KR102358268B1 - 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법 - Google Patents

마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법은, 복수의 마스크 패턴이 형성된 복수의 마스크, 및 복수의 마스크 셀 영역을 구비하고 테두리 프레임부 상에 마스크 셀 시트부가 연결된 프레임을 포함하는 프레임 일체형 마스크를 제조할 때, 프레임의 마스크 셀 시트부의 변형량을 감축시키는 방법으로서, 마스크 셀 시트부가 테두리 프레임부 상에 연결될 때 마스크 셀 시트부에 가해지는 인장력을, 마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크에 가해지는 인장력보다 크게 하는 것을 특징으로 한다.

Description

마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법 {METHOD FOR REDUCING AMOUNT OF DEFORMATION OF MASK-CELL-SHEET, MASK INTEGRATED FRAME AND PRODUCING METHOD THEREOF}
본 발명은 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 마스크에 가해지는 인장력에 의한 마스크 셀 시트부의 변형량을 감축하여, 각 마스크 간의 얼라인(align)을 명확하게 할 수 있는 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
OLED 제조 공정에서 화소를 형성하는 기술로, 박막의 금속 마스크(Shadow Mask)를 기판에 밀착시켜서 원하는 위치에 유기물을 증착하는 FMM(Fine Metal Mask) 법이 주로 사용된다.
기존의 OLED 제조 공정에서는 마스크를 스틱 형태, 플레이트 형태 등으로 제조한 후, 마스크를 OLED 화소 증착 프레임에 용접 고정시켜 사용한다. 마스크 하나에는 디스플레이 하나에 대응하는 셀이 여러개 구비될 수 있다. 또한, 대면적 OLED 제조를 위해서 여러 개의 마스크를 OLED 화소 증착 프레임에 고정시킬 수 있는데, 프레임에 고정하는 과정에서 각 마스크가 평평하게 되도록 인장을 하게 된다. 마스크의 전체 부분이 평평하게 되도록 인장력을 조절하는 것은 매우 어려운 작업이다. 특히, 각 셀들을 모두 평평하게 하면서, 크기가 수 내지 수십 ㎛에 불과한 마스크 패턴을 정렬하기 위해서는, 마스크의 각 측에 가하는 인장력을 미세하게 조절하면서, 정렬 상태를 실시간으로 확인하는 고도의 작업이 요구된다.
그럼에도 불구하고, 여러 개의 마스크를 하나의 프레임에 고정시키는 과정에서 마스크 상호간에, 그리고 마스크 셀들의 상호간에 정렬이 잘 되지 않는 문제점이 있었다. 또한, 마스크를 프레임에 용접 고정하는 과정에서 마스크 막의 두께가 너무 얇고 대면적이기 때문에 하중에 의해 마스크가 쳐지거나 뒤틀어지는 문제점, 용접 과정에서 용접 부분에 발생하는 주름, 번짐(burr) 등에 의해 마스크 셀의 정렬이 엇갈리게 되는 문제점 등이 있었다.
초고화질의 OLED의 경우, 현재 QHD 화질은 500~600 PPI(pixel per inch)로 화소의 크기가 약 30~50㎛에 이르며, 4K UHD, 8K UHD 고화질은 이보다 높은 ~860 PPI, ~1600 PPI 등의 해상도를 가지게 된다. 이렇듯 초고화질의 OLED의 화소 크기를 고려하여 각 셀들간의 정렬 오차를 수 ㎛ 정도로 감축시켜야 하며, 이를 벗어나는 오차는 제품의 실패로 이어지게 되므로 수율이 매우 낮아지게 될 수 있다. 그러므로, 마스크가 쳐지거나 뒤틀리는 등의 변형을 방지하고, 정렬을 명확하게 할 수 있는 기술, 마스크를 프레임에 고정하는 기술 등의 개발이 필요한 실정이다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 마스크에 가해지는 인장력에 의한 마스크 셀 시트부의 변형량을 감축하여 마스크의 위치 정렬을 명확하게 할 수 있는 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
본 발명의 상기의 목적은, 복수의 마스크 패턴이 형성된 복수의 마스크, 및 복수의 마스크 셀 영역을 구비하고 테두리 프레임부 상에 마스크 셀 시트부가 연결된 프레임을 포함하는 프레임 일체형 마스크를 제조할 때, 프레임의 마스크 셀 시트부의 변형량을 감축시키는 방법으로서, 마스크 셀 시트부가 테두리 프레임부 상에 연결될 때 마스크 셀 시트부에 가해지는 인장력을, 마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크에 가해지는 인장력보다 크게 하는, 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법에 의해 달성된다.
그리고, 본 발명의 상기의 목적은, 복수의 마스크 패턴이 형성된 복수의 마스크, 및 복수의 마스크 셀 영역을 구비하고 테두리 프레임부 상에 마스크 셀 시트부가 연결된 프레임을 포함하는 프레임 일체형 마스크를 제조할 때, 프레임의 마스크 셀 시트부의 변형량을 감축시키는 방법으로서, 마스크 셀 시트부의 두께, 패턴폭 중 적어도 하나를 증가시켜, 마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크가 마스크 셀 영역이 가하는 인장력에 의한 변형량을 감축시키는, 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법에 의해 달성된다.
마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크에 가해지는 인장력은 0.1N 내지 5N이고, 마스크 셀 시트부가 테두리 프레임부 상에 연결될 때 마스크 셀 시트부에 가해지는 인장력은 마스크에 가해지는 인장력보다 큰 범위 내에서 98N을 초과하지 않을 수 있다.
