JP2823889B2 - 圧力検出器 - Google Patents
圧力検出器Info
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- JP2823889B2 JP2823889B2 JP1203156A JP20315689A JP2823889B2 JP 2823889 B2 JP2823889 B2 JP 2823889B2 JP 1203156 A JP1203156 A JP 1203156A JP 20315689 A JP20315689 A JP 20315689A JP 2823889 B2 JP2823889 B2 JP 2823889B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば圧力センサが半導体素子である場合
に使用して好適な圧力検出器に関するものである。
に使用して好適な圧力検出器に関するものである。
従来、この種の圧力検出器は第４図に示すように構成
されている。これを同図に基づいて説明すると、同図に
おいて、符号１および２で示すものは上下２つに分割さ
れた検出器ボディである。これら両検出器ボディ1,2の
うち上部の検出器ボディ１内は、隔壁３によって左右２
つのセンサ室4,5に画成されている。一方、下部の検出
器ボディ２内は、前記両センサ室4,5に各々半導体圧力
センサ6,7を介して隣接しかつ外部に開口する２つの導
圧路8,9が設けられている。これら両導圧路8,9は、各々
連絡路10,11によって前記センサ室5,4に連通されてい
る。12は前記両検出器ボディ1,2間に介装され前記半導
体圧力センサ6,7にワイヤ13,14によって接続するリード
フレームである。なお、図中符号A,Bは前記両導圧路8,9
に対する被測定流体a,bの導入方向を示す。なお、6aお
よび7aは前記半導体圧力センサ6,7のダイアフラム部で
ある。
されている。これを同図に基づいて説明すると、同図に
おいて、符号１および２で示すものは上下２つに分割さ
れた検出器ボディである。これら両検出器ボディ1,2の
うち上部の検出器ボディ１内は、隔壁３によって左右２
つのセンサ室4,5に画成されている。一方、下部の検出
器ボディ２内は、前記両センサ室4,5に各々半導体圧力
センサ6,7を介して隣接しかつ外部に開口する２つの導
圧路8,9が設けられている。これら両導圧路8,9は、各々
連絡路10,11によって前記センサ室5,4に連通されてい
る。12は前記両検出器ボディ1,2間に介装され前記半導
体圧力センサ6,7にワイヤ13,14によって接続するリード
フレームである。なお、図中符号A,Bは前記両導圧路8,9
に対する被測定流体a,bの導入方向を示す。なお、6aお
よび7aは前記半導体圧力センサ6,7のダイアフラム部で
ある。
このように構成された圧力検出器においては、各圧力
P1,P2が互いに異なる２つの被測定流体a,bを導圧路8,9
に導入することにより、半導体圧力センサ6,7の各出力
の和として流体圧を検出することができ、外部の振動等
によるノイズに対して強い検出器を得ることかできる。
P1,P2が互いに異なる２つの被測定流体a,bを導圧路8,9
に導入することにより、半導体圧力センサ6,7の各出力
の和として流体圧を検出することができ、外部の振動等
によるノイズに対して強い検出器を得ることかできる。
このとき、導圧路８内に導入された被測定流体ａは、
半導体圧力センサ６の裏面に圧力を印加すると共に、連
絡路10からセンサ室５内に流入して半導体圧力センサ７
の表面に圧力を印加する。
半導体圧力センサ６の裏面に圧力を印加すると共に、連
絡路10からセンサ室５内に流入して半導体圧力センサ７
の表面に圧力を印加する。
一方、導圧路９内に導入された被測定流体ｂは、半導
体圧力センサ７の裏面に圧力を印加すると共に、連絡路
11からセンサ室４内に流入して半導体圧力センサ６の表
面に圧力を印加する。
体圧力センサ７の裏面に圧力を印加すると共に、連絡路
11からセンサ室４内に流入して半導体圧力センサ６の表
面に圧力を印加する。
ここで、被測定流体a,bの圧力P1,P2がP1＞P2である場
合に、半導体圧力センサ6,7のダイアフラム部6a,7aは、
上側と下側に凸状態となる。
合に、半導体圧力センサ6,7のダイアフラム部6a,7aは、
上側と下側に凸状態となる。
ところで、この種の圧力検出器においては、半導体圧
力センサ6,7の表面（ダイアフラム面）が被測定流体a,b
に晒される構造であるため、被測定流体a,bが腐蝕性を
