JPH01142712A - カラー液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
カラー液晶表示装置およびその製造方法Info
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- JPH01142712A JPH01142712A JP62291677A JP29167787A JPH01142712A JP H01142712 A JPH01142712 A JP H01142712A JP 62291677 A JP62291677 A JP 62291677A JP 29167787 A JP29167787 A JP 29167787A JP H01142712 A JPH01142712 A JP H01142712A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は、カラーフィルタを有しカラー表示が行えるカ
ラー液晶表示装置およびその製造方法に関する。
ラー液晶表示装置およびその製造方法に関する。
[従来の技術]
一般に、液晶表示装置は、対向配置されたガラス基板の
対向面に多数の画素を構成するように透明電極を形成し
、これら電極の内側に液晶組成物を挟持させた構造含有
する。
対向面に多数の画素を構成するように透明電極を形成し
、これら電極の内側に液晶組成物を挟持させた構造含有
する。
ところで、このような液晶表示装置においては、高コン
トラストを得るために、画素間に遮光部材を設け、隣接
する画素からの光漏れを防止することが行われている。
トラストを得るために、画素間に遮光部材を設け、隣接
する画素からの光漏れを防止することが行われている。
たとえば特開昭59−188690号公報には、基板上
に真空蒸着またはスパッタリング法により遮光性金属層
を全面に施し、この金属層をフォトエツチング法により
所要形状とし、次いでその上に保護層を全面に形成し、
この保護層の上に透明電極を設ける技術が開示されてい
る。
に真空蒸着またはスパッタリング法により遮光性金属層
を全面に施し、この金属層をフォトエツチング法により
所要形状とし、次いでその上に保護層を全面に形成し、
この保護層の上に透明電極を設ける技術が開示されてい
る。
特開昭60−43631号公報には、カラー・フィルタ
間に金属薄膜からなる非透光性部材を形成した表示パネ
ルが開示されている。
間に金属薄膜からなる非透光性部材を形成した表示パネ
ルが開示されている。
一方、カラー液晶表示装置の各画素に対応する位置にR
(赤)、G(緑)、B(青)のカラーフィルタを形成す
る方法として、従来がらフォトリングラフィの応用技術
である染色法、オフセット印刷やスクリーン印刷の応用
技術である印刷法等がある。
(赤)、G(緑)、B(青)のカラーフィルタを形成す
る方法として、従来がらフォトリングラフィの応用技術
である染色法、オフセット印刷やスクリーン印刷の応用
技術である印刷法等がある。
しかしながら染色法では、スルーブツトやイールドの低
下により製造コストに影響を与える虞れがある。また、
印刷法では、精度上で問題がある。
下により製造コストに影響を与える虞れがある。また、
印刷法では、精度上で問題がある。
このため近年、電着法によってカラーフィルタを形成す
る技術が開発され、製造コスト上の問題や精度上の問題
が解決されつつある。すなわち、電着法では、大画面を
実現でき、プロセス時間が祖く、耐熱、耐光および耐化
学性に優れ、膜厚も自由且つ正確に制御できる。
る技術が開発され、製造コスト上の問題や精度上の問題
が解決されつつある。すなわち、電着法では、大画面を
実現でき、プロセス時間が祖く、耐熱、耐光および耐化
学性に優れ、膜厚も自由且つ正確に制御できる。
1発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、この電着法によってカラーフィルタ分形
成する場合において、上述したように高コントラストを
得るなめに、画素間に遮光層を設けようとしたとき、す
でに開示されている特開昭59−188690号公報、
特開昭60−43631号公報等の技術の応用では、種
々の問題を生じる。
成する場合において、上述したように高コントラストを
得るなめに、画素間に遮光層を設けようとしたとき、す
でに開示されている特開昭59−188690号公報、
特開昭60−43631号公報等の技術の応用では、種
々の問題を生じる。