마스크 셀 시트부의 두께는 0.1mm 내지 1mm, 마스크 셀 시트부의 패턴폭은 1mm 내지 10mm일 수 있다.
그리고, 본 발명의 상기의 목적은, 복수의 마스크와 마스크를 지지하는 프레임이 일체로 형성된 프레임 일체형 마스크로서, 복수의 마스크 패턴이 형성된 복수의 마스크; 복수의 마스크 셀 영역을 구비하고, 테두리 프레임부 상에 마스크 셀 시트부가 연결된 프레임을 포함하며, 마스크가 마스크 셀 영역에 각각 대응하도록 부착되고, 마스크 셀 시트부가 테두리 프레임부 상에 연결될 때 마스크 셀 시트부에 가해지는 인장력이, 마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크에 가해지는 인장력보다 큰, 프레임 일체형 마스크에 의해 달성된다.
그리고, 본 발명의 상기의 목적은, 복수의 마스크와 마스크를 지지하는 프레임이 일체로 형성된 프레임 일체형 마스크의 제조 방법으로서, (a) 복수의 마스크 셀 영역을 구비하고, 테두리 프레임부 상에 마스크 셀 시트부가 연결된 프레임을 준비하는 단계; (b) 프레임 상에 마스크가 임시접착된 템플릿을 로딩하여 마스크를 프레임의 마스크 셀 영역에 대응하는 단계; 및(c) 마스크를 프레임에 부착하는 단계를 포함하고, (a) 단계에서, 마스크 셀 시트부가 테두리 프레임부 상에 연결될 때 마스크 셀 시트부에 가해지는 인장력을, 마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크에 가해지는 인장력보다 크게 하는, 프레임 일체형 마스크의 제조 방법에 의해 달성된다.
그리고, 본 발명의 상기의 목적은, 복수의 마스크와 마스크를 지지하는 프레임이 일체로 형성된 프레임 일체형 마스크의 제조 방법으로서, (a) 복수의 마스크 셀 영역을 구비하고, 테두리 프레임부 상에 마스크 셀 시트부가 연결된 프레임을 준비하는 단계; (b) 프레임 상에 마스크가 임시접착된 템플릿을 로딩하여 마스크를 프레임의 마스크 셀 영역에 대응하는 단계; 및 (c) 마스크를 프레임에 부착하는 단계를 포함하고, (a) 단계에서, 마스크 셀 시트부의 두께, 패턴폭 중 적어도 하나를 증가시켜, 마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크가 마스크 셀 영역이 가하는 인장력에 의한 변형량을 감축시키는, 프레임 일체형 마스크의 제조 방법에 의해 달성된다.
상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면, 마스크에 가해지는 인장력에 의한 마스크 셀 시트부의 변형량을 감축하여 마스크의 위치 정렬을 명확하게 할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 마스크를 프레임에 부착하는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크를 나타내는 정면도 및 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 및 마스크 지지 템플릿을 나타내는 개략 평면도 및 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 템플릿을 프레임 상에 로딩하여 마스크를 프레임의 셀 영역에 대응시키는 상태를 나타내는 개략도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크를 프레임에 부착한 후 마스크와 템플릿을 분리하는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크를 프레임에 부착한 상태를 나타내는 개략도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부에 인장력을 가하는 상태를 나타내는 개략 평면도 및 실험 데이터이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부의 인장력 대비 마스크의 인장력에 의한 마스크 셀 시트부의 변형을 나타내는 개략 평면도 및 실험 데이터이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부의 두께, 폭의 변화에 따른 마스크 셀 시트부의 변형을 나타내는 실험 데이터이다.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예에 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭하며, 길이 및 면적, 두께 등과 그 형태는 편의를 위하여 과장되어 표현될 수도 있다.
이하에서는, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 하기 위하여, 본 발명의 바람직한 실시예들에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 종래의 마스크(10)를 프레임(20)에 부착하는 과정을 나타내는 개략도이다.
종래의 마스크(10)는 스틱형(Stick-Type) 또는 판형(Plate-Type)이며, 도 1의 스틱형 마스크(10)는 스틱의 양측을 OLED 화소 증착 프레임에 용접 고정시켜 사용할 수 있다. 마스크(10)의 바디(Body)[또는, 마스크 막(11)]에는 복수의 디스플레이 셀(C)이 구비된다. 하나의 셀(C)은 스마트폰 등의 디스플레이 하나에 대응한다. 셀(C)에는 디스플레이의 각 화소에 대응하도록 화소 패턴(P)이 형성된다.
도 1의 (a)를 참조하면, 스틱 마스크(10)의 장축 방향으로 인장력(F1~F2)을 가하여 편 상태로 사각틀 형태의 프레임(20) 상에 스틱 마스크(10)를 로딩한다. 스틱 마스크(10)의 셀(C1~C6)들은 프레임(20)의 틀 내부 빈 영역 부분에 위치하게 된다.
도 1의 (b)를 참조하면, 스틱 마스크(10)의 각 측에 가하는 인장력(F1~F2)을 미세하게 조절하면서 정렬을 시킨 후, 스틱 마스크(10) 측면의 일부를 용접(W)함에 따라 스틱 마스크(10)와 프레임(20)을 상호 연결한다. 도 1의 (c)는 상호 연결된 스틱 마스크(10)와 프레임의 측단면을 나타낸다.
