JPH10163294A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 任意のタイミングでハンド上の基板の有無を
判定することが可能な基板搬送装置を提供することであ
る。 【解決手段】 基板搬送装置は２つのハンド１０ａ，１
０ｂを有する。ハンド１０ａはアーム２１ａ，２２ａか
らなる関節アーム機構によりＸ軸方向に移動可能に第１
の移動体３０上に設けられ、ハンド１０ｂはアーム２１
ｂ，２２ｂからなる関節アーム機構によりＸ軸方向に移
動可能に第１の移動体３０上に設けれている。ハンド１
０ａ，１０ｂには基板Ｗの裏面を検知するように基板セ
ンサ５１が取り付けられている。基板センサ５１に接続
されるワイヤ５４はアーム２１ａ，２２ａ，２１ｂ，２
２ｂの側面に沿って案内され、ワイヤ係止め部５５によ
り係止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板を搬送する基
板搬送装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基
板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用ガラス基
板等の基板に種々の処理を行うために基板処理装置が用
いられている。例えば、半導体デバイスの製造プロセス
では、生産効率を高めるために、一連の処理の各々をユ
ニット化し、複数の基板処理ユニットを統合した基板処
理装置が用いられている。このような基板処理装置で
は、一般に、一枚の基板に対して複数の異なる処理が連
続的に行われる。そのため、各基板処理ユニット間で基
板を搬送する基板搬送装置が設けられている。

【０００３】図７は基板搬送装置を備えた基板処理装置
の一例を示す平面図である。図７の基板処理装置は、処
理領域Ａ，Ｂおよび搬送領域Ｃを有する。処理領域Ａ，
Ｂにそれぞれ複数の基板処理ユニット２００が配置さ
れ、搬送領域Ｃに基板搬送装置１００が設けられてい
る。また、処理領域Ａ，Ｂの一端部側には、基板の搬入
および搬出を行うインデクサ３００が設けられている。

【０００４】インデクサ３００の移載ロボット３０２
は、矢印Ｕの方向に移動し、カセット３０１から基板Ｗ
を取り出して基板搬送装置１００に渡し、逆に、一連の
処理が施された基板Ｗを基板搬送装置１００から受け取
ってカセット３０１に戻す。基板搬送装置１００は、移
載ロボット３０２から渡された基板Ｗを指定された基板
処理ユニット２００に搬送し、あるいは基板処理ユニッ
ト２００から受け取った基板Ｗを他の基板処理ユニット
２００または移載ロボット３０２に搬送する。

【０００５】図８は従来の基板搬送装置の概略斜視図で
ある。図８の基板搬送装置は、基板を保持する２つのハ
ンド（基板保持部）１０ａ，１０ｂ、第１の移動体（ヘ
ッド部）３０および第２の移動体（ベース部）４０を有
する。

【０００６】第１の移動体３０は、Ｚ軸モータ（図示せ
ず）によりＺ軸方向（垂直軸方向）に移動可能にかつθ
軸モータ（図示せず）によりθ軸方向（垂直軸を中心と
する回転方向）に回転可能に第２の移動体４０上に設け
られている。

【０００７】第２の移動体４０は、図７に示す搬送領域
Ｃの長手方向に沿って延びるガイドレール４１に取り付
けられている。この第２の移動体４０は、Ｙ軸モータ４
３およびボールねじ４２によりＹ軸方向（搬送領域Ｃの
長手方向）に移動可能に設けられている。

【０００８】搬送動作の効率化および省スペース化を図
るために、第１の移動体３０上に同一サイズの２つのハ
ンド１０ａ，１０ｂが上下に重なる位置に配置されてい
る。各ハンド１０ａ，１０ｂは、Ｙ軸、Ｚ軸およびθ軸
上で駆動される第１の移動体３０上にモータ、ベルトあ
るいはワイヤおよびレールを配置した直動機構によりＸ
軸方向（基板処理ユニット２００に対して前進および後
退する方向）に駆動される。

【０００９】このような基板搬送装置において、搬送対
象である基板Ｗを基板処理ユニット２００または移載ロ
ボット３０２から受ける動作あるいは基板処理ユニット
２００または移載ロボット３０２に置く動作が正常に遂
行されているか否かを搬送動作中に逐一判断し、搬送動
作の継続または停止を行うために光学的センサからなる
基板センサが設けられる。

