JPH01143976A - ウエハの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野］ 本発明はウェハの如き板状物体や偏平容器内の収納物等
の検査、製造を自動あるいは半自動で行なうために板状
物体や偏平容器等の偏平物体を検査する偏平物体の検査
装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第１１図は従来のウェハ外観検査装置の１例である。８
１ａ、８１ｂ、８１ｃ、８１ｄは各々に対応して設けら
れたカセット載置装置上のカセットである。カセット載
置装置８１ｂ〜８１ｄは、ウェハ搬送装置９２ａ〜９２
ｃの可動範囲の中心である０点に対し、放射状に配置さ
れている。そしてウェハ搬送装置９２ａ〜９２ｃのうち
のウェハ吸着部９２ｃは、支持部９２ｂに対し直線的な
動きをし、支持部９２ｂは基部９２ａに対し、０点を中
心に回転可能である。第２搬送装置９１は左右に直線的
な移動をすることで、カセット８１ａへのウェハの出入
りを行なう、８２は第２１１！送装置９１もしくは搬送
装置９２ａ〜９２ｃにより搬送されてきたウェハのほぼ
中心を吸着する吸着部であり、吸着部８２に吸着された
ウェハは不図示のアライメント装置により位置合せされ
る。８３は吸着部８２と処理部８４の受渡しを行なう受
渡し装置であって、０°点を中心に回転可能なアーム状
にて形成されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

第１１図で示した従来の技術においては、カセットが放
射状に設置されているため、カセットの大型化が進むに
つれ、カセットを置きすらいという問題があった。また
、第１１図で示したものは、人間がカセットの交換を行
なう為、ラインに設置する場合に、ロボットあるいは外
部の搬送装置を利用することができなかった。

本発明は、この様な従来の問題点に鑑みてなされたもの
であり、カセットの交換が容易でかつ又、カセット交換
ロボットあるいは外部の搬送装置をそのまま利用するこ
とのできる偏平物体の検査装置を提供することを目的と
する。

〔問題点を解決する為の手段〕

そこで本発明は、所定長の第１直＊＊送路を有し、偏平
基板を搬送する第りｍ送手段と、前記第１直線搬送路に
ほぼ並設された第２直線搬送路を有し、偏平基板を搬送
する第２ＩＩＩ送手段と、前記２つの直線搬送路の間に
設けられ、前記２つの直線搬送路に直交する方向へ偏平
基板を搬送する第３搬送手段と、前記２つの直線搬送路
の一方の端部近傍に配設された検査手段と、前記第１搬
送手段及び前記第２搬送手段と前記検査手段との間で、
偏平基板の受渡しを行う受渡手段と、を有し、前記第１
直線搬送路と前記第２直線搬送路の少くとも一方の外側
から前記第３搬送手段に検査すべき偏平基板を受け渡し
、検査を終了した偏平基板を前記２つの搬送路のいずれ
か一方の側から前記第３搬送手段を介して取り出すこと
を特徴とする偏平物体の検査装置、によって上記従来の
問題点を解決した。

（作　用） 上記の本発明によれば、第１直線搬送路と第２直線搬送
路の少くとも一方の外側に、搬送路に沿ってカセット載
置部を設けたので、搬送路の一方の外側を検査者側とす
ると共に、この側にカセット載置部を設ければ、手動に
よるカセット交換が行い易（、また、他方にカセット載
置部を置けば、検査者には何の危険も生じさせることな
く、ロボットによるカセット交換が行なえる。また、両
方にカセット載置部を置くことで、カセットの交換を手
動と自動とで共用できる。さらに、カセット載置部のな
い方に外部の搬送装置を隣接させれば、検査を終了した
偏平基板をそのまま外部搬送路に載せたり、逆に、検査
を終了した外部からの偏平基板を所定のカセットに振り
別けて収納するようになすこともできる。

〔実施例］ 以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を説明する
。

第１図は本発明の一実施例の平面図であり、第２図、第
３図（ａ）、（ｂ）は、要部の説明のための図である。

第１図において、所定長の第１直線搬送路４Ａに第２直
線搬送路４Ｂがほぼ並設されており、第１直線搬送路４
Ａには、ウェハを吸着し直線移動する、平面形状がほぼ
Ｌ字形のハンド部材４Ｕが案内され、第２直線搬送路４
Ｂにも同様に、ウェハを吸着し直線移動する、平面形状
がほぼＬ字形のハンド部材４Ｌが案内されている。第１
直線搬送路４Ａと第２直線搬送路４Ｂとの間には、２つ
の直線搬送路４Ａ、４Ｂに直交する方向ヘウェハを吸着
搬送する搬送部材３Ａ、３Ｂ、３Ｃが、２つの直線案内
路４Ａ、４Ｂの外側に対称的に設けたカセット載置装置
ＬＡ、２Ａ、ＩＢ、２Ｂ、ＩＣ，２Ｃに対応させて３つ
設けである（その詳細な構造については第２図を用いて
後述する。）第１直線搬送路４Ａと第２直線搬送路４Ｂ
の一方の端部近傍には検査手段としての顕微鏡２１が配
設されている。

