JPS60213819A - 条件適合センサ - Google Patents

条件適合センサ

Info

Publication number
JPS60213819A
JPS60213819A JP60052143A JP5214385A JPS60213819A JP S60213819 A JPS60213819 A JP S60213819A JP 60052143 A JP60052143 A JP 60052143A JP 5214385 A JP5214385 A JP 5214385A JP S60213819 A JPS60213819 A JP S60213819A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sensor
flow
condition
channel
responsive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP60052143A
Other languages
English (en)
Inventor
フイリツプ・ジエイ・ボーラー
ロバート・イー・ヒガシ
テイモスイ・エル・ジヨンソン
エルネスト・エイ・サトレン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honeywell Inc
Original Assignee
Honeywell Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honeywell Inc filed Critical Honeywell Inc
Publication of JPS60213819A publication Critical patent/JPS60213819A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • G01F1/48Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by a capillary element
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/34Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F5/00Measuring a proportion of the volume flow
    • G01F5/005Measuring a proportion of the volume flow by measuring pressure or differential pressure, created by the use of flow constriction

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 流量測定は、多年にわ九9、多くの応用において、重要
な機能であった。したがって、多種類の流量センサが開
発された。これらの流量センサは、大型で、特定の応用
ごとに個別に設計されている。
〔従来の技術〕
最近、小型の電子式fttセンサが開発された。
これらの流量センサけ、高感度、超小型である。
これらの流量センサけ、集積回路の製造に匹敵するゾロ
セスによって製造されるので、小型で、低価格のセンサ
素子の多量生産が可能になった。
〔発明が解決しようとする問題点〕
これらのセンサ素子は、注文に応じて製造する状態応答
センサ、例えば流量センサに用いられて来た。そして、
各流量センサの構造は特定の流量測定のために個々に製
造された。センサ素子自体は、低価格、小形、統一化さ
れているのに、その応用は、わずられしいものであった
〔問題点を解決する九めの手段〕
最近の多量生産される小形センサ素子を利用するために
、小形、多電生産形のハウジングの開発が必要であるこ
とは明白である。しかし、ハウジングの開発は、通常、
個々の応用のために注文設計されねばならなかった。
この発明においては、ハウジングの構造の大部分が統一
されており、しかも、ハウジングは、簡単なやり方で、
全体の状態応答センサを異なる流量測定に適用できるよ
うに変更できる。
この発明は、一般′に矩形状の流量センサチャンネルを
もつハウジングを用意することによって達成される。し
かし、流量センサチャンネルは、いかなる断面形状でも
よい。流量センサチャンネルは、絞りとして機能する毛
管に接続されるようになっている。毛管は、特定の応用
に対して流量セ 。
ンサを通る流tをよく制御するように、考慮されている
直列に接続され、その中に流量センサ素子が取りつけら
れた絞り作用の弱い流量センナチャンネルが実用的な流
量センサを実現する。
この発明の流量センサけ、低差圧0.02’54〜25
4■H*O(0,001〜10.0インチ水柱)をよく
制御されzt流量に変換する実用的な手段を与える。こ
の低流量は、信頼できる方法で、小形センサを横切って
導びかれる。流量センサからは流量センサを通る流量に
対応する電気的出力が得られる。流量センサは、差圧あ
るいは流量として目盛られる。
この発明にj Q %流体差圧源を横切って接続される
状態応答センサが提供される。すなわち、第1のポート
手段を含む流量センサチャンネル手段を定義する本体中
段と基部手段、 上記流量センサチャンネル中段に取付けられた流量セン
サ中段、 九t L、上記本体手段と基部手段は、上記第1のポー
ト手段の反対側で、上記流量センサチャンネル手段に接
続された再入流量チャンネル中段を含む。
第1の端部が上記再入並置チャンネル手段に流体密に接
続され、 第2の端部が第2のポート手段に密閉接続されて、上記
状態応答センサを通る完全な流体流路を形成する毛管絞
り手段、 を含むセンサが提供される。
更に、この発明にエリ、流体差圧源を横切って接続され
る状態応答センサが提供される。すなわ ゛ち、 第1のポート手段をもち、かつ、流量センサを支持する
基部手段、 上記基部手段に隣接して第1の側面をもち、上記基部手
段の反対側に第2の側面を有する本体手段、 友だし、上記本体手段は、上記本体手段の第1お工び第
2の側面の間に接続された再入流量チャンネル手段をも
つ。更に、上記基部手段および上記本体中段は、上記第
1のポート手段を上記再入atチャンネル手段に接続す
る流量センサチャンネル手段を形成し、上記状態応答セ
ンサにおける流体の流れが、上記流量センサ手段の上を
通過するようにする。
上記本体手段の第2の側面の上におかれ、かつ、上記再
入流量チャンネル手段に第1の端部が流体密に接続され
、第2の端部が第2のポート手段に密閉接続されて、上
記状態応答センサを通る完全な流体流路を形成する毛管
絞り手段、を含むセンサが提供される。
更に、この発明により、流体差圧源を横切って接続され
る状態応答センサが提供される。すなわち、 第1のボート手段をもち、かつ、流量センサ手段を支持
する基部手段、 上記基部手段に隣接して第1の側面をもち、上記基部手
段の反対側に第2の側面を有する本体手段、 ただし、上記本体手段は上記第2の側面に診成され九〈
ぼみ手段をもつ、また、上記本体手段は、上記本体手段
の上記第1および第2の側面の間に接続された再入流量
チャンネル手段をもつ。更に、上記基部手段および上記
本体手段は、上記第1のボート手段を上記再入流量チャ
ンネル手段に接続する流量センサチャンネル手段を形成
し、上記状態応答センサにおける流体の流れが、上記流
量センサ手段の上を通過するようにする。
上記本体手段の第2の側面にある上記(はみ手段内に置
かれ、かつ、第1の端部が上記再入並置チャンネル手段
