JP7561568B2

JP7561568B2 - 産業用ロボット

Info

Publication number: JP7561568B2
Application number: JP2020175402A
Authority: JP
Inventors: 雅裕青木
Original assignee: Nidec Instruments Corp
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Priority date: 2020-10-19
Filing date: 2020-10-19
Publication date: 2024-10-04
Anticipated expiration: 2040-10-19
Also published as: KR102522017B1; CN114378838B; KR20220051807A; JP2022066842A; CN114378838A

Description

本発明は、産業用ロボットに関する。

従来、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１には、アームと、アームの基端側が上面側に連結される昇降体、昇降体の少なくとも下端側部分が収容される筐体、筐体に収容されるとともに筐体に対して昇降体を昇降させる昇降機構、及び筐体の内部の気体を排出するための排気ファンを含む本体部と、を備える産業用ロボットが記載されている。この産業用ロボットでは、昇降体が上昇又は下降するときに、筐体の内部空間の気体の全てを排気ファンによって本体部から排出することで、本体部の内部からアーム側の外部への塵埃の流出を防止することが可能となっている。

特開２０１９－１２３０２４号公報

特許文献１に記載の産業用ロボットのように、本体部の内部の空気の流出を防止する構成では、排気ファンの作動によって、本体部外部の空気が本体部内に流入することになる。しかし、本体部の内部に外気を極力吸い込みたくない状況もある。例えば、腐食ガスが充満している場所にて産業用ロボットが使用される場合には、この腐食ガスによる本体部の内部構造への影響を防ぐ必要がある。特許文献１は、このような課題については考慮していない。

本発明の目的は、アームを移動自在に支持する筐体内から外部への塵埃の流出を防止し且つ筐体内部への外気の流入を防止することが可能な産業用ロボットを提供することにある。

本発明の一態様の産業用ロボットは、クリーンルームの中に配置される産業用ロボットであって、開口を有する筐体と、上記開口を通過可能な状態で上記筐体に収容され、第一方向と上記第一方向とは逆の第二方向とに移動自在に構成された可動体と、上記可動体に連結されたアームと、上記筐体の内部の気体を、上記クルーンルームの外部に排出するための排気ファンと、上記筐体の上記開口と上記可動体との隙間に向けて空気を送出可能なノズル部と、を備え、上記第一方向は、上記筐体における上記開口側と反対側の端部から上記可動体が離れる方向であり、上記可動体が上記第一方向に移動している状態において上記ノズル部から空気を送出させ、上記可動体が上記第二方向に移動している状態において、上記ノズル部からの空気の送出を停止させ且つ上記排気ファンを作動させる制御を行う制御部を備えるものである。
本発明の一態様の産業用ロボットは、クリーンルームの中に配置される産業用ロボットであって、開口を有する筐体と、上記開口を通過可能な状態で上記筐体に収容され、第一方向と上記第一方向とは逆の第二方向とに移動自在に構成された可動体と、上記可動体に連結されたアームと、上記筐体の内部の気体を、上記クルーンルームの外部に排出するための排気ファンと、上記筐体の上記開口と上記可動体との隙間に向けて空気を送出可能なノズル部と、を備え、上記ノズル部は、上記筐体の上記開口側の端部上に設けられた、上記可動体が通過可能な第一貫通孔を有する平板部材と、空気送出源に連結された連結部材と、を有し、上記平板部材は、上記第一貫通孔と上記連結部材とを繋ぐ空気流路を内部に有するものである。