스틱 마스크(10)의 각 측에 가하는 인장력(F1~F2)을 미세하게 조절함에도 불구하고, 마스크 셀(C1~C3)들의 상호간에 정렬이 잘 되지 않는 문제점이 나타난다. 가령, 셀(C1~C6)들의 패턴 간에 거리가 상호 다르게 되거나, 패턴(P)들이 비뚤어지는 것이 그 예이다. 스틱 마스크(10)는 복수의 셀(C1~C6)을 포함하는 대면적이고, 수십 ㎛ 수준의 매우 얇은 두께를 가지기 때문에, 하중에 의해 쉽게 쳐지거나 뒤틀어지게 된다. 또한, 각 셀(C1~C6)들을 모두 평평하게 하도록 인장력(F1~F2)을 조절하면서, 각 셀(C1~C6)들간의 정렬 상태를 현미경을 통해 실시간으로 확인하는 것은 매우 어려운 작업이다. 크기가 수 내지 수십 ㎛인 마스크 패턴(P)이 초고화질 OLED의 화소 공정에 악영향을 미치지 않도록 하기 위해서는, 정렬 오차가 3㎛를 초과하지 않는 것이 바람직하다. 이렇게 인접하는 셀 사이의 정렬 오차를 PPA(pixel position accuracy)라 지칭한다.
이에 더하여, 복수의 스틱 마스크(10)들을 프레임(20) 하나에 각각 연결하면서, 복수의 스틱 마스크(10)들간에, 그리고 스틱 마스크(10)의 복수의 셀(C~C6)들간에 정렬 상태를 명확히 하는 것도 매우 어려운 작업이고, 정렬에 따른 공정 시간이 증가할 수밖에 없게 되어 생산성을 감축시키는 중대한 이유가 된다.
한편, 스틱 마스크(10)를 프레임(20)에 연결 고정시킨 후에는, 스틱 마스크(10)에 가해졌던 인장력(F1~F2)이 프레임(20)에 역으로 장력(tension)을 작용할 수 있다. 이러한 장력이 프레임(20)을 미세하게 변형시킬 수 있고, 복수의 셀(C~C6)들간에 정렬 상태가 틀어지는 문제가 발생할 수 있다.
이에, 본 발명은 마스크(100)가 프레임(200)과 일체형 구조를 이룰 수 있게 하는 프레임(200) 및 프레임 일체형 마스크를 제안한다. 프레임(200)에 일체로 형성되는 마스크(100)는 쳐지거나 뒤틀리는 등의 변형이 방지되고, 프레임(200)에 명확히 정렬될 수 있다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프레임 일체형 마스크를 나타내는 정면도[도 2의 (a)] 및 측단면도[도 2의 (b)]이다.
본 명세서에서는 아래에서 프레임 일체형 마스크의 구성을 간단히 설명하나, 프레임 일체형 마스크의 구조, 제조 과정은 한국특허출원 제2018-0016186호의 내용이 전체로서 산입된 것으로 이해될 수 있다.
도 2를 참조하면, 프레임 일체형 마스크는, 복수의 마스크(100) 및 하나의 프레임(200)을 포함할 수 있다. 다시 말해, 복수의 마스크(100)들을 각각 하나씩 프레임(200)에 부착한 형태이다. 이하에서는, 설명의 편의상 사각 형태의 마스크(100)를 예로 들어 설명하나, 마스크(100)들은 프레임(200)에 부착되기 전에는 양측에 클램핑되는 돌출부를 구비한 스틱 마스크 형태일 수 있으며, 프레임(200)에 부착된 후에 돌출부가 제거될 수 있다.
각각의 마스크(100)에는 복수의 마스크 패턴(P)이 형성되며, 하나의 마스크(100)에는 하나의 셀(C)이 형성될 수 있다. 하나의 마스크 셀(C)은 스마트폰 등의 디스플레이 하나에 대응할 수 있다.
마스크(100)는 인바(invar), 슈퍼 인바(super invar), 니켈(Ni), 니켈-코발트(Ni-Co) 등의 재질일 수도 있다. 마스크(100)는 압연(rolling) 공정 또는 전주 도금(electroforming)으로 생성한 금속 시트(sheet)를 사용할 수 있다.
프레임(200)은 복수의 마스크(100)를 부착시킬 수 있도록 형성된다. 프레임(200)은 열변형을 고려하여 마스크와 동일한 재질로 구성되는 것이 바람직하다. 프레임(200)은 대략 사각 형상, 사각틀 형상의 테두리 프레임부(210)를 포함할 수 있다. 테두리 프레임부(210)의 내부는 중공 형태일 수 있다.
이에 더하여, 프레임(200)은 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 구비하며, 테두리 프레임부(210)에 연결되는 마스크 셀 시트부(220)를 포함할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)는 테두리 시트부(221) 및 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)로 구성될 수 있다. 테두리 시트부(221) 및 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)는 동일한 시트에서 구획된 각 부분을 지칭하며, 이들은 상호간에 일체로 형성된다.
테두리 프레임부(210)의 두께는 마스크 셀 시트부(220)의 두께보다 두꺼운 수mm 내지 수cm의 두께로 형성될 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)는 테두리 프레임부(210)의 두께보다는 얇지만, 마스크(100)보다는 두꺼운 약 0.1mm 내지 1mm의 두께일 수 있다. 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 폭은 약 1~10mm로 형성될 수 있다.
평면의 시트에서 테두리 시트부(221), 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)가 점유하는 영역을 제외하여, 복수의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)이 제공될 수 있다.
프레임(200)은 복수의 마스크 셀 영역(CR)을 구비하고, 각각의 마스크(100)는 각각 하나의 마스크 셀(C)이 마스크 셀 영역(CR)에 대응되도록 부착될 수 있다. 마스크 셀(C)은 프레임(200)의 마스크 셀 영역(CR)에 대응하고, 더미의 일부 또는 전부가 프레임(200)[마스크 셀 시트부(220)]에 부착될 수 있다. 이에 따라, 마스크(100)와 프레임(200)이 일체형 구조를 이룰 수 있게 된다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크(100) 및 마스크 지지 템플릿(50)을 나타내는 개략 평면도 및 측단면도이다.