有する場合には半導体圧力センサ6,7が劣化し易くな
り、長期間に亘り半導体圧力センサ6,7の信頼性を維持
することができないという問題があった。また、半導体
圧力センサ6,7およびワイヤ13,14を保護する必要上、コ
ーティング材が通常使用されるが、このコーティング材
がダイアフラム部6a,7aに流れ出して圧力センサとして
の感圧能力が低下するという問題もあった。
力センサ6,7の表面（ダイアフラム面）が被測定流体a,b
に晒される構造であるため、被測定流体a,bが腐蝕性を
有する場合には半導体圧力センサ6,7が劣化し易くな
り、長期間に亘り半導体圧力センサ6,7の信頼性を維持
することができないという問題があった。また、半導体
圧力センサ6,7およびワイヤ13,14を保護する必要上、コ
ーティング材が通常使用されるが、このコーティング材
がダイアフラム部6a,7aに流れ出して圧力センサとして
の感圧能力が低下するという問題もあった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、圧
力センサの長寿命化を図ることができると共に、圧力セ
ンサとしての感圧能力を高めることができる圧力検出器
を提供するものである。
力センサの長寿命化を図ることができると共に、圧力セ
ンサとしての感圧能力を高めることができる圧力検出器
を提供するものである。
本発明に係る圧力検出器は、隔壁によって画成された
２つのセンサ室およびこれら両センサ室に各々圧力セン
サを介して隣接する２つの導圧路を有する検出器ボディ
を備え、この検出器ボディの両センサ室に連通する通路
を前記隔壁に設けるとともに、この通路および両センサ
室に圧力媒体液を内封したものである。
２つのセンサ室およびこれら両センサ室に各々圧力セン
サを介して隣接する２つの導圧路を有する検出器ボディ
を備え、この検出器ボディの両センサ室に連通する通路
を前記隔壁に設けるとともに、この通路および両センサ
室に圧力媒体液を内封したものである。
本発明においては、圧力媒体の選択によって圧力セン
サのダイアフラム面を外部から保護することができる。
サのダイアフラム面を外部から保護することができる。
以下、本発明の構成等を図に示す実施例によって詳細
に説明する。
に説明する。
第１図は本発明に係る圧力検出器を示す断面図であ
る。同図において、符号21で示すものは検出器ボディ
で、上下に分割形成された２つのケース22,23からな
り、内部には隔壁24によって画成された２つのセンサ室
25,26およびこれら両センサ室25,26に各々半導体圧力セ
ンサ27,28を介して隣接する２つの導圧路29,30が設けら
れている。この検出器ボディ21の隔壁24には、前記両セ
ンサ室25,26に連通する通路31が設けられている。そし
て、この通路31および前記両センサ室25,26には圧力媒
体液32が内封されている。33は例えばリードフレームや
ワイヤボード等の基板で、前記両ケース22,23間に介装
され、かつ前記半導体圧力センサ27,28にワイヤ34,35を
介して接続されている。なお、図中符号A,Bは前記両導
圧路29,30に対する被測定流体a,bの導入方向を示す。ま
た、27aおよび28aは前記半導体圧力センサ27,28のダイ
アフラム部である。
る。同図において、符号21で示すものは検出器ボディ
で、上下に分割形成された２つのケース22,23からな
り、内部には隔壁24によって画成された２つのセンサ室
25,26およびこれら両センサ室25,26に各々半導体圧力セ
ンサ27,28を介して隣接する２つの導圧路29,30が設けら
れている。この検出器ボディ21の隔壁24には、前記両セ
ンサ室25,26に連通する通路31が設けられている。そし
て、この通路31および前記両センサ室25,26には圧力媒
体液32が内封されている。33は例えばリードフレームや
ワイヤボード等の基板で、前記両ケース22,23間に介装
され、かつ前記半導体圧力センサ27,28にワイヤ34,35を
介して接続されている。なお、図中符号A,Bは前記両導
圧路29,30に対する被測定流体a,bの導入方向を示す。ま
た、27aおよび28aは前記半導体圧力センサ27,28のダイ
アフラム部である。
このように構成された圧力検出器においては、圧力媒
体液32を選択することにより半導体圧力センサ27,28の
ダイアフラム面を外部から保護することができるから、
半導体圧力センサ27,28の劣化を防止することができ
る。
体液32を選択することにより半導体圧力センサ27,28の
