KR102522017B1

KR102522017B1 - 산업용 로봇

Info

Publication number: KR102522017B1
Application number: KR1020210133804A
Authority: KR
Inventors: 마사히로 아오키
Original assignee: 니덱 인스트루먼츠 가부시키가이샤
Priority date: 2020-10-19
Filing date: 2021-10-08
Publication date: 2023-04-17
Also published as: CN114378838B; JP2022066842A; KR20220051807A; JP7561568B2; CN114378838A

Abstract

하우징으로부터 외부로의 진애의 유출을 방지하고 또한 하우징 내부로의 외기의 유입을 방지하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공한다.
로봇(1)은 개구(16K)를 갖는 하우징(11)과, 개구(16K)를 통과 가능한 상태에서 하우징(11)에 수용되고, 상하 방향으로 이동 가능하게 구성된 승강체(10)와, 승강체(10)에 연결된 암(4)과, 하우징(11)의 내부 기체를 배출하기 위한 배기팬(13)과, 하우징(11)의 개구(16K)와 승강체(10)의 간극(G)을 향하여 공기를 송출 가능한 노즐부(400)를 구비한다.

Description

산업용 로봇{INDUSTRIAL ROBOT}

본 발명은, 산업용 로봇에 관한 것이다.

종래, 반도체 웨이퍼 등의 반송 대상물을 반송하는 산업용 로봇이 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 특허문헌 1에는, 암과, 암의 기단측이 상면측에 연결되는 승강체, 승강체의 적어도 하단측 부분이 수용되는 하우징, 하우징에 수용됨과 함께 하우징에 대하여 승강체를 승강시키는 승강 기구 및 하우징의 내부의 기체를 배출하기 위한 배기팬을 포함하는 본체부를, 구비하는 산업용 로봇이 기재되어 있다. 이 산업용 로봇에서는 승강체가 상승 또는 하강할 때, 하우징의 내부 공간의 기체의 모두를 배기팬에 의해 본체부로부터 배출함으로써, 본체부의 내부로부터 암측의 외부로의 진애의 유출을 방지하는 것이 가능하게 되어 있다.

일본 특허 공개 제2019-123024호 공보

특허문헌 1에 기재된 산업용 로봇과 같이, 본체부의 내부의 공기 유출을 방지하는 구성에서는, 배기팬의 작동에 의해, 본체부 외부의 공기가 본체부 내에 유입되게 된다. 그러나, 본체부의 내부에 외기를 최대한 흡입하고 싶지 않은 상황도 있다. 예를 들어, 부식 가스가 충만하고 있는 장소에서 산업용 로봇이 사용되는 경우에는, 이 부식 가스에 의한 본체부의 내부 구조에 대한 영향을 방지할 필요가 있다. 특허문헌 1은, 이와 같은 과제에 대해서는 고려하고 있지 않다.

본 발명의 목적은, 암을 이동 가능하게 지지하는 하우징 내로부터 외부로의 진애의 유출을 방지하고 또한 하우징 내부로의 외기의 유입을 방지하는 것이 가능한 산업용 로봇을 제공하는 데 있다.

본 발명의 일 양태의 산업용 로봇은, 개구를 갖는 하우징과, 상기 개구를 통과 가능한 상태에서 상기 하우징에 수용되고, 제1 방향과 상기 제1 방향과는 역의 제2 방향으로 이동 가능하게 구성된 가동체와, 상기 가동체에 연결된 암과, 상기 하우징의 내부의 기체를 배출하기 위한 배기팬과, 상기 하우징의 상기 개구와 상기 가동체의 간극을 향하여 공기를 송출 가능한 노즐부를 구비하는 것이다.

본 발명에 따르면, 암을 이동 가능하게 지지하는 하우징 내로부터 외부로의 진애의 유출을 방지하고 또한 하우징 내부로의 외기의 유입을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 산업용 로봇의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시하는 본체부의 종단면도이다.
도 3은 도 1에 도시하는 본체부의 횡단면도이다.
도 4는 도 1에 도시하는 본체부에 있어서의 상면부 및 노즐부를 상측에서 본 사시도이다.
도 5는 도 4에 도시하는 상면부 및 노즐부를 하측에서 본 사시도이다.
도 6은 도 5에 있어서 상면부의 도시를 생략한 사시도이다.
도 7은 도 6에 도시하는 서브 평판 부재를 하측에서 본 사시도이다.
도 8은 도 6에 도시하는 프레임상 부재를 상측에서 본 사시도이다.
도 9는 도 1에 도시하는 로봇에 있어서의 노즐부 부근의 종단면도이다.
도 10은 도 1에 도시하는 로봇에 있어서의 노즐부 부근의 종단면도이다.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.

