JP7546363B2 - ワーク加工用シートおよび加工済みワークの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハ等のワークの加工に好適に使用することができるワーク加工用シートに関するものであり、特に、加工前または加工後のワークを積層した状態でワーク加工用シートを加熱する工程を含むワークの加工方法に好適に使用することができるワーク加工用シートに関するものである。

半導体装置の製造方法は、一般的に、ワーク加工用シート上において、ワークとしての半導体ウエハを個片化（ダイシング）して、複数の半導体チップを得るダイシング工程と、得られた半導体チップをワーク加工用シートから個々に取り上げる（ピックアップ）ピックアップ工程とを含む。上述したワーク加工用シートは、通常、基材と、当該基材の片面側に設けられた粘着剤層からなる。そして、当該粘着剤層における基材とは反対側の面（以下「粘着面」という場合がある。）に、ワークが積層される。

近年、加工前のワークまたは加工後のワークに対し、ワーク加工用シート上に積層した状態で加熱処理を行うことも増えている。例えば、ワーク加工用シート上のワークに対して、蒸着、スパッタリング、脱湿のためのベーキング等の処理が行われたり、高温環境下での信頼性を確認するための加熱試験が行われることがある。このような加熱を伴う処理においては、加熱によってワーク加工用シートが変形したり、ワーク加工用シートが装置等に融着するといった問題が生じることがある。そのため、加熱を伴う工程に供されるワーク加工用シートに、所定の耐熱性を付与することも検討されている。

耐熱性を有するワーク加工用シートの例として、特許文献１には、ガラス転移温度が７０℃以上である基材の少なくとも片面に、昇温速度２℃／ｍｉｎで室温から２００℃まで昇温した際の熱重量減少率が２％未満である粘着剤層を設けてなる耐熱ダイシングテープ又はシートであって、当該粘着剤層が、所定の組成を有するエネルギー線硬化型粘着剤で構成されているとともに、加熱を含む処理を行った後の粘着力が所定の値を示す耐熱ダイシングテープ又はシートが開示されている。

また、耐熱性を有するワーク加工用シートの別の例として、特許文献２には、所定の熱収縮率を有する基材と、当該基材上に設けられ、所定の組成を有する粘着剤層とを備える耐熱性粘着シートが開示されている。さらに、特許文献３には、所定の熱収縮率および線膨張係数を有する基材と、当該基材上に設けられ、所定の組成を有する粘着剤層とを備える耐熱性粘着シートが開示されている。

特許第４７８１１８５号公報 国際公開第２０１５／１７４３８１号 国際公開第２０１４／１９９９９３号

ところで、上述した加熱処理を行った場合、ワーク加工用シートを剥がした後のワークの表面が汚染されたり、加熱のための装置の表面が汚染されたりすることがある。このような汚染の原因の一つとしては、ワーク加工用シートを構成する基材（特に、樹脂フィルムからなる基材）中に含まれる低分子成分（オリゴマー）が、ワークや装置の表面に析出してしまうことが考えられる。ワークや装置の汚染は、それらの性能の低下につながるため、当該汚染を抑制することが求められる。

上述のような汚染を抑制する観点から、ワーク加工用シートを構成する基材の表面に、オリゴマーの透過を抑制できる層（オリゴマー封止層）を設けることも検討されている。このような層を設けることで、ワーク加工用シートを加熱した場合であっても、オリゴマー封止層によって、基材からオリゴマーが外部に放出されることを抑制することができる。

しかしながら、上述したオリゴマー封止層を設けたワーク加工用シートを、加熱を伴う工程で使用した場合、加工が完了したワークをワーク加工用シートから分離したときに、ワーク加工用シートの粘着剤層を構成する粘着剤がワークに付着するという問題（以下、「糊残り」ということがある。）が生じ易いことがわかってきた。このような糊残りが生じた場合も、ワークの性能の低下につながる。

本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、加熱後であっても、加熱のための装置やワークの汚染が抑制されるとともに、ワークにおける糊残り発生が抑制されたワーク加工用シートを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、第１に本発明は、樹脂から構成される基材と、前記基材における一方の面側に積層された第１のオリゴマー封止層と、前記基材における他方の面側に積層された第２のオリゴマー封止層と、前記第１のオリゴマー封止層における前記基材とは反対の面側に積層された、カルボキシル基を含有する樹脂から構成される密着層と、前記密着層における前記第１のオリゴマー封止層とは反対の面側に積層された、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成される粘着剤層とを備えることを特徴とするワーク加工用シートを提供する（発明１）。

上記発明（発明１）に係るワーク加工用シートは、第１のオリゴマー封止層および第２のオリゴマー封止層が設けられていることにより、加熱された場合であっても基材からのオリゴマーの放出が抑制され、その結果、ワークおよび装置の汚染が抑制される。さらに、ワーク加工用シートが密着層を備えることにより、粘着剤層が当該密着層に良好に密着することができ、その結果、ワーク加工用シートから分離されたワークに対して粘着剤層を構成する粘着剤が付着すること、すなわち糊残りが良好に抑制される。

上記発明（発明１）において、前記密着層の厚さは、０．１μｍ以上、３０μｍ以下であることが好ましい（発明２）。

上記発明（発明１，２）において、前記密着層を構成する樹脂は、カルボキシル基含有モノマーを構成単位として含むアクリル系共重合体を含むことが好ましい（発明３）。

上記発明（発明１～３）において、前記第１のオリゴマー封止層および前記第２のオリゴマー封止層の少なくとも一方は、エポキシ化合物と、ポリエステル化合物と、多官能アミノ化合物とを含有するオリゴマー封止層用組成物を硬化させた硬化皮膜であることが好ましい（発明４）。

上記発明（発明１～４）において、前記活性エネルギー線硬化性粘着剤は、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入された（メタ）アクリル酸エステル共重合体を含有する粘着剤組成物から形成された粘着剤であることが好ましい（発明５）。

上記発明（発明１～５）において、前記基材の厚さは、１０μｍ以上、１００μｍ以下であることが好ましい（発明６）。

上記発明（発明１～６）においては、前記粘着剤層における前記密着層とは反対の面側に、加工前または加工後のワークを積層した状態で、前記ワーク加工用シートを加熱する工程を備えるワーク加工方法に使用されることが好ましい（発明７）。

第２に本発明は、前記ワーク加工用シート（発明１～７）の、前記粘着剤層における前記密着層とは反対側の面にワークを貼合する貼合工程と、前記ワークを、前記ワーク加工用シート上に貼合された状態で、加熱を伴う処理に供する加熱工程と、前記加熱を伴う処理に供した前記ワークを前記ワーク加工用シート上にてダイシングすることで、前記ワークが個片化してなる加工済みワークを得るダイシング工程とを備えることを特徴とする加工済みワークの製造方法を提供する（発明８）。

上記発明（発明８）においては、前記加工済みワークが貼合された前記ワーク加工用シートにおける前記粘着剤層に対し、活性エネルギー線を照射して、前記粘着剤層を硬化させる活性エネルギー線照射工程と、硬化後の前記粘着剤層を備える前記ワーク加工用シートから、前記加工済みワークをピックアップするピックアップ工程とを備えることが好ましい（発明９）。

本発明に係るワーク加工用シートによれば、加熱後であっても、加熱のための装置やワークの汚染が抑制されるとともに、ワークにおける糊残り発生が抑制される。

本実施形態に係るワーク加工用シートの断面図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。
図１には、本実施形態に係るワーク加工用シート１の断面図が示される。本実施形態に係るワーク加工用シート１は、基材１０と、基材１０における一方の面側に積層された第１のオリゴマー封止層１１ａと、基材１０における他方の面側に積層された第２のオリゴマー封止層１１ｂと、第１のオリゴマー封止層１１ａにおける基材１０とは反対の面側に積層された密着層１２と、密着層１２における第１のオリゴマー封止層１１ａとは反対の面側に積層された粘着剤層１３とを備える。

本実施形態における基材１０は、樹脂から構成されるものである。このような基材１０は、通常、加熱された場合に、内部から低分子成分（オリゴマー）が放出され易い傾向にある。例えば、上記樹脂の製造時に用いられた原料や溶媒等の残留物や、基材１０を製造する際に用いられた溶媒の残留物等が、加熱によって揮発し基材１０から外部に放出されることがある。しかしながら、本実施形態に係るワーク加工用シート１では、基材１０の両面に第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂがそれぞれ設けられていることにより、加熱された場合であっても、オリゴマーが基材１０の内部に留められ、外部へのオリゴマーの放出が抑制される。その結果、ワークや加熱のための装置の表面におけるオリゴマーの析出が抑制される。なお、上述したオリゴマーの放出が生じた場合、基材１０自身にもオリゴマーが析出し、通常、基材は白色の外観を有するものとなる。このような基材の白色化は、オリゴマーの放出の有無の指標とすることができる。

また、本実施形態における粘着剤層１３は、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されたものである。粘着剤層１３が活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成されていることにより、ワークの加工後、粘着剤層１３に対して活性エネルギー線を照射することで、加工後のワークに対するワーク加工用シート１の粘着力を効果的に低減することができる。それにより、加工後のワークに対して過度な力を印加することなく、当該ワークをワーク加工用シート１から容易に分離することが可能となる。