ダイアフラム面を外部から保護することができるから、
半導体圧力センサ27,28の劣化を防止することができ
る。
また、本実施例において、圧力媒体液32の選択によっ
て半導体圧力センサ27,28のダイヤフラム面を保護でき
ることは、従来必要とした半導体圧力センサ27,28およ
びワイヤ34,35のコーティング材が不要になる。
て半導体圧力センサ27,28のダイヤフラム面を保護でき
ることは、従来必要とした半導体圧力センサ27,28およ
びワイヤ34,35のコーティング材が不要になる。
次に、本発明による圧力検出器の圧力検出について説
明する。
明する。
すなわち、各圧力P1,P2が互いに異なる２つの被測定
流体a,bを導圧路29,30に導入することにより、半導体圧
力センサ27,28の各出力の和として流体圧を検出するこ
とができる。
流体a,bを導圧路29,30に導入することにより、半導体圧
力センサ27,28の各出力の和として流体圧を検出するこ
とができる。
このとき、導圧路29内に導入された被測定流体ａは、
半導体圧力センサ27の裏面に圧力を印加する。
半導体圧力センサ27の裏面に圧力を印加する。
一方、導圧路30内に導入された被測定流体ｂは、半導
体圧力センサ28の裏面に圧力を印加する。
体圧力センサ28の裏面に圧力を印加する。
ここで、被測定流体a,bの圧力P1,P2がP1＞P2である場
合には、この差圧力ΔＰによって半導体圧力センサ27,2
8のダイアフラム部27a,28aが上側と下側に凸状態とな
る。
合には、この差圧力ΔＰによって半導体圧力センサ27,2
8のダイアフラム部27a,28aが上側と下側に凸状態とな
る。
因に、本実施例における圧力検出器の組立方法につい
て説明する。
て説明する。
すなわち、先ず基板33に半導体圧力センサ27,28をワ
イヤ34,35によって接続し、次いでこれを上下両ケース2
2,23のうち下部のケース23に固定し、しかる後センサ室
25,26が気密空間となるようにケース22を取り付けてか
ら、センサ室25,26および通路31内に圧力媒体液32を封
入することにより行われる。
イヤ34,35によって接続し、次いでこれを上下両ケース2
2,23のうち下部のケース23に固定し、しかる後センサ室
25,26が気密空間となるようにケース22を取り付けてか
ら、センサ室25,26および通路31内に圧力媒体液32を封
入することにより行われる。
なお、本実施例においては、半導体圧力センサ27,28
のダイヤフラム面を水平方向に位置付ける場合を示した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、第２図に
示すように各ダイヤフラム面を互いに対向させて鉛直方
向に位置付けても実施例と同様の効果を奏する。同図に
おいて、符号51〜53は３つの検出器ボディ、54はこれら
検出器ボディ51〜53のうち中央部の検出器ボディ52内に
設けられ通路55を有する隔壁、56および57はこの隔壁54
によって画成されたセンサ室、58および59はこれら両セ
ンサ室56,57に各々半導体圧力センサ60,61を介して隣接
する導圧路、62および63はこれら両導圧路58,59に連通
する導圧孔である。また、64は接着層である。
のダイヤフラム面を水平方向に位置付ける場合を示した
が、本発明はこれに限定されるものではなく、第２図に
示すように各ダイヤフラム面を互いに対向させて鉛直方
向に位置付けても実施例と同様の効果を奏する。同図に
おいて、符号51〜53は３つの検出器ボディ、54はこれら
検出器ボディ51〜53のうち中央部の検出器ボディ52内に
設けられ通路55を有する隔壁、56および57はこの隔壁54
によって画成されたセンサ室、58および59はこれら両セ
ンサ室56,57に各々半導体圧力センサ60,61を介して隣接
する導圧路、62および63はこれら両導圧路58,59に連通
する導圧孔である。また、64は接着層である。
このように構成された圧力検出器においては、通路55
の全長を短縮することができるから、検出時の圧力損失
を小さくすることができる。
の全長を短縮することができるから、検出時の圧力損失
を小さくすることができる。
次に、本発明の別の発明に係る圧力検出器について説
明する。
明する。
第３図は本発明の別の発明に係る圧力検出器を示す断
面図である。同図において、符号71は半導体圧力センサ
72を内蔵するセンサ室73およびこのセンサ室73の内外に
開口する開口部74を有する検出器ボディ、75はこの検出
器ボディ71に開口部74を閉塞するように設けられ外面側
