JPH01132005A - 透明導電性フイルム - Google Patents
透明導電性フイルムInfo
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- JPH01132005A JPH01132005A JP62290885A JP29088587A JPH01132005A JP H01132005 A JPH01132005 A JP H01132005A JP 62290885 A JP62290885 A JP 62290885A JP 29088587 A JP29088587 A JP 29088587A JP H01132005 A JPH01132005 A JP H01132005A
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Landscapes
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- Liquid Crystal (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
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- Push-Button Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［技術分野］
本発明は、透明導電性フィルムに関し、さらに詳しくは
液晶パネル、ＥＬパネル、透明メンブレンスイッチなど
に使用される表面抵抗、透明性、耐久性に優れた透明導
電性フィルムに関する。
液晶パネル、ＥＬパネル、透明メンブレンスイッチなど
に使用される表面抵抗、透明性、耐久性に優れた透明導
電性フィルムに関する。
［従来の技術］
従来より、たとえばポリエチレンテレフタレートフィル
ムに直接に透明導電膜層をスバ・ンタリング法、真空蒸
着法などで形成された透明導電性フィルムが知られてい
る。
ムに直接に透明導電膜層をスバ・ンタリング法、真空蒸
着法などで形成された透明導電性フィルムが知られてい
る。
しかしながら、かかる透明導電性フィルムはポリエチレ
ンテレフタレートフィルムと透明導電膜層の密着力か悪
く、 １００℃以上の耐熱テストを行なった時、ポリエ
チレンテレフタレートフィルムのオリゴマーがポリエチ
レンテレフタレートフィルムの表面に析出し白濁するこ
とにより、透明性が著しく悪くなるだけでなく１表面抵
抗も高くなるという問題点があった。
ンテレフタレートフィルムと透明導電膜層の密着力か悪
く、 １００℃以上の耐熱テストを行なった時、ポリエ
チレンテレフタレートフィルムのオリゴマーがポリエチ
レンテレフタレートフィルムの表面に析出し白濁するこ
とにより、透明性が著しく悪くなるだけでなく１表面抵
抗も高くなるという問題点があった。
［発明の目的］
本発明はポリエチレンテレフタレートフィルムと透明導
ｉｔｔ膜層の密着力が良く、耐熱性に優れ耐久性が良く
、白濁することなく１表面抵抗が低く、可視光線透過率
が高く優れた透明導電性フィルムを提供することにある
。
ｉｔｔ膜層の密着力が良く、耐熱性に優れ耐久性が良く
、白濁することなく１表面抵抗が低く、可視光線透過率
が高く優れた透明導電性フィルムを提供することにある
。
［発明の構成］
即ち本発明の透明導電性フィルムにおいては、透明なベ
ースフィルムの表面に二酸化珪素ｆｊ膜層な介して透導
電ｉ（を膜層を形成し、要すれば裏面にも二酸化珪素Ｆ
ＩＩ１ｇ層を形成したことことにより、従来品の持つ種
々の問題点を解消した。ポリエチレンテレフタレートフ
ィルムと透明導電膜層の密着力が良く、耐熱性に優れ耐
久性が良く、白濁することなく、表面抵抗が低く、可視
光線透過率が高く優れた透明導電性フィルムを完成した
もである。
ースフィルムの表面に二酸化珪素ｆｊ膜層な介して透導
電ｉ（を膜層を形成し、要すれば裏面にも二酸化珪素Ｆ
ＩＩ１ｇ層を形成したことことにより、従来品の持つ種
々の問題点を解消した。ポリエチレンテレフタレートフ
ィルムと透明導電膜層の密着力が良く、耐熱性に優れ耐
久性が良く、白濁することなく、表面抵抗が低く、可視
光線透過率が高く優れた透明導電性フィルムを完成した
もである。
即ち本発明の透明導電性フィルムにおいては、透明なベ
ースフィルム（１）の表面に二酸化珪素薄膜層（２）を
介して透明導電膜層（３）を形成し、裏面にも二酸化珪
素薄膜層（２）を形成したことにより、従来品の持つ種
々の問題点を解消した、ポリエチレンテレフタレートフ
ィルムと透明導電膜層の密着力が良く、耐熱性に優れ耐
久性が良く、白濁することなく、表面抵抗が低く、可視
光線透過率か高く優れた透明導電性フィルムの提供を可
能としたものである。
ースフィルム（１）の表面に二酸化珪素薄膜層（２）を
介して透明導電膜層（３）を形成し、裏面にも二酸化珪
素薄膜層（２）を形成したことにより、従来品の持つ種
々の問題点を解消した、ポリエチレンテレフタレートフ
ィルムと透明導電膜層の密着力が良く、耐熱性に優れ耐
久性が良く、白濁することなく、表面抵抗が低く、可視
光線透過率か高く優れた透明導電性フィルムの提供を可
能としたものである。
本発明の透明導電性フィルムに於る透明なベースフィル
ム（１）としては充分な自己保持性と透明性とを有する
ものであれば何れも用いられるが、例えばポリエチレン
テレフタレート、ポリエーテルサルレフオン、ポリアミ
ド、ポリアミドイミド、ポリエチレン、ポリプロピレン
、セルロースアセテート、ポリカーボネート、ポリ塩化