本発明によれば、アームを移動自在に支持する筐体内から外部への塵埃の流出を防止し且つ筐体内部への外気の流入を防止することができる。

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図である。図１に示す本体部の縦断面図である。図１に示す本体部の横断面図である。図１に示す本体部における上面部及びノズル部を上側から見た斜視図である。図４に示す上面部及びノズル部を下側からみた斜視図である。図５において上面部の図示を省略した斜視図である。図６に示すサブ平板部材を下側からみた斜視図である。図６に示す枠状部材を上側からみた斜視図である。図１に示すロボットにおけるノズル部付近の縦端面図である。図１に示すロボットにおけるノズル部付近の縦端面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図である。以下では、鉛直方向を下方向と記載し、鉛直方向の逆方向を上方向と記載し、上方向と下方向を総称して上下方向と記載し、上下方向に垂直な方向を水平方向と記載する。図１から図３では、上下方向を方向Ｚにて示し、上下方向に直交し且つ互いに直交する２方向を方向Ｘと方向Ｙにて示している。

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、半導体ウエハを搬送するための水平多関節型のロボットである。ロボット１は、半導体ウエハが搭載される２個のハンド３と、２個のハンド３が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム４と、アーム４の基端側が連結される本体部５とを備えている。ロボット１は、クリーンルームの中に配置されている。

アーム４は、基端側が本体部５に回動可能に連結される第１アーム部７と、第１アーム部７の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部８と、第２アーム部８の先端側に基端側が回動可能に連結される第３アーム部９とから構成されている。２個のハンド３は、第３アーム部９の先端側に回動可能に連結されている。２個のハンド３は、上下方向で重なるように配置されている。また、本体部５と第１アーム部７と第２アーム部８と第３アーム部９とハンド３とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。

（本体部の構成）
図２は、図１に示す本体部５の縦断面図である。図３は、図１に示す本体部５の横断面図である。

本体部５は、アーム４の基端側が上面側に回動可能に連結される昇降体１０と、昇降体１０を上下方向に昇降可能に保持する筐体１１と、筐体１１に収容されるとともに筐体１１に対して昇降体１０を昇降させる昇降機構１２と、筐体１１の上面部１６に固定されたノズル部４００と、筐体１１の内部の気体（具体的には空気）を排出するための排気ファン１３と、を備えている。本形態の本体部５は、１個の排気ファン１３を備えている。

筐体１１の外形は、略角柱状となっている。筐体１１は、筐体１１の底面を構成する底面部１５と、筐体１１の上面を構成する上面部１６と、筐体１１の側面を構成する側面部１７とを備えている。底面部１５は、矩形の平板状に形成されており、底面部１５の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。上面部１６は、略半円板状に形成されており、上面部１６の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。側面部１７は、薄肉の略角筒状に形成されている。

筐体１１の内部には、空間（以下、この空間を「内部空間Ｓ」とする。）が形成されている。筐体１１は、昇降機構１２の一部を構成する後述のネジ軸２５を保持するための保持部材１８と、一端側が昇降体１０に固定され他端側が筐体１１に固定される配線や配管を支持する支持機構１９（図３参照）とを備えている。図３に示すように、保持部材１８は、側面部１７の内周側に配置されている。保持部材１８は、側面部１７の内周面に固定されている。保持部材１８には、昇降体１０を上下方向へ案内するための２本のガイドレール２０が固定されている。ガイドレール２０は、ガイドレール２０の長手方向と上下方向とが一致するように配置されている。２本のガイドレール２０は、水平方向において一定の間隔をあけた状態で配置されている。支持機構１９は、たとえば、ケーブルベヤ（登録商標）である。支持機構１９は、側面部１７の内周側に配置されている。

図２に示すように、底面部１５には、排気ファン１３から排出される気体が通過する排気穴１５ａが形成されている。本形態では、１個の排気穴１５ａが底面部１５に形成されている。排気穴１５ａは、上下方向で底面部１５を貫通している。すなわち、排気穴１５ａは、筐体１１を貫通している。排気穴１５ａの下側は、ロボット１が配置されるクリーンルームの外部に通じている。