と流体密に接続され、第2の端部が第2のポート手段で
、上記〈はみ手段に密閉接続されて、上記状態応答セン
サを通る完全な流体流路を形成する上記毛管絞り手段、
を含むセンナが提供される。
更に、この発明により、流体差圧源を横切って接続され
る状態応答センサが提供される。すなわち、 流量センサチャンネル手段を定義する本体手段および基
部手段、 第if)/−)手段を含む上記流量センサチャンネル中
段、 上記a緻センサチャンネル手段に取りつけられた流量セ
ン・す手段、 第1の911部が上記流量センサチャンネル手段に流体
密に接続され、 かつ、第2の端部が第2のボート手段に密閉接続されて
、上記状態応答センサを通る完全な流体流路を形成する
毛管絞り手段 を含むセンサが提供される。
〔実施例〕
状態応答センサ10は、本体手段11および基部手段1
2をもつ。本体手段11は、プラスチックなどの絶縁物
のブロックで形成するのが便利である。基部手段12.
は、板状の材料ならば、いづれでもよい。この実施例で
はプリント配線板の一□ 部である。本体手段11は、
この状態応答センサ手段の二端16の近くの点15から
1.第2の一端17tでのびた矩形状〈はみ14を含む
、矩形状(ぼみ14は、流量センサチャンネル手段20
の3つの壁を形成する。流量センサチャンネル’P−R
20の第4の壁は、基部手段12の表面21に工って用
意される。本体手段11および基部手段12は、接合剤
などの簡便な方法に工って共通面22で接合されたり、
あるいはねじ、リベットなどによって機械的に結合され
る。
本体手段11の端部16の近(の基部手段12に開口部
23がある。開O部23は、流量センサチャンネル手段
20の端部15の近くKある丸孔が代表的である。
丸孔23および管24は、センサへの第1のポ。
−ト手段25となる。流量センサチャンネル手段20の
表面21上に流量センサ手段30が取りつけられる。流
量センサ手段30は、小型並置検出素子で、多様な既知
技術によって製造される。この実施例では、流量センサ
手段30け、シリコン基板上の集積回路に類似の方法で
集積されたデバイスを想定している。
流量センサ手段30け、基部手段12上に取りつけられ
て、電子回路ノぞツケージに接続手段31により接続さ
れる。基部手段12け、プリント配線板を用いることが
でき、したがってこの接続手段31もプリント配線によ
ることができる。電子回路ノソツケージ32は、流量セ
ンサ手段30からの電気的出力を出力し、従来技術によ
り設計される。電子回路パッケージ32を基部手段12
上に取りつけ、接続手段31としてプリント配線技術を
利用し、状態応答センサ10を小型のデノ々イスとして
製造すると取り扱いに便利である。
atセンサチャンネル手段20け、孔33で終端される
。孔33は、流量センサチャンネル手段20を本体手段
11の第2の側面34に接続するための再入流量チャン
ネル手段として機能する。
本体手段11の第2の側面34は、再入流量チャンネル
手段33と管37に四重れた終端36との間に、くぼみ
手段35が切り込まれている。
くぼみ手段35の終端36お工び管37け、状態応答セ
ンサ10の第2のポート手段40を形成する。
状態応答センサ10は、微φ径管からなる毛管絞シ手段
41の挿入によって完成する。毛管絞シ手段41Fi、
第2のポート手段40内の端部附近38で密閉接合され
た端部42をもち、再入流量チャンネル手段33を覆う
板44の下の端部附近39で密閉接合された第2の端部
43?I−もつ。
第1.2および3図灯、第1のポート手段25と第2の
ポート手段40の間を流体が流れるように、流体圧力源
を横切って接続さnる状態応答センサ會示す。その向き
については1問題ではなく。
E2かもこの状態応答センサは、差圧式流量応答センサ
として用いることもできる。流体の流量は毛管絞シ手段
41で制限されることは容易に理解できる。制限さnた
流れは、再入流量チャンネル手段33にLシ、流量セン
サチャンネル手段20に結合され、流量センサ手段30
の上を流nる。この流れは、比較的大きい断面積會もっ
た流量センサチャンネル手段20の中倉流れる。
この状態応答センサは、異なる流体圧、流体種類に対す
る特定のセンサとしての応用において、毛管絞り手段4
1のみを選択することを必要とするので、多量生産が可
能である。異なる応用に対し、状態応答センサを調整す
るために、毛管絞り手段41の寸法を選定するのは容易
である。
この発明は、また、毛管絞り手段41に対して流量セン
サチャンネル手段20をU字形構造にして、センサの全
長を短かくすることVCエリ、物理的寸法を制限しなけ
ればならない多くの応用に溝用できる↓うにしである。
第1.2および3図は、流量センサチャンネル手段20
および毛管絞り手段41が本体手段11の相対する側面
にある状態応答センサを示す。この構成は、U字形で、
小型の配置となる。流量センサチャンネル手段20お工
び毛管絞り手段41は、並行でなく、直列に配置するこ
とができるが、当然センナの全長は長(なる。
流体の流れが直列である限り、どのような物理的構造で
もよい。第・4図は、流量センサチャンネル手段と毛管
絞り手段を本体手紗同−−面に配置した同じような小型
構造を示す。第4図において、状態応答センサ10′は
、本体中段11′および基部手段12′をもつ。第1の
ポート手段25′は、鋤形状流量センサチャンネル手段
20′に接続された管24′で形成される。流量センサ
チャンネル手段2 G’は、任意の便宜的な方法で、本
体手段11’お工び/または基部手段12’に形成され
る。
流量センサ30は流量センサチャンネル手段20’内に
置かれ、回路31により電子回路/eツケージ32に接
続される。電子回路)ぞツケーク32は、本体手段11
′の縁51から張出した部分50の上に取付けられてい
る。
流量センサチャンネル手段20’は、板44′で覆われ
た再入流量チャンネル手段17′に接続されている。
再入流量チャンネル17′は、端部近傍52で、(ぼみ
35′に置かれた毛管絞9手段41の第1の端部43に
接続されている。〈はみ35′は、毛管絞す手段41の
第2の端W&42がある第2のポート手段40′に終端
されている。
毛管絞り手段41の端部42け、端部近傍53で密閉接
合され、くぼみ手段35′と毛管絞り手段41の端部4
2とともに第2のポート中段40′は、同一側面上にあ
り、センサの全長を短かくするために、U字構造になっ
ている。第1.2および3図のセンサと同様に、毛管絞
9手段41は、特定の応用に対して適合するように選定
される。
この発明の特許請求範囲内において、流量センサチャン
ネル手段を利用する本体手段および基部手段、および毛
管絞り手段は、興なる構成に変更することが可能である
ことは明白である。毛管絞り手段、流量センサチャンネ
ル手段お工び再入流量チャンネル手段の物理的配置の詳
細は変更可能であるので、この発明の範囲は請求の範囲
によって限定されることを望む。
【図面の簡単な説明】
第1図は状態応答センサのある実施例の平面図、第2図
は線2−2に沿った第1図の断回図、第3図は線3−3
に沿った第2図のセンサの断面図。 第4図は状態応答センサの他の実施例の平面図である。 10・・・状態応答センサ 11・・・本体手段 12・・・基部手段 17・・・再入流量チャンネル手段 20・・・流量センサチャンネル手段 25・・・第19ボート手段 30・・・流量センサ 32・・・電子回路ノぞツケージ 35・・・くぼみ手段 40・・・第2のボート手段 4】・・・毛管絞り手段 特許出願人 ハネウェル・インコーポレーテツド代理人
弁理士 松 下 義 治 第1頁の続き 0発 明 者 エルネスト・エイ・サ トレン