２つの直線搬送路４Ａ、４Ｂと顕微鏡２１との間には、
第２の直線搬送路４Ｂのハンド部材４Ｌにより搬送され
てきたウェハを顕微鏡２１のステージまで搬送すると共
に、顕微鏡２１のステージのウェハを第１の直線搬送路
４Ａのハンド部材４Ｕに受け渡す受渡手段が設けられて
いる。受渡手段は、まず、ハンド部材４Ｌからウェハを
受渡される上下動吸着シリンジ７（周知の如く、例えば
エアシリンダ駆動による）とシリンジ７を囲むような半
円形の開口を有すると共に、円弧状の位置決め部を有す
るスライダ５と、スライダ５の位置決め部にウェハを押
圧するように、上下動かつ直線移動する円弧状の位置決
め部を有する押圧部材９と、スライダ５の移動路上でか
つハンド部材４Ｕにウェハを受渡す位置に上下動するよ
うに設けた上下動吸着シリンジ８と、シリンジ８からウ
ェハを受渡されてウェハを顕微鏡２１のステージのシリ
ンジ３００まで搬送すると共に、ステージのシリンジ３
００のウェハをシリンジ８まで搬送する搬送腕６とによ
って構成されている。ここに、スライダ５や搬送腕６の
移動は、周知の直線ガイドに沿って、ステッピングモー
タを用いたベルト駆動を採用することで行っている。

顕微鏡２１の手前側は検査者の検査位置０であり、顕＠
鏡２１からは検査者の方向へ延長された鏡筒が延びてお
り、検査者が検査位置にいるときに楽な姿勢で接眼レン
ズを眺けるようになっている。２２は操作パネルであっ
て、検査位置の検査者が観察姿勢を崩さずに操作しうる
ようにキーボード等が配設されている。また、２３は制
御部、２４は通信ラインを示す。

カセット載置装置ＷＩＡ〜ＩＣ，２Ａ〜２Ｃに各々載置
されるカセットはウェハ収納部が上下に並設されたもの
で、カセット載置装置ＩＡ〜ＩＣ２２Ａ〜２Ｃはウェハ
収納部を順次所定高さに位置決めする。このカセット載
置装置ＩＡ−１ｃ、２Ａ〜２Ｃは、固定部材に設けた２
軸ガイドに移動部材に設けたポールブツシュが上下スラ
イドする構造により、上下に移動できる。第２図に示し
たように、移動部材ＩＤ、２Ｄにはカセッ）ＩＡ’等を
載置するカセット載置部ＩＥ、２Ｅが形成され、その駆
動は、移動部材ＩＤ、２Ｄに設けたナツトＩＦ、２Ｆに
螺合する送りねじＩＧ、２Ｇヲ不図示のパルスモータで
回転することによって行なっている。

第１直線搬送路４Ａを移動するハンド部材４Ｕは、搬送
方向に延びた支持部の中央部４Ｕ’　が搬送部材３Ａ、
３Ｂ、３Ｃのアーム４７ａとの干渉を避けるために凹ん
でおり、ウェハの周辺を吸着しながら、ウェハの中心が
ポイント８００．Ｕ。

、Ｕｂ　、Ｕｃの４点にきた時にのみ停止しうるように
構成されている。第２直線搬送路４Ｂを移動するハンド
部材４Ｌは、ハンド部材４Ｕと同様に、搬送方向に延び
た腕の中央部４Ｌ’が搬送部材３Ａ、３Ｂ、３Ｃのアー
ム４７ａとの干渉を避けるために凹んでおり、ウェハの
周辺を吸着しながら、ウェハの中心がボイ゛ント７００
、Ｌ−、Ｌｂ　、Ｌ。の４点にきた時にのみ停止しうる
ように構成されている。ハンド部材４Ｌ、４Ｕの駆動機
構には同じ構造が採用されており、周知の直線ガイド（
直線搬送路を形成する）をステッピングモータでベルト
駆動するものである。上記の位置制御は、ステッピング
モータに入力するパルスの数を制御することによって行
っても良いし、それぞれの位置に対応させて設けた位置
検出器からの信号によっても良い。