排気ファン１３は、筐体１１の内部に配置されている。また、排気ファン１３は、底面部１５の上面側に取り付けられている。本形態の排気穴１５ａは、段付き穴となっており、排気ファン１３の下端部は、排気穴１５ａの上端部の中に配置されている。排気ファン１３および排気穴１５ａは、昇降体１０の真下に配置されている。排気ファン１３は、下側に向かって筐体１１の内部の気体を排出する。すなわち、排気ファン１３は、筐体１１の内部の気体が排気穴１５ａを通過してクリーンルームの外部に排出されるように、下側に向かって筐体１１の内部の気体を排出する。

上面部１６には、昇降体１０を昇降させるための開口１６Ｋが形成されている。開口１６Ｋは、上下方向で上面部１６を貫通している。上面部１６の上面には、略半円板状のノズル部４００が固定されている。ノズル部４００は、その厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。ノズル部４００には、昇降体１０を昇降させるための開口４０Ｋが形成されている。開口４０Ｋは、上下方向でノズル部４００を貫通している。開口１６Ｋと開口４０Ｋの中には、昇降体１０の一部が配置されている。

図２に示すように、昇降機構１２は、モータ２３とボールネジ２４とを備えている。ボールネジ２４は、モータ２３の動力で回転するネジ軸２５と、ネジ軸２５に係合するナット２６とを備えている。モータ２３は、筐体１１の内部の下端側に固定されている。ネジ軸２５は、ネジ軸２５の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。ネジ軸２５は、保持部材１８に回転可能に保持されている。モータ２３の出力軸には、プーリ２７が取り付けられている。ネジ軸２５の下端には、プーリ２８が取り付けられている。プーリ２７とプーリ２８とには、ベルト２９が架け渡されている。ナット２６は、昇降体１０に取り付けられており、モータ２３が回転すると、昇降体１０が筐体１１に対して昇降する。

昇降体１０は、上下方向に長いブロック状に形成されている。図３に示すように、昇降体１０は、ガイドレール２０に係合する２個のガイドブロック３１を備えている。ガイドブロック３１は、昇降体１０の本体フレームに固定されている。昇降体１０の下端には、底面部が形成されており、昇降体１０の下端は、たとえば、この底面部によって封鎖されている。

昇降体１０の上端側の内部には、第１アーム部７および第２アーム部８を回動させて第１アーム部７と第２アーム部８とからなるアーム４の一部を伸縮させる駆動機構（図示省略）の一部が配置されている。たとえば、昇降体１０の上端側の内部には、モータと、このモータの動力を減速して第１アーム部７に伝達するための減速機とが配置されている。減速機は、昇降体１０と第１アーム部７との連結部（すなわち、関節部）を構成しており、第１アーム部７の基端側の下面は、減速機の出力軸に固定されている。

昇降体１０が下限位置まで下降しているとき（図２に示す状態のとき）には、昇降体１０の全体が筐体１１の内部に配置されている。また、昇降体１０が上限位置まで上昇しているときには、昇降体１０の下端側部分が筐体１１の内部に配置されている。すなわち、筐体１１に対して昇降する昇降体１０の少なくとも下端側部分は、筐体１１に収容されている。また、昇降体１０が下限位置まで下降しているときにも、昇降体１０の上端部は、上面部１６の開口１６Ｋ及びノズル部４００の開口４０Ｋの中に配置されており、開口１６Ｋ及び開口４０Ｋの縁と、昇降体１０の外周面との間には、常時、隙間Ｇ（図９、図１０参照）が形成されている。排気穴１５ａの大きさは、昇降体１０の昇降時に、排気ファン１３から排出される気体が通過可能な大きさとなっている。

（ノズル部材の構成）
図４は、本体部５における上面部１６及びノズル部４００を上側から見た斜視図である。図５は、図４に示す上面部１６及びノズル部４００を下側からみた斜視図である。図６は、図５において上面部１６の図示を省略した斜視図である。

