JPS6252790A - 半導体メモリのセンスアンプ系 - Google Patents

半導体メモリのセンスアンプ系

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JPS6252790A
JPS6252790A JP60191543A JP19154385A JPS6252790A JP S6252790 A JPS6252790 A JP S6252790A JP 60191543 A JP60191543 A JP 60191543A JP 19154385 A JP19154385 A JP 19154385A JP S6252790 A JPS6252790 A JP S6252790A
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JP
Japan
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sense amplifier
sense
transistor
drive signal
sensing
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Application number
JP60191543A
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English (en)
Inventor
Takayasu Sakurai
貴康 桜井
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体メモリのセンスアンプ系に係り、特にラ
ッチ型センスアンプをプリチャージするセンスアンププ
リチャージ回路に関する。
〔発明の技術的背景〕
第3図は従来の半導体メモリ、たとえばCIJOS(相
補性絶縁ゲート型)構成のDRAM(ダイナミック型ラ
ンダムアクセスメモリ)Kおける1つのカラムのセンス
アンプ系およびセンスアンププリチャージ回路を取り出
して示している。即ち、BL,BLはピット線対であシ
、それぞれ4数のメモリセルと1個のダミーセルとが接
続されている(代表的に1個のメモリセルUCを図示し
ている)。WE,は上記メモリセル1、(Cを選択する
ワード線、1はプリチャージ信号φPRにより駆動され
、前記ピッ}@BI,,BLをプリチャージおよびイコ
ライズするためのビット線プリチャージ回路であり、プ
リチャージ用uosトtンジスタQ1tQ1およびイコ
ライズ用MOSトランジスタQ,を有する。SAは前記
ビット線BLtBL間に接続されたラッチ型センスアン
プであり、NチャネルMO8トランジスタQ4とPチャ
ネル[08}ラ/ジスタQ1とが直列接続され、Nチャ
ネルhJOBトランジスタQ6とPチャネルV08トラ
ンジスタQ,とが直列接続され、上記トランジスタQ4
eQaの各ゲートが前記トランジスタQ6rQ7のドレ
イン相互接続点およびピッ}aB Lに接続されており
、上記トランジスタQ6e・・Q,の各ゲートが前記ト
ランジスタQ,,Q。
のドレイン相互接続点およびビット線BLK接続されて
いる。そして、上記PチャネルトランジスタQ,,Q,
の各ソースおよびNチャネルトランジスタQ,、Q,の
各ソースはそれぞれセンスアンプ駆動信号線2.3に接
続されている。このセンスアンプ駆動信号@2 、 j
には、これをプリチャージおよびイコライズするための
センスアンププリチャージ回路30が接続されている。
このセンスアンププリチャージ回路30は、プリチャー
ジ用のNチャネルMO8トランジスタQ□pJ2 とイ
コライズ用のNチャ ーネルMO8トランジスタQl3
とを有し、これらは前記プリチャージ信号φPHにより
駆動される。
そして、上記センスアンプffi動信号線Z,Sのうち
一方の信号線3はセンス駆動信号(センスイネーブル信
号)SEがゲートに与えられるセンス駆動用のNチャネ
ルt.toshンンジスタQ,を介してvss電位端(
接地端)に接続され、他方の信号1!2はリストア信号
RESがゲートに与えられるPチャネルM08トランジ
スタQ。
を介してVDD電源に接続されている。
一方、34はプリチャージ電源回路であり、vDD電源
と接地端との間にゲートが接地され九Pチャネルトラン
ジスタQ,。、ドレイン・ゲート相互が接続されたNチ
ャネルトランジスタQ18、ゲート・ドレイン相互が接
続されたPチャネルトランジスタQIR、ゲートが’/
DD電源に接続されたNチャネルトンンジスタQllが