ここで、一般的に、粘着剤層がオリゴマー封止層上に直接積層されてなるワーク加工用シートでは、オリゴマー封止層に対する粘着剤層の密着性が十分なものとならず、粘着剤層のオリゴマー封止層からの剥がれが生じ易い。そのような剥がれは、加工後のワークをワーク加工用シートから分離した際に生じ易い。その結果、オリゴマー封止層を備える従来のワーク加工用シートにおいては、分離したワークに粘着剤が付着するという、糊残りの問題が生じ易いものとなる。特に、上述したような活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成された粘着剤層においては、活性エネルギー線を照射した場合に、オリゴマー封止層に対する粘着剤層の密着性が顕著に低下するため、糊残りの問題も非常に生じ易くなる。

しかしながら、本実施形態に係るワーク加工用シート１は、粘着剤層１３が、密着層１２を介して第１のオリゴマー封止層１１ａに積層されていることにより、上述した粘着剤層１３の剥がれが良好に抑制される。特に、本実施形態における密着層１２は、カルボキシル基を含有する樹脂から構成されるものとなっており、当該カルボキシル基が、粘着剤層１３を構成する成分および第１のオリゴマー封止層１１ａを構成する成分との間で所定の相互作用を行うことにより、これらの層と密着層１２との間における密着性が良好に向上するものとなる。それにより、本実施形態に係るワーク加工用シート１では、上述したような糊残りの問題が効果的に抑制される。

すなわち、本実施形態に係るワーク加工用シート１によれば、加熱を伴う工程に供される場合であっても、基材１０からのオリゴマーの放出を抑制し、それにより装置やワークの汚染を良好に抑制しながらも、ワークに対する糊残りも良好に抑制することが可能となる。

１．ワーク加工用シートの構成
（１）基材
本実施形態における基材１０は、樹脂から構成されるものであるとともに、ワーク加工用シート１の使用の際に所望の機能を発揮するものである限り、特に限定されない。例えば、基材１０を構成する樹脂の例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂；ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、エチレン－ノルボルネン共重合体、ノルボルネン樹脂等のポリオレフィン系樹脂；エチレン－酢酸ビニル共重合体；エチレン－（メタ）アクリル酸共重合体、エチレン－（メタ）アクリル酸メチル共重合体、その他のエチレン－（メタ）アクリル酸エステル共重合体等のエチレン系共重合樹脂；ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体等のポリ塩化ビニル系樹脂；（メタ）アクリル酸エステル共重合体；ポリウレタン；ポリイミド；ポリスチレン；ポリカーボネート；フッ素樹脂などが挙げられる。また、基材１０を構成する樹脂は、上述した樹脂を架橋したものや、上述した樹脂のアイオノマーといった変性したものであってもよい。なお、本明細書における「（メタ）アクリル酸」は、アクリル酸およびメタクリル酸の両方を意味する。他の類似用語についても同様である。また、本明細書における「重合体」は「共重合体」の概念も含むものとする。

本実施形態に係るワーク加工用シート１は、上述した通り、加熱された場合における基材からのオリゴマーの放出を良好に抑制することができる。そのため、本実施形態に係るワーク加工用シート１では、加熱された場合にオリゴマーを放出し易い樹脂を、基材１０を構成する樹脂として好適に使用することができる。そのような、オリゴマーを放出し易い樹脂の例としては、ポリエステル系樹脂等が挙げられ、特に、ポリエチレンテレフタレートが挙げられる。

本実施形態における基材１０は、上述した樹脂からなる単層のフィルムであってもよく、あるいは、当該フィルムが複数積層されてなる積層フィルムであってもよい。この積層フィルムにおいて、各層を構成する材料は同種であってもよく、異種であってもよい。

本実施形態における基材１０の表面には、第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂに対する密着性を向上させる目的で、酸化法や凹凸化法などによる表面処理、あるいはプライマー処理を施してもよい。上記酸化法としては、例えばコロナ放電処理、プラズマ放電処理、クロム酸化処理（湿式）、火炎処理、熱風処理、オゾン、紫外線照射処理などが挙げられ、また、凹凸化法としては、例えばサンドブラスト法、溶射処理法などが挙げられる。

本実施形態における基材１０は、着色剤、難燃剤、可塑剤、帯電防止剤、滑剤、フィラー等の各種添加剤を含有してもよい。また、粘着剤層１３が、活性エネルギー線により硬化する材料を含む場合、基材１０は活性エネルギー線に対する透過性を有することが好ましい。

本実施形態における基材１０の製造方法は、樹脂から基材１０を製造するものである限り特に限定されない。例えば、Ｔダイ法、丸ダイ法等の溶融押出法；カレンダー法；乾式法、湿式法等の溶液法等によって、樹脂をシート状に成形することで製造することができる。

本実施形態における基材１０の厚さは、１０μｍ以上であることが好ましく、特に３０μｍ以上であることが好ましい。基材１０の厚さが１０μｍ以上であることで、本実施形態に係るワーク加工用シート１が、ワークの加工を行う上で十分な剛性を有するものとなるとともに、本実施形態に係るワーク加工用シート１を、ダイシングブレードによるワークのダイシングに用いる場合であっても、ワーク加工用シート１の完全な切断を生じさせることなく、ワークの十分なダイシングを行い易いものとなる。また、基材１０の厚さは、１００μｍ以下であることが好ましく、特に９０μｍ以下であることが好ましい。基材１０の厚さが１００μｍ以下であることで、本実施形態に係るワーク加工用シート１がより良好な柔軟性を有するものとなり、例えばエキスパンドを良好に行い易いものとなる。

（２）第１のオリゴマー封止層および第２のオリゴマー封止層
本実施形態における第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂは、それぞれ、基材１０からのオリゴマーの放出を抑制することができ、且つ、ワーク加工用シート１による所望のワークの加工を可能とするものである限り特に限定されない。オリゴマーの放出を効果的に抑制できるという観点からは、第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂの少なくとも一方（好ましくは、これらの両方）は、エポキシ化合物と、ポリエステル化合物と、多官能アミノ化合物とを含有するオリゴマー封止層用組成物を硬化させた硬化皮膜であることが好ましい。また、当該オリゴマー封止層用組成物は、上記硬化の反応を促進する観点から、さらに酸性触媒を含んでいてもよい。なお、第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂは、互いに異なる組成を有するものであってもよく、または同様の組成を有するものであってもよい。

（２－１）エポキシ化合物
上記エポキシ化合物は、ビスフェノールＡ型エポキシ化合物であることが好ましい。ビスフェノールＡ型エポキシ化合物の好ましい例としては、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル等を挙げることができる。

エポキシ化合物の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１万以上、５万以下であることが好ましい。エポキシ化合物の重量平均分子量が１万以上であることで、第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂを十分な架橋密度で形成することが可能となり、それにより、オリゴマーの放出を効果的に抑制し易くなる。また、エポキシ化合物の重量平均分子量が５万以下であることで、第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂが過度に硬化することが抑制され、それにより、ワーク加工用シート１が適度な柔軟性を有し易いものとなる。なお、本明細書における重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ法）により測定した標準ポリスチレン換算の値である。

オリゴマー封止層用組成物中におけるエポキシ化合物の含有量は、５０質量％以上であることが好ましく、また、８０質量％以下であることが好ましい。

（２－２）ポリエステル化合物
上記ポリエステル化合物としては、特に限定されず、公知のポリエステル化合物の中から適宜選択して用いることができる。例えば、上記ポリエステル化合物として、多価アルコールと多塩基酸との縮合反応によって得られる樹脂であって、二塩基酸と二価アルコールとの縮合物または不乾性油脂肪酸等で変性した化合物である不転化性ポリエステル化合物、二塩基酸と三価以上のアルコールとの縮合物である転化性ポリエステル化合物等を使用することができる。

ポリエステル化合物の原料として用いられる多価アルコールの例としては、二価アルコール、三価アルコール、および四価以上の多価アルコールが挙げられる。上記二価アルコールとしては、例えば、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ネオペンチルグリコール等を使用することができる。上記三価アルコールとしては、例えば、グリセリン、トリメチロールエタン、トリメチロールプロパン等を使用することができる。上記四価以上の多価アルコールとしては、例えば、ジグリセリン、トリグリセリン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、マンニット、ソルビット等を使用することができる。多価アルコールは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

多塩基酸の例としては、芳香族多塩基酸、脂肪族飽和多塩基酸、脂肪族不飽和多塩基酸、およびディールズ・アルダー反応による多塩基酸が挙げられる。芳香族多塩基酸としては、例えば、無水フタル酸、テレフタル酸、イソフタル酸、無水トリメット酸等を使用することができる。脂肪族飽和多塩基酸としては、コハク酸、アジピン酸、セバシン酸等を使用することができる。脂肪族不飽和多塩基酸としては、例えば、マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水シトラコン酸等を使用することができる。ディールズ・アルダー反応による多塩基酸としては、例えば、シクロペンタジエン－無水マレイン酸付加物、テルペン－無水マレイン酸付加物、ロジン－無水マレイン酸付加物等を使用することができる。多塩基酸は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

変性剤である不乾性油脂肪酸等としては、例えば、オクチル酸、ラウリン酸、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸、リノール酸、リノレイン酸、エレオステアリン酸、リシノレイン酸、脱水リシノレイン酸、あるいはヤシ油、アマニ油、キリ油、ヒマシ油、脱水ヒマシ油、大豆油、サフラワー油、およびこれらの脂肪酸等を使用することができる。これら変性剤は、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、ポリエステル化合物としても、１種を単独で用いても良く、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

ポリエステル化合物は、架橋反応の基点となる活性水素基を有していることが好ましい。活性水素基としては、例えば、水酸基、カルボキシル基、アミノ基等が挙げられる。特に、ポリエステル化合物は、水酸基を有していることが好ましい。ポリエステル化合物の水酸基価は、５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが好ましく、特に１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であることが好ましい。また、ポリエステル化合物の水酸基価は、５００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、特に３００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましい。