搬送部材３Ａ、３Ｂ、３Ｃは第２図に示すように、固定
部材３Ｄに対して直線移動する傾斜部材３Ｅの傾斜面に
不図示の押圧部材により押圧されるボール３Ｆを有し、
従って、傾斜部材３Ｅが移動することで、搬送部材３Ａ
、３Ｂ、３ｃは上下動することになる。搬送部材３Ａ、
３Ｂ、３Ｃの詳細を第３図（ａ）、（ｂ）に示し、以下
説明する。

固定部材３１上にガイドレール３３が固定され、スライ
ダ３４はガイドレール３３に沿って移動可能である。固
定部材３１に回転可能に設けたブー’Ｊ　３７　ａ、３
７ｂにはベルト３８が張ってあり、スライダ３４とベル
ト３８を連結する連結部材４０によってベルト３８の動
きがスライダ３４に伝わる。スライダ３４と一体の中間
部材３２、部材３２に回転自在に設けられたプーリ４１
ａ、４１ｂ１プーリ４１ａ、４１ｂ間のベルト４２、ガ
イド３５、スライダ３６、連結部材４３は同じ構造で、
２段ガイドが形成される。ここで、ベルト４２に固定さ
れた連結部材４４は固定部材３１に固定されている。モ
ータ３９が回転することにより、プーリ３７ｂが回転し
、ベルト３８が移動し、連結部材４０、スライダ３４を
介して部材３２が動く、中間部材３２のみに着目すると
、中間部材３２上で連結部材４４は、連結部材４０が動
いた量だけ移動する。したがって、中間部材３２上では
、ベルト４２に連結されている連結部材４３が動き、そ
の動き量は、中間部材３２の動き量に比べ２倍の動きと
なる。

また、スライダ３６を通してウェハ吸着部材４７に接続
される配線配管４８は、スライダ３６に固定されている
接続部材４６と固定部材に固定される接続部材４９で両
端が固定されている。ここで、中間部材３２に回転可能
なブー１Ｊ４５を設けると、スライダ３６の動き量に対
しブー１Ｊ４５は％の動きを行ない、部材４６．４９間
につながる配線、配管４８はたるむことなく、スライダ
３６の動きに追従することが可能となる。

ウェハ吸着部材４７は、第３図（ｂ）に詳述するように
構成されていて、アーム４７ａはウェハを吸着保持する
ためのエア通路を持ち、ジヨイント４７ｂを通してホー
ス４７ｃとつながっている。

ホース４７ｃは第３図（ａ）の配線、配管４８と連結さ
れる。嵌合部材４７ｄは、アーム４７ａと一体であり、
その外周面を受け部材４７ｉの内周面との嵌合面として
いる。受け部材４７ｉと一体の部材４７１は第３図（ａ
）のスライダ３６に固定された部材であり、その結果、
部材４７ｉに対してアーム４７ａが回転可能である。嵌
合部材４７ａの下端につば部として螺合する固定ネジ４
７ｇによって、バネ４７ｈを部材４７ｉとネジ４７ｇの
間に押圧し、バネ４７ｈのバネ力にて嵌合部材４７ｄの
下面は部材４７ｉの上面に押付けられている。

つまり、ある程度の外力が加わった時、アーム４７ａは
嵌合部材４７ｄと受け部材４７ｉとの間の嵌合のガタ分
だけ自由度を持ち、外力に従った動きをする。もちろん
ウェハを吸着し、搬送するとき、他に力が働かなければ
、アーム４７ａは水平姿勢を保つ。

なお、第３図（ｂ）で、部材４７ｅは光源、部材４７ｆ
は受光素子であり、受光素子４７ｆのオンオフによって
、アーム４７ａが第１図の対向するカセット載置装置Ｉ
Ａ、２Ａのいずれの方向に位置しているかを検出するこ
とができる。勿論、光源４７ｅの代わりに磁石を用い、
受光素子４７ｆの代わりにホール素子等の磁気検出素子
を用いる等、他の検出器に置き換えても良い。

第４図は上述の機械構成部分の動作を制御するための制
御部分のブロック図である。操作パネル２２からの検査
者からの指示は、制御部２３に入力され、制御部２３は
、通信ライン２４を介して第５図に詳細を示した第１ｗ
ｌ送部Ｔ−１、第６図に詳細を示した第２ＩＩｌ送部Ｔ
オ、顕ｍ鏡２１を制御する。ウェハは、図にウェハフロ
ーとして示したように、第１ｗｉ送部Ｔ−１から第２搬
送部Ｔ−２を経て処理部Ｔ−２１に入り、処理部Ｔ−２
１から第２１Ｉｌ送部Ｔ−２を経て第１搬送部Ｔ−１に
入る。

