JPH01133287A - ダイナミックランダムアクセスメモリにおけるセンスアンプ駆動装置およびセンスアンプ駆動方法 - Google Patents

ダイナミックランダムアクセスメモリにおけるセンスアンプ駆動装置およびセンスアンプ駆動方法

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JPH01133287A
JPH01133287A JP62292721A JP29272187A JPH01133287A JP H01133287 A JPH01133287 A JP H01133287A JP 62292721 A JP62292721 A JP 62292721A JP 29272187 A JP29272187 A JP 29272187A JP H01133287 A JPH01133287 A JP H01133287A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明はダイナミックランダムアクセスメモリ等にお
いて用いられるセンスアンプ回路を駆動するための装置
および方法に関し、特にセンスアンプ回路の増幅度の改
良に関する。
[従来の技術] 第9図は従来から用いられ、かつこの発明が適用される
ダイナミックランダムアクセスメモリの読出部の全体の
概略構成を示す図である。第9図において、ダイナミッ
クランダムアクセスメモリは、情報を記憶するためのメ
モリセルが複数個行および列状に配列されたメモリセル
アレイMAと、外部から与えられる外部アドレスを受け
て内部アドレスを発生するアドレスバッファABと、ア
ドレスバッファABからの内部アドレス信号をデコード
して対応するメモリセルアレイの行を選択するXデコー
ダADXと、アドレスバッファABからの内部列アドレ
スをデコードしてメモリセルアレイの対応する列を選択
するためのYデコーダADYと、メモリセルアレイMA
の選択されたメモリセルの有する情報を検知かつ増幅し
、YデコーダADYからの信号に応答し出力バッファO
Bへ伝達するための(センスアンプ+l10)Slと、
(センスアンプ+l10)SIからの読出データを受け
て外部へ出力データDoutを伝達するための出力バッ
ファOBとを備える。またダイナミックランダムアクセ
スメモリの各種動作のタイミングを制御するための制御
信号を発生するための制御信号発生系CGが周辺回路と
して設けられる。
制御信号発生系CGが発生する各制御信号の詳細につい
て後述する。
第10図は第9図に示されるメモリセルアレイ部の構成
の概略を示す図である。第10図において、メモリセル
アレイMAは、複数のワード線WLl、WL2.・・・
WLnおよび複数のビット線BLO,BLO,BLI、
BLI、=・BLm、BL席を含む。ワード線WLI、
・・・WLnの各々にはメモリセルの1行が接続される
。ビット線は折返しビット線を構成し、2本のビット線
が1対のビット線対を構成する。すなわち、ビット線B
LO。
■τ下が1対のビット線対を構成しBLI、BLTが1
対のビット線を構成し、以下同様にしてビット線BLm
、BLmがビット線対を構成する。
各ビット線BLO,BLO,−BLm、BLmには1本
おきのワード線との交点にメモリセル1が接続される。
すなわち、各ビット線対においては、1本のワード線と
1対のビット線のいずれかのビット線との交点にメモリ
セルが接続される構成となる。各ビット線対には各ビッ
ト線対電位を平衡化しかつ所定の電位VBにプリチャー
ジするためのプリチャージ/イコライズ回路150が設
けられる。また各ビット線対には、信号線14.17上
に伝達される信号φ8.φBに応答して活性化され、該
ビット線対の電位差を検知し差動的に増幅するセンスア
ンプ50が設けられる。各ビット線は、YデコーダAD
Yからのアドレスデコード信号に応答して選択的にデー
タ入出力バス■10゜丁7万に接続される。すなわち、
ビ・ノド線BLO。
BLOはそれぞれトランスファゲートTO,TO’を介
してデータ入出力バスI10.I10に接続される。同
様にして、ビット線BLI、BLIはそれぞれトランス
ファゲートT1.TI’を介してデータ入出力バスI1
0.I10に接続され、ビット線BLm、BLmはそれ
ぞれトランスファゲートTm、Tm’を介してデータ入
出力バスI10、Iloに接続される。各トランスファ
ゲートTO,TO’ 、−Tm、 Tm’のゲートには
YデコーダADYからのアドレスデコード信号が伝達さ
れる。これにより1対のビット線がデータ入出力バスI
10.I10に接続されることになる。
第11図は第10図に示されるビット線対のうち1対の
ビット線およびセンスアンプ制御回路の詳細な構成を示
す図である。但し第11図においては図面の煩雑化を避
けるために1本のワード線のみが示される。
1対のビット線2.7を、メモリのスタンバイ時に所定
電位VBにプリチャージしかつビット線2.7電位を所
定電位にイコライズするためのプリチャージ/イコライ
ズ回路150は、プリチャージ信号φPに応答してビッ
ト線2.7へそれぞれ所定のプリチャージ電位vaを伝
達するnチャネル絶縁ゲート電界効果トランジスタ(以
下、単にMOSトランジスタと称す)と、信号線13を
介して与えられるイコライズ信号φEに応答してビット
線2.7を電気的に接続し、それによりビット線2.7
電位をイコライズするnチャネルMOSトランジスタ1
2とから構成される。プリチャージ用のnチャネルMO
Sトランジスタ9,10はともに信号線11を介して与
