JPH01132113A - ウエハマウント装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ＩＣ，ＬＳＩ等の集積回路の組立工程中にそ
の基板となるウェハに接着テープを貼着するウェハマウ
ント装置に関する。

（従来の技術） ウェハの研磨やダイジング等の加工に備えてウェハ強度
を高めるために、ウェハに接着テープを貼着するウェハ
マウント装置が用いられている。

従来のウェハマウント装置を第４図および第５図により
説明すると、ｌはウェハ、２はウェハステージ、３は接
着テープである。４は上釜、５は上釜４の給排気管で、
６は下釜、７は下釜６の給排気管である。

これらの給排気管５，７は、それぞれ真空ポンプと大気
への連通口とに切り換え可能に接続されている。

かかるウェハマウント装置は次のように作動する。

まず、ウェハｌがウェハステージ２上に、また接着テー
プ３が上釜４と下釜６との間の所定の位置にセットされ
る。

次に、上釜４と下釜６とを上下に近接移動（第４図の矢
印Ａ、Ｂ）Ｌ、て接着テープ３を挟み、上釜４と接着テ
ープ３とで構成される空間（以下、上空間Ｕという。）
と、下釜６と接着テープ３とで構成される空間（以下、
上空間りという。）とをそれぞれ気密状態とする。

こののち、上空間りを真空に、上空間Ｕを大気圧として
、上下空間Ｕ、Ｌの内圧差で接着テープ３をウェハ１側
に湾曲させるのであるが、その場合、まず上釜用給排気
管５と下釜用給排気管７とから同時に排気しく第４図の
矢印Ｃ，Ｄ）、前記の接着テープ３の両側の空間を真空
状態にする。

これは、上空間りにのみ真空ポンプＰの真空引きを作用
させると、真空ポンプＰの脈動が接着テープ３の挙動に
影響を与え、接着テープ３が波打ったり、あるいは接着
テープ３が必要以上に下方へ引かれるといった不都合を
防止するためである。

このようにして、上下両空間Ｕ、Ｌが所定の真空度に減
圧された後、下釜用給排気管７を閉止して同時に上釜用
給排気管５を大気への連通口に接続することによつて、
上空間Ｕを徐々に給気（第４図の矢印Ｅ）する。

すると、第５図に示すように、接着テープ３はその両側
の上下空間Ｕ、Ｌの内圧差によってウェハ１の方へ湾曲
し、ウェハｌの中央部より徐々に外周へと貼り合わされ
ていく。

こうして、ウェハｌの全面に接着テープ３が貼着すると
、下釜用給排気管７を大気に連通させて給気し、下釜６
内の内圧を常圧に戻して、上下の釜を分離して処理の完
了したウェハｌを取り出す。

（発明が解決しようとする問題点） このように、従来のウェハマウント装置では、真空ポン
プの設置が必要で、この真空ポンプによる真空度を制御
する装置を含めると、全体の機構が複雑化して高価とな
る。

しかも、従来の装置では、真空ポンプで接着テープの両
側となる上下空間Ｕ、Ｌの空気を一旦、排気した後に上
空間Ｕに給気して接着処理を行っており、排気と給気と
の２段の工程が必要で、これらの工程が時間を要するも
のであるため、処理効率を高くできなかった。

また、下釜は上釜と同様にその内部を一旦真空とするた
め、気密に構成する必要があり、それだけ製作が面倒と
なるばかりでなく、ウェハステージをこの下釜と一体の
構造にしなければならず、ウェハステージを下釜に対し
て上下動させて、ウェハの取り出しを容易にするといつ
た改良が困難であった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、真
空ポンプを用いないでウェハマウント装置を構成するこ
とによって、装置を安価にし、かつ、前記の処理効率を
高めることを目的としている。

（問題点を解決するための手段） そのため、本発明は、上釜と、ウェハステージを有する
下釜との間に接着テープを挟持して、この接着テープを
ウェハステージ上に配置したウェハに貼着するウェハマ
ウント装置において、前記上釜のほぼ中央部に給気口を
設けるとともに、この給気口に下釜内の気圧より高圧の
加圧気体の供給源を接続したものである。

（作用） 上記構成のウェハマウント装置において、加圧気体の供
給源から上釜内部に加圧気体を吹き込むと、接着テープ
は加圧気体の吹き付は力によりウェハ側に湾曲して該ウ
ェハに接着する。この場合、上釜内の空間には加圧空気
を吹き込むだけで、従来のような２段の工程を必要とし
ない。