(산업용 로봇의 개략 구성)

도 1은, 본 발명의 실시 형태에 따른 산업용 로봇(1)의 사시도이다. 이하에서는, 연직 방향을 하측 방향이라고 기재하고, 연직 방향의 역방향을 상측 방향이라고 기재하고, 상측 방향과 하측 방향을 총칭하여 상하 방향이라고 기재하고, 상하 방향으로 수직인 방향을 수평 방향이라고 기재한다. 도 1 내지 도 3에서는, 상하 방향을 방향 Z로 나타내고, 상하 방향으로 직교하고 또한 서로 직교하는 2 방향을 방향 X와 방향 Y로 나타내고 있다.

본 형태의 산업용 로봇(1)(이하,「로봇(1)」으로 한다.)은 반도체 웨이퍼를 반송하기 위한 수평 다관절형의 로봇이다. 로봇(1)은 반도체 웨이퍼가 탑재되는 2개의 핸드(3)와, 2개의 핸드(3)가 선단측에 회동 가능하게 연결됨과 함께 수평 방향으로 동작하는 암(4)과, 암(4)의 기단측이 연결되는 본체부(5)를 구비하고 있다. 로봇(1)은 클린 룸 안에 배치되어 있다.

암(4)은 기단측이 본체부(5)에 회동 가능하게 연결되는 제1 암부(7)와, 제1 암부(7)의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제2 암부(8)와, 제2 암부(8)의 선단측에 기단측이 회동 가능하게 연결되는 제3 암부(9)로 구성되어 있다. 2개의 핸드(3)는 제3 암부(9)의 선단측에 회동 가능하게 연결되어 있다. 2개의 핸드(3)는 상하 방향에서 겹치도록 배치되어 있다. 또한, 본체부(5)와 제1 암부(7)와 제2 암부(8)와 제3 암부(9)와 핸드(3)는, 상하 방향에 있어서, 하측으로부터 이 순서대로 배치되어 있다.

(본체부의 구성)

도 2는, 도 1에 도시하는 본체부(5)의 종단면도이다. 도 3은, 도 1에 도시하는 본체부(5)의 횡단면도이다.

본체부(5)는 암(4)의 기단측이 상면측에 회동 가능하게 연결되는 승강체(10)과, 승강체(10)를 상하 방향에 승강 가능하게 보유 지지하는 하우징(11)과, 하우징(11)에 수용됨과 함께 하우징(11)에 대하여 승강체(10)를 승강시키는 승강 기구(12)와, 하우징(11)의 상면부(16)에 고정된 노즐부(400)와, 하우징(11)의 내부 기체(구체적으로는 공기)를 배출하기 위한 배기팬(13)을 구비하고 있다. 본 형태의 본체부(5)는 1개의 배기팬(13)을 구비하고 있다.

하우징(11)의 외형은, 대략 각주상으로 되어 있다. 하우징(11)은 하우징(11)의 저면을 구성하는 저면부(15)와, 하우징(11)의 상면을 구성하는 상면부(16)와, 하우징(11)의 측면을 구성하는 측면부(17)를 구비하고 있다. 저면부(15)는 직사각형의 평판상으로 형성되어 있고, 저면부(15)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 상면부(16)는, 대략 반원판상으로 형성되어 있고, 상면부(16)의 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 측면부(17)는 박육의 대략 각통상으로 형성되어 있다.

하우징(11)의 내부에는, 공간(이하, 이 공간을 「내부 공간 S」로 한다.)이 형성되어 있다. 하우징(11)은 승강 기구(12)의 일부를 구성하는 후술하는 나사축(25)을 보유 지지하기 위한 보유 지지 부재(18)와, 일단부측이 승강체(10)에 고정되고 타단부측이 하우징(11)에 고정되는 배선이나 배관을 지지하는 지지 기구(19)(도 3 참조)를 구비하고 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 보유 지지 부재(18)는 측면부(17)의 내주측에 배치되어 있다. 보유 지지 부재(18)는 측면부(17)의 내주면에 고정되어 있다. 보유 지지 부재(18)에는, 승강체(10)를 상하 방향으로 안내하기 위한 2개의 가이드 레일(20)이 고정되어 있다. 가이드 레일(20)은 가이드 레일(20)의 길이 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 2개의 가이드 레일(20)은 수평 방향에 있어서 일정한 간격을 둔 상태에서 배치되어 있다. 지지 기구(19)는, 예를 들어 케이블 베이어(등록 상표)이다. 지지 기구(19)는 측면부(17)의 내주측에 배치되어 있다.