도 3의 (a) 및 (b)를 참조하면, 마스크(100)는 복수의 마스크 패턴(P)이 형성된 마스크 셀(C) 및 마스크 셀(C) 주변의 더미(DM)를 포함할 수 있다. 압연 공정, 전주 도금 등으로 생성한 금속 시트로 마스크(100)를 제조할 수 있고, 마스크(100)에는 하나의 셀(C)이 형성될 수 있다. 더미(DM)는 셀(C)을 제외한 마스크 막(110)[마스크 금속막(110)] 부분에 대응하고, 마스크 막(110)만을 포함하거나, 마스크 패턴(P)과 유사한 형태의 소정의 더미 패턴이 형성된 마스크 막(110)을 포함할 수 있다. 더미(DM)는 마스크(100)의 테두리에 대응하여 더미(DM)의 일부 또는 전부가 프레임(200)[마스크 셀 시트부(220)]에 부착될 수 있다.
마스크 패턴(P)의 폭은 40㎛보다 작게 형성될 수 있고, 마스크(100)의 두께는 약 5~20㎛로 형성될 수 있다. 프레임(200)이 복수의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)을 구비하므로, 각각의 마스크 셀 영역(CR: CR11~CR56)에 대응하는 마스크 셀(C: C11~C56)을 가지는 마스크(100)도 복수개 구비할 수 있다.
도 3의 (b)를 참조하면, 템플릿(50)의 일면 상에 마스크(100)가 부착되어 지지된 상태로 이동할 수 있다. 템플릿(50) 중심부는 마스크 금속막(110)의 마스크 셀(C)에 대응하고, 테두리부는 마스크 금속막(110)의 더미(DM)에 대응할 수 있다. 마스크 금속막(110)이 전체적으로 지지될 수 있도록 템플릿(50)의 크기는 마스크 금속막(110)보다 면적이 크거나 동일한 평판 형상이다.
템플릿(50)의 상부에서 조사하는 레이저(L)가 마스크(100)의 용접부(용접을 수행할 영역, WP)에까지 도달할 수 있도록, 템플릿(50)에는 레이저 통과공(51)이 형성될 수 있다. 레이저 통과공(51)은 용접부(WP)의 위치 및 개수에 대응하도록 템플릿(50)에 형성될 수 있다.
템플릿(50)의 일면에는 임시접착부(55)가 형성될 수 있다. 임시접착부(55)는 마스크(100)가 프레임(200)에 부착되기 전까지 마스크(100)[또는, 마스크 금속막(110)]이 임시로 템플릿(50)의 일면에 접착되어 템플릿(50) 상에 지지되도록 할 수 있다.
임시접착부(55)는 열을 가함에 따라 분리가 가능한 접착제, UV 조사에 의해 분리가 가능한 접착제를 사용할 수 있다. 일 예로, 임시접착부(55)는 액체 왁스(liquid wax)를 사용할 수 있다.
마스크(100)는 소정의 인장력(IT)이 가해진 상태로 템플릿(50)에 접착될 수도 있다[도 4 참조]. 이 인장력은 마스크(100)와 템플릿(50)의 열팽창 계수의 차이를 통해 적용할 수 있고, 물리적으로 마스크(100)를 인장한 후 템플릿(50)에 접착하여 적용할 수도 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 템플릿(50)을 프레임(200) 상에 로딩하여 마스크(100)를 프레임(200)의 셀 영역(CR)에 대응시키는 상태를 나타내는 개략도이다.
템플릿(50)은 진공 척(90)에 의해 이송될 수 있다. 진공 척(90)으로 마스크(100)가 접착된 템플릿(50) 면의 반대 면을 흡착하여 이송할 수 있다.
마스크(100)를 프레임(200)의 하나의 마스크 셀 영역(CR)에 대응할 수 있다. 템플릿(50)을 프레임(200)[또는, 마스크 셀 시트부(220)] 상에 로딩하는 것으로 마스크(100)를 마스크 셀 영역(CR)에 대응시킬 수 있다. 템플릿(50)/진공 척(90)의 위치를 제어하면서, 현미경을 통해 마스크(100)가 마스크 셀 영역(CR)에 대응하는지 살펴볼 수 있다. 템플릿(50)이 마스크(100)를 압착하므로, 마스크(100)와 프레임(200)은 긴밀히 맞닿을 수 있다.
순차적으로 또는 동시에, 복수의 템플릿(50)을 프레임(200)[또는, 마스크 셀 시트부(220)] 상에 로딩하여 각각의 마스크(100)를 각각의 마스크 셀 영역(CR)에 대응시킬 수 있다. 템플릿(50)과 마스크(100)의 크기가 동일하면 특정 마스크 셀 영역(CR11) 상에 대응하는 템플릿(50)과 이에 이웃하는 마스크 셀 영역(CR12, CR21) 상에 대응하는 템플릿(50)은 서로 간섭/중첩되지 않고 소정 간격을 이룰 수 있다. 이 소정 간격은 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 폭의 1/2보다 작은 정도일 수 있다.
한편, 하부 지지체(70)를 프레임(200) 하부에 더 배치할 수도 있다. 하부 지지체(70)는 마스크(100)가 접촉하는 마스크 셀 영역(CR)의 반대면을 압착할 수 있다. 동시에, 하부 지지체(70)와 템플릿(50)이 상호 반대되는 방향으로 마스크(100)의 테두리 및 프레임(200)[또는, 마스크 셀 시트부(220)]를 압착하게 되므로, 마스크(100)의 정렬 상태가 흐트러지지 않고 유지될 수 있게 된다.