すなわち、特開昭59−188690号公報の技術では
、フィルタが積層される電極と金属からなる不透光層と
が保護層により電気的に絶縁されているため、不透光層
を電着用電極として利用できず、電着法でフィルタを形
成しようとすれば、不透光層、保護層および透明電極を
形成した後に、透明電極に電着用電極を接続し、電着法
によりフィルタを形成し、その後電着用電極を除去しな
ければならず、プロセス数が多大なものとなってしまう
。
、フィルタが積層される電極と金属からなる不透光層と
が保護層により電気的に絶縁されているため、不透光層
を電着用電極として利用できず、電着法でフィルタを形
成しようとすれば、不透光層、保護層および透明電極を
形成した後に、透明電極に電着用電極を接続し、電着法
によりフィルタを形成し、その後電着用電極を除去しな
ければならず、プロセス数が多大なものとなってしまう
。
また、特開昭60−13631号公報の技術では、フィ
ルタが積層される対向電極が画素領域だけでなく基板全
体に設けられているので、電着法により画素領域のみに
フィルタ材を積層することはできない。
ルタが積層される対向電極が画素領域だけでなく基板全
体に設けられているので、電着法により画素領域のみに
フィルタ材を積層することはできない。
本発明は、画素間の遮光機能を有するカラー液晶表示装
置を電着法により且つ少いステップ数でg!遺可能にす
ることを目的とする。
置を電着法により且つ少いステップ数でg!遺可能にす
ることを目的とする。
[問題点を解決するための手段コ
本発明のカラー液晶表示装置は、複数の画素を有し、各
画素に対応する領域に導電性膜を配設し、該導電性膜に
接続され且つ前記画素の間の領域に延長される導電性遮
光層を形成するとともに、導電性膜上にカラー・フィル
タを積層したものである。
画素に対応する領域に導電性膜を配設し、該導電性膜に
接続され且つ前記画素の間の領域に延長される導電性遮
光層を形成するとともに、導電性膜上にカラー・フィル
タを積層したものである。
また、その製造方法は、基板上に導電性の遮光層を形成
し、この遮光層が形成された基板からフィルタが形成さ
れるべき画素に対応する位置の遮光層を除去するととも
に少なくとも異なる色の画素に対応する遮光層が電気的
に絶縁されるように遮光層を除去する。そして、フィル
タが形成されるべき画素に対応する位置に導電性の膜を
形成し、この導電性の膜の表面に各画素の色に対応する
色を有する膜を形成するものである。
し、この遮光層が形成された基板からフィルタが形成さ
れるべき画素に対応する位置の遮光層を除去するととも
に少なくとも異なる色の画素に対応する遮光層が電気的
に絶縁されるように遮光層を除去する。そして、フィル
タが形成されるべき画素に対応する位置に導電性の膜を
形成し、この導電性の膜の表面に各画素の色に対応する
色を有する膜を形成するものである。
[作 用]
本発明では、カラー・フィルタが積層される導電性膜に
導電性の遮光層が電気的に接続されているので、遮光層
を電着用短絡電極として利用することにより、従来の電
着法に対してプロセス数を増加させずに、カラー・フィ
ルタと遮光層の形成を可能にする。
導電性の遮光層が電気的に接続されているので、遮光層
を電着用短絡電極として利用することにより、従来の電
着法に対してプロセス数を増加させずに、カラー・フィ
ルタと遮光層の形成を可能にする。
[実施例コ
以下、本発明の実施例の詳細を図面に基づいて説明する
。
。
第1図は本発明の一実施例に係るカラー液晶表示装置の
縦断正面図である。
縦断正面図である。
第1図に示すカラー液晶表示装置は、カラー・フィルタ
が形成されるガラス基板1と、このガラス基板1と対向
するように配置され半導体駆動回路が配設されるガラス
基板2との間にTN(twisted−nellat
ic )液晶5を挟持させた基本構造を有する。
が形成されるガラス基板1と、このガラス基板1と対向
するように配置され半導体駆動回路が配設されるガラス
基板2との間にTN(twisted−nellat
ic )液晶5を挟持させた基本構造を有する。
ガラス基板2上には、縦横に多数の画素を有する画面を
構成するために透明電極である画素T、極(すなわち表
示電極)4R14G等と非晶質シリコン薄膜トランジス
タ(a−3iTfT 、図示せず)とを有する各画素に
対する回路が画面全体に縦横に配置され、薄膜トランジ
スタ(TPT)のゲートおよびソースには各々横と縦に
走るたとえばTa、AJ2からなり幅が50μm程度の