도 2에 도시한 바와 같이, 저면부(15)에는, 배기팬(13)으로부터 배출되는 기체가 통과하는 배기 구멍(15a)이 형성되어 있다. 본 형태에서는, 1개의 배기 구멍(15a)이 저면부(15)에 형성되어 있다. 배기 구멍(15a)은 상하 방향에서 저면부(15)를 관통하고 있다. 즉, 배기 구멍(15a)은 하우징(11)을 관통하고 있다. 배기 구멍(15a)의 하측은, 로봇(1)이 배치되는 클린 룸의 외부에 통하고 있다.

배기팬(13)은 하우징(11)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 배기팬(13)은 저면부(15)의 상면측에 설치되어 있다. 본 형태의 배기 구멍(15a)은 단차 구멍이 되어 있고, 배기팬(13)의 하단부는 배기 구멍(15a)의 상단부 중에 배치되어 있다. 배기팬(13) 및 배기 구멍(15a)은 승강체(10)의 바로 아래에 배치되어 있다. 배기팬(13)은 하측을 향하여 하우징(11)의 내부 기체를 배출한다. 즉, 배기팬(13)은 하우징(11)의 내부 기체가 배기 구멍(15a)을 통과하여 클린 룸의 외부로 배출되도록, 하측을 향하여 하우징(11)의 내부 기체를 배출한다.

상면부(16)에는, 승강체(10)를 승강시키기 위한 개구(16K)가 형성되어 있다. 개구(16K)는 상하 방향에서 상면부(16)를 관통하고 있다. 상면부(16)의 상면에는, 대략 반원판상의 노즐부(400)가 고정되어 있다. 노즐부(400)는 그 두께 방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 노즐부(400)에는 승강체(10)를 승강시키기 위한 개구(40K)가 형성되어 있다. 개구(40K)는 상하 방향에서 노즐부(400)를 관통하고 있다. 개구(16K)와 개구(40K) 중에는 승강체(10)의 일부가 배치되어 있다.

도 2에 도시한 바와 같이, 승강 기구(12)는 모터(23)와 볼 나사(24)를 구비하고 있다. 볼 나사(24)는 모터(23)의 동력으로 회전하는 나사축(25)과, 나사축(25)에 걸림 결합하는 너트(26)를 구비하고 있다. 모터(23)는 하우징(11)의 내부 하단측에 고정되어 있다. 나사축(25)은 나사축(25)의 축방향과 상하 방향이 일치하도록 배치되어 있다. 나사축(25)은 보유 지지 부재(18)에 회전 가능하게 보유 지지되어 있다. 모터(23)의 출력축에는 풀리(27)가 설치되어 있다. 나사축(25)의 하단에는 풀리(28)가 설치되어 있다. 풀리(27)와 풀리(28)에는 벨트(29)가 걸쳐져 있다. 너트(26)는 승강체(10)에 설치되어 있고, 모터(23)가 회전하면, 승강체(10)가 하우징(11)에 대하여 승강한다.

승강체(10)는 상하 방향에 긴 블록 상으로 형성되어 있다. 도 3에 도시한 바와 같이, 승강체(10)는 가이드 레일(20)에 걸림 결합하는 2개의 가이드 블록(31)을 구비하고 있다. 가이드 블록(31)은 승강체(10)의 본체 프레임에 고정되어 있다. 승강체(10)의 하단에는 저면부가 형성되어 있고, 승강체(10)의 하단은, 예를 들어, 이 저면부에 의해 봉쇄되어 있다.

승강체(10)의 상단측의 내부에는, 제1 암부(7) 및 제2 암부(8)를 회동시켜서 제1 암부(7)와 제2 암부(8)로 이루어지는 암(4)의 일부를 신축시키는 구동 기구(도시 생략)의 일부가 배치되어 있다. 예를 들어, 승강체(10)의 상단측의 내부에는 모터와, 이 모터의 동력을 감속하여 제1 암부(7)에 전달하기 위한 감속기가 배치되어 있다. 감속기는, 승강체(10)와 제1 암부(7)의 연결부(즉, 관절부)를 구성하고 있고, 제1 암부(7)의 기단측의 하면은 감속기의 출력축에 고정되어 있다.