第搬送部Ｔ−１は第５図に示したように、マイクロコン
ピュータ等の制御装置ＩＨを有し、カセット載置装置Ｉ
Ａ〜ＩＣ，２Ａ〜２Ｃと、カセットＲ置装置ＩＡ〜ＩＣ
１２Ａ〜２Ｃ上のカセットからウェハを取出し、又カセ
ットにウェハを収納する搬送部材３Ａ〜３Ｃを各種検出
器からの信号に基づいて制御する。なお、第５図では簡
単のためにカセット載置装置ＩＡ％搬送部材３Ａのみに
関連するものを図示する。検出手段ＩＩは、第２図の移
動部材ＩＤの上限、下限位置を検出するセンサと、カセ
ットＩＡ’　のポケット内のウェハを検出するウェハセ
ンサとを含む、また、検出手段３Ａ−１は、搬送部材３
Ａの上下位置及び水平位置を検出するための各種センサ
を有し、具体的には、第２図に示した固定部材３１の上
下位置を検出する上下位置センサ、ウェハの吸着部材４
７が１００ａ、Ｌ、　、Ｕ、　、２００ａのいずれに位
置しているかのセンサ等である。なお、ウェハの吸着部
材４７は、第３図（ｂ）で示したように、アーム４７ａ
がカセット載置装置ＬＡ、２Ａのいずれの方向かを向く
ように、回転によって切替えられるので、それを検知す
るために、光［４７ｅと受光素子４７ｆとが設けられて
いるが、これらのセンサも検出手段３Ａ−１に含まれる
。さらに、検出手段３Ａ−２は、ウェハの吸着部材４７
のアーム４７ａ上にウェハが載置され、吸着されている
か否かを検知するためのセンサである。

第２搬送部Ｔ−２は第６図に示したように、制御装置２
Ｈがハンド部材４Ｕ、４Ｌ、上下動吸着シリンジ７．８
、スライダ５、押圧部材９、アライメント装置８ＡＳ搬
送腕６を各種検出器からの信号に基づいて制御する。検
出手段４Ｕ−１は、ハンド部材４Ｕが第１図のポイント
Ｕ、　、Ｕ、、ＵＣｌ３００のいずれに対応した位置に
いるかの識別信号を出力し、検出手段４Ｌ−１は、ハン
ド部材４Ｌが第１図のポイントＬ、　、Ｌ、　、Ｌｃ。

７００のいずれに対応した位置にいるかの識別信号を出
力する。また、検出手段５−５は、上下動吸着シリンジ
７．８の上下動位置に応じた識別信号を出力するセンサ
と、スライダ５の位置が、ポイント７００と８００のい
ずれに対応した位置であるかを識別するセンサと、押圧
部材９がウェハの押圧位置にあるかスライダ５の移動の
邪魔にならない退避位置にあるかを識別するセンサとを
含む。また、検出手段１０−３は、シリンジ８に吸着さ
れたウェハのプリアライメント用センサ１０を含むもの
である。

さらにまた、検出手段６−３は、搬送腕６の位置がポイ
ント８００と顕微鏡２１の受渡ポイント３００のいずれ
に対応した位置であるかを識別するセンサを含む。

また、第４図の処理部Ｔ−２１は、ウェハ吸着用の上下
動シリンジ２１ａを有するステージ２１のｘ−Ｙ移動、
シリンジ２１ａの上下動、シリンジ２１ａによるウェハ
の吸着等を制御される。

第７図は第１Ｒ送部Ｔ−１、第２搬送部Ｔ−２、処理部
Ｔ−２１の動作を説明するためのフローチャートを組み
合せて示したものである。なお、第７図のフローチャー
トでは、搬送腕６が二重に設けられており、それぞれの
腕部材がポイント３００とポイント８００とを逆方向に
移動するように構成されている、より実用的な場合で記
載している。