이어서, 마스크(100)에 레이저(L)를 조사하여 레이저 용접에 의해 마스크(100)를 프레임(200)에 부착할 수 있다. 레이저 용접된 마스크의 용접부(WP) 부분에는 용접 비드(WB)가 생성되고, 용접 비드(WB)는 마스크(100)/프레임(200)과 동일한 재질을 가지고 일체로 연결될 수 있다.
하나의 마스크(100)를 하나의 마스크 셀 영역(CR)에 대응시키고 레이저(L)를 조사하여 마스크(100)를 프레임(200)에 부착하는 과정을 반복적으로 수행하여 모든 마스크 셀 영역(CR)에 각각 마스크(100)를 부착할 수 있다. 또는, 모든 마스크(100)를 모든 마스크 셀 영역(CR)에 동시에 대응시키고 부착할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크를 프레임에 부착한 후 마스크와 템플릿을 분리하는 과정을 나타내는 개략도이다.
도 5를 참조하면, 마스크(100)를 프레임(200)에 부착한 후, 마스크(100)와 템플릿(50)을 분리(debonding)할 수 있다. 마스크(100)와 템플릿(50)의 분리는 임시접착부(55)에 열 인가(ET), 화학적 처리(CM), 초음파 인가(US), UV 인가(UV) 중 적어도 어느 하나를 통해 수행할 수 있다. 마스크(100)는 프레임(200)에 부착된 상태를 유지하므로, 템플릿(50)만을 들어올릴 수 있다. 일 예로, 85℃~100℃보다 높은 온도의 열을 인가(ET)하면 임시접착부(55)의 점성이 낮아지게 되고, 마스크(100)와 템플릿(50)의 접착력이 약해지게 되어, 마스크(100)와 템플릿(50)이 분리될 수 있다. 다른 예로, IPA, 아세톤, 에탄올 등의 화학 물질에 임시접착부(55)를 침지(CM)함으로써 임시접착부(55)를 용해, 제거 등의 방식으로 마스크(100)와 템플릿(50)이 분리될 수 있다. 다른 예로, 초음파를 인가(US)하거나, UV를 인가(UV)하면 마스크(100)와 템플릿(50)의 접착력이 약해지게 되어, 마스크(100)와 템플릿(50)이 분리될 수 있다.
마스크(100)로부터 템플릿(50)이 분리됨과 동시에, 마스크(100)에 작용하던 인장력(IT)이 해제되면서 마스크(100)의 양측을 팽팽하게 하는 장력(TS)으로 전환될 수 있다. 다시 말해, 마스크(100)의 원래 길이보다 긴 길이로 당겨져 템플릿(50)에 접착된 상태이고, 이 상태 그대로 프레임(200)에 용접 부착되므로 당겨진 상태[자체적으로 주변의 마스크 셀 시트부(220)에 장력(TS)을 작용하는 상태]를 유지하게 될 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크(100)를 프레임(200)에 부착한 상태를 나타내는 개략도이다. 도 6에서는 모든 마스크(100)를 프레임(200)의 셀 영역(CR)에 부착한 상태를 나타낸다. 하나씩 마스크(100)를 부착한 후 템플릿(50)을 분리할 수 있지만, 모든 마스크(100)를 부착한 후 모든 템플릿(50)을 분리할 수 있다.
종래의 도 1의 마스크(10)는 셀 6개(C1~C6)를 포함하므로 긴 길이를 가지는데 반해, 본 발명의 마스크(100)는 셀 1개(C)를 포함하여 짧은 길이를 가지므로 PPA(pixel position accuracy)가 틀어지는 정도가 작아질 수 있다. 또한, 본 발명은 마스크(100)의 하나의 셀(C)을 대응시키고 정렬 상태를 확인하기만 하면 되므로, 복수의 셀(C: C1~C6)을 동시에 대응시키고 정렬 상태를 모두 확인하여야 하는 종래의 방법[도 1 참조]보다, 제조시간을 현저하게 감축시킬 수 있다.
각각의 마스크(100)들이 모두 대응되는 마스크 셀 영역(CR) 상에 부착된 후에 템플릿(50)과 마스크(100)들이 분리되면, 복수의 마스크(100)들이 각각 마스크 셀 영역(CR)에 수축되는 장력(TS)을 인가할 수 있다. 상호 인접하는 마스크(100)들이 상호 반대방향으로 수축되는 장력(TS)을 인가하여 그 힘이 상쇄됨에 따라 마스크 셀 시트부(220)에 어떠한 힘도 가하지 않는 것이 바람직하다. 예를 들어, CR11 셀 영역에 부착된 마스크(100)와 CR12 셀 영역에 부착된 마스크(100) 사이의 제1 그리드 시트부(223)는 CR11 셀 영역에 부착된 마스크(100)의 우측 방향으로 작용하는 장력(TS)과 CR12 셀 영역에 부착된 마스크(100)의 좌측 방향으로 작용하는 장력(TS)이 상쇄되는 것이 바람직하다.