승강체(10)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때(도 2에 도시하는 상태일 때)에는, 승강체(10)의 전체가 하우징(11)의 내부에 배치되어 있다. 또한, 승강체(10)가 상한 위치까지 상승하고 있을 때에는, 승강체(10)의 하단측 부분이 하우징(11)의 내부에 배치되어 있다. 즉, 하우징(11)에 대하여 승강하는 승강체(10)의 적어도 하단측 부분은, 하우징(11)에 수용되어 있다. 또한, 승강체(10)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때에도, 승강체(10)의 상단부는 상면부(16)의 개구(16K) 및 노즐부(400)의 개구(40K) 중에 배치되어 있고, 개구(16K) 및 개구(40K)의 테두리와, 승강체(10)의 외주면 사이에는, 상시, 간극(G)(도 9, 도 10 참조)이 형성되어 있다. 배기 구멍(15a)의 크기는 승강체(10)의 승강 시에, 배기팬(13)으로부터 배출되는 기체가 통과 가능한 크기로 되어 있다.

(노즐 부재의 구성)

도 4는, 본체부(5)에 있어서의 상면부(16) 및 노즐부(400)를 상측에서 본 사시도이다. 도 5는, 도 4에 도시하는 상면부(16) 및 노즐부(400)를 하측에서 본 사시도이다. 도 6은, 도 5에 있어서 상면부(16)의 도시를 생략한 사시도이다.

도 6에 도시한 바와 같이, 노즐부(400)는 두께 방향이 상하 방향과 일치하고 또한 상하 방향으로 관통하는 개구(40K)를 갖는 평판상의 평판 부재(40)와, 평판 부재(40)에 고정된 도시의 예에서는 4개의 조인트(43)를 구비한다. 각 조인트(43)에는 도시 생략의 배관이 연결되어 있다. 이 배관은, 클린 룸의 외부에 설치된 압축 공기를 송출하는 펌프 등의 공기 송출원에 접속되어 있다. 이 배관에는 전자 밸브가 마련되어 있고, 공기 송출원으로부터 조인트(43)에 공기를 공급하는 상태와, 공기 송출원으로부터 조인트(43)에 대한 공기의 공급을 정지하는 상태를 전환 가능하게 되어 있다. 전자 밸브와 배관은 하우징(11)에 수용되어 있다.

평판 부재(40)는 두께 방향이 상하 방향과 일치하고 또한 상하 방향으로 관통하는 관통 구멍(41K)을 갖는 서브 평판 부재(41)와, 관통 구멍(41K)에 삽입된 상태에서 서브 평판 부재(41)와 고정된 대략 8각 형상의 프레임상 부재(42)로 구성되어 있다.

도 7은, 서브 평판 부재(41)를 하측에서 본 사시도이다. 도 8은, 프레임상 부재(42)를 상측에서 본 사시도이다. 도 9 및 도 10은, 로봇(1)에 있어서의 노즐부(400) 부근의 종단면도이다. 도 9와 도 10은, 단면의 절단 위치가 방향 Y에 있어서 다르다.

도 7에 도시한 바와 같이, 서브 평판 부재(41)의 관통 구멍(41K)은 하측으로부터 상측을 향하여 좁아지는 단차 구조로 되어 있다. 구체적으로는, 관통 구멍(41K)은 가장 상측에 위치하는 상단 개구부(411)와, 상단 개구부(411)보다도 직경이 크고 또한 가장 하측에 위치하는 하단 개구부(412)와, 상단 개구부(411)와 하단 개구부(412) 사이의 중단 개구부(413)로 구성되어 있다. 중단 개구부(413)의 직경은 상단 개구부(411)보다 크고, 하단 개구부(412)보다 작다. 상단 개구부(411)와 중단 개구부(413) 사이는 상하 방향으로 수직인 프레임상의 평면부(414)가 되어 있다. 중단 개구부(413)와 하단 개구부(412) 사이는 상하 방향으로 수직인 프레임상의 평면부(415)가 되어 있다. 도 7 및 도 9에 도시한 바와 같이, 평면부(414)에 있어서의 상단 개구부(411)측의 테두리부에는, 하측 방향으로 돌출되는 프레임상의 제2 볼록부(414a)가 형성되어 있다.