図６に示すように、ノズル部４００は、厚み方向が上下方向と一致し且つ上下方向に貫通する開口４０Ｋを有する平板状の平板部材４０と、平板部材４０に固定された図示の例では４つの継手４３と、を備える。各継手４３には図示省略の配管が連結されている。この配管は、クリーンルームの外部に設置された圧縮空気を送出するポンプ等の空気送出源に接続されている。この配管には、電磁弁が設けられており、空気送出源から継手４３へ空気を供給する状態と、空気送出源から継手４３への空気の供給を停止する状態とを切替可能となっている。電磁弁と配管は、筐体１１に収容されている。

平板部材４０は、厚み方向が上下方向と一致し且つ上下方向に貫通する貫通孔４１Ｋを有するサブ平板部材４１と、貫通孔４１Ｋに挿入された状態でサブ平板部材４１と固定された略八角形状の枠状部材４２と、から構成されている。

図７は、サブ平板部材４１を下側からみた斜視図である。図８は、枠状部材４２を上側からみた斜視図である。図９及び図１０は、ロボット１におけるノズル部４００付近の縦端面図である。図９と図１０は、断面の切断位置が方向Ｙにおいて異なっている。

図７に示すように、サブ平板部材４１の貫通孔４１Ｋは、下側から上側に向かって狭くなる段付き構造となっている。具体的には、貫通孔４１Ｋは、最も上側に位置する上段開口部４１１と、上段開口部４１１よりも径が大きく且つ最も下側に位置する下段開口部４１２と、上段開口部４１１と下段開口部４１２の間の中段開口部４１３と、から構成されている。中段開口部４１３の径は、上段開口部４１１より大きく、下段開口部４１２より小さい。上段開口部４１１と中段開口部４１３の間は上下方向に垂直な枠状の平面部４１４となっている。中段開口部４１３と下段開口部４１２の間は上下方向に垂直な枠状の平面部４１５となっている。図７及び図９に示すように、平面部４１４における上段開口部４１１側の縁部には、下方向に突出する枠状の第二凸部４１４ａが形成されている。

図８に示すように、枠状部材４２の上面４２１には、枠状部材４２の開口４２３側の端部から上側に突出する枠状の凸部４２２が形成されている。枠状部材４２の上面４２１における凸部４２２よりも外側には、継手４３が装着される継手装着用孔４２１ａが４つ形成されている。図１０に示すように、継手装着用孔４２１ａは、枠状部材４２を上下方向（厚み方向）に貫通している。４つの継手装着用孔４２１ａは、枠状部材４２の周方向において等間隔で並んで形成されている。４つの継手装着用孔４２１ａの各々には、図６及び図１０に示すように継手４３が装着されている。図８及び図９に示すように、凸部４２２の上面４２２ａには、枠状部材４２の開口４２３側の縁部から上側に突出する第一凸部４２４が形成されている。

図７に示したサブ平板部材４１の平面部４１５と、図８に示した枠状部材４２の上面４２１とが突き合わされた状態で、図６に示すように、平面部４１５と枠状部材４２とがネジやボルトによって固定されている。この固定状態では、サブ平板部材４１の上段開口部４１１と枠状部材４２の開口４２３とによって、平板部材４０の開口４０Ｋが構成されている。また、図９に示すように、枠状部材４２の第一凸部４２４とサブ平板部材４１の第二凸部４１４ａとが、僅かな隙間Ｓｐａを空けた状態で対面している。この隙間Ｓｐａは、平板部材４０の開口４０Ｋに露出しており、この開口４０Ｋを移動可能な昇降体１０の外周を取り囲むように形成されている。隙間Ｓｐａの上下方向の位置は、平板部材４０の厚み方向の中心位置よりも上側となっている。また、この固定状態では、サブ平板部材４１の内周部（貫通孔４１Ｋの内面）と枠状部材４２とで囲まれる空間ＳＰが平板部材４０の内部に形成されている。空間ＳＰは、枠状部材４２に形成された４つの継手装着用孔４２１ａと、上記の隙間Ｓｐａとを除くと、密閉された空間となっている。