ポリエステル化合物の数平均分子量（Ｍｎ）は、５００以上であることが好ましく、特に１０００以上であることが好ましい。また、ポリエステル化合物の数平均分子量（Ｍｎ）は、１００００以下であることが好ましく、特に５０００以下であることが好ましい。なお、本明細書における数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法（ＧＰＣ法）により測定した標準ポリスチレン換算の値である。

ポリエステル化合物のガラス転移温度Ｔｇは、０℃以上であることが好ましく、また、５０℃以下であることが好ましい。上述した数平均分子量（Ｍｎ）を有するとともに、このようなガラス転移温度Ｔｇを示すポリエステル化合物を使用することにより、第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂが適度な柔軟性を有し易いものとなる。なお、上記ガラス転移温度Ｔｇは、ＪＩＳ Ｋ７１２１に準拠して測定されるものであり、特に、入力補償示差走査熱量測定装置を用いて、－８０℃から２５０℃の温度範囲で、捕外ガラス転移開始温度を測定することがで得られるものである。

オリゴマー封止層用組成物中におけるポリエステル化合物の含有量は、５質量％以上であることが好ましく、また、３０質量％以下であることが好ましい。

（２－３）多官能アミノ化合物
多官能アミノ化合物としては、例えば、メラミン化合物、尿素化合物、ベンゾグアナミン化合物、ジアミン類等を使用することができる。メラミン化合物としては、例えば、ヘキサメトキシメチルメラミン、メチル化メラミン化合物、ブチル化メラミン化合物等を使用することができる。尿素化合物としては、例えば、メチル化尿素化合物、ブチル化尿素化合物等を使用することができる。ベンゾグアナミン化合物としては、例えば、メチル化ベンゾグアナミン化合物、ブチル化ベンゾグアナミン化合物等を使用することができる。ジアミン類としては、例えば、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、Ｎ，Ｎ’－ジフェニルエチレンジアミン、ｐ－キシリレンジアミン等を使用することができる。特に、硬化性の観点からは、多官能アミノ化合物として、ヘキサメトキシメチルメラミンを使用することが好ましい。

（２－４）酸性触媒
酸性触媒としては、例えば、塩酸、ｐ－トルエンスルホン酸等を使用することができ、特にｐ－トルエンスルホン酸を使用することが好ましい。

オリゴマー封止層用組成物が酸性触媒を含有する場合、オリゴマー封止層用組成物中における酸性触媒の含有量は、１質量％以上であることが好ましく、また、５質量％以下であることが好ましい。

（２－５）オリゴマー封止層用組成物
オリゴマー封止層用組成物の調製方法としては特に限定されない。例えば、上述した成分を溶媒中にて混合することで、オリゴマー封止層用組成物の塗布液として得ることができる。

（２－６）厚さ
第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂの厚さは、互いに異なっていってもよく、または同等の厚さであってもよい。例えば、これらの層の厚さは、５０ｎｍ以上であることが好ましく、特に８０ｎｍ以上であることが好ましい。また、当該厚さは、５００ｎｍ以下であることが好ましく、特に３００ｎｍ以下であることが好ましい。上記厚さが５０ｎｍ以上であることで、基材１０からのオリゴマーの放出を効果的に抑制し易いものとなる。一方、上記厚さが５００ｎｍ以下であることで、ワーク加工用シート１が良好な柔軟性を有し易いものとなり、例えば、ワーク加工用シート１をロール状に巻き取り易いものとなる。

（３）密着層
本実施形態における密着層１２は、カルボキシル基を含有する樹脂から構成されるものであるとともに、ワーク加工用シート１の使用の際に所望の機能を発揮するものである限り、特に限定されない。例えば、第１のオリゴマー封止層１１ａおよび粘着剤層１３に対する良好な密着性を実現しながらも、所望の性能を実現し易いという観点からは、密着層１２を構成する樹脂は、カルボキシル基含有モノマーを構成単位として含むアクリル系共重合体を含むことが好ましい。

上記カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等のエチレン性不飽和カルボン酸が挙げられる。これらは、上記アクリル系共重合体を構成する際に、単独で用いられていてもよいし、２種以上が組み合わせられて用いられていてもよい。

上述したアクリル系共重合体は、上記カルボキシル基含有モノマーから導かれる構成単位を、０．１質量％以上含有することが好ましく、特に１質量％以上含有することが好ましい。また、アクリル系共重合体は、上記カルボキシル基含有モノマーから導かれる構成単位を、１０質量％以下で含有することが好ましく、特に９．５質量％以下で含有することが好ましい。カルボキシル基含有モノマーの含有量がこれらの範囲であることで、密着層１２が、第１のオリゴマー封止層１１ａおよび粘着剤層１３に対して、より良好な密着性を有し易いものとなる。

上述したアクリル系共重合体は、所望の性能を有する密着層１２を形成し易いという観点から、アクリル系共重合体を構成するモノマー単位として、（メタ）アクリル酸アルキルエステル含有することも好ましい。当該（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、アルキル基の炭素数が１～１８であるものが好ましく、特に炭素数が１～８であるものが好ましい。

上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルの具体例としては、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｎ－ペンチル、（メタ）アクリル酸ｎ－ヘキシル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ｎ－デシル、（メタ）アクリル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸ミリスチル、（メタ）アクリル酸パルミチル、（メタ）アクリル酸ステアリル等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。上述した（メタ）アクリル酸アルキルエステルの中でも、（メタ）アクリル酸ｎ－ブチルを使用することが好ましく、特にアクリル酸ｎ－ブチルを使用することが好ましい。

上述したアクリル系共重合体は、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルから導かれる構成単位を、８５質量％以上含有することが好ましく、特に９０質量％以上含有することが好ましい。また、アクリル系共重合体は、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルから導かれる構成単位を、９９．９質量％以下で含有することが好ましく、特に９９質量％以下で含有することが好ましい。

上述したアクリル系共重合体は、当該アクリル系共重合体を構成するモノマー単位として、上述したカルボキシル基含有モノマーおよび（メタ）アクリル酸アルキルエステル以外に、その他のモノマーを含有してもよい。

また、上述したアクリル系共重合体の重合態様は、ランダム共重合体であってもよいし、ブロック共重合体であってもよい。また、重合法に関しては特に限定されず、一般的な重合法により重合することができる。

上述したアクリル系共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１０万以上であることが好ましく、特に２０万以上であることが好ましく、さらには３０万以上であることが好ましい。また、当該重量平均分子量（Ｍｗ）は、２００万以下であることが好ましく、特に１５０万以下であることが好ましく、さらには１００万以下であることが好ましい。上述したアクリル系共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）が上記範囲であることで、当該アクリル系共重合体から構成される密着層１２が所望の密着性を有し易いものとなる。

本実施形態における密着層１２は、カルボキシル基を含有する樹脂とともに、自己縮合性を有する添加剤（以下、「自己架橋性添加剤」という場合がある。）を含有することも好ましい。当該自己架橋性添加剤とは、分子間における自己縮合反応を行うことで、当該添加剤同士からなる三次元構造を密着層１２内に形成できるものを指す。

ここで、密着層１２が上述したアクリル系共重合体を含有する場合には、通常、当該アクリル系共重合体が有する官能基同士が相互作用することにより、アクリル系共重合体同士が疑似的な架橋構造を形成していると考えられる。このような疑似的な架橋構造とともに、上述した自己架橋性添加剤による三次元構造が形成されることにより、これらの構造が絡み合ってなる高次構造が密着層１２中に形成されるものとなる。これにより、密着層１２が所望の剛性を有するとともに、所望の密着性を発揮し易いものとなる。

上記自己架橋性添加剤としては、自己縮合反応を行って、上述した三次元構造を形成できるものである限り特に限定されない。例えば、自己架橋性添加剤としては、イソシアネート化合物、エポキシ化合物、アミン化合物、メラミン化合物、アジリジン化合物、ヒドラジン化合物、アルデヒド化合物、オキサゾリン化合物、金属アルコキシド化合物、金属キレート化合物、金属塩、アンモニウム塩、反応性フェノール樹脂等を使用することができる。これらの中でも、本実施形態における密着層１２内において、上記三次元構造を良好に形成し易いという観点から、イソシアネート化合物を使用することが好ましい。

上記イソシアネート化合物としては、例えば、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネート等、それらのビウレット体、イソシアヌレート体、さらにはエチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、ヒマシ油等の低分子活性水素含有化合物との反応物であるアダクト体等を使用することができる。これらの中でも、上記三次元構造を良好に形成し易いという観点から、トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネートおよびヘキサメチレンジイソシアネートの少なくとも一方を使用することが好ましい。

なお、自己架橋性添加剤の例として挙げた上述した化合物の中には、一般的に、架橋剤として使用されるものも存在する。このような架橋剤は、一般的なアクリル系共重合体同士を架橋するように反応し、その結果、アクリル系共重合体と架橋剤とからなる高次構造が形成される。しかしながら、本実施形態における密着層１２においては、自己架橋性添加剤の殆どは、自己架橋性添加剤同士で自己縮合し、アクリル系共重合体とは独立して三次元構造を形成するものと考えられる。換言すれば、本実施形態におけるアクリル系共重合体が有するカルボキシル基は、その殆どが、自己架橋性添加剤とは反応しない状態で密着層１２中に存在していると考えられる。