도 8에 도시한 바와 같이, 프레임상 부재(42)의 상면(421)에는, 프레임상 부재(42)의 개구(423)측의 단부로부터 상측으로 돌출되는 프레임상의 볼록부(422)가 형성되어 있다. 프레임상 부재(42)의 상면(421)에 있어서의 볼록부(422)보다도 외측에는, 조인트(43)가 장착되는 조인트 장착용 구멍(421a)이 4개 형성되어 있다. 도 10에 도시한 바와 같이, 조인트 장착용 구멍(421a)은 프레임상 부재(42)를 상하 방향(두께 방향)으로 관통하고 있다. 4개의 조인트 장착용 구멍(421a)은 프레임상 부재(42)의 둘레 방향에 있어서 등간격으로 나란히 형성되어 있다. 4개의 조인트 장착용 구멍(421a)의 각각에는, 도 6 및 도 10에 도시한 바와 같이 조인트(43)가 장착되어 있다. 도 8 및 도 9에 도시한 바와 같이, 볼록부(422)의 상면(422a)에는, 프레임상 부재(42)의 개구(423)측의 테두리부로부터 상측으로 돌출되는 제1 볼록부(424)가 형성되어 있다.

도 7에 도시한 서브 평판 부재(41)의 평면부(415)와, 도 8에 도시한 프레임상 부재(42)의 상면(421)이 맞대어진 상태에서, 도 6에 도시한 바와 같이, 평면부(415)와 프레임상 부재(42)가 나사나 볼트에 의해 고정되어 있다. 이 고정 상태에서는, 서브 평판 부재(41)의 상단 개구부(411)와 프레임상 부재(42)의 개구(423)에 의해, 평판 부재(40)의 개구(40K)가 구성되어 있다. 또한, 도 9에 도시한 바와 같이, 프레임상 부재(42)의 제1 볼록부(424)와 서브 평판 부재(41)의 제2 볼록부(414a)가 약간 간극 Spa를 비운 상태에서 대면하고 있다. 이 간극 Spa는, 평판 부재(40)의 개구(40K)에 노출되어 있고, 이 개구(40K)를 이동 가능한 승강체(10)의 외주를 둘러싸도록 형성되어 있다. 간극 Spa의 상하 방향의 위치는, 평판 부재(40)의 두께 방향의 중심 위치보다도 상측으로 되어 있다. 또한, 이 고정 상태에서는, 서브 평판 부재(41)의 내주부(관통 구멍(41K)의 내면)와 프레임상 부재(42)로 둘러싸이는 공간 SP가 평판 부재(40)의 내부에 형성되어 있다. 공간 SP는, 프레임상 부재(42)에 형성된 4개의 조인트 장착용 구멍(421a)과, 상기의 간극 Spa를 제외하면, 밀폐된 공간으로 되어 있다.

프레임상 부재(42)에 형성된 4개의 조인트 장착용 구멍(421a)은 공간 SP와 연통되도록, 공간 SP와 겹치는 위치에 형성되어 있다. 상기의 공기 송출원이 작동하면, 배관 및 조인트(43)를 통해, 공간 SP에 공기가 공급된다. 공간 SP에 공급된 공기는, 상기의 간극 Spa로부터 평판 부재(40)의 개구(40K)를 향하여 송출된다. 이와 같이, 공간 SP는, 조인트(43)로부터 공급되는 공기를 개구(40K)에 송출하는 공기 유로를 구성하고 있다. 간극 Spa는, 이 공기 유로의 출구를 구성하고 있다. 조인트(43)는 이 공기 유로의 입구를 구성하고 있다. 도 5에 도시한 바와 같이, 상면부(16)의 개구(16K)는 조인트(43)가 노출되도록 구성되어 있다.

하우징(11)의 내부에는, 도시하고 있지 않지만, 핸드(3)의 제어, 암(4)의 제어, 모터(23)의 제어에 의한 승강체(10)의 상승 및 하강의 제어, 배기팬(13)의 제어, 상술한 배관의 전자 밸브 제어 등을 행하는 제어부(구체적으로는, 프로세서)가 수용되어 있다. 이 제어부는, 승강체(10)를 상승시키는 제어를 행하는 경우에는, 배기팬(13)을 정지하고, 또한, 전자 밸브를 개방하여 노즐부(400)의 간극 Spa로부터 공기를 송출시킨다. 한편, 제어부는, 승강체(10)를 하강시키는 제어를 행하는 경우에는, 전자 밸브를 폐쇄하고 또한 배기팬(13)을 작동시킨다.