ゲート電極配線6および幅が20μm程度のソース電極
配線(図示せず)が行単位、列単位で接続され、そして
これらを覆うように配向膜7が形成されている。
構成するために透明電極である画素T、極(すなわち表
示電極)4R14G等と非晶質シリコン薄膜トランジス
タ(a−3iTfT 、図示せず)とを有する各画素に
対する回路が画面全体に縦横に配置され、薄膜トランジ
スタ(TPT)のゲートおよびソースには各々横と縦に
走るたとえばTa、AJ2からなり幅が50μm程度の
ゲート電極配線6および幅が20μm程度のソース電極
配線(図示せず)が行単位、列単位で接続され、そして
これらを覆うように配向膜7が形成されている。
第2図は、第1図のガラス基板1に配設される透明導電
性膜と導電性膜遮光層の配列パターンを示す。
性膜と導電性膜遮光層の配列パターンを示す。
第1図および第2図に示されたカラー液晶表示装置では
、1つの表示要素が4色の画素すなわち正方形の赤画素
、正方形の緑画素、正方形の青画素および正方形の白(
透明)画素を1つの正方形の左上四半部、右上四半部、
右下四半部および左下四半部に配置することによって構
成される。なお、第1図は第2図のA−A’線に沿って
切断した断面の一部に相当する。第3図はガラス基板1
側の青画素領域を示す部分断面図である。
、1つの表示要素が4色の画素すなわち正方形の赤画素
、正方形の緑画素、正方形の青画素および正方形の白(
透明)画素を1つの正方形の左上四半部、右上四半部、
右下四半部および左下四半部に配置することによって構
成される。なお、第1図は第2図のA−A’線に沿って
切断した断面の一部に相当する。第3図はガラス基板1
側の青画素領域を示す部分断面図である。
第1図ないし第3図に示された液晶表示装置は、赤、緑
および青画素(すなわち、赤画素電極4R5録画素電極
4Gおよび青画素電極(図示せず))に対応するガラス
基板1の領域にそれぞれ透明導電性膜19R119Gお
よび19Bを配設し、これら透明導電性膜19R119
Gおよび19Bにそれぞれ電気的に接続され且つ赤、緑
、青および白画素の間の領域に延長される導電性V遮光
層18R118Gおよび18Bを形成し、透明導電性[
19R119Gおよび19Bの上にそれぞれ赤色フィル
タ8R1緑色フィルタ8Gおよび青色フィルタ8Bを積
層した構成を有する。透明導電性膜19R119Gおよ
び19Bと、赤画素電極4R1録画素電極4Gおよび青
画素電極(図示せず)とは、それぞれ互いに対をなして
液晶を駆動する電極として作用する。
および青画素(すなわち、赤画素電極4R5録画素電極
4Gおよび青画素電極(図示せず))に対応するガラス
基板1の領域にそれぞれ透明導電性膜19R119Gお
よび19Bを配設し、これら透明導電性膜19R119
Gおよび19Bにそれぞれ電気的に接続され且つ赤、緑
、青および白画素の間の領域に延長される導電性V遮光
層18R118Gおよび18Bを形成し、透明導電性[
19R119Gおよび19Bの上にそれぞれ赤色フィル
タ8R1緑色フィルタ8Gおよび青色フィルタ8Bを積
層した構成を有する。透明導電性膜19R119Gおよ
び19Bと、赤画素電極4R1録画素電極4Gおよび青
画素電極(図示せず)とは、それぞれ互いに対をなして
液晶を駆動する電極として作用する。
遮光層18Rは、複数の赤画素用透明導電性膜19Rを
電気的に接続し、遮光層19Gは、複数の緑画素用透明
導電性膜19Gを電気的に接続し、遮光層18Bは、複
数の青画素用透明導電性膜19Bを電気的に相互接続す
る。遮光層18R118Gおよび18Bの間に生じるギ
ャップ20すなわちこれら遮光層を電気的に絶縁する領
域は、ガラス基板2に配設されるゲート電極配線6また
はソース電極配線(図示せず)と整列している。これら
の電極配線は、不透光性であり、したがって遮光効果を
有する。
電気的に接続し、遮光層19Gは、複数の緑画素用透明
導電性膜19Gを電気的に接続し、遮光層18Bは、複
数の青画素用透明導電性膜19Bを電気的に相互接続す
る。遮光層18R118Gおよび18Bの間に生じるギ
ャップ20すなわちこれら遮光層を電気的に絶縁する領
域は、ガラス基板2に配設されるゲート電極配線6また
はソース電極配線(図示せず)と整列している。これら
の電極配線は、不透光性であり、したがって遮光効果を
有する。
第1図に示された液晶装置では、赤色、緑色および青色
フィルタ8R18Gおよび8Bを、それぞれ透明導電性
膜19R119Gおよび19Bを覆うだけでなく遮光!
