JP7498895B2 - Li2O-Al2O3-SiO2系結晶化ガラス - Google Patents

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Description

本発明はLiO-Al-SiO系結晶化ガラスに関する。詳細には、例えば石油ストーブ、薪ストーブ等の前面窓、カラーフィルターやイメージセンサー用基板等のハイテク製品用基板、電子部品焼成用セッター、光拡散板、半導体製造用炉心管、半導体製造用マスク、光学レンズ、寸法測定用部材、通信用部材、建築用部材、化学反応用容器、電磁調理用トッププレート、防火戸用窓ガラス等の材料として好適なLiO-Al-SiO系結晶化ガラスに関する。
従来、石油ストーブ、薪ストーブ等の前面窓、カラーフィルターやイメージセンサー用基板等のハイテク製品用基板、電子部品焼成用セッター、電磁調理用トッププレート、防火戸用窓ガラス等の材料として、LiO-Al-SiO系結晶化ガラスが用いられている。例えば特許文献1~3には、主結晶としてβ-石英固溶体(LiO・Al・nSiO[ただし2≦n≦4])やβ-スポジュメン固溶体(LiO・Al・nSiO[ただしn≧4])等のLiO-Al-SiO系結晶を析出してなるLiO-Al-SiO系結晶化ガラスが開示されている。
LiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、熱膨張係数が低く、機械的強度も高いため、優れた熱的特性を有している。また結晶化工程において熱処理条件を適宜調整することにより、析出結晶の種類を制御することが可能であり、透明な結晶化ガラス(β-石英固溶体が析出)を容易に作製することができる。
ところで、この種の結晶化ガラスを製造する場合、1400℃を超える高温で溶融する必要がある。このため、ガラスバッチに添加される清澄剤には、高温での溶融時に清澄ガスを多量に発生させることができるAsやSbが使用されている。しかしながら、AsやSbは毒性が強く、ガラスの製造工程や廃ガラスの処理時等に環境を汚染する可能性がある。
そこで、AsやSbの代替清澄剤として、SnOやClが提案されている(例えば、特許文献4および5参照)。ただし、Clは、ガラス成形時に金型や金属ロールを腐食させやすく、結果として、ガラスの表面品位を劣化させるおそれがある。このような観点から、清澄剤としては、上記問題が生じないSnOを用いることが好ましい。
特公昭39-21049号公報 特公昭40-20182号公報 特開平1-308845号号公報 特開平11-228180号公報 特開平11-228181号公報
前述のように、SnOは環境を汚染しないという観点からは好ましい成分であるが、特許文献4および5に記載されているように、SnOはTiOやFe等に起因する着色を強める作用を有するため、透明結晶化ガラスの黄色味が強くなり、外観上好ましくないという問題がある。
本発明の目的は、LiO-Al-SiO系結晶化ガラスにおいて、TiOやFe等に起因する黄色の着色が抑制されたLiO-Al-SiO系結晶化ガラスを提供することである。
TiOやFe等に起因する透明結晶化ガラスの黄色い着色を改善する場合、これらの含有量を低減すればよいが、特にTiOの含有量を少なくすると、最適焼成温度域が狭くなり、結晶核の生成量が少なくなり易い。その結果、粗大結晶が多くなって、結晶化ガラスが白濁し、透明性を損ないやすくなる。しかし、TiOの含有量低減に伴う結晶核生成量の不足は、HfO、及びTaのいずれかを含有させることにより補うことができ、さらに、HfO、及びTaのいずれかを含有した透明結晶化ガラスは、紫外光により青色に発光するため黄色い着色を抑制することが可能であることを見出した。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、質量%で、SnO 0~5%、HfO+Ta 0.01~10%を含有することを特徴とする。このようにすれば、ガラスの着色及び粗大結晶の析出が抑制され、透明性に優れたLiO-Al-SiO系結晶化ガラスを容易に得ることができる。ここで、「HfO+Ta」は、HfO、及びTaの含有量の合量を意味する。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、質量%で、SiO 40~90%、Al 5~30%、LiO 1~10%、SnO 0.01~5%、HfO+Ta 0.01~10%を含有することが好ましい。