えられるプリチャージ信号φPに応答してオン状態とな
り、信号線8上に伝達されているプリチャージ電位VB
をそれぞれビット線2.7上へ伝達する。
ビット線2.7の信号を差動的に増幅するセンスアンプ
50は、ゲートとその一方電極が交差接続されてビット
線2.7へそれぞれ接続される1対のpチャネルMOS
)ランジスタ15,16と、その一方電極とゲート電極
とが交差接続されてビット線2.7へそれぞれ接続され
る1対のnチャネルMOS)ランジスタ18,19とか
ら構成される。pチャネルMOSトランジスタ15.1
6の他方電極はともに信号線14に接続され、信号φ^
を受ける。nチャネルMOSトランジスタ18.19の
他方電極は信号線17に接続され、信号線17上の信号
φBを受ける。
第1のセンスアンプ駆動信号線14には、センスアンプ
活性化のタイミングを与える制御信号φ、に応答してオ
ン状態となり電源電位Vccを第1のセンスアンプ駆動
信号線14上に伝達するpチャネルMOS)ランジスタ
24と、ビット線プリチャージ期間中第1のセンスアン
プ駆動信号線14を所定電位に保つためのnチャネルM
OSトランジスタ30と定電圧発生回路100とが設け
られる。
第2のセンスアンプ駆動信号線17には、センスアンプ
活性化のタイミングを与える第2の制御信号φ、に応答
して第2のセンスアンプ駆動信号線17を接地電位に接
続するためのnチャネルMOS)ランジスタ27が設け
られる。
第1のセンスアンプ駆動信号線14を電源電位Vccに
充電するためのpチャネルMOSトランジスタ24は、
センスアンプ活性化信号φRを信号線25を介してゲー
トに受け、電源電位Vccを信号線26を介して受ける
。第2のセンスアンプ駆動信号線17を接地電位に放電
するためのnチャネルMOS)ランジスタ27は第2の
センスアンプ活性化信号φ、を信号線28を介してゲー
トに受ける。
定電圧発生回路100は、電源電位Vccに信号線26
を介してその一方端子が接続される抵抗33と、抵抗3
3にノード32を介して接続されるダイオード接続され
たnチャネルMOS)ランジスタ35と、nチャネルM
OS)ランジスタ35と直列にノード34を介して接続
されるダイオード接続されたpチャネルMOS)ランジ
スタ36と、ノード32上の電位をゲートに受け、電源
電位Vccを信号線26を介して受け、ノード29へ所
定電位を伝達するnチャネルMOSトランジスタ31と
を備える。nチャネルMOS)ランジスタ30は、プリ
チャージ信号φPに応答してオン状態となり、ノード2
9上の電位を第1のセンスアンプ駆動信号線14上へ伝
達する。
nチャネルMOSトランジスタ35はそのゲートおよび
ドレインがノード32に接続され、ノード32の電位を
ノード34の電位よりそのしきい値電圧V、Nだけ高く
する。pチャネルMOSトランジスタ36はそのゲート
とドレインとが接続され、かつ信号線8を介してプリチ
ャージ電位VBに接続される。したがってノード34に
はプリチャージ電位Vaよりそのしきい値電圧vTeの
絶対値だけ高い電圧が与えられる。抵抗33はノード3
2に電圧のみを供給するために設けられ、数M〜数10
MΩの大きな抵抗値を有する。この構成によりノード3
2の電位はVB + l V7 p  l十vT、とな
る。nチャネルMO3)ランジスタ31はしきい値電圧
VTNを有し、したがってノード29へVB+1vTP
 1の電位を伝達する。
メモリセル1はそのゲートがワード線3に接続され、そ
のソースがビット線2に接続されるトランスファゲート
5と、トランスファゲート5のドレインにノード4を介
して接続される容量6とを備える。ノード4にメモリセ
ル1のデータが記憶される。すなわちノード4はいわゆ
るストレージノードである。
ワード線3の選択時にはワード線駆動信号Rnが伝達さ
れ、これによりnチャネル絶縁ゲート電界効果トランジ
スタからなるトランスファゲート5がオン状態となり、
メモリセル1が有する情報がビット線2上に伝達される
。ビット線7に接続されるメモリセルは示していないが
、ワード線3とビット線7との交点にはメモリセルは設
けられず、したがって第11図の構成によりメモリセル
1が選択された場合、ビット線2に対する基準電位をビ
ット線7が与えることになる。
ビット線2,7はそれぞれ寄生容ff120. 21を
有し、第1のセンスアンプ駆動信号線14,17はそれ
ぞれ寄生容ff122.23を有する。
第12図は第11図に示される回路構成の動作を説明す
るための波形図であり、第12図においては、メモリセ
ル1に論理“1”のデータが記憶されており、このメモ
リセル1が記憶する情報“1″を読出す場合の動作が示
される。ここでメモリセル1からのデータ読出動作を説
明するためには、前のサイクルからの動作を説明する必
要があるため、第12図には前のサイクルにおける動作
波形図も併せて示される。
以下、第11図および第12図を参照してメモリセル1
の有する論理“1“のデータを読出す場合の動作につい
て説明する。
前サイクルにおいて、ビット線2またはビット線7に接
続されたメモリセルからデータを読出したことにより、
今ビット線2の電位がOV1ビット線7の電位がVcc
の状態になっているとする。
もちろんこの状態は限定されたものではなく、前サイク
ルで読出されたメモリセルのデータによっては逆の状態
もあり得る。前サイクルでメモリセルを選択したワード
線(図示せず)のレベルがOVになった後、時刻toに
おいてセンスアンプ駆動信号φ、3 φ、がそれぞれ下
降、上昇し始め、MOSトランジスタ27.24がとも
に非導通状態となり、センスアンプ50が非活性化され