枠状部材４２に形成された４つの継手装着用孔４２１ａは、空間ＳＰと連通するように、空間ＳＰと重なる位置に形成されている。上記の空気送出源が作動すると、配管及び継手４３を介して、空間ＳＰに空気が供給される。空間ＳＰに供給された空気は、上記の隙間Ｓｐａから平板部材４０の開口４０Ｋに向けて送出される。このように、空間ＳＰは、継手４３から供給される空気を開口４０Ｋに送出する空気流路を構成している。隙間Ｓｐａは、この空気流路の出口を構成している。継手４３は、この空気流路の入り口を構成している。図５に示したように、上面部１６の開口１６Ｋは、継手４３が露出するように構成されている。

筐体１１の内部には、図示していないが、ハンド３の制御、アーム４の制御、モータ２３の制御による昇降体１０の上昇及び下降の制御、排気ファン１３の制御、上述した配管の電磁弁の制御等を行う制御部（具体的には、プロセッサ）が収容されている。この制御部は、昇降体１０を上昇させる制御を行う場合には、排気ファン１３を停止し、且つ、電磁弁を開けてノズル部４００の隙間Ｓｐａから空気を送出させる。一方、制御部は、昇降体１０を下降させる制御を行う場合には、電磁弁を閉じ且つ排気ファン１３を作動させる。

（本形態の主な効果）
本形態では、昇降体１０が上昇するときにノズル部４００の隙間Ｓｐａから空気が送出される。このため、筐体１１の開口１６Ｋ及びノズル部４００の開口４０Ｋの縁と昇降体１０の外周面との間の隙間Ｇから、筐体１１の内部空間Ｓの気体が排出されるのを防止することができる。また、昇降体１０が上昇するときに、隙間Ｇを介して、ノズル部４００からの空気が筐体１１に流入することで、筐体１１の内部を正圧にすることができ、筐体１１に外気が侵入するのを防ぐことができる。この結果、筐体１１の内気の流出防止と、筐体１１への外気の侵入防止とを実現できる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態において、平板部材４０は、サブ平板部材４１と枠状部材４２の２部材で構成されている。しかし、平板部材４０は、単一の部材によって構成されていてもよい。平板部材４０を複数の部材の突合せによって構成する場合には、単一の部材によって平板部材４０を構成する場合よりも、製造コストを下げることができる。

上述した形態において、本体部５は、昇降体１０を水平方向に移動可能に構成されたものであってもよい。

上述した形態において、排気ファン１３および排気穴１５ａは、昇降体１０の真下からずれた位置に配置されていても良い。また、排気穴１５ａは、側面部１７に形成されていても良い。また、上述した形態において、本体部５は、２個以上の排気ファン１３を備えていても良い。この場合には、排気ファン１３の数に応じて、排気ファン１３の個数と同数の排気穴１５ａが形成される。また、上述した形態において、昇降体１０が下限位置まで下降しているときに、昇降体１０の上端部が筐体１１の上端より上側へ突出していても良い。

上述した形態において、第３アーム部９の先端側に１個のハンド３が取り付けられていても良い。また、上述した形態において、アーム４は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、液晶用のガラス基板等の他の搬送対象物を搬送するロボットであっても良い。

本明細書には少なくとも以下の事項が記載されている。なお、括弧内には、上記した実施形態において対応する構成要素等を示しているが、これに限定されるものではない。

（１）
開口（開口１６Ｋ）を有する筐体（筐体１１）と、
上記開口を通過可能な状態で上記筐体に収容され、第一方向（上方向）と上記第一方向とは逆の第二方向（下方向）とに移動自在に構成された可動体（昇降体１０）と、
上記可動体に連結されたアーム（アーム４）と、
上記筐体の内部の気体を排出するための排気ファン（排気ファン１３）と、
上記筐体の上記開口と上記可動体との隙間（隙間Ｇ）に向けて空気を送出可能なノズル部（ノズル部４００）と、を備える産業用ロボット（ロボット１）。

