JP2006310183A - 金属テープの取り付け方法、マスクユニットの製造方法及びテンション付加用治具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 窓枠形状のフレーム13の裏面に取り付ける金属テープ17の両端に、テンション付加用治具41を用いて、フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取ってテンションを付加し、その状態でフレームの反り量を測定し、反り量が所望の範囲内となるように金属テープに付加するテンションを調整し、金属テープをフレームに固定する構成とする。
【選択図】 図8
Description
11 メタルマスク
12 マスク部
13 フレーム
14 開口
15 易切断線
17、18 金属テープ
19 易切断線
20 掘り込み
23 クランプ
24 駆動手段(エアシリンダ)
30、34 スポット溶接部
41 テンション付加用治具
42 支持台
43 直動案内
44 テープ把持部材
46 テンション付加用ねじ
48 テープ把持本体
49 テープ押え
50 ボルト
55 ダイアルゲージ
56 レーザ溶接装置
Claims (4)
- 窓枠形状のフレームに金属テープを、テンションを付加した状態で取り付ける方法であって、前記金属テープを前記フレームの金属テープ取り付け位置に配置する工程と、前記金属テープの両端近傍を把持し、前記フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取ってテンションを付加し、その状態で前記フレームの反り量を測定し、反り量が所望の範囲内となるように前記金属テープに付加するテンションを調整する工程と、前記金属テープの両端近傍をそれぞれ前記フレームに固定する工程を有することを特徴とする金属テープの取り付け方法。
- 窓枠形状のフレームに金属テープを、テンションを付加した状態で取り付ける方法であって、前記金属テープを前記フレームの金属テープ取り付け位置に配置する工程と、前記金属テープの一端近傍を前記フレームに固定する工程と、前記金属テープの他端近傍を把持し、前記フレームの金属テープ取り付け位置の近傍に反力を取ってテンションを付加し、その状態で前記フレームの反り量を測定し、反り量が所望の範囲内となるように前記金属テープに付加するテンションを調整する工程と、前記金属テープの他端近傍を前記フレームに固定する工程を有することを特徴とする金属テープの取り付け方法。
- 窓枠形状のフレームの表面に、メタルマスクを、該メタルマスクに縦方向及び横方向の少なくとも一方のテンションを付加した状態で取り付ける工程と、前記フレームの裏面に、請求項1又は2記載の金属テープの取り付け方法を用いて金属テープを前記メタルマスクに付加したテンションの方向に平行に取り付ける工程を有することを特徴とするマスクユニットの製造方法。
- 支持台と、該支持台に直線状に移動可能に保持され、金属テープをその長手方向が移動方向に平行となるように把持可能なテープ把持部材と、該テープ把持部材に取り付けられたテンション付加用ねじを備え、該テンション付加用ねじは、前記テープ把持部材に把持させた金属テープに近接した位置で該金属テープの長手方向に平行に且つ先端を前記テープ把持部材から突出させた形態で取り付けられていることを特徴とするテンション付加用治具。
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KR20140074614A (ko) * | 2012-12-10 | 2014-06-18 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 증착용 마스크 조립체 및 이의 제조 방법 |
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JP2015017930A (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-29 | 新東エスプレシジョン株式会社 | 検査装置 |
JP2015200019A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-12 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの引張方法、フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、及び引張装置 |
WO2016091303A1 (en) * | 2014-12-10 | 2016-06-16 | Applied Materials, Inc. | Mask arrangement for masking a substrate in a processing chamber |
JP2019116690A (ja) * | 2014-03-31 | 2019-07-18 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクの引張方法、フレーム付き蒸着マスクの製造方法、有機半導体素子の製造方法、及び引張装置 |
CN111534789A (zh) * | 2019-02-07 | 2020-08-14 | 悟勞茂材料公司 | 缩减掩模单元片材部的变形量的方法、框架一体型掩模及其制造方法 |
KR20200097206A (ko) * | 2019-02-07 | 2020-08-18 | 주식회사 오럼머티리얼 | 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법 |
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Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013206570A (ja) * | 2012-03-27 | 2013-10-07 | Sinto S-Precision Ltd | メタルマスク取付方法 |
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WO2014155939A1 (en) * | 2013-03-29 | 2014-10-02 | Sony Corporation | Mask frame unit, mask apparatus, and processing method |
JP2015017930A (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-29 | 新東エスプレシジョン株式会社 | 検査装置 |
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WO2016091303A1 (en) * | 2014-12-10 | 2016-06-16 | Applied Materials, Inc. | Mask arrangement for masking a substrate in a processing chamber |
US11718904B2 (en) | 2014-12-10 | 2023-08-08 | Applied Materials, Inc. | Mask arrangement for masking a substrate in a processing chamber, apparatus for depositing a layer on a substrate, and method for aligning a mask arrangement for masking a substrate in a processing chamber |
CN111534789A (zh) * | 2019-02-07 | 2020-08-14 | 悟勞茂材料公司 | 缩减掩模单元片材部的变形量的方法、框架一体型掩模及其制造方法 |
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KR102358268B1 (ko) * | 2019-02-07 | 2022-02-07 | 주식회사 오럼머티리얼 | 마스크 셀 시트부의 변형량 감축 방법, 프레임 일체형 마스크 및 그 제조 방법 |
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