하지만, 마스크 셀 시트부(220)가 테두리 프레임부(210) 상에 연결될 때, 인장력이 작용하지 않은 상태 또는 약한 인장력이 작용한 상태에서 연결되는 경우에는 마스크 셀 시트부(220)의 하중에 의한 처짐이 발생할 수 있다. 이 상태에서 도 6처럼 복수의 마스크(100)들이 마스크 셀 시트부(220)에 장력(TS)을 인가하면, 복수의 마스크(100)들간에 장력(TS)이 완전히 상쇄되지 않고, 상쇄되지 않은 일부 힘이 마스크 셀 시트부(220)에 작용할 수 있다. 다른 관점으로, 마스크(100)가 테두리 프레임부(210)가 아닌 상대적으로 얇고 약한 마스크 셀 시트부(220)에 부착되므로, 마스크(100)의 장력(TS)에 의해 마스크 셀 시트부(220)의 변형이 상대적으로 취약할 수 있다. 마스크 셀 시트부(220)가 뒤틀어지는 변형이 발생하면 마스크(100)[또는, 마스크 패턴(P)]의 정렬 오차를 커지게 되는 문제가 발생할 수 있다.
따라서, 본 발명은 마스크 셀 시트부(220)에 마스크(100)가 부착될 때 마스크(100)의 장력(TS)에 의해 변형이 발생하지 않는 마스크 셀 시트부(220)를 제공하는 것을 특징으로 한다. 이를 위해, (1) 마스크 셀 시트부(220)를 테두리 프레임(210)에 연결할 때 보다 강한 인장력을 인가한 상태에서 부착하여 마스크 셀 시트부(220)를 팽팽하게 하거나, (2) 마스크 셀 시트부(220)의 두께를 늘리거나, (3) 마스크 셀 시트부(220)의 패턴폭(GD)[테두리 시트부(221) 및 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 폭]을 늘려서 마스크 셀 시트부(220)의 강성을 크게 하는 방법이 고려된다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부에 인장력을 가하는 상태를 나타내는 개략 평면도 및 실험 데이터이다.
도 7의 (a)를 참조하면, 마스크 셀 시트부(220)를 테두리 프레임부(210)에 연결할 때 보다 강한 인장력(F1)을 인가한 상태에서 부착할 수 있다. 인장력(F1)은 마스크 셀 시트부(220)의 모든 측(네 측)에 인가되는 것이 바람직하나, 이에 제한되는 것은 아니다. 이 인장력(F1)의 크기는 마스크(100)가 마스크 셀 시트부(220)에 부착되기 전 마스크(100)에 인가되는 인장력(F2)[또는, 인장력(IT; 도 4 참조)]보다 클 수 있다. 그리하여, 마스크 셀 시트부(220)다 보다 팽팽한 상태로 인장력을 보유하여, 마스크(100)가 부착된 후에 마스크 셀 시트부(220)에 가하는 장력(TS)에 의해 변형이 발생되지 않게 된다.
도 7의 (b)은 마스크 셀 시트부(220)의 패턴폭 5mm, 두께 0.2mm인 상태에서 인장력(F1)을 0N 부터 98N까지 인가했을 때의 마스크 셀 시트부(220)의 처짐량을 나타내는 실험 데이터이다. 마스크 셀 시트부(220)에 가하는 인장력(F1)의 크기가 커질수록 마스크 셀 시트부(220)의 처짐량이 줄어드는 것을 확인할 수 있다. 인장력(F1)이 커질수록 마스크 셀 시트부(220)가 팽팽하게 테두리 프레임부(210)에 연결될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부의 인장력 대비 마스크의 인장력에 의한 마스크 셀 시트부의 변형을 나타내는 개략 평면도 및 실험 데이터이다.
도 8의 (a)를 참조하면, 마스크 셀 시트부(220)가 테두리 프레임부(210)에 연결된 후, 마스크(100)에 인장력(F2)을 인가한 상태에서 부착할 수 있다. 설명의 편의상 템플릿(50)은 도시를 생략하고 마스크(100)만 도시한다. 상술한 바와 같이 마스크(100)의 인장력(F2)은 템플릿(50)에 접착될 경우 가해진 인장력(IT)에 대응할 수 있다. 인장력(F2)은 마스크(100)와 템플릿(50)의 열팽창 계수의 차이를 통해 적용할 수 있고, 물리적으로 마스크(100)를 인장한 후 템플릿(50)에 접착하여 적용할 수도 있다. 한편, 템플릿(50) 없이 마스크(100)를 직접 클램핑하여 인장력(F2)을 적용할 수도 있다.
도 8의 (b)는 은 마스크 셀 시트부(220)의 패턴폭 5mm, 두께 0.2mm인 상태에서 인장력(F1)을 각각 0N, 98N 인가하여 테두리 프레임부(210)에 연결한 후, 마스크(100)에 인장력(F2)을 0.1N부터 5N까지 인가하여 마스크 셀 시트부(220)에 부착한 경우에 마스크 셀 시트부(220)의 변형량을 나타내는 실험 데이터이다. 마스크(100)에 가해지는 인장력(F2)이 커질수록 마스크 셀 시트부(220)의 변형량이 커지게 나타난다. 다만, 마스크 셀 시트부(220)의 인장력(F1)이 클수록 동일한 마스크(100)의 인장력(F2)에서 마스크 셀 시트부(220)의 변형량이 작게 나타나는 것을 확인할 수 있다. 이는 인장력(F1)이 커질수록 마스크 셀 시트부(220)가 팽팽하게 테두리 프레임부(210)에 연결되고, 인장력(F1)이 인장력(F2)보다 크기 때문에, 마스크(100)의 인장력(F2)에 의해서 마스크 셀 시트부(220)가 크게 영향받지 않는 것을 나타낸다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 셀 시트부의 두께, 폭의 변화에 따른 마스크 셀 시트부의 변형을 나타내는 실험 데이터이다.