(본 형태의 주된 효과)

본 형태에서는, 승강체(10)가 상승할 때에 노즐부(400)의 간극 Spa로부터 공기가 송출된다. 이 때문에, 하우징(11)의 개구(16K) 및 노즐부(400)의 개구(40K)의 테두리와 승강체(10)의 외주면 사이의 간극(G)으로부터, 하우징(11)의 내부 공간 S의 기체가 배출되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 승강체(10)가 상승할 때, 간극(G)을 통해, 노즐부(400)로부터의 공기가 하우징(11)에 유입함으로써, 하우징(11)의 내부를 정압으로 할 수 있고, 하우징(11)에 외기가 침입하는 것을 방지할 수 있다. 이 결과, 하우징(11)의 내기 유출 방지와, 하우징(11)으로의 외기의 침입 방지를 실현할 수 있다.

(다른 실시 형태)

상술한 형태는, 본 발명의 바람직한 형태의 일례이기는 하지만, 이에 한정되는 것은 아니라 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 있어서 여러가지 변형 실시가 가능하다.

상술한 형태에 있어서, 평판 부재(40)는 서브 평판 부재(41)와 프레임상 부재(42)의 2부재로 구성되어 있다. 그러나, 평판 부재(40)는 단일의 부재에 의해 구성되어 있어도 된다. 평판 부재(40)를 복수의 부재의 맞댐에 의해 구성하는 경우에는, 단일의 부재에 의해 평판 부재(40)를 구성하는 경우보다도, 제조 비용을 낮출 수 있다.

상술한 형태에 있어서, 본체부(5)는 승강체(10)를 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된 것이어도 된다.

상술한 형태에 있어서, 배기팬(13) 및 배기 구멍(15a)은 승강체(10)의 바로 아래로부터 어긋난 위치에 배치되어 있어도 된다. 또한, 배기 구멍(15a)은 측면부(17)에 형성되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 본체부(5)는 2개 이상의 배기팬(13)을 구비하고 있어도 된다. 이 경우에는, 배기팬(13)의 수에 따라서, 배기팬(13)의 개수와 동일수의 배기 구멍(15a)이 형성된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 승강체(10)가 하한 위치까지 하강하고 있을 때, 승강체(10)의 상단부가 하우징(11)의 상단으로부터 상측으로 돌출되어 있어도 된다.

상술한 형태에 있어서, 제3 암부(9)의 선단측에 1개의 핸드(3)가 설치되어 있어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 암(4)은 2개의 암부에 의해 구성되어도 되고, 4개 이상의 암부에 의해 구성되어도 된다. 또한, 상술한 형태에 있어서, 로봇(1)은 액정용의 유리 기판 등의 다른 반송 대상물을 반송하는 로봇이어도 된다.

본 명세서에는 적어도 이하의 사항이 기재되어 있다. 또한, 괄호 내에는, 상기한 실시 형태에 있어서 대응하는 구성 요소 등을 나타내고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니다.

(1)

개구(개구(16K))를 갖는 하우징(하우징(11))과,

상기 개구를 통과 가능한 상태에서 상기 하우징에 수용되고, 제1 방향(상측 방향)과 상기 제1 방향과는 역의 제2 방향(하측 방향)으로 이동 가능하게 구성된 가동체(승강체(10))와,

상기 가동체에 연결된 암(암(4))과,

상기 하우징의 내부의 기체를 배출하기 위한 배기팬(배기팬(13))과,

상기 하우징의 상기 개구와 상기 가동체의 간극(간극(G))을 향하여 공기를 송출 가능한 노즐부(노즐부(400))를 구비하는 산업용 로봇(로봇(1)).

(1)에 의하면, 예를 들어, 가동체에 있어서의 암측과 반대측의 단부가 개구에 접근하는 동작(상승 동작)일 때, 노즐부로부터 공기를 간극에 송출함으로써, 하우징의 내기가 외부로 유출되는 것을 방지하면서, 하우징의 내부를 정압으로 하여 하우징에 외기가 침입하는 것을 방지할 수 있다.