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 流体差圧源を横切って接続される状態応答セン
    サであって、 第1のポート手段を含む流量センサチャンネル手段を定
    める本体手段および基部手段と、上記流量センサチャン
    ネル手段に取付けられた流量センサ手段と、 第1の端部が上記流量センサチャンネル手段に流体密に
    接続され、第2の端部が第2のポート手段のところで密
    閉接合されて、上記状態応答センサを通る完全な流体通
    路を形成する毛管絞り手段とを具備する状態応答センサ
  2. (2)第1項において、本体手段および基部手段Jd 
    第1 ノホー ト手段の反対側で流量センサチャンネル
    手段に接続された再入並蓋チャンネルを含んで成ること
    を特徴とする状態応答センサ。
  3. (3) fi体差圧源を横切って接続される状態応答セ
    ンサであって、 第1のポート手段を持ち、かつ、流量センサ手段を支持
    する基部手段と、 上記基部手段に隣接して第14Z)91J面を持ち、上
    記基部手段の反対IIK第2の側面を有する本体手段と
    、 上記本体手段の電1おLび第2の側面の間に接続された
    再入fttチャンネル乎段ト、上記本体手段の第2の側
    面の上に置かれ、かつ、第1の端部が上記再入流せチャ
    ンネル手段に流体密に接続され、第2の端部が第2のポ
    ート手段のところで密閉接合されて、上記状態応答セン
    サを通る完全な流体通路を形成する毛管絞り手段とを具
    備し、 上記本体中段は上記再入流量チャンネル手段を有し、更
    に、上記基部手段および上記本体手段は、上記第1のポ
    ート手段を上記再入流量チャンネル手段に接続する流量
    センサチヤンネル手段を形成し、上記状態応答センサに
    おける流体の流れが上記流量センサ手段の上を通過する
    ようにしてなる状態応答センサ。
  4. (4) 第3項において、本体手段は第2の側面にくぼ
    み手段を有し、上記毛管絞り手段はこのくぼみ手段内に
    置かれてなる状態応答センサ。
JP60052143A 1984-03-19 1985-03-15 条件適合センサ Pending JPS60213819A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US06/590,673 US4555939A (en) 1984-03-19 1984-03-19 Condition responsive sensor for fluid flow measurement
US590673 1984-03-19