【００１０】上記のように各ハンド１０ａ，１０ｂは第
１の移動体３０上で直動機構によりＸ軸方向に駆動され
るため、各ハンド１０ａ，１０ｂ上に光学的センサのよ
うな電気的な構成要素を配置すると、第１の移動体３０
と各ハンド１０ａ，１０ｂとの間でのワイヤの引き回し
が空中配線となるとともに、各ハンド１０ａ，１０ｂが
Ｘ軸方向に移動することによりワイヤの屈曲や捻転が発
生する。したがって、ワイヤの耐久性や長期安定動作を
保証することが非常に困難である。

【００１１】そこで、従来は、Ｘ軸方向における各ハン
ド１０ａ，１０ｂの移動動作と同時には動かない第１の
移動体３０に光学的センサからなる基板センサを取り付
けてハンド１０ａ，１０ｂ上の基板の有無を判定してい
る。

【００１２】ここで、第１の移動体３０上に基板センサ
を取り付けた場合、どちらのハンド１０ａ，１０ｂ上の
基板の有無を判定しているのかを判断することが困難で
ある。そのため、Ｘ軸方向における第１の移動体３０上
の２箇所に基板センサを配置し、搬送動作シーケンスに
従って２つのハンド１０ａ，１０ｂの相互位置が適当な
位置にあるときに制御系がそれらの基板センサの状態を
読み込み、どちらのハンド上に基板があるか否かを判定
している。

【００１３】図９は基板センサとして反射型センサを用
いた例を示す模式図である。第１の反射型センサ６１
は、ハンド１０ａ，１０ｂがＸ軸上の原点位置にあると
きに基板の有無を判定できる位置ＰＡに配置される。ま
た、第２の反射型センサ６２は、Ｘ軸上でハンド１０
ａ，１０ｂの一方が原点位置から前方に僅かに移動した
ときにそのハンド上の基板の有無だけを判定できる位置
ＰＢに配置される。

【００１４】図９の例では、ハンド１０ａがＸ軸上で原
点位置から前進したときに第２の反射型センサ６２によ
り基板Ｗが検知される。図１０は基板センサとして透過
型センサを用いた例を示す模式図である。第１の移動体
３０上に支持枠７１，７２が取り付けられている。支持
枠７１は、ハンド１０ａ，１０ｂがＸ軸上の原点位置に
あるときに基板の有無を判定できる位置ＰＡに配置され
る。また、支持枠７２は、Ｘ軸上でハンド１０ａ，１０
ｂの一方が原点位置から前方に僅かに移動したときにそ
のハンド上の基板の有無だけを判定できる位置ＰＢに配
置される。

【００１５】支持枠７１の下面に第１の透過型センサ６
３の投光部６３ａが取り付けられ、対向する第１の移動
体３０の上面に第１の透過型センサ６３の受光部６３ｂ
が取り付けられる。また、支持枠７２の下面に第２の透
過型センサ６４の投光部６４ａが取り付けられ、対向す
る第１の移動体３０の上面に第２の透過型センサ６４の
受光部６４ｂが取り付けられる。

【００１６】図１０の例では、ハンド１０ａがＸ軸上で
原点位置から前進したときに第２の反射型センサ６４に
より基板Ｗが検知される。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
基板搬送装置では、第１の移動体３０上の固定された点
で基板の有無を判定しているため、搬送動作シーケンス
中の既定のタイミング以外で基板センサの状態を読み込
んでも、その時点の２つのハンド１０ａ，１０ｂの位置
関係によって、読み込み結果が有効であるか無効である
か、あるいは読み込み結果が有効であればそれがどちら
のハンドの状態を示しているのか全く異なってくる。

【００１８】したがって、どちらのハンドに基板が保持
されているかを判定するためには、搬送動作シーケンス
に基板センサの出力の読み込みタイミングを組み込み、
ハンド１０ａ，１０ｂ相互がある一定の位置関係になる
既定のタイミングで基板センサの状態を読み込むことが
必要となる。