(2)

(1)에 기재된 산업용 로봇이며,

상기 제1 방향은, 상기 하우징에 있어서의 상기 개구측과 반대측의 단부로부터 상기 가동체가 이격되는 방향이며,

상기 가동체가 상기 제1 방향으로 이동하고 있는 상태에 있어서 상기 노즐부로부터 공기를 송출시키고, 상기 가동체가 상기 제2 방향으로 이동하고 있는 상태에 있어서, 상기 노즐부로부터의 공기의 송출을 정지시키고 또한 상기 배기팬을 작동시키는 제어를 행하는 제어부를 구비하는 산업용 로봇.

(2)에 의하면, 가동체가 제1 방향으로 이동하는 동작(상승 동작)일 때, 하우징의 내기가 외부로 유출되는 것을 방지하면서, 하우징에 외기가 침입하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 가동체가 제2 방향으로 이동하는 동작(하강 동작)일 때, 하우징의 내기가 하우징의 개구로부터 압출되는 것을 방지할 수 있다.

(3)

(1) 또는 (2)에 기재된 산업용 로봇이며,

상기 노즐부는, 상기 하우징의 상기 개구측의 단부 상에 마련된, 상기 가동체가 통과 가능한 제1 관통 구멍(개구(40K))을 갖는 평판 부재(평판 부재(40))와, 공기 송출원에 연결된 연결 부재(조인트(43))를 갖고,

상기 평판 부재는, 상기 제1 관통 구멍과 상기 연결 부재를 연결하는 공기 유로(공간 SP)를 내부에 갖는 산업용 로봇.

(3)에 의하면, 기존의 산업용 로봇의 하우징에 평판 부재와 연결 부재를 포함하는 노즐부와, 연결 부재와 공기 송출원을 연결하는 배관을 추가하는 것만이어도 된다. 이 때문에, 상술한 효과를, 제조 비용을 크게 증가시키는 일 없이 실현할 수 있다.

(4)

(3)에 기재된 산업용 로봇이며,

상기 평판 부재는, 상기 가동체가 통과 가능한 제2 관통 구멍(관통 구멍(41K))을 갖는 서브 평판 부재(서브 평판 부재(41))와, 상기 제2 관통 구멍에 삽입된 프레임상 부재(프레임상 부재(42))에 의해 구성되고,

상기 프레임상 부재에는, 상기 가동체의 가동 방향으로 관통하는 구멍부(조인트 장착용 구멍(421a))가 형성되고,

상기 구멍부에 상기 연결 부재가 장착되고,

상기 서브 평판 부재와 상기 프레임상 부재 사이의 공간(공간 SP)에 의해 상기 공기 유로가 형성되어 있는 산업용 로봇.

(4)에 의하면, 공기 유로를 용이하게 형성할 수 있다. 이 때문에, 제조 비용을 낮출 수 있다.

(5)

(4)에 기재된 산업용 로봇이며,

상기 서브 평판 부재의 상기 제2 관통 구멍은 단차의 구조이며,

상기 프레임상 부재에는, 내주연부로부터 상기 서브 평판 부재측으로 돌출되는 제1 볼록부(제1 볼록부(424))가 형성되어 있고,

상기 서브 평판 부재의 내주부에는, 상기 제2 관통 구멍의 테두리부로부터 상기 프레임상 부재측으로 돌출되고 또한 상기 프레임상 부재의 상기 제1 볼록부와 대면하는 제2 볼록부(제2 볼록부(414a))가 형성되어 있고,

상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부의 간극(간극 Spa)에 의해, 상기 공기 유로의 출구가 형성되어 있는 산업용 로봇.

(5)에 의하면, 가동체와 평판 부재의 간극을 둘러싸서 공기 유로의 출구가 마련된다. 이 때문에, 하우징의 내기가 외부로 유출되는 것을 방지하면서, 하우징에 외기가 침입하는 것을 방지하는 효과를 높일 수 있다.

(6)

(5)에 기재된 산업용 로봇이며,

상기 프레임상 부재에는, 상기 구멍부가 둘레 방향에 등간격으로 배치되어 있는 산업용 로봇.

(6)에 의하면, 공기 유로의 출구 위치에 상관없이 일정량의 공기를 송출 가능하게 되고, 공기의 송출에 의해 가동체의 움직임이 방해되는 것을 방지할 수 있다.

