JP7479764B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
4:基台、4a:カセット載置領域、4b:位置合わせ領域
4c:切削領域、4d:洗浄領域、4e:乾燥領域
6:カセット、8:カセットエレベータ
10:ガイドレール
11:被加工物、11a:表面
12:第1の保持テーブル
13:チップ
14:顕微鏡カメラユニット
16:第2の保持テーブル
18:切削ユニット
20:スピンドルハウジング、22:スピンドル、24:切削ブレード
26:第3の保持テーブル
28:洗浄ユニット、30:乾燥ユニット
32:貫通開口、34:スクレーパー
40:収納ユニット、42:回転テーブル、42a:周方向
44:キャニスタ
44-1:第1のキャニスタ、44-2:第2のキャニスタ
44-3:第3のキャニスタ、44-4:第4のキャニスタ
44-5:第5のキャニスタ、44-6:第6のキャニスタ
44a:開口
46:回転軸、48:回転駆動ユニット
50:エアシリンダ、50a:シリンダチューブ、50b:ピストンロッド
52:ベース基台、54:矢印、56:保持ブロック、58:回転軸、60:プレート
62:腕部、64:爪部、66:歯車、66a:歯
70:板部材
70a:第1の領域、70b:第2の領域、70c:第3の領域
70d:第4の領域、70e:第5の領域、70f:第6の領域
72:周方向
74:光学的特徴、74a:貫通領域、74b:非貫通領域
80:フォトセンサユニット、82:ベース部
84a:第1の上方腕部、84b:第2の上方腕部、84c:第3の上方腕部
86a:第1の下方腕部
88a:第1のフォトセンサ、88b:第2のフォトセンサ、88c:第3のフォトセンサ
90a:発光ダイオード
91:第1の信号、92:第2の信号
94:制御部、94a:位置特定ユニット
96:板部材、98a:高反射領域、98b:低反射領域
L:レーザービーム
Claims (4)
- 被加工物を保持する保持テーブルと、
切削ブレードが装着されるスピンドルを有し、該保持テーブルで保持された該被加工物を複数のチップに分割する切削ユニットと、
該保持テーブルよりも下方に配置された回転テーブルと、該回転テーブルの周方向に沿って配置され、少なくとも1つのチップをそれぞれ収納する複数の容器と、を有する収納ユニットと、
該回転テーブルの下部に連結され、該回転テーブルを所定の回転軸の周りに所定の角度ずつ回転させることができる回転駆動ユニットと、
該回転テーブルの下方において該回転軸の周りに連結された板部材であって、該複数の容器の各々に対応する領域において各領域の上方に位置する容器を特定するための光学的特徴が設けられている該板部材と、
該板部材の外周部の一部に配置され、該所定の角度で該板部材が回転する毎に、1つの容器に対応する該光学的特徴を検知可能な1以上のフォトセンサを有するフォトセンサユニットと、
プロセッサを備え、該フォトセンサユニットからの信号に基づいて、該光学的特徴に対応する該1つの容器の位置を少なくとも特定する位置特定ユニットと、
を備えることを特徴とする切削装置。 - 該光学的特徴は、該板部材の周方向に沿ってそれぞれ離散的に設けられた、該板部材を厚さ方向に貫通する貫通領域と、非貫通領域と、の少なくとも1つ以上を有し、
該貫通領域及び該非貫通領域の少なくとも1つ以上の該周方向における配列は、該複数の容器の各々に対応する領域毎に異なり、
該1以上のフォトセンサの各々は、該貫通領域に対応して第1の信号を生成し、該非貫通領域に対応して第2の信号を生成し、
該位置特定ユニットは、該第1の信号及び該第2の信号の少なくともいずれかに基づいて、該光学的特徴に対応する該1つの容器の位置を特定することを特徴とする請求項1に記載の切削装置。 - 該収納ユニットは、N個の容器を有し、
該光学的特徴は、該板部材を周方向でN等分した複数の領域の各々に形成されており、
該Nは、3以上の自然数であることを特徴とする請求項1又は2に記載の切削装置。 - 該位置特定ユニットには、該複数の容器の各々に対応する光学的特徴の位置関係が予め記憶されており、
該位置特定ユニットは、該1つの容器の位置を特定する該フォトセンサユニットからの信号と、該位置関係と、に基づいて、全ての容器の位置を特定することを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の切削装置。
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