【００１９】基板センサの状態を既定のタイミングで読
み込むことが必要であることは、言い換えると、次の読
み込みタイミングまでの間にハンド上の基板の状態に変
化があっても、制御系はそのことを把握できないことを
意味する。例えば、基板センサの出力の読み込みタイミ
ングの間で基板がハンドから落下した場合に、基板の落
下が実際にどの時点で起こったかを判定することができ
ない。それにより、制御系が基板の搬送動作を細やかに
制御することが不可能となる。

【００２０】また、基板搬送装置による基板の搬送動作
においては、基板処理装置全体のスループットを低下さ
せないために許容された一定時間内に任意の２点間で基
板の搬送を完了しなけれなならない。そのため、基板セ
ンサにより基板の有無を判定するためだけの動作を実行
させることは時間的に許容されない。したがって、基板
の搬送動作中にハンド上の基板の有無の判定を行う必要
があり、その判定結果によって基板の搬送動作を即時停
止しなければならないこともある。このような場合に
は、搬送動作の急激な停止により駆動系に大きな負荷が
かかることになり、基板搬送装置の故障や搬送される基
板の破損につながるおそれがある。

【００２１】特に、基板処理ユニットから基板を受ける
動作においては、基板を受ける前のハンド上に基板が無
いこと確認する必要がある。この確認は、ハンドがＸ軸
上で前進しているときに行われる。基板を受ける前のハ
ンド上に基板が有ると判定された場合には、基板処理ユ
ニットのピンまたはチャック等の構造物にハンド上の基
板が衝突しないようにＸ軸モータを即時にかつ基板を飛
ばさないように停止しなくてはならない。このような急
激な停止は、ショートストロークを高速で動作させるＸ
軸の駆動系には大きな負担となる。

【００２２】本発明の目的は、任意のタイミングでハン
ド（基板保持部）上の基板の有無を判定することが可能
な基板搬送装置を提供することである。

【００２３】

【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る基板搬送装置は、基板を保持する基板保持部
と、予め定められた１または複数の方向に移動可能な可
動支持部と、基板保持部を可動支持部に対して所定の方
向に移動させる駆動機構部とを備えた基板搬送装置にお
いて、駆動機構部が関節機構により折り畳み自在に連結
された複数のアーム部材からなり、基板保持部に基板の
有無を検知する基板検知手段が配設され、基板検知手段
からの配線が複数のアーム部材に沿って可動支持部に導
かれたものである。

【００２４】本発明に係る基板搬送装置においては、可
動支持部が１または複数の方向に移動することにより、
任意の２つの位置間で基板の搬送動作が行われ、関節機
構により折り畳み自在に連結された複数のアーム部材か
らなる駆動機構部により基板保持部が可動支持部に対し
て所定の方向に駆動されることにより、基板の受け渡し
動作が行われる。

【００２５】特に、基板保持部に基板の有無を検知する
基板検知手段が設けられているので、任意のタイミング
で基板保持部上の基板の有無を判定することができる。
したがって、基板保持部による基板の搬送動作および基
板の受け渡し動作を細やかに制御することが可能とな
る。

【００２６】この場合、基板検知手段からの配線が複数
のアーム部材に沿って可動支持部に導かれているので、
駆動機構部による基板保持部の移動の際に配線の屈曲や
捻転が発生せず、配線の耐久性や基板搬送装置の長期安
定動作が保証される。

【００２７】第２の発明に係る基板搬送装置は、第１の
発明に係る基板搬送装置の構成において、アーム部材に
配線を係止する配線係止部が設けられたものである。こ
れにより、基板検知手段からの配線が複数のアーム部材
に沿って案内されるので、配線の屈曲や捻転の発生が確
実に防止される。

【００２８】第３の発明に係る基板搬送装置は、第１ま
たは第２の発明に係る基板搬送装置の構成において、可
動支持部が水平方向に移動可能、鉛直方向に移動可能か
つ鉛直軸の周りで回動可能に構成され、駆動機構部が複
数のアーム部材の折り畳み動作により基板保持部を可動
支持部上で水平方向に移動させ、基板検知手段が基板保
持部上の基板の有無を基板の裏面側から検知するように
基板保持部に配設されたものである。

【００２９】この場合、可動支持部が水平方向に移動
し、かつ鉛直方向に上下動することにより、任意の２つ
の位置間で基板の搬送動作が行われ、可動支持部が鉛直
軸の周りで回動し、かつ駆動機構部が基板保持部を可動
支持部上で水平方向に移動させることにより、基板の受
け渡し動作が行われる。