また、加圧気体の供給源としては、工場等の生産ライン
に常備されている高圧エアラインを利用すればよい。

また、下釜の内部は大気側に連通させておいてよく、特
に気密性を考慮する必要がない。

したがって、下釜に対してウェハステージを昇降可能と
することができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する
。第１図において、１１はウェハ、１２はウェハステー
ジ、１３は接着テープである。

１４は上釜、１５は上釜用給排気管、１６は下釜であり
、上釜１４おはび下釜１６は第１図に矢印Ｇ、Ｈで示す
ように昇降可能に構成されている。

また、上釜１４のほぼ中央には、上釜用給排気管１５（
本発明でいう供給口に該当する）が形成され、この上釜
用給排気管１５は下釜１６に設けられたウェハステージ
１２の中央を指向してその先端を下向きに突出させであ
る。下釜１６の底部は特に気密にする必要がなく、大気
側に開放しておいてよい。

これは、接着テープ１３をウェハ１１の中央から接着を
開始させることによって、ウェハ１１に接着した接着テ
ープ１３のしわの発生を防止するためである。

そして、この上釜用給排気管１５にはエア供給管のよう
なエア供給源Ａが接続されて、大気圧よりやや高圧のク
リンエアが加圧気体として供給されるようになっている
。

前記のウェハステージ１２は下釜１６に対して適宜の手
段により昇降可能（第１図の矢印Ｆ）に構成されている
。

このように構成されたウェハマウント装置は次のように
作動する。

第１図の状態から、上釜１４と下釜１６とを上下に移動
（第２図の矢印Ｍ、Ｎ）Ｌ、第２図に示すように接着テ
ープ１３を挟み、接着テープＩ３と上釜１４との間、す
なわち上空間Ｕを気密状態とする。

そして、上釜用給排気管１５より一定の圧力で、接着テ
ープ１３のウェハステージ１２の中央部に対応する部分
に空気を吹き付ける（第２図の矢印Ｐ）。この空気の吹
き付は力で、第３図に示すように接着テープ１３はウェ
ハ１１側に湾曲する。

このとき、同時にウェハステージ１２を上釜１４および
下釜１６に対して上側（接着テープ１３とウェハ１１と
が接触する方）へ相対的に移動させ（第３図の矢印Ｑ）
、第３図のようにウェハ１１の全面への接着テープ１３
の貼着が完了する。

接着テープＩ３の貼着が完了すると、上釜用給排気管１
５からの圧縮空気の供給が停止され、その後、内圧を大
気に放出して上釜１４と下釜１６とが分離され、処理の
済んだウェハ１１が取り出される。

このように、上釜用給排気管１５からの圧縮空気の吹き
付けとともに、ウェハステージ１２を上昇させるので、
・全面接着まで時間がかからない。

また、貼り付けが完了した時点ではウェハ１１が下釜１
６より上位に上昇しており、接着テープ１３の張力がそ
の接着テープＩ３をウェハ１１に押し付けるように作用
するので、その接着テープ１３が不測にウェハ１１から
剥がれることがない。

また、ウェハ１１とこれに貼り付いた接着テープ１３が
下釜１６より高い位置にあるから、ウェハ１１の取り出
しが下釜１６に邪魔されずに容易にできる。

（効果） 以上説明したことから明らかなように本発明によれば、
従来必要であった真空ポンプを用いず、工場等に常備さ
れている高圧エアラインを利用できるから、複雑な装置
を使用せず、安価に実施することができ、しかも従来の
ような排気と給気との２段の工程が不要で、加圧気体の
吹き込みだけで済むから、接着に要する時間を大幅に短
縮し、処理効率を向上することができる。

さらに、下釜は特に気密とする必要がないから、その分
、製作が容易となるばかりでなく、ウェハステージを下
釜に対して昇降させる機構を採用して、接着後のウェハ
の取り出し等の処理を容易化することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のウェハマウント装置の作動
前の状態を示す断面図、第２図は同実施例の加圧状態を
示す断面図、第３図は同実施例のウェハステージの動作
を示す断面図、第４図は従来例のウェハマウント装置の
排気状態を示す断面図、第５図は同従来例の加圧状態を
示す断面図である。 ４．１４・・・上釜、２．１２・・・ウェハステージ、
６゜１６・・・下釜、３，１３・・・接着テープ、１．
１１・・・ウェハ、１５・・・供給口。 なお、図中、同一の符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）上釜と、ウェハステージを有する下釜との間に接
   着テープを挟持して、この接着テープをウェハステージ
   上に配置したウェハに貼着するウェハマウント装置にお
   いて、 前記上釜のほぼ中央部に給気口を設けるとともに、この
   給気口に下釜内の気圧より高圧の加圧気体の供給源を接
   続したことを特徴とするウェハマウント装置。