直列に接続されており、vDD電源とVss電位端との
間にNチャネルトランジスタQ0とPチャネルトランジ
スタQllとが直列に接続されており、上記トランジス
タQ14のゲートは前記トランジスタQ1。、Ql、の
ドレイン相互接続点に接続され、上記トランジスタQ4
のゲートは前記トランジスタqtt・Qlmのドレイン
相互接続点に接続されている。そして、上記Nチャネル
トランジスタQ14とPチャ不ルトランジスタQl1と
のソース相互接続点からプリチャージ電源出力VBLが
紬記ビット線プリチャージ回路1のプリチャージ用トラ
ンジスタQ、、Q、の各一端およびセンスアンププリチ
ャージ回路30のプリチャージ用トランジスタQ311
 assの各一端に供給されている。
なお、CB、CBはピッ)M浮遊容1、Csはセンスア
ンプ駆動信号線2の浮遊容Wk、Csはセンスアンプ駆
動信号線3の浮遊容積である。
次に、上記センスアンプ系の動作を第4図を参照して説
明する。メモリのアドレス入力信号が変化してメモリチ
ップが動作を開始すると、ワードvjjWLの電位がロ
ウレベルになってワード線WLが閉じる。次に、プリチ
ャージ信号φPRがアクティブ(活性化状態)になって
プリチャージ期間に入り、上記φPR信号によりビット
線プリチャージ回路1が駆動され、ピッ)MBL、¥L
がプリチャージ電源回路34の出力電位VBL (はぼ
+vDDである)にプリチャージされる。上記プリチャ
ージ信号φPRがアクティブになる少し前にセンス駆動
信号BB、リストア信号RESがそれぞれ非アクティブ
になっており、上記φPR信号によりセンスアンププリ
チャージ回路30が駆動されてセンスアンプ委!dJ漕
呼線2,3もほぼTVDDの電位VBLに々る。プリチ
ャージ期間が終了してワードJWLおよびダミーワード
線(図示せず)が選択されると、メモリセルMCおよび
ダミーセル(図示せず)からそれぞれのデータがビット
線BL 、BLに読み出されてビット線BL 、BL間
に微少電位差が現われる。次に、10時点にセンス裾@
慣号SEがアクティブになり、センスアンプ8Aのセン
ス動作が開始する。このセンス動作においては、先ずセ
ンス駆動用トランジスタQ8がオンになり、センスアン
プ・駆動信号線3が1を位Vat、からVSSSS電接
地電位)へと変化する。
このセンスアンプffi勤信号練3の電位がVBL −
VTN (但し、vTNはセンスアンプ5Aetll成
す2)NチャネルMO8)う/ジスタQ、、Q、の閾値
電圧である)になった時点1.で高電位側のピッ)#j
!(本例ではBL)にゲートが接続されている一方のN
チャネルトランジスタQ4がオンになって真のセンス動
作が開始し、この時点t1から低電位側のビット線(本
例ではBL、)の電位は急速に変化(低下)する。そし
て、リストア信号RESがアクティブになυ、リストア
用トランジスタQ、がオンになり、センスアンプ駆!I
EIJ信号線2の電位力VBL + VTP (但し、
V’l’PはセンスアンプSAを構成するPチャネルM
08トランジスタQs  、Qyの閾値電圧である)K
なった時点t、で低電位側のビット線(本例ではBL)
にゲートが接続されている一方のPチャネルトランジス
タQ、がオンになり、この時点t!から高電位側のビッ
ト線(本例ではBL、)の電位は’/DD iff立に
リストア(Restora )されてセンス増幅動作が
終了する。
なお、前記センスアンププリチャージ回路34において
、トランジスタQlll # qttのドレイン相互接
続点の電位はVBL +、 VTN 、  トランジス
タQll・Q10のドレイン相互接続点の電位はVnL
−VTp 、  トランジスタQ11 e Q12のソ
ース相互接続点の電位はVBL Kなっている。
〔背景技術の問題点〕
上述した動作説明から分るように、センス駆動信号8E
がアクティブになった時点t0  にセンスアンプ駆動
信号a3の電位低下が開始してから時点t1までの間は
実質的にセンス動作が行なわれない。これは、上記11
時点までの間はセンスアンプ8AのNチャネルトランジ
スタQ4またはQ、がオンできないからであり、このこ
とKより上記センスアンプSAのセンス動作が遅いとい
う問題がある。
また、センスアンプ駆動信号線3の浮遊容量C8は大き
い(たとえば4メガピツ)DRAMでは50 PF程度
)ので、センス動作時の消費電力P□p:= CB ・
VBL −f (fは動作周波数)が大きいという問題
がある。ここで、C3=50PF’IVBL=Z5V、