【００３０】特に、基板検知手段が基板保持部上の基板
の有無を基板の裏面側から検知するように設けられてい
るので、基板検知手段が基板の搬送動作および基板の受
け渡し動作に支障を与えず、また基板検知手段が他の構
造物に干渉することもない。

【００３１】第４の発明に係る基板搬送装置は、第１、
第２または第３の発明に係る基板搬送装置の構成におい
て、基板保持部が可動支持部上に上下方向に重なるよう
に配置された複数の基板保持部を含み、駆動機構部が複
数の基板保持部を可動支持部上でそれぞれ水平方向に移
動させる複数組のアーム部材を含み、複数の基板保持部
の各々に基板の有無を検知する基板検知手段が配置さ
れ、各基板検知手段からの配線がそれぞれ対応するアー
ム部材に沿って可動支持部に導かれたものである。

【００３２】この場合、複数の基板保持部相互の位置関
係を考慮せずに、各基板保持部上の基板の有無をそれぞ
れ任意のタイミングで判定することができる。したがっ
て、複数の基板保持部による基板の搬送動作および基板
の受け渡し動作を細やかに制御することが可能となると
ともに、可動支持部および駆動機構部の制御フローを簡
略化することが可能となり、かつ基板の搬送動作および
基板の受け渡し動作に急制動をかける必要もなくなる。

【００３３】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施例にお
ける基板搬送装置の平面図であり、図２は図１の基板搬
送装置における１つのハンドの平面図である。

【００３４】図１の基板搬送装置は、２つのハンド１０
ａ，１０ｂ、第１の移動体（ヘッド部）３０および第２
の移動体（ベース部）４０を含む。第１の移動体３０
は、図８に示したように、Ｚ軸モータ（図示せず）によ
りＺ軸方向（垂直軸方向）に移動可能にかつθ軸モータ
（図示せず）によりθ軸方向（垂直軸を中心とする回転
方向）に回転可能に第２の移動体４０上に設けられてい
る。第２の移動体４０は、図８に示したように、Ｙ軸モ
ータおよびボールねじ（図示せず）によりＹ軸方向（図
９の搬送領域Ｃの長手方向）に移動可能に設けられてい
る。

【００３５】ハンド１０ａは、アーム２１ａ，２２ａお
よび駆動部３１からなる関節アーム機構によりＸ軸方向
（基板処理ユニットに対して前進および後退する方向）
に移動可能に第１の移動体３０上に設けられている。ハ
ンド１０ｂは、アーム２１ｂ，２２ｂおよび駆動部３１
からなる関節アーム機構によりＸ軸方向に移動可能に第
１の移動体３０上に設けられている。ハンド１０ａはハ
ンド１０ｂの上部に重なるように配置され、アーム２１
ａ，２２ａはそれぞれアーム２１ｂ，２２ｂの上部に重
なるように配置されている。

【００３６】駆動部３１は第１の移動体３０上に取り付
けられている。アーム２２ａの一端部は駆動部３１に垂
直軸の周りで回動可能に取り付けられ、アーム２２ａの
他端部にはアーム２１ａの一端部が垂直軸の周りで回動
可能に取り付けられている。アーム２１ａの他端部には
ハンド１０ａが垂直軸の周りで回動可能に取り付けられ
ている。

【００３７】同様に、アーム２２ｂの一端部は駆動部３
１に垂直軸の周りで回動可能に取り付けられ、アーム２
２ｂの他端部にはアーム２１ｂの一端部が垂直軸の周り
で回動可能に取り付けられている。アーム２１ｂの他端
部にはハンド１０ｂが垂直軸の周りで回動可能に取り付
けられている。

【００３８】駆動部３１によりアーム２１ａ，２２ａが
水平面内で伸縮動作を行うことによりハンド１０ａがＸ
軸方向に前進および後退する。同様に、駆動部３１によ
りアーム２１ｂ，２２ｂが水平面内で伸縮動作を行うこ
とによりハンド１０ｂがＸ軸方向に前進および後退す
る。

【００３９】図２に示すように、ハンド１０ａは、基板
Ｗの外周に沿った形状を有する保持部１１および平面部
１３を有し、保持部１１の内側に基板Ｗの裏面を支持す
る複数の支持部１２が取り付けられている。