18R118Gおよび18Bをも覆うように形成されて
いるが、これら遮光層は画素領域以外の領域にあるので
表示上問題は生じない。
フィルタ8R18Gおよび8Bを、それぞれ透明導電性
膜19R119Gおよび19Bを覆うだけでなく遮光!
18R118Gおよび18Bをも覆うように形成されて
いるが、これら遮光層は画素領域以外の領域にあるので
表示上問題は生じない。
なお、ガラス基板1の白色画素に対応する領域には、透
明導電性膜1.9Wが形成されるだけであり、該膜19
Wの上にはカラー・フィルタは積層されず、したがって
該膜19Wは遮光層も接続されない。
明導電性膜1.9Wが形成されるだけであり、該膜19
Wの上にはカラー・フィルタは積層されず、したがって
該膜19Wは遮光層も接続されない。
遮光層18R118Gおよび18Bは、たとえば60重
量%M o 40重厘%Taからなり1500人程度
0厚さを有し、光学的濃度(0,0,)が2.0である
。また、異なる色のカラーフィルタが形成される画素間
の隣接する遮光層間(たとえば1.8 Rと1.8Gの
間)のギャップ20の幅は10ないし20μtである。
量%M o 40重厘%Taからなり1500人程度
0厚さを有し、光学的濃度(0,0,)が2.0である
。また、異なる色のカラーフィルタが形成される画素間
の隣接する遮光層間(たとえば1.8 Rと1.8Gの
間)のギャップ20の幅は10ないし20μtである。
なお、遮光層18R118Gおよび18Bの光学的濃度
(0,0,)が1.5より小さいときは遮光層としての
機能を果さないことが多い。また、ギャップ20の幅は
上述の如<10ないし20μt程度が好適である。これ
は、この幅がこの値より小さいときは赤、緑および青色
フィルタ8R18G、8Bを後述する電着法によって形
成する際短絡不良が発生し易く、また大きいときはゲー
ト電極配線6およびソース電極配線(図示せず)による
遮光効果が不十分になってしまうからである。
(0,0,)が1.5より小さいときは遮光層としての
機能を果さないことが多い。また、ギャップ20の幅は
上述の如<10ないし20μt程度が好適である。これ
は、この幅がこの値より小さいときは赤、緑および青色
フィルタ8R18G、8Bを後述する電着法によって形
成する際短絡不良が発生し易く、また大きいときはゲー
ト電極配線6およびソース電極配線(図示せず)による
遮光効果が不十分になってしまうからである。
透明導電性膜19R219Gおよび19Bは、たとえば
I To (1ndiun−tin−oxide)から
なり1500人程度0厚さを有する。
I To (1ndiun−tin−oxide)から
なり1500人程度0厚さを有する。
なお、ガラス基板2上に形成された画素′:4極4R1
4G等に対応する位置の内周において、遮光層18R1
18Gおよび18Bと透明導電性膜19R119Gおよ
び19Bとがそれぞれ4ないし20μt程度重なり合う
部分を有し、これにより遮光層と対応する透明導電性膜
とが電気的に確実に接続されるようになっている(第3
図参照)。
4G等に対応する位置の内周において、遮光層18R1
18Gおよび18Bと透明導電性膜19R119Gおよ
び19Bとがそれぞれ4ないし20μt程度重なり合う
部分を有し、これにより遮光層と対応する透明導電性膜
とが電気的に確実に接続されるようになっている(第3
図参照)。
赤、緑および青色フィルタ8R18G、8Bは、それぞ
れ遮光層18R118Gおよび18Bを電着用電極とし
て使用して電着法によって形成されたものであり、1〜
1.5μl程度の厚さを有する。
れ遮光層18R118Gおよび18Bを電着用電極とし
て使用して電着法によって形成されたものであり、1〜
1.5μl程度の厚さを有する。
なお、これら赤、緑および青色フィルタ8R58G、8
Bの厚さが上述の値より薄いときは色付きの点て問題を
生じ易く、また上述の値より厚いときはセルギャップ制
御および配向処理の点で問題を生じ易い9 このような構成を有する本実施例のカラー液晶表示装置
では、同色の複数の画素領域に配設された透明導電性膜