操作パネル２２から、いずれのカセット載置装置の何枚
口のウェハを検査するか指定されると、制御部２３は指
示されたカセット載置装置の第１搬送部Ｔ−１に指令を
行い（−例としてカセット載置装置ＩＡを指定したとす
る）、その結果、第１ｖｌｉ送部は、指定されたｎ枚目
のウェハがポイント１００ａにくるように、カセット載
置装置ＩＡを制御する（ステップ７００”）。具体的に
は、第２図の移動部材ＩＤの初朋位置からの移動量は送
りねじＩＧを回転するパルスモータへ入力するパルス数
に対応しており、他方、カセット載置部ＩＥの上面から
ｎ枚目のウェハの入っているカセットのポケットまでの
距離もわかっているから、結局、カセットのｎ枚目のウ
ェハの入っているポケットをポイント１００ａに持って
くるまでパルスモータへ入力するパルス数が演算によっ
て求まる。従って、まず、パルス数を演算して求め、こ
のパルス数によって移動部材ＩＤを移動させ、ウェハセ
ンサからの信号によって微妙な位置調整を行なえばよい
、ついで、搬送部材３Ａを位ＩＬ、からポイント１００
ａまで移動してカセット内のウェハを搬送部材３Ａに受
け渡し、搬送部材３ＡがポイントＬ、まで戻る（ステッ
プ７０１）。

ウェハはポイントし、でハンド部材４Ｌに受け渡され、
その状態で搬送部材３Ａは制御部２３がらの搬送指令が
入るまで搬送待ちを行ない（ステン７”７０２）・・・
・・・その間に搬送部材３Ａはハンド部材４Ｌの移動を
邪魔しないように下降している・・・・・・、そして、
搬送指令が入ると、位置り、からポイント７００までウ
ェハを搬送する（ステップ７０３）、第２搬送部Ｔ−２
は、ウェハがポイント７００まで搬送されると、シリン
ジ７が上昇してハンド部材４Ｌからウェハを受け取り、
ハンド部材４Ｌが戻ってからシリンジ７が下降してスラ
イダ５上にウェハを載せる。その後、押圧部材９を上昇
かつ直線移動させてウェハをスライダ５の位置決め部に
押し付は位置出しを行なう（ステップ７０４）、そして
、押圧部材９を退避位置に戻し、制御部２３からの搬送
指令が入るまで搬送待ちを行なう（ステップ７０５）。

搬送指令が入ると、スライダ５によってポイント８００
までウェハを搬送し、シリンジ８００に受け渡す、すな
わち、シリンジ８００は上昇途中でスライダ５からウェ
ハを受け渡され、搬送腕６への受渡位置まで上昇する（
ステップ７０６）。そうすると、プリアライメントが行
なわれ（ステップ７０７）、Ｉｌｌ送待ちとなる（ステ
ップ７０８）。制御部２３からの搬送指令が入ると、搬
送腕６がポイント８００からポイント３００までウェハ
を搬送する（ステップ７０９）、処理部Ｔ−２１は、ス
テージ２１ａを初期位置に移動し、ステージのシリンジ
（第１図の２１ｂ）がポイント３００に位置するように
制御ｎするから、ステージのシリンジを上昇させて、搬
送腕６からウェハを受け取り、そのまま下降して、ステ
ージ２１ａにウェハを載置し、判定待ちとなる（ステッ
プ７１０）、検査者が操作パネル２２に判定結果を入力
すると、制御部２３から処理部Ｔ−２１に指令が入り、
搬送腕６がポイント３００からポイント８００までウェ
ハを搬送する（ステップ７１１）、ポイント８００でウ
ェハは搬送腕６からハンド部材４Ｕに受け渡され、ハン
ド部材４Ｕによってウェハは、ポイント８００からポイ
ントＵ、まで運ばれる（ステップ７１２）。

ポイントＵ、まで運ばれたウェハは、待期していた搬送
部材３Ａに受け渡され、ポイントＵ、からポイント１０
０ａまで運ばれる（ステップ７１３）、そして、カセッ
トのポケットに受け渡され、ｎ枚目の検査が終了する（
ステップ７１４）。

また、第１１Ｉｌ送部Ｔ−１でステップ７００からステ
ップ７０３が実行されている間、第２１Ｉｌ送部ではｎ
−１枚目の位置出し、搬送待ちが、ステップ７１５．７
１６で行なわれ、その間に、ｎ−２枚目のウェハは、ポ
イント８００からポイント３００に搬送腕６の一方の腕
部材で搬送され（ステップ７１７）、また、処理部Ｔ−
２１は、搬送腕６の他方の腕部材でポイント３００から
ポイント８００にｎ−３枚目のウェハを搬送しくステッ
プ７１８）、さらに、第２搬送部Ｔ−２＋；ｔハン）部
材４Ｕによってポイント８００からポイントＵ１まで搬
送する（ステップ７１９）。