る。
次に時刻t1においてビット線の平衡化信号φEが上昇
し始めると、イコライズ用のMOS)ランジスタ12が
導通する。この結果、電位の高いビット線7側から電位
の低いビット線2側へ電荷が移動し、ビット線2,7の
電位はともにVcc/2に平衡化される。各ビット線2
,7の電位がV c c / 2になるまでに、センス
アンプ駆動信号線14.17の間が、センスアンプ50
に含まれるMOSトランジスタにより導通し、電位の高
いセンスアンプ駆動信号線14から電位の低いセンスア
ンプ駆動信号線17側へ電荷が移動する。すなわち、セ
ンスアンプ駆動信号線14の電位は、ビット線のイコラ
イズ電位V c c / 2よりMOSトランジスタ1
5.16のしきい値電圧VTPの絶対値分タケ高いVc
 c/2+ l Vv p  lとなり、一方、センス
アンプ駆動信号線17の電位はビット線のイコライズ電
位Vcc/2よりMOSトランジスタ18.19のしき
い値電圧VTNだけ低い電位Vcc/2−VTNになる
次に時刻t2において、ビット線2.7の電位をV c
 c / 2レベルに安定化するために、プリチャージ
用のクロック信号φPが0ボルトから上昇し、これによ
りプリチャージ用のMO3I−ランジスタ9,10が導
通状態となり、V c c / 2の電位を有する電源
線8がビット線2.7と接続される。ここでプリチャー
ジ電位Vaは動作電源電位Vccの半分すなわちV c
 c / 2に設定されている。
時刻t3において、プリチャージ用クロック信号φPの
上昇が終了して前のサイクル動作が終了する。
次に時刻t4において、ビット線2,7の平衡化と充電
とを終了して現サイクルを開始するため、ビット線イコ
ライズ用信号φEとプリチャージ用クロック信号φPが
ともに下降を始め、これによりMOSトランジスタ9,
10.12が非導通状態となる。
時刻t5において、Xデコーダからの行アドレスデコー
ド信号に応答してワード線3が選択されるとワード線選
択信号Rnがワード線3上に伝達されワード線3電位が
上昇する。この結果、MOSトランジスタ5が導通し容
量6に蓄積されていた電荷がビット線2側へ移動し、ビ
ット線2の電位が上昇を始める。このビット線2の電位
変化はセンスアンプ50に含まれるMOSトランジスタ
19を導通させ、この結果ビット線7、センスアンプ駆
動信号線14.17の電位がそれぞれ応じて変化する。
このビット線7、センスアンプ駆動信号線14.17の
電位変化の詳細は後述する。
このビット線2の電位変化は微小(数100mV)であ
りかつ一般に数10nSの立上がり時定数を有している
時刻t6において、センスアンプ駆動信号φ。
が上昇しこのビット線2.7間の微小な信号差をセンス
アンプ50を駆動して増幅する。このときセンスアンプ
50を安定に動作させるためにはできるだけその入力信
号、すなわちビット線2.7の電位差が大きい方が好ま
しい。このビット線2゜7の電位差を大きくするには時
刻t5と時刻t6との時間間隔を大きくする必要がある
が、メモリセルのデータ読出速度を早くするために、一
般社時刻t5から時刻t6の間は15〜25nSに設定
されている。
時刻t7において、センスアンプ50による信号電位差
の増幅が終了しビット線7の電位が接地電位になり、電
位差がさらに大きくされる。
次に時刻t7において同様にビット線充電信号φ、が下
降すると、充電用のMOSトランジスタ24がオン状態
となり、センスアンプ駆動信号線14の電位が電源電位
Vccに上昇する。この結果、センスアンプ50のMO
Sトランジスタ15を介してビット線2の電位も電源電
位Vccレベルにまで充電される。これによりセンスア
ンプ50によるセンス動作が完了する。ここで信号φ。
がトリガする動作をセンス動作、信号φ、がトリガする
動作をリストア動作と区別する場合もあるが、以下の説
明では両者を含めてセンス動作と規定する。
ビット線2.7の電位がそれぞれ電源電位VcC1接地
電位Ovに確定した後に、Yデコーダ出力によりビット
線2.7がそれぞれデータ入出力バスI10.I10に
接続され、データの読出しが行なわれる。
[発明が解決しようとする問題点1 次ビット線のデータ読出時における微小電位変化につい
て第13図および第14図を用いて詳しく説明する。
第13図はセンスアンプを介したセンスアンプ駆動信号
線とビット線との間の電荷の移動および各信号線におけ
る電位変化後の電位を示す図である。
第14図はメモリセルデータ読出時における各信号線に
おける電位変化を示す図である。以下、第13図および
第14図を参照してメモリセルデータ読出時におけるビ
ット線上の微小電位変化について詳しく説明する。
今メモリセル1から論理“1°のデータを読出す場合を
考える。この場合、ワード線3に与えられるワード線駆
動信号Rnが立上がり、その電位レベルがVCC/2+
VT’Nを超えると、メモリセル1のMOS)ランジス
タ5が導通を始め、ビット線2とノード4とが接続され
、これによりノード4からビット線2に向かって電荷が
移動してビット線2の電位が上昇する。このビット線2
の電位上昇により、MOSトランジスタ19が導通を始
め、ビット線7からセンスアンプ駆動信号線17に向か
って電荷が移動する。これによりセンスアンプ駆動信号
線17の電位が上昇するとともにビット線7の電位が低
下する。このビット線7の電位が低下することによりM
OSトランジスタ15が導通し、センスアンプ駆動信号
線14からビット線2に向かって電荷が移動し、ビット
線2の電位が上昇する。この上述の現象が繰返されると
ビット線2の電位が次第に大きくなっていくように考え