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、質量%で、SiO 40~90%、Al 5~30%、LiO 1~10%、SnO 0.01~5%、HfO+Ta 0.05~10%を含有することが好ましい。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、さらに、質量%で、NaO 0~10%、KO 0~10%、MgO 0~10%、CaO 0~10%、SrO 0~10%、BaO 0~10%、ZnO 0~10%、P 0~5%、TiO 0~2%、ZrO 0~10%を含有することが好ましい。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、外観が無色透明であることが好ましい。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、厚み3mm、波長300nmにおける透過率が10%以上であることが好ましい。このようにすれば、紫外透過性を求める各種の用途に好適に使用することができる。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスにおいては、主結晶としてβ-石英固溶体が析出していることが好ましい。このようにすれば、熱膨張係数の低い結晶化ガラスを得ることが容易になる。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスにおいては、30~380℃における熱膨張係数が、20×10-7/℃以下であることが好ましい。このようにすれば、低膨張性を求める各種の用途に好適に使用することができる。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスにおいては、30~750℃における熱膨張係数が、25×10-7/℃以下であることが好ましい。このようにすれば、広い温度域にて低膨張性を求める各種の用途に好適に使用することができる。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶性ガラスは、質量%で、SnO 0~5%、HfO+Ta 0.01~10%を含有することを特徴とする。
本発明によれば、LiO-Al-SiO系結晶化ガラスにおいて、TiOやFe等に起因する黄色の着色が抑制されたLiO-Al-SiO系結晶化ガラスを提供することができる。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、質量%で、SnO 0~5%、HfO+Ta 0.01~10%を含有し、好ましくは、質量%で、SiO 40~90%、Al 5~30%、LiO 1~10%、SnO 0.01~5%、HfO+Ta 0.01~10%を含有する。ガラス組成を上記のように限定した理由を以下に示す。なお、以下の各成分の含有量に関する説明において、特に断りのない限り、「%」は「質量%」を意味する。
SiOはガラスの骨格を形成するとともに、LiO-Al-SiO系結晶を構成する成分である。SiOの含有量は40~90%、50~85%、52~83%、55~80%、55~75%、55~73%、55~71%、56~70%、57~70%、58~70%、59~70%、特に60~70%であることが好ましい。SiOの含有量が少なすぎると、熱膨張係数が高くなる傾向があり、耐熱衝撃性に優れた結晶化ガラスが得られにくくなる。また、化学的耐久性が低下する傾向がある。一方、SiOの含有量が多すぎると、ガラスの溶融性が低下したり、ガラス融液の粘度が高くなって、清澄しにくくなったりガラスの成形が難しくなって生産性が低下しやすくなる。
Alはガラスの骨格を形成するとともに、LiO-Al-SiO系結晶を構成する成分である。Alの含有量は5~30%、7~30%、8~29%、10~28%、13~27%、15~26%、16~26%、17~25%、17~24%、18~24%、19~24%、特に20~23%であることが好ましい。Alの含有量が少なすぎると、熱膨張係数が高くなる傾向があり、耐熱衝撃性に優れた結晶化ガラスが得られにくくなる。また、化学的耐久性が低下する傾向がある。一方、Alの含有量が多すぎると、ガラスの溶融性が低下したり、ガラス融液の粘度が高くなって、清澄しにくくなったりガラスの成形が難しくなって生産性が低下しやすくなる。また、ムライトの結晶が析出してガラスが失透する傾向があり、ガラスが破損しやすくなる。