に流体圧を受けるダイアフラム、76はこのダイアフラム
75から半導体圧力センサ72の一側（ダイアフラム面）に
流体圧を伝達する圧力媒体液である。なお、半導体圧力
センサ72はこの半導体圧力センサ72のセンサ部分と同じ
サイズの台座77上に取り付けられており、この台座77と
半導体圧力センサ72間に形成される空間部78には基準圧
力となるガス（図示せず）が内封されている。また、79
および80はワイヤとリードフレーム、81は半導体圧力セ
ンサ72のダイアフラム部である。なお、82は流体圧の導
入方向である。
面図である。同図において、符号71は半導体圧力センサ
72を内蔵するセンサ室73およびこのセンサ室73の内外に
開口する開口部74を有する検出器ボディ、75はこの検出
器ボディ71に開口部74を閉塞するように設けられ外面側
に流体圧を受けるダイアフラム、76はこのダイアフラム
75から半導体圧力センサ72の一側（ダイアフラム面）に
流体圧を伝達する圧力媒体液である。なお、半導体圧力
センサ72はこの半導体圧力センサ72のセンサ部分と同じ
サイズの台座77上に取り付けられており、この台座77と
半導体圧力センサ72間に形成される空間部78には基準圧
力となるガス（図示せず）が内封されている。また、79
および80はワイヤとリードフレーム、81は半導体圧力セ
ンサ72のダイアフラム部である。なお、82は流体圧の導
入方向である。
このように構成された圧力検出器においては、圧力媒
体液76を選択することにより半導体圧力センサ72のダイ
アフラム面を外部から保護することができるから、半導
体圧力センサ72の劣化を防止することができる。
体液76を選択することにより半導体圧力センサ72のダイ
アフラム面を外部から保護することができるから、半導
体圧力センサ72の劣化を防止することができる。
また、本実施例において、圧力媒体液76の選択によっ
て半導体圧力センサ72のダイアフラム面を保護できるこ
とは、従来必要とした半導体圧力センサ72およびワイヤ
79のコーティング材が不要になる。
て半導体圧力センサ72のダイアフラム面を保護できるこ
とは、従来必要とした半導体圧力センサ72およびワイヤ
79のコーティング材が不要になる。
なお、本発明における圧力検出器による圧力検出時に
は、ダイアフラム75で受けた流体圧が圧力媒体液76を介
して半導体圧力センサ72のダイアフラム面に伝達され
る。
は、ダイアフラム75で受けた流体圧が圧力媒体液76を介
して半導体圧力センサ72のダイアフラム面に伝達され
る。
以上説明したように本発明に係る圧力検出器によれ
ば、隔壁によって画成された２つのセンサ室およびこれ
ら両センサ室に各々圧力センサを介して隣接する２つの
導圧路を有する検出器ボディを備え、この検出器ボディ
の両センサ室に連通する通路を前記隔壁に設けるととも
に、この通路および両センサ室に圧力媒体液を内封した
ので、圧力媒体液を選択することにより圧力センサの表
面を外部から保護することができる。したがって、、圧
力センサの劣化を防止することができるから、圧力セン
サの長寿命化を図ることができる。また圧力媒体液の選
択によって圧力センサの表面を保護できることは、従来
必要とした圧力センサ等のコーティング材が不要となる
から、コーティング材のダイアフラム部への流出がなく
なり、圧力センサとしての感圧能力を高めることもでき
る。
ば、隔壁によって画成された２つのセンサ室およびこれ
ら両センサ室に各々圧力センサを介して隣接する２つの
導圧路を有する検出器ボディを備え、この検出器ボディ
の両センサ室に連通する通路を前記隔壁に設けるととも
に、この通路および両センサ室に圧力媒体液を内封した
ので、圧力媒体液を選択することにより圧力センサの表
面を外部から保護することができる。したがって、、圧
力センサの劣化を防止することができるから、圧力セン
サの長寿命化を図ることができる。また圧力媒体液の選
択によって圧力センサの表面を保護できることは、従来
必要とした圧力センサ等のコーティング材が不要となる
から、コーティング材のダイアフラム部への流出がなく
なり、圧力センサとしての感圧能力を高めることもでき
る。
特に、本発明によれば、圧力センサの表面側のセンサ
室を圧縮率の小さい液体である圧力媒体液で充満させる
ことにより２つの圧力差を相互にこの圧力媒体液を介し
て伝達することができ、微小な圧力差を拡大して電気信
号として得ることができる。
室を圧縮率の小さい液体である圧力媒体液で充満させる
ことにより２つの圧力差を相互にこの圧力媒体液を介し