られるが、実際にはセンスアンプ駆動信号線17の寄生
容量21の容量値がビット線7の寄生容量28の容量値
に比べて小さいため、センスアンプ駆動信号線17の電
位がビット線7の電位低下よりも早く上昇し、これによ
りMOSトランジスタ19が導通しにくくなり、ビット
線2の電位上昇が比較的小さな値で留まる。このビット
線2の電位上昇をさらに大きくするためには、センスア
ンプ駆動信号線17に容量を付加することが考えられる
が、この方法ではビット線7からの放電経路の放電の時
定数が大きくなり、却ってビット線7の電位低下が小さ
くなる場合も生じる。
上述のビット線2.7における電位変化の現象は過渡現
象であり、その詳細は過渡現象の計算が必要であるが、
ここでは後述の本発明の構成と大まかに比較する目的の
ために、電荷の移動が停止した最終状態について第13
図を用いて説明する。
今第13図に示されるように、電荷移動後のビット線2
,7、センスアンプ駆動信号線14,17の電位変化を
それぞれΔV+ΔV2、Δ■7、ΔV14、ΔV17と
する。ここでΔVはメモリセル1からの論理“12デー
タを読出したことにより生じた電位変化量である。また
寄生容量20゜21.27.28の容量値をそれぞれC
20,C21、C27,C28とする。
まずビット線2とセンスアンプ駆動信号線14との間の
電荷の移動を考える。この場合、電荷の保存則により、 (VCC/2+ΔV)−C27 + (VCC/2+1VTP  l) ・C2O−(V
cc/2+ΔV+ΔV2)−C27+ (Vc c/2
+ l VT P  l−ΔV14)・C20゜ すなわち、 C27−ΔV2−C20−ΔV14  =・ (1)同
様にビット線7とセンスアンプ駆動信号線17との間で
の電荷の保存則を考えることにより、C28・ΔV7−
C21・ΔV17  ・・・(2)が得られる。またM
OSトランジスタ19が非導通状態となり、センスアン
プ駆動信号線17への電荷の移動が停止するということ
がら、V c c / 2+ΔV+ΔV2−VT。
=Vcc/2  VTN+ΔV17 すなわち、 ΔV+ΔV2−ΔV17       ・・・(3)同
様に、MOSトランジスタ15が非導通状態となり、ビ
ット線2への電荷の移動が停止するということから、 V c c / 2−ΔV7+IVTP  I−Vc 
c/2+ l V7 F  +−ΔV14すなわち、 ΔV7−ΔV14           ・・・(4)
が得られる。上式(4)を上式(2)へ代入することに
より、 C28・ΔV14−C21・ΔV17  ・・・(5)
が得られる。
一方、上式(1)より、 ΔV14− (C27/C20)−ΔV2−(6)とな
る。この式(6)を式(5)へ代入すると、(C27−
C28/C20)−ΔV2 −C21・ΔV17 すなわち、 ΔV17− (C27・C28/C20・C21)・Δ
V2          ・・・(7)式(7)を式(
3)へ代入すると、 ΔV−1(C27・C28/C20・C21)−1) 
・ΔV2 すなわち、 ΔV2−ΔV/f(C27・C28/C20・C21)
−11・・・(8) 同様にして、 ΔV7鳴ΔV14 ミΔV/ f (C28/C21) −(C20/C27)l    ・・・(9)ΔV17
− (C28/C21)  ・ΔV14−ΔV/ (1
−(C20・C21 /C27・C28)l   ・・・(10)今ココテ、
(C27−C28):  (C20−C21):;10
 : 1.かつΔV〜200mVとすると、 ΔV2=200/99”=2mV。
AV7−ΔV14−1.IX200 −220mV。
ΔV17−100・200/99=202mV。
となる値が得られる。上述の値を用いると、センスアン
プ50へ与えられる人力電位差VSは、Vs=V2−V
7            ・・・(11)−Vcc/
2+ΔV+Δv2 −  (Vcc/2−ΔV7) 一ΔV+ΔV2+Δv7 −200+2+220 ■422mV となる。この値は、時刻t5と時刻t6の間を無限大に
した場合の値であり、この値は、実際にはメモリセルデ
ータの高速読出しのために、比較的短い有限の時間(た
とえば15〜25ns)に設定する必要がある。
また一方において、隣接ビット線間の容量結合による電
圧ノイズ、またさらに実際のメモリデバイス製造時にお
いて付随的に生じるビット線間の電気的非平衡によりビ
ット線間の電位は上述の値の1/3〜1/4程度の大き
さとなり、センスアンプ回路の動作余裕度が小さくなる
という問題が生じる。すなわち、センスアンプが正確に
動作するためには人力信号の電位差が大きいほどよいが
、上述のようにセンスアンプへの人力信号電位差が小さ
くなり、センスアンプ回路の動作余裕度が小さくなり確
実なセンス動作ができない場合が生じるという問題があ
った。
それゆえこの発明の目的は上述のような従来のダイナミ
ックランダムアクセスメモリにおけるセンスアンプへの
入力電位差が小さくなるという欠点を除去し、ビット線
対間のデータ読出し時の電位差を大きくしこれによりセ
ンスアンプの動作を安定および/または高速にすること
が可能となるセンスアンプの駆動装置および方法を提供
することである。
[問題点を解決するための手段] この発明に係るランダムアクセスメモリにおけるセンス
アンプ駆動装置および方法は、センスアンプを駆動する
1対のセンスアンプ駆動信号線の間に、メモリセルデー
タ読出時において生じる一方の駆動信号線の電位変化を
他方のセンスアンプ駆動信号線に伝達する伝達手段を設
けたものである。
この電位変化伝達手段はセンスアンプの動作時の前に非