を電気的に接続する遮光層が、その色のフィルタ材を積
層するための電着用短絡電極として使用できるので、遮
光層およびフィルタの形成を少ないステップ数で行うこ
とができる。
Bの厚さが上述の値より薄いときは色付きの点て問題を
生じ易く、また上述の値より厚いときはセルギャップ制
御および配向処理の点で問題を生じ易い9 このような構成を有する本実施例のカラー液晶表示装置
では、同色の複数の画素領域に配設された透明導電性膜
を電気的に接続する遮光層が、その色のフィルタ材を積
層するための電着用短絡電極として使用できるので、遮
光層およびフィルタの形成を少ないステップ数で行うこ
とができる。
なお、本実施例装置においては、赤、緑および青色フィ
ルタ8R18G、8Bの電着法による形成のため、異な
る色のカラーフィルタが形成される画素間の隣接する遮
光層間は幅10ないし20μを程度のギャップ20を有
し、このギャップ20により光漏れが生じ、コントラス
トが低下することが考えられるが、ガラス基板2上にお
いてギャップ20と対向する位置に形成されたゲート電
極配線6およびソース電極配線(図示せず)による遮光
効果によって光漏れが防止され高コントラストが維持さ
れる。
ルタ8R18G、8Bの電着法による形成のため、異な
る色のカラーフィルタが形成される画素間の隣接する遮
光層間は幅10ないし20μを程度のギャップ20を有
し、このギャップ20により光漏れが生じ、コントラス
トが低下することが考えられるが、ガラス基板2上にお
いてギャップ20と対向する位置に形成されたゲート電
極配線6およびソース電極配線(図示せず)による遮光
効果によって光漏れが防止され高コントラストが維持さ
れる。
次に、このカラー液晶表示装置の製造方法を第4図に基
づいて説明する。
づいて説明する。
まず、ガラス基板1上全面に、厚さが1500人の60
重量%Mo−40重蟇%Ta(光学的濃度O,a、−2
,0)をスパッタ法によって堆積する(第4図(a))
。
重量%Mo−40重蟇%Ta(光学的濃度O,a、−2
,0)をスパッタ法によって堆積する(第4図(a))
。
次に、ガラス基板2上に形成される画素電極4R34G
等に対応する位がより若干(2〜5μm)内側の位置よ
り外側および同行で同色のカラーフィルタが形成される
画素間の電気的な接続を行う接続部を残存させ、異なる
色のカラーフィルタが形成される画素間の隣接する遮光
層間(18Rと18G、18Gと18B、および18B
と18Rのそれぞれの間)が幅10ないし20μt程度
のギャップ20を有するように60重量%Mo−40重
量%Taをフォトリングラフィによって除去する(第4
図(b))。
等に対応する位がより若干(2〜5μm)内側の位置よ
り外側および同行で同色のカラーフィルタが形成される
画素間の電気的な接続を行う接続部を残存させ、異なる
色のカラーフィルタが形成される画素間の隣接する遮光
層間(18Rと18G、18Gと18B、および18B
と18Rのそれぞれの間)が幅10ないし20μt程度
のギャップ20を有するように60重量%Mo−40重
量%Taをフォトリングラフィによって除去する(第4
図(b))。
この後、ガラス基板1上全面に、厚さが1500人のI
TOをスパッタ法によって堆積する(第4図(c))。
TOをスパッタ法によって堆積する(第4図(c))。
次に、ガラス基板2上に形成される画素電11i4R5
4G等に対応する位置のITOのみを残存させ他の部分
をフォトリソグラフィによって除去する(第4図(d)
)。これにより透明導電性膜19R119Bおよび19
Gが形成される。
4G等に対応する位置のITOのみを残存させ他の部分
をフォトリソグラフィによって除去する(第4図(d)
)。これにより透明導電性膜19R119Bおよび19
Gが形成される。
この後、緑画素領域に配設された透明導電性膜18Gを
電気的に接続する導電性膜遮光!19Gを電着短絡電極
として利用して、透明導電性膜18G上に緑色フィルタ
8Gを積層する。この際、遮光層19Gにも緑色フィル
タ材が積層されるが(第4図(d)には示されていない
