるとき、薬液槽１
０からキヤリヤ８が外部に出ると直ちに送出口７
から霧を送り出し、ウエフア９の表面にしめり気
を持たせるように加湿器本体を駆動（この駆動は
自動制御で行なう）すると、移送中にウエフア９
は乾燥しない。
以上説明の通りであるから、本考案は薬液の処
理後にウエフアを移動する際、表面が乾燥するこ
とがなく、しかも構造が簡単であり、自動化に際
し洗浄機に容易に取りつけることが可能であり、
実用上極めて効果的である。
理後にウエフアを移動する際、表面が乾燥するこ
とがなく、しかも構造が簡単であり、自動化に際
し洗浄機に容易に取りつけることが可能であり、
実用上極めて効果的である。
第１図は実施例の構成の概略を示す図である。
１……アーム、２……搬送機、３，３′……支
持腕、４……加湿器本体、５……給水パイプ、６
……排水パイプ、７……送出口、８……キヤリ
ヤ、９……ウエフア、１０……薬液槽、１１……
液、１２……霧。
持腕、４……加湿器本体、５……給水パイプ、６
……排水パイプ、７……送出口、８……キヤリ
ヤ、９……ウエフア、１０……薬液槽、１１……
液、１２……霧。
Claims (1)
- シリコンウエフアを収納したキヤリヤ８を保持
する駆動用アーム１に、加湿器本体が固定されて
いることを特徴とするシリコンウエフアの処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16742783U JPS6076035U (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | シリコンウェファの処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16742783U JPS6076035U (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | シリコンウェファの処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6076035U JPS6076035U (ja) | 1985-05-28 |
| JPH0115178Y2 true JPH0115178Y2 (ja) | 1989-05-08 |
Family
ID=30366295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16742783U Granted JPS6076035U (ja) | 1983-10-31 | 1983-10-31 | シリコンウェファの処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6076035U (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6468956B2 (ja) * | 2015-06-25 | 2019-02-13 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理方法及びその装置 |
-
1983
- 1983-10-31 JP JP16742783U patent/JPS6076035U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6076035U (ja) | 1985-05-28 |
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