能動化される。好ましくは電位変化伝達手段は結合容量
手段により構成される。
この1発明に係るセンスアンプの駆動方法は、1対のセ
ンスアンプ駆動信号線を容量結合し、メモリセルデータ
を読出し、1対のセンスアンプ駆動信号線を電気的に分
離し、次にセンスアンプを能動化するステップを備える
[作用] この発明に係るセンスアンプの駆動装置および方法に従
えば、メモリセルデータ読出時において生じる一方のビ
ット線の電位変化は、一方のセンスアンプ駆動信号線か
ら電位変化伝達手段を介して他方のセンスアンプ駆動信
号線へ伝達され、さらにセンスアンプに含まれるトラン
ジスタを介して他方のビット線へ伝達される。これによ
りメモリセルデータ読出時におけるビット線対間の電位
差を大きくすることができ、センスアンプの動作マージ
ンを拡大することができる。
[発明の実施例] 以下、この発明の一実施例について第1図を参照して説
明する。
第1図はこの発明の一実施例であるセンスアンプ駆動装
置を示す図であり、第11図に示される従来のセンスア
ンプシステムの部分に対応する部分には同一の参照番号
が付されている。
第1図に示される装置構成と第11図に示される従来の
装置構成とを比較すれば明らかなように、この発明の一
実施例においては、第1のセンスアンプ駆動信号線14
と第2のセンスアンプ駆動信号線17との間に、一方の
センスアンプ駆動信号線に生じる電位変化を他方のセン
スアンプ駆動信号線へ伝達するための電位変化伝達回路
44が設けられる。
電位変化伝達回路44は、その一方導通端子が第1のセ
ンスアンプ駆動信号線14に接続され、その他方導通端
子がノード37に接続され、そのゲートがクロック信号
φTに結合されるpチャネルMOSトランジスタ38と
、ノード37とノード40との間に設けられる容ff1
41と、その一方導通端子がノード40に接続され、そ
の他方導通端子が第2のセンスアンプ駆動信号線17に
接続され、そのゲートが信号線43を介してクロック信
号φ丁に結合されるnチャネルMOSトランジスタ42
とから構成される。この電位変化伝達回路44は、第2
のセンスアンプ駆動信号線17に生じた電位変化を容量
結合により第1のセンスアンプ駆動信号線14上へ伝達
し、これによりセンスアンプに含まれるトランジスタを
介して一方のビット線から他方のビット線へ電荷を転送
する機能を有している。
第2図は第1図に示されるセンスアンプ駆動装置を用い
た際の動作を示す波形図であり、メモリセルデータ読出
時における各信号線の電位変化を示す図である。なお第
2図の動作波形図において、センスアンプ駆動信号φ1
、φ5、プリチャージ信号φP1イコライズ信号φE1
およびワード線駆動信号Rnの動作タイミングは従来と
同様である。なお以下の説明において各ビット線をプリ
チャージする電位■8は動作電源電位Vccの半分すな
わちV c c / 2であるとして説明する。以下、
第1図および第2図を参照してこの発明の一実施例であ
るセンスアンプ駆動装置の動作について説明する。
従来と同碌にして、行アドレスデコード信号に応答して
ワード線3が選択され、ワード線3上へワード線駆動信
号Rnが伝達され、ワード線駆動信号Rnが上昇し始め
る。そして時刻tAにおいてワード線駆動信号RnがV
CC/2+VTN(VT Nはメモリセル1に含まれる
トランスファゲートトランジスタ5のしきい値電圧)に
達したときメモリセル1のNチャネルMOSトランジス
タ5が導通を始め、これによりメモリセル1から論理“
1”のデータが読出される。すなわち、メモリセル1の
容量6に蓄えられていた電荷がMOSトランジスタ5を
介してビット線2側へ移動し、ビット線2の電位が上昇
し始める。このビット線2の電位上昇に伴ってMoSト
ランジスタ19が導通し始める。この結果、ビット線7
の寄生容量21に蓄えられていた電荷がMOS)ランジ
スタ19を通して第2のセンスアンプ駆動信号線17に
移動し、その電位を上昇させるように働く。−方、この
とき、クロック信号φT、φ丁はそれぞれ0、Vccレ
ベルにあるため、電位変化伝達回路44のMoSトラン
ジスタ38.42はともに十分に導通した状態となって
いる。この結果第2のセンスアンプ駆動信号線17に生
じた電位変化はそのまま結合容量41を介して第1のセ
ンスアンプ駆動信号線14へ伝えられる。このとき、M
OSトランジスタ15は、ビット線7のMOSトランジ
スタ19を介した放電により電位低下し、導通状態とな
っている。したがって第1のセンスアンプ駆動信号線1
4へ伝えられる電位変化量はMOSトランジスタ15を
介してビット線2へ伝達され、これによりビット線2の
電位がさらに上昇する。以下、ビット線2の電位上昇に
伴いMOSトランジスタ19はオン状態、ビット線7の
電位下降に伴いNチャネルMOSトランジスタ15はオ
ン状態を保持するため、ビット線7の電荷がMOSトラ
ンジスタ19→第、2のセンスアンプ駆動信号線17→
MOSトランジスタ42→容j141→MOSトランジ
スタ38→第1のセンスアンプ駆動信号線14−MOS
トランジスタ15を通してビット線2に伝達されたこと
になる。この結果、ビット線2の電位はメモリセル1か
ら読出された電位以上に変化し、一方ビット線7の電位
も次第に下降していく。このときセンスアンプ駆動信号
線14.17は単に上述の電荷移動媒体としてのみ機能
するため、この電位φ、、φBは変化せず、それぞれV
CC/2+1VTF  l、Vcc/2VTNである。
次に時刻tBにおいてクロック信号7、φTをそれぞれ
上昇、下降させることによりMOSトランジスタ38.