。)遮光層19Gは画素領域以外に位置しているので問
題はない。続いて、同様に、赤画素領域に配設された透
明導電性膜19Rに赤色フィルタ8Rを積層し、青画素
領域に配設された透明導電性膜19Bに青色フィルタ8
Bを積層する。を着は引き出し線の外側から行うので、
第2図の構成では、緑、赤、青の順で電着が行われる。
電気的に接続する導電性膜遮光!19Gを電着短絡電極
として利用して、透明導電性膜18G上に緑色フィルタ
8Gを積層する。この際、遮光層19Gにも緑色フィル
タ材が積層されるが(第4図(d)には示されていない
。)遮光層19Gは画素領域以外に位置しているので問
題はない。続いて、同様に、赤画素領域に配設された透
明導電性膜19Rに赤色フィルタ8Rを積層し、青画素
領域に配設された透明導電性膜19Bに青色フィルタ8
Bを積層する。を着は引き出し線の外側から行うので、
第2図の構成では、緑、赤、青の順で電着が行われる。
W!層フィルタは、1〜1.5μm程度の厚さを有する
(第4図(e))。
(第4図(e))。
しかる後、配向膜9を従来の方法によって形成する。
このように上述した製造方法では、従来の電着法におい
て行われる画素領域の透明電極の短絡プロセスを遮光層
形成プロセスにより行うことができるので、従来の電着
法よりプロセス数を増加させずに電着カラー・フィルタ
と遮光層との形成を行うことができる。
て行われる画素領域の透明電極の短絡プロセスを遮光層
形成プロセスにより行うことができるので、従来の電着
法よりプロセス数を増加させずに電着カラー・フィルタ
と遮光層との形成を行うことができる。
なお、以上説明した実施例では、1つの表示要素が4色
の画素からなるものであったが、これがたとえば赤、緑
および青色の3色の画素からなるものであってもよい。
の画素からなるものであったが、これがたとえば赤、緑
および青色の3色の画素からなるものであってもよい。
この場合、たとえば第5図ないし第7図に示すように、
赤、緑および青色画素からなるモザイクパターンの組合
せとしたもの、赤、緑および青色画素からなるトライア
ングラパターンの組合せとしたもの、あるいは赤、青お
よび2つの緑色画素からなるスクエアパターンの組合せ
としたもの等が考えられる。
赤、緑および青色画素からなるモザイクパターンの組合
せとしたもの、赤、緑および青色画素からなるトライア
ングラパターンの組合せとしたもの、あるいは赤、青お
よび2つの緑色画素からなるスクエアパターンの組合せ
としたもの等が考えられる。
また、以上説明した実施例では、カラーフィルタに直接
、配向膜9で塗布したが、TN液晶5の厚さが薄くなる
につれて、カラーフィルタとそれ以外の部分の凹凸差(
段差)が実質的なTN液晶5の厚さを変えてしまう、こ
れを防ぐために、透明導電性膜19Wを含む凹凸をアク
リル系樹脂或いはウレタン系樹脂で覆って平坦化し、し
がる後に配向膜9を塗布してもよい。
、配向膜9で塗布したが、TN液晶5の厚さが薄くなる
につれて、カラーフィルタとそれ以外の部分の凹凸差(
段差)が実質的なTN液晶5の厚さを変えてしまう、こ
れを防ぐために、透明導電性膜19Wを含む凹凸をアク
リル系樹脂或いはウレタン系樹脂で覆って平坦化し、し
がる後に配向膜9を塗布してもよい。
そして、透明導電性膜19Wにも、他のカラーフィルタ
と同様にt@用電極を設け、電着による白色フィルタを
積層してもよく、更に、この方法を用いた場合、透過率
を制御する目的で、透明ではなく半透明(灰色)のフィ
ルタを積層してもよい。透明或いは半透明のフィルタを
積層した場合に発生する表面の凹凸についても、上述の
方法を用いて平坦化することができる。
と同様にt@用電極を設け、電着による白色フィルタを
積層してもよく、更に、この方法を用いた場合、透過率
を制御する目的で、透明ではなく半透明(灰色)のフィ
ルタを積層してもよい。透明或いは半透明のフィルタを
積層した場合に発生する表面の凹凸についても、上述の
方法を用いて平坦化することができる。
また、遮光層として60重量%Mo−40重量%Taを
用いるものであったが、これがMo、Ti、Ta、Ni