f=10uHzという代表的な値を考えると、上記消費
電力Popは約3mWになる。
〔発明の目的〕
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、消費電力
が低く、高速のセンス動作が可能な半導体メモリのセン
スアンプ系を提供するものである。
〔発明の概要〕
即ち、本発明はワード線選択前に所定電位VBLにプリ
チャージされるビット線BL 、 BI。
の間でワード線選択により選択されるメモリセルのデー
タに応じて生じる電位差をセンス駆動信号により駆動さ
れるラッチ型センスアンプによりセンス増幅する半導体
メモリのセンスアンプ系において、前記電位差をセンス
するための2個のMOSトランジスタの各一端に共通に
接続されるセンス用のセンスアンプ駆動信号線を、前記
ビット線のプリチャージと同時に1前記所定’K ff
 VBLより上記センス用のMOSトランジスタの閾値
電圧だけ異なる値にプリチャージしておくようにしてな
ることを特徴とするものである。
これによって、センス枢動河号がアクティブになると、
直ぐにセンス用の2個のMOSトランジスタのうちの一
方がオンになって実質的なセンス動作を開始するように
なり、高速のセンス動作が可能になる。また、センス動
作時のセンス用のセンスアンプ駆動信号線の電圧振幅が
小さくて済むので、消費電力が低くて済む。
〔発明の実施例〕 以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細に説明す
る。
第1図はDRAMの一部を示してお〕、第3図を参照し
て前述したセンスアンプ系に比べて、センスアンププリ
チャージ回路10およびプリチャージ電源回路11が異
なシ、その他は同じであるので第3図中と同一符号を付
してその説明を省略する。
即ち、センスアンププリチャージ回路10においては、
ゲートにプリチャージ信号φPRが与えられるNチャネ
ルV08トランジスタQl11の一端がセンスアンプ駆
動信号線3に接続されておシ、ゲートに反転プリチャー
ジ信号iが4見られるPチャネルuosトランジスタQ
4の一端がセンスアンプ駆動信号線2に接続されており
、センスアンプ駆!#信呼線2,3間にドレイン・ゲー
ト相互が接続されたNチャネルMOSトランジスタQ1
gとゲート・ドレイン相互が接続されたPチャネルMO
SトランジスタQ、。とケートにφPR信号が印加され
るNチャネルMO8トランジスタQ2゜とが1a列に接
続されている。
ソシて、前記PチャネルトランジスタQI?、Nチャネ
ルトランジスタQ1.の各他端には対応してプリチャー
ジ電源回路11からVBL −)−v’rp 。
VBL −VTa (DMnカ与t ラtLル。
したがって、φPRM号、11信号がアクティブになっ
たとき、トランジスタQsa * Q1y+Q1゜はそ
れぞれオンになり、センスアンプ駆動信号線2.3は各
対応してVBL + V’rp 、 VBL −V’T
Nの′:!l立にプリチャージされるものであり、上記
両信号線2,3間の電位差(VBL + ’I’TP)
 −(VBr、、 −VTN ) = VTP + ”
/Tklは両信号線2,3間に接続されているNチャネ
ルトランジスタQII%FチャネルトランジスタQ□。
により生じさせている。
一方、プリチャージ電源回路xrにおいては、WODz
源とV8B電位端との開にゲー)カVss電位端に接続
されたPチャネルトランジスタQIO%ゲート・ドレイ
ン相互が接続されたPチャネルトランジスタQ、1、ド
レイン・ゲート相互が接続され九Nチャネルトランジス
タQ11% ゲート・ドレイン相互が接続されたPチャ
ネルトランジスタQl!、ドレイン・ゲート相互が接続
でれたNチャネルトランジスタQttsゲートがvDD
電源に接続されたNチャネルトランジスタQllが直列
に接続されている。また、VDDα源とVsa電位端と
の間にNチャネルトランジスタQ14とPチャネルトラ
ンジスタQIBとが直列に接続されている。上記Nチャ
ネルトランジスタQ14のゲートは、前記トランジスタ
qtt IQIIのドレイン相互接続点に接続されてお
り、上記トランジスタQllのゲートは前記トランジス
タQItlQttのドレイ/相互接続点に接続されてい
る。さら[、Voot源とvsstlj(ffl端との
間には、NチャネルトランジスタQll、ゲート・ドレ
イン相互が接続されたPチャネルトランジスタQ!4、
ドレイン・ゲート相互が接続されたNチャネルトランジ
スタQ*、PチャネルトランジスタQ2@が直列に接続
されている。上記トランジスタQ13のゲートは前記ト