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60213819A true JPS60213819A (ja) 1985-10-26

Family

ID=24363208

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60052143A Pending JPS60213819A (ja) 1984-03-19 1985-03-15 条件適合センサ

Country Status (3)

Country Link
US (1) US4555939A (ja)
EP (1) EP0156271A1 (ja)
JP (1) JPS60213819A (ja)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4885938A (en) * 1988-12-16 1989-12-12 Honeywell Inc. Flowmeter fluid composition correction
US4961348A (en) * 1988-12-16 1990-10-09 Ulrich Bonne Flowmeter fluid composition correction
US7258003B2 (en) * 1998-12-07 2007-08-21 Honeywell International Inc. Flow sensor with self-aligned flow channel
US6911894B2 (en) * 1998-12-07 2005-06-28 Honeywell International Inc. Sensor package for harsh environments
US6631638B2 (en) 2001-01-30 2003-10-14 Rosemount Aerospace Inc. Fluid flow sensor
US6681623B2 (en) 2001-10-30 2004-01-27 Honeywell International Inc. Flow and pressure sensor for harsh fluids
US6871537B1 (en) 2003-11-15 2005-03-29 Honeywell International Inc. Liquid flow sensor thermal interface methods and systems
WO2007015195A1 (en) 2005-08-02 2007-02-08 Philips Intellectual Property & Standards Gmbh Illumination system, light-sensing plate and display device
DE102012102979A1 (de) * 2012-04-05 2013-10-24 Endress + Hauser Flowtec Ag Durchflussmessgerät, Messrohr sowie Verfahren zur Herstellung eines Durchflussmessgeräts