、Cr等の他の金属であってもよい。
用いるものであったが、これがMo、Ti、Ta、Ni
、Cr等の他の金属であってもよい。
[発明の効果]
以上説明したように本発明のカラー液晶表示装置および
その製造方法によれば、カラー・フィルタが積層される
導電性膜を電気的に接続する遮光層を電着用短絡電極と
して使用できるので、少いプロセス数で遮光層および電
着フィルタの形成を行うことができる。従って、低コス
トで高コントラストのカラー液晶表示装置を提供できる
。
その製造方法によれば、カラー・フィルタが積層される
導電性膜を電気的に接続する遮光層を電着用短絡電極と
して使用できるので、少いプロセス数で遮光層および電
着フィルタの形成を行うことができる。従って、低コス
トで高コントラストのカラー液晶表示装置を提供できる
。
第1図は本発明の一実施例に係るカラー液晶表示装置の
縮断正面図、第2図は第1図に示された基板に配設され
た透明導電性膜と遮光層の配列パターンを示す一部平面
図、第3図は第2図の一部断面図、第4図は本発明の一
実施例に係る製造方法を説明するためのカラー液晶表示
装置の一部平面図、第5図、第6図および第7図はそれ
ぞれ本発明の他の実施例に係るカラー液晶表示装置の一
部平面図である。 1.2・・・ガラス基板、4R14G・・・画素電極、
5・・・液晶、6・・・ゲート電極配線、7.9・・・
配向膜、8R・・・赤色フィルタ、8G・・・緑色フィ
ルタ、8B・・・青色フィルタ、18R118G、18
B・・・遮光層、19R119G、19B・・・透明導
電性膜、20・・・ギャップ。 第3図 第7図 (b) 、 ITO cl 第4
縮断正面図、第2図は第1図に示された基板に配設され
た透明導電性膜と遮光層の配列パターンを示す一部平面
図、第3図は第2図の一部断面図、第4図は本発明の一
実施例に係る製造方法を説明するためのカラー液晶表示
装置の一部平面図、第5図、第6図および第7図はそれ
ぞれ本発明の他の実施例に係るカラー液晶表示装置の一
部平面図である。 1.2・・・ガラス基板、4R14G・・・画素電極、
5・・・液晶、6・・・ゲート電極配線、7.9・・・
配向膜、8R・・・赤色フィルタ、8G・・・緑色フィ
ルタ、8B・・・青色フィルタ、18R118G、18
B・・・遮光層、19R119G、19B・・・透明導
電性膜、20・・・ギャップ。 第3図 第7図 (b) 、 ITO cl 第4
Claims (8)
- (1)複数の画素を有するカラー液晶表示装置において
、前記各画素に対応する領域に配設された導電性膜と、
該導電性膜に接続され且つ前記画素の間の領域に延長さ
れる導電性遮光層と、前記導電性膜に積層されたカラー
・フィルタとを具備するカラー液晶表示装置。 - (2)前記遮光層が、前記複数の画素のうち同色の画素
に対応する領域に配設された前記導電性膜を電気的に接
続するように延長されている特許請求の範囲第1項記載
のカラー液晶表示装置。 - (3)前記遮光層が、前記複数の画素のうち第1色の画
素に対応する領域に配設された前記導電性膜を電気的に
接続する第1遮光層と、前記複数の画素のうち第2色の
画素に対応する領域に配設された前記導電性膜を電気的
に接続する第2遮光層とを含み、前記第1の遮光層と前
記第2遮光層とが電気的に絶縁されている特許請求の範
囲第1項記載のカラー液晶表示装置。 - (4)前記第1および第2遮光層が第1基板上に形成さ
れ、前記第1基板と液晶を介して対向する第2基板上に
、前記液晶を駆動するための半導体回路の電極配線が形
成され、前記第1遮光層と前記第2遮光層とを絶縁する
ための絶縁領域が前記電極配線と整列している特許請求
の範囲第3項記載のカラー液晶表示装置。 - (5)前記遮光層の光学的濃度(O.D.)が、1.5
以上である特許請求の範囲第1項ないし第4項のいずれ
か1項記載のカラー液晶表示装置。 - (6)基板上に導電性の遮光層を形成する工程と、この
遮光層が形成された基板からフィルタが形成されるべき
画素に対応する位置の遮光層を除去するとともに少なく
とも異なる色の画素に対応する遮光層が電気的に絶縁さ