また、第２搬送部Ｔ−２でステップ７０４．７０５．７
０６が行なわれているとき、第１搬送部は、ポイントＵ
Ｉｌのｎ−３枚目のウェハをポイント１００ａまで搬送
させ（ステップ７２０Ｌカセントのポケットにｎ−３枚
目のウェハを収納すると（ステップ７２１）、ｎ＋１枚
目のウェハの検査を行なうように動作する（ステップ７
２２）。

以下、ｎ’＋１枚目のウェハに関してステップ７０１．
７０２．７０３と同し動作を行なう。一方、その間、第
２搬送部Ｔ−２は、ｎ−１枚目のウェハに関して、ステ
ンブ７０７．７０８．７０９と同じ動作を行なう。また
、処理部下−２１は、ｎ−２枚目に関してステップ７１
０．７１１と同じ動作を行なう、さらに、第２搬送部Ｔ
−２は、ｎ枚目のウェハが搬送待ちのときに（ステップ
７゜５）ステップ７１２と同じ動作を行なう。ｎ−２枚
目のウェハに関し、ステップ７１２と同じ動作が終了す
るとステップ７０５の搬送待ちが解除される。

また、第２搬送部Ｔ−２でステップ７０７．７０Ｂ、７
０９が行なわれているとき、第１搬送部Ｔ−１はｎ−２
枚目のウェハに関してステンブ７２０．７２１．７２２
と同様に動作し、ｎ＋２枚目のウェハに関してステップ
７００，７０１．７０２．７０３と同様に動作する。そ
の間、第２搬送部Ｔ−２は、ｎ＋１枚目のウェハに関し
てステップ７０４．７０５．７０６と同様に動作し、ｎ
−１枚目のウェハに関してステップ７１０，７１１と同
様に動作し、さらに第２搬送部はｎ＋１枚目のウェハが
搬送待ちの間に、ステップ７１２と同様の動作も行なう
。

また、処理部Ｔ−２１でステップ７１０．７１１が行な
われているとき、第１搬送部Ｔ−１は、ｎ−１枚目のウ
ェハに関してステップ７２０．７２１と同様に動作し、
その後、ｎ＋３枚目のウェハに関してステップ７００．
７０１．７０２．７０３と同様に動作する。また、第２
搬送部Ｔ−２は、ｎ＋２枚目のウェハに関してステップ
７０４．７０５．７０６と同様に動作するが、ｎ＋２枚
目のウェハがポイントＬ、からポイント７００に搬送さ
れて位置出しが行なわれる前に、ｎ＋１枚目のウェハに
関してステップ７０７．７０８．７０９と同様に動作す
る。

また、第１搬送部Ｔ−１で、ステップ７１３．７１４が
行なわれている間、第２搬送部Ｔ−２は、ステップ７０
７．７０８と同様に動作する。一方、処理部Ｔ−２１は
、ｎ＋１枚目のウェハに関して判定待ちにある。以上の
フローチャートで明らかなように、第１搬送部Ｔ−１の
処理スピードが全体のスループットを左右している。ま
た、処理済みウェハを他のカセットに収納する場合、収
納動作と排出動作を同時にでき、さらにスループットが
上がる。

以上のフローチャートは、一つの典型的な動作を例に上
げたのであるが、基本的な動作を維持したままで、他の
動作をさせることも勿論可能であ。

第８図から第１０図は、ウェハのいくつかのフローを示
す図である。

第８図は、第７図のフローチャートによるフローであっ
て、ポイント１００ａに中心のあるカセット内のウェハ
は、搬送部材３Ａによってその中心がポイントし１に位
置するまで搬送され、ハンド部材４Ｌによってさらにそ
の中心がポイント７００に位置するまで搬送される。中
心がポイント７００にあるウェハは、スライダ５によっ
てその中心がポイント８００に位置するまで搬送され、
搬送腕６によってその中心がポイント３００に位置する
まで搬送される。ポイント３００まで搬送されたウェハ
はステージによって顕微鏡の視野内に搬送され、検査終
了によって再びポイント３００まで搬送される。再びポ
イント３００まで搬送されたウェハは、再び搬送腕６に
よってポイント８００まで搬送され、その後、ハンド部
材４Ｕによって、ポイントＵｂもしくはポイントＵｃま
で搬送され、搬送部材３Ｂもしくは搬送部材３Ｃによっ
てポイント１ｏｏｂ、１００ｃまで搬送され、カセット
内に収納される。勿論、ポイント１００ａからカセット
に収納しても良い。