마스크 셀 시트부(220)의 두께를 늘려서 강성을 향상시키는 방법으로 마스크 셀 시트부(220)의 변형량을 감축시킬 수 있다. 도 9의 (a)는 마스크 셀 시트부(220)의 패턴폭 5mm, 마스크(100)에 인장력(F2)을 1N을 인가하여 마스크 셀 시트부(220)에 부착한 경우에, 마스크 셀 시트부(220)의 두께를 0.1mm부터 0.5mm까지 변경하면서 마스크 셀 시트부(220)의 변형량을 측정한 실험 데이터이다. 마스크 셀 시트부(220)가 두꺼워질수록 마스크 셀 시트부(220)의 변형량이 감소하게 나타나는 것을 확인할 수 있다.
또한, 마스크 셀 시트부(220)의 패턴폭(GD)[테두리 시트부(221) 및 제1, 2 그리드 시트부(223, 225)의 폭]을 늘려서 마스크 셀 시트부(220)의 향상시키는 방법으로 마스크 셀 시트부(220)의 변형량을 감축시킬 수 있다. 도 9의 (b)는 마스크 셀 시트부(220)의 두께 0.2mm인 상태에서, 패턴폭을 각각 5mm, 10mm로 변경하고, 마스크(100)에 인장력(F2)을 0.1N부터 5N까지 인가하여 마스크 셀 시트부(220)에 부착한 경우에 마스크 셀 시트부(220)의 변형량을 나타내는 실험 데이터이다. 마스크 셀 시트부(220)의 패턴폭(GD)이 커질수록 마스크 셀 시트부(220)의 변형량이 감소하게 나타나는 것을 확인할 수 있다.
위와 같이, 마스크 셀 시트부(220)가 테두리 프레임부(210)에 연결되는 과정에서 가하는 인장력(F1)을 증가시키고, 마스크 셀 시트부(220)의 두께/패턴폭(GD)을 증가시킴에 따라 마스크 셀 시트부(220)가 보다 강하게 테두리 프레임부(210)에 연결되도록 할 수 있다. 그리하여, 마스크의 장력(TS)에 의한 프레임(200)[또는, 마스크 셀 시트부(220)]의 변형이 최소화되고, 마스크(100)가 팽팽하게 당겨진 채로 부착될 수 있으므로, 주름, 변형 등이 발생하지 않게 된다. 이에 따라, 마스크(100)[또는, 마스크 패턴(P)]의 정렬 오차, 셀(C)들간의 PPA 오차를 줄이는데 효과가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
50: 템플릿(template)
55: 임시접착부
100: 마스크
200: 프레임
210: 테두리 프레임부
220: 마스크 셀 시트부
221: 테두리 시트부
223: 제1 그리드 시트부
225: 제2 그리드 시트부
C: 셀, 마스크 셀
CR: 마스크 셀 영역
GD: 마스크 셀 시트부의 패턴폭, 제1, 2 그리드 시트부 폭
P: 마스크 패턴
WB: 용접 비드

Claims (8)

  1. 복수의 마스크 패턴이 형성된 복수의 마스크, 및 제1 방향과 제1 방향에 수직하는 제2 방향을 따라 복수의 마스크 셀 영역을 구비하는 프레임을 포함하는 프레임 일체형 마스크를 제조할 때, 프레임의 마스크 셀 시트부의 변형량을 감축시키는 방법으로서,
    프레임은, 중공 영역을 포함하는 테두리 프레임부; 복수의 마스크 셀 영역을 구비하며, 테두리 프레임부에 연결되는 마스크 셀 시트부를 포함하고,
    마스크 셀 시트부는, 테두리 시트부; 제1 방향으로 연장 형성되고 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제1 그리드 시트부; 및 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 연장 형성되어 제1 그리드 시트부와 교차되고 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제2 그리드 시트부를 포함하며,
    테두리 프레임부의 상부면 상에 마스크 셀 시트부가 연결되고, 마스크 셀 시트부의 마스크 셀 영역에 각각 대응되도록 마스크가 마스크 셀 시트부의 상부면 상에 연결되고,
    마스크 셀 시트부가 테두리 프레임부 상에 연결될 때 마스크 셀 시트부에 가해지는 인장력을, 마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크에 가해지는 인장력보다 크게 하여, 마스크가 마스크 셀 시트부에 가하는 장력에 의한 변형량을 감축하는, 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법.
  2. 복수의 마스크 패턴이 형성된 복수의 마스크, 및 제1 방향과 제1 방향에 수직하는 제2 방향을 따라 복수의 마스크 셀 영역을 구비하는 프레임을 포함하는 프레임 일체형 마스크를 제조할 때, 프레임의 마스크 셀 시트부의 변형량을 감축시키는 방법으로서,
    프레임은, 중공 영역을 포함하는 테두리 프레임부; 복수의 마스크 셀 영역을 구비하며, 테두리 프레임부에 연결되는 마스크 셀 시트부를 포함하고,
    마스크 셀 시트부는, 테두리 시트부; 제1 방향으로 연장 형성되고 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제1 그리드 시트부; 및 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 연장 형성되어 제1 그리드 시트부와 교차되고 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제2 그리드 시트부를 포함하며,
    테두리 프레임부의 상부면 상에 마스크 셀 시트부가 연결되고, 마스크 셀 시트부의 마스크 셀 영역에 각각 대응되도록 마스크가 마스크 셀 시트부의 상부면 상에 연결되고,
    마스크 셀 시트부의 두께, 패턴폭 중 적어도 하나를 증가시켜, 마스크가 마스크 셀 시트부에 부착될 때 마스크가 마스크 셀 시트부에 가하는 장력에 의한 변형량을 감축하는, 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크에 가해지는 인장력은 0.1N 내지 5N이고, 마스크 셀 시트부가 테두리 프레임부 상에 연결될 때 마스크 셀 시트부에 가해지는 인장력은 마스크에 가해지는 인장력보다 큰 범위 내에서 98N을 초과하지 않는, 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법.
