JP7828147B2

JP7828147B2 - マスク及びマスク製造方法

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Publication number: JP7828147B2
Application number: JP2021137503A
Authority: JP
Inventors: ヒキム; ジョンクキム; ダヘチョン; スンヨンソン; アリンイ; ヘヨンチュ; キュファンファン
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Current assignee: Samsung Display Co Ltd
Priority date: 2020-08-26
Filing date: 2021-08-25
Publication date: 2026-03-11
Anticipated expiration: 2041-08-25
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Description

本発明はマスク及びマスク製造方法に関し、より詳しくは、信頼性が向上したマスク及びマスク製造方法に関する。

表示パネルは複数の画素を含む。画素のそれぞれは、トランジスタのような駆動素子及び有機発光ダイオードのような表示素子を含む。表示素子は、基板の上に電極と発光パターンを積層して形成される。

発光パターンは、所定の領域に形成されるように貫通部が定義されたマスクを利用してパターニングされる。発光パターンは、貫通部によって露出される領域に形成される。発光パターンの形状は貫通部の形状に応じて制御される。

本発明は、蒸着工程に対する信頼性が向上されたマスク及びマスク製造方法を提供することを目的とする。

本発明の一実施例は、マスク引張及び溶接工程の後、セル開口部のレーザ加工を行ってセル開口部の加工精密度を上げ、デッドスペースを減らすことを目的とする。

本発明の一実施例によるマスク及びマスク製造方法は、セル開口部のレーザ加工の前に予備加工を介して引っ張られているマスクシートの引張力を減らすことで、セル開口部の加工精密度を向上させることを目的とする。

実施例のマスク製造方法は、マスクシート及びフレームを用意するステップと、前記マスクシートを引っ張り、前記引っ張られているマスクシートを前記フレームに固定するステップと、前記フレームに固定された前記マスクシートの上に複数個のセル開口部を形成するステップと、を含む。

前記複数個のセル開口部を形成するステップは、前記フレームに固定された前記マスクシートの上に複数個の予備セル開口部を形成するステップと、前記複数個の予備セル開口部にそれぞれ対応するように前記複数個のセル開口部を形成するステップと、を含む。

前記複数個の予備セル開口部のそれぞれのサイズは、前記複数個のセル開口部のそれぞれのサイズの２５％以上９０％以下である。

前記複数個の予備セル開口部の形状は、前記複数個のセル開口部の形状とは異なる。

前記マスクシートを用意するステップは、前記マスクシートの上に複数個の予備セル開口部を形成するステップを含み、前記複数個のセル開口部を形成するステップは、前記予備セル開口部にそれぞれ対応するように前記複数個のセル開口部を形成するステップを含む。

前記予備セル開口部は、いずれも前記セル開口部を形成するステップで除去される。

前記複数個のセル開口部を形成するステップは、前記フレームに固定された前記マスクシートの上にレーザを照射するステップを含む。

前記複数個のセル開口部を定義する前記マスクシートの内側面はテーパ状を有する。

前記マスクシートを前記フレームに固定するステップと前記複数個のセル開口部を形成するステップとの間に、前記フレームに固定された前記マスクシートの上に静電チャックを配置するステップを更に含む。

前記複数個のセル開口部を形成するステップは、前記複数個のセル開口部を形成する前に複数個の予備セル開口部を形成するステップを含み、前記複数個のセル開口部のそれぞれは、前記複数個の予備セル開口部にそれぞれ対応し、前記複数個のセル開口部のそれぞれのサイズは、前記複数個の予備セル開口部のそれぞれのサイズより大きい。

前記複数個のセル開口部を形成するステップの後に、前記マスクシートから前記静電チャックを除去するステップを更に含む。

実施例のマスク製造方法は、マスクシート及びフレームを用意するステップと、前記マスクシートを引っ張り、引っ張られている前記マスクシートを前記フレームに固定するステップと、前記フレームに固定された前記マスクシートの上に複数個のスリット開口部を形成するステップと、前記複数個のスリット開口部の間に複数個のセル開口部をそれぞれ形成するステップと、を含む。

前記複数個のスリット開口部の個数は、前記複数個のセル開口部の個数より多い。

前記複数個のスリット開口部のそれぞれのサイズは、前記複数個のセル開口部のそれぞれのサイズより小さい。

前記複数個のセル開口部を形成するステップは、前記複数個のスリット開口部の間に予備セル開口部をそれぞれ形成し、前記予備セル開口部にそれぞれ対応するように前記複数個のセル開口部を形成するステップを含む。

前記予備セル開口部のサイズは前記セル開口部のサイズより小さく、前記予備セル開口部の形状は前記セル開口部の形状とは異なる。

前記マスクシートを前記フレームに固定するステップの後に、前記マスクシートの上に静電チャックを配置するステップを更に含む。

実施例のうち、マスクはフレーム及び前記フレームの上に配置され、複数個のセル開口部及び前記複数個のセル開口部の間に複数個のスリット開口部がそれぞれ設けられたマスクシートを含み、前記スリット開口部のそれぞれの幅は前記セル開口部のそれぞれの幅より小さい。

前記スリット開口部の上に配置され、前記スリット開口部をそれぞれ遮蔽する複数個の遮蔽部材を更に含む。

前記遮蔽部材の材質は前記マスクシートの材質と同じである。

本発明の一実施例は、先に引張及び溶接を行い後に加工を行うことで、加工精密度が向上されてシャドウイングを減らすことができる。

本発明の一実施例によるマスク製造方法によって製造されるマスクは、マスクの上でセルポジションの精密度が向上して、蒸着工程でシャドウイングが形成されることが防止される。本発明によるマスクを利用して形成される表示パネルは、デッドスペースが減少されて不良が防止される。

本発明の一実施例によるマスクを示す斜視図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示すフローチャートである。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示すフローチャートである。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示すフローチャートである。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示すフローチャートである。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。

本明細書において、ある構成要素（または領域、層、部分など）が他の構成要素の「上にある」、「接続される」、または「結合される」と言及されれば、それは他の構成要素の上に直接配置・接続・結合され得るか、またはそれらの間に第３の構成要素が配置され得ることを意味する。

同じ図面符号は同じ構成要素を指す。また、図面において、構成要素の厚さ、割合、及び寸法は技術的内容の効果的な説明のために誇張されている。「及び／または」は、関連する構成要素が定義する一つ以上の組み合わせを全て含む。

第１、第２などの用語は多様な構成要素を説明するのに使用されるが、前記構成要素は前記用語に限らない。前記用語は一つの構造要素を他の構成要素から区別する目的にのみ使用される。例えば、本発明の権利範囲を逸脱しないながらも第１構成要素は第２構成要素と命名されてもよく、同様に第２構成要素も第１構成要素と命名されてもよい。単数の表現は、文脈上明白に異なるように意味しない限り、複数の表現を含む。

また、「下に」、「下側に」、「上に」、「上側に」などの用語は、図面に示した構成要素の相対関係を説明するために使用される。前記用語は相対的な概念であって、図面に示した方向を基準に説明される。

「含む」または「有する」などの用語は明細書の上に記載された特徴、数字、ステップ、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定するものであって、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、ステップ、動作、構成要素、部分品またはこれらを組み合わせたものの存在または付加の可能性が排除されないと理解すべきである。

異なるように定義されない限り、本明細書で使用された全ての用語（技術的及び科学的用語を含む）は、本発明の属する技術分野の当業者によって一般的に理解されるようなものと同じ意味を有する。また、一般的に使用される辞書に定義されている用語のような用語は、関連技術の脈絡での意味と一致する意味を有すると解釈すべきであり、理想的な、または過度に形式的な意味に解釈されない限り、明示的にここで定義される。

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。

図１は、本発明の一実施例によるマスクを示す斜視図である。図１は本発明の一実施例によるマスクの分解斜視図を示している。

図１を参照すると、マスクＭＫは蒸着物質を蒸着する工程に使用される。本発明の一実施例において、マスクＭＫはフレームＦＲ及びマスクシートＭＳを含む。

各構成要素の上面は第１方向ＤＲ１と第２方向ＤＲ２が定義する面と平行する。各構成要素の厚さ方向は第３方向ＤＲ３である。各構成要素の上側（または上面）または下側（または下面）は第３方向ＤＲ３によって区分される。しかし、第１乃至第３方向ＤＲ１、ＤＲ２、ＤＲ３が指示する方向は相対的な概念であって、他の方向に変換されてもよい。

フレームＦＲは平面上において環状を有する。つまり、フレームＦＲの中央を含む領域にはオープン領域が提供される。オープン領域はフレームＦＲの上面からフレームＦＲの下面まで貫通する穴である。

図１ではフレームＦＲの形状の一例として四角環状を例示的に示したが、フレームＦＲの形状はこれに限らない。例えば、フレームＦＲは円形環状、多角環状など多様な形状を有してもよい。図１ではフレームＦＲがマスクシートＭＳの下部に配置されてマスクシートＭＳを支持する構成を例示的に簡略に示したが、これに限らず、フレームＦＲはマスクシートＭＳの縁の上部及び下部に配置されてマスクシートＭＳを支持し、マスクシートＭＳを第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２に延長してもよい。

一実施例によるマスクシートＭＳは、第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２に沿って配列される複数のセル開口部ＣＡを含む。本実施例において、セル開口部ＣＡは第１方向ＤＲ１に沿って５つ、第２方向ＤＲ２に沿って２つが互いに離隔されて配置される構成を示したが、これは例示的な図示であって、マスクシートＭＳはより多い数のセル開口部ＣＡを含んでもよく、セル開口部ＣＡは第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２のうちいずれか一つに沿って配列されてもよく、いずれか一つの実施例に限らない。

一実施例によるマスクシートＭＳは、第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２に沿って延長される板状を有してもよい。マスクシートＭＳは第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２に沿って配列される複数個のセル開口部ＣＡを含み、各セル開口部ＣＡが互いに連結されるように一体の板状を有する。マスクシートＭＳは複数のセル開口部ＣＡ及びセル開口部ＣＡのそれぞれを囲む延長領域を含み、延長領域によってそれぞれのセル開口部ＣＡが連結されて、マスクシートＭＳは一体の板状を有する。本実施例によるマスクシートＭＳは、第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２のうちいずれか一方向にのみ延長される棒（ｓｔｉｃｋ）状ではなく、第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２のそれぞれに延長される板状に形成される。但し、これに限らず、本発明の他の実施例によるマスクシートＭＳは第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２のうちいずれか一方向に延長され、他の方向に離隔される棒状であってもよい。

一実施例において、マスクシートＭＳとフレームＦＲは同じ材質で形成される。例えば、マスクシートＭＳとフレームＦＲは鉄（Ｆｅ）とニッケル（Ｎｉ）の合金を含んでもよい。一実施例において、マスクシートＭＳとフレームＦＲはニッケルと鉄を含み、コバルト（Ｃｏ）を更に含む。この場合、マスクシートＭＳとフレームＦＲそれぞれは約５％のコバルト（Ｃｏ）を含む。

図２は、本発明の一実施例によるマスク製造方法を示すフローチャートである。図３は、本発明の一実施例によるマスク製造方法を示すフローチャートである。図４Ａ乃至図４Ｅは、本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。

図４Ａ乃至図４Ｅは図２及び図３のフローチャートによるマスク製造方法を示している。

図２を参照すると、マスク製造方法は、フレーム及び予備マスクシートを用意するステップを含む。予備マスクシートは、マスクシートを形成するための板状部材に当たる。予備マスクシートとは、セル開口部が形成される前のマスクシートを意味する。説明の便宜上、予備マスクシートはセル開口部を含むマスクシートと区別するための用語として使用される。

本発明の一実施例によるマスク製造方法は、フレームに合わせて予備マスクシートを引っ張るステップＳ１００を含む。予備マスクシートは、フレームの上に固定されるためにフレームのサイズ程度に引っ張られる。

本発明の一実施例によるマスク製造方法は、予備マスクシートをフレームに固定するステップＳ２００を含む。予備マスクシートは、引っ張られた状態でフレームの上に溶接によって固定される。

本発明の一実施例によるマスク製造方法は、フレームに溶接固定された予備マスクシートの上に複数のセル開口部を形成するステップＳ３００を含む。予備マスクシートの上に複数のセル開口部を形成することでマスクシートが形成される。

図３を参照すると、複数個のセル開口部を形成するステップＳ３００（図２を参照）は、予備マスクシートの上に複数の予備セル開口部を形成するステップＳ３１０と、形成された複数個の予備セル開口部のそれぞれに対応する複数のセル開口部を形成するステップＳ３２０と、を含む。ここで、複数の予備セル開口部は、セル開口部を形成する前にセル開口部が形成される位置に予め形成する臨時開口部に当たる。

他の一実施例において、予備セル開口部は予備マスクシートを用意するステップで形成される。つまり、予備セル開口部は、予備マスクシートが引っ張られてフレームに固定される前に形成される。予備マスクシートは精密に形成される必要はなく、予備マスクシートを引っ張ってフレームに固定した後で形成する必要がないためである。

図４Ａ乃至図４Ｅを参照して、図２及び図３の一実施例によるマスク製造方法を詳しく説明する。図４Ａ乃至図４Ｅは、本発明のマスク製造方法を順番に示す図である。

図４Ａは、予備マスクシートＰ－ＭＳとフレームＦＲを用意するステップを示す。図４Ａにおいて、予備マスクシートＰ－ＭＳとフレームＦＲが用意される。予備マスクシートＰ－ＭＳの第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２のサイズは、フレームの第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２のサイズより小さい。予備マスクシートＰ－ＭＳとフレームＦＲの第３方向ＤＲ３の長さである厚さは図示に限らず、予備マスクシートＰ－ＭＳの厚さとフレームＦＲの厚さは同じであってもよい。

図４Ｂは、予備マスクシートＰ－ＭＳを引っ張るステップを示す。図４Ｂにおいて、予備マスクシートＰ－ＭＳはフレームＦＲの上に固定されるために、フレームＦＲのサイズだけ第１方向ＤＲ１及び第２方向ＤＲ２に引っ張られる。

図４Ｃは、予備マスクシートＰ－ＭＳをフレームＦＲの上に固定して予備セル開口部を形成するステップを示す。図４Ｄは、予備セル開口部にそれぞれ対応するセル開口部を形成するステップを示す。

図４Ｃ及び図４Ｄにおいて、引っ張られている予備マスクシートＰ－ＭＳはフレームＦＲの上に安着され、溶接部材ＡＤを介してフレームＦＲの上に溶接される。予備マスクシートＰ－ＭＳがフレームＦＲの上に溶接を介して固定されている予備マスクＰ－ＭＫは、蒸着のためのセル開口部ＣＡが形成されていない状態である。次のステップにおいて、予備マスクシートＰ－ＭＳの上にセル開口部ＣＡを形成してマスクシートＭＳを形成すると、フレームＦＲと共にマスクＭＫが形成される。

一実施例において、予備マスクシートＰ－ＭＳの上にレーザＬＳ１を照射して予備セル開口部Ｐ－ＣＡが形成される。予備セル開口部Ｐ－ＣＡが形成されたら、予備セル開口部Ｐ－ＣＡに対応するセル開口部ＣＡを形成することができる。セル開口部ＣＡはレーザＬＳ２を照射して形成される。本実施例において、レーザＬＳ１、ＬＳ２の照射を介した予備セル開口部Ｐ－ＣＡ及びセル開口部ＣＡの形成のみを図示したが、予備セル開口部Ｐ－ＣＡ及びセル開口部ＣＡはエッチング（ｅｃｈｔｉｎｇ）など他の工程によって形成されてもよい。一実施例において、レーザＬS１、ＬS２は第３方向ＤＲにおいて、予備マスクシートＰ－ＭＳよりフレームＦＲに近い方向から照射される。

予備セル開口部Ｐ－ＣＡのそれぞれのサイズはセル開口部ＣＡのサイズより小さい。例えば、予備セル開口部Ｐ－ＣＡのそれぞれのサイズはセル開口部ＣＡのそれぞれのサイズの２５％以上９０％以下であってもよい。予備セル開口部Ｐ－ＣＡのそれぞれのサイズは、セル開口部ＣＡの加工に影響を及ぼさない限り多様なサイズであってもよい。予備セル開口部Ｐ－ＣＡの内径は、対応するセル開口部ＣＡの内径より１００ｕｍ以上１ｍｍ以下だけ小さい。つまり、予備セル開口部Ｐ－ＣＡの内径とセル開口部の内径ＣＡ－Ｌの差ＬＴ１は１００ｕｍ以上１ｍｍ以下である。

予備セル開口部Ｐ－ＣＡは、いずれもセル開口部ＣＡを形成されるステップで除去される。つまり、予備セル開口部Ｐ－ＣＡは、セル開口部ＣＡを形成するためにセル開口部ＣＡが形成される位置に臨時に形成する仮開口部に当たる。予備セル開口部Ｐ－ＣＡは、予備マスクシートＰ－ＭＳにかかっている引張力を減少させる。つまり、セル開口部ＣＡを形成する前に予備セル開口部Ｐ－ＣＡを先に形成することで、セル開口部ＣＡが形成されるステップで予備マスクシートＰ－ＭＳにかかっている引張力を減らし、それによってセル開口部ＣＡを加工する際に発生する歪みの程度を減少させることができる。

図示していないが、予備セル開口部Ｐ－ＣＡの形状はセル開口部ＣＡの形状とは異なってもよい。例えば、セル開口部ＣＡの形状は矩形で、予備セル開口部Ｐ－ＣＡの形状は円形であってもよい。また、一つのセル開口部ＣＡに対応する予備セル開口部Ｐ－ＣＡは複数提供されてもよい。例えば、それぞれのセル開口部ＣＡが形成される位置に２つ以上の予備セル開口部Ｐ－ＣＡが形成されてもよい。

図４Ｅにおいて、フレームＦＲの上に固定された状態で予備セル開口部Ｐ－ＣＡにそれぞれ対応するセル開口部ＣＡが形成されたら、マスクシートＭＳが提供されてフレームＦＲと共にマスクＭＫを構成することができる。

図５は、本発明の一実施例によるマスク製造方法を示すフローチャートである。図６Ａ乃至図６Ｃは、本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。

図６Ａ乃至図６Ｃは図５のフローチャートによるマスク製造方法を示している。

図５を参照すると、マスク製造方法は、予備マスクシートを引っ張ってフレームの上に溶接するステップＳ５１０を含む。図２と重複する説明は省略する。

一実施例によるマスク製造方法は、予備マスクシートの上に複数個のスリット開口部を形成するステップＳ５２０を含む。複数個のスリット開口部は予備マスクシートの上に印加される引張力を減少させ、それによって後に形成されるセル開口部の形成過程における歪みを防止する。

一実施例によるマスク製造方法は、複数個のスリット開口部のそれぞれに隣接した複数個のセル開口部を形成するステップＳ５３０を含む。複数個のセル開口部のそれぞれはスリット開口部のそれぞれと隣接して形成される。スリット開口部とそれぞれ隣接して形成されることで、セル開口部は形成過程における歪みの程度が減少される。

図６Ａ乃至図６Ｃは、図５のマスク製造方法を順番に示す図である。図６Ａ乃至図６Ｃを参照して、図５の一実施例によるマスク製造方法を詳しく説明する。

図６Ａは、予備マスクシートＰ－ＭＳの上にスリット開口部を形成するステップを示す。図６Ｂは、予備マスクシートＰ－ＭＳの上でスリット開口部のそれぞれに隣接したセル開口部を形成するステップを示す。図６Ｃは、複数個のスリット開口部及びセル開口部を含むマスクが形成されるステップを示す。

図６Ａ乃至図６Ｃにおいて、それぞれが互いに離隔された複数個のスリット開口部ＳＡは第１方向ＤＲ１に並べられる。図面には第１方向ＤＲ１に５つ、第２方向に２つが並べられて計１０個のスリット開口部ＳＡを示したが、必ずしもこれに限らず、スリット開口部ＳＡの個数は多様に決定されてもよい。スリット開口部Ｐ－ＳＡはレーザＬＳを照射することで形成されるが、これに限らず、エッチングなど多様な方法で形成されてもよい。スリット開口部ＳＡの間にはセル開口部ＣＡが形成される。スリット開口部ＳＡとセル開口部ＣＡは第１方向ＤＲ１で互いに交互に形成される。セル開口部ＣＡは、スリット開口部ＳＡの間にセル開口部が形成される位置ＣＡ－ＬにレーザＬＳを照射することで形成される。レーザＬＳは第３方向ＤＲ３において、予備マスクシートＰ－ＭＳよりフレームＦＲに近い側から照射される。

図面には、スリット開口部ＳＡを１０個、セル開口部ＣＡを１０個示したが、これに限らない。スリット開口部ＳＡの数は、セル開口部ＣＡの数よりも多くてもよい。スリット開口部ＳＡのそれぞれのサイズはセル開口部ＣＡのそれぞれのサイズより小さい。例えば、スリット開口部ＳＡの第１方向ＤＲ１の幅ＷＴ２はセル開口部ＣＡの幅より小さくてもよい。スリット開口部ＳＡの個数とスリット開口部ＳＡの幅またはサイズは、セル開口部ＣＡを形成する際の歪み量に影響を及ぼす。

一般に、セル開口部ＣＡの歪み量をＶとすると、Ｖ＝（Ｆ＊Ｌ）／（Ｅ＊Ａ）で表される。ここで、Ｆは予備マスクシートＰ－ＭＳにかかる引張力であり、Ｅは弾性係数であり、Ｌは予備マスクシートＰ－ＭＳの第１方向ＤＲ１の長さＷＴ１であり、Ａは予備マスクシートＰ－ＭＳの第１方向ＤＲ１の断面の面積に当たる。

本発明の一実施例において、スリット開口部ＳＡのそれぞれの第方向ＤＲ１の幅ＷＴ２をａとし、スリット開口部ＳＡの個数をｘとすると、本発明のスリット開口部ＳＡに隣接して形成されるセル開口部ＣＡの歪み量Ｖ’は、Ｖ’＝（Ｆ＊（Ｌ－ｘａ））／（Ｅ＊Ａ）である。つまり、スリット開口部ＳＡの個数ｘが大きいほど、スリット開口部ＳＡの第１方向ＤＲ１の幅ａが大きいほど、セル開口部ＣＡの歪み量が減る。

図示していないが、一実施例において、セル開口部ＣＡを形成するステップは、複数個のスリット開口部ＳＡの間に予備セル開口部を形成するステップを含む。つまり、同じく複数個のスリット開口部ＳＡの間に、図２乃至図４Ｅの実施例のように、予備セル開口部を形成し、予備セル開口部のそれぞれに対応するセル開口部ＣＡを形成する。予備セル開口部は、スリット開口部ＳＡと共にセル開口部ＣＡを形成する過程で歪み量を減らす。スリット開口部ＳＡとは異なり、予備セル開口部はセル開口部ＣＡを形成しながら除去される。

また、スリット開口部ＳＡが形成されるステップの前に、フレームＦＲに固定された予備マスクシートＰ－ＭＳの上に静電チャックを配置するステップが更に含まれる。静電チャックはセル開口部ＣＡの歪み量を減少させる。静電チャックに関する詳しい説明は図８Ａ乃至図８Ｄを参照してほしい。

本発明の一実施例によるマスクＭＫのスリット開口部ＳＡの上には遮蔽部材がそれぞれ配置される。遮蔽部材は蒸着過程においてスリット開口部ＳＡを蒸着元から遮蔽する。遮蔽部材はマスクシートと同じ金属を含む。つまり、遮蔽部材は鉄（Ｆｅ）やニッケル（Ｎｉ）の合金を含む。

図７は、本発明の一実施例によるマスク製造方法を示すフローチャートである。図８Ａ乃至図８Ｄは、本発明の一実施例によるマスク製造方法を示す図である。

図８Ａ乃至図８Ｄは図７のフローチャートによるマスク製造方法を示している。

図７において、一実施例によるマスク製造方法は、予備マスクシートを引っ張ってフレームの上に溶接し固定するステップＳ７１０を含む。一実施例によるマスク製造方法は、予備マスクシートの上に静電チャックを配置するステップＳ７２０を含む。静電チャックは、引っ張られた状態でフレームに固定された予備マスクシートの引張力の歪みを防止する役割をする。

一実施例によるマスク製造方法は、予備マスクシートの上に複数の予備セル開口部を形成するステップＳ７３０を含む。重複する説明は省略する。

一実施例によるマスク製造方法は、複数個の予備セル開口部にそれぞれ対応する複数個のセル開口部を形成するステップＳ７４０を含む。複数個のセル開口部が形成されてマスクシートが形成されたら、静電チャックはマスクシートから除去される。

図８Ａ乃至図８Ｄは、図７のマスク製造方法を順番に示す断面図である。図８Ａ乃至図８Ｄを参照して、図７の一実施例によるマスク製造方法を詳しく説明する。

図８Ａは、フレームＦＲの上に固定された予備マスクシートＰ－ＭＳの上に静電チャックＥＳＣが配置されている状態を示す。図８Ｂにおいて、静電チャックＥＳＣが配置された状態で予備マスクシートＰ－ＭＳの上にレーザＬＳ１が照射されて予備セル開口部Ｐ－ＣＡが形成される。セル開口部ＣＡは予備セル開口部Ｐ－ＣＡにそれぞれ対応して形成される。セル開口部ＣＡは予備セル開口部Ｐ－ＣＡの周囲にレーザＬＳ２を照射して形成される。静電チャックＥＳＣは、セル開口部ＣＡが形成される過程における引張力による歪み量を減らす。つまり、静電チャックＥＳＣから発生する静電力は、予備セル開口部Ｐ－ＣＡ及びセル開口部ＣＡに印加される引張力を減らし歪み量を減らす。

セル開口部ＣＡの第１方向ＤＲ１における幅と予備セル開口部Ｐ－ＣＡの第１方向ＤＲ１における幅の差ＬＴ１は１００ｕｍ以上である。セル開口部ＣＡが形成されたら静電チャックＥＳＣは除去される。

図８Ｄは、図１のＩ－Ｉ’線に沿った切断面を示す断面図である。図８Ａ乃至図８Ｄを参照すると、本発明の一実施例において、セル開口部ＣＡを定義するマスクシートＭＳの内側面ＳＳはテーパ（ｔａｐｅｒ）状を有する。レーザＬＳを照射することで形成されるテーパ状は、蒸着物質が基板に効率的に蒸着されやすくなる。それによって、シャドウイング現象が減り、基板のデッドスペースの面積が減る。他の一実施例において、セル開口部ＣＡを定義するマスクシートＭＳの内側面ＳＳはテーパ状を有し、スリット開口部ＳＡ（図６Ｃを参照）を定義する内側面はセル開口部ＣＡを定義するマスクシートＭＳの内側面ＳＳとは異なる形状を有する。つまり、図示していないが、スリット開口部ＳＡを定義するマスクシートの内側面はテーパ状を有してもよく、有しなくてもよい。

以上のように、図面と明細書において実施例が開示された。ここで特定の用語が使用されたが、これは単に本発明を説明するための目的で使用されたものであって、意味の限定や請求の範囲に記載の本発明の範囲を制限するために使用されたものではない。よって、本技術分野の通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能であることを理解できるはずである。よって、本発明の真の技術的保護範囲は、添付した請求の範囲の技術的思想によって決められるべきである。

ＭＫ：マスクＭＳ：マスクシート
ＦＲ：フレームＣＡ：セル開口部

Claims

マスクシート及びフレームを用意するステップと、
前記マスクシートを引っ張り、前記引っ張られているマスクシートを前記フレームに固定するステップと、
前記フレームに固定された前記マスクシートの上に複数個のセル開口部を形成するステップと、を含み、
前記複数個のセル開口部を形成するステップは、
前記フレームに固定された前記マスクシートの上に複数個の予備セル開口部を形成するステップと、
前記複数個の予備セル開口部にそれぞれ対応するように前記複数個のセル開口部を形成するステップと、を含み、
前記複数個の予備セル開口部の形状は、前記複数個のセル開口部の形状とは異なるマスク製造方法。
前記複数個の予備セル開口部のそれぞれのサイズは、前記複数個のセル開口部のそれぞれのサイズの２５％以上９０％以下である請求項１に記載のマスク製造方法。
前記マスクシートを用意するステップは、前記マスクシートの上に複数個の予備セル開口部を形成するステップを含み、
前記複数個のセル開口部を形成するステップは、前記予備セル開口部にそれぞれ対応するように前記複数個のセル開口部を形成するステップを含む請求項１に記載のマスク製造方法。
前記予備セル開口部は、いずれも前記セル開口部を形成するステップで除去されることを特徴とする請求項３に記載のマスク製造方法。
前記複数個のセル開口部を形成するステップは、前記フレームに固定された前記マスクシートの上にレーザを照射するステップを含む請求項１に記載のマスク製造方法。
前記複数個のセル開口部を定義する前記マスクシートの内側面はテーパ状を有することを特徴とする請求項５に記載のマスク製造方法。
前記マスクシートを前記フレームに固定するステップと前記複数個のセル開口部を形成するステップとの間に、前記フレームに固定された前記マスクシートの上に静電チャックを配置するステップを更に含む請求項１に記載のマスク製造方法。
前記複数個のセル開口部を形成するステップは、前記複数個のセル開口部を形成する前に複数個の予備セル開口部を形成するステップを含み、
前記複数個のセル開口部のそれぞれは、前記複数個の予備セル開口部にそれぞれ対応し、
前記複数個のセル開口部のそれぞれのサイズは、前記複数個の予備セル開口部のそれぞれのサイズより大きいことを特徴とする請求項７に記載のマスク製造方法。
前記複数個のセル開口部を形成するステップの後に、前記マスクシートから前記静電チャックを除去するステップを更に含む請求項８に記載のマスク製造方法。
マスクシート及びフレームを用意するステップと、
前記マスクシートを引っ張り、引っ張られている前記マスクシートを前記フレームに固定するステップと、
前記フレームに固定された前記マスクシートの上に複数個のスリット開口部を形成するステップと、
前記複数個のスリット開口部の間に複数個のセル開口部をそれぞれ形成するステップと、を含み、
前記複数個のセル開口部を形成するステップは、
前記複数個のスリット開口部の間に予備セル開口部をそれぞれ形成し、前記予備セル開口部にそれぞれ対応するように前記複数個のセル開口部を形成するステップを含むマスク製造方法。
前記複数個のスリット開口部の個数は、前記複数個のセル開口部の個数より多いことを特徴とする請求項１０に記載のマスク製造方法。
前記複数個のスリット開口部のそれぞれのサイズは、前記複数個のセル開口部のそれぞれのサイズより小さいことを特徴とする請求項１０に記載のマスク製造方法。
前記予備セル開口部のサイズは前記セル開口部のサイズより小さく、前記予備セル開口部の形状は前記セル開口部の形状とは異なることを特徴とする請求項１０に記載のマスク製造方法。
前記マスクシートを前記フレームに固定するステップの後に、前記マスクシートの上に静電チャックを配置するステップを更に含むことを特徴とする請求項１０に記載のマスク製造方法。