42がともにオフ状態となり、センスアンプ駆動信号線
14゜17が電気的に分離される。
次に時刻tcにおいてセンスアンプ駆動信号φ、が立上
がりメモリセルデータのセンス動作が行なわれることに
なる。このとき、この実施例においては、既にビット線
2,7のそれぞれで互いに逆方向に電位変化が生じてい
るため、従来に比べて約2倍の電位差が生じていること
になり、センスアンプ50に対する読出マージンを大き
くすることができ、その動作の安定化を図ることができ
る。
また、従来のメモリデバイスと同一のビット線対の電位
差の時点でセンスアンプ50を動作させる場合には、そ
の電位差に達する時間が従来よりも大幅に短縮されてい
るため、従来の装置よりも早い時点でセンスアンプ50
を動作させることができ、高速データ読出しが可能とな
る。
また、センスアンプ50の動作は時刻tcにおいてセン
スアンプ駆動信号φ、を上昇させ、MOSトランジスタ
27をオン状態として、第1のセンスアンプ駆動信号線
17の電位をV c c / 2−VTNから接地電位
Ovへ下降させることにより行なわれるが、この電位変
化が容量41を介して第2のセンスアンプ駆動信号線1
4上へ伝わらないようにするために時刻tcの直前の時
刻t6において、MOSトランジスタ38.42をとも
に非導通状態として、第1と第2のセンスアンプ駆動信
号線を電気的に分離する。
なお、上記実施例ではメモリセル1が“1″を記憶して
いる状態についても説明したが、それが“0°を記憶し
た状態でも同様の議論が成立する。
このときは、ビット線2の電位が下降するが、ビット線
2→MOSトランジスタ18→容量41−MOSトラン
ジスタ16→ビツト線7の糸路で電荷が移動する。
第3図は電位変化伝達回路44の動作を制御するための
クロック信号を発生する回路構成を概略的に示す図であ
る。第3図に示される構成においては、ワード線駆動信
号Rnを所定時間遅延させて出力する遅延回路200と
、遅延回路200からの信号に応答してクロック信号φ
丁、φ丁を発生するクロック信号発生回路201と、ク
ロック信号φ工を所定時間遅延させて出力する遅延回路
202と、遅延回路202からの信号に応答してセンス
アンプ駆動信号φ8.φ、をそれぞれ発生するセンスア
ンプ駆動信号発生回路203とから構成される。この構
成において、クロック信号発生回路201は、ワード線
駆動信号Rnが立上がった後所定時間経過後それぞれク
ロック信号φT。
77をそれぞれ下降、上昇させる。センスアンプ駆動信
号φ5.φ、はそれぞれクロック信号φ丁が立下がった
後所定時間経過後に上昇、下降する。
ここで、クロック信号φ丁、φ丁のそれぞれの立上がり
開始時点および立下がり開始時点を明確に示していない
が、この開始時点は、センスアンプ駆動信号φ、が立上
がってビット線対の電位差が拡大された後であればどの
時点であってもよい。
すなわち電位変化伝達手段44はメモリセルデータ続出
時におけるビット線対間の電位差を増幅してセンスアン
プの人力電位差を大きくするものであるため、第1のセ
ンスアンプ駆動信号線14と第2のセンスアンプ駆動信
号線17とが電気的に分離されるのはビット線対間の電
位差センス時において第2の駆動信号線の電位下降が第
1の駆動信号線に伝わらないようにするタイミングであ
ればどの時点でもよい。なお、第3図の構成において遅
延回路200.202が有する遅延時間はそれぞれのメ
モリデバイスの設計において適当な値に設定される。
なお上記実施例においては、センスアンプ駆動信号線1
4.17の分離のためにpチャネルMOSトランジスタ
とnチャネルMOSトランジスタをそれぞれ1個用いて
構成しているが、この構成に代えて第4図および第5図
にそれぞれ示されるように同一導電型のチャネルを有す
るMOSトランジスタを用いても上記実施例と同一の効
果が得られる。ここで第4図は2つのnチャネルMOS
トランジスタ42.42’が用いられた場合の回路構成
を示し、第5図はpチャネルMOSトランジスタ38.