密着層１２が自己架橋性添加剤を含有する場合、その配合量としては、上述したアクリル系共重合体１００質量部に対して、０．１質量部以上であることが好ましく、特に０．５質量部以上であることが好ましい。また、上記配合量は、上述したアクリル系共重合体１００質量部に対して、１０質量部以下であることが好ましく、特に５質量部以下であることが好ましい。自己架橋性添加剤の配合量が上記範囲であることにより、密着層１２内に前述した構造が形成され易いものとなる。

本実施形態における密着層１２は、上述したアクリル系共重合体、および所望により自己架橋性添加剤を含有する密着層用組成物から形成されたものであってもよい。当該密着層用組成物は、所望の添加剤を含有してもよい。また、当該密着層用組成物は、所望の溶媒により希釈され、塗布液の形態とされてもよい。

密着層１２の厚さは、０．１μｍ以上であることが好ましく、特に０．５μｍ以上であることが好ましく、さらには１μｍ以上であることが好ましい。また、当該厚さは、３０μｍ以下であることが好ましく、特に１５μｍ以下であることが好ましい。密着層１２の厚さが０．１μｍ以上であることで、糊残りの発生をより効果的に抑制し易いものとなる。また、密着層１２の厚さが３０μｍ以下であることで、ワーク加工用シート１が過度に厚くなることが抑制され、それにより、ワーク加工用シート１が所望の性能を発揮し易いものとなる。例えば、ワーク加工用シート１上にてワークを加熱し、さらに当該ワークをダイシングした後、個片化されたワークをピックアップする場合には、当該ピックアップを容易に行い易いものとなる。

（４）粘着剤層
本実施形態における粘着剤層１３を構成する粘着剤としては、活性エネルギー線硬化性粘着剤であるとともに、被着体に対する十分な粘着力（特に、ワークの加工を行うために十分となるような対ワーク粘着力）を発揮することができる限り、特に限定されない。上記粘着剤の例としては、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリビニルエーテル系粘着剤等が挙げられる。これらの中でも、所望の粘着力を発揮し易いという観点から、アクリル系粘着剤を使用することが好ましい。

上記活性エネルギー線硬化性粘着剤としては、活性エネルギー線硬化性を有するポリマーを主成分とするものであってもよいし、活性エネルギー線非硬化性ポリマー（活性エネルギー線硬化性を有しないポリマー）と少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマーとの混合物を主成分とするものであってもよい。また、活性エネルギー線硬化性粘着剤は、活性エネルギー線硬化性を有するポリマーと、少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマーとの混合物であってもよい。なお、本実施形態に係るワーク加工用シート１は、前述した通り、加熱を伴う処理に供される場合にも好適なものである。このような加熱を行った場合であっても粘着力の過度な上昇を抑え、それにより良好なピックアップを行い易くなるという観点からは、活性エネルギー線硬化性粘着剤としては、活性エネルギー線硬化性を有するポリマーを主成分とするものであることが好ましい。

最初に、活性エネルギー線硬化性粘着剤が、活性エネルギー線硬化性を有するアクリル系重合体を含有する粘着性組成物から形成されたものである場合について説明する。

活性エネルギー線硬化性を有するアクリル系重合体は、側鎖に活性エネルギー線硬化性を有する官能基（活性エネルギー線硬化性基）が導入されたアクリル系重合体（以下「活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）」という場合がある。）であることが好ましい。この活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）は、官能基含有モノマー単位を有する（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）と、その官能基に結合する官能基を有する不飽和基含有化合物（ａ２）とを反応させて得られるものであることが好ましい。

上述した官能基含有モノマーとしては、重合性の二重結合と、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アミノ基、アミド基、ベンジル基、グリシジル基等の官能基とを分子内に有するモノマーが好ましく、これらの中でも、官能基としてヒドロキシ基を含有するモノマー（ヒドロキシ基含有モノマー）を使用することが好ましい。

上記ヒドロキシ基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸３－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸３－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル等が挙げられ、これらの中でも、アクリル酸２－ヒドロキシエチルおよびアクリル酸４－ヒドロキシブチルの少なくとも一方を使用することが好ましい。なお、これらは単独でまたは２種以上を組み合わせて用いられる。

上記カルボキシル基含有モノマーとしては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等のエチレン性不飽和カルボン酸が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

上記アミノ基含有モノマーまたはアミド基含有モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸アミノエチル、（メタ）アクリル酸ｎ－ブチルアミノエチル等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）は、上記官能基含有モノマーから導かれる構成単位を、５質量％以上含有することが好ましく、特に１０質量％以上含有することが好ましい。また、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）は、上記官能基含有モノマーから導かれる構成単位を、４０質量％以下で含有することが好ましく、特に３５質量％以下で含有することが好ましい。（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）が官能基含有モノマーを上記範囲で含有することにより、所望の活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）を形成し易いものとなる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）は、所望の性能を有する粘着剤を形成し易いという観点から、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）を構成するモノマー単位として、（メタ）アクリル酸アルキルエステル含有することも好ましい。当該（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、アルキル基の炭素数が１～１８であるものが好ましく、特に炭素数が１～８であるものが好ましい。当該（メタ）アクリル酸アルキルエステルの例としては、密着層１２を構成するアクリル系共重合体のための（メタ）アクリル酸アルキルエステルとして前述したものが挙げられる。特に、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）を構成する（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、アクリル酸２－エチルヘキシルを使用することが好ましい。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）は、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルから導かれる構成単位を、５７質量％以上含有することが好ましく、特に６２質量％以上含有することが好ましい。また、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）は、上記（メタ）アクリル酸アルキルエステルから導かれる構成単位を、９２質量％以下で含有することが好ましく、特に８７質量％以下で含有することが好ましい。（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）が（メタ）アクリル酸アルキルエステルを上記範囲で含有することにより、ワーク加工用シート１が所望の粘着力を発揮し易いものとなる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）は、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）を構成するモノマー単位として、窒素原子含有モノマーを含有することも好ましい。これにより、ワークの加工の際に、ワーク加工用シート上にワークをより良好に保持できるようになるとともに、ワーク加工用シートを加熱した場合には、ワークに対する粘着力の過度な上昇を抑制し易いものとなる。窒素原子含有モノマーとしては、アミノ基を有するモノマー、アミド基を有するモノマー、窒素含有複素環を有するモノマーなどが挙げられ、中でも、窒素含有複素環を有するモノマーが好ましい。

窒素含有複素環を有するモノマーとしては、例えば、Ｎ－（メタ）アクリロイルモルフォリン、Ｎ－ビニル－２－ピロリドン、Ｎ－（メタ）アクリロイルピロリドン、Ｎ－（メタ）アクリロイルピペリジン、Ｎ－（メタ）アクリロイルピロリジン、Ｎ－（メタ）アクリロイルアジリジン、アジリジニルエチル（メタ）アクリレート、２－ビニルピリジン、４－ビニルピリジン、２－ビニルピラジン、１－ビニルイミダゾール、Ｎ－ビニルカルバゾール、Ｎ－ビニルフタルイミド等が挙げられ、中でも、Ｎ－（メタ）アクリロイルモルフォリンが好ましく、特にＮ－アクリロイルモルフォリンが好ましい。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）は、上記窒素原子含有モノマーから導かれる構成単位を、３質量％以上含有することが好ましく、特に５質量％以上含有することが好ましく、さらには８質量％以上含有することが好ましい。また、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）は、上記窒素原子含有モノマーから導かれる構成単位を、１２質量％以下で含有することが好ましい。（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）が窒素原子含有モノマーを上記範囲で含有することにより、ワークの加工の際に、ワーク加工用シート上にワークをより良好に保持できるようになるとともに、ワーク加工用シートを加熱した場合には、ワークに対する粘着力の過度な上昇を抑制し易いものとなる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）は、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）を構成するモノマー単位として、上述した官能基含有モノマー、（メタ）アクリル酸アルキルエステルおよび窒素原子含有モノマー以外に、その他のモノマーを含有してもよい。

上記その他のモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メトキシメチル、（メタ）アクリル酸メトキシエチル、（メタ）アクリル酸エトキシメチル、（メタ）アクリル酸エトキシエチル等のアルコキシアルキル基含有（メタ）アクリル酸エステル；（メタ）アクリル酸シクロヘキシル等の脂肪族環を有する（メタ）アクリル酸エステル；（メタ）アクリル酸フェニル等の芳香族環を有する（メタ）アクリル酸エステル；（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド等の非架橋性のアクリルアミド；（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノプロピル等の非架橋性の３級アミノ基を有する（メタ）アクリル酸エステル；酢酸ビニル；スチレンなどが挙げられる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）の重合態様は、ランダム共重合体であってもよいし、ブロック共重合体であってもよい。また、重合法に関しては特に限定されず、一般的な重合法、例えば溶液重合法により重合することができる。

上記官能基含有モノマー単位を有する（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）を、その官能基に結合する官能基を有する不飽和基含有化合物（ａ２）と反応させることにより、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）が得られる。

不飽和基含有化合物（ａ２）が有する官能基は、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）が有する官能基含有モノマー単位の官能基の種類に応じて、適宜選択することができる。例えば、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）が有する官能基がヒドロキシ基、アミノ基またはカルボキシル基の場合、不飽和基含有化合物（ａ２）が有する官能基としてはイソシアネート基、エポキシ基またはアジリジニル基が好ましく、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）が有する官能基がグリシジル基の場合、不飽和基含有化合物（ａ２）が有する官能基としてはアミノ基、カルボキシル基またはアジリジニル基が好ましい。