第９図は、第８図とは反対側にカセットを置いたもので
、ポイント２００ａのウェハは、搬送部材３Ａによって
ポイントＬ、まで搬送され（このとき、アーム４７ａは
第８図に対して１８０度回転されている）、ハンド部材
４Ｌによってポイント７００まで搬送される。ポイント
７００まで搬送されたウェハは、スライダ５によってポ
イント８００まで搬送され、ポイント８００まで搬送さ
れたウェハは搬送腕６によってポイント３００まで搬送
される。ステージに受け渡された後、再びポイント３０
０まで戻ったウェハは、搬送腕６によってポイント８０
０まで搬送され、ポイント８００まで搬送されたウェハ
は、ハンド部材４ＵによってポイントＵ、もしくはポイ
ントＵＣに搬送される。ポイントＵ、もしくはポイント
Ｕｃに搬送されたウェハは、搬送部材３Ｂもしくは搬送
部材３Ｃによって、ポイント２００ｂもしくはポイント
２００ｃまで搬送され、カセット内に収納される。勿論
、この場合もポイント２００ａからカセットに収納して
も良い。

以上の第８図、第９図の説明において注意すべき点は、
搬送部材３Ａ、３Ｂ、３Ｃのアーム４７ａの向きが、カ
セットの位置を検査者側に設置するか（第８図）、検査
者と反対側に設置するか（第９図）によって反転され、
それによって搬送部材３Ａ、３Ｂ、３Ｃによるウェハの
搬送方向が反転されてはいるものの、ハンド部材４Ｌ、
４Ｕ、スライダ５の搬送方向は一方向である、という点
である。

また、第９図では、カセットを検査者とは反対側に配置
するようになっているので、ロボットあるいは外部搬送
装置によるカセット交換に際して、検査者とロボットあ
るいは外部の搬送装置とがスペースを共有する必要がな
くなり、安全性が計れる。

第１０図は、第９図をさらに拡張したシステムであって
、検査者とは反対の奥側カセットの外側に、インターフ
ェイスユニット４００を設置することで、ウェハ単位あ
るいはカセット単位のインラインを組むことが可能とな
る。さらに、処理済みのウェハをカセットに収納するこ
となく、ポイン）１００ａから直接装置外部に取り出す
ことができる。

以上説明した本発明の一実施例を従来の技術（第１１図
）と対比すると以下の如き利点がある。

（１）　　従来の技術においては、カセットのレイアウ
トが放射状に設置され、カセットの大型化が進むにつれ
配置が遠隔であると置きずらい問題があった。またカセ
ットの載置場所が一つであるため、人間又はロボットあ
るいは外部の搬送装置がカセットを載置する場合、スペ
ースを共有あるいは共存しなければならず、安全性にお
いても問題があった。

それに対して、上記実施例では、 （イ）カセット載置位置を対向させ、使用目的によって
使い分けられるレイアウトとした。

（ロ）ＷＬ送部材３Ａ、３Ｂ、３Ｃのアーム４７ａは、
第３図（ｂ）に示されるように、対向するカセットのど
ちらかに向くよう回転可能なものとし、使用するカセッ
トに対する搬送を可能とした。

（ハ）アーム４７ａの向きは第３図に示されるよう対向
するセンサ４７ｅ、４７ｆによって位置を識別できるも
のとした。

それによって、装置前後で使用目的にあったカセット構
成を選択出来るので人間とロボットのスペースの共有に
よる危険が解消できる。

（２）第１１図で示した従来の搬送シテスムにおいては
、各搬送の個々のシーケンスに要する時間が違うため、
搬送システム全体の処理速度は、個々のシーケンスで最
も長い時間を要するシーケンスに支配されてしまう問題
があった。またその時間内では、他の処理を行なうこと
が出来ずにいた。

また、処理後のウェハを取出したカセット内に戻す場合
、吸着部８２、第２１送装置９１の搬送路を逆戻りして
カセットに戻すため、この動作が終了するまでの間、他
の搬送を同時に行なうことが不可能で、処理速度に大き
な問題を持っている。

それに対して、上記実施例では、 （イ）各搬送装置の各動作の時間を吸収すべく、第１図
のポイント７００を待機位置とすることができる。

（ロ）ポイント７００の待機位置で目視のマクロ的な検
査処理を行なうこともでき、かつ、前記検査処理を、処
理装置の処理時間に重なることなく、各搬送装置の搬送
処理時間内に行なえるシーケンスとすることもできる。

（ハ）処理速度を向上させる為、第１直線搬送路４Ａ、
第２直線搬送路３Ｂを並列に配置した。

（ニ）互いに搬送方向が直交するハンド部材４Ｕ、４Ｌ
と搬送部材３Ａ、３Ｂ、３Ｃとにおいて、搬送部材３Ａ
、３Ｂ、３Ｃの否動作時にハンド部材４Ｕ、４Ｌと干渉
しないものとした。