38’が用いられまた場合の構成を示す。但しこの構成
の場合においては、クロック信号の極性をそれぞれ逆に
する必要がある。
さらに第4図、第5図に示される構成においては、MO
Sトランジスタを2個用いた構成を示しているが、これ
に代えて第6図、第7図に示されるように1個のMOS
トランジスタを用いて伝達回路44を構成しても上記実
施例と同様の効果が得られる。すなわち、第6図の構成
においては、容f141と第2のセンスアンプ駆動信号
vA17との間にnチャネルMOSトランジスタ42が
設けられる。このnチャネルMOSトランジスタ42の
ゲートに信号線43を介してタロツク信号φ丁が与えら
れる。第7図の構成においては、第1のセンスアンプ駆
動信号線14と容量41との間にnチャネルMOS)ラ
ンジスタ42′が設けられる。さらに第6図、第7図の
構成においてnチャネルMOSトランジスタ42.42
’ に代えて、それぞれnチャネルMOS)ランジスタ
を用いても同様の効果が得られる。ただこの場合は容量
41にセンス動作時に不要の電流が流れ、消費電力の若
干の増大をもたらすことが考えられるが、実用上は支障
はなく、上記実施例と同様の効果が得られる。ここで、
第6図、第7図に示されるnチャネルMOS)ランジス
タの代わりにnチャネルMOSトランジスタを用いた場
合には、クロック信号φTの極性を逆にする必要がある
さらに第1図に示される実施例においては所謂ダミーセ
ルを省略したが、このビット線にダミーセルを接続すれ
ばさらに本願発明の効果が改善される。
このダミーセル方式においては、たとえば第8図に示さ
れるようにダミーワード線62.65が設けられ、かつ
ビット線2とダミーワード線65の交点にメモリセル1
のMOS)ランジスタ5と同一形状のMOSトランジス
タ64が接続され、また、ダミーワード線62とビット
線7との交点に同様にMOSトランジスタ5と同一形状
のMOSトランジスタ61が設けられる。ワード線3が
選択され、ワード線駆動信号Rnがワード線3に伝達さ
れ、ワード線3の電位がOVからVccまで上昇する場
合、ワード線3とビット線2との間の寄生窓ff160
によりワード線とビット線とが結合して、ビット線2の
電位がわずかに持ち上がることが考えられる。これを避
けるために、ビット線7側にダミーワード線62との交
点に設けられたMOSトランジスタ5と同一形状のMO
S)ランジスタロ1によりダミーワード線62とビット
線7と間に同様の寄生容量63を形成しこれによリピッ
ト線2側と同一の結合電圧をビット線7にも与え、容量
結合による電圧ノイズが相殺される。
すなわちワード線3が選択された場合にダミーワード線
62が選択され、そのダミーワード線62上にダミーワ
ード線駆動信号DRnが伝達される。
一方、ビット線7が選択された場合にはダミーワード線
65が選択され、ダミーワード線65上にダミーワード
線駆動信号DRnが伝達される。このダミーワード線駆
動信号DRn、DRnはともにワード線駆動信号Rnと
同一タイミングで発生されかつ同一形状の波形を有して
いる。また、このダミーワード線駆動信号DRn、DR
nは、行アドレスデコード信号に基づいて容易に発生す
ることができる。上述のように、第1図に示される構成
において第8図に示されるダミーセル方式を適用すれば
さらにセンスアンプの安定動作を図ることが可能となる
さらに上記実施例においては、センスアンプ50の駆動
を、センスアンプ駆動信号線17を用いて放電動作を先
に行なったが、これはセンスアンプ駆動信号線14を用
いて先に充電動作を行なった場合においても上記実施例
と同様の効果が得られる。すなわちセンスアンプ駆動信
号φS、φにのどちらが先に活性状態に移行してもよい
さらに、上記実施例においては1 / 2 V c c
プリチャージ方式のメモリデバイスについて説明したが
、Vccプリチャージ方式のメモリデバイスにも本願発
明は適用可能である。ただし、このとき、第1の駆動信
号線14をプリチャージ電位よりも高い電位に保持する
必要があるため、第1図において信号線28に与えられ
る電源電位Vccを、この動作電源電位Vccよりも高
い電位VcC′にする必要がある。
[発明の効果] 以上のようにこの発明によれば、第1のセンスアンプ駆
動信号線と第2のセンスアンプ駆動信号線との間に、メ
モリセルデータ読出時において第2のセンスアンプ駆動
信号線に生じる電位変化を第1のセンスアンプ駆動信号
線へ伝達する電位変化伝達回路を設けたので、この伝達
された電荷(すなわち電位変化)がセンスアンプを介し
てビット線対間を伝達されたことになり、メモリセルデ
ータ読出時におけるビット線対間の電位差を拡大するこ
とができ、これによりセンスアンプ動作時における入力
電位差を大きくすることができ、センスアンプの動作マ
ージンを大きくすることができるとともに、従来と同一
のビット線対間電位差の時点でセンスアンプを駆動すれ
ば従来よりも早い時点でセンスアンプを活性化すること
が可能となり、高速データ読出しが可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の一実施例であるダイナミックランダ
ムアクセスメモリにおけるセンスアンプ駆動装置の構成
を示す図である。第2図はこの発明の一実施例であるセ
ンスアンプ駆動装置を動作させた場合の各信号線による
電位変化を示す波形図である。第3図はこの発明の一実
施例である電位変化伝達回路の動作を制御するためのク
ロック信号を発生するための回路構成の一例を示す図で
ある。第4図は第1図に示される電位変化伝達回路の第
1の変型例を示す図である。第5図は第1図に示される
電位変化伝達回路の第2の変型例を示す図である。第6
図は第1図に示される電位変化伝達回路の第3の変型例
を示す図である。第7図は第1図に示される電位変化伝
達回路の第4の変型例を示す図である。第8図はこの発
明の他の実施例においてビット線構成にダミーセル方式
を適用した際の構成の一例を示す図である。第9図は従
来から用いられ、この発明が適用されるダイナミックラ
ンダムアクセスメモリの読出部における概略構成を示す
図である。第10図は第9図に示されるメモリセルアレ
イ部の詳細な構成を示すブロック図である。第11図は
従来の1対のビット線の構成およびセンスアンプおよび
センスアンプ駆動系の構成を示す図である。第12図は
従来のセンスアンプ駆動方式における各信号線上の電位
変化を示す図である。第13図はメモリセルデータ読出
時におけるビット線およびセンスアンプ駆動信号線上の
電位変化および電荷の流れを示す図である。第14図は
従来のセンスアンプにおけるメモリセルデータ読出時に
