JPS63292031A - 圧力検出デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は圧力検出デバイスに関し、特にピエゾ抵抗素子
を用いたシリコンダイアフラム形“感圧素子に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の圧力検出デバイスは１個の感圧素子の回
路面側に圧力媒体を導入する構造であった。特に、差圧
測定の場合には、回路面側への圧力媒体の導入は避ける
ことができない。

［発明が解決しようとする問題点〕 上述した従来の圧力検出デバイスは回路面側への被測定
圧力媒体の導入を避けることができず。

媒体による回路の損傷を防ぐため次の考慮が必要となっ
た。

ｌ）使用できる媒体の制限条件が厳しくなる。

２）特殊な回路保護構造を必要とする。

その結果、感圧性能の低下、用途が限定される、信頼性
が低下するなどの欠点を持つ。また、感圧素子が１個で
あるため、複数の圧力検出をするた、めには複数の圧力
検出デバイスを必要とするので、測定系が複雑で小型化
しにくいという欠点を持つ。

本発明の目的は前記問題点を解消する圧力検出デバイス
を提供することにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明はピエゾ抵抗素子を有するシリコンダイアプラム
形感圧素子を用いた圧力検出デバイスにおいて、２個以
上の感圧素子と、各感圧素子ごとに非回路面側から圧力
媒体を導入するボートとを有することを特徴とする圧力
検出デバイスである。

〔実施例〕

次に、本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の断面図である。１枚のシリ
コン基板に２個の感圧素子１，２を形成したチップ３を
台座４を介して筐体５に封止固着し、感圧素子１，２に
設けたダイアフラム凹部に対応して台座４に設けた孔６
，７及び筐体に設けた圧力媒体導入ボート８，９を形成
しである。一方、感圧素子１，２への電源供給、出力信
号取り出しなどは配線１０、リード１１により行う。ま
た、チップ３の回路面側は制御された雰囲気を満たした
状態でキャップ１２で封止する。

なお、上記実施例では台座４が設けであるが。

これは本発明の本質にか＼わるものではなく、必ず必要
なものではない。さらに、感圧素子は２個に限定される
ものではなく、２個以上あれば良い。

また、各種部材、ボートの形状などは図示のものに限定
されるものではない。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、２個以上の感圧素子を有
する非回路面側から各素子毎に圧力媒体を導入できる構
造とすることにより、半導体回路を汚損し機能障害を起
こしたり、寿命を短くするような原因となる不純物或い
は制御できない圧力媒体に対する圧力測定を容易にする
とともに、特殊な回路保護構造を必要とせず通常の気密
封止が使用できるという効果がある。特に差圧ｉ１＋１
定の場合には、圧力媒体の半導体回路への影響を考慮す
る必要がなくなるので用途に対する自由度が飛躍的に向
上するという効果がある。さらに、複数の圧力媒体間の
圧力測定が同時にできるようになるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の断面図である。 １．２・・・感圧素子　　　　３・・・チップ４・・・
台座　　　　　　　５・・・筐体６．７・・・孔　　　
　　　　８，９・・・圧力媒体導入ボート１０・・・配
線　　　　　　　１１・・・リード１２・・・キャップ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ピエゾ抵抗素子を有するシリコンダイアフラム形
   感圧素子を用いた圧力検出デバイスにおいて、２個以上
   の感圧素子と、各感圧素子ごとに非回路面側から圧力媒
   体を導入するポートとを有することを特徴とする圧力検
   出デバイス。