【００４０】このハンド１０ａの保持部１１の下面に
は、基板Ｗの裏面を検知するようにアンプ分離型の反射
型センサからなる基板センサ５１が取り付けられてい
る。ハンド１０ａの平面部１３上にはアンプ５２が取り
付けられ、基板センサ５１とアンプ５２とが光ファイバ
５３で結合されている。アンプ５２には信号線および電
源線を含むワイヤ５４が接続される。ハンド１０ｂも、
ハンド１０ａと同様の構造を有する。

【００４１】図１に示すように、ハンド１０ａ上のアン
プ５２に接続されるワイヤ５４は、アーム２１ａ，２２
ａの側面に沿って案内され、第１の移動体３０の端子５
７ａに接続される。また、ハンド１０ｂ上のアンプ５２
に接続されるワイヤ５４は、アーム２１ｂ，２２ｂの側
面に沿って案内され、第１の移動体３０の端子５７ｂに
接続される。

【００４２】アーム２１ａ，２２ａの端部（関節部）近
傍の側面にそれぞれワイヤ係止め部５５が設けられ、ワ
イヤ５４がアーム２１ａ，２２ａの伸縮に対してストレ
スを受けないように関節部で余裕を持ったループでワイ
ヤ係止め部５５に係止される。同様に、アーム２１ｂ，
２２ｂの端部（関節部）近傍の側面にもそれぞれワイヤ
係止め部５５が設けられ、ワイヤ５４がアーム２１ｂ，
２２ｂの伸縮に対してストレスを受けないように余裕を
持ったループでワイヤ係止め部５５に係止される。この
ようにして、ワイヤ５４に、屈曲に対する耐久性が与え
られる。

【００４３】本実施例では、ハンド１０ａ，１０ｂが基
板保持部に相当し、第１の移動体３０が可動支持部に相
当し、アーム２１ａ，２２ａ，２１ｂ，２２ｂがアーム
部材に相当する。また、基板センサ５１が基板検知手段
に相当し、ワイヤ５４が配線に相当し、ワイヤ係止め部
が配線係止部に相当する。

【００４４】本実施例の基板搬送装置においては、各ハ
ンド１０ａ，１０ｂに基板の有無を検知する基板センサ
５１が取り付けられているので、２つのハンド１０ａ，
１０ｂ相互の位置関係を考慮することなく、任意のタイ
ミングでハンド１０ａ，１０ｂ上の基板の有無をそれぞ
れ独立に判定することができる。それにより、基板の搬
送動作確認や動作異常監視を任意のタイミングで行って
基板の搬送動作をより細やかに制御することが可能とな
る。

【００４５】例えば、制御系が一定周期で基板センサ５
１の状態を読み込むことにより、基板の落下等の基板の
状態の変化がどの時点で起こってもその変化を把握する
ことが可能となる。

【００４６】また、ハンド１０ａ，１０ｂがＸ軸上での
移動動作中に基板センサ５１の状態を確認する必要がな
くなるので、搬送動作の制御フローを簡略化することが
可能となる。さらに、ハンド１０ａ，１０ｂがＸ軸上で
の移動動作を開始する前にハンド１０ａ，１０ｂ上の基
板の有無を判定することができるので、Ｘ軸上での移動
動作に急制動をかける必要がなくなる。これらの結果、
基板搬送装置の信頼性が向上する。

【００４７】図３は本発明の第２の実施例における基板
搬送装置の平面図であり、図４は同実施例の基板搬送装
置の側面図である。図３および図４において、ハンド１
０ａの平面部１３の一方の側部には側面部１４が垂直に
延設されている。同様に、ハンド１０ｂの平面部１３の
一方の側部には側面部１４が垂直に延設されている。

【００４８】ハンド１０ａは、アーム２１ａ，２２ａお
よび駆動部３２ａからなる関節アーム機構によりＸ軸方
向に移動可能に第１の移動体３０に取り付けられてい
る。同様に、ハンド１０ｂは、アーム２１ｂ，２２ｂお
よび駆動部３２ｂからなる関節アーム機構によりＸ軸方
向に移動可能に第１の移動体３０に取り付けられてい
る。