また上記不飽和基含有化合物（ａ２）には、活性エネルギー線重合性の炭素－炭素二重結合が、１分子中に少なくとも１個、好ましくは１～６個、さらに好ましくは１～４個含まれている。このような不飽和基含有化合物（ａ２）の具体例としては、例えば、２－メタクリロイルオキシエチルイソシアネート、２－アクリロイルオキシエチルイソシアネート、２－（２－メタクリロイルオキシエチルオキシ）エチルイソシアナート、１，１－（ビスアクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート、メタ－イソプロペニル－α，α－ジメチルベンジルイソシアネート、メタクリロイルイソシアネート、アリルイソシアネート、１，１－（ビスアクリロイルオキシメチル）エチルイソシアネート；ジイソシアネート化合物またはポリイソシアネート化合物と、（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチルとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアネート化合物；ジイソシアネート化合物またはポリイソシアネート化合物と、ポリオール化合物と、（メタ）アクリル酸ヒドロキシエチルとの反応により得られるアクリロイルモノイソシアネート化合物；（メタ）アクリル酸グリシジル；（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸２－（１－アジリジニル）エチル、２－ビニル－２－オキサゾリン、２－イソプロペニル－２－オキサゾリン等が挙げられる。

上記不飽和基含有化合物（ａ２）は、上記（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）の官能基含有モノマーのモル数に対して、好ましくは５０モル％以上、特に好ましくは６０モル％以上、さらに好ましくは７０モル％以上の割合で用いられる。また、上記不飽和基含有化合物（ａ２）は、上記（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）の官能基含有モノマーのモル数に対して、好ましくは９５モル％以下、特に好ましくは９３モル％以下、さらに好ましくは９０モル％以下の割合で用いられる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）と不飽和基含有化合物（ａ２）との反応においては、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）が有する官能基と不飽和基含有化合物（ａ２）が有する官能基との組合せに応じて、反応の温度、圧力、溶媒、時間、触媒の有無、触媒の種類を適宜選択することができる。これにより、（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）中に存在する官能基と、不飽和基含有化合物（ａ２）中の官能基とが反応し、不飽和基が（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）中の側鎖に導入され、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）が得られる。

このようにして得られる活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）の重量平均分子量（Ｍｗ）は、１万以上であることが好ましく、特に１５万以上であることが好ましく、さらには２０万以上であることが好ましい。また、当該重量平均分子量（Ｍｗ）は、１５０万以下であることが好ましく、特に１００万以下であることが好ましい。

活性エネルギー線硬化性粘着剤が、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）といった活性エネルギー線硬化性を有するアクリル系重合体を含有する粘着性組成物から形成されたものである場合であっても、当該粘着性組成物は、活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）をさらに含有してもよい。

活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）としては、例えば、多価アルコールと（メタ）アクリル酸とのエステル等を使用することができる。

かかる活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）としては、例えば、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート等の単官能性アクリル酸エステル類、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート等の多官能性アクリル酸エステル類、ポリエステルオリゴ（メタ）アクリレート、ポリウレタンオリゴ（メタ）アクリレート等が挙げられる。

ここで、活性エネルギー線硬化性粘着剤を硬化させるための活性エネルギー線として紫外線を用いる場合には、粘着性組成物が、光重合開始剤（Ｃ）を含有することが好ましい。光重合開始剤（Ｃ）を使用することにより、重合硬化時間および光線照射量を少なくすることができる。

光重合開始剤（Ｃ）の具体例としては、ベンゾフェノン、アセトフェノン、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾイン安息香酸、ベンゾイン安息香酸メチル、ベンゾインジメチルケタール、２，４－ジエチルチオキサンソン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ベンジルジフェニルサルファイド、テトラメチルチウラムモノサルファイド、アゾビスイソブチロニトリル、ベンジル、ジベンジル、ジアセチル、β－クロールアンスラキノン、（２，４，６－トリメチルベンジルジフェニル）フォスフィンオキサイド、２－ベンゾチアゾール－Ｎ，Ｎ－ジエチルジチオカルバメート、オリゴ｛２－ヒドロキシ－２－メチル－１－［４－（１－プロペニル）フェニル］プロパノン｝、２，２－ジメトキシ－１，２－ジフェニルエタン－１－オン、２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル｝－２－メチル－プロパン－１－オンなどが挙げられる。これらの中でも、２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル｝－２－メチル－プロパン－１－オンを使用することが好ましい。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

光重合開始剤（Ｃ）は、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）（活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）を配合する場合には、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）および活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）の合計量１００質量部）１００質量部に対して０．１質量部以上、特に０．５質量部以上の量で用いられることが好ましい。また、光重合開始剤（Ｃ）は、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）（活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）を配合する場合には、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）および活性エネルギー線硬化性のモノマーおよび／またはオリゴマー（Ｂ）の合計量１００質量部）１００質量部に対して１０質量部以下、特に６質量部以下の量で用いられることが好ましい。

活性エネルギー線硬化性を有するアクリル系重合体を含有する粘着性組成物は、上記成分以外にも、適宜他の成分を配合してもよい。他の成分としては、例えば、活性エネルギー線非硬化性ポリマー成分またはオリゴマー成分（Ｄ）、架橋剤（Ｅ）等が挙げられる。

活性エネルギー線非硬化性ポリマー成分またはオリゴマー成分（Ｄ）としては、例えば、ポリアクリル酸エステル、ポリエステル、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリオレフィン等が挙げられ、重量平均分子量（Ｍｗ）が３０００～２５０万のポリマーまたはオリゴマーが好ましい。粘着性組成物が成分（Ｄ）を含有することにより、硬化前における粘着性および剥離性、硬化後の強度、他の層との接着性、保存安定性などを向上させ易くなる。当該成分（Ｄ）の配合量は特に限定されず、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）１００質量部に対して０質量部超、５０質量部以下の範囲で適宜決定される。

架橋剤（Ｅ）の使用は、粘着剤層１３の貯蔵弾性率を所望の範囲に調整し易いという観点から好ましい。架橋剤（Ｅ）としては、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）等が有する官能基との反応性を有する多官能性化合物を用いることができる。このような多官能性化合物の例としては、イソシアネート化合物、エポキシ化合物、アミン化合物、メラミン化合物、アジリジン化合物、ヒドラジン化合物、アルデヒド化合物、オキサゾリン化合物、金属アルコキシド化合物、金属キレート化合物、金属塩、アンモニウム塩、反応性フェノール樹脂等を挙げることができる。

架橋剤（Ｅ）の配合量は、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）１００質量部に対して、０．１質量部以上であることが好ましく、特に１質量部以上であることが好ましい。また、架橋剤（Ｅ）の配合量は、活性エネルギー線硬化性重合体（Ａ）１００質量部に対して、２０質量部以下であることが好ましく、特に５質量部以下であることが好ましい。

次に、活性エネルギー線硬化性粘着剤が、活性エネルギー線硬化性を有しないアクリル系重合体（以下、「活性エネルギー線非硬化性アクリル系重合体」という場合がある。）とともに、少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性を有するモノマーおよび／またはオリゴマーとを含有する粘着性組成物から形成されたものである場合について、以下説明する。

活性エネルギー線非硬化性アクリル系重合体としては、例えば、前述した（メタ）アクリル酸エステル重合体（ａ１）と同様の成分が使用できる。

少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性を有するモノマーおよび／またはオリゴマーとしては、前述の成分（Ｂ）と同じものが選択できる。活性エネルギー線非硬化性アクリル系重合体と少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマーとの配合比は、活性エネルギー線非硬化性アクリル系重合体１００質量部に対して、少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマー１質量部以上であるのが好ましく、特に５０質量部以上であるのが好ましい。また、当該配合比は、活性エネルギー線非硬化性アクリル系重合体１００質量部に対して、少なくとも１つ以上の活性エネルギー線硬化性基を有するモノマーおよび／またはオリゴマー２００質量部以下であるのが好ましく、特に１６０質量部以下であるのが好ましい。

この場合においても、上記と同様に、光重合開始剤（Ｃ）や架橋剤（Ｅ）を適宜配合することができる。

本実施形態における粘着剤層の厚さは、１μｍ以上であることが好ましく、特に５μｍ以上であることが好ましい。また、粘着剤層の厚さは、５０μｍ以下であることが好ましく、特に４０μｍ以下であることが好ましい。粘着剤層の厚さが上述した範囲であることで、本実施形態に係るワーク加工用シートが所望の粘着性を発揮し易いものとなる。

（５）剥離シート
本実施形態に係るワーク加工用シート１では、粘着剤層１３における密着層１２とは反対側の面（粘着面）をワークに貼付するまでの間、当該面を保護する目的で、当該面に剥離シートが積層されていてもよい。

上記剥離シートの構成は任意であり、プラスチックフィルムを剥離剤等により剥離処理したものが例示される。当該プラスチックフィルムの具体例としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、およびポリプロピレンやポリエチレン等のポリオレフィンフィルムが挙げられる。上記剥離剤としては、シリコーン系、フッ素系、長鎖アルキル系等を用いることができ、これらの中でも、安価で安定した性能が得られるシリコーン系が好ましい。