LiOはLiO-Al-SiO系結晶を構成する成分であり、結晶性に大きな影響を与えるとともに、ガラスの粘度を低下させて、ガラスの溶融性および成形性を向上させる成分である。LiOの含有量は1~10%、2~10%、2~9%、2~8%、2~7%、2.5~6%、2.5~5%、3~4.5%、特に3~4%であることが好ましい。LiOの含有量が少なすぎると、ムライトの結晶が析出してガラスが失透する傾向がある。また、ガラスを結晶化させる際に、LiO-Al-SiO系結晶が析出しにくくなり、耐熱衝撃性に優れた結晶化ガラスを得ることが困難になる。さらに、ガラスの溶融性が低下したり、ガラス融液の粘度が高くなって、清澄しにくくなったりガラスの成形が難しくなって生産性が低下しやすくなる。一方、LiOの含有量が多すぎると、結晶性が強くなりすぎて、ガラスが失透しやすくなる傾向があり、ガラスが破損しやすくなる。
SnOは清澄剤として作用する成分である。SnOを清澄剤として使用することにより、毒性が強い清澄剤であるAsやSbを使用しなくてもガラスを十分に清澄させることができる。また、結晶化工程で結晶を析出させるための核形成剤となる成分でもある。一方で、多量に含有するとガラスの着色を著しく強める成分でもある。SnOの含有量は0~5%、0.01~5%、0.01~4%、0.02~3%、0.03~2.5%、0.05~3%、0.05~2.5%、0.05~2%、0.05~1.9%、0.05~1.8%、0.05~1.7%、0.05~1.6%、0.05~1.5%、0.1~1%、0.1~0.5%、0.1~0.4%、0.1~0.35%、特に0.15~0.25%であることが好ましい。SnOの含有量が少なすぎると、ガラスの清澄が困難となり、生産性が低下しやすくなる。一方、SnOの含有量が多すぎると、ガラスの着色が強くなる。
HfO、及びTaは結晶化工程で結晶を析出させるための核形成剤となる成分である。また、紫外光により青色に発光し、これが補色となって黄色い着色を抑制する成分でもある。HfO+Taの含有量は0.01~10%、0.02~10%、0.03~10%、0.04~10%、0.05~10%、0.06~10%、0.07~10%、0.08~10%、0.09~9%、0.1~8%、0.11~7%、0.12~6%、0.5~5%、1~4%、2~3.5%、特に3~3.5%であることが好ましい。HfO+Taの含有量が少なすぎると、結晶核が十分に形成されず、粗大な結晶が析出してガラスが白濁したり、破損したりするおそれがある。また、ガラスの着色が強まる傾向がある。一方、HfO+Taの含有量が多すぎると、ガラスを溶融する際に失透しやすくなり、ガラスの成形が難しくなって生産性が低下しやすくなる。なお、HfO、及びTaの各成分の含有量は、それぞれ0.01~10%、0.02~10%、0.03~10%、0.04~10%、0.05~10%、0.06~10%、0.07~10%、0.08~10%、0.09~9%、0.1~8%、0.11~7%、0.12~6%、0.5~5%、1~4%、2~3.5%、特に3~3.5%であることが好ましい。なお、HfO、及びTaは不純物として混入するものを利用しても構わない。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、上記成分以外にも、ガラス組成中に下記の成分を含有してもよい。
NaOはLiO-Al-SiO系結晶に固溶する成分であり、結晶性に大きな影響を与えるとともに、ガラスの粘度を低下させて、ガラスの溶融性および成形性を向上させる成分である。NaOの含有量は0~10%、0~9.5%、0~9%、0~8.5%、0~8%、0~7.5%、0~7%、0~6.5%、0~6%、0~5.5%、0~5%、0~4.5%、0~4%、0~3.5%、0~3%、0~1%、特に0.1~0.8%であることが好ましい。NaOの含有量が多すぎると、結晶性が強くなりすぎて、ガラスが失透しやすくなり、ガラスが破損しやすくなる。