（１）によれば、例えば、可動体におけるアーム側と反対側の端部が開口に近づく動作（上昇動作）のときに、ノズル部から空気を隙間に送出することで、筐体の内気が外部に流出するのを防ぎつつ、筐体の内部を正圧にして筐体に外気が侵入するのを防ぐことができる。

（２）
（１）記載の産業用ロボットであって、
上記第一方向は、上記筐体における上記開口側と反対側の端部から上記可動体が離れる方向であり、
上記可動体が上記第一方向に移動している状態において上記ノズル部から空気を送出させ、上記可動体が上記第二方向に移動している状態において、上記ノズル部からの空気の送出を停止させ且つ上記排気ファンを作動させる制御を行う制御部を備える産業用ロボット。

（２）によれば、可動体が第一方向に移動する動作（上昇動作）のときに、筐体の内気が外部に流出するのを防ぎつつ、筐体に外気が侵入するのを防ぐことができる。また、可動体が第二方向に移動する動作（下降動作）のときに、筐体の内気が筐体の開口から押し出されるのを防ぐことができる。

（３）
（１）又は（２）記載の産業用ロボットであって、
上記ノズル部は、上記筐体の上記開口側の端部上に設けられた、上記可動体が通過可能な第一貫通孔（開口４０Ｋ）を有する平板部材（平板部材４０）と、空気送出源に連結された連結部材（継手４３）と、を有し、
上記平板部材は、上記第一貫通孔と上記連結部材とを繋ぐ空気流路（空間ＳＰ）を内部に有する産業用ロボット。

（３）によれば、既存の産業用ロボットの筐体に平板部材と連結部材を含むノズル部と、連結部材と空気送出源を繋ぐ配管と、を追加するだけでよい。このため、上述した効果を、製造コストを大きく増やすことなく実現できる。

（４）
（３）記載の産業用ロボットであって、
上記平板部材は、上記可動体が通過可能な第二貫通孔（貫通孔４１Ｋ）を有するサブ平板部材（サブ平板部材４１）と、上記第二貫通孔に挿入された枠状部材（枠状部材４２）とにより構成され、
上記枠状部材には、上記可動体の可動方向に貫通する孔部（継手装着用孔４２１ａ）が形成され、
上記孔部に上記連結部材が装着され、
上記サブ平板部材と上記枠状部材との間の空間（空間ＳＰ）によって上記空気流路が形成されている産業用ロボット。

（４）によれば、空気流路を容易に形成できる。このため、製造コストを下げることができる。

（５）
（４）記載の産業用ロボットであって、
上記サブ平板部材の上記第二貫通孔は段付きの構造であり、
上記枠状部材には、内周縁部から上記サブ平板部材側に突出する第一凸部（第一凸部４２４）が形成されており、
上記サブ平板部材の内周部には、上記第二貫通孔の縁部から上記枠状部材側に突出し且つ上記枠状部材の上記第一凸部と対面する第二凸部（第二凸部４１４ａ）が形成されており、
上記第一凸部と上記第二凸部との隙間（隙間Ｓｐａ）により、上記空気流路の出口が形成されている産業用ロボット。

（５）によれば、可動体と平板部材との隙間を取り囲んで空気流路の出口が設けられる。このため、筐体の内気が外部に流出するのを防ぎつつ、筐体に外気が侵入するのを防ぐ効果を高めることができる。

（６）
（５）記載の産業用ロボットであって、
上記枠状部材には、上記孔部が周方向に等間隔で配置されている産業用ロボット。

（６）によれば、空気流路の出口の位置によらずに一定量の空気を送出可能となり、空気の送出によって可動体の動きが妨げられるのを防ぐことができる。

（７）
（５）又は（６）記載の産業用ロボットであって、
上記平板部材の厚み方向（上下方向）における、上記第一凸部と上記第二凸部との上記隙間の位置は、上記平板部材の厚みの中心位置よりも上記第一方向側にある産業用ロボット。