ランジスタqttのドレインに接続されておシ、トラン
ジスタQ!4 # qtsの各ゲートは前記トランジス
タQ1.。
Qllのソース相互接続点に接続されておシ、トランジ
スタQtaのゲートは前記トランジスタQ0のソースに
接続されている。
したがって、トランジスタQll # Qlgのソース
相互接続点の電位はVBL (=ΣvDD)、トランジ
スタQllのドレインの電位はVBL +VAN、トラ
ンジスタQ□のソースの電位はVBL + VTN+l
/TP、トランジスタQltのドレインの電位はVBI
、 −VTP 、  トランジスタQ!!のソースの電
位はVBL −VTP −VTN 、  ) ラyジス
タQ14 e Qlgのソース相互接続点およびトラン
ジスタQz4eQ□のソース相互接続哉の′qLfi(
ビット線プリチャージ回路1に与えるプリチャージ電源
電位)はVBであり、トランジスタQ!、のドレインの
電位およびトランジスタQ、6のドレイン1tu(それ
ぞれセンスアンププリチャージ回路10K    ゛与
えるプリチャージ電源室M)は各対応してvBt、 +
 v’rp 、 VBL −VTN ’1’ある。
次に、上記センスアンプ系の動作を第2図を参照して説
明する。メモリのアドレス入力信号が変化してメモリチ
ップが動作を開始すると、ワード線WLのt(iがロウ
レベルになって7−ドIFj w t、が閉じる。次に
、プリチャージ信号φPRがアクティブになってプリチ
ャージ期間に入り、上記φpHM号によりビット線プリ
チャージ回路1が駆動され、ピッ)41BL、BLがV
aL′i9!ffl Kプリチャージされる。上記プリ
チャージ信号φPRがアクティブになる少し前にセンス
駆動信号SR,+7ストア信号RE8がそれぞれ非アク
ティブになっており、プリチャージ信号φPR、φPR
によりセンスアンププリチャージ回路10が駆動される
ことによってセンスアンプ駆動信号線2,3の電位は各
対応して”/BL−)−VTp 、 VBL −VTN
にプリチャージされる。プリチャージ期間が終了してワ
ード線WLおよびダミーワード通が選択されると、メモ
リセルIJcおよびダミーセルからそれぞれのデータが
ビット線BL 、BLに杭み出されてビット@BL。
BL間に微少″R1位差が現われる。
次に、107時点にセンス駆動信号8gがアクティブに
なシ、センスアンプSAのセンス動作が1硝始する。こ
のJ島台、センス駆動用トランジスタQ、がオンになる
と、センスアンプ駆動信号線3が電g (VBL −V
TN )からV8Bei’fi(i地電位)へと変化す
るので、センスアンプ8AのNチャネルトランジスタQ
、、Q、のうちの一方(高を位側のビット線、たとえば
BLにゲートが接続されているトランジスタQ4 )が
直ちにオンになり、実質的なセンス動作が開始する。こ
れによって、低’11tcmのビット線(本例ではBL
、)の電位は急速に変化(低下)する。
そして、t、2時点にリストア信号RE8がアクティブ
になってリストア用トランジスタQ、がオンになると、
センスアンプ駆動信号線2が電位(VBL + VTp
 )から’/DD亙立へと変化する。この場合、センス
アンプ8AのPチャネルトランジスタQ、、Q?のうち
の一方(低電立側のピッ)巌BLにゲートが接続されて
いるトランジスタQ?  )が直ちにオンになシ、リス
トア動作が直ちに開始し、高電位側のビット線(本例で
はBL、)の電位は’VDD電位にリストアされてセン
ス増幅動作が終了する。
即ち、上記センスアンプ系によれば、センス動作用のセ
ンスアンプ駆動信号線3を従来例よりセンスアンプSA
のセンス用MO8)?ンジスタQ4pQ@の閾値分だけ
低い電圧にプリチャージするようにしたので、センス駆
動信号SEがアクティブになった時点t:で11ぐにセ
ンス用h40 B トランジスタQ4pQ@の一方がオ
ンになってセンス動作が開始し、従来例では第4図に示
したようKt、時点から1.時点までセンス動作の開始
が遅れていたことに比べて高速なセンス動作が可能にな
る。同様に、リストア動作用のセンスアンプ駆動信号線
2を従来例よりセンスアンプ8Aのリストア用V08ト
ランジスタQg*Qyの閾値分だけ高い電圧にプリチャ
ージするようにしたので、リストア信号iがアクティブ
罠なうた時点Nで直ぐにリストア用u08トランジスタ
Ql−Q?の一方がオンになってリストア動作が開始し
、従来例に比べてリストア動作が高速に行なわれる。
また、両速したようにセンス動作用のセンスアンプ駆動
信号線3のプリチャージ電圧を従来例よりも低くしたの