OはLiO-Al-SiO系結晶に固溶する成分であり、結晶性に大きな影響を与えるとともに、ガラスの粘度を低下させて、ガラスの溶融性および成形性を向上させる成分である。KOの含有量は0~10%、0~9.5%、0~9%、0~8.5%、0~8%、0~7.5%、0~7%、0~6.5%、0~6%、0~5.5%、0~5%、0~4.5%、0~4%、0~3.5%、0~3%、0~1%、特に0.1~0.8%であることが好ましい。KOの含有量が多すぎると、結晶性が強くなりすぎて、ガラスが失透しやすくなり、ガラスが破損しやすくなる。
MgOはLiO-Al-SiO系結晶に固溶し、LiO-Al-SiO系結晶の熱膨張係数を高くする成分である。MgOの含有量は0~10%、0~9.5%、0~9%、0~8.5%、0~8%、0~7.5%、0~7%、0~6.5%、0~6%、0~5.5%、0~5%、0~4.5%、0~4%、0~3.5%、0~3%、0.1~2%、特に0.3~1.5%であることが好ましい。MgOの含有量が多すぎると、結晶性が強くなりすぎて失透しやすくなり、ガラスが破損しやすくなる。また、熱膨張係数が高くなり過ぎる傾向がある。
CaOはガラスの粘度を低下させて、ガラスの溶融性および成形性を向上させる成分である。CaOの含有量は0~10%、0~9.5%、0~9%、0~8.5%、0~8%、0~7.5%、0~7%、0~6.5%、0~6%、0~5.5%、0~5%、0~4.5%、0~4%、0~3.5%、0~3%、0~2%、特に0~1%であることが好ましい。CaOの含有量が多すぎると、ガラスが失透しやすくなり、ガラスが破損しやすくなる。
SrOはガラスの粘度を低下させて、ガラスの溶融性および成形性を向上させる成分である。SrOの含有量は0~10%、0~9.5%、0~9%、0~8.5%、0~8%、0~7.5%、0~7%、0~6.5%、0~6%、0~5.5%、0~5%、0~4.5%、0~4%、0~3.5%、0~3%、0~2%、特に0~1%であることが好ましい。SrOの含有量が多すぎると、ガラスが失透しやすくなり、ガラスが破損しやすくなる。
BaOはガラスの粘度を低下させて、ガラスの溶融性および成形性を向上させる成分である。BaOの含有量は0~10%、0~9.5%、0~9%、0~8.5%、0~8%、0~7.5%、0~7%、0~6.5%、0~6%、0~5.5%、0~5%、0~4.5%、0~4%、0~3.5%、0~3%、0.1~2%、0.5~1.8%、特に1~1.5%であることが好ましい。BaOの含有量が多すぎると、Baを含む結晶が析出しガラスが失透しやすくなり、ガラスが破損しやすくなる。
ZnOはLiO-Al-SiO系結晶に固溶し、結晶性に大きな影響を与える成分である。ZnOの含有量は0~10%、0~9.5%、0~9%、0~8.5%、0~8%、0~7.5%、0~7%、0~6.5%、0~6%、0~5.5%、0~5%、0~4.5%、0~4%、0~3.5%、0~3%、0~2%、0~1%、特に0~0.6%であることが好ましい。ZnOの含有量が多すぎると、結晶性が強くなりすぎて失透しやすくなり、ガラスが破損しやすくなる。
は粗大なZrO結晶の析出を抑制する成分である。Pの含有量は0~5%、0~4.5%、0~4%、0~3.5%、0~3%、0~2.5%、0~2%、0.5~2%、1~2%、特に1.2~1.8%であることが好ましい。Pの含有量が多すぎると、LiO-Al-SiO系結晶の析出量が少なくなり、熱膨張係数が高くなる傾向がある。
TiOは結晶化工程で結晶を析出させるための核形成剤となる成分である。一方で、多量に含有するとガラスの着色を著しく強める成分、特にSnOとの相互作用により着色を著しく強める成分でもある。また、残存ガラス相にTiが残っている場合、SiO骨格の価電子帯から残存ガラス相の4価のTiの伝導帯へとLMCT遷移が起こりうる。また、残存ガラス相の3価のTiではd-d遷移が起こり、結晶化ガラスの着色に関与する。更に、TiとFeが共存する場合はイルメナイト(FeTiO)様の着色が発現し、TiとSnが共存する場合は黄色味が強まることが知られている。このため、TiOの含有量は0~2%、0~1%、0~0.5%、0~0.4%、0~0.3%、0~0.2%、特に0~0.1%であることが好ましい。ただし、TiOは不純物として混入するため、TiOを完全に除去しようとすると、原料バッチが高価になり製造コストが増加する傾向にある。製造コストの増加を抑制するために、TiOの含有量の下限は、0.0003%以上、0.0005%以上、0.001%以上、0.005%以上、0.01%以上、特に0.02%以上であることが好ましい。