て伝達することができ、微小な圧力差を拡大して電気信
号として得ることができる。
第１図は本発明に係る圧力検出器の一実施例を示す断面
図、第２図は他の実施例を示す断面図、第３図は本発明
の別の発明に係る圧力検出器を示す断面図、第４図は従
来の圧力検出器を示す断面図である。 21……検出器ボディ、22,23……ケース、24……隔壁、2
5,26……センサ室、27,28……半導体圧力センサ、29,30
……導圧路、31……通路、32……圧力媒体液。
図、第２図は他の実施例を示す断面図、第３図は本発明
の別の発明に係る圧力検出器を示す断面図、第４図は従
来の圧力検出器を示す断面図である。 21……検出器ボディ、22,23……ケース、24……隔壁、2
5,26……センサ室、27,28……半導体圧力センサ、29,30
……導圧路、31……通路、32……圧力媒体液。
Claims (1)
- 【請求項１】隔壁によって画成された２つのセンサ室お
よびこれら両センサ室に各々圧力センサを介して隣接す
る２つの導圧路を有する検出器ボディを備え、 この検出器ボディの両センサ室に連通する通路を前記隔
壁に設けるとともに、この通路および前記両センサ室に
圧力媒体液を内封したことを特徴とする圧力検出器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1203156A JP2823889B2 (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | 圧力検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1203156A JP2823889B2 (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | 圧力検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367139A JPH0367139A (ja) | 1991-03-22 |
| JP2823889B2 true JP2823889B2 (ja) | 1998-11-11 |
Family
ID=16469361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1203156A Expired - Lifetime JP2823889B2 (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 | 圧力検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2823889B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2991014B2 (ja) * | 1993-10-08 | 1999-12-20 | 三菱電機株式会社 | 圧力センサ |
| JP4044307B2 (ja) | 2001-08-01 | 2008-02-06 | 株式会社山武 | 圧力センサ |
| EP3654005B1 (en) * | 2018-11-15 | 2022-05-11 | TE Connectivity Solutions GmbH | Differential pressure sensor device |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5937716Y2 (ja) * | 1979-01-31 | 1984-10-19 | 日産自動車株式会社 | 半導体差圧センサ |
| JPS57178121A (en) * | 1981-04-27 | 1982-11-02 | Hitachi Ltd | Absolute pressure transmission device |
| JPS63292031A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-29 | Nec Corp | 圧力検出デバイス |
-
1989
- 1989-08-04 JP JP1203156A patent/JP2823889B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0367139A (ja) | 1991-03-22 |
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