ビニル、フッ素樹脂、アクリル樹脂等の樹脂類のフィル
ム状物又はシート状物か適宜用いられる。特にベースフ
ィルムとしては前記樹脂類中でも・ポリエチレンテレフ
タレートのフィルム状物ないしはシート状物で厚さが２
５〜２００ＪｊＪ１程度のものを用いるのか、皺や亀裂
などのない透明導電性フィルムの製造か連続的に大量生
産できる点から好ましい。
ム（１）としては充分な自己保持性と透明性とを有する
ものであれば何れも用いられるが、例えばポリエチレン
テレフタレート、ポリエーテルサルレフオン、ポリアミ
ド、ポリアミドイミド、ポリエチレン、ポリプロピレン
、セルロースアセテート、ポリカーボネート、ポリ塩化
ビニル、フッ素樹脂、アクリル樹脂等の樹脂類のフィル
ム状物又はシート状物か適宜用いられる。特にベースフ
ィルムとしては前記樹脂類中でも・ポリエチレンテレフ
タレートのフィルム状物ないしはシート状物で厚さが２
５〜２００ＪｊＪ１程度のものを用いるのか、皺や亀裂
などのない透明導電性フィルムの製造か連続的に大量生
産できる点から好ましい。
本発明の透明導電性フィルムの二酸化珪素薄膜層（２）
は前記透明なベースフィルム（１）面上に常法により例
えば二酸化珪素を真空蒸着やスパッタリングなどして形
成される。その厚さは特に制限はないか通常は２００〜
６００人程度の範囲である。二酸化珪素薄膜層（２）の
厚さが２００人未満ては充分なアンカー機能が得られず
好ましくない。また二酸化珪素薄膜層（２）の厚さが６
００Å以上ては可視光線透過率が低くなり、その上アン
カー機能には大した差かないのて経済性の点から好まし
くない。
は前記透明なベースフィルム（１）面上に常法により例
えば二酸化珪素を真空蒸着やスパッタリングなどして形
成される。その厚さは特に制限はないか通常は２００〜
６００人程度の範囲である。二酸化珪素薄膜層（２）の
厚さが２００人未満ては充分なアンカー機能が得られず
好ましくない。また二酸化珪素薄膜層（２）の厚さが６
００Å以上ては可視光線透過率が低くなり、その上アン
カー機能には大した差かないのて経済性の点から好まし
くない。
本発明の透明導電性フィルムの透明導電膜層（３）は１
．Ｔ、Ｏ，（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ ０ｘｉｄｅ）や酸
化錫などを真空蒸着やスパッタリングなどして形成され
る。その厚さは特に制限はないが通常は２００〜４００
人程度の範囲である。透明導電膜層（３）の厚さが２０
０人未満では可視光線透過率に関しては問題ないが、充
分に低い表面抵抗が得られず透明導電性フィルムとして
の機涜的の点から好ましくない、また透明導電膜層（３
）の厚さが４００Å以上では可視光線透過率が低くなり
、透明導電性フィルムとしての機能的の点から好ましく
ない。
．Ｔ、Ｏ，（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ ０ｘｉｄｅ）や酸
化錫などを真空蒸着やスパッタリングなどして形成され
る。その厚さは特に制限はないが通常は２００〜４００
人程度の範囲である。透明導電膜層（３）の厚さが２０
０人未満では可視光線透過率に関しては問題ないが、充
分に低い表面抵抗が得られず透明導電性フィルムとして
の機涜的の点から好ましくない、また透明導電膜層（３
）の厚さが４００Å以上では可視光線透過率が低くなり
、透明導電性フィルムとしての機能的の点から好ましく
ない。
本発明の二酸化珪素薄膜層（２）はベースフィルムから
のオリゴマーの析出を防ぎ、熱による白濁を防止すると
共に、ベースフィルムの表面反射防止並びに表面の耐傷
性の向上にも効果のあるものて１通常は光学的厚み１７
４人に設定されるのが好ましく、 ９００〜１０００人
の範囲が一般的である。
のオリゴマーの析出を防ぎ、熱による白濁を防止すると
共に、ベースフィルムの表面反射防止並びに表面の耐傷
性の向上にも効果のあるものて１通常は光学的厚み１７
４人に設定されるのが好ましく、 ９００〜１０００人
の範囲が一般的である。
またその整数倍でも良１．ｖ。
つぎに実施例をあげて本発明を説明する。
［実施例）
実施例１
厚さ １２５趨のポリエチレンテレフタレートフィルム
の片面上に二酸化珪素薄膜層を真空蒸着法にて厚さ ９
５０人に成るように形成した０次いで他の片面上にも二
酸化珪素ｆＪ膜層を真空蒸着法にて厚さ４７５人に成る
ように形成し、更にその面上にインジウム−チタンのタ
ーゲットを用いて反応性スパッタリング法にて１．Ｔ、
０．１１Ｑを厚さ２２０人に形成して本発明の透明導電
性フィルムを得た。
の片面上に二酸化珪素薄膜層を真空蒸着法にて厚さ ９
５０人に成るように形成した０次いで他の片面上にも二
酸化珪素ｆＪ膜層を真空蒸着法にて厚さ４７５人に成る
ように形成し、更にその面上にインジウム−チタンのタ
ーゲットを用いて反応性スパッタリング法にて１．Ｔ、
０．１１Ｑを厚さ２２０人に形成して本発明の透明導電
性フィルムを得た。
実施例２
厚さ １００−のポリエチレンテレフタレートフィルム
の片面上に二酸化珪素薄膜層を真空蒸着法にて厚さ４７
５人に成るように形成し、更にその面上にインジウム−
チタンを用いて反応性イオンブレーティング蒸着法にて
１．Ｔ、ｏ、膜を厚さ３５０人に形成して本発明の透明
導電性フィルムを得た。
の片面上に二酸化珪素薄膜層を真空蒸着法にて厚さ４７
５人に成るように形成し、更にその面上にインジウム−
チタンを用いて反応性イオンブレーティング蒸着法にて
１．Ｔ、ｏ、膜を厚さ３５０人に形成して本発明の透明
導電性フィルムを得た。
比較例１
厚さ １２５μｓのポリエチレンテレフタレートフィル