ZrOは結晶化工程で結晶を析出させるための核形成成分である。ZrOの含有量は0~10%、0~5%、0.1~4%、0.2~4%、0.3~4%、0.4~4%、0.5~4%、0.5~3.9%、0.5~3.8%、0.5~3.7%、0.5~3.6%、0.5~3.5%、0.5~3.4%、0.5~3.3%、0.5~3.2%、0.6~3.2%、0.7~3.2%、0.8~3.2%、0.9~3.2%、1~3.2%、1.1~3.2%、1.2~3.2%、1.3~3.2%、1.4~3.2%、1.5~3.2%、1.6~3.2%、1.7~3.2%、1.7~3%、1.7~2.8%、特に2~2.5%であることが好ましい。ZrOの含有量が多すぎると、粗大なZrO結晶が析出しガラスが失透しやすくなり、ガラスが破損しやすくなる。
Feはガラスの着色を強める成分、特にSnOとの相互作用により着色を著しく強める成分でもある。Feの含有量は0~0.05%、0~0.03%、0~0.01%、0~0.005%、0~0.004%、0~0.003%、特に0~0.002%であることが好ましい。ただし、Feは不純物として混入するため、Feを完全に除去しようとすると、原料バッチが高価になり製造コストが増加する傾向にある。製造コストの増加を抑制するために、Feの含有量の下限は、0.0001%以上、0.0002%以上、0.0003%以上、0.0005%以上、特に0.001%以上であることが好ましい。
AsやSbは毒性が強く、ガラスの製造工程や廃ガラスの処理時等に環境を汚染する可能性がある。このため、本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスはこれらの成分を実質的に含有しない(具体的には、0.1質量%未満)ことが好ましい。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、上記成分以外にも、例えばH、CO、CO、HO、He、Ne、Ar、N等の微量成分をそれぞれ0.1%まで含有してもよい。また、ガラス中にAg、Au、Pd、Ir等の貴金属元素をそれぞれ10ppmまで含有してもよい。
さらに着色に悪影響が無い限り、本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、Pt、Rh、B、Cr、SO、MnO、CeO、Cl、Y、MoO、La、WO、Nd、Nb、Sc、V、RfO等を合量で10%まで含有してもよい。
上記組成を有する本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、外観が無色透明になりやすい。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、厚み3mm、波長300nmにおける透過率が、10%以上、20%以上、特に30%以上であることが好ましい。透過率が低すぎると、ガラスの黄色の着色が強くなりすぎるとともに、ガラスの透明性が低下する。なお、核形成剤として、HfO、及びTaのいずれかを使用することにより、ガラスが青色に発光し黄色い着色を抑制できるため、透過率を高めやすい。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、主結晶としてβ-石英固溶体が析出していることが好ましい。β─石英固溶体を主結晶として析出させれば、結晶化ガラスが可視光を透過しやすく、透明性が高まりやすい。またガラスの熱膨張係数をゼロに近付けることが容易になる。なお、核形成剤として、HfO、及びTaのいずれかを使用することにより、β-石英固溶体の析出量をコントロールすることができ、ガラスの熱膨張係数をゼロに近付けることがさらに容易になる。なお、主結晶としてβ-スポジュメン固溶体が析出した白色不透明の結晶化ガラスであってもよい。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、30~380℃における熱膨張係数が、20×10-7/℃以下、18×10-7/℃以下、15×10-7/℃以下、14×10-7/℃以下、13×10-7/℃以下、12×10-7/℃以下、11×10-7/℃以下、10×10-7/℃以下、9×10-7/℃以下、8×10-7/℃以下、7×10-7/℃以下、6×10-7/℃以下、5×10-7/℃以下、4×10-7/℃以下、3×10-7/℃以下、特に2×10-7/℃以下であることが好ましい。なお、30~380℃における熱膨張係数の下限は特に限定されないが、現実的には-30×10-7/℃以上である。