【００４９】駆動部３２ａ，３２ｂは第１の移動体３０
上の側部に設けられている。アーム２２ａの一端部は水
平軸の周りで回動可能に駆動部３２ａに取り付けられ、
アーム２２ａの他端部にはアーム２１ａの一端部が水平
軸の周りで回動可能に取り付けられている。アーム２１
ａの他端部にはハンド１０ａの側面部１４が水平軸の周
りで回動可能に取り付けられている。

【００５０】同様に、アーム２２ｂの一端部は駆動部３
２ｂに水平軸の周りで回動可能に取り付けられ、アーム
２２ｂの他端部にはアーム２１ｂの一端部が水平軸の周
りで回動可能に取り付けられている。アーム２１ｂの他
端部にはハンド１０ｂの側面部１４が水平軸の周りで回
動可能に取り付けられている。

【００５１】駆動部３２ａによりアーム２１ａ，２２ａ
が垂直面内で伸縮動作を行うことによりハンド１０ａが
Ｘ軸方向に前進および後退する。同様に、駆動部３２ｂ
によりハンド１０ｂが垂直面内で伸縮動作を行うこによ
りハンド１０ｂがＸ軸方向に前進および後退する。

【００５２】本実施例の基板搬送装置においても、ハン
ド１０ａ，１０ｂの保持部１１の下面にアンプ分離型の
反射型センサからなる基板センサ５１が取り付けられて
いる。また、ハンド１０ａ，１０ｂの平面部１３の下面
にそれぞれアンプ５２が取り付けられており、基板セン
サ５１とアンプ５２との間が光ファイバ５３で結合され
ている。アンプ５２には、信号線および電源線を含むワ
イヤ５４が接続されている。

【００５３】図４に示すように、ハンド１０ａ下面のア
ンプ５２に接続されるワイヤ５４は、アーム２１ａ，２
２ａの下面に沿って案内され、第１の移動体３０の内部
に引き込まれる。同様に、ハンド１０ｂ下面にアンプ５
２に接続されるワイヤ５４は、ハンド２１ｂ，２２ｂの
下面に沿って案内され、第１の移動体３０の内部に引き
込まれる。

【００５４】ハンド１０ａの側面部１４の前端面および
アーム２１ａ，２２ａの端部（関節部）近傍の下面には
それぞれワイヤ係止め部５５が設けられ、ワイヤ５４が
アーム２１ａ，２２ａの伸縮に対してストレスを受けな
いように関節部で余裕を持ったループでワイヤ係止め部
５５に係止される。同様に、ハンド１０ｂの側面部１４
の前端面およびアーム２１ｂ，２２ｂの端部（関節部）
近傍の下面にはそれぞれワイヤ係止め部５５が設けら
れ、ワイヤ５４がアーム２１ｂ，２２ｂの伸縮に対して
ストレスを受けないように関節部で余裕を持ったループ
でワイヤ係止め部５５に係止される。これにより、各ワ
イヤ５４に、屈曲に対する耐久性が与えられている。

【００５５】本実施例の基板搬送装置においても、各ハ
ンド１０ａ，１０ｂに基板センサ５１が取り付けられて
いるので、２つのハンド１０ａ，１０ｂ相互の位置関係
を考慮することなく、任意のタイミングでハンド１０
ａ，１０ｂ上の基板の有無をそれぞれ独立に確認するこ
とが可能となる。

【００５６】上記第１および第２の実施例では、基板検
知手段としてアンプ分離型の反射型センサからなる基板
センサ５１を用いているが、基板検知手段として他の種
類のセンサを用いてもよい。

【００５７】なお、説明の都合上、両ハンド１０ａ，１
０ｂ間にある程度の高低差のある図面を用いたが、実際
は余り高低差のないものである。図５は基板センサの他
の例を示す平面図である。図５の例では、ハンド１０ａ
の保持部１１の下面に基板Ｗの裏面を検知するようにア
ンプ一体型の反射型センサからなる基板センサ５０が取
り付けられている。基板センサ５０には、電源線および
信号線を含むワイヤ５４が接続されている。この基板セ
ンサ５０を用いると、ハンド１０ａの平面部１３にアン
プを取り付けるためのスペースが不要となる。

【００５８】また、上記第１および第２の実施例では、
ハンド１０ａ，１０ｂをＸ軸方向に移動させるための関
節アーム機構がそれぞれ２本のアームで構成されている
が、関節アーム機構の構成は上記実施例に限定されな
い。

