JP7475955B2 - 樹脂組成物 - Google Patents
樹脂組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7475955B2 JP7475955B2 JP2020085215A JP2020085215A JP7475955B2 JP 7475955 B2 JP7475955 B2 JP 7475955B2 JP 2020085215 A JP2020085215 A JP 2020085215A JP 2020085215 A JP2020085215 A JP 2020085215A JP 7475955 B2 JP7475955 B2 JP 7475955B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- monomer
- resin solution
- ultraviolet
- polysilane
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims description 21
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 63
- 229920000548 poly(silane) polymer Polymers 0.000 claims description 41
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 41
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims description 25
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 22
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims description 16
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 16
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 13
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 8
- 125000003354 benzotriazolyl group Chemical group N1N=NC2=C1C=CC=C2* 0.000 claims description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 6
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical group C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical group C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 61
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 61
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 60
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 34
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 34
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 32
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 21
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 6
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 5
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 4
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 3
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 3
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HHQAGBQXOWLTLL-UHFFFAOYSA-N (2-hydroxy-3-phenoxypropyl) prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(O)COC1=CC=CC=C1 HHQAGBQXOWLTLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NMMXJQKTXREVGN-UHFFFAOYSA-N 2-(4-benzoyl-3-hydroxyphenoxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound OC1=CC(OCCOC(=O)C=C)=CC=C1C(=O)C1=CC=CC=C1 NMMXJQKTXREVGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 3-(2H-benzotriazol-2-yl)-4-hydroxyphenethyl Chemical group 0.000 description 2
- WHNPOQXWAMXPTA-UHFFFAOYSA-N 3-methylbut-2-enamide Chemical compound CC(C)=CC(N)=O WHNPOQXWAMXPTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NDWUBGAGUCISDV-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxybutyl prop-2-enoate Chemical compound OCCCCOC(=O)C=C NDWUBGAGUCISDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 2
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 2
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 2
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- PSGCQDPCAWOCSH-UHFFFAOYSA-N (4,7,7-trimethyl-3-bicyclo[2.2.1]heptanyl) prop-2-enoate Chemical compound C1CC2(C)C(OC(=O)C=C)CC1C2(C)C PSGCQDPCAWOCSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005160 1H NMR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- WXHVQMGINBSVAY-UHFFFAOYSA-N 2-(benzotriazol-2-yl)-4-tert-butylphenol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=C(O)C(N2N=C3C=CC=CC3=N2)=C1 WXHVQMGINBSVAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VCYCUECVHJJFIQ-UHFFFAOYSA-N 2-[3-(benzotriazol-2-yl)-4-hydroxyphenyl]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC1=CC=C(O)C(N2N=C3C=CC=CC3=N2)=C1 VCYCUECVHJJFIQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBVKVAIECGDBTC-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxy-2-methylidenebutanamide Chemical compound NC(=O)C(=C)CCO SBVKVAIECGDBTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 241000207199 Citrus Species 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003926 acrylamides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- 230000000740 bleeding effect Effects 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 235000020971 citrus fruits Nutrition 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Graft Or Block Polymers (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
温度計、還流冷却器、及び窒素ガス供給ガラス管を取付けた、200mlの3つ口丸底フラスコに、トルエン75.0gと、所定量のポリシラン及びビニルモノマーとを投入して、60℃に昇温し、スターラーで撹拌して溶解させた。この溶解液を撹拌しながら窒素ガスを供給し、脱酸素のため30分以上窒素ガスによるバブリングを行った。続いて、窒素ガスによるバブリング、スターラー撹拌を継続しながら、溶解液の液温が60℃~70℃になるように調整し、高圧水銀ランプ(UV強度:170mW/cm2)を用いて紫外線照射を60分間行い重合させ、レジストポリマーを含む樹脂溶液を得た。
製造したレジストポリマーを含む樹脂溶液を固形分が40質量%となるようにトルエンで希釈してレジスト剤とした。調製したレジスト剤をスピンコータを用いてシリコンウェーハ(φ8インチ、厚さ700μm)の表面に塗布し、溶剤を乾燥させてレジスト膜を形成した。スピンコータの回転数は400rpmとし、レジスト膜の厚さは10μmとした。
製造した樹脂溶液を、透明な密閉容器に入れて室温で7日間静置した後、樹脂溶液の外観および沈殿物の有無を目視観察し、以下の評価基準に従って液経時安定性を評価した。
A:溶液の白濁および沈殿物がない。
B:軽微な白濁があるが、沈殿物はない。
C:分離もしくは沈殿物がある。
<耐熱性の評価>
製造した樹脂溶液の5gをアルミカップに取り分けて、100℃のオーブンにて180分間乾燥させ溶剤を蒸発させた。アルミカップ内に残留した不揮発成分について熱重量示差熱分析装置(TG-DTA)により、10%重量減少温度を測定した。測定条件は、昇温速度20℃/min、窒素雰囲気下で30℃~600℃まで昇温とした。測定結果を以下の評価基準に従って耐熱性を評価した。
A:10%重量減少温度が250℃以上
B:10%重量減少温度が200℃以上250℃未満
C:10%重量減少温度が200℃未満
<塗布面質の評価>
形成したレジスト膜の表面状態を目視観察して、以下の評価基準に従って塗布面質を評価した。
A:凹凸がなく均一な塗膜である。
B:軽微な凹凸(ゆず肌)が見られる。
C:塗膜にひび割れ、粒状等の欠点が見られる。
<レーザ加工性の評価>
形成したレジスト膜の表面にUVレーザ加工装置(AL300P、東京精密製)を用いて、線幅15μm、線長15mmで1mmピッチの碁盤目状になるようにパターン加工をした。このときの加工条件は、レーザ波長:355nm、パルス幅:<15ns、周波数:50kHz、加工速度:600mm/secとした。このレーザ加工部分について、マイクロスコープを用いて200倍