で、センス動作時の上記偏号練3の7h圧振幅が従来例
よりも小さくなシ、消費電力が低くて済む。即ち、上記
電圧振幅はVBL −VTN テあッテ、従来例におけ
るVBL K比ヘテ((VBL −VTN)/VBL 
)  倍であり、消費電力の減少率ηは になる。因みに、代表的な値としてVaL=λ5y、 
VTN= 0.8 Vをとると、77=0.46  と
なり、消費電力は従来例に比べて半減する。
〔発明の効果〕
上述したように本発明の半導体メモリのセンスアンプ系
によれば、センス用のセンスアンプ駆動信号線のプリチ
ャージ電位をビット線対のプリチャージ電位と異ならせ
ることによって、ラッチ型センスアンプにより高速のセ
ンス動作を行なわせることができ、しかもセンス動作時
の消費電力を低くすることができる。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発11に係る半導体メモリのセンスアンプ系
の一実施例を示す回路図、第2図は第1図のセンスアン
プ系の動作例を示すタイミング波形図、第3図は従来の
半導体メモリのセンスアンプ系を示す回路図、第4図は
第3図のセンスアンプ系の動作例を示すタイミング波形
図である。 WL・・・ワード19、iac・・・メモリセル、BL
、、BL・・・ビット[,8A・・・センスアンプ、1
・・・ビット線プリチャージ回路、2・・・リストア用
センスアンプ、駆動信号線、3・・・センス用センスア
ンプ駆動信号線、Ql”’Q!+1・・・MOSトラン
ジスタ、10・・・センスアンププリチャージ回路、1
1・・・プリチャージ電源回路。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)ワード線選択前に所定電位V_B_Lにプリチャ
    ージされるビット線BL、@BL@の間でワード線選択
    により選択されるメモリセルのデータに応じて生じる電
    位差をセンス駆動信号により駆動されるラッチ型センス
    アンプによりセンス増幅する半導体メモリのセンスアン
    プ系において、前記電位差をセンスするための2個のM
    OSトランジスタの各一端に共通に接続されるセンス用
    のセンスアンプ駆動信号線を、前記ビット線のプリチャ
    ージと同時に、前記所定電位V_B_Lより上記センス
    用のMOSトランジスタの閾値電圧だけ異なる値にプリ
    チャージしておくようにしてなることを特徴とする半導
    体メモリのセンスアンプ系。
  2. (2)前記ラッチ型センスアンプは、前記センス用の2
    個のMOSトランジスタとリストア用の2個のMOSト
    ランジスタとを有し、前記センス用のセンスアンプ駆動
    信号線および上記リストア用の2個のMOSトランジス
    タの各一端に共通に接続されるリストア用のセンスアン
    プ駆動信号線をそれぞれ対応して前記プリチャージと同
    時に、前記所定電位V_B_Lより上記センス用のMO
    Sトランジスタの閾値電圧V_T_Nだけ低い値および
    上記リストア用のMOSトランジスタの閾値電圧V_T
    _Pだけ高い値にプリチャージしておくようにしてなる
    ことを特徴とする前記特許請求の範囲第1項記載の半導
    体メモリのセンスアンプ系。
  3. (3)プリチャージ電源回路の出力電位(V_B_L−
    V_T_N)が一端に与えられ、他端が前記センス用の
    センスアンプ駆動信号線に接続され、ゲートにプリチャ
    ージ信号φPRが与えられるNチャネルMOSトランジ
    スタと、プリチャージ電源回路の出力電位(V_B_L
    +V_T_P)が一端に与えられ、他端が前記リストア
    用のセンスアンプ駆動信号線に接続され、ゲートに反転
    プリチャージ信号@φPR@が与えられるPチャネルト
    ランジスタと、前記リストア用のセンスアンプ駆動信号
    線とセンス用のセンスアンプ駆動信号線との間に直列に
    接続されたドレイン・ゲート相互が接続されたNチャネ
    ルMOSトランジスタ、ゲート・ドレイン相互が接続さ
    れたPチャネルMOSトランジスタおよびゲートにプリ
    チャージ信号φPRが与えられるNチャネルMOSトラ
    ンジスタを有することを特徴とする前記特許請求の範囲
    第2項記載の半導体メモリのセンスアンプ系。
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