れるように遮光層を除去する工程と、前記フィルタが形
成されるべき画素に対応する位置に導電性の膜を形成す
る工程と、この導電性の膜の表面に各画素の色に対応す
る色を有する膜を形成する工程とを具備するカラー液晶
表示装置の製造方法。 - (7)前記導電性の膜が、この膜の外周に形成されてい
る遮光層と電気的に接続されている特許請求の範囲第6
項記載のカラー液晶表示装置の製造方法。 - (8)前記導電性の膜の表面に各画素の色に対応する色
を有する膜を形成する工程が、電着法に基づき行われる
特許請求の範囲第6項または第7項記載のカラー液晶表
示装置の製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29167787A JPH0610702B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | カラー液晶表示装置およびその製造方法 |
US07/246,835 US5083853A (en) | 1987-11-18 | 1988-09-20 | Color liquid crystal display device having light-shielding conductive layers |
EP88309057A EP0317063B1 (en) | 1987-11-18 | 1988-09-29 | Color liquid crystal display device and method of manufacturing thereof |
DE3852617T DE3852617T2 (de) | 1987-11-18 | 1988-09-29 | Farb-Flüssigkristall-Anzeigevorrichtung und ihr Herstellungsverfahren. |
CA000579595A CA1319186C (en) | 1987-11-18 | 1988-10-07 | Color liquid crystal display device and method of manufacturing thereof |
US07/693,621 US5142392A (en) | 1987-11-18 | 1991-04-30 | Color liquid crystal display having light shielding layers and method of manufacturing thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP29167787A JPH0610702B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | カラー液晶表示装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01142712A true JPH01142712A (ja) | 1989-06-05 |
JPH0610702B2 JPH0610702B2 (ja) | 1994-02-09 |
Family
ID=17771994
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29167787A Expired - Lifetime JPH0610702B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | カラー液晶表示装置およびその製造方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US5083853A (ja) |
EP (1) | EP0317063B1 (ja) |
JP (1) | JPH0610702B2 (ja) |
CA (1) | CA1319186C (ja) |
DE (1) | DE3852617T2 (ja) |
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