上記剥離シートの厚さについては特に制限はなく、例えば、２０μｍ以上、２５０μｍ以下であってよい。

（６）その他
本実施形態に係るワーク加工用シート１では、粘着剤層１３における密着層１２とは反対側の面に接着剤層が積層されていてもよい。この場合、本実施形態に係るワーク加工用シート１は、例えばダイシング・ダイボンディングシートとして使用することができる。当該シートでは、接着剤層における粘着剤層１３とは反対側の面にワークを貼付し、当該ワークとともに接着剤層をダイシングすることで、個片化された接着剤層が積層されたチップを得ることができる。当該チップは、この個片化された接着剤層によって、当該チップが搭載される対象に対して容易に固定することが可能となる。上述した接着剤層を構成する材料としては、熱可塑性樹脂と低分子量の熱硬化性接着成分とを含有するものや、Ｂステージ（半硬化状）の熱硬化型接着成分を含有するもの等を用いることが好ましい。

また、本実施形態に係るワーク加工用シート１では、粘着剤層１３における密着層１２とは反対側の面に保護膜形成層が積層されていてもよい。この場合、本実施形態に係るワーク加工用シート１は、例えば保護膜形成兼ダイシング用シートとして使用することができる。このようなシートでは、保護膜形成層における粘着剤層１３とは反対側の面にワークを貼付し、当該ワークとともに保護膜形成層をダイシングすることで、個片化された保護膜形成層が積層されたチップを得ることができる。当該ワークとしては、片面に回路が形成されたものが使用されることが好ましく、この場合、通常、当該回路が形成された面とは反対側の面に保護膜形成層が積層される。個片化された保護膜形成層は、所定のタイミングで硬化させることで、十分な耐久性を有する保護膜をチップに形成することができる。保護膜形成層は、未硬化の硬化性接着剤からなることが好ましい。

２．ワーク加工用シートの製造方法
本実施形態に係るワーク加工用シート１の製造方法は特に限定されない。例えば、密着層１２と第１のオリゴマー封止層１１ａと基材１０と第２のオリゴマー封止層１１ｂとが順に積層された第１の積層体、および粘着剤層１３と剥離シートとが順に積層された第２の積層体をそれぞれ作製した後、密着層１２と粘着剤層１３とが接するように第１の積層体と第２の積層体とを貼合することで、ワーク加工用シート１を製造することができる。

上記第１の積層体の製造方法の例としては、基材１０における両面に、それぞれ第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂを形成した後、形成された第１のオリゴマー封止層１１ａにおける基材１０とは反対の面側に、密着層１２を形成する方法が挙げられる。

第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂの形成は、公知の方法により行うことができる。例えば、前述したオリゴマー封止層用組成物、および所望によりさらに溶媒または分散媒を含有する塗布液を調製する。そして、基材１０の一方の面に上記塗布液を塗布し、得られた塗膜を加熱することで硬化皮膜を形成し、当該硬化皮膜をオリゴマー封止層とすることができる。その後、基材１０の他方の面にも同様にオリゴマー封止層することにより、基材１０の両面に第１のオリゴマー封止層１１ａおよび第２のオリゴマー封止層１１ｂがそれぞれ形成された積層体を得ることができる。

オリゴマー封止層の形成の際における加熱条件は、適宜設定することができる。例えば、その温度は、１２０℃以上、１７０℃以下とすることが好ましい。また、その時間としては、５秒間以上、５分間以内とすることが好ましい。

密着層１２の形成は、公知の方法により行うことができる。例えば、前述した密着層用組成物、および所望によりさらに溶媒または分散媒を含有する塗布液を調製する。そして、上記の通り作製した第１のオリゴマー封止層１１ａと基材１０と第２のオリゴマー封止層１１ｂとが順に積層されてなる積層体における第１のオリゴマー封止層１１ａ側の面に、上記塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥させることで、密着層１２を形成することができる。

密着層１２の形成の際には、必要に応じて、上記乾燥とは独立に、または上記乾燥を兼ねた処理として、加熱処理を行ってもよい。このような加熱処理は、前述した自己架橋性添加剤が良好な自己縮合反応を行い易いものとなり、密着層１２中に所望の高次構造を形成し易いものとなるという観点からも好ましい。上記加熱処理の温度としては、８０℃以上、１３０℃以下とすることが好ましい。上記加熱処理の時間としては、３０秒間以上、５分間以下とすることが好ましい。

上述した第２の積層体は、剥離シートの剥離性を有する面（以下、「剥離面」という場合がある。）に粘着剤層１３を形成することで得ることができる。粘着剤層１３の形成は、公知の方法により行うことができる。例えば、粘着剤層１３を形成するための粘着性組成物、および所望によりさらに溶媒または分散媒を含有する塗布液を調製する。そして、剥離シートの剥離面に上記塗布液を塗布し、得られた塗膜を乾燥させることで、粘着剤層１３を形成することができる。

粘着剤層１３を形成するための粘着性組成物が前述した架橋剤を含有する場合には、上記の乾燥の条件（温度、時間など）を変えることにより、または加熱処理を別途設けることにより、塗膜内のポリマー成分と架橋剤との架橋反応を進行させ、粘着剤層１３内に所望の存在密度で架橋構造を形成することが好ましい。なお、上述した架橋反応を十分に進行させるために、第１の積層体と第２の積層体とを貼り合わせた後、例えば２３℃、相対湿度５０％の環境に数日間静置するといった養生を行ってもよい。

各種塗布液の塗布は公知の方法により行うことができ、例えば、バーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法等により行うことができる。なお、塗布液は、塗布を行うことが可能であればその性状は特に限定されず、オリゴマー封止層、密着層１２または粘着剤層１３を形成するための成分を溶質として含有する場合もあれば、分散質として含有する場合もある。また、剥離シートは工程材料として剥離してもよいし、被着体に貼付するまでの間、粘着剤層１３を保護していてもよい。

３．ワーク加工用シートの使用方法
本実施形態に係るワーク加工用シート１は、半導体ウエハ等のワークの加工のために使用することが好適である。この場合、本実施形態に係るワーク加工用シート１の粘着面をワークに貼付した後、ワーク加工用シート上にてワークの加工を行うことができる。当該加工に応じて、本実施形態に係るワーク加工用シート１は、バックグラインドシート、ダイシングシート、エキスパンドシート、ピックアップシート等として使用することができる。ここで、ワークの例としては、半導体ウエハ、半導体パッケージ等の半導体部材、ガラス板等のガラス部材が挙げられる。

本実施形態に係るワーク加工用シート１は、前述した通り、加熱を伴う工程に供される場合であっても、基材１０からのオリゴマーの放出を抑制し、それにより装置やワークの汚染を良好に抑制しながらも、ワークに対する糊残りの問題も良好に抑制することができる。そのため、本実施形態に係るワーク加工用シート１は、粘着面側に加工前または加工後のワークを積層した状態で、当該ワーク加工用シートを加熱する工程を備えるワーク加工方法に使用することが特に好適である。

例えば、本実施形態に係るワーク加工用シート１は、その粘着剤層１３における密着層１２とは反対側の面にワークを貼合する貼合工程と、当該ワークを、ワーク加工用シート１上に貼合された状態で、加熱を伴う処理に供する加熱工程と、当該加熱を伴う処理に供したワークをワーク加工用シート１上にてダイシングすることで、当該ワークが個片化してなる加工済みワークを得るダイシング工程とを備える加工済みワークの製造方法に好適に使用することができる。

上述した加工済みワークの製造方法では、ダイシング工程により得られた加工済みワークを、ワーク加工用シート１から適宜分離することができる。例えば、上記製造方法は、加工済みワークが貼合されたワーク加工用シート１における粘着剤層１３に対し、活性エネルギー線を照射して、粘着剤層１３を硬化させる活性エネルギー線照射工程と、硬化後の粘着剤層１３を備えるワーク加工用シート１から、上記加工済みワークをピックアップするピックアップ工程とを備えることも好ましい。

上述した、貼合工程、ダイシング工程、活性エネルギー線照射工程およびピックアップ工程は、それぞれ公知の方法により行うことができる。また、上述した加熱工程についても特に限定はなく、例えば、加工前または加工後のワークに対する、蒸着、スパッタリング、ベーキング等の処理や、高温環境下での信頼性を確認するための加熱試験等を行うことができる。

上記加熱工程における加熱の条件は、加熱の目的に応じて適宜設定することができる。例えば、上記加熱の温度としては、８０℃以上であってよく、特に１００℃以上であってよく、さらには１１０℃以上であってもよい。また、当該温度は、例えば、３００℃以下であってよく、特２７０℃以下であってよく、さらには２００℃以下であってもよい。上記加熱の時間としては、例えば、１０分以上であってよく、特に３０分以上であってよく、さらには１２０分以上であってもよい。また、当該時間は、例えば、２５時間以下であってよく、特に１０時間以下であってよく、さらには５時間以下であってもよい。加熱のための装置としては、加熱の目的に応じたものを使用することができ、例えば、オーブン、加熱可能なテーブル等を使用することができる。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、第２のオリゴマー封止層１１ｂにおける基材１０とは反対の面側には、その他の層が設けられてもよい。

以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。

〔実施例１〕
（１）オリゴマー封止層用組成物の調製
ビスフェノールＡ型エポキシ化合物（ＤＩＣ社製，製品名「ＥＰＩＣＬＯＮ Ｈ－３６０」，重量平均分子量：２５０００）１００質量部（固形分換算，以下同じ）と、ポリエステル化合物（東洋紡績社製，製品名「バイロンＧＫ６８０」，数平均分子量６０００，ガラス転移温度：１０℃）１０．７質量部と、多官能アミノ化合物としてのヘキサメトキシメチルメラミン（日本サイテックインダストリーズ社製，製品名「サイメル３０３」）２８．５質量部とを、トルエンとメチルエチルケトンの混合比（質量％）５０：５０の混合溶媒中で混合し、固形分濃度が３％である溶液を得た。さらに、当該溶液に、酸性触媒としてのｐ－トルエンスルホン酸を１．４５質量部添加して混合することで、オリゴマー封止層用組成物の塗布液を得た。