なお、寸法安定性、及び/又は耐熱衝撃性が特に必要とされる場合は、-5×10-7/℃~5×10-7/℃、-3×10-7/℃~3×10-7/℃、-2.5×10-7/℃~2.5×10-7/℃、-2×10-7/℃~2×10-7/℃、-1.5×10-7/℃~1.5×10-7/℃、-1×10-7/℃~1×10-7/℃、特に-0.5×10-7/℃~0.5×10-7/℃であることが好ましい。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、30~750℃における熱膨張係数が、25×10-7/℃以下、23×10-7/℃以下、21×10-7/℃以下、20×10-7/℃以下、18×10-7/℃以下、16×10-7/℃以下、14×10-7/℃以下、12×10-7/℃以下、10×10-7/℃以下、9×10-7/℃以下、8×10-7/℃以下、7×10-7/℃以下、6×10-7/℃以下、5×10-7/℃以下、4×10-7/℃以下、特に3×10-7/℃以下であることが好ましい。なお、寸法安定性、及び/又は耐熱衝撃性が特に必要とされる場合は、-15×10-7/℃~15×10-7/℃、-12×10-7/℃~12×10-7/℃、-10×10-7/℃~10×10-7/℃、-8×10-7/℃~8×10-7/℃、-6×10-7/℃~6×10-7/℃、-5×10-7/℃~5×10-7/℃、-4.5×10-7/℃~4.5×10-7/℃、-4×10-7/℃~4×10-7/℃、-3.5×10-7/℃~3.5×10-7/℃、-3×10-7/℃~3×10-7/℃、-2.5×10-7/℃~2.5×10-7/℃、-2×10-7/℃~2×10-7/℃、-1.5×10-7/℃~1.5×10-7/℃、-1×10-7/℃~1×10-7/℃、特に-0.5×10-7/℃~0.5×10-7/℃であることが好ましい。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、ヤング率が60~120GPa、70~110GPa、特に80~100GPaであることが好ましい。ヤング率が低すぎても高すぎても、ガラスが破損しやすくなる。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、剛性率が25~50GPa、27~48GPa、特に30~45GPaであることが好ましい。剛性率が低すぎても高すぎても、ガラスが破損しやすくなる。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、ポアソン比が0.35以下、0.3以下、特に0.25以下であることが好ましい。ポアソン比が大きすぎると、ガラスが破損しやすくなる。
次に本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスを製造する方法を説明する。
まず、上記組成のガラスとなるように調製した原料バッチを、ガラス溶融炉に投入し、1500~1750℃で溶融した後、成形する。なお、ガラス溶融時はバーナー等を用いた火炎溶融法、電気加熱による電気溶融法などを用いて良い。また、レーザー照射による溶融やプラズマによる溶融も可能である。
次に得られた結晶性ガラス(結晶化可能なガラス)を熱処理して結晶化させる。結晶化条件としては、まず核形成を700~950℃(好ましくは750~900℃)で0.1~5時間(好ましくは1~3時間)行い、続いて結晶成長を800~1050℃(好ましくは800~1000℃)で0.1~50時間(好ましくは0.2~10時間)行う。このようにしてβ-石英固溶体結晶が主結晶として析出した透明なLiO-Al-SiO系結晶化ガラスを得ることができる。また、950~1200℃で0.5~5時間熱処理してβ-スポジュメン固溶体結晶を析出させ、白色不透明なLAS系結晶化ガラスを得ることができる。
以下、実施例に基づいて本発明を説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。表1~4は本発明の実施例(試料No.1~9)、比較例(試料No.10)を示している。
Figure 0007498895000001
Figure 0007498895000002
Figure 0007498895000003
Figure 0007498895000004