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5347185A (en) * 1976-10-08 1978-04-27 United States Surgical Corp Suturing organ structure and cutting same

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1972054A (en) * 1932-06-24 1934-08-28 Askania Werke Ag Fluid meter
US2709365A (en) * 1949-07-18 1955-05-31 Phillips Petroleum Co Flowmeter
US3149941A (en) * 1957-12-30 1964-09-22 Cons Electrodynamics Corp Chromatography apparatus
DE1222292B (de) * 1962-07-05 1966-08-04 Bergwerksverband Gmbh Geraet zur Messung der Geschwindigkeit stroemender Gase, insbesondere zur Messung von Wettergeschwindigkeiten im Bergbau
US3559482A (en) * 1968-11-27 1971-02-02 Teledyne Inc Fluid flow measuring apparatus
US3851526A (en) * 1973-04-09 1974-12-03 Tylan Corp Fluid flowmeter
US3971247A (en) * 1974-11-15 1976-07-27 Rodder Jerome A Fluid measuring apparatus
US4041757A (en) * 1975-12-30 1977-08-16 Teledyne, Inc. Fluid flowmeter
US4191216A (en) * 1978-07-10 1980-03-04 Daniel Industries, Inc. Fabricated orifice fitting mechanism for pipelines
US4222277A (en) * 1979-08-13 1980-09-16 Kulite Semiconductor Products, Inc. Media compatible pressure transducer
US4471647A (en) * 1980-04-18 1984-09-18 Board Of Regents Of Stanford University Gas chromatography system and detector and method
US4491024A (en) * 1981-07-06 1985-01-01 The Dow Chemical Company Method for metering sub-10 cc/minute liquid flow
EP0104004A1 (en) * 1982-09-06 1984-03-28 Graham Cameron Grant Fluid flowmeter and method of measuring flow rate

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5347185A (en) * 1976-10-08 1978-04-27 United States Surgical Corp Suturing organ structure and cutting same

Also Published As

Publication number Publication date
EP0156271A1 (en) 1985-10-02
US4555939A (en) 1985-12-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6272928B1 (en) Hermetically sealed absolute and differential pressure transducer
KR100965802B1 (ko) 대칭적으로 제공된 센서칩 및 압력도입통로를 구비한차압센서
US4815471A (en) Catheter assembly
US4314226A (en) Pressure sensor
US7673518B2 (en) Compact absolute and gage pressure transducer having a mounting apparatus for accurately positioning and aligning a leadless semiconductor chip on an associated header
KR20080108326A (ko) 일반 패키지에서 여러 측정량을 측정하는 모듈 센서 시스템
EP0569706B1 (en) Gas flow type angular velocity sensor
JPS60213819A (ja) 条件適合センサ
ATE185927T1 (de) Wegwerfbarer elektrofluidischer verbinder mit datenspeicherung
KR20130038805A (ko) 유량 센서 및 유량 검출 장치
JP2561230B2 (ja) 方向感知型流速指示器
EP3719470A2 (en) Pressure sensor with multiple pressure sensing elements
US6612180B1 (en) Dielectrically isolated plastic pressure transducer
EP3707481B1 (en) Miniature flow sensor with shroud
JPH07119636B2 (ja) 流量計
JPH0378624A (ja) 渦流量計
JP2823889B2 (ja) 圧力検出器
CN217006076U (zh) 一种流速增益封装结构及终端设备
JP2591277Y2 (ja) 差圧変換器
US20230115850A1 (en) Sensing Device
JP3597942B2 (ja) センサ機能を備えたカテーテル、半導体式物理量センサチップ
JP3021690B2 (ja) 差圧センサ
JP2000234976A (ja) 圧力センサ
JPH03261837A (ja) 半導体圧力センサ
JPH11326085A (ja) センサ