（２）オリゴマー封止層の形成
基材としてのポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ社製，製品名「ルミラー Ｔ－６０」，厚さ：７５μｍ）の一方の面に、工程（１）にて調製したオリゴマー封止層用組成物の塗布液をマイヤーバーコート法にて均一に塗布した。これにより得られた塗膜を、オーブンで加熱することで硬化させ、厚さ１３５ｎｍの第１のオリゴマー封止層を形成した。

さらに、上述した基材における第１のオリゴマー封止層とは反対側の面に対し、上記と同様にして、オリゴマー封止層用組成物の塗布液を塗布し、得られた塗膜を硬化させることで、厚さ１３５ｎｍの第２のオリゴマー封止層を形成した。

以上により、基材の一方の面に第１のオリゴマー封止層が形成され、他方の面に第２のオリゴマー封止層が形成されてなる積層体を得た。

（３）密着層用組成物の調製
アクリル酸ｎ－ブチル９１質量部と、アクリル酸９質量部とを溶液重合法により重合させて、アクリル系共重合体を得た。このアクリル系共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を後述する方法により測定したところ、７０万であった。得られたアクリル系共重合体１００質量部と、自己架橋性添加剤としてのトリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート（東ソー社製，製品名「コロネートＬ」）１．０質量部とを、溶媒中で混合し、密着層用組成物の塗布液を得た。

（４）密着層の形成
上記工程（２）で得られた積層体における第１のオリゴマー封止層側の面に対し、上記工程（３）で得られた密着層用組成物の塗布液を塗布し、得られた塗膜を１００℃で１分間加熱した。これにより、厚さ３μｍの密着層と、第１のオリゴマー封止層と、基材と、第２のオリゴマー封止層とが順に積層されてなる第１の積層体を得た。

（５）粘着性組成物の調製
アクリル酸２－エチルヘキシル６０質量部と、Ｎ－アクリロイルモルフォリン１０質量部と、アクリル酸２－ヒドロキシエチル３０質量部とを溶液重合法により重合させて、（メタ）アクリル酸エステル重合体を得た。この（メタ）アクリル酸エステル重合体と、当該（メタ）アクリル酸エステル重合体を構成するアクリル酸２－ヒドロキシエチルに対して９０モル％に相当する量のメタクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）とを反応させて、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入された（メタ）アクリル酸エステル共重合体を得た。この（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を後述する方法により測定したところ、８０万であった。

続いて、上記の通り得られた、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入された（メタ）アクリル酸エステル共重合体１００質量部と、架橋剤としての１，６－ヘキサメチレンジイソシアネートのイソシアヌレート型３量体（東ソー社製，製品名「コロネートＨＸ」）１．８質量部と、２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル｝－２－メチル－プロパン－１－オン（ＢＡＳＦ社製，製品名「オムニラッド１２７」）３質量部とを、溶媒中で混合し、粘着性組成物の塗布液を得た。

（６）粘着剤層の形成
上記工程（５）で得られた粘着性組成物の塗布液を、厚さ３８μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムの片面がシリコーン系剥離剤により剥離処理された剥離シート（リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ３８１０３１」）の剥離処理面に塗布し、得られた塗膜を１００℃で１分間乾燥させた。これにより、剥離シートにおける剥離面上に、厚さ２０μｍの粘着剤層が形成されてなる第２の積層体を得た。

（７）ワーク加工用シートの作製
上記工程（４）にて得られた第１の積層体における密着層側の面と、上記工程（６）で得られた第２の積層体における粘着剤層側の面とを貼り合わせることで、ワーク加工用シートを得た。

ここで、前述した重量平均分子量（Ｍｗ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）を用いて以下の条件で測定（ＧＰＣ測定）した標準ポリスチレン換算の重量平均分子量である。
＜測定条件＞
・測定装置：東ソー社製，ＨＬＣ－８３２０
・ＧＰＣカラム（以下の順に通過）：東ソー社製
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨ－Ｈ
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨＭ－Ｈ
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨ２０００
・測定溶媒：テトラヒドロフラン
・測定温度：４０℃

〔実施例２〕
密着層の厚さを１μｍに変更した以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔実施例３〕
密着層用組成物を調製する際の自己架橋性添加剤として、ヘキサメチレンジイソシアネート（東ソー社製，製品名「コロネートＨＬ」）を使用した以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔実施例４〕
アクリル酸２－エチルヘキシル７０質量部と、アクリル酸２－ヒドロキシエチル３０質量部とを溶液重合法により重合させて、（メタ）アクリル酸エステル重合体を得た。この（メタ）アクリル酸エステル重合体と、当該（メタ）アクリル酸エステル重合体を構成するアクリル酸２－ヒドロキシエチルに対して９０モル％に相当する量のメタクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）とを反応させて、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入された（メタ）アクリル酸エステル共重合体を得た。この（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を前述した方法により測定したところ、７０万であった。

上記の通り得られた、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入された（メタ）アクリル酸エステル共重合体を用いて、粘着性組成物の塗布液を調製し、当該塗布液を使用して粘着剤層を形成した以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔実施例５〕
アクリル酸２－エチルヘキシル７０質量部と、アクリル酸４－ヒドロキシブチル３０質量部とを溶液重合法により重合させて、（メタ）アクリル酸エステル重合体を得た。この（メタ）アクリル酸エステル重合体と、当該（メタ）アクリル酸エステル重合体を構成するアクリル酸２－ヒドロキシエチルに対して９０モル％に相当する量のメタクリロイルオキシエチルイソシアネート（ＭＯＩ）とを反応させて、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入された（メタ）アクリル酸エステル共重合体を得た。この（メタ）アクリル酸エステル共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を前述した方法により測定したところ、７０万であった。

上記の通り得られた、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入された（メタ）アクリル酸エステル共重合体を用いて、粘着性組成物の塗布液を調製し、当該塗布液を使用して粘着剤層を形成した以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔実施例６〕
密着層の厚さを２０μｍに変更した以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔実施例７〕
アクリル酸ｎ－ブチル９１質量部と、アクリル酸９質量部とを、溶液重合法により重合させて、アクリル系重合体を得た。このアクリル系重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を前述した方法により測定したところ、７０万であった。

上記の通り得られたアクリル系重合体１００質量部（固形分換算，以下同じ）と、活性エネルギー線硬化性基を有する成分としての多官能型紫外線硬化性樹脂（三菱ケミカル社製，製品名「紫光ＵＶ－５８０６」，Ｍｗ：２０００，８～１０官能性）４０質量部と、架橋剤としての１，３－ビス（Ｎ，Ｎ－ジグリシジルアミノメチル）シクロへキサン（三菱ガス化学社製，製品名「テトラッドＣ」）０．０５質量部と、光重合開始剤としての２－ヒドロキシ－１－｛４－［４－（２－ヒドロキシ－２－メチル－プロピオニル）－ベンジル］フェニル｝－２－メチル－プロパン－１－オン（ＢＡＳＦ社製，製品名「オムニラッド１２７」）３．０質量部とを溶媒中で混合し、粘着性組成物の塗布液を得た。

上記粘着性組成物の塗布液を使用して、粘着剤層を形成した以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔比較例１〕
第１のオリゴマー封止層のみを設け、第２のオリゴマー封止層を設けなかったこと以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔比較例２〕
密着層を設けなかった（第１のオリゴマー封止層における基材と反対側の面に対して直接粘着剤層を積層した）こと以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔比較例３〕
第１のオリゴマー封止層、第２のオリゴマー封止層および密着層を設けなかった（基材の片面に対して直接粘着剤層を積層した）こと以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔比較例４〕
アクリル酸ｎ－ブチル９０質量部と、アクリル酸２－ヒドロキシエチル１０質量部とを溶液重合法により重合させて、アクリル系共重合体を得た。このアクリル系共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を前述した方法により測定したところ、７０万であった。

上記の通り得られたアクリル系共重合体を用いて、密着層用組成物の塗布液を調製し、当該塗布液を使用して密着層を形成した以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔比較例５〕
アクリル酸２－エチルヘキシル９０質量部と、アクリル酸２－ヒドロキシエチル１０質量部とを溶液重合法により重合させて、アクリル系共重合体を得た。このアクリル系共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）を前述した方法により測定したところ、７０万であった。

上記の通り得られたアクリル系共重合体を用いて、密着層用組成物の塗布液を調製し、当該塗布液を使用して密着層を形成した以外は、実施例１と同様にしてワーク加工用シートを得た。

〔試験例１〕（加熱後の外観の評価）
実施例および比較例において作製したワーク加工用シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層側の面（粘着面）の周縁部に対して、マルチウエハマウンター（リンテック社製，製品名「Ａｄｗｉｌｌ ＲＡＤ－２７００Ｆ／１２」）を用いて、ダイシング用リングフレーム（ディスコ社製，製品名「２－８－１」）を貼付することで、評価用サンプルを得た。

当該評価用サンプルをオーブンにて１２５℃で２４時間加熱した。そして、加熱後のワーク加工用シートにおける、粘着面とは反対の面について、オリゴマーの析出による白色化の有無を目視で確認した。白色化しなかった場合を「○」、白色化した場合を「×」として、表１に示す。

なお、上記白色化の有無は、ワーク加工用シートの加熱に使用する装置の表面におけるオリゴマーの析出の有無の指標とすることができる。すなわち、「〇」となる場合には、装置表面におけるオリゴマーの析出が抑制されると推定され、「×」となる場合には、装置表面におけるオリゴマーの析出が生じると推定される。

