JPH01131136U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01131136U JPH01131136U JP2766888U JP2766888U JPH01131136U JP H01131136 U JPH01131136 U JP H01131136U JP 2766888 U JP2766888 U JP 2766888U JP 2766888 U JP2766888 U JP 2766888U JP H01131136 U JPH01131136 U JP H01131136U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure chamber
- impulse pipe
- partition wall
- case
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による圧力センサ
の構造を示す断面図、第２図は同上圧力センサの
第１図に対して直角方向に断面して示す断面図、
第３図は同上圧力センサの制御部の電気回路図で
ある。 １……圧力センサ、２，３……ケース、４……
半導体チツプ、４ａ，４ｂ……ダイヤフラム、５
……基板、２１……第１の圧力室、２２……第２
の圧力室、２３……第３の圧力室、２４……第４
の圧力室、２５，２６……導圧管部、１０１……
第１のブリツジ回路、１０２……第２のブリツジ
回路、１０３……第１の差動増幅回路、１０４…
…第２の差動増幅回路、１０５……第３の差動増
幅回路。なお、図中、同一符号は同一、または相
当部分を示す。
の構造を示す断面図、第２図は同上圧力センサの
第１図に対して直角方向に断面して示す断面図、
第３図は同上圧力センサの制御部の電気回路図で
ある。 １……圧力センサ、２，３……ケース、４……
半導体チツプ、４ａ，４ｂ……ダイヤフラム、５
……基板、２１……第１の圧力室、２２……第２
の圧力室、２３……第３の圧力室、２４……第４
の圧力室、２５，２６……導圧管部、１０１……
第１のブリツジ回路、１０２……第２のブリツジ
回路、１０３……第１の差動増幅回路、１０４…
…第２の差動増幅回路、１０５……第３の差動増
幅回路。なお、図中、同一符号は同一、または相
当部分を示す。
Claims (1)
- ケースに形成された第１の導圧管部に連通する
第１および第４の圧力室と、上記ケースに形成さ
れた第２の導圧管部に連通する第２および第３の
圧力室と、上記第１の圧力室と上記第２の圧力室
の隔壁および上記第３の圧力室と上記第４の圧力
室の隔壁になるように半導体チツプ上にそれぞれ
設けられた第１および第２のダイヤフラムと、こ
の第１および第２のダイヤフラムが上記第１およ
び第２の導圧管部に生じる差圧によつて応動する
ときに互いに同一値で逆位相の信号を出力するよ
うに上記第１および第２のダイヤフラム上に形成
された第１および第２のブリツジ回路と、この第
１および第２のブリツジ回路の信号出力をそれぞ
れ差動増幅する第１および第２の差動増幅器とを
備えた圧力センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2766888U JPH01131136U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 | |
| KR2019890000834U KR920005348Y1 (ko) | 1988-03-01 | 1989-01-28 | 압력센서 |
| US07/317,485 US4895026A (en) | 1988-03-01 | 1989-03-01 | Semiconductor pressure sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2766888U JPH01131136U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01131136U true JPH01131136U (ja) | 1989-09-06 |
Family
ID=31250356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2766888U Pending JPH01131136U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01131136U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04214078A (ja) * | 1990-10-26 | 1992-08-05 | Daihen Corp | セラミックスの電気接合方法 |
-
1988
- 1988-03-01 JP JP2766888U patent/JPH01131136U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04214078A (ja) * | 1990-10-26 | 1992-08-05 | Daihen Corp | セラミックスの電気接合方法 |