JPH034242U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH034242U JPH034242U JP6513289U JP6513289U JPH034242U JP H034242 U JPH034242 U JP H034242U JP 6513289 U JP6513289 U JP 6513289U JP 6513289 U JP6513289 U JP 6513289U JP H034242 U JPH034242 U JP H034242U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- pressure chambers
- impulse pipe
- diaphragms
- partition wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例による圧力センサ
の構造を示す断面図、第２図は同上実施例の第１
図の直角方向の断面図、第３図は同上実施例にお
ける一方の半導体チツプの部分の平面図、第４図
は同上実施例における制御部の電気回路図である
。 １……圧力センサ、２，３……ケース、４，５
……半導体チツプ、４ａ，５ａ……ダイヤフラム
、７……ターミナル、８……金ワイヤ、２１……
第１の圧力室、２２……第２の圧力室、２３……
第３の圧力室、２４……第４の圧力室、２５……
導圧管部、４０……ピエゾ抵抗素子、４１……半
導体、４２……金電極、１０１……第１のブリツ
ジ回路、１０２……第２のブリツジ回路。なお、
図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
の構造を示す断面図、第２図は同上実施例の第１
図の直角方向の断面図、第３図は同上実施例にお
ける一方の半導体チツプの部分の平面図、第４図
は同上実施例における制御部の電気回路図である
。 １……圧力センサ、２，３……ケース、４，５
……半導体チツプ、４ａ，５ａ……ダイヤフラム
、７……ターミナル、８……金ワイヤ、２１……
第１の圧力室、２２……第２の圧力室、２３……
第３の圧力室、２４……第４の圧力室、２５……
導圧管部、４０……ピエゾ抵抗素子、４１……半
導体、４２……金電極、１０１……第１のブリツ
ジ回路、１０２……第２のブリツジ回路。なお、
図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- ケースに形成された第１の導圧管部に連通する
第１および第４の圧力室と、上記ケースに形成さ
れた第２の導圧管部に連通する第２および第３の
圧力室と、上記第１の圧力室と上記第２の圧力室
の隔壁および上記第３と第４の圧力室の隔壁とな
るようにそれぞれ半導体チツプに配設され同一形
状ならびに同一電気的特性を有する第１、第２の
ダイヤフラムと、この第１、第２のダイヤフラム
上に形成され上記第１、第２のダイヤフラムが上
記第１、第２の導圧管部に生じる差圧によつて応
動するとき、互いに同値で逆位相の信号を出力す
るためにピエゾ抵抗素子を半導体の配線部で接続
して形成された第１、第２のブリツジ回路と、上
記各半導体チツプに設けられ上記配線部に接続さ
れた金電極と、この金電極とターミナル間に接続
された金ワイヤとを備えた圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6513289U JPH0744992Y2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6513289U JPH0744992Y2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 圧力センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH034242U true JPH034242U (ja) | 1991-01-17 |
| JPH0744992Y2 JPH0744992Y2 (ja) | 1995-10-11 |
Family
ID=31596691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6513289U Expired - Fee Related JPH0744992Y2 (ja) | 1989-06-02 | 1989-06-02 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744992Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-06-02 JP JP6513289U patent/JPH0744992Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0744992Y2 (ja) | 1995-10-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |