KR20230127393A - 마스크 조립체 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법은 마스크 시트를 인장하는 단계; 인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 결합하는 단계; 및 상기 인장된 마스크 시트에 복수의 개구 가공 영역들을 설정하고, 상기 복수의 개구 가공 영역들에 각각 대응하도록 복수의 개구부들을 형성하는 단계를 포함할 수 있다. 상기 복수의 개구 가공 영역들은 상기 인장된 마스크 시트 상에 제1 방향 및 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 초기 개구 가공 영역들을 설정하고, 상기 초기 개구 가공 영역들의 가공 순서를 결정하는 단계; 상기 가공 순서를 기초로 상기 초기 개구 가공 영역들 각각에 누적되는 누적 변형량들을 산출하는 단계; 및 상기 누적 변형량들을 기초로 상기 초기 개구 가공 영역들 각각의 면적 및 위치를 보정하는 단계를 통해 설정될 수 있다.

Description

마스크 조립체 제조 방법 {MANUFACTURING METHOD OF MASK ASSEMBLY}

본 발명은 마스크 조립체 제조 방법에 관한 발명이며, 보다 상세하게는 표시 패널 제조에 사용되는 마스크 조립체의 제조 방법에 관한 발명이다.

텔레비전, 휴대전화, 태블릿 컴퓨터, 네비게이션, 게임기 등과 같은 멀티미디어 전자 장치들은 영상을 표시하기 위한 표시 패널을 구비할 수 있다. 표시 패널은 영상을 표시하기 위한 복수 개의 화소들을 포함할 수 있고, 화소들 각각은 광을 생성하는 발광 소자 및 발광 소자에 연결된 구동 소자를 포함할 수 있다. 이처럼, 표시 패널은 기판 상에 다양한 기능층들을 적층하여 형성될 수 있다.

표시 패널을 구성하는 기능층들은 마스크를 관통하는 오픈 영역을 갖는 마스크를 이용한 패터닝을 통해 형성될 수 있다. 이 때, 패터닝된 기능층들의 형상 및 위치는 마스크의 오픈 영역의 형상 및 위치에 따라 제어될 수 있다. 마스크를 이용한 기능층들의 증착 품질을 개선시키기 위하여 오픈 영역의 가공 정밀도가 향상된 마스크가 요구된다. 따라서, 오픈 영역의 가공 정밀도를 향상시키기 위한 마스크 제조 방법에 관한 연구가 필요하다.

본 발명의 목적은 대상 기판 상에 형성되는 기능층들의 증착 품질을 개선시키는 마스크를 제조하기 위한 마스크 조립체 제조 방법을 제공하는데 있다.

일 실시예는 마스크 시트를 인장하는 단계; 인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 결합하는 단계; 및 상기 인장된 마스크 시트에 복수의 개구 가공 영역들을 설정하고, 상기 복수의 개구 가공 영역들에 각각 대응하도록 복수의 개구부들을 형성하는 단계를 포함하는 마스크 제조 방법을 제공한다. 상기 복수의 개구 가공 영역들 설정 단계는, 상기 인장된 마스크 시트에 제1 방향 및 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 초기 개구 가공 영역들을 설정하고, 상기 초기 개구 가공 영역들의 가공 순서를 결정하는 단계; 상기 가공 순서를 기초로 상기 초기 개구 가공 영역들 각각에 누적되는 누적 변형량들을 산출하는 단계; 및 상기 누적 변형량들을 기초로 상기 초기 개구 가공 영역들 각각의 면적 및 위치를 보정하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 복수의 개구 가공 영역들 각각은 개구 가공 영역에 대응하여 형성되는 개구부의 면적 보다 작은 면적을 갖도록 설정될 수 있다.

상기 인장된 마스크 시트는 상기 제1 방향으로 제1 인장력이 작용하고, 상기 제1 방향에서 제1 폭을 갖는 상기 개구부를 형성하기 위해 상기 제1 방향에서 제2 폭을 갖는 상기 개구 가공 영역을 설정하며, 상기 제1 폭과 상기 제2 폭의 차이는 상기 제1 인장력에 비례할 수 있다.

상기 제2 폭은 상기 제1 폭 보다 2K만큼 작고, 상기 K는 하기의 식 1을 만족할 수 있다.

[식 1]

K=FP/AE

상기 식 1에서 상기 F는 상기 제1 인장력을 나타내고, 상기 P는 상기 제1 방향에서 상기 개구 가공 영역의 중심으로부터 상기 개구 가공 영역까지의 폭을 나타내고, 상기 A는 상기 개구 가공 영역 내에서 상기 제1 인장력을 받는 단면적을 나타내고, 상기 E는 상기 마스크 시트의 탄성계수를 나타낸다.

상기 인장된 마스크 시트는 상기 제2 방향으로 제2 인장력이 작용하고, 상기 제2 방향에서 제3 폭을 갖는 상기 개구부를 형성하기 위해 상기 제2 방향에서 제4 폭을 갖는 상기 개구 가공 영역을 설정하며, 상기 제3 폭과 상기 제4 폭의 차이는 상기 제2 인장력에 비례할 수 있다.

상기 복수의 개구 가공 영역들 중 n번째 가공되는 제n 개구 가공 영역은 제1 지점에 중심을 갖는 제n 개구부를 형성하기 위해 제2 지점에 중심이 설정되고, 상기 복수의 개구 가공 영역들 중 상기 제n 개구 가공 영역과 상기 제1 방향에서 나란하게 배열되는 개구 가공 영역들은 제1 그룹으로 정의될 수 있다. 상기 제1 그룹의 상기 개구 가공 영역들 중 상기 n번째 이후 가공되고, 상기 제n 개구 가공 영역으로부터 상기 제1 방향에 나란한 상측 방향을 따라 배열되는 개구 가공 영역의 개수를 m으로 정의하고, 상기 제n 개구 가공 영역으로부터 상기 제1 방향에 나란한 하측 방향을 따라 배열되는 개구 가공 영역의 개수를 l로 정의하면, 상기 제1 방향에서 상기 제1 지점과 상기 제2 지점 간의 위치 차이는 상기 m과 상기 l의 차이에 비례할 수 있다. 여기서, 상기 m 및 상기 l 각각은 0 또는 자연수이다.

상기 m이 상기 l 보다 작은 경우, 상기 제2 지점은 평면 상에서 상기 제1 지점 보다 하측에 위치하고, 상기 m이 상기 l 보다 큰 경우, 상기 제2 지점은 평면 상에서 상기 제1 지점 보다 상측에 위치할 수 있다.

상기 인장된 마스크 시트는 상기 제1 방향으로 제1 인장력이 작용하고, 상기 제1 방향에서 상기 제1 지점과 상기 제2 지점은 X만큼 위치 차이가 나며, 상기 X는 하기의 식 2를 만족할 수 있다.

[식 2]

X=|m-l| (FP/AE)

상기 F는 상기 제1 인장력을 나타내고, 상기 P는 상기 제1 방향에서 상기 개구 가공 영역의 중심으로부터 상기 개구 가공 영역까지의 폭을 나타내고, 상기 A는 상기 개구 가공 영역 내에서 상기 제1 인장력을 받는 단면적을 나타내고, 상기 E는 상기 마스크 시트의 탄성계수를 나타낸다.

상기 복수의 개구 가공 영역들 중 상기 제n 개구 가공 영역과 상기 제2 방향에서 나란하게 배열되는 개구 가공 영역들은 제2 그룹으로 정의되고,

상기 제2 그룹의 상기 개구 가공 영역들 중 상기 n번째 이후 가공되고, 상기 제n 개구 가공 영역으로부터 상기 제2 방향에 나란한 좌측 방향을 따라 배열되는 개구 가공 영역의 개수를 p로 정의하고, 상기 제n 개구 가공 영역으로부터 상기 제2 방향에 나란한 우측 방향을 따라 배열되는 개구 가공 영역의 개수를 q로 정의하면, 상기 제2 방향에서 상기 제1 지점과 상기 제2 지점 간의 위치 차이는 상기 p와 상기 q의 차이에 비례할 수 있다. 여기서, 상기 p 및 상기 q 각각은 0 또는 자연수이다.

상기 p가 상기 q보다 작은 경우, 상기 제2 지점은 평면 상에서 상기 제1 지점 보다 우측에 위치하고, 상기 p가 상기 q보다 큰 경우, 상기 제2 지점은 평면 상에서 상기 제1 지점 보다 좌측에 위치할 수 있다.

상기 복수의 개구 가공 영역들은 각각이 상기 제1 방향을 따라 나란히 배열된 개구 가공 영역들을 포함하는 1번째 내지 a번째 가공 그룹을 포함하고, 상기 1번째 내지 a번째 가공 그룹들은 상기 제2 방향을 따라 배열되며, 상기 가공 순서는 상기 1번째 가공 그룹부터 상기 a번째 가공 그룹까지 순차적으로 설정될 수 있다.

상기 마스크 시트를 인장하는 단계 전, 상기 마스크 시트에 복수의 가 개구부들을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 복수의 개구 가공 영역들은 각각 상기 복수의 가 개구부들에 대응되고, 상기 복수의 개구 가공 영역들 각각은 평면 상에서 상기 복수의 가 개구부들 중 대응되는 가 개구부를 둘러쌀 수 있다.

일 실시예는 마스크 시트를 인장하는 단계; 인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 결합하는 단계; 상기 인장된 마스크 시트에 소정의 배열을 가지며, 중심점의 위치가 보정된 1차 개구 가공 영역들을 설정하는 단계; 및 상기 1차 개구 가공 영역들 각각에 대응하도록 최종 개구 영역들을 형성하는 단계를 포함하는 마스크 조립체 제조 방법을 제공한다. 상기 최종 개구 영역들을 형성하는 단계는, 상기 1차 개구 가공 영역들 각각에 상기 1차 개구 가공 영역들의 가공 순서에 따라 레이저광을 조사하여 2차 개구 가공 영역들을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하고, 상기 2차 개구 가공 영역들 중 적어도 일부는 중심점의 위치가 이에 대응되는 최종 개구 영역의 중심점의 위치와 서로 상이할 수 있다.

상기 1차 개구 가공 영역들은 평면 상에서 상기 인장된 마스크 시트의 일 단과 타 단 사이에 제1 방향을 따라 배열된 제1 내지 제a 개구 가공 영역들을 포함하고,상기 최종 개구 영역들은 상기 제1 내지 상기 제a 개구 가공 영역들 각각에 대응하며 상기 인장된 마스크 시트를 관통하여 형성되는 제1 내지 제a 개구부들을 포함하고, 상기 제1 내지 상기 제a 개구 가공 영역들 각각은 제1 중심점을 가지고, 상기 제1 내지 제a 개구부들 각각은 제2 중심점을 가지며, 상기 제1 내지 상기 제a 개구 가공 영역들 중 적어도 일부는 제1 중심점의 위치가 이에 대응되는 개구부의 제2 중심점의 위치와 상이할 수 있다. 여기서, 상기 a는 2 이상의 자연수이다.

상기 레이저광은 상기 제1 내지 제a 개구 가공 영역들 중 상기 일 단에 가장 인접한 상기 제1 개구 가공 영역부터 상기 제a 개구 가공 영역까지 상기 제1 방향을 따라 배열된 순서대로 조사될 수 있다.

상기 레이저광은 상기 제1 내지 제a 개구 가공 영역들 중 상기 제1 개구 가공 영역에 1번째로 조사되어 상기 제1 개구 가공 영역의 상기 제1 중심점과 동일한 중심점을 갖는 2차 제1 개구 가공 영역을 형성하고, 상기 2차 제1 개구 영역의 중심점은 상기 제1 개구부의 상기 제2 중심점과 상기 제1 방향에서 위치가 상이할 수 있다.

상기 제1 개구부의 상기 제2 중심점은 상기 2차 제1 개구 가공 영역의 중심점 보다 상기 제1 방향에서 상기 일 단에 인접할 수 있다.

상기 레이저광은 상기 제1 내지 제a 개구 가공 영역들 중 상기 제a 개구 가공 영역에 a번째로 조사되어 상기 제a 개구 가공 영역의 상기 제1 중심점과 동일한 중심점을 갖는 2차 제a 개구 가공 영역을 형성하고, 상기 2차 제a 개구 영역의 중심점은 상기 제a 개구부의 상기 제2 중심점과 상기 제1 방향에서 위치가 동일할 수 있다.

상기 제1 내지 제a 개구 가공 영역들 중 상기 제1 방향에서 중심에 배치된 개구 가공 영역을 중심 개구 가공 영역으로 정의하고, 상기 레이저광은 상기 중심 개구 가공 영역으로부터 멀리 이격된 순서대로 조사될 수 있다.

상기 제1 내지 제a 개구 가공 영역들 중 상기 제1 방향에서 중심에 배치된 개구 가공 영역을 중심 개구 가공 영역으로 정의하고, 상기 레이저광은 상기 중심 개구 가공 영역부터 상기 중심 개구 가공 영역에 인접한 순서대로 조사될 수 있다.

본 발명 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법은 마스크 시트에 작용하는 인장력 및 마스크 시트에 형성되는 개구 영역들의 가공 순서를 기초로, 개구 영역들 각각에 작용하는 누적 변형량을 산출하여 개구 영역의 면적 및 위치를 보정하는 단계를 포함한다. 이로써, 개구 영역들의 크기 및 위치 정밀도가 우수하고, 신뢰성이 향상된 마스크를 제조할 수 있다.

도 1a는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 평면도이다.
도 1b는 도 1a의 선 I-I'에 대응하는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법을 도시한 순서도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 평면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다.
도 8은 도 7의 일 영역(AA)을 확대한 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 평면도이다.
도 9a는 도 8의 선 II-II'에 대응하는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 단면도이다.
도 9b는 도 8의 선 III-III'에 대응하는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 단면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 평면도이다.
도 11a 내지 도 11e는 도 10의 일 영역(BB)에 대응되는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 평면도들이다.
도 12a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 평면도이다.
도 12b 및 도 12c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법에서 개구 가공 영역들의 누적 변형량 산출 및 위치 보정 정도를 도시한 표들이다.
도 12d 및 도 12e는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 확대 평면도들이다.
도 13a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 평면도이다.
도 13b 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법에서 개구 가공 영역들의 누적 변형량 산출 및 위치 보정 정도를 도시한 표이다.
도 13c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크의 확대 평면도이다.
도 14a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 평면도이다.
도 14b 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법에서 개구 가영역들의 누적 변형량 산출 및 보정 위치 정도를 도시한 표이다.
도 15a 및 도 15b는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 평면도들이다.
도 16a 내지 도 16d는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 단면도들이다.
도 17a 내지 도 17c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 단면도들이다.
도 18a 내지 도 18c는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 단면도들이다.
도 19a는 본 발명의 일 실시예의 마스크 조립체를 이용한 증착 공정을 도시한 단면도이다.
도 19b는 도 19a의 일 영역(CC)을 확대 도시한 단면도이다.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

본 명세서에서, 어떤 구성요소(또는 영역, 층, 부분 등)가 다른 구성요소 "상에 있다", "연결된다", 또는 "결합된다"고 언급되는 경우에 그것은 다른 구성요소 상에 직접 배치/연결/결합될 수 있거나 또는 그들 사이에 제3의 구성요소가 배치될 수도 있다는 것을 의미한다.

동일한 도면부호는 동일한 구성요소를 지칭한다. 또한, 도면들에 있어서, 구성요소들의 두께, 비율, 및 치수는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. "및/또는"은 연관된 구성요소들이 정의할 수 있는 하나 이상의 조합을 모두 포함한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

또한, "아래에", "하측에", "위에", "상측에" 등의 용어는 도면에 도시된 구성요소들의 연관관계를 설명하기 위해 사용된다. 상기 용어들은 상대적인 개념으로, 도면에 표시된 방향을 기준으로 설명된다.

"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

다르게 정의되지 않는 한, 본 명세서에서 사용된 모든 용어 (기술 용어 및 과학 용어 포함)는 본 발명이 속하는 기술 분야의 당업자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에서 정의된 용어와 같은 용어는 관련 기술의 맥락에서 갖는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하고, 여기서 명시적으로 정의되지 않는 한 너무 이상적이거나 지나치게 형식적인 의미로 해석되어서는 안된다.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법에 관하여 설명한다.

도 1a는 제3 방향(DR3)에서 바라본 일 실시예에 따른 표시 패널의 평면도이다. 도 1b는 도 1a의 선I-I'에 대응하는 일 실시예에 따른 표시 패널의 단면도이다.

한편, 본 명세서에서 제3 방향(DR3)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)에 의해 정의되는 평면과 교차하는 방향으로 정의될 수 있다. 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2) 각각에 평행한 면을 기준으로 각 부재들 또는 유닛들의 전면(또는 상면)과 배면(또는 하면)이 정의될 수 있다. 전면과 배면은 제3 방향(DR3)에서 서로 대향(opposing)될 수 있고, 전면과 배면 각각의 법선 방향은 실질적으로 제3 방향(DR3)에 평행할 수 있다.

본 명세서에서 제3 방향(DR3)을 따라 정의되는 전면과 배면 사이의 이격 거리는 부재(또는 유닛)의 두께에 대응될 수 있다. 본 명세서에서, "평면 상에서"는 제3 방향(DR3)에서 바라본 상태로 정의될 수 있다. 본 명세서에서, "단면 상에서"는 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)에서 바라본 상태로 정의될 수 있다. 한편, 제1 내지 제3 방향들(DR1, DR2, DR3)이 지시하는 방향은 상대적인 개념으로서 다른 방향으로 변환될 수 있다.

표시 패널(DP)은 전기적 신호에 따라 활성화되며 영상을 표시하는 장치일 수 있다. 표시 패널(DP)은 다양한 표시 장치들에 사용될 수 있다. 예를 들어, 표시 패널(DP)은 텔레비전, 외부 광고판 등과 같은 대형 장치를 비롯하여, 모니터, 휴대 전화, 태블릿 컴퓨터, 네비게이션, 게임기 등과 같은 중소형 장치에 포함될 수 있다.

일 실시예에 따른 표시 패널(DP)은 발광형 표시 패널일 수 있고, 특별히 제한되지 않는다. 예컨대, 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 패널, 무기 발광 표시 패널 또는 퀀텀닷(quantum dot) 발광 표시 패널일 수 있다. 유기 발광 표시 패널의 발광층은 유기발광 물질을 포함할 수 있고, 무기 발광 표시 패널의 발광층은 무기발광 물질을 포함할 수 있다. 퀀텀닷 발광 표시 패널의 발광층은 퀀텀닷 및 퀀텀로드 등을 포함할 수 있다. 이하, 표시 패널(DP)은 유기 발광 표시 패널로 설명된다.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 표시 패널(DP)은 복수의 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B) 및 복수의 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)을 둘러싸는 비발광 영역(NPXA)을 포함할 수 있다.

복수의 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)은 제1 발광 영역(PXA-R), 제2 발광 영역(PXA-G), 및 제3 발광 영역(PXA-B)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제3 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2) 각각에 평행한 평면 상에서 서로 구분되는 영역들 일 수 있다. 비발광 영역(NPXA)은 서로 이웃하는 제1 내지 제3 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B) 사이를 둘러쌀 수 있다.

일 실시예에서, 제1 발광 영역(PXA-R), 제2 발광 영역(PXA-G), 및 제3 발광 영역(PXA-B)은 발광 영역을 통해 방출하는 광의 색에 따라 구분될 수 있다. 예를 들어, 제1 발광 영역(PXA-R)은 적색광을 방출하는 적색 발광 영역이고, 제2 발광 영역(PXA-G)은 녹색광을 방출하는 녹색 발광 영역이며, 제3 발광 영역(PXA-B)은 청색광을 방출하는 청색 발광 영역일 수 있다. 그러나, 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)이 방출하는 광의 색이 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

제1 내지 제3 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)은 소정의 형태로 배열될 수 있고, 도 1a는 제1 내지 제3 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)이 스트라이프 형태로 배열된 것을 예시적으로 도시하였다. 제1 발광 영역(PXA-R), 제2 발광 영역(PXA-G) 및 제3 발광 영역(PXA-B)은 제1 방향(DR1)을 따라 순서대로 번갈아 가며 배열될 수 있다. 도 1a를 참조하면, 제1 내지 제3 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B) 각각은 복수로 제공될 수 있고, 복수의 제1 발광 영역들(PXA-R), 복수의 제2 발광 영역들(PXA-G) 및 복수의 제3 발광 영역들(PXA-B) 각각은 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다.

한편, 제1 내지 제3 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)의 배열 형태는 도 1a에 도시된 것에 한정되지 않으며, 제1 내지 제3 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)의 배열 순서, 면적 및 형상은 표시 패널(DP)에서 요구되는 표시 품질의 특성에 따라 다양하게 설계될 수 있다. 예를 들어, 제1 내지 제3 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)은 펜타일(PENTILE®) 배열 형태이거나, 다이아몬드 배열 형태를 가질 수 있으며, 어느 하나에 한정되지 않는다.

도 1a 및 도 1b에 도시된 일 실시예의 표시 패널(DP)은 후술하는 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법으로 제조된 마스크를 이용하여 제조된 적어도 하나의 기능층을 포함할 수 있다. 예를 들어, 일 실시예의 표시 패널(DP)은 복수의 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B) 및 비발광 영역(NPXA)에 공통으로 형성된 적어도 하나의 기능층을 포함할 수 있고, 상기 기능층은 후술하는 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법으로 제조된 마스크를 이용하여 형성될 수 있다.

도 1b는 제1 내지 제3 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXA-B)에 대응하는 표시 패널(DP)의 단면을 예시적으로 도시하였다. 도 1b를 참조하면, 표시 패널(DP)은 베이스층(BS), 회로층(DP-CL) 및 표시 소자층(DP-ED)을 포함할 수 있다. 표시 패널(DP)의 표시 소자층(DP-ED)은 복수의 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)을 포함할 수 있다.

베이스층(BS)은 회로층(DP-CL)이 형성되는 베이스 면을 제공할 수 있다. 베이스층(BS)은 유리, 합성 수지 또는 유/무기 복합 재료 등을 포함할 수 있다. 베이스층(BS)은 단층 또는 다층 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 다층 구조의 베이스층(BS)은 합성 수지층들 및 합성 수지층들 사이에 배치된 적어도 하나의 무기층을 포함할 수 있다.

회로층(DP-CL)은 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)에 연결된 구동 소자들(미도시) 및 신호 라인(미도시) 등을 포함할 수 있다. 회로층(DP-CL)은 화소의 구동 회로를 구성하는 반도체 패턴 및 도전 패턴 포함할 수 있다. 회로층(DP-CL)은 베이스층(BS) 상에 코팅, 증착 등의 공정을 통해, 절연층, 반도체층 및 도전층을 형성한 후, 포토리소그래피 공정을 통해, 반도체층 및 도전층을 선택적으로 패터닝하여 형성될 수 있다.

표시 소자층(DP-ED)은 회로층(DP-CL) 상에 배치될 수 있다. 표시 소자층(DP-ED)은 복수의 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3), 화소 정의막(PDL) 및 봉지층(TFE)을 포함할 수 있다. 복수의 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3) 각각은 제1 전극(AE), 정공 수송 영역(HTR), 발광층(EML-R, EML-G, EML-B), 전자 수송 영역(ETR), 및 제2 전극(CE)을 포함할 수 있다.

제1 전극(AE)은 회로층(DP-CL) 상에 배치되며, 회로층(DP-CL)의 구동 소자(미도시)에 전기적으로 연결될 수 있다. 화소 정의막(PDL)에는 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)의 제1 전극들(AE)의 일 부분을 노출시키는 발광 개구부들(OH)이 정의될 수 있다. 화소 정의막(PDL)의 발광 개구부들(OH)에 의해 노출된 제1 전극들(AE)의 일 부분들은 각각 상술한 복수의 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXG-B)에 대응될 수 있다. 화소 정의막(PDL)이 배치된 영역은 복수의 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXG-B)을 에워싸는 비발광 영역(NPXA)에 대응될 수 있다.

도 1b에 도시된 것처럼, 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)의 발광층들(EML-R, EML-G, EML-B)은 각각 화소 정의막(PDL)에 정의된 발광 개구부들(OH) 내에 배치될 수 있다. 발광층들(EML-R, EML-G, EML-B)은 발광 개구부들(OH)에 대응하여 배치되는 패턴 형태로 제공될 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 일 실시예에서 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)의 발광층들(EML-R, EML-G, EML-B)은 일체의 형상을 갖는 공통의 층으로 제공될 수 있다.

정공 수송 영역(HTR), 전자 수송 영역(ETR), 및 제2 전극(CE)은 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)에 중첩하는 공통층으로 제공될 수 있다. 정공 수송 영역(HTR), 전자 수송 영역(ETR), 및 제2 전극(CE)은 복수의 발광 영역들(PXA-R, PXA-G, PXG-B) 및 비발광 영역(NPXA)에 중첩하며 형성될 수 있다. 공동층으로 제공되는 정공 수송 영역(HTR), 전자 수송 영역(ETR), 및 제2 전극(CE) 중 적어도 하나는 후술할 마스크를 이용하여 형성될 수 있고, 상기 마스크는 오픈 마스크(Open mask)로 지칭될 수 있다. 상기 마스크는 본 발명 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법으로 제조될 수 있다.

회로층(DP-CL)의 구동 소자(미도시)를 통해 제1 전극들(AE)에 제1 전압이 인가될 수 있고, 공통 전압이 제2 전극(CE)에 인가될 수 있다. 발광층들(EML-R, EML-G, EML-B)에 주입된 정공과 전자가 결합하여 여기자(exciton)가 형성되고, 여기자가 바닥 상태로 전이하면서, 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)이 발광할 수 있다.

봉지층(TFE)은 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3) 상에 배치될 수 있다. 봉지층(TFE)은 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)을 밀봉할 수 있다. 봉지층(TFE)은 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)의 광학 효율을 향상시키거나 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)을 보호하기 위한 복수의 박막들을 포함할 수 있다.

봉지층(TFE)은 적어도 하나의 무기막 및 유기막을 포함할 수 있다. 봉지층(TFE)의 무기막은 수분 및/또는 산소로부터 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)을 보호할 수 있다. 봉지층(TFE)의 무기막은 실리콘 질화물, 실리콘 산화물, 또는 이들이 조합된 화합물을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 봉지층(TFE)의 무기막은 화학 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD)을 통해 형성될 수 있으나 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

봉지층(TFE)의 유기막은 먼지 입자와 같은 이물질로부터 발광 소자들(ED-1, ED-2, ED-3)을 보호할 수 있다. 봉지층(TFE)의 유기막은 무기막 상에 형성되어 평탄한 면을 제공할 수 있다. 유기막은 유기막 하부에 형성된 무기막에 존재하는 파티클(particle)이나 굴곡을 커버할 수 있다. 또한, 유기막은 유기막에 접촉하는 층들 사이의 응력을 완화시킬 수 있다. 예를 들어, 봉지층(TFE)의 유기막은 아크릴 계열 수지를 포함할 수 있다. 그러나, 유기막의 물질이 상기 예에 제한되는 것은 아니다. 일 실시예에서, 유기막은 스핀 코팅, 슬릿 코팅, 잉크젯 공정과 같은 용액 공정을 통해 형성될 수 있으나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니다.

한편, 회로층(DP-CL)에 포함된 절연층들, 봉지층(TFE)에 포함된 절연막들 중 일부도 후술하는 마스크를 이용하여 형성될 수 있고, 상기 마스크는 본 발명 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법으로 제조될 수 있다.

도 2는 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법을 도시한 순서도이다. 도 2를 참조하면, 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법은 마스크 시트를 인장하는 단계(S10), 인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 결합하는 단계(S20), 인장된 마스크 시트에 복수의 개구부들을 형성하는 단계(S30)를 포함할 수 있다.

일 실시예의 인장된 마스크 시트에 복수의 개구부들을 형성하는 단계(S30)는 초기 개구 가공 영역의 가공 순서 결정 단계(S31), 가공 순서에 기초한 누적 변형량을 산출 단계(S32), 및 초기 개구 가공 영역의 면적 및 위치를 보정하는 단계(S33)를 포함할 수 있다.

초기 개구 가공 영역은 복수의 영역으로 제공될 수 있고, 초기 개구 가공 영역들은 인장된 마스크 시트 내에 형성할 개구부들 각각에 대응하여 초기에 설정되는 가상의 영역일 수 있다. 초기 개구 가공 영역들의 가공 순서 결정 단계(S31)에서 설정된 가공 순서는 개구부들을 형성하기 위한 레이저광을 조사하는 순서에 대응될 수 있다. 마스크 시트에 개구부들을 형성하는 과정 중에서, 기 형성된 개구부들의 면적 및 위치는 가공 순서 및 인장된 마스크 시트에 작용하는 인장력에 의해 누적되는 변형량에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 발명 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법은 처음 설계된 위치에 정확하게 개구부들을 형성하기 위해, 개구부들 각각에 작용할 누적 변형량을 예상하여 산출하고, 산출된 누적 변형량을 고려하여 초기 개구 가공 영역의 면적 및 위치를 보정하는 단계를 포함한다. 면적 및 위치가 보정된 개구 가공 영역은 레이저광이 실질적으로 조사되는 개구 가공 영역에 대응될 수 있다. 각 단계들에 대한 구체적인 설명은 이하 도면들을 참조하여 자세히 설명하도록 한다.

도 3 및 도 4는 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계에 해당하는 사시도들을 도시하였다. 도 3에 도시된 단계는 마스크 시트(P1-MS)의 인장 단계(S10)에 대응하고, 도 4에 도시된 단계는 인장된 마스크 시트(P2-MS)를 마스크 프레임(FR)에 결합하는 단계(S20)에 대응할 수 있다. 이하, 본 명세서에서 인장되기 전의 마스크 시트(P1-MS)를 예비 마스크 시트(P1-MS)로 칭하며, 인장된 마스크 시트(P2-MS)를 인장 마스크 시트(P2-MS)로 칭하도록 한다.

도 3을 참조하면, 마스크 조립체를 제조하기 위해, 예비 마스크 시트(P1-MS) 및 마스크 프레임(FR)을 제공할 수 있다. 예비 마스크 시트(P1-MS)는 인장되어 마스크 프레임(FR) 상에 제공될 수 있고, 마스크 프레임(FR)은 인장 마스크 시트(P2-MS, 도 4 참조)를 지지할 수 있다.

마스크 프레임(FR)의 내측에는 마스크 프레임(FR)의 상면(FR-U) 및 하면(FR-L)을 관통하는 프레임 개구부(OP)가 정의될 수 있다. 마스크 프레임(FR)은 평면 상에서 고리 형상을 가질 수 있다. 도 3 및 도 4는 마스크 프레임(FR)이 사각 고리 형상을 갖는 것을 예시적으로 도시하였으나, 마스크 프레임(FR)의 형상은 인장 마스크 시트(P2-MS)를 지지할 수 있다면 어느 하나로 한정되지 않는다. 예를 들어, 마스크 프레임(FR)은 마스크 프레임(FR) 상에 배치되는 인장 마스크 시트(P2-MS)의 형상에 대응하여 원형 고리, 다각 고리 등 다양한 형상을 가질 수 있다.

마스크 프레임(FR)은 금속을 포함할 수 있다. 마스크 프레임(FR)은 철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co) 중 적어도 하나를 포함하는 금속으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 마스크 프레임(FR)은 철과 니켈의 합금 또는 니켈과 코발트의 합금으로 형성될 수 있다. 마스크 프레임(FR)은 스테인레스스틸(SUS) 또는 인바(Invar) 등을 포함할 수 있다. 그러나, 마스크 프레임(FR)의 물질이 상기 예에 제한되는 것은 아니다.

예비 마스크 시트(P1-MS)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 판(plate) 형상을 가질 수 있다. 예비 마스크 시트(P1-MS)는 평면 상에서 제1 방향(DR1)으로 연장된 장변들 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 단변들을 갖는 사각 형상을 가질 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 예비 마스크 시트(P1-MS)는 피증착면을 제공하는 대상 기판의 형상에 따라 다양한 형상을 갖도록 제조될 수 있다.

예비 마스크 시트(P1-MS)는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2) 각각에 평행한 제1 면(US) 및 제2 면(DS)을 포함할 수 있다. 제1 면(US) 및 제2 면(DS)의 법선 방향은 실질적으로 제3 방향(DR3)에 평행할 수 있다. 제1 면(US) 및 제2 면(DS)은 제3 방향(DR3)에서 서로 대향 될 수 있다. 일 실시예에서 예비 마스크 시트(P1-MS)의 제1 면(US)은 상면에 대응할 수 있고, 제2 면(DS)은 하면에 대응할 수 있다.

예비 마스크 시트(P1-MS)는 금속을 포함할 수 있다. 예비 마스크 시트(P1-MS)는 철(Fe), 니켈(Ni), 코발트(Co) 중 적어도 하나를 포함하는 금속으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 예비 마스크 시트(P1-MS)는 철과 니켈의 합금 또는 니켈과 코발트의 합금으로 형성될 수 있다. 예비 마스크 시트(P1-MS)는 스테인레스스틸(SUS) 또는 인바(Invar) 등을 포함할 수 있다. 일 실시예에서 예비 마스크 시트(P1-MS)는 마스크 프레임(FR)과 동일한 물질로 형성될 수 있다. 그러나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.

예비 마스크 시트(P1-MS)는 5 ppm/℃ 이하의 열팽창 계수는 갖는 것일 수 있다. 마스크 프레임(FR)도 예비 마스크 시트(P1-MS)와 유사한 수준의 열팽창 계수를 갖는 것일 수 있다. 이에 따라, 이후 공정을 통해 예비 마스크 시트(P1-MS)로 부터 제조된 마스크 시트(MS, 도 7 참조)를 이용한 증착 공정에서 마스크 시트(MS, 도 7 참조)의 열변형을 최소화할 수 있고, 대상 기판 상에 형성되는 증착층의 증착 품질을 개선할 수 있다.

도 3을 참조하면, 예비 마스크 시트(P1-MS)는 평면 상에서 마스크 프레임(FR)의 외측 테두리 보다 작은 크기를 가질 수 있다. 따라서, 예비 마스크 시트(P1-MS)를 마스크 프레임(FR) 상에 결합시키기 위해, 마스크 시트 인장 단계(S10, 도 2 참조)에서 예비 마스크 시트(P1-MS)를 인장 시킬 수 있다. 즉, 예비 마스크 시트(P1-MS)는 마스크 프레임(FR)의 크기에 대응되도록 인장될 수 있다.

제2 방향(DR2)으로 연장된 예비 마스크 시트(P1-MS)의 단변들은 제1 방향(DR1)에 나란한 외측 방향을 따라 제1 인장력(F1)으로 인장될 수 있다. 제1 방향(DR1)으로 연장된 예비 마스크 시트(P1-MS)의 장변들은 제2 방향(DR2)에 나란한 외측 방향을 따라 제2 인장력(F2)으로 인장될 수 있다. 제1 인장력(F1)의 크기 및 제2 인장력(F2)의 크기는 예비 마스크 시트(P1-MS)를 인장하는 정도에 따라 조절되며, 제1 인장력(F1)은 제2 인장력(F2)과 상이한 크기를 가질 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 일 실시예에서, 제1 인장력(F1)은 제2 인장력(F2)과 동일한 크기를 가질 수도 있다.

도 4를 참조하면, 인장 마스크 시트(P2-MS)는 예비 마스크 시트(P1-MS) 보다 큰 평면적을 가질 수 있다. 따라서, 인장 마스크 시트(P2-MS)는 평면 상에서 마스크 프레임(FR)의 상면(FR-U)의 적어도 일 부분에 중첩할 수 있다. 인장 마스크 시트(P2-MS)의 제2 면(DS)과 마스크 프레임(FR)의 상면(FR-U)이 마주하도록 인장 마스크 시트(P2-MS)는 마스크 프레임(FR) 상에 배치될 수 있다.

마스크 프레임(FR)은 인장 마스크 시트(P2-MS)의 제2 면(DS) 아래에 배치되어, 인장 마스크 시트(P2-MS)의 가장자리 부분을 지지할 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 마스크 프레임(FR)의 형상에 따라 마스크 프레임(FR)은 인장 마스크 시트(P2-MS)의 제1 면(US) 및 제2 면(DS)의 가장자리 부분들을 지지할 수 있다.

인장 마스크 시트(P2-MS)와 마스크 프레임(FR)을 결합하는 단계(S20)에서, 인장 마스크 시트(P2-MS)는 마스크 프레임(FR) 상에 고정될 수 있다. 일 실시예에서 인장 마스크 시트(P2-MS)는 용접에 의해 마스크 프레임(FR)에 결합될 수 있다. 마스크 조립체 제조 장치의 용접부(AD)는 마스크 프레임(FR)에 중첩하는 인장 마스크 시트(P2-MS)의 가장자리를 따라 인장 마스크 시트(P2-MS)를 용접 시킬 수 있다. 서로 결합된 인장 마스크 시트(P2-MS)와 마스크 프레임(FR)은 예비 마스크 조립체(P-MK)를 구성할 수 있다.

인장 마스크 시트(P2-MS)는 소정의 두께를 가질 수 있고, 인장 마스크 시트(P2-MS)의 두께는 제3 방향(DR3)에서 인장 마스크 시트(P2-MS)의 제1 면(US)과 제2 면(DS) 사이의 거리에 대응될 수 있다. 예를 들어, 인장 마스크 시트(P2-MS)의 두께는 50㎛ 이상 300㎛ 이하일 수 있다. 그러나, 인장 마스크 시트(P2-MS)의 두께가 상기 수치예에 한정되는 것은 아니다.

인장 마스크 시트(P2-MS)에는 인장 단계(S10, 도 2 참조)에서 가해진 인장력들(F1, F2, 도 3 참조)이 작용할 수 있다. 구체적으로, 인장 마스크 시트(P2-MS)에는 제1 방향(DR1)으로 제1 인장력(F1)이 작용할 수 있고, 제2 방향(DR2)으로 제2 인장력(F2)이 작용할 수 있다. 인장 마스크 시트(P2-MS)에 작용하는 인장력들(F1, F2)은 인장 마스크 시트(P2-MS)에 복수의 개구부들을 형성하는 과정에서 개구부들의 면적이나 위치에 영향을 미칠 수 있고, 이에 관하여는 이후 자세히 설명하도록 한다.

도 5는 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계에 해당하는 평면도를 도시하였다. 도 5는 인장 마스크 시트(P2-MS)의 제2 면(DS) 상에서 바라본 예비 마스크 조립체(P-MK)의 평면도를 도시하였다.

도 5를 참조하면, 복수의 개구부들 형성 단계(S30, 도 2 참조)에서, 인장 마스크 시트(P2-MS)에는 복수의 개구 가공 영역들(CA)이 설정될 수 있다. 복수의 개구 가공 영역들(CA)은 이후 인장 마스크 시트(P2-MS)에 형성될 개구부들에 대응하는 영역들 일 수 있다. 구체적으로, 복수의 개구 가공 영역들(CA)은 인장 마스크 시트(P2-MS)에 형성할 개구부들에 대응하도록 복수의 초기 개구 가공 영역들을 설정한 후, 초기 개구 가공 영역들 각각의 면적 및 위치를 보정하여 설정될 수 있다.

초기 개구 가공 영역들은 인장 마스크 시트(P2-MS)에 최종적으로 형성될 개구부들의 배열, 개수, 크기 및 위치를 고려하여 인장 마스크 시트(P2-MS) 내에 정의될 수 있다. 여기서, 초기 개구 가공 영역들은 개구부들이 형성되는 영역을 구분하기 위한 가상의 영역일 수 있고, 개구 가공 영역들(CA)은 개구부들이 실제 설계한 크기 및 위치에 형성되도록 초기 개구 가공 영역들 각각의 면적 및 위치를 보정한 가상의 영역들에 대응될 수 있고, 레이저가 실질적으로 조사되는 영역일 수 있다.

인장 마스크 시트(P2-MS)에 초기 개구 가공 영역들을 정의한 후, 가공 순서 결정 단계(S31, 도 2 참조)에서 초기 개구 가공 영역들 각각의 가공 순서를 설정할 수 있다. 초기 개구 가공 영역들 각각의 가공 순서는 마스크를 제조하는 설비의 구조에 따라 가공 시간이 최적화되도록 다양하게 설정될 수 있다.

초기 개구 가공 영역들의 가공 순서를 결정한 후, 누적 변형량 산출 단계(S32, 도 2 참조)에서 초기 개구 가공 영역들의 가공 순서, 위치 및 인장 마스크 시트(P2-MS)에 작용하는 인장력을 기초로, 초기 개구 가공 영역들 각각에 작용할 누적 변형량들을 산출할 수 있다.

누적 변형량 산출 단계(S32, 도 2 참조) 이후, 누적 변형량들을 기초로 초기 개구 가공 영역들의 면적 및 위치가 보정(S33)될 수 있다. 즉, 최종적으로 인장 마스크 시트(P2-MS)에 설정되는 복수의 개구 가공 영역들은 각각 면적 및 위치가 보정된 초기 개구 가공 영역들에 대응될 수 있다. 따라서, 개구 가공 영역들(CA) 중 적어도 일부는 인장 마스크 시트(P2-MS)에 최초 정의된 초기 개구 가공 영역들과 면적 및 위치와 상이할 수 있다.

초기 개구 가공 영역들의 가공 순서에 따른 누적 변형량 산출 방법에 관하여는 이후 도면들을 참조하여 자세히 설명하도록 한다.

도 5를 참조하면, 개구 가공 영역들(CA)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 개구 가공 영역들(CA)의 배열 형태는 인장 마스크 시트(P2-MS)에 형성할 복수의 개구부들의 배열 형태에 대응하도록 설정 될 수 있다.

개구 가공 영역들(CA)은 각각이 제1 방향(DR1)을 따라 배열되는 개구 가공 영역들로 정의되는 복수의 가공 그룹들(G1~G5: G1, G2, G3, G4, G5)을 포함할 수 있다. 복수의 가공 그룹들(G1~G5)은 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 도 5는 예시적으로 제2 방향(DR2)을 따라 배열되는 5개의 가공 그룹들(G1~G5)을 도시하였으며, 가공 그룹들(G1~G5) 각각이 제1 방향(DR1)을 따라 배열되는 11개의 개구 가공 영역들(C1~C11: C1, C2, ..., C10, C11, 이하 제1 내지 제11 개구 가공 영역들)을 포함하는 실시예를 도시하였다. 그러나, 개구 가공 영역들(CA)의 배열 및 개수가 이에 한정되는 것은 아니다.

도 5는 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 개구 가공 영역들(CA)을 도시하였으나, 실시예는 이에 한정되지 않고, 개구 가공 영역들(CA)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2) 중 어느 하나의 방향을 따라 배열될 수 있다. 개구 가공 영역들(CA)의 배열은 개구 가공 영역의 크기 및 인장 마스크 시트(P2-MS)의 크기에 따라 다양하게 변형될 수 있다.

개구 가공 영역들(CA) 각각은 평면 상에서 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 단변들을 갖고, 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 장변들을 갖는 사각 형상을 가질 수 있다. 그러나, 개구 가공 영역들(CA)의 형상은 이에 한정되지 않고, 대상 기판 상에 마스크 조립체를 이용하여 형성할 기능층들의 형상에 대응되도록 설정 될 수 있다. 즉, 개구 가공 영역들(CA)의 형상은 인장 마스크 시트(P2-MS)에 형성할 개구부들의 형상에 따라 달라 질 수 있다.

도 6은 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계에 해당하는 사시도이다. 도 6에 도시된 단계는 복수의 개구부들 형성 단계(S30, 도 2 참조)에 대응될 수 있다. 도 6을 참조하면, 인장된 마스크 시트(P2-MS)를 관통하는 복수의 개구부들을 형성하기 위해 인장된 마스크 시트(P2-MS)에 설정된 복수의 개구 가공 영역들(CA) 상에 레이저광(LSL)을 조사할 수 있다.

인장 마스크 시트(P2-MS) 가공을 위해, 레이저 가공 장치(LPM)에 예비 마스크 조립체(P-MK)가 제공될 수 있다. 레이저 가공 장치(LPM)는 지지 유닛(MU) 및 광 제공 유닛(LU)을 포함할 수 있다. 광 제공 유닛(LU)은 지지 유닛(MU) 상에 위치할 수 있다. 지지 유닛(MU)과 광 제공 유닛(LU) 사이에 가공 대상물인 예비 마스크 조립체(P-MK)가 배치될 수 있다. 예비 마스크 조립체(P-MK)는 인장 마스크 시트(P2-MS)의 제2 면(DS)이 광 제공 유닛(LU)과 마주하도록 지지 유닛(MU) 상에 배치될 수 있다.

지지 유닛(MU)은 스테이지(ST), 제1 방향 이동부(SST-X) 및 제2 방향 이동부(SST-Y)를 포함할 수 있다.

스테이지(ST)는 예비 마스크 조립체(P-MK)가 안착되는 공간을 제공할 수 있다. 스테이지(ST)는 스테이지(ST)의 상면 상에 제공되는 예비 마스크 조립체(P-MK)를 지지할 수 있다. 스테이지(ST)는 이동 과정에서 예비 마스크 조립체(P-MK)가 흔들리지 않도록 예비 마스크 조립체(P-MK)를 고정할 수 있다.

스테이지(ST)는 제1 방향 이동부(SST-X) 및 제2 방향 이동부(SST-Y)에 의해 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동할 수 있다. 제1 방향 이동부(SST-X) 및 제2 방향 이동부(SST-Y)는 서로 교차하며 배치될 수 있다. 일 실시예에서, 제1 방향 이동부(SST-X) 상에 제2 방향 이동부(SST-Y)가 배치되고, 제2 방향 이동부(SST-Y) 상에 스테이지(ST)가 배치될 수 있다. 그러나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다.

스테이지(ST)는 제2 방향 이동부(SST-Y) 상에서 제2 방향(DR2)에 나란하게 이동할 수 있다. 스테이지(ST)는 제2 방향 이동부(SST-Y)의 홈(groove)을 따라 이동될 수 있다. 즉, 스테이지(ST)는 제2 방향 이동부(SST-Y)에 의해 제2 방향(DR2)에 나란한 좌우 가공 방향(MD-Y)으로 이동할 수 있다. 스테이지(ST)가 제2 방향 이동부(SST-Y)에 의해 이동됨으로써, 광 제공 유닛(LU)이 고정된 경우에도 레이저광(LSL)이 좌우 가공 방향(MD-Y)을 따라 조사될 수 있다.

스테이지(ST)는 제1 방향 이동부(SST-X) 상에서 제1 방향(DR1)에 나란하게 이동할 수 있다. 예를 들어, 스테이지(ST)가 안착된 제2 방향 이동부(SST-Y)는 제1 방향 이동부(SST-X) 상에서 제1 방향(DR1)에 나란하게 이동할 수 있다. 스테이지(ST) 및 제2 방향 이동부(SST-Y)는 제1 방향 이동부(SST-X)의 홈을 따라 이동될 수 있다. 즉, 스테이지(ST)는 제1 방향 이동부(SST-X)에 의해 제1 방향(DR1)에 나란한 상하 가공 방향(MD-X)으로 이동할 수 있다. 스테이지(ST)가 제1 방향 이동부(SST-X)에 의해 이동됨으로써, 광 제공 유닛(LU)이 고정된 경우에도 레이저광(LSL)이 상하 가공 방향(MD-X)을 따라 조사될 수 있다.

도 6은 제1 방향 이동부(SST-X) 상에 배치된 제2 방향 이동부(SST-Y)를 예시적으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 제2 방향 이동부(SST-Y) 상에 제1 방향 이동부(SST-X)가 배치될 수도 있다. 제1 방향 이동부(SST-X) 및 제2 방향 이동부(SST-Y)는 스테이지(ST)를 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동시킬 수 있다면 어느 하나의 실시예로 한정되지 않는다. 또한, 다른 일 실시예에서, 스테이지(ST)는 별도의 제1 방향 이동부(SST-X) 및 제2 방향 이동부(SST-Y) 없이 제어 유닛에 의해 자체적으로 이동하는 것일 수도 있다.

광 제공 유닛(LU)는 광원부(LS), 광학부(OTP) 및 스캔부(SNP)를 포함할 수 있다. 광원부(LS)는 소스 레이저광을 광학부(OTP)에 제공할 수 있다. 광학부(OTP)는 광원부(LS)로부터 제공받은 소스 레이저광을 회절, 분할 및 방향 전환 시킬 수 있다. 광학부(OTP)는 소스 레이저광을 가공하기 위해 회절 광학 소자(Diffractive Optical Element, DOE), 광학 렌즈, 거울 등과 같은 광학 소자들을 포함할 수 있다. 스캔부(SNP)는 광학부(OTP)에서 제공하는 가공 레이저광의 사이즈 및 포커스 등을 조절하여 최종 형태의 레이저광(LSL)을 인장 마스크 시트(P2-MS)에 조사할 수 있다. 스캔부(SNP)는 거울, 포커스 렌즈 등과 같은 광학 소자들을 포함할 수 있다.

마스크 조립체 제조 방법에 사용되는 레이저광(LSL)은 펄스 레이저일 수 있다. 예를 들어, 레이저광(LSL)은 펨토초(10^-15) 내지 피코초(10^-12)의 펄스폭을 갖는 펄스 레이저일 수 있다. 레이저광(LSL)의 파장은 단파장일 수 있다. 예를 들어, 레이저광(LSL)의 파장은 400nm 내지 600nm일 수 있다. 즉, 펄스 레이저로 제공되는 레이저광(LSL)이 최대 세기(intensity)를 갖는 파장은 400nm 내지 600nm 범위 내에 있을 수 있다.

광 제공 유닛(LU)은 인장 마스크 시트(P2-MS) 상에 레이저광(LSL)을 조사할 수 있다. 예비 마스크 조립체(P-MK)가 제공되는 방향에 따라, 레이저광(LSL)이 조사되는 인장 마스크 시트(P2-MS)의 면이 달라질 수 있다. 도 6에 도시된 것처럼, 예비 마스크 조립체(P-MK)는 인장 마스크 시트(P2-MS)의 제2 면(DS)이 광 제공 유닛(LU)을 향하도록 스테이지(ST) 상에 배치될 수 있고, 레이저광(LSL)은 인장 마스크 시트(P2-MS)의 제2 면(DS)에 직접 조사될 수 있다.

레이저광(LSL)은 인장 마스크 시트(P2-MS)에 설정된 복수의 개구 가공 영역들(CA) 상에 조사될 수 있다. 레이저광(LSL)은 개구 가공 영역들(CA) 각각에 설정된 가공 순서에 맞춰 조사될 수 있다. 레이저광(LSL)은 지지 유닛(MU)의 이동에 따라 조사 방향 및 위치가 조절될 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 레이저광(LSL) 조사 과정에서, 지지 유닛(MU)은 고정되고, 광 제공 유닛(LU)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 이동하며 개구 가공 영역들(CA) 상에 레이저광(LSL)을 조사할 수 있다.

일 실시예의 레이저 가공 장치(LPM)는 흡입부(suction part)(SCU)를 더 포함할 수 있다. 흡입부(SCU)는 스테이지(ST)의 일 측에 인접하게 배치될 수 있다. 도 6은 제2 방향(DR2)에 나란한 스테이지(ST)의 일 측에 인접하게 배치된 흡입부(SCU)를 예시적으로 도시하였다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 흡입부는 스테이지(ST)의 다른 일 측에 추가로 배치되거나, 스테이지(ST) 상에 배치될 수도 있다. 흡입부(SCU)는 개구부들을 형성하는 단계(S30, 도 2 참조)에서 레이저가 조사되는 동안 발생하는 분진을 흡입하여, 오염 물질을 제거할 수 있다.

도 7은 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 평면도이다. 도 7은 본 발명의 마스크 조립체 제조 방법을 통해 형성된 마스크를 포함하는 일 실시예의 마스크 조립체(MK)를 도시하였다.

도 6에 도시된 레이저광(LSL) 조사 단계가 완료된 후, 인장 마스크 시트(P2-MS, 도 6 참조)에는 인장 마스크 시트(P2-MS, 도 6 참조)를 관통하는 복수의 개구부들(CO)이 형성될 수 있다. 본 명세서에서 복수의 개구부들(CO)이 형성된 인장 마스크 시트를 마스크(MS)로 정의할 수 있다.

도 7을 참조하면, 마스크 조립체(MK)는 서로 결합된 마스크(MS) 및 마스크 프레임(FR)을 포함할 수 있다. 마스크(MS)에는 제3 방향(DR3)에서 마스크(MS)를 관통하며, 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 복수의 개구부들(CO)이 형성될 수 있다.

본 발명의 마스크 조립체 제조 방법을 통해 제조된 마스크 조립체(MK)는 대상 기판의 피증착면 상에 전술한 기능층을 형성하는데 사용될 수 있다. 일 실시예의 마스크 조립체(MK)는 일 영역에 박막으로 제공되는 공통층을 형성하기 위해 사용되는 오픈 마스크(Open Mask)일 수 있다. 오픈 마스크는 대면적으로 제공되는 하나의 대상 기판 상에 복수의 표시 패널들을 형성하기 위해 사용될 수 있고, 복수의 표시 패널들 각각에 포함된 기능층을 증착하기 위해 사용될 수 있다. 즉, 증착 물질은 마스크(MS)에 형성된 복수의 개구부들(CO)을 통과하여, 개구부들(CO)에 대응하도록 대상 기판 상에 증착될 수 있다.

복수의 개구부들(CO)은 각각 전술한 복수의 개구 가공 영역들(CA, 도 5 참조)에 대응하여 형성될 수 있다. 개구부들(CO)의 배열 형태는 개구 가공 영역들(CA, 도 5 참조)의 배열 형태에 대응될 수 있다. 구체적으로, 개구부들(CO)은 전술한 복수의 가공 그룹들(G1~G5, 도 5 참조)에 대응되는 복수의 개구 그룹들(GO1~GO5: GO1, GO2, GO3, GO4, GO5)을 포함할 수 있다. 복수의 개구 그룹들(GO1~GO5) 각각은 제1 내지 제11 가공 영역들(C1~C11, 도 5 참조)에 대응하는 제1 내지 제11 개구부들(CO1~CO11: CO1, CO2, ..., CO10, CO11)을 포함할 수 있다. 따라서, 개구부들(CO)의 개수는 인장 마스크 시트(P2-MS, 도 5 참조)에 설정되는 개구 가공 영역들(CA)의 개수와 동일할 수 있다.

개구부들(CO)의 형상들은 각각 개구 가공 영역들(CA, 도 5 참조)에 대응할 수 있다. 개구부들(CO)의 형상은 개구 가공 영역들(CA, 도 5 참조)의 형상과 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어, 개구부들(CO)은 각각 개구 가공 영역들(CA, 도 5 참조)에 대응하여 제1 방향(DR1)을 따라 연장된 단변들을 갖고, 제2 방향(DR2)을 따라 연장된 장변들을 갖는 사각 형상을 가질 수 있다.

마스크(MS)에 최종적으로 형성된 개구부들(CO) 중 적어도 일부는 인장 마스크 시트(P2-MS, 도 5 참조) 설정된 개구 가공 영역들(CA, 도 5 참조)과 면적 및 위치가 상이할 수 있다. 예를 들어, 제1 개구 가공 영역(C1, 도 5 참조)에 대응하여 형성된 제1 개구부(CO1)의 면적 및 위치는 제1 개구 가공 영역(C1, 도 5 참조)의 면적 및 위치와 상이할 수 있다.

본 명세서에서, 구성들 간의 위치가 상이하다는 것은 구성의 중심점의 위치가 상이한 것에 대응될 수 있다. 즉, 개구 가공 영역의 위치가 대응하는 개구부의 위치와 상이하다는 것은 개구 가공 영역의 중심점의 위치와 대응하는 개구부의 중심점의 위치가 상이하다는 것을 의미할 수 있다.

개구 가공 영역들(CA, 도 5 참조)의 가공 순서에 따라 레이저광(LSL, 도 6 참조)이 조사됨에 따라, 가공 순서에 맞춰 순차적으로 개구부들(CO)이 형성될 수 있다. 순차적으로 개구부들(CO)이 형성되는 과정 중, 인장 마스크 시트(P2-MS, 도 5 참조)에 기 형성된 개구부 이후 형성되는 개구부는 인장 마스크 시트(P2-MS, 도 5 참조)에 작용하는 인장력에 의해 기 형성된 개구부에 영향을 미칠 수 있다. 예를 들어, 제1 개구부(CO1)를 형성한 후 제2 개구 가공 영역(C2, 도 5 참조)에 레이저광(LSL, 도 6 참조)을 조사하여, 제2 개구부(CO2)를 형성할 수 있다. 제2 개구부(CO2)가 형성될 때, 제1 개구부(CO1)는 제2 개구부(CO2)의 영향을 받아 최초 형성된 위치에서 이동할 수 있다.

따라서, 개구 가공 영역들(CA, 도 5 참조)은 설계된 위치에 정확하게 개구부들(CO)을 형성하기 위해, 개구부들(CO) 각각에 미치는 변형량들을 고려하여 면적 및 위치를 보정하여 설정한 영역이기 때문에, 개구 가공 영역들(CA, 도 5 참조)과 개구부들(CO)은 보정된 만큼 면적 및 위치가 상이할 수 있다. 이에 관해서는 이후 도면들을 참조하며 보다 자세히 설명하도록 한다.

도 8은 도 7의 일 영역(AA)에 대응하는 마스크 조립체의 확대 평면도이다. 도 9a는 도 8의 선 II-II'에 대응하는 마스크 조립체의 단면도이다. 도 9b는 도 8의 선 III-III'에 대응하는 마스크 조립체의 단면도이다.

도 8을 참조하면, 마스크(MS)에는 제1 방향(DR1)에 나란하게 제1 인장력(F1)이 작용하고, 제2 방향(DR2)에 나란하게 제2 인장력(F2)이 작용할 수 있다. 제1 인장력(F1) 및 제2 인장력(F2)은 예비 마스크 시트(P1-MS) 인장 단계(S10, 도 2 참조)에서 예비 마스크 시트(P1-MS, 도 3 참조)에 가하는 제1 및 제2 인장력들(F1, F2)에 대응될 수 있다.

도 8은 하나의 개구 가공 영역(CA) 상에 레이저광(LSL, 도 6 참조)을 조사하여 형성된 하나의 개구부(CO)를 도시하였다. 개구 가공 영역(CA)에 레이저광(LSL, 도 6 참조)을 조사하는 경우, 마스크(MS)에 작용하는 인장력들(F1, F2)에 의해 개구부(CO)는 인장력들(F1, F2)이 가해지는 방향을 따라 개구 가공 영역(CA) 보다 확장되어 형성될 수 있다. 즉, 개구부(CO)는 개구 가공 영역(CA) 대비 변형 면적(DE)만큼 확장되어 형성될 수 있다. 도 8은 이해의 편의를 위해, 변형 면적(DE)을 해칭하여 도시하였으나, 실질적으로 개구부(CO) 내부는 마스크(MS)를 관통하는 빈 공간에 대응될 수 있다.

개구 가공 영역(CA)은 평면 상에서 제1 변(U), 제2 변(D), 제3 변(L) 및 제4 변(R)을 가질 수 있다. 개구 가공 영역(CA)의 제1 변(U) 및 제2 변(D)은 제2 방향(DR2)을 따라 연장되고, 제1 방향(DR1)에서 이격될 수 있다. 개구 가공 영역(CA)의 제3 변(L) 및 제4 변(R)은 제1 방향(DR1)을 따라 연장되고, 제2 방향(DR2)에서 이격될 수 있다.

개구 가공 영역(CA)은 제1 방향(DR1)에서 제1 폭(W1-a)을 갖도록 설정되고, 제2 방향(DR2)에서 제2 폭(W2-a)을 갖도록 설정될 수 있다. 개구 가공 영역(CA)의 제1 폭(W1-a)은 제1 변(U)과 제2 변(D) 사이의 간격에 대응될 수 있고, 제3 변(L) 및 제4 변(R) 각각의 길이에 대응될 수 있다. 개구 가공 영역(CA)의 제2 폭(W2-a)은 제3 변(L)가 제4 변(R) 사이의 간격에 대응될 수 있고, 제1 변(U) 및 제2 변(D) 각각의 길이에 대응될 수 있다.

개구 가공 영역(CA)의 제1 변(U)은 평면 상에서 제1 방향(DR1)에 나란한 상측 방향으로 작용하는 제1 인장력(F1)에 의해 상측 방향을 따라 제1 변화량(d1) 만큼 변형될 수 있다. 개구 가공 영역(CA)의 제2 변(D)은 평면 상에서 제1 방향(DR1)에 나란한 하측 방향으로 작용하는 제1 인장력(F1)에 의해 하측 방향을 따라 제1 변화량(d1) 만큼 변형될 수 있다. 본 명세서에서, 상측 방향 및 하측 방향은 제1 방향(DR1)에 나란하며 서로 대향되는 방향일 수 있다. 한편, 상측 방향 및 하측 방향은 상대적인 개념으로 인장력이 작용하는 방향에 따라 다른 방향으로 변환될 수 있다.

개구 가공 영역(CA)의 제3 변(L)은 평면 상에서 제2 방향(DR2)에 나란한 좌측 방향으로 작용하는 제2 인장력(F2)에 의해 좌측 방향을 따라 제2 변화량(d2) 만큼 변형될 수 있다. 개구 가공 영역(CA)의 제4 변(R)은 평면 상에서 제2 방향(DR2)에 나란한 우측 방향으로 작용하는 제2 인장력(F2)에 의해 우측 방향을 따라 제2 변화량(d2) 만큼 변형될 수 있다. 여기서, 좌측 방향 및 우측 방향은 제2 방향(DR2)에 나란하며 서로 대향되는 방향일 수 있다. 한편, 좌측 방향 및 우측 방향은 상대적인 개념으로 다른 방향으로 변환될 수 있다.

따라서, 마스크(MS)에 작용하는 인장력들(F1, F2)에 의해 개구부(CO)로 형성되는 과정에서, 개구 가공 영역(CA)의 면적은 변형 면적(DE)만큼 확장될 수 있고, 최종적으로 마스크(MS)에 형성되는 개구부(CO)의 면적은 인장 마스크 시트(P2-MS, 도 5 참조)에 설정된 개구 가공 영역(CA)의 면적 대비 변형 면적(DE)만큼 클 수 있다.

구체적으로, 개구부(CO)는 제1 방향(DR1)에서 제3 폭(W1-o)을 갖고, 제2 방향(DR2)에서 제4 폭(W2-o)을 갖도록 형성될 수 있다. 개구부(CO)의 제3 폭(W1-o)은 개구 가공 영역(CA)에 설정된 제1 폭(W1-a) 보다 제1 변형량(d1)의 두배만큼 커질 수 있다. 개구부(CO)의 제4 폭(W2-o)은 개구 가공 영역(CA)에 설정된 제2 폭(W2-a) 보다 제2 변형량(d2)의 두배만큼 커질 수 있다.

제1 변형량(d1)의 크기는 제1 인장력(F1), 개구 가공 영역(CA)의 크기, 제1 인장력(F1)을 받는 단면적, 마스크(MS)의 물질에 따라 달라질 수 있다. 이와 관련하여서는 도 9a 및 도 9b를 함께 참조하여 보다 자세히 설명하도록 한다.

제1 변형량(d1)은 하기의 식 1을 만족할 수 있다.

[식 1]

도 8 및 도 9a에 도시된 것처럼, 상기 식 1에서 F1은 제1 인장력(F1)을 나타낸다. 상기 식 1에서 P1은 개구 가공 영역(CA)의 중심(CT)에서부터 제1 인장력(F1)을 받는 제1 변(U)(또는 제2 변(D))까지의 거리(P1)를 나타낸다. 상기 거리(P1)는 개구 가공 영역(CA)의 제1 폭(W1-a)의 절반 값에 대응될 수 있다. 도 9b에 도시된 것처럼, 상기 식 1에서 A1은 개구 가공 영역(CA) 내에서 제1 인장력(F1)을 받는 단면적(A1)을 나타낸다. 개구 가공 영역(CA) 내에서 제1 인장력(F1)을 받는 단면들은 각각 제1 변(U) 및 제2 변(D)을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 단면적(A1)은 제1 변(U)(또는 제2 변(D))의 길이에 비례할 수 있다. 즉, 상기 단면적(A1)은 개구 가공 영역(CA)의 제2 폭(W2-a)에 마스크(MS)의 두께(TH)를 곱한 크기에 대응될 수 있다. 상기 식 1에서 E는 마스크(MS)의 탄성 계수를 나타낸다.

이와 마찬가지로, 제2 변형량(d2)은 제2 인장력(F2), 개구 가공 영역(CA)의 중심(CT)에서부터 제2 인장력(F2)을 받는 제3 변(L)(또는 제4 변(R))까지의 거리, 개구 가공 영역(CA) 내에서 제2 인장력(F2)을 받는 단면적 및 마스크(MS)의 탄성 계수에 반비례할 수 있다.

마스크(MS)에 작용하는 인장력(F1, F2)에 의해 개구부(CO)는 레이저광으로 가공되는 영역 보다 확장되어 형성될 수 있다. 즉, 레이저광이 조사되는 영역에 대응하는 개구 가공 영역(CA)의 면적은 변형 면적(DE)을 고려하려 보정될 수 있다. 즉, 'A' 크기를 갖도록 설계된 개구부(CO)를 형성하기 위해 개구 가공 영역(CA)의 면적은 'A' 보다 변형 면적(DE)만큼 작도록 보정될 수 있다.

도 10은 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 평면도이다. 도 10은 누적 변형량을 산출하여, 초기 개구 가공 영역의 위치를 보정하는 단계에 대응될 수 있다. 도 10은 설명의 편의를 위해 누적 변형량 산출 대상인 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')을 표시하였고, 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')의 누적 변형량 산출에 영향을 미치는 초기 개구 가공 영역들의 가공 순서를 예시적으로 표시하였다.

도 10을 참조하면, 복수의 초기 개구 가공 영역들 중 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')은 n번째 가공되는 개구 영역일 수 있다. 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')의 누적 변형량 산출에 영향을 미치는 초기 개구 가공 영역들은 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')으로부터 인장력이 작용하는 방향과 나란하게 배열된 초기 개구 가공 영역들일 수 있다. 즉, 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')의 누적 변형량 산출에 영향을 미치는 초기 개구 가공 영역들은 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')으로부터 제1 방향(DR1) 또는 제2 방향(DR2)에 나란하게 배열될 수 있다. 초기 개구 가공 영역들 중 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')과 제1 방향(DR1)에 나란히 배열된 초기 개구 가공 영역들을 제1 그룹(Ga)으로 정의할 수 있고, 제2 방향(DR2)에 나란히 배열된 초기 개구 가공 영역들을 제2 그룹(Gb)으로 정의할 수 있다.

제n 초기 개구 가공 영역(Cn')의 누적 변형량은 제n 초기 개구 가공 영역(Cn') 보다 나중에 가공되는 초기 개구 가공 영역의 수와 위치에 따라 달라질 수 있다. 즉, 제1 그룹(Ga) 및 제2 그룹(Gb)의 초기 개구 가공 영역들 중 n번째 이후 가공되는 개구 가공 영역이 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')에 대응하여 형성되는 개구부(이하, 제n 개구부)의 위치에 영향을 미칠 수 있다.

예를 들어, 도 10에 도시된 일 실시예에서, 평면 상에서 제n 초기 개구 가공 영역(Cn') 보다 상측 방향에 위치하고, n+1번째 가공되는 초기 개구 가공 영역(즉, 제n+1 초기 개구 가공 영역)이 가공될 때, 인장력에 의해 제n+1 개구부가 확장되어 형성될 수 있다. 제n+1 개구부가 확장되어 형성됨에 따라, 제n 개구부의 위치가 하측 방향으로 이동될 수 있다. 즉, 제n+1 초기 개구 가공 영역의 가공에 의해 제n 개구부의 중심점의 위치는 하측 방향으로 이동할 수 있다. 이와 같은 원리로, 평면 상에서 제n 초기 개구 가공 영역(Cn') 보다 하측 방향에 위치하고 n+5번째 가공되는 초기 개구 가공 영역(즉, 제n+5 초기 개구 가공 영역)이 가공될 때, 제n 개구부의 중심점의 위치는 상측 방향으로 이동할 수 있다. 또한, 평면 상에서, 제n 초기 개구 가공 영역(Cn') 보다 우측 방향에 위치하고, n+11번째 가공되는 초기 개구 가공 영역(즉, 제n+11 초기 개구 가공 영역)이 가공될 때, 제n 개구부의 중심점의 위치는 좌측 방향으로 이동할 수 있다.

한편, n번째 이전에 가공되는 가공 영역은 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')의 누적 변형량 산출에 영향을 미치지 않는다. 예를 들어, 도 10에 도시된 일 실시예에서, 제n-1 초기 개구 가공 영역은 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')과 제1 방향(DR1)에 나란히 배열되고, 제n-11 초기 개구 가공 영역은 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')과 제2 방향(DR2)에 나란히 배열되지만, 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')의 누적 변형량 산출에 영향을 미치지 않을 수 있다.

제1 그룹(Ga)의 초기 개구 가공 영역들 중 n번째 이후 가공되고, 제n 초기 개구 가공 영역(Cn') 보다 상측 방향에 위치하는 초기 개구 가공 영역의 수를 m으로 정의할 수 있고, 제n 초기 개구 가공 영역(Cn') 보다 하측 방향에 위치하는 초기 개구 가공 영역의 수를 l로 정의할 수 있다. m이 l 보다 큰 경우, 누적 변형량에 의해 제n 개구부의 중심점 위치는 최종적으로 하측 방향으로 이동될 수 있고, m이 l 보다 작은 경우, 제n 개구부의 중심점의 위치는 최종적으로 상측 방향으로 이동될 수 있다.

제2 그룹(Gb)의 초기 개구 가공 영역들 중 n번째 이후 가공되고, 제n 초기 개구 가공 영역(Cn') 보다 좌측 방향에 위치하는 초기 개구 가공 영역의 수를 p로 정의할 수 있고, 제n 초기 개구 가공 영역(Cn') 보다 우측 방향에 위치하는 초기 개구 가공 영역의 수를 q로 정의할 수 있다. p가 q 보다 큰 경우, 누적 변형량에 의해 제n 개구부의 중심점 위치는 최종적으로 우측 방향으로 이동될 수 있고, p가 q 보다 작은 경우, 제n 개구부의 중심점의 위치는 최종적으로 좌측 방향으로 이동될 수 있다.

따라서, 누적 변형량에 의해 최종 개구부들의 형성 위치가 설계된 위치와 달라지는 것을 방지하기 위하여, 초기 개구 가공 영역들 각각의 중심점의 위치를 보정할 수 있다. m이 l 보다 큰 경우, 제n 초기 개구 가공 영역의 중심점의 위치는 상측 방향으로 보정될 수 있고, m이 l 보다 작은 경우, 제n 초기 개구 가공 영역의 중심점의 위치는 하측 방향으로 보정될 수 있다. p가 q 보다 큰 경우, 제n 초기 개구 가공 영역의 중심점의 위치는 좌측 방향으로 보정될 수 있고, p가 q 보다 작은 경우, 제n 초기 개구 가공 영역의 중심점의 위치는 우측 방향으로 보정될 수 있다. 이처럼 위치가 보정된 초기 개구 가공 영역들은 전술한 개구 가공 영역들(CA, 도 5 참조)에 대응될 수 있다.

예를 들어, 도 10에 도시된 실시예에서, m은 4에 대응되고, l은 5에 대응되며, p는 0에 대응되고, q는 3에 대응될 수 있다. 따라서, 제1 그룹(Ga) 및 제2 그룹(Gb)의 초기 개구 가공 영역들이 가공 순서에 따라 순차적으로 가공되었을 때, 누적 변형량이 작용되어, 제n 개구부의 중심점의 위치는 상측 방향 및 좌측 방향으로 이동될 수 있다. 따라서, 이를 보정하기 위해, 도 10의 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')의 중심점의 위치를 누적 변형량만큼 하측 방향 및 우측 방향으로 이동시켜 개구 가공 영역을 설정할 수 있다.

도 11a 내지 도 11e는 도 10의 일 영역(BB)에 대응되며, 제n 개구부에 변형량이 작용되는 단계를 순차적으로 도시한 평면도들이다. 도 11a는 도 10의 제n 초기 개구 가공 영역(Cn')의 면적 및 위치를 보정한 제n 개구 가공 영역(Cn)을 도시하였다. 본 명세서에서, 면적 및 위치를 보정한 제n 개구 가공 영역(Cn)은 1차 개구 가공 영역으로 정의될 수 있다.

도 11a를 참조하면, 면적이 보정된 제n 개구 가공 영역(Cn)의 면적은 최종적으로 형성하고자 하는 제n 개구부(P-COn, 이하 가상 제n 개구부)의 면적 보다 작을 수 있다. 보정된 면적의 크기는 도 8, 도 9a 및 도 9b를 참조하며 전술한 설명이 동일하게 적용될 수 있다. 여기서 가상 제n 개구부(P-COn)는 실질적으로 전술한 제n 초기 개구 가공 영역에 대응하는 것일 수 있다.

위치가 보정된 제n 개구 가공 영역(Cn)의 중심점(CT-n)의 위치는 가상 제n 개구부(P-COn)의 중심점(P-CT-n)의 위치와 상이할 수 있다. 제n 개구 가공 영역(Cn)의 중심점(CT-n)의 위치는 가상 제n 개구부(P-COn)의 중심점(P-CT-n)의 위치를 하측 방향 및 우측 방향으로 이동하여 설정된 것일 수 있다.

전술한 누적 변형량 산출 방법을 이용하여, 제n+9, n+11, n+20 개구 가공 영역들(Cn+9, Cn+11, Cn+20) 또한 위치가 보정되어 설정될 수 있다. 제n+9, n+11, n+20 개구 가공 영역들(Cn+9, Cn+11, Cn+20)의 중심점들은 각각 가상 제n+9, n+11, n+20 개구부들(P-COn+9, P-COn+11, P-COn+20)의 중심점들의 위치와 상이할 수 있다.

도 11b는 제n 개구 가공 영역(Cn)에 레이저광을 조사하여 최초 형성된 제n 개구부(COn', 이하 최초 제n 개구부)를 도시하였다. 본 명세서에서, 레이저광이 하나의 개구 가공 영역 상에 조사된 직후, 해당 개구 가공 영역에 대응하여 최초 형성된 개구부를 2차 개구 가공 영역으로 정의할 수 있다. 따라서, 레이저광이 제n 개구 가공 영역(Cn)에 조사된 직후 제n 개구 가공 영역(Cn)에 대응하여 최초 형성된 최초 제n 개구부(COn')는 2차 제n 개구 가공 영역으로 정의할 수 있다.

도 11b를 참조하면, 제n 개구 가공 영역(Cn)을 가공할 때 작용하는 변형에 의해, 최초 제n 개구부(COn')의 면적은 가상 제n 개구부(P-COn)의 면적과 실질적으로 동일할 수 있다. 최초 제n 개구부(COn')의 중심점(CT-n')의 위치는 제n 개구 가공 영역(Cn)의 중심점(CT-n)의 위치와 실질적으로 동일할 수 있고, 가상 제n 개구부(P-COn)의 위치와 상이할 수 있다.

도 11c는 제n+9 개구 가공 영역(Cn+9)에 레이저광을 조사하여, 최초로 제n+9 개구부(COn+9')를 형성한 단계에 대응될 수 있다. 제n+9 개구 가공 영역(Cn+9)은 도 10에 도시된 실시예에서 제1 그룹(Ga)의 개구 가공 영역들 중 가장 마지막에 가공되는 영역일 수 있다.

도 11c를 참조하면, 최초 제n+9 개구부(COn+9')가 형성되는 과정에서 최초 제n 개구부(COn')에 누적 변형량(DEd1-n)이 상측 방향으로 작용할 수 있고, 이에 따라, 최초 제n 개구부(COn')의 위치(또는 2차 제n 개구 가공 영역(COn')의 위치)가 변형될 수 있다. 즉, 상측 방향으로 작용하는 누적 변형량(DEd1-n)에 의해 최초 제n 개구부(COn')의 중심점(CT-n')의 위치는 상측 방향으로 이동될 수 있다. 최초 제n+9 개구부(COn+9')에 의해 변형된 최초 제n 개구부(COn')의 중심점(CT-n')의 위치는 가상 제n 개구부(P-COn)의 중심점(P-CT-n)의 위치와 제1 방향(DR1)에서 일치하여 제2 방향(DR2)을 따라 나란히 위치할 수 있다. 즉, 2차 개구 가공 영역들 중 적어도 일부는 1차 개구 가공 영역들을 순차적으로 가공함에 따라 그 위치가 변화할 수 있다.

도 11d는 제n+11 개구 가공 영역(Cn+11)에 레이저광을 조사하여, 최초로 제n+11 개구부(COn+11')를 형성하는 단계에 대응될 수 있다. 도 11d를 참조하면, 최초 제n+11 개구부(COn+11')가 형성되는 과정에서, 변형된 최초 제n 개구부(COn')에 누적 변형량(DEd2-n)이 좌측 방향으로 작용할 수 있고, 변형된 최초 제n 개구부(COn') 위치는 다시 변형될 수 있다. 즉, 좌측 방향으로 작용하는 누적 변형량(DEd2-n)에 의해 변형된 최초 제n 개구부(COn')의 중심점(CT-n')의 위치는 도 11c에 도시된 단계에서 변형된 최초 제n 개구부(COn') 대비 좌측 방향으로 이동할 수 있다.

도 11e는 형성하고자 하는 복수의 개구부들이 모두 형성된 마스크(MS)를 도시하였다. 본 명세서에서 레이저광 조사가 완료되어 마스크(MS)에 형성된 복수의 개구부들은 최종 개구 영역들로 정의될 수 있다. 마스크(MS)에 개구부들이 모두 형성됨에 따라, 산출된 누적 변형량이 최초 제n 개구부(COn')에 모두 작용될 수 있다. 따라서, 최종적으로 형성된 제n 개구부(COn, 이하 최종 제n 개구부)의 면적 및 위치는 마스크(MS)에 형성하고자 했던 가상 제n 개구부(P-COn)의 면적 및 위치와 실질적으로 동일할 수 있다. 즉, 최종 제n 개구부(COn)의 중심점(CT-n)의 위치는 가상 제n 개구부(P-COn)의 중심점(P-CT-n)의 위치와 실질적으로 일치할 수 있다.

이와 마찬가지로, 최종 제n+9, n+11, n+20 개구부들(COn+9, COn+11, COn+20) 각각의 면적 및 위치는 마스크(MS)에 형성하고자 했던 가상 제n+9, n+11, n+20 개구부들(P-COn+9, P-COn+11, P-COn+20) 각각의 면적 및 위치와 실질적으로 동일할 수 있다.

즉, 누적 변형량을 고려하여 면적 및 위치를 보정한 복수의 개구 가공 영역들이 설정되고, 이를 이용하여 복수의 개구부들을 형성함에 따라, 최종적으로 형성되는 개구부들은 설계된 면적을 갖도록, 설계된 위치에 형성될 수 있다. 즉, 마스크 내에 복수의 개구부들의 형성되는 면적 및 위치의 정확성이 향상될 수 있다. 이를 통해 마스크 신뢰성이 향상될 수 있고, 마스크를 이용하여 제조되는 표시 패널의 증착 품질 또한 향상될 수 있다.

도 12a, 도 13a 및 도 14a는 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법에서 개구 가공 영역들이 설정된 예비 마스크 조립체의 평면도들이다. 별도로 표시하지 않았으나, 도 12a, 도 13a 및 도 14a에 도시된 인장 마스크 시트(P2-MS)들에는 제1 방향(DR1)으로 제1 인장력(F1, 도 3 참조)이 작용하고, 제2 방향(DR2)으로 제2 인장력(F2, 도 3 참조)이 작용하는 것일 수 있다.

일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법은 스테이지(ST, 도 6 참조)의 이동량이 감소되도록 개구 가공 영역들(CA)의 가공 순서가 설정될 수 있다. 개구 가공 영역들(CA)의 가공 순서는 실질적으로 초기 개구 가공 영역의 가공 순서 설정 단계(S31, 도 2 참조)에서 설정된 가공 순서와 동일할 수 있다. 도 12a, 도 13a 및 도 14a에는 설명의 편의를 위해 개구 가공 영역들(CA) 중 일부 개구 가공 영역들의 가공 순서를 표시하였다.

도 12a, 도 13a 및 도 14a를 참조하면, 가장 좌측에 배치된 첫 번째 가공 그룹(G1)의 개구 가공 영역들부터 가장 우측에 배치된 다섯 번째 가공 그룹(G5)의 개구 가공 영역들까지 제2 방향(DR2)을 따라 배열된 순서대로 레이저광이 조사될 수 있다. 이로써 개구 가공 영역들(CA) 상에 레이저광을 조사하기 위해 위치를 정렬하는 과정에서 스테이지(ST, 도 6 참조)가 제2 방향(DR2)으로 이동하는 정도가 감소될 수 있고, 스테이지(ST, 도 6 참조) 이동에 따른 로드 시간이 단축될 수 있다. 이에 따라 마스크를 제조 하기 위한 가공 시간을 단축시킬 수 있다.

첫 번째 내지 다섯 번째 가공 그룹(G1~G5) 각각은 제1 방향(DR1)을 따라 배열된 제1 내지 제a 개구 가공 영역들을 포함할 수 있고, 예시적으로 도 12a, 도 13a 및 도 14a에는 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)을 도시하였다. 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)의 가공 순서는 다양하게 설정될 수 있고, 가공 순서에 따라 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 각각에 적용되는 누적 변형량의 산출 값도 달라질 수 있다. 도 12a, 도 13a 및 도 14a는 일 실시예의 가공 순서들을 예시적으로 도시하였다. 이하, 첫 번째 그룹(G1)의 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)을 중심으로 설명하도록 한다.

도 12a를 참조하면, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)은 제1 개구 가공 영역(C1)부터 제1 방향(DR1)을 따라 배열된 순서대로 가공될 수 있다. 즉, 일 실시예에서 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 제1 개구 가공 영역(C1)은 첫 번째로 가공될 수 있고, 제2 개구 가공 영역(C2)은 두 번째로 가공될 수 있으며, 제11 개구 가공 영역(C11)은 열한 번째로 가공될 수 있다.

도 12b는 도 12a의 실시예에서 제1 방향(DR1)에 나란하게 배치된 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 각각에 작용하는 누적 변형량들 및 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 각각의 중심점 위치의 보정 정도를 도시하였다. 도 12c는 도 12a의 실시예에서 제1 개구 가공 영역(C1) 및 이와 제2 방향(DR2)을 따라 나란하게 배치된 개구 가공 영역들(C12, C23, C34, C45) 각각에 작용하는 누적 변형량들 및 이들 각각의 중심점 위치의 보정 정도를 도시하였다.

도 12d는 도 12b 및 도 12c에서 산출된 누적 변형량을 기준으로 위치가 보정된 제1 개구 가공 영역(C1)의 확대 평면도를 도시하였으며, 도 12e는 도 12b 및 도 12c에서 산출된 누적 변형량을 기준으로 위치가 보정된 제11 개구 가공 영역(C11)의 확대 평면도를 도시하였다.

중심점의 위치가 보정된 개구 가공 영역들을 설정하기 위해, 마스크에 최종적으로 형성하고자 하는 초기 개구 가공 영역들(예를 들어, 도 12d의 제1 가상 개구부(P-CO1))을 설정할 수 있다. 개구 가공 영역들(CA)의 가공 순서를 기초로, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 내에서 제1 인장력(F1)을 받는 제1 변들(U1~U11) 및 제2 변들(D1~D11) 각각에 작용하는 누적 변형량들이 산출될 수 있다. 이와 마찬가지로, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 내에서 제2 인장력(F2)을 받는 제3 변들(L1~L11) 및 제4 변들(R1~R11) 각각에 작용하는 누적 변형량이 산출될 수 있다.

여기서, 제1 변들(U1~U11) 및 제2 변들(D1~D11) 각각은 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)을 정의하는 변들 중 제2 방향(DR2)을 따라 연장되며 제1 인장력(F1)을 받는 변들에 대응되고, 제3 변들(R1~R11) 및 제4 변들(L1~L11) 각각은 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)을 정의하는 변들 중 제1 방향(DR1)을 따라 연장되며 제2 인장력(F2)을 받는 변들에 대응될 수 있다.

도 12b의 K는 기 형성된 개구부가 제1 방향(DR1)에 나란하게 형성될 다른 개구부에 의해 받게 되는 변형량(K)을 의미한다. 도 12b의 변형량(K)은 하기의 식 1을 만족하는 전술한 제1 변형량(d1)에 대응될 수 있다. 하기의 식 1에 관한 설명은 전술한 설명이 동일하게 적용되며 이하 이에 관한 설명은 생략하도록 한다.

[식 1]

도 12b의 '±'부호는 변형량(K)의 작용 방향을 나타낼 수 있다. 도 12b에서 '+'는 제1 방향(DR1)에 나란한 상측 방향으로 작용하는 것을 나타내며, '-'는 제1 방향(DR1)에 나란한 하측 방향으로 작용하는 것을 나타낼 수 있다. 도 12b의 누적 변형량들은 실질적으로 변형량(K) 값에 비례한 것일 수 있다. 한편, 이에 관한 설명은 도 13b 및 도 14b에 도시된 변형량(K)에도 동일하게 적용될 수 있다.

도 12c의 K'는 기 형성된 개구부가 제2 방향(DR2)에 나란하게 형성될 다른 개구부에 의해 받게 되는 변형량(K')을 의미하고, 전술한 제2 변형량(d2)에 대응될 수 있다. 도 12c의 '±'부호는 변형량(K')의 작용 방향을 나타내고, '+'는 제2 방향(DR2)에 나란한 우측 방향으로 작용하는 것을 나타내며, '-'는 제2 방향(DR2)에 나란한 좌측 방향으로 작용하는 것을 나타낼 수 있다.

개구 가공 영역의 중심점의 위치는 개구 가공 영역에 대응하여 형성된 개구부가 다른 개구부들에 의해 받는 누적 변형량의 작용 방향과 대향되는 방향으로 보정될 수 있다. 개구 가공 영역의 위치의 보정 크기는 변들이 받는 누적 변형량의 평균 값에 대응될 수 있다. 개구 가공 영역의 위치의 보정 크기는 누적 변형량 산출 대상인 개구 가공 영역 이후에 형성되는 개구 가공 영역들의 수 및 형성 위치에 따라 달라질 수 있다. 이에 관하여는 도 12d 및 도 12e를 중심으로 자세히 설명하도록 한다.

도 12d를 참조하면, 인장 마스크 시트(P2-MS)에는 최종 형성할 제1 개구부와 면적 및 중심점이 일치하는 제1 가상 개구부(P-CO1)가 정의될 수 있다. 제1 개구 가공 영역(C1)은 도 8, 도 9a 및 도 9b를 참조하여 전술한 방법으로 면적의 크기가 보정된 영역일 수 있다. 따라서, 제1 개구 가공 영역(C1)의 면적은 제1 가상 개구부(P-CO1)의 면적 보다 작을 수 있다.

도 12b의 산출된 누적 변형량을 고려할 때, 제1 개구 가공 영역(C1)에 대응하여 형성되는 개구부는 제1 개구 가공 영역(C1) 이후 가공되는 제2 내지 제11 개구 가공 영역들(C2~C11)의 가공에 의해, 제1 누적 변형량(DEd1-1)을 받을 수 있다. 즉, 제1 개구 가공 영역(C1)에 대응하여 형성된 개구부는 제1 누적 변형량(DEd1-1)에 비례하여 위치가 변형될 수 있다.

제1 개구 가공 영역(C1)의 상측 방향을 따라 나란히 가공되는 제2 내지 제11 개구 가공 영역들(C2~C11) 각각이 가공되는 과정에서, 제1 개구 가공 영역(C1)에 대응하여 형성된 최초 개구부는 누적 변형량에 의해 하측 방향으로 이동될 수 있다. 제1 개구 가공 영역(C1)에 대응하여 형성된 최초 개구부에 작용하는 제1 누적 변형량(DEd1-1)은 제2 내지 제11 개구 가공 영역들(C2~C11)의 개수인 10에 비례할 수 있다.

따라서, 제1 개구 가공 영역(C1)의 중심점(CT-1)은 제1 방향(DR1)에서 제1 가상 개구부(P-CO1)의 중심점(P-CT-1)으로부터 제1 크기(f1)만큼 보정될 수 있다. 제1 개구 가공 영역(C1)의 중심점(CT-1)의 위치는 제1 누적 변형량(DEd1-1)의 작용 방향에 대향되는 상측 방향으로 보정될 수 있다. 여기서, 제1 크기(f1)는 도 12b에서 산출된 10K일 수 있다. 즉, 제1 개구 가공 영역(C1)의 중심점(CT-1)의 위치는 제1 가상 개구부(P-CO1)의 중심점(P-CT-1)으로부터 상측 방향으로 10K만큼 이동하여 보정될 수 있다.

도 12c의 산출된 누적 변형량을 고려할 때, 제1 개구 가공 영역(C1)에 대응하여 형성되는 개구부는 제1 개구 가공 영역(C1)의 가공 이후 제1 개구 가공 영역(C1)으로부터 제2 방향(DR2)에 나란하게 가공되는 제12, 23, 34, 및 45 개구 가공 영역들(C12, C23, C34, C45)의 가공에 의해 제2 누적 변형량(DEd2-1)을 받을 수 있다. 제1 개구 가공 영역(C1)에 대응하여 형성된 개구부는 제2 누적 변형량(DEd2-1)에 비례하여 위치가 변형될 수 있다.

제1 개구 가공 영역(C1)의 우측 방향을 따라 나란히 가공되는 제12, 23, 34, 및 45 개구 가공 영역들(C12, C23, C34, C45)이 각각 가공되는 과정에서,제1 개구 가공 영역(C1)에 대응하여 형성된 최초 개구부는 누적 변형량에 의해 좌측 방향으로 이동될 수 있다. 제1 개구 가공 영역(C1)에 대응하여 형성된 최초 개구부에 작용하는 제2 누적 변형량(DEd2-1)은 12, 23, 34, 및 45 개구 가공 영역들(C12, C23, C34, C45)의 개수인 4에 비례할 수 있다.

따라서, 제1 개구 가공 영역(C1)의 중심점(CT-1)은 제2 방향에서 제1 가상 개구부(P-CO1)의 중심점(P-CT-1)으로부터 제2 크기(f2)만큼 보정될 수 있다. 제1 개구 가공 영역(C1)의 중심점(CT-1)의 위치는 제2 누적 변형량(DEd2-1)의 작용 방향에 대향되는 우측 방향으로 보정될 수 있다. 여기서, 제2 크기(f2)는 도 12c에서 산출된 4K'일 수 있다. 즉, 제1 개구 가공 영역(C1)의 중심점(CT-1)의 위치는 제1 가상 개구부(P-CO1)의 중심점(P-CT-1)으로부터 우측 방향으로 4K' 만큼 이동하여 보정될 수 있다.

도 12e를 참조하면, 인장 마스크 시트(P2-MS)에 제11 가상 개구부(P-CO11)가 정의될 수 있고, 제11 개구 가공 영역(C11)은 전술한 방법을 이용하여 면적의 크기가 보정된 영역일 수 있다.

첫 번째 가공 그룹(G1)의 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 각각에는 첫 번째 가공 그룹(G1) 이후에 가공되는 두 번째 내지 다섯 번째 가공 그룹(G2~G5)에 의해 제2 방향(DR2)에 나란한 방향으로 도 12c의 산출된 누적 변형량이 적용될 수 있다. 따라서, 제11 개구 가공 영역(C11)의 산출된 누적 변형량은 제1 개구 가공 영역(C1)과 동일한 제2 누적 변형량(DEd2-1)에 대응될 수 있고, 이에 따라 제11 개구 가공 영역(C11)의 중심점(CT-11)은 우측 방향으로 제2 크기(f2)만큼 보정될 수 있다.

도 12a에 도시된 실시예에서, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 제11 개구 가공 영역(C1)은 가장 마지막에 가공되므로 제1 내지 제10 개구 가공 영역들(C1~C10) 가공에 의해 변형되지 않을 수 있다. 따라서, 제1 방향(DR1)에 나란히 작용하는 제11 개구 가공 영역(C1)의 누적 변형량은 0에 대응될 수 있다. 즉, 제11 개구 가공 영역(C11)의 중심점(CT-11)의 위치는 제11 가상 개구부(P-CO11)의 중심점(P-CT-11)의 위치와 제1 방향(DR1)에서 차이가 없을 수 있다.

제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)의 가공 순서는 상이하므로, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 각각에 적용되는 누적 변형량의 크기는 상이할 수 있다. 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)이 제1 방향(DR1)을 따라 배열된 순서대로 가공되는 실시예에서 가장 먼저 가공되는 제1 개구 가공 영역(C1)의 누적 변형량이 가장 클 수 있고, 가장 나중에 가공되는 제11 개구 가공 영역(C11)의 누적 변형량이 가장 작을 수 있다. 따라서, 산출된 누적 변형량들에 기초하여 보정된 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)의 중심점의 위치들은 보정된 정도가 서로 상이할 수 있다.

도 13a를 참조하면, 일 실시예에서 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)은 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 제1 방향(DR1)에서 인장 마스크 시트(P2-MS)의 외측에 인접하게 배치된 순서대로 가공 될 수 있다. 제1 방향(DR1)에서 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 중심에 배치된 개구 가공 영역을 중심 개구 가공 영역으로 정의할 수 있고, 도 13a에 도시된 실시예에서 중심 개구 가공 영역은 제6 개구 가공 영역(C6)일 수 있다.

일 실시예에서, 개구 가공 영역들의 가공 순서는 중심 개구 가공 영역으로부터 멀리 이격되어 배치된 순서대로 가공되는 것일 수 있다. 예를 들어, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 제1 개구 가공 영역(C1) 및 제11 개구 가공 영역(C11)은 제6 개구 가공 영역(C6)으로부터 가장 이격되어 배치된 것일 수 있고, 제1 개구 가공 영역(C1) 또는 제11 개구 가공 영역(C11)이 첫 번째로 가공될 수 있다. 도 13a는 제1 개구 가공 영역(C1)이 첫 번째로 가공되는 실시예를 도시하였다.

이 후, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 제1 개구 가공 영역(C1)을 제외하고 제6 개구 가공 영역(C6)으로부터 가장 멀리 이격되어 배치된 제11 개구 가공 영역(C11)이 두 번째로 가공될 수 있다. 이 후, 제1 및 제11 개구 가공 영역들(C1, C11)을 제외한 제2 내지 제10 개구 가공 영역들(C2~C10) 중 제2 개구 가공 영역(C2)과 제10 개구 가공 영역(C10)이 제6 개구 가공 영역(C6)으로부터 멀리 이격되어 배치된 개구 가공 영역에 해당될 수 있고, 이에 따라, 제2 개구 가공 영역(C2) 또는 제10 개구 가공 영역(C10)이 세 번째로 가공될 수 있다. 중심 개구 가공 영역에 대응하는 제6 개구 가공 영역(C6)은 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 가장 마지막에 가공될 수 있다.

한편, 도 13a는 하나의 중심 개구 가공 영역을 갖는 실시예를 도시하였으나, 개구 가공 영역이 짝수 개로 제공될 수 있고, 이 경우 중심 개구 가공 영역은 두 개의 개구 가공 영역들에 대응될 수 있다. 이 때, 두 개의 중심 개구 가공 영역들 중 하나의 중심 개구 가공 영역이 가장 마지막에 가공 될 수 있다.

도 13b는 도 13a의 실시예에서 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)각각에 작용하는 누적 변형량들 및 중심점 위치의 보정 정도를 도시하였다. 도 13b에 표시된 누적 변형량들은 도 12b를 참조하여 설명한 누적 변형량 산출 방법과 동일한 방법으로 산출될 수 있다. 도 13c는 도 13b의 누적 변형량을 기초로 위치가 보정된 제11 개구 가공 영역(C11)의 확대 평면도를 도시하였다.

도 13c를 참조하면, 인장 마스크 시트(P2-MS)에는 제11 가상 개구부(P-CO11)가 정의될 수 있고, 이는 도 12e의 제11 가상 개구부(P-CO11)와 실질적으로 동일할 수 있다. 제11 개구 가공 영역(C11)은 전술한 방법과 동일한 방법으로 면적의 크기가 보정된 영역일 수 있다.

도 13a의 실시예에서 제2 방향(DR2)에 나란하게 제11 개구 가공 영역(C11)에 작용하는 누적 변형량은 도 12e의 제11 개구 가공 영역(C11)의 제2 누적 변형량(DEd2-1)과 실질적으로 동일할 수 있다. 따라서, 제11 개구 가공 영역(C11)의 중심점(CT-11)은 우측 방향으로 제2 크기(f2)만큼 보정될 수 있고, 제2 크기(f2)는 4K'에 대응될 수 있다.

도 12a의 실시예와 다르게, 도 13a의 실시예에서 제11 개구 가공 영역(C11)은 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 두 번째 가공되는 영역일 수 있다. 따라서, 제11 개구 가공 영역(C11)에 대응하여 형성되는 최초 개구부는 제11 개구 가공 영역(C11) 이후에 가공되는 제2 내지 제10 개구 가공 영역들(C2~C10)의 가공에 의해 제3 누적 변형량(DEd1-11)만큼 위치가 이동될 수 있다.

제2 내지 제10 개구 가공 영역들(C2~C10)은 제11 개구 가공 영역(C11)에 대응하는 최초 개구부가 형성된 이 후, 제11 개구 가공 영역(C11)에 대응하는 최초 개구부로부터 하측 방향에 나란하게 가공될 수 있다. 이에 따라, 제2 내지 제10 개구 가공 영역들(C2~C10)의 가공 과정에서, 제11 개구 가공 영역(C11)에 대응하여 형성된 최초 개구부는 상측 방향으로 이동될 수 있다. 제3 누적 변형량(DEd1-11)은 제2 내지 제10 개구 가공 영역들(C2~C10)의 개수인 9에 비례할 수 있다.

따라서, 제11 개구 가공 영역(C11)의 중심점(CT-11)은 제1 방향(DR1)에서 제11 가상 개구부(P-CO11)의 중심점(P-CT-11)으로부터 제1 크기(f1)만큼 보정될 수 있고, 제1 크기(f1)는 도 13b에서 산출된 9K에 대응될 수 있다. 즉, 제11 개구 가공 영역(C11)의 중심점(CT-11)의 위치는 제11 가상 개구부(P-CO11)의 중심점(P-CT-11)으로부터 제3 누적 변형량(DEd1-11)의 작용 방향에 대향되는 하측 방향으로 9K만큼 이동하여 보정될 수 있다.

최종적으로 마스크의 동일한 위치에 개구부를 형성하기 위해 설정되는 개구 가공 영역 일지라도 개구 가공 영역의 중심점의 보정 위치는 가공 순서에 따라 상이할 수 있다. 도 12e 및 도 13c를 참조하여 설명한 것처럼, 가상 제11 개구부(P-CO11)의 위치에 개구부를 형성하기 위해 설정되는 제11 개구 가공 영역(C11)이라도 제11 개구 가공 영역(C11)의 가공 순서에 따라 중심점이 보정되는 정도에 차이가 있다. 개구 가공 영역들 각각의 누적 변형량은 해당 개구 가공 영역 이후 형성되는 개구 가공 영역들의 개수 및 상대적인 위치에 따라 달라질 수 있고, 누적 변형량에 의해 보정되는 위치 및 크기도 달라질 수 있다.

도 14a를 참조하면, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)은 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 제1 방향(DR1)에서 인장 마스크 시트(P2-MS)의 중심에 인접하게 배치된 순서대로 가공될 수 있다. 일 실시예에서, 개구 가공 영역들의 가공 순서는 중심 개구 가공 영역을 먼저 가공한 후, 중심 개구 가공 영역으로부터 인접하게 배치된 순서대로 가공되는 것일 수 있다.

도 14a에 도시된 일 실시예에서 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 중심 개구 가공 영역에 대응되는 제6 개구 가공 영역(C6)이 가장 먼저 가공될 수 있다. 이 후, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 제6 개구 가공 영역(C6)에 가장 인접하게 배치된 제5 개구 가공 영역(C5) 또는 제7 개구 가공 영역(C7)이 가공될 수 있다. 도 14a는 제5 개구 가공 영역(C5)이 두 번째로 가공되는 실시예를 도시하였다.

이 후, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 제5 개구 가공 영역(C5)을 제외하고 제6 개구 가공 영역(C6)에 가장 인접하여 배치된 제7 개구 가공 영역(C7)을 가공할 수 있다. 이 후, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 제5 및 제7 개구 가공 영역들(C5, C7)을 제외하고, 제6 개구 가공 영역(C6)에 가장 인접하여 배치된 제4 개구 가공 영역(C4) 또는 제8 개구 가공 영역(C8)을 가공할 수 있다. 이러한 방식으로 평면 상에서 중심 개구 가공 영역을 사이에 두고, 중심 개구 가공 영역에 가까운 순서대로 위, 아래 번갈아 가며 개구 가공 영역들이 가공되도록 가공 순서를 설정할 수 있다. 따라서, 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 중 제6 개구 가공 영역(C6)으로부터 가장 멀리 이격되어 배치된 제1 개구 가공 영역(C1) 또는 제11 개구 가공 영역(C11)이 마지막에 가공되는 것일 수 있다. 도 14a는 제11 개구 가공 영역(C11)이 열한 번째로 가공되는 실시예를 도시하였다.

도 14b는 도 14a의 실시예에서 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)각각에 작용하는 누적 변형량들 및 중심점 위치의 보정 정도를 도시하였다. 도 14b에 표시된 누적 변형량들은 도 12b를 참조하여 설명한 누적 변형량 산출 방법과 동일한 방법으로 산출될 수 있다.

도 14b를 참조하면, 도 14a의 가공 순서를 기준으로 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11) 각각에 적용되는 누적 변형량들의 크기는 도 12a 또는 도 13a에 도시된 다른 실시예들 대비 작을 수 있다. 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)에 적용되는 누적 변형량의 크기가 작음에 따라 제1 내지 제11 개구 가공 영역들(C1~C11)의 중심점의 위치가 보정되는 정도도 작을 수 있다.

도 15a 및 도 15b는 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계에 대응하는 평면도들이다.

도 15a를 참조하면, 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법은 예비 마스크 시트(P1-MSa)를 인장하는 단계(S10, 도 2 참조) 전에 예비 마스크 시트(P1-MSa)에 복수의 가 개구부들(PO)을 형성하는 단계를 추가적으로 더 포함할 수 있다. 가 개구부들(PO) 각각은 에칭을 통해 예비 마스크 시트(P1-MSa)를 관통하여 형성될 수 있다.

가 개구부들(PO)은 예비 마스크 시트(P1-MSa)를 인장하기 전, 마스크(MS, 도 7 참조)에 최종적으로 형성할 개구부들(CO, 도 7 참조)에 대응되도록 형성하는 것일 수 있다. 예비 마스크 시트(P1-MSa)를 인장하기 전 가 개구부들(PO)을 형성함으로써, 예비 마스크 시트(P1-MSa) 인장 및 개구부들(CO, 도 7 참조) 형성 과정에서 인장력에 의해 마스크가 변형되는 정도를 저감 시킬 수 있다.

가 개구부들(PO)의 배열 형태, 형상, 및 개수는 마스크(MS, 도 7 참조)에 최종적으로 형성될 개구부들(CO, 도 7 참조)의 배열 형태, 형성 및 개수에 대응할 수 있다. 일 실시예에서 가 개구부들(PO)은 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 배열될 수 있다. 예를 들어, 가 개구부들(PO)은 복수의 가 개구 그룹들(PG1~PG5: PG1, PG2, ..., PG4, PG5)을 포함할 수 있고, 복수의 가 개구 그룹들(PG1~PG5) 각각은 제1 내지 제11 가 개구부들(P1~P11: P1, P2, ..., P10, P11)을 포함할 수 있다. 제1 내지 제11 가 개구부들(P1~P11)은 마스크(MS, 도 7 참조)에 최종적으로 형성할 제1 내지 제11 개구부들(CO1~CO11, 도 7 참조)의 개수 및 배열에 대응되도록 예비 마스크 시트(P1-MSa)에 형성될 수 있다.

가 개구부들(PO)의 형상은 최종적으로 형성할 개구부들(CO, 도 7 참조)의 형상에 대응할 수 있다. 예를 들어, 가 개구부들(PO) 각각은 평면 상에서 사각형의 형상을 가질 수 있다. 가 개구부들(PO)은 형성하고자 하는 개구부들(CO, 도 7 참조)의 형상이나 위치에 영향을 미치지 않을 정도로 작게 형성되는 것일 수 있다.

가 개구부들(PO)을 예비 마스크 시트(P1-MSa)에 형성한 후, 예비 마스크 시트(P1-MSa)에 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)을 따라 인장력들(F1, F2)을 가할 수 있다. 도 15b는 가 개구부들(PO)이 형성된 예비 마스크 시트(P1-MSa)를 인장한 후인 인장 마스크 시트(P2-MSa)의 평면도를 도시하였다.

도 15b를 참조하면, 인장력들(F1, F2)에 의해 인장 마스크 시트(P2-MSa)의 평면적은 예비 마스크 시트(P1-MSa)의 평면적보다 클 수 있다. 인장력들(F1, F2)에 의해 예비 마스크 시트(P1-MSa)에 형성된 가 개구부들(PO) 각각의 면적 또한 확대될 수 있다.

예비 마스크 시트(P1-MSa) 인장 단계(S10, 도 2 참조) 후, 전술한 것과 동일한 단계들을 통해 개구 가공 영역들(CA)을 인장 마스크 시트(P2-MSa)에 설정할 수 있다. 개구 가공 영역들(CA)은 각각 가 개구부들(PO)에 대응하도록 설정될 수 있다.

확대된 가 개구부들(PO)은 최종적으로 형성될 개구부들(CO, 도 7 참조)에 영향을 미치지 않을 정도로 작은 면적을 가질 수 있고, 개구 가공 영역들(CA)은 각각 가 개구부들(PO)을 둘러싸도록 설정될 수 있다. 개구 가공 영역들(CA) 중 적어도 일부는 대응하는 가 개구부(PO)와 중심점이 일치할 수 있고, 다른 일부는 가 개구부(PO)와 중심점이 상이할 수 있으며 실시예는 어느 하나에 한정되지 않는다.

도 16a 내지 도 16d는 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 단면도들이다. 도 16a 및 도 16b는 하나의 개구부(CO)를 형성하는 단계에 대응하는 단면을 도시한 것이다. 도 16c 및 도 16d는 하나의 개구부(CO)를 형성한 후, 개구부(CO) 주위에 하프 에칭부(HFP)를 형성하는 추가적인 단계에 대응하는 단면을 도시한 것이다.

도 16a를 참조하면, 개구부(CO, 도 16b 참조) 형성 단계(S30, 도 2 참조)에서, 인장 마스크 시트(P2-MS)의 제2 면(DS) 상에 광 제공 유닛(LU)을 제공한 후, 제1 레이저광(LSL1)을 조사할 수 있다. 제1 레이저광(LSL1)은 제2 면(DS) 상에 설정된 개구 가공 영역(CA) 상에 조사될 수 있다. 제1 레이저광(LSL1)은 제1 방향(DR) 및 제2 방향(DR2)으로 이동하면서 개구 가공 영역(CA)으로 설정된 영역 전체에 제공될 수 있다.

인장 마스크 시트(P2-MS)에 작용하는 인장력을 기초로 면적이 보정된 개구 가공 영역(CA)은 최종적으로 형성될 개구부에 대응되는 가상 개구부(P-CO)보다 면적이 작을 수 있다.

개구 가공 영역(CA) 내에 제1 레이저광(LSL1)이 조사되는 과정에서, 가공 중인 개구 가공 영역(CA)의 내측은 전술한 것처럼 인장 마스크 시트(P2-MS)에 작용하는 인장력에 의해 확장되도록 변형될 수 있다. 도 16a는 설명의 편의를 위해 변형되는 정도에 대응하는 변형 면적(DE)을 도시하였다. 변형 면적(DE)의 크기가 보정된 개구 가공 영역(CA)을 이용하여 개구부(CO, 도 16b 참조)를 형성함에 따라, 최종적으로 개구부(CO. 도 16b 참조)의 크기는 설계된 크기를 갖도록 형성될 수 있다.

도 16a 및 도 16b를 참조하면, 개구부(CO)의 폭은 제2 면(DS)에서 제1 면(US) 방향으로 갈수록 감소될 수 있다. 개구부(CO)를 정의하는 개구 측면(CS)은 제1 면(US)에 대해 경사질 수 있다. 예를 들어, 제1 면(US)에 대한 개구 측면(CS)의 경사각(θ1)은 30도 이상 70도 이하일 수 있고, 구체적으로, 경사각(θ1)은 30도 내지 50도일 수 있다. 개구 측면(CS)의 경사각(θ1)이 30도 이상 70도 이하의 값을 갖도록 개구부(CO)를 형성함으로써, 마스크(MS) 크기에 대한 증착 영역의 면적의 비율을 증가시키고, 증착 영역에서의 섀도우 영역의 형성을 최소화할 수 있다.

일 실시예의 마스크(MS)는 레이저광을 이용하여 개구부(CO)를 형성함에 따라, 개구부(CO)를 정의하는 개구 측면(CS)에 레이저광에 의한 가공 흔적이 나타날 수 있다. 예를 들어, 레이저광에 의한 가공 흔적은 개구 측면(CS)에서 물결 무늬 형태 등으로 나타날 수 있다. 그러나, 레이저광에 의한 가공 흔적은 이에 한정되지 않으며, Ÿ‡ 에칭(wet-etching)을 통해 개구부를 가공하는 경우와 비교하여 레이저광의 흔적이 구분되어 관찰될 수 있다. 또한, 마스크(MS)의 개구 측면(CS)에는 산화물층이 형성될 수 있다. 즉, 개구 측면(CS)에는 마스크(MS)를 구성하는 금속 물질의 산화물층이 형성될 수 있다.

도 16c를 참조하면, 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법은 마스크(MS)에 후술할 함몰부(HFP, 도 16d 참조)를 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. 마스크(MS)에 함몰부(HFP, 도 16d 참조)를 형성하기 위해, 제1 면(US) 상에 예비 함몰 영역(P-HFP)을 설정할 수 있다.

예비 함몰 영역(P-HFP)은 제1 면(US) 상에서 개구부(CO)의 경계에 인접하게 정의될 수 있다. 예비 함몰 영역(P-HFP)은 제1 면(US) 상에서 개구부(CO)를 둘러쌀 수 있다. 예비 함몰 영역(P-HFP)은 개구부(CO)와 일체의 개구 공간이 형성되도록 설정될 수 있다.

함몰부(HFP, 도 16d 참조)를 형성하기 위해, 개구부(CO)가 형성된 마스크(MS)의 제1 면(US) 상에 광 제공 유닛(LU)을 제공할 수 있다. 광 제공 유닛(LU)은 예비 함몰 영역(P-HFP) 내에 제2 레이저광(LSL2)을 조사할 수 있다. 제2 레이저광(LSL2)는 예비 함몰 영역(P-HFP)으로 설정된 영역 내측 전체에 조사될 수 있다.

제2 레이저광(LSL2)은 예비 함몰 영역(P-HFP)을 하프 에칭(Half-etching)시킬 수 있다. 이에 따라, 마스크(MS)에 형성되는 함몰부(HFP, 도 16d 참조)는 제3 방향(DR3)에서 마스크(MS)의 제1 면(US) 및 제2 면(DS)을 관통하지 않을 수 있고, 제1 면(US)의 일 부분이 제2 면(DS)을 향해 함몰되도록 형성될 수 있다. 예비 함몰 영역(P-HFP)으로 정의된 부분의 두께는 마스크(MS)의 두께 보다 작을 수 있다.

일 실시예에서 제1 레이저광(LSL1)과 제2 레이저광(LSL2)은 동일한 종류의 레이저광 일 수 있다. 예를 들어, 제1 레이저광(LSL1)과 제2 레이저광(LSL2)은 펄스폭이 동일한 펄스 레이저일 수 있다. 그러나, 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제1 레이저광(LSL1)과 제2 레이저광(LSL2)의 세기는 서로 상이할 수 있다. 예를 들어, 마스크를 관통하는 개구부(CO)를 형성하기 위해 조사되는 제1 레이저광(LSL1)의 세기가 마스크의 일 부분이 함몰되는 함몰부(HFP)를 형성하기 위해 조사되는 제2 레이저광(LSL2)의 세기 보다 클 수 있다. 그러나, 제1 레이저광(LSL1) 및 제2 레이저광(LSL2)의 세기는 이에 한정되지 않고, 개구부(CO) 및 함몰부(HFP) 형성 조건에 따라 변경될 수 있다.

도 16d는 도 16c에 도시된 단계 이후, 개구부(CO)에 인접하는 함몰부(HFP)가 형성된 마스크(MS)의 단면을 예시적으로 도시하였다.

도 16d를 참조하면, 함몰부(HFP)는 개구부(CO)의 형성 위치에 대응하여 형성될 수 있다. 개구부(CO)는 마스크(MS)의 제1 면(US) 및 제2 면(DS)을 관통하여 형성될 수 있고, 함몰부(HFP)는 개구부(CO) 주변에서 제1 면(US)의 일 부분이 제2 면(DS)을 향해 함몰되어 형성될 수 있다. 따라서, 개구부(CO)의 두께는 마스크(MS)의 두께와 실질적으로 동일할 수 있고, 함몰부(HFP)의 두께는 마스크(MS)의 두께보다 작을 수 있다.

개구부(CO)와 함몰부(HFP)는 연결되어 일체의 개구 공간을 형성할 수 있다. 개구부(CO)와 함몰부(HFP)가 연결된 일 체의 개구 공간은 셀 개구부(OPC)로 정의될 수 있다.

함몰부(HFP)에 의해 마스크(MS)의 제1 면(US) 상에서 셀 개구부(OPC)의 폭은 재2 면(DS) 상에서 셀 개구부(OPC)의 폭 보다 클 수 있다.. 그러나, 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 함몰부(HFP)에 의해 정의되는 제1 면(US) 상에서 셀 개구부(OPC)의 폭과 개구부(CO)에 의해 정의되는 제2 면(DS) 상에서 셀 개구부(OPC)의 폭은 실질적으로 동일할 수 있다.

한편, 개구부(CO) 및 함몰부(HFP) 형성 단계가 도 16a 내지 도 16c에 도시된 공정 단계들로 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 본 발명에 따른 일 실시예에서 함몰부(HFP)는 개구부(PO) 형성 단계(S30, 도 2 참조) 이전에 형성될 수 있다. 이에 관하여는 이후, 도 17a 내지 도 17c 및 도 18a 내지 도 18c를 참조하여 보다 자세히 설명하도록 한다.

도 17a 내지 도 17c는 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 단면도들이다. 도 17a 내지 도 17c는 마스크(MS)에 하나의 셀 개구부(OPC, 도 16d 참조)를 형성하는 일 단계들을 순차적으로 도시하였다.

도 17a를 참조하면, 개구부 형성 단계(S30, 도 2 참조) 전, 예비 마스크 시트(P1-MSa) 내에 가 개구부(PO)를 형성할 수 있다. 여기서 예비 마스크 시트(P1-MSa)는 인장되지 않은 마스크 시트에 대응될 수 있다. 가 개구부(PO)에 관한 설명은 도 15a를 참조하여 설명한 가 개구부(PO)에 관한 설명이 동일하게 적용될 수 있다.

도 17a를 참조하면, 가 개구부(PO)의 폭은 제2 면(DS)으로부터 제1 면(US)을 향하는 방향을 따라 감소될 수 있다. 그러나, 이는 가 개구부(PO)의 단면의 형상을 예시적으로 도시한 것이며, 가 개구부(PO)의 단면의 형상은 가 개구부(PO)를 형성하는 공정 조건에 따라 다양하게 변형될 수 있다.

도 17a는 도 16a의 개구 가공 영역(CA)에 대응될 수 있는 예비 개구 가공 영역(P-CA)을 도시하였다. 예비 개구 가공 영역(P-CA)은 인장되기 전의 예비 마스크 시트(P1-MSa) 내에 설정된 개구 가공 영역일 수 있다. 예비 마스크 시트(P1-MSa)된 후, 인장된 예비 개구 가공 영역(P-CA)은 개구 가공 영역(CA)에 대응될 수 있다.

도 17a를 참조하면, 가 개구부(PO)의 면적은 예비 개구 가공 영역(P-CA)의 면적 보다 작을 수 있다. 즉, 가 개구부(PO)는 예비 개구 가공 영역(P-CA)에 대응하여 형성될 개구부(CO, 도 16d 참조)의 면적에 영향을 미치지 않을 정도로 작게 형성된 것일 수 있다.

일 실시예에서 가 개구부(PO)는 레이저를 이용한 에칭을 통해 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 가 개구부(PO)는 예비 마스크 시트(P1-MSa)를 Ÿ‡ 에칭하여 형성될 수 있다.

가 개구부(PO)가 형성된 예비 마스크 시트(P1-MSa)의 제1 면(US) 상에 예비 함몰 영역(P-HFP)을 설정할 수 있다. 즉, 일 실시예에서 함몰부(HFP, 도 17b 참조)는 마스크 시트를 인장하기 전에 가 개구부(PO)가 형성된 예비 마스크 시트(P1-MSa)에 형성되는 것일 수 있다.

예비 함몰 영역(P-HFP)은 가 개구부(PO) 주변에 설정될 수 있다. 이에 따라, 예비 함몰 영역(P-HFP)은 예비 마스크 시트(P1-MSa)의 제1 면(US) 상에서 가 개구부(PO)를 둘러쌀 수 있다. 예비 함몰 영역(P-HFP)은 예비 마스크 시트(P1-MSa)의 제1 면(US) 상에서 예비 개구 가공 영역(P-CA)보다 더 큰 평면적을 갖도록 설정될 수 있다 그러나, 이에 한정되지 않고, 예비 함몰 영역(P-HFP)은 예비 개구 가공 영역(P-CA)과 실질적으로 동일한 평면적을 갖도록 설정될 수도 있다.

함몰부(HFP, 도 17b 참조)를 형성하기 위해, 예비 마스크 시트(P1-MSa)의 제1 면(US) 상에 광 제공 유닛(LU)을 제공할 수 있다. 광 제공 유닛(LU)은 예비 함몰 영역(P-HFP) 내에 레이저광(LSL0)을 조사할 수 있다. 상기 레이저광(LSL0)에 관해서는 전술한 제2 레이저광(LSL2)의 설명이 동일하게 적용될 수 있다.

한편, 도 17a는 레이저를 이용하여 함몰부(HFP)를 형성하는 단계를 예시적으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 함몰부(HFP)는 Ÿ‡ 에칭을 통해 형성될 수도 있다. 또한, 도 17a는 예비 마스크 시트(P1-MSa)에 가 개구부(PO)와 함몰부(HFP)가 순차적으로 형성되는 단계를 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 가 개구부(PO)와 함몰부(HFP)는 레이저광 또는 Ÿ‡ 에칭을 이용해 동시에 형성될 수도 있다.

도 17b는 가 개구부(PO) 및 함몰부(HFP)가 형성된 예비 마스크 시트(P1-MSa)의 단면을 도시하였다. 도 17b의 예비 마스크 시트(P1-MSa)는 도 17a의 예비 함몰 영역(P-HFP)에 레이저광(LSL0)을 조사한 후 예비 마스크 시트(P1-MSa)를 뒤집은 상태에 대응될 수 있다.

도 17b를 참조하면, 함몰부(HFP)는 가 개구부(PO) 형성 위치에 대응하여 형성될 수 있다. 가 개구부(PO)는 예비 마스크 시트(P1-MSa)의 제1 면(US) 및 제2 면(DS)을 관통하여 형성될 수 있고, 함몰부(HFP)는 예비 마스크 시트(P1-MSa)의 제1 면(US)의 일 부분이 제2 면(DS)을 향해 함몰되어 형성될 수 있다. 가 개구부(PO)와 함몰부(HFP)는 연결되어 일체의 개구 공간을 형성할 수 있다.

가 개구부(PO) 및 함몰부(HFP)를 형성한 후, 예비 마스크 시트(P1-MSa)는 마스크 프레임(FR, 도 15b 참조) 상에 결합되도록 인장력(F1)에 의해 인장 될 수 있다. 마스크 시트의 인장에 의해, 가 개구부(PO) 및 함몰부(HFP)의 각각의 평면적은 증가될 수 있다.

도 17c는 인장된 마스크 시트(P2-MSa)에 개구부를 형성하기 위한 일 단계를 도시하였다. 도 17c를 참조하면, 인장 마스크 시트(P2-MSa)에 개구부를 형성하기 위해, 제2 면(DS) 상에 광 제공 유닛(LU)을 제공하여 제1 레이저광(LSL1)을 조사할 수 있다. 가 개구부(PO) 및 함몰부(HFP)가 기 형성된 인장 마스크 시트(P2-MSa)에 개구부를 형성한다는 것 외에는 도 16a 도시된 개구부 형성 단계와 실질적으로 동일할 수 있다. 개구부 형성 과정에 대한 설명은 전술한 설명이 동일하게 적용될 수 있다. 도 17c에 도시된 일 단계가 완료되면, 도 16d에 도시된 것처럼, 마스크(MS) 내에 개구부(CO) 및 함몰부(HFP)가 형성될 수 있다.

도 18a 내지 도 18c는 일 실시예에 따른 마스크 조립체 제조 방법의 일 단계를 도시한 단면도들이다. 도 18a 내지 도 18c는 마스크(MS)에 하나의 셀 개구부(OPC, 도 16d 참조)를 형성하는 일 단계들을 순차적으로 도시하였다.

도 18a를 참조하면, 가 개구부(PO, 도 17a 참조)가 형성되지 않은 예비 마스크 시트(P1-MSa)에 예비 함몰 영역(P-HFP)을 설정할 수 있다. 즉, 가 개구부(PO, 도 17a 참조)를 형성하는 공정을 생략하고 예비 마스크 시트(P1-MSa)에 함몰부(HFP, 도 18b)를 형성할 수 있다. 예비 함몰 영역(P-HFP)은 개구부가 형성될 예비 개구 가공 영역(P-CA)에 대응하여 설정될 수 있다.

한편, 도 18a는 레이저광을 이용하여 함몰부(HFP, 도 18b 참조)를 형성하는 단계를 예시적으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않고, 함몰부(HFP, 도 18b 참조)는 Ÿ‡ 에칭에 의해 형성될 수도 있다.

도 18b를 참조하면, 함몰부(HFP)가 형성된 예비 마스크 시트(P1-MSa)는 마스크 프레임(FR, 도 15b 참조) 상에 결합될 수 있도록 인장력(F1)에 의해 인장 될 수 있다. 마스크 시트의 인장에 의해, 함몰부(HFP)의 평면적은 증가될 수 있다.

도 18c는 인장된 마스크 시트(P2-MSa)에 개구부를 형성하기 위한 일 단계를 도시하였다. 도 18c를 참조하면, 함몰부(HFP)가 형성된 인장 마스크 시트(P2-MSa)에 개구부를 형성하기 위해, 제2 면(DS) 상에 광 제공 유닛(LU)을 제공하여 제1 레이저광(LSL1)을 조사할 수 있다. 함몰부(HFP)가 먼저 형성된 인장 마스크 시트(P2-MSa)에 개구부를 형성한다는 것 외에는 도 16a 도시된 개구부 형성 단계와 실질적으로 동일할 수 있다. 도 18c에 도시된 일 단계가 완료되면, 도 16d에 도시된 것처럼, 마스크(MS) 내에 개구부(CO) 및 함몰부(HFP)가 형성될 수 있다.

도 19a는 일 실시예의 마스크 조립체 제조 방법을 이용하여 제조된 마스크 조립체를 이용한 증착 공정을 도시한 단면도이다. 도 19b는 도 19a의 일 영역(CC)을 확대 도시한 단면도이다. 도 19a는 개구부(CO) 및 함몰부(HFP)가 형성된 마스크(MS)를 포함하는 마스크 조립체(MK)를 이용한 증착 공정을 간략히 도시하였다.

도 19a 및 도 19b를 참조하면, 셀 개구부(OPC)가 형성된 마스크(MS)는 제2 면(DS)이 마스크 프레임(FR)의 상면(FR-U)과 마주하도록 결합될 수 있다. 마스크(MS)는 마스크 프레임(FR)과 결합되는 부분에서 결합부(WP)를 포함할 수 있다. 결합부(WP)는 도 4에 도시된 용접부(AD)를 이용한 결합 단계(S20, 도 2 참조)에서, 마스크(MS)와 마스크 프레임(FR)이 접촉하는 부분 내에 형성될 수 있다. 결합부(WP)는 금속 산화물을 포함할 수 있다.

마스크(MS)는 복수의 개구부들(CO) 및 복수의 함몰부들(HFP)을 포함할 수 있다. 형성될 수 있다. 함몰부들(HFP)은 각각 개구부들(CO)에 대응하여 형성되며 연결될 수 있고, 함몰부들(HFP) 및 개구부들(CO)은 각각 복수의 셀 개구부들(OPC)로 제공될 수 있다. 개구부들(CO) 및 함몰부들(HFP)에 관한 설명은 전술한 설명이 동일하게 적용될 수 있다.

전술한 기능층 형성을 위해, 대상 기판(P-SUB) 상에 마스크 조립체(MK)를 제공한 후, 증착 물질(DM)을 증착할 수 있다. 즉, 대상 기판(P-SUB)은 마스크 조립체(MK)의 마스크(MS) 상에 배치될 수 있다. 대상 기판(P-SUB)의 피증착면은 마스크(MS)의 제1 면(US)과 마주하도록 제공될 수 있다. 대상 기판(P-SUB)은 증착이 필요한 영역들이 마스크(MS)의 셀 개구부들(OPC)에 중첩하도록 정렬되어 배치될 수 있다.

증착원은 마스크 조립체(MK)의 하부에 배치될 수 있다. 증착원에 의해 증발된 증착 물질(DM)은 마스크(MS)의 제2 면(DS)을 향해 증발되어, 마스크 프레임(FR)의 프레임 개구부(OP) 및 마스크(MS)의 셀 개구부(OPC)를 통과하여 대상 기판(P-SUB)의 피증착면에 증착 될 수 있다.

증착 물질(DM)이 대상 기판(P-SUB)의 상에 증착되어 증착 패턴(DPA)으로 형성될 수 있다. 증착 패턴(DPA)의 형상 및 증착 위치는 셀 개구부들(OPC)의 형상 및 증착 위치에 대응할 수 있다.

본 발명 일 실시예의 마스크 조립체(MK)는 표시 패널(DP, 도 1b 참조)에 포함된 기능층의 증착에 사용될 수 있다. 일 실시예에서 증착 패턴(DPA)은 전술한 바와 같이, 표시 패널(DP, 도 1b 참조)에 포함되며 공통층으로 제공되는 기능층에 대응될 수 있다. 예를 들어, 증착 패턴(DPA)은 도 1b에 도시된 정공 수송 영역(HTR), 전자 수송 영역(ETR), 제2 전극(CE), 봉지층(TFE)의 절연층, 회로층(DP-CL)의 절연층 중 적어도 하나에 대응될 수 있다.

일 실시예에서 하나의 대상 기판(P-SUB)은 하나의 표시 패널(DP, 도 1a 참조) 대비 대면적을 갖는 기판일 수 있고, 하나의 대상 기판(P-SUB)으로부터 복수의 표시 패널들(DP, 도 1a 참조)을 제조할 수 있다. 일 실시예의 마스크 조립체(MK)를 이용하여 하나의 대상 기판(P-SUB) 상에 복수의 증착 패턴들(DPA)을 형성할 수 있고, 복수의 증착 패턴들(DPA)은 각각 복수의 표시 패널들(DP)의 공통층들에 대응될 수 있다. 그러나 이에 한정되지 않고, 제조하고자 하는 표시 패널(DP, 도 1a 참조)의 크기에 따라 하나의 대상 기판(P-SUB)으로부터 하나의 표시 패널(DP)이 제조될 수 있다.

본 발명 일 실시예의 제조 방법에 의해 제조된 마스크(MS)의 셀 개구부들(OPC)은 대상 기판(P-SUB)의 표면을 보호하면서 증착 품질을 개선할 수 있다. 셀 개구부(OPC)의 형상에 따라 대상 기판(P-SUB)의 증착 영역과 미증착 영역 사이의 경계에 섀도우가 형성될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 셀 개구부들(OPC)은 증착 영역을 정의하는 개구부들(CO)과 개구부들(CO)로부터 연장되어 오픈된 함몰부들(HFP)을 포함함으로써 증착 영역 내에서 섀도우 영역의 형성을 최소화할 수 있다. 또한, 마스크(MS) 내에서 증착 영역의 면적 비율을 증가시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 마스크 조립체(MK)를 이용하여 제조되는 표시 패널은 불량이나 데드 스페이스가 감소될 수 있다.

본 발명 일 실시예의 제조 방법에 의해 제조된 마스크(MS)의 개구부들(CO)은 개구 가공 영역들(CA)의 설정을 통해 제조될 수 있고, 개구 가공 영역들(CA)은 가공 순서에 따라 개구부들(CO)에 작용할 누적 변형량을 고려하여 면적 및 위치가 보정된 영역일 수 있다. 이에 따라, 마스크(MS)에 최종적으로 형성되는 개구부들(CO)의 면적 및 위치의 정확성이 향상될 수 있고, 마스크(MS)의 신뢰성이 향상될 수 있다. 개구부들(CO)의 면적 및 위치의 정확성이 향상됨에 따라, 대상 기판(P-SUB) 상에 증착이 필요한 영역에 정확히 증착 패턴(DPA)을 형성시킬 수 있고, 증착 품질이 향상될 수 있다.

이상에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술 분야에 통상의 지식을 갖는 자라면, 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허청구범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

P1-MS, P1-MSa: 예비 마스크 시트 P2-MS: 인장 마스크 시트
MS: 마스크 FR: 마스크 프레임
P-MK: 예비 마스크 조립체 MK: 마스크 조립체
CA: 개구 가공 영역 CO: 개구부
HFP: 함몰부 PO: 가 개구부
C1~C11: 제1 내지 제11 개구 가공 영역
CO1~CO11: 제1 내지 제11 개구부
F1: 제1 인장력 F2: 제2 인장력

Claims (20)

1. 마스크 시트를 인장하는 단계;
   인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 결합하는 단계; 및
   상기 인장된 마스크 시트에 복수의 개구 가공 영역들을 설정하고, 상기 복수의 개구 가공 영역들에 각각 대응하도록 복수의 개구부들을 형성하는 단계를 포함하고,
   상기 복수의 개구 가공 영역들 설정 단계는,
   상기 인장된 마스크 시트에 제1 방향 및 상기 제1 방향에 교차하는 제2 방향을 따라 배열되는 초기 개구 가공 영역들을 설정하고, 상기 초기 개구 가공 영역들의 가공 순서를 결정하는 단계;
   상기 가공 순서를 기초로 상기 초기 개구 가공 영역들 각각에 누적되는 누적 변형량들을 산출하는 단계; 및
   상기 누적 변형량들을 기초로 상기 초기 개구 가공 영역들 각각의 면적 및 위치를 보정하는 단계를 포함하는 마스크 조립체 제조 방법.
2. 제1 항에 있어서,
   상기 복수의 개구 가공 영역들 각각은 개구 가공 영역에 대응하여 형성되는 개구부의 면적 보다 작은 면적을 갖도록 설정되는 마스크 조립체 제조 방법.
3. 제2 항에 있어서,
   상기 인장된 마스크 시트는 상기 제1 방향으로 제1 인장력이 작용하고,
   상기 제1 방향에서 제1 폭을 갖는 상기 개구부를 형성하기 위해 상기 제1 방향에서 제2 폭을 갖는 상기 개구 가공 영역을 설정하며,
   상기 제1 폭과 상기 제2 폭의 차이는 상기 제1 인장력에 비례하는 마스크 조립체 제조 방법.
4. 제3 항에 있어서,
   상기 제2 폭은 상기 제1 폭 보다 2K만큼 작고, 상기 K는 하기의 식 1을 만족하는 마스크 조립체 제조 방법:
   [식 1]
   K=FP/AE
   상기 F는 상기 제1 인장력을 나타내고, 상기 P는 상기 제1 방향에서 상기 개구 가공 영역의 중심으로부터 상기 개구 가공 영역까지의 폭을 나타내고, 상기 A는 상기 개구 가공 영역 내에서 상기 제1 인장력을 받는 단면적을 나타내고, 상기 E는 상기 마스크 시트의 탄성계수를 나타낸다.
5. 제3 항에 있어서,
   상기 인장된 마스크 시트는 상기 제2 방향으로 제2 인장력이 작용하고,
   상기 제2 방향에서 제3 폭을 갖는 상기 개구부를 형성하기 위해 상기 제2 방향에서 제4 폭을 갖는 상기 개구 가공 영역을 설정하며,
   상기 제3 폭과 상기 제4 폭의 차이는 상기 제2 인장력에 비례하는 마스크 조립체 제조 방법.
6. 제1 항에 있어서,
   상기 복수의 개구 가공 영역들 중 n번째 가공되는 제n 개구 가공 영역은 제1 지점에 중심을 갖는 제n 개구부를 형성하기 위해 제2 지점에 중심이 설정되고,
   상기 복수의 개구 가공 영역들 중 상기 제n 개구 가공 영역과 상기 제1 방향에서 나란하게 배열되는 개구 가공 영역들은 제1 그룹으로 정의되고,
   상기 제1 그룹의 상기 개구 가공 영역들 중 상기 n번째 이후 가공되고, 상기 제n 개구 가공 영역으로부터 상기 제1 방향에 나란한 상측 방향을 따라 배열되는 개구 가공 영역의 개수를 m으로 정의하고, 상기 제n 개구 가공 영역으로부터 상기 제1 방향에 나란한 하측 방향을 따라 배열되는 개구 가공 영역의 개수를 l로 정의하면,
   상기 제1 방향에서 상기 제1 지점과 상기 제2 지점 간의 위치 차이는 상기 m과 상기 l의 차이에 비례하고, 상기 m 및 상기 l 각각은 0 또는 자연수인 마스크 조립체 제조 방법.
7. 제6 항에 있어서,
   상기 m이 상기 l 보다 작은 경우, 상기 제2 지점은 평면 상에서 상기 제1 지점 보다 하측에 위치하고,
   상기 m이 상기 l 보다 큰 경우, 상기 제2 지점은 평면 상에서 상기 제1 지점 보다 상측에 위치하는 마스크 조립체 제조 방법.
8. 제7 항에 있어서,
   상기 인장된 마스크 시트는 상기 제1 방향으로 제1 인장력이 작용하고,
   상기 제1 방향에서 상기 제1 지점과 상기 제2 지점은 X만큼 위치 차이가 나며, 상기 X는 하기의 식 2를 만족하는 마스크 조립체 제조 방법:
   [식 2]
   X=|m-l| (FP/AE)
   상기 F는 상기 제1 인장력을 나타내고, 상기 P는 상기 제1 방향에서 상기 개구 가공 영역의 중심으로부터 상기 개구 가공 영역까지의 폭을 나타내고, 상기 A는 상기 개구 가공 영역 내에서 상기 제1 인장력을 받는 단면적을 나타내고, 상기 E는 상기 마스크 시트의 탄성계수를 나타낸다.
9. 제6 항에 있어서,
   상기 복수의 개구 가공 영역들 중 상기 제n 개구 가공 영역과 상기 제2 방향에서 나란하게 배열되는 개구 가공 영역들은 제2 그룹으로 정의되고,
   상기 제2 그룹의 상기 개구 가공 영역들 중 상기 n번째 이후 가공되고, 상기 제n 개구 가공 영역으로부터 상기 제2 방향에 나란한 좌측 방향을 따라 배열되는 개구 가공 영역의 개수를 p로 정의하고, 상기 제n 개구 가공 영역으로부터 상기 제2 방향에 나란한 우측 방향을 따라 배열되는 개구 가공 영역의 개수를 q로 정의하면,
   상기 제2 방향에서 상기 제1 지점과 상기 제2 지점 간의 위치 차이는 상기 p와 상기 q의 차이에 비례하고, 상기 p 및 상기 q 각각은 0 또는 자연수인 마스크 조립체 제조 방법.
10. 제9 항에 있어서,
    상기 p가 상기 q보다 작은 경우, 상기 제2 지점은 평면 상에서 상기 제1 지점 보다 우측에 위치하고,
    상기 p가 상기 q보다 큰 경우, 상기 제2 지점은 평면 상에서 상기 제1 지점 보다 좌측에 위치하는 마스크 조립체 제조 방법.
11. 제1 항에 있어서,
    상기 복수의 개구 가공 영역들은 각각이 상기 제1 방향을 따라 나란히 배열된 개구 가공 영역들을 포함하는 1번째 내지 a번째 가공 그룹을 포함하고,
    상기 1번째 내지 a번째 가공 그룹들은 상기 제2 방향을 따라 배열되며,
    상기 가공 순서는 상기 1번째 가공 그룹부터 상기 a번째 그룹까지 순차적으로 설정되는 마스크 조립체 제조 방법.
12. 제1 항에 있어서,
    상기 마스크 시트를 인장하는 단계 전, 상기 마스크 시트에 복수의 가 개구부들을 형성하는 단계를 더 포함하고,
    상기 복수의 개구 가공 영역들은 각각 상기 복수의 가 개구부들에 대응되고,
    상기 복수의 개구 가공 영역들 각각은 평면 상에서 상기 복수의 가 개구부들 중 대응되는 가 개구부를 둘러싸는 마스크 조립체 제조 방법.
13. 마스크 시트를 인장하는 단계;
    인장된 마스크 시트를 마스크 프레임에 결합하는 단계;
    상기 인장된 마스크 시트에 소정의 배열을 가지며, 중심점의 위치가 보정된 1차 개구 가공 영역들을 설정하는 단계; 및
    상기 1차 개구 가공 영역들 각각에 대응하도록 최종 개구 영역들을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 최종 개구 영역들을 형성하는 단계는,
    상기 1차 개구 가공 영역들 각각에 상기 1차 개구 가공 영역들의 가공 순서에 따라 레이저광을 조사하여 2차 개구 가공 영역들을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 2차 개구 가공 영역들 중 적어도 일부는 중심점의 위치가 이에 대응되는 최종 개구 영역의 중심점의 위치와 서로 상이한 마스크 조립체 제조 방법.
14. 제13 항에 있어서,
    상기 1차 개구 가공 영역들은 평면 상에서 상기 인장된 마스크 시트의 일 단과 타 단 사이에 제1 방향을 따라 배열된 제1 내지 제a 개구 가공 영역들을 포함하고,
    상기 최종 개구 영역들은 상기 제1 내지 상기 제a 개구 가공 영역들 각각에 대응하며 상기 인장된 마스크 시트를 관통하여 형성되는 제1 내지 제a 개구부들을 포함하고,
    상기 제1 내지 상기 제a 개구 가공 영역들 각각은 제1 중심점을 가지고,
    상기 제1 내지 제a 개구부들 각각은 제2 중심점을 가지며,
    상기 제1 내지 상기 제a 개구 가공 영역들 중 적어도 일부는 제1 중심점의 위치가 이에 대응되는 개구부의 제2 중심점의 위치와 상이하고, 상기 a는 2 이상의 자연수인 마스크 조립체 제조 방법.
15. 제14 항에 있어서,
    상기 레이저광은 상기 제1 내지 제a 개구 가공 영역들 중 상기 일 단에 가장 인접한 상기 제1 개구 가공 영역부터 상기 제a 개구 가공 영역까지 상기 제1 방향을 따라 배열된 순서대로 조사되는 마스크 조립체 제조 방법.
16. 제15 항에 있어서,
    상기 레이저광은 상기 제1 내지 제a 개구 가공 영역들 중 상기 제1 개구 가공 영역에 1번째로 조사되어 상기 제1 개구 가공 영역의 상기 제1 중심점과 동일한 중심점을 갖는 2차 제1 개구 가공 영역을 형성하고,
    상기 2차 제1 개구 영역의 중심점은 상기 제1 개구부의 상기 제2 중심점과 상기 제1 방향에서 위치가 상이한 마스크 조립체 제조 방법.
17. 제16 항에 있어서,
    상기 제1 개구부의 상기 제2 중심점은 상기 2차 제1 개구 가공 영역의 중심점 보다 상기 제1 방향에서 상기 일 단에 인접한 마스크 조립체 제조 방법.
18. 제16 항에 있어서,
    상기 레이저광은 상기 제1 내지 제a 개구 가공 영역들 중 상기 제a 개구 가공 영역에 a번째로 조사되어 상기 제a 개구 가공 영역의 상기 제1 중심점과 동일한 중심점을 갖는 2차 제a 개구 가공 영역을 형성하고,
    상기 2차 제a 개구 영역의 중심점은 상기 제a 개구부의 상기 제2 중심점과 상기 제1 방향에서 위치가 동일한 마스크 조립체 제조 방법.
19. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제a 개구 가공 영역들 중 상기 제1 방향에서 중심에 배치된 개구 가공 영역을 중심 개구 가공 영역으로 정의하고,
    상기 레이저광은 상기 중심 개구 가공 영역으로부터 멀리 이격된 순서대로 조사되는 마스크 조립체 제조 방법.
20. 제14 항에 있어서,
    상기 제1 내지 제a 개구 가공 영역들 중 상기 제1 방향에서 중심에 배치된 개구 가공 영역을 중심 개구 가공 영역으로 정의하고,
    상기 레이저광은 상기 중심 개구 가공 영역부터 상기 중심 개구 가공 영역에 인접한 순서대로 조사되는 마스크 조립체 제조 방법.

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