（７）によれば、筐体の内気が外部に流出するのを防ぎつつ、筐体に外気が侵入するのを防ぐ効果を高めることができる。

１ロボット（産業用ロボット）
４アーム
５本体部
１０昇降体
１１筐体
１２昇降機構
１３排気ファン
１５底面部
１５ａ排気穴
１６上面部
１６Ｋ開口
４００ノズル部
Ｇ隙間

Claims

クリーンルームの中に配置される産業用ロボットであって、
開口を有する筐体と、
前記開口を通過可能な状態で前記筐体に収容され、第一方向と前記第一方向とは逆の第二方向とに移動自在に構成された可動体と、
前記可動体に連結されたアームと、
前記筐体の内部の気体を、前記クリーンルームの外部に排出するための排気ファンと、
前記筐体の前記開口と前記可動体との隙間に向けて空気を送出可能なノズル部と、を備え、
前記第一方向は、前記筐体における前記開口側と反対側の端部から前記可動体が離れる方向であり、
前記可動体が前記第一方向に移動している状態において前記ノズル部から空気を送出させ、前記可動体が前記第二方向に移動している状態において、前記ノズル部からの空気の送出を停止させ且つ前記排気ファンを作動させる制御を行う制御部を備える産業用ロボット。
請求項１記載の産業用ロボットであって、
前記ノズル部は、前記筐体の前記開口側の端部上に設けられた、前記可動体が通過可能な第一貫通孔を有する平板部材と、空気送出源に連結された連結部材と、を有し、
前記平板部材は、前記第一貫通孔と前記連結部材とを繋ぐ空気流路を内部に有する産業用ロボット。
クリーンルームの中に配置される産業用ロボットであって、
開口を有する筐体と、
前記開口を通過可能な状態で前記筐体に収容され、第一方向と前記第一方向とは逆の第二方向とに移動自在に構成された可動体と、
前記可動体に連結されたアームと、
前記筐体の内部の気体を、前記クリーンルームの外部に排出するための排気ファンと、
前記筐体の前記開口と前記可動体との隙間に向けて空気を送出可能なノズル部と、を備え、
前記ノズル部は、前記筐体の前記開口側の端部上に設けられた、前記可動体が通過可能な第一貫通孔を有する平板部材と、空気送出源に連結された連結部材と、を有し、
前記平板部材は、前記第一貫通孔と前記連結部材とを繋ぐ空気流路を内部に有する産業用ロボット。
請求項２又は３記載の産業用ロボットであって、
前記平板部材は、前記可動体が通過可能な第二貫通孔を有するサブ平板部材と、前記第二貫通孔に挿入された枠状部材とにより構成され、
前記枠状部材には、前記可動体の可動方向に貫通する孔部が形成され、
前記孔部に前記連結部材が装着され、
前記サブ平板部材と前記枠状部材との間の空間によって前記空気流路が形成されている産業用ロボット。
請求項４記載の産業用ロボットであって、
前記サブ平板部材の前記第二貫通孔は段付きの構造であり、
前記枠状部材には、内周縁部から前記サブ平板部材側に突出する第一凸部が形成されており、
前記サブ平板部材の内周部には、前記第二貫通孔の縁部から前記枠状部材側に突出し且つ前記枠状部材の前記第一凸部と対面する第二凸部が形成されており、
前記第一凸部と前記第二凸部との隙間により、前記空気流路の出口が形成されている産業用ロボット。
請求項５記載の産業用ロボットであって、
前記枠状部材には、前記孔部が周方向に等間隔で配置されている産業用ロボット。
請求項５又は６記載の産業用ロボットであって、
前記平板部材の厚み方向における、前記第一凸部と前記第二凸部との前記隙間の位置は、前記平板部材の厚みの中心位置よりも前記第一方向側にある産業用ロボット。