まず表1~4に記載の組成を有するガラスとなるように、各原料を酸化物、水酸化物、炭酸塩、硝酸塩等の形態で調合し、ガラスバッチを得た。得られたガラスバッチを強化白金製の坩堝に入れ、1680℃で20時間溶融した。溶融後、4mmの厚さにロール成形し、さらに徐冷炉を用いて室温まで冷却することにより結晶性ガラスを得た。
結晶性ガラスに対して、750~900℃で1.5時間熱処理して核形成を行った後、さらに800~1000℃で4時間の熱処理を行い結晶化させた。得られた結晶化ガラスについて、透過率、析出結晶、熱膨張係数、ヤング率、剛性率、ポアソン比、及び外観を評価した。
透過率は、肉厚3mmに両面光学研磨した結晶化ガラス板について、分光光度計を用いて測定した波長300nmでの透過率により評価した。測定には日本分光製分光光度計 V-670を用いた。
析出結晶はX線回折装置(リガク製 全自動多目的水平型X線回折装置 Smart Lab)を用いて評価した。
熱膨張係数は、20mm×3.8mmφに加工した結晶化ガラス試料を用いて、30~380℃、及び30~750℃の温度域で測定した平均線熱膨張係数により評価した。測定にはNETZSCH製Dilatometerを用いた。
ヤング率、剛性率、及びポアソン比は、1200番アルミナ粉末を分散させた研磨液で表面を研磨した板状試料(40mm×20mm×20mm)について、自由共振式弾性率測定装置を用いて室温環境下にて測定した。
外観は、目視にて結晶化ガラスの色調を確認することにより評価した。
表1、2から明らかなように、実施例である試料No.1~9の結晶化ガラスは外観が無色であり透過率が高く、熱膨張係数がほぼ0であった。また、ヤング率、剛性率、ポアソン比が所望の値であり破損しにくいことが分かった。比較例であるNo.10の結晶化ガラスは、外観が黄色であり透過率が0%と低く、また実施例と比較すると熱膨張係数の絶対値が大きかった。
本発明のLiO-Al-SiO系結晶化ガラスは、石油ストーブ、薪ストーブ等の前面窓、カラーフィルターやイメージセンサー用基板等のハイテク製品用基板、電子部品焼成用セッター、光拡散板、半導体製造用炉心管、半導体製造用マスク、光学レンズ、寸法測定用部材、通信用部材、建築用部材、化学反応用容器、電磁調理用トッププレート、防火戸用窓ガラス等に好適である。

Claims (10)

  1. LiO-Al-SiO系結晶化ガラスであって、質量%で、SiO 40 ~90%、Al 5~30%、Li O 1~10%、SnO 0.01~5%、HfO+Ta 0.01~10%、HfO 0.01~10%、TiO 0~2%、Fe 0~0.05%を含有することを特徴とするLiO-Al-SiO系結晶化ガラス。
  2. 質量%で、HfO+Ta 0.05~10%を含有することを特徴とする請求項1に記載のLiO-Al-SiO系結晶化ガラス。
  3. 質量%で、P 0.5~5%を含有することを特徴とする請求項1又は2に記載 のLi O-Al -SiO 系結晶化ガラス。
  4. 質量%で、TiO 0~0.5%を含有することを特徴とする請求項1~3のいずれ かに記載のLi O-Al -SiO 系結晶化ガラス。
  5. さらに、質量%でNaO 0~10%、KO 0~10%、MgO 0~10%、CaO 0~10%、SrO 0~10%、BaO 0~10%、ZnO 0~10%、P 0.5~5%、ZrO 0~10%を含有することを特徴とする請求項1~のいずれかに記載のLiO-Al-SiO系結晶化ガラス。
  6. 外観が無色透明であることを特徴とする請求項1~のいずれかに記載のLiO-Al-SiO系結晶化ガラス。
  7. 厚み3mm、波長300nmにおける透過率が10%以上であることを特徴とする請求項1~のいずれかに記載のLiO-Al-SiO系結晶化ガラス。
  8. 主結晶としてβ-石英固溶体が析出していることを特徴とする請求項1~のいずれかに記載のLiO-Al-SiO系結晶化ガラス。
  9. 30~380℃における熱膨張係数が、20×10ー7/℃以下であることを特徴とする請求項1~のいずれかに記載のLiO-Al-SiO系結晶化ガラス。
  10. 30~750℃における熱膨張係数が、25×10ー7/℃以下であることを特徴とする請求項1~のいずれかに記載のLiO-Al-SiO系結晶化ガラス。
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