【００５９】図６は関節アーム機構の他の例を示す平面
図である。図６の関節アーム機構は、３本のアーム２１
ａ，２２ａ，２３ａおよび駆動部３１により構成され
る。この場合にも、ハンド１０ａ下面の基板センサ５０
に接続されるワイヤ５４はアーム２１ａ，２２ａ，２３
ａの側面に沿って案内される。アーム２１ａ，２２ａ，
２３ａの端部（関節部）近傍の側面にそれぞれワイヤ係
止め部５５が設けられ、ワイヤ５４がアーム２１ａ，２
２ａ，２３ａの伸縮に対してストレスを受けないように
関節部で余裕を持ったループでワイヤ係止め部５５に係
止される。

【００６０】なお、各ハンドへの基板センサの取り付け
方法は上記実施例の方法に限定されない。基板センサは
ハンドの任意の位置に組み込むことができるが、ハンド
上への基板の載置に支障を与えたり、他のハンドへ物理
的な干渉を起こさないようにかつ基板の受け渡し動作に
支障を与えないように、基板の裏面から基板の状態を確
認できる位置に組み込むことが望ましい。

【００６１】上記実施例では、基板検知手段として光学
的センサを用いているが、基板検知手段として小型の近
接センサまたはフォトマイクロセンサを用いてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例における基板搬送装置の
平面図である。

【図２】図１の基板搬送装置における１つのハンドの平
面図である。

【図３】本発明の第２の実施例における基板搬送装置の
平面図である。

【図４】本発明の第２の実施例における基板搬送装置の
側面図である。

【図５】基板センサの他の例を示す平面図である。

【図６】関節アーム機構の他の例を示す平面図である。

【図７】基板搬送装置を備えた基板処理装置の一例を示
す平面図である。

【図８】従来の基板搬送装置の概略斜視図である。

【図９】従来の基板搬送装置において基板センサとして
反射型センサを用いた例を示す例である。

【図１０】従来の基板搬送装置において基板センサとし
て透過型センサを用いた例を示す図である。

【符号の説明】

１０ａ，１０ｂ ハンド ２１ａ，２２ａ，２１ｂ，２２ｂ アーム ３０ 第１の移動体 ３１，３２ａ，３２ｂ 駆動部 ４０ 第２の移動体 ５０，５１ 基板センサ ５２ アンプ ５４ ワイヤ ５５ ワイヤ係止め部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を保持する基板保持部と、予め定め
   られた１または複数の方向に移動可能な可動支持部と、
   前記基板保持部を前記可動支持部に対して所定の方向に
   移動させる駆動機構部とを備えた基板搬送装置におい
   て、 前記駆動機構部が関節機構により折り畳み自在に連結さ
   れた複数のアーム部材からなり、前記基板保持部に基板
   の有無を検知する基板検知手段が配設され、前記基板検
   知手段からの配線が前記複数のアーム部材に沿って前記
   可動支持部に導かれたことを特徴とする基板搬送装置。
2. 【請求項２】 前記複数のアーム部材に前記配線を係止
   する配線係止部が設けられたことを特徴とする請求項１
   記載の基板搬送装置。
3. 【請求項３】 前記可動支持部は水平方向に移動可能、
   鉛直方向に移動可能かつ鉛直軸の周りで回動可能に構成
   され、前記駆動機構部は前記複数のアーム部材の折り畳
   み動作により前記基板保持部を前記可動支持部上で水平
   方向に移動させ、前記基板検知手段は前記基板保持部上
   の基板の有無を基板の裏面側から検知するように前記基
   板保持部に配設されたことを特徴とする請求項１または
   ２記載の基板搬送装置。
4. 【請求項４】 前記基板保持部は前記可動支持部上に上
   下方向に重なるように配置された複数の基板保持部を含
   み、前記駆動機構部は前記複数の基板保持部を前記可動
   支持部上でそれぞれ水平方向に移動させる複数組のアー
   ム部材を含み、前記複数の基板保持部の各々に基板の有
   無を検知する基板検知手段が配設され、各基板検知手段
   からの配線がそれぞれ対応するアーム部材に沿って可動
   支持部に導かれたことを特徴とする請求項１、２または
   ３記載の基板搬送装置。