  4. 제2항에 있어서,
    마스크 셀 시트부의 두께는 0.1mm 내지 1mm, 마스크 셀 시트부의 패턴폭은 1mm 내지 10mm인, 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법.
  5. 복수의 마스크와 마스크를 지지하는 프레임이 일체로 형성된 프레임 일체형 마스크로서,
    복수의 마스크 패턴이 형성된 복수의 마스크;
    제1 방향과 제1 방향에 수직하는 제2 방향을 따라 복수의 마스크 셀 영역을 구비하는 프레임
    을 포함하며,
    프레임은, 중공 영역을 포함하는 테두리 프레임부; 복수의 마스크 셀 영역을 구비하며, 테두리 프레임부에 연결되는 마스크 셀 시트부를 포함하고,
    마스크 셀 시트부는, 테두리 시트부; 제1 방향으로 연장 형성되고 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제1 그리드 시트부; 및 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 연장 형성되어 제1 그리드 시트부와 교차되고 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제2 그리드 시트부를 포함하며,
    테두리 프레임부의 상부면 상에 마스크 셀 시트부가 연결되고, 마스크 셀 시트부의 마스크 셀 영역에 각각 대응되도록 마스크가 마스크 셀 시트부의 상부면 상에 연결되고,
    마스크 셀 시트부가 테두리 프레임부 상에 연결될 때 마스크 셀 시트부에 가해지는 인장력이, 마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크에 가해지는 인장력보다 크게 되어, 마스크가 마스크 셀 시트부에 가하는 장력에 의한 변형량을 감축하는, 프레임 일체형 마스크.
  6. 제5항에 있어서,
    마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크에 가해지는 인장력은 0.1N 내지 5N이고, 마스크 셀 시트부가 테두리 프레임부 상에 연결될 때 마스크 셀 시트부에 가해지는 인장력은 마스크에 가해지는 인장력보다 큰 범위 내에서 98N을 초과하지 않는, 프레임 일체형 마스크.
  7. 복수의 마스크와 마스크를 지지하는 프레임이 일체로 형성된 프레임 일체형 마스크의 제조 방법으로서,
    (a) 제1 방향과 제1 방향에 수직하는 제2 방향을 따라 복수의 마스크 셀 영역을 구비하는 프레임을 준비하는 단계;
    (b) 프레임 상에 마스크가 임시접착된 템플릿을 로딩하여 마스크를 프레임의 마스크 셀 영역에 대응하는 단계; 및
    (c) 마스크를 프레임에 부착하는 단계
    를 포함하고,
    프레임은, 중공 영역을 포함하는 테두리 프레임부; 복수의 마스크 셀 영역을 구비하며, 테두리 프레임부에 연결되는 마스크 셀 시트부를 포함하고,
    마스크 셀 시트부는, 테두리 시트부; 제1 방향으로 연장 형성되고 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제1 그리드 시트부; 및 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 연장 형성되어 제1 그리드 시트부와 교차되고 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제2 그리드 시트부를 포함하며,
    테두리 프레임부의 상부면 상에 마스크 셀 시트부가 연결되고, 마스크 셀 시트부의 마스크 셀 영역에 각각 대응되도록 마스크가 마스크 셀 시트부의 상부면 상에 연결되고,
    (a) 단계에서, 마스크 셀 시트부가 테두리 프레임부 상에 연결될 때 마스크 셀 시트부에 가해지는 인장력을, 마스크가 마스크 셀 영역에 부착될 때 마스크에 가해지는 인장력보다 크게 하여, 마스크가 마스크 셀 시트부에 가하는 장력에 의한 변형량을 감축하는, 프레임 일체형 마스크의 제조 방법.
  8. 복수의 마스크와 마스크를 지지하는 프레임이 일체로 형성된 프레임 일체형 마스크의 제조 방법으로서,
    (a) 제1 방향과 제1 방향에 수직하는 제2 방향을 따라 복수의 마스크 셀 영역을 구비하는 프레임을 준비하는 단계;
    (b) 프레임 상에 마스크가 임시접착된 템플릿을 로딩하여 마스크를 프레임의 마스크 셀 영역에 대응하는 단계; 및
    (c) 마스크를 프레임에 부착하는 단계
    를 포함하고,
    프레임은, 중공 영역을 포함하는 테두리 프레임부; 복수의 마스크 셀 영역을 구비하며, 테두리 프레임부에 연결되는 마스크 셀 시트부를 포함하고,
    마스크 셀 시트부는, 테두리 시트부; 제1 방향으로 연장 형성되고 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제1 그리드 시트부; 및 제1 방향에 수직인 제2 방향으로 연장 형성되어 제1 그리드 시트부와 교차되고 양단이 테두리 시트부에 연결되는 적어도 하나의 제2 그리드 시트부를 포함하며,
    테두리 프레임부의 상부면 상에 마스크 셀 시트부가 연결되고, 마스크 셀 시트부의 마스크 셀 영역에 각각 대응되도록 마스크가 마스크 셀 시트부의 상부면 상에 연결되고,
    (a) 단계에서, 마스크 셀 시트부의 두께, 패턴폭 중 적어도 하나를 증가시켜, 마스크가 마스크 셀 시트부에 부착될 때 마스크 셀 시트부에 가하는 장력에 의한 변형량을 감축하는, 프레임 일체형 마스크의 제조 방법.
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