JP6028557B2 - センサユニット - Google Patents
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Description
この発明によると、ボディ部材に形成された挿通孔に挿通される外部電極の一部をなす貫通電極、或いは外部電極に接続される内部配線が形成されたセラミックス部材によって、ボディ部材の第1面側に搭載されたセンサ部の周囲が覆われ、且つボディ部材に形成された挿通孔が塞がれるようにされている。
また、本発明のセンサユニットは、前記貫通電極或いは前記内部配線が、前記ボディ部材の第1面側に接合された前記セラミックス部材の端部とは異なる端部において幅広に形成されていることを特徴としている。
また、本発明のセンサユニットは、前記センサ部が、前記キャップ部材を介して導かれる外部の第1圧力を受ける第1受圧面(11a)と、外部の第2圧力を受ける第2受圧面(11b)とを備えており、前記ボディ部材には、前記第2圧力を前記センサ部の前記第2受圧面に導く導圧路(C1)が形成されていることを特徴としている。
また、本発明のセンサユニットは、前記挿通孔が、前記導圧路の形成位置に応じて偏心した状態に形成されることを特徴としている。
また、本発明のセンサユニットは、前記セラミックス部材が、積層構造であることを特徴としている。
また、本発明のセンサユニットは、前記貫通電極或いは前記内部配線の少なくとも一部に沿うように形成されたシールド部材(41a〜41c)を備えることを特徴としている。
図1は、本発明の第1実施形態によるセンサユニットの断面図である。図1に示す通り、本実施形態のセンサユニット1は、センサ部11、支持台12、セラミックス部材13、保護キャップ14、金属キャップ15(キャップ部材)、金属ピン16(外部電極)、及び金属ボディ17(ボディ部材)を備える構成である。かかる構成のセンサユニット1は、金属キャップ15を介して封液室Rに導かれる圧力と、導圧路C1〜C3を介して導かれる圧力との差圧を測定し、その測定結果を示す信号を金属ピン16から外部に出力する。
図3は、本発明の第2実施形態によるセンサユニットの断面図である。尚、図3においては、図1に示したセンサユニット1が備える部材と同様の部材については同一の符号を付してある。図3に示す通り、本実施形態のセンサユニット2は、図1に示すセンサユニット1が備えるセラミックス部材13に代えて積層構造のセラミックス部材21を設け、金属ボディ17に代えて金属ボディ22を設け、更には金属ピン16に代えて金属ピン23を設けたものである。
図4は、本発明の第3実施形態によるセンサユニットの断面図である。尚、図4においては、図3に示したセンサユニット2が備える部材と同様の部材については同一の符号を付してある。図4に示す通り、本実施形態のセンサユニット3は、図3に示すセンサユニット2を全体的に小型化し、これに応じて金属ピン23が挿通される挿通孔T2を偏心させるとともに、セラミックス部材21における内部配線21aの形成位置及び金属ピン23の取り付け位置を変更したものである。
図5は、本発明の第4実施形態によるセンサユニットの断面図である。尚、図5においては、図3に示したセンサユニット2が備える部材と同様の部材については同一の符号を付してある。図5に示す通り、本実施形態のセンサユニット4は、図3に示すセンサユニット2に設けられるセラミックス部材21内に、内部配線21aの少なくとも一部に沿うようにされたシールドパターン41a〜41c(シールド部材)を形成して寄生容量を低減したものである。
11 センサ部
11a 第1受圧面
11b 第2受圧面
13 セラミックス部材
15 金属キャップ
16 金属ピン
17 金属ボディ
21 セラミックス部材
21a 内部配線
22 金属ボディ
23 金属ピン
41a〜41c シールドパターン
C1 導圧路
S1 第1面
S2 第2面
T1,T2 挿通孔
Claims (6)
- 第1面側から第2面側に至る挿通孔が形成されたボディ部材と、該ボディ部材の第1面側に搭載されたセンサ部と、前記挿通孔に挿通された前記センサ部の外部電極と、前記ボディ部材の第1面側で前記センサ部を覆うキャップ部材とを備えるセンサユニットにおいて、
前記キャップ部材の内部に設けられ、少なくとも前記センサ部の周囲を覆い、且つ前記挿通孔を塞ぐように前記ボディ部材の第1面側に接合されており、前記外部電極の一部をなす貫通電極、或いは前記外部電極に接続される内部配線が形成されたセラミックス部材と、
前記キャップ部材の内部において、前記センサ部の上部を覆うように前記セラミックス部材の一端部側に配置され、前記セラミックス部材との間の隙間を介して前記キャップ部材を介した圧力が導かれる封液室を前記セラミックス部材とともに形成する、セラミックスで形成された保護キャップ部材と
を備えることを特徴とするセンサユニット。 - 前記貫通電極或いは前記内部配線は、前記ボディ部材の第1面側に接合された前記セラミックス部材の端部とは異なる端部において幅広に形成されていることを特徴とする請求項1記載のセンサユニット。
- 前記センサ部は、前記キャップ部材を介して導かれる外部の第1圧力を受ける第1受圧面と、外部の第2圧力を受ける第2受圧面とを備えており、
前記ボディ部材には、前記第2圧力を前記センサ部の前記第2受圧面に導く導圧路が形成されている
ことを特徴とする請求項1又は請求項2記載のセンサユニット。 - 前記挿通孔は、前記導圧路の形成位置に応じて偏心した状態に形成されることを特徴とする請求項3記載のセンサユニット。
- 前記セラミックス部材は、積層構造であることを特徴とする請求項1から請求項4の何れか一項に記載のセンサユニット。
- 前記貫通電極或いは前記内部配線の少なくとも一部に沿うように形成されたシールド部材を備えることを特徴とする請求項1から請求項5の何れか一項に記載のセンサユニット。
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JP2012277264A JP6028557B2 (ja) | 2012-12-19 | 2012-12-19 | センサユニット |
Publications (2)
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JP2014119433A JP2014119433A (ja) | 2014-06-30 |
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Family
ID=51174372
Family Applications (1)
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JP2012277264A Active JP6028557B2 (ja) | 2012-12-19 | 2012-12-19 | センサユニット |
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2012
- 2012-12-19 JP JP2012277264A patent/JP6028557B2/ja active Active
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