従って、上記実施例では、待機位置７００を設け、搬送
路をループ化（第１、第２直線搬送路４Ａ、４Ｂを並設
し、搬送路の重複をなくした）することで装置全体の処
理速度が上がる。

（３）従来の搬送装置においては、ウェハを吸着保持す
るアームは必らずしもカセット内に収納されているウェ
ハ（あるいはポケット）と平行ではない場合があり、平
行ずれを吸収する機構あるいは処理を有していないので
、カセットからウェハを引出すとき（あるいは収めると
きに）カセットのポケットと接触し、吸着モレによる位
置ずれを生じる問題があった。

また吸着するために必要な真空ホース、あるいは電気配
線を保持してアームが動く場合、ホースあるいは電気配
線は滑車を利用しバネで滑車を一方向に引っばることで
、ホース、電気配線の伸縮を行なっていた。又はコイル
状のものを使用していた。

これらは、滑車、あるいは配線が固定部材と接触するこ
とをさけるため大きな空間を必要とし、装置の小型化に
有害な問題であった。

それに対し上記実施例では、 （イ）第３図（ｂ）に示したように、ウェハを保持する
アーム、４７ａを通常はバネにより基準面に押圧して基
準位置に位置させ、バネ力より大きな外力により回転、
上下しうるように自由度を持たせた。

（ロ）配線、配管は、第３図（ａ）に示したように、長
さを変えることなく、固定部と可動部の間に、可動部の
動くストローク量に対し、ηのストローク量を有する滑
車によって、強制的な可動を行なうものとした。

すなわち、上記実施例では、ウェハを吸着保持するアー
ム４７ａに回転、上下の自由度を持たせることで、アー
ム４７ａとウェハ（カセットのポケット）の平行ずれが
あっても確実な搬送が行なえる。また、可動部分の配線
、配管を強制駆動することにより、省スペースが実現で
きる。

（発明の効果） 以上述べたように本発明によれば、カセットの交換が容
易でかつ又、カセット交換ロボットあるいは外部の搬送
装置をそのまま利用することのできる偏平物体の検査装
置を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例の平面図、第２図はカセッ
ト載置装置と搬送部材とハンド部材との関係を示す側面
図、第３図（ａ）、（ｂ）は搬送部材の構成を示す断面
図、第４図は本発明の一実施例の電気ブロック図、第５
図、第６図は第４図の電気ブロック図の一部を詳細に示
したブロック図、第７図は第４図の電気ブロック図のフ
ローチャート、第８図、第９図、第１０図はウェハの異
なるフローを説明するための図、第１１図は従来装置の
平面図、である。 （主要部分の符号の説明） ＩＡＳ　ＩＢ、ＩＣ，２Ａ、２Ｂ、２Ｃ・・・カセット
載置装置、　３Ａ、３Ｂ、３Ｃ・・・搬送部材、４Ａ・
・・第１直線搬送路、　４Ｂ・・・第２直線搬送路、４
Ｕ、４Ｌ・・・ハンド部材、　　５・・・スライダ、６
・・・搬送腕、　２１・・・顕微鏡、１００ａ、１００
ｂ、１００ｃ、２００ａ、２００ｂ、２００ｃ、Ｕｓ　
、Ｕｂ　、Ｕｃ　、Ｌｍ　、Ｌｂ、Ｌｃ、３００，７０
０．８００　・・・ウェハの中心位置の停止ポイント。 出願人　　日本光学工業株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　所定長の第１直線搬送路を有し、偏平基板を搬送する
   第１搬送手段と、 前記第１直線搬送路にほぼ並設された第２直線搬送路を
   有し、偏平基板を搬送する第２搬送手段と、 前記２つの直線搬送路の間に設けられ、前記２つの直線
   搬送路に直交する方向へ偏平基板を搬送する第３搬送手
   段と、 前記２つの直線搬送路の一方の端部近傍に配設された検
   査手段と、 前記第１搬送手段及び前記第２搬送手段と前記検査手段
   との間で、偏平基板の受渡しを行う受渡手段と、を有し
   、 前記第１直線搬送路と前記第２直線搬送路の少くとも一
   方の外側から前記第３搬送手段に検査すべき偏平基板を
   受け渡し、検査を終了した偏平基板を前記２つの搬送路
   のいずれか一方の側から前記第３搬送手段を介して取り
   出すことを特徴とする偏平物体の検査装置。