(7)

(5) 또는 (6)에 기재된 산업용 로봇이며,

상기 평판 부재의 두께 방향(상하 방향)에 있어서의, 상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부의 상기 간극의 위치는, 상기 평판 부재의 두께의 중심 위치보다도 상기 제1 방향측에 있는 산업용 로봇.

(7)에 의하면, 하우징의 내기가 외부로 유출되는 것을 방지하면서, 하우징에 외기가 침입하는 것을 방지하는 효과를 높일 수 있다.

1 : 로봇(산업용 로봇)
4 : 암
5 : 본체부
10 : 승강체
11 : 하우징
12 : 승강 기구
13 : 배기팬
15 : 저면부
15a : 배기 구멍
16 : 상면부
16K : 개구
400 : 노즐부
G : 간극

Claims

개구를 갖는 하우징과,
상기 개구를 통과 가능한 상태에서 상기 하우징에 수용되고, 제1 방향과 상기 제1 방향과는 역의 제2 방향으로 이동 가능하게 구성된 가동체와,
상기 가동체에 연결된 암과,
상기 하우징의 내부의 기체를 배출하기 위한 배기팬과,
상기 하우징의 상기 개구와 상기 가동체의 간극을 향하여 공기를 송출 가능한 노즐부를 구비하고,
상기 노즐부는, 상기 하우징의 상기 개구측의 단부 상에 마련된, 상기 가동체가 통과 가능한 제1 관통 구멍을 갖는 평판 부재와, 공기 송출원에 연결된 연결 부재를 갖고,
상기 평판 부재는, 상기 제1 관통 구멍과 상기 연결 부재를 연결하는 공기 유로를 내부에 갖는, 산업용 로봇.
개구를 갖는 하우징과,
상기 개구를 통과 가능한 상태에서 상기 하우징에 수용되고, 제1 방향과 상기 제1 방향과는 역의 제2 방향으로 이동 가능하게 구성된 가동체와,
상기 가동체에 연결된 암과,
상기 하우징의 내부의 기체를 배출하기 위한 배기팬과,
상기 하우징의 상기 개구와 상기 가동체의 간극을 향하여 공기를 송출 가능한 노즐부를 구비하고,
상기 제1 방향은, 상기 하우징에 있어서의 상기 개구측과 반대측의 단부로부터 상기 가동체가 이격되는 방향이며,
상기 가동체가 상기 제1 방향으로 이동하고 있는 상태에 있어서 상기 노즐부에서 공기를 송출시키고, 상기 가동체가 상기 제2 방향으로 이동하고 있는 상태에 있어서, 상기 노즐부로부터의 공기의 송출을 정지시키고 또한 상기 배기팬을 작동시키는 제어를 행하는 제어부를 구비하는, 산업용 로봇.
삭제
제1항에 있어서,
상기 평판 부재는, 상기 가동체가 통과 가능한 제2 관통 구멍을 갖는 서브 평판 부재와, 상기 제2 관통 구멍에 삽입된 프레임상 부재에 의해 구성되고,
상기 프레임상 부재에는, 상기 가동체의 가동 방향으로 관통하는 구멍부가 형성되고,
상기 구멍부에 상기 연결 부재가 장착되고,
상기 서브 평판 부재와 상기 프레임상 부재 사이의 공간에 의해 상기 공기 유로가 형성되어 있는, 산업용 로봇.
제4항에 있어서,
상기 서브 평판 부재의 상기 제2 관통 구멍은 단차의 구조이며,
상기 프레임상 부재에는, 내주연부로부터 상기 서브 평판 부재측으로 돌출되는 제1 볼록부가 형성되어 있고,
상기 서브 평판 부재의 내주부에는, 상기 제2 관통 구멍의 테두리부로부터 상기 프레임상 부재측으로 돌출되고 또한 상기 프레임상 부재의 상기 제1 볼록부와 대면하는 제2 볼록부가 형성되어 있고,
상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부의 간극에 의해, 상기 공기 유로의 출구가 형성되어 있는, 산업용 로봇.
제5항에 있어서,
상기 프레임상 부재에는, 상기 구멍부가 둘레 방향에 등간격으로 배치되어 있는, 산업용 로봇.
제5항에 있어서,
상기 평판 부재의 두께 방향에 있어서의, 상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부의 상기 간극의 위치는, 상기 평판 부재의 두께의 중심 위치보다도 상기 제1 방향측에 있는, 산업용 로봇.