ムの片面上にインジウム−チタンのターゲットを用いて
反応性スパッタリング法にて１．Ｔ、Ｏ，膜を厚さ ２
２０人に形成した。
ムの片面上にインジウム−チタンのターゲットを用いて
反応性スパッタリング法にて１．Ｔ、Ｏ，膜を厚さ ２
２０人に形成した。
［発明の効果］
実施例１、実施例２および比較例１で得られた透明導電
性フィルムの諸性質を測定結果結果を表−１に示す。ま
た実施例１、実施例２および比較例１て得られた透明導
電性フィルムの耐久性の試験結果を表−２に示す。
性フィルムの諸性質を測定結果結果を表−１に示す。ま
た実施例１、実施例２および比較例１て得られた透明導
電性フィルムの耐久性の試験結果を表−２に示す。
Ｒ：耐熱試験後の表面抵抗
Ｒｏ：耐熱試験前の表面抵抗
第１図は本願発明の透明導電性フィルムの基本構成を示
す断面図であり、第２図は本願発明の透明導電性フィル
ムの他の実施態様例の構成を示す断面図である。 （１）二ベースフィルム （２）二二酸化珪素薄膜層 （３）：透明導電膜層
す断面図であり、第２図は本願発明の透明導電性フィル
ムの他の実施態様例の構成を示す断面図である。 （１）二ベースフィルム （２）二二酸化珪素薄膜層 （３）：透明導電膜層
Claims (1)
- １ 透明なベースフィルムの表面に二酸化珪素薄膜層を
介して透明導電膜層を形成し、要すれば裏面にも二酸化
珪素薄膜層を形成したことを特徴とする透明導電性フィ
ルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62290885A JPH01132005A (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 透明導電性フイルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62290885A JPH01132005A (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 透明導電性フイルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01132005A true JPH01132005A (ja) | 1989-05-24 |
Family
ID=17761767
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62290885A Pending JPH01132005A (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 透明導電性フイルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01132005A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002205352A (ja) * | 2001-01-11 | 2002-07-23 | Catalysts & Chem Ind Co Ltd | 透明導電性被膜付基材および表示装置 |
| JP2009226767A (ja) * | 2008-03-24 | 2009-10-08 | Mitsubishi Plastics Inc | 透明導電性フィルム用積層ポリエステルフィルム |
| CN107025955A (zh) * | 2017-04-27 | 2017-08-08 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 一种导电膜的制备方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5282443A (en) * | 1975-12-29 | 1977-07-09 | Seiko Epson Corp | Liquid crystal display unit |
| JPS61116332A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 偏光膜一体型透明導電性フイルム |
| JPS61163321A (ja) * | 1985-01-16 | 1986-07-24 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 液晶表示パネル |
-
1987
- 1987-11-18 JP JP62290885A patent/JPH01132005A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5282443A (en) * | 1975-12-29 | 1977-07-09 | Seiko Epson Corp | Liquid crystal display unit |
| JPS61116332A (ja) * | 1984-11-12 | 1986-06-03 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 偏光膜一体型透明導電性フイルム |
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| CN107025955A (zh) * | 2017-04-27 | 2017-08-08 | 张家港康得新光电材料有限公司 | 一种导电膜的制备方法 |
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