おける各信号線上の電位変化を示す図である。 図において、1はメモリセル、2.7はビット線、3は
ワード線、14は第1のセンスアンプ駆動信号線、17
は第2のセンスアンプ駆動信号線、44は電位変化伝達
回路、50はセンスアンプ、100は定電圧発生回路、
150はビット線対プリチャージ/イコライズ回路であ
る。 なお、図中、同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)各々に複数のメモリセルが接続される第1および
    第2のビット線を対をなすように繰返し配列して構成さ
    れる複数のビット線対と、前記複数のビット線対の各々
    に設けられ、第1および第2の信号線を介して伝達され
    る信号に応答して活性化され、対応のビット線対の信号
    を差動的に増幅する複数のセンスアンプとを有するダイ
    ナミックランダムアクセスメモリにおけるセンスアンプ
    駆動装置であって、前記第1および第2の信号線の間に
    設けられ、前記第2の信号線の電位変化を前記第1の信
    号線に伝達する電位変化伝達手段と、前記メモリセルの
    情報読出タイミングを規定する制御信号に応答して前記
    電位変化伝達手段の動作を制御する信号を発生する制御
    信号発生手段とを備える、ダイナミックランダムアクセ
    スメモリにおけるセンスアンプ駆動装置。
  2. (2)前記電位変化伝達手段は、前記制御信号発生手段
    出力に応答して前記センスアンプの活性化の前に非活性
    化され、前記第1の信号線と第2の信号線を電気的に分
    離する手段を含む、特許請求の範囲第1項記載のダイナ
    ミックランダムアクセスメモリにおけるセンスアンプ駆
    動装置。
  3. (3)前記電気的分離手段は、選択されたメモリセルの
    情報が、前記メモリセルの情報読出タイミングを規定す
    る制御信号に応答して、対応するビット線上に伝達され
    る前に活性化される、特許請求の範囲第2項記載のダイ
    ナミックランダムアクセスメモリにおけるセンスアンプ
    駆動装置。
  4. (4)前記電位変化伝達手段は、前記第1の信号線と前
    記第2の信号線とを容量的に結合する容量結合手段を含
    む、特許請求の範囲第1項記載のダイナミックランダム
    アクセスメモリにおけるセンスアンプ駆動装置。
  5. (5)前記電位変化伝達手段は、前記制御信号発生手段
    出力に応答してオフ状態となるスイッチング手段と、前
    記スイッチング手段と直列に接続される容量手段とを含
    む、特許請求の範囲第1項記載のダイナミックランダム
    アクセスメモリにおけるセンスアンプ駆動装置。
  6. (6)前記電位変化伝達手段は、容量と、前記容量と前
    記第1の信号線との間に設けられ、前記制御信号発生手
    段出力に応答してオフ状態となる第1の絶縁ゲート電界
    効果トランジスタと、前記容量と前記第2の信号線との
    間に設けられ、前記制御信号発生手段出力に応答してオ
    フ状態となる第2の絶縁ゲート電界効果トランジスタと
    を備える、特許請求の範囲第1項記載のダイナミックラ
    ンダムアクセスメモリにおけるセンスアンプ駆動装置。
  7. (7)前記電位変化伝達手段は、前記第1の信号線に結
    合される一方電極と、他方電極とを有する容量と、前記
    容量の前記他方電極と前記第2の信号線との間に設けら
    れ、前記制御信号発生手段出力に応答してオフ状態とな
    る第3の絶縁ゲート電界効果トランジスタとを備える、
    特許請求の範囲第1項記載のダイナミックランダムアク
    セスメモリにおけるセンスアンプ駆動装置。
  8. (8)前記電位変化伝達手段は、前記第2の信号線に結
    合される一方電極と、他方電極とを有する容量と、前記
    容量の前記他方電極と前記第1の信号線との間に設けら
    れ、前記制御信号発生手段出力に応答してオフ状態とな
    る第4の絶縁ゲート電界効果トランジスタとを備える、
    特許請求の範囲第1項記載のダイナミックランダムアク
    セスメモリにおけるセンスアンプ駆動装置。
  9. (9)前記センスアンプは、前記第1のビット線と前記
    第2のビット線との間に設けられ、その一方電極とゲー
    ト電極とが交差接続する形態で設けられ、かつ他方電極
    に前記第2の信号線が結合される1対のnチャネル絶縁
    ゲート電界効果トランジスタと前記第1のビット線と前
    記第2のビット線との間に設けられその一方電極とゲー
    ト電極とが交差接続する接続形態で設けられ、かつその
    他方電極が前記第1の信号線が結合される1対のpチャ
    ネル絶縁ゲート電界効果トランジスタとを備え、前記第
    1の信号線には前記ビット線のプリチャージ期間中に前
    記第1の信号線電位をプリチャージ電位より前記pチャ
    ネル絶縁ゲート電界効果トランジスタのしきい値電圧の
    絶対値よりも高い値に保持する手段が設けられる、特許
    請求の範囲第1項記載のダイナミックランダムアクセス
    メモリにおけるセンスアンプ駆動装置。
  10. (10)前記第1のビット線および第2のビット線の各
    々に接続され、前記複数のメモリセルの各々が有する容
    量と同容量の容量値を有するダミーセルをさらに備える
    、特許請求の範囲第1項記載のダイナミックランダムア
    クセスメモリにおけるセンスアンプ駆動装置。
  11. (11)各々に複数のメモリが接続された第1および第
    2のビット線が対をなすように配列されて構成される複
    数のビット線対と、前記複数のビット線対の各々に設け
    られ、第1および第2の信号線を介して伝達される信号
    に応答して活性化され、対応のビット線対の信号を差動
    的に増幅する複数のセンスアンプとを有するダイナミッ
    クランダムアクセスメモリのセンスアンプ駆動方法であ
    って、前記第1の信号線と第2の信号線とを容量結合す
    るステップと、前記複数のメモリセルにアクセスして、
    選択されたメモリセルの有する情報を対応のビット線上
    へ伝達するステップと、前記第1の信号線と前記第2の
    信号線とを電気的に分離して前記センスアンプを活性化
    するステップとを備える、ダイナミックランダムアクセ
    スメモリにおけるセンスアンプ駆動方法。
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