〔試験例２〕（糊残りの評価）
実施例および比較例において作製したワーク加工用シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層側の面に対して、マルチウエハマウンター（リンテック社製，製品名「Ａｄｗｉｌｌ ＲＡＤ－２７００Ｆ／１２」）を用いて、シリコンウエハ（直径：６インチ，厚さ：３５０μｍ）を貼付することで、評価用サンプルを得た。

続いて、当該評価用サンプルをオーブンにて１２５℃で２４時間加熱した。加熱後、評価用サンプルにおけるシリコンウエハとは反対の面に対して、紫外線照射装置（リンテック社製，製品名「ＲＡＤ－２０００ ｍ／１２」）を用いて、紫外線（ＵＶ）を照射し（照度：１９０ｍＷ／ｃｍ^２，光量：５８０ｍＪ／ｃｍ^２）、粘着剤層を硬化させた。

その後、シリコンウエハからワーク加工用シートを剥離した。それによって露出したシリコンウエハの露出面を観察し、当該露出面の全領域を占める、粘着剤層を構成する粘着剤が付着している領域の割合を算出し、以下の基準に基づいて、糊残りの程度を評価した。結果を表１に示す。
Ａ：粘着剤が付着している領域の割合が、１％未満である。
Ｂ：粘着剤が付着している領域の割合が、１％以上、５％未満である。
Ｃ：粘着剤が付着している領域の割合が、５％以上、１０％未満である。
Ｄ：粘着剤が付着している領域の割合が、１０％以上である。

〔試験例３〕（被着体の汚染の評価）
実施例および比較例において作製したワーク加工用シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層側の面に対して、マルチウエハマウンター（リンテック社製，製品名「Ａｄｗｉｌｌ ＲＡＤ－２７００Ｆ／１２」）を用いて、シリコンウエハ（直径：６インチ，厚さ：３５０μｍ）を貼付することで、評価用サンプルを得た。

続いて、当該評価用サンプルをオーブンにて１２５℃で２４時間加熱した。加熱後、評価用サンプルにおけるシリコンウエハとは反対の面に対して、紫外線照射装置（リンテック社製，製品名「ＲＡＤ－２０００ ｍ／１２」）を用いて、紫外線（ＵＶ）を照射し（照度：１９０ｍＷ／ｃｍ^２，光量：５８０ｍＪ／ｃｍ^２）、粘着剤層を硬化させた。

その後、シリコンウエハからワーク加工用シートを剥離した。それによって露出したシリコンウエハの露出面について、オリゴマーが析出して生じた直径０．２７μｍ以上のパーティクルの数をウエハ表面検査装置（日立エンジニアリング社製，製品名「Ｓ６６００」）を用いてカウントした。そして、以下の基準に基づいて、被着体の汚染の程度を評価した。結果を表１に示す。
Ａ：パーティクルの数が、５００個未満である。
Ｂ：パーティクルの数が、５００個以上、７００個未満である。
Ｃ：パーティクルの数が、７００個以上、９００個未満である。
Ｄ：パーティクルの数が、９００個以上である。

〔試験例４〕（加熱後のピックアップ性の評価）
実施例および比較例において作製したワーク加工用シートから剥離シートを剥離し、露出した粘着剤層側の面に対して、マルチウエハマウンター（リンテック社製，製品名「Ａｄｗｉｌｌ ＲＡＤ－２７００Ｆ／１２」）を用いて、シリコンウエハ（直径：６インチ，厚さ：３５０μｍ）を貼付した。その後、ワーク加工用シートにおける粘着剤層側の面の周縁部（シリコンウエハとは重ならない位置）に、ダイシング用リングフレーム（ディスコ社製，製品名「２－８－１」）を貼付した。

続いて、シリコンウエハおよびリングフレームが積層された状態で、ワーク加工用シートをオーブンにより１２５℃で２４時間加熱した。

次いで、下記の条件で、ワーク加工用シート上にて、シリコンウエハをダイシングした。
＜ダイシング条件＞
・ダイシング装置：ＤＩＳＣＯ社製，製品名「ＤＦＤ－６３６１」
・ブレード：ＤＩＳＣＯ社製，製品名「ＮＢＣ－ＺＨ２０５０－２７ＨＥＤＤ」
・ブレード回転数：３００００ｒｐｍ
・切削速度：５０ｍｍ／分
・切り込み深さ：基材における深さ２０μｍの位置に到達するまで
・ダイシングサイズ：１０ｍｍ×１０ｍｍ

上記ダイシングによって得られたチップについて、ピックアップ装置（キャノンマシナリー社製，製品名「ＢＥＳＴＥＭ－Ｄ０２」）を用いてピックアップを試みた。その際のピックアップの可否、およびピックアップできたチップのオリゴマーによる汚染の有無について、以下の基準によりピックアップ性を評価した。結果を表１に示す。
○：チップを良好にピックアップすることができ、且つチップの汚染も確認されなかった。
△：チップを良好にピックアップすることができたが、チップの汚染が確認された。
×：チップのピックアップができなかった。

なお、表１に記載の略号等の詳細は以下の通りである。
ＢＡ：アクリル酸ｎ－ブチル
ＡＡ：アクリル酸
ＨＥＡ：アクリル酸２－ヒドロキシエチル
２ＥＨＡ：アクリル酸２－エチルヘキシル
ＡＣＭＯ：Ｎ－アクリロイルモルフォリン
４ＨＢＡ：アクリル酸４－ヒドロキシブチル
ＭＯＩ：メタクリロイルオキシエチルイソシアネート
コロネートＬ：トリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート（東ソー社製，製品名「コロネートＬ」）
コロネートＨＬ：へキサメチレンジイソシアネート（東ソー社製，製品名「コロネートＨＬ」）

表１から明らかなように、実施例で製造したワーク加工用シートは、加熱後であっても、白色化が生じず（すなわち、加熱装置におけるオリゴマーの析出が生じず）、被着体における糊残りも生じず、被着体におけるオリゴマーの析出も生じないものであった。さらに、実施例１～５で製造したワーク加工用シートについては、加熱後であっても、優れたピックアップ性を示すものであった。

本発明のワーク加工用シートは、半導体ウエハ等のワークの加工に好適に使用することができる。

１…ワーク加工用シート
１０…基材
１１ａ…第１のオリゴマー封止層
１１ｂ…第２のオリゴマー封止層
１２…密着層
１３…粘着剤層

Claims (8)

1. 樹脂から構成される基材と、
   前記基材における一方の面側に積層された第１のオリゴマー封止層と、
   前記基材における他方の面側に積層された第２のオリゴマー封止層と、
   前記第１のオリゴマー封止層における前記基材とは反対の面側に積層された、カルボキシル基を含有する樹脂から構成される密着層と、
   前記密着層における前記第１のオリゴマー封止層とは反対の面側に積層された、活性エネルギー線硬化性粘着剤から構成される粘着剤層と
   を備え、
   前記密着層を構成する樹脂は、カルボキシル基含有モノマーを構成単位として含むアクリル系共重合体を含み、
   半導体ウエハ表面に溝が形成された半導体ウエハの裏面を研削して、その研削により半導体ウエハを半導体チップに個片化した後、ドライポリッシュを行う工程において、半導体ウエハの表面に貼付されて使用されるものではない
   ことを特徴とするワーク加工用シート。
2. 前記密着層の厚さは、０．１μｍ以上、３０μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載のワーク加工用シート。
3. 前記第１のオリゴマー封止層および前記第２のオリゴマー封止層の少なくとも一方は、エポキシ化合物と、ポリエステル化合物と、多官能アミノ化合物とを含有するオリゴマー封止層用組成物を硬化させた硬化皮膜であることを特徴とする請求項１または２に記載のワーク加工用シート。
4. 前記活性エネルギー線硬化性粘着剤は、側鎖に活性エネルギー線硬化性基が導入された（メタ）アクリル酸エステル共重合体を含有する粘着剤組成物から形成された粘着剤であることを特徴とする請求項１～３のいずれか一項に記載のワーク加工用シート。
5. 前記基材の厚さは、１０μｍ以上、１００μｍ以下であることを特徴とする請求項１～４のいずれか一項に記載のワーク加工用シート。
6. 前記粘着剤層における前記密着層とは反対の面側に、加工前または加工後のワークを積層した状態で、前記ワーク加工用シートを加熱する工程を備えるワーク加工方法に使用されることを特徴とする請求項１～５のいずれか一項に記載のワーク加工用シート。
7. 請求項１～６のいずれか一項に記載のワーク加工用シートの、前記粘着剤層における前記密着層とは反対側の面にワークを貼合する貼合工程と、
   前記ワークを、前記ワーク加工用シート上に貼合された状態で、加熱を伴う処理に供する加熱工程と、
   前記加熱を伴う処理に供した前記ワークを前記ワーク加工用シート上にてダイシングすることで、前記ワークが個片化してなる加工済みワークを得るダイシング工程と
   を備えることを特徴とする加工済みワークの製造方法。
8. 前記加工済みワークが貼合された前記ワーク加工用シートにおける前記粘着剤層に対し、活性エネルギー線を照射して、前記粘着剤層を硬化させる活性エネルギー線照射工程と、
   硬化後の前記粘着剤層を備える前記ワーク加工用シートから、前記加工済みワークをピックアップするピックアップ工程と
   を備えることを特徴とする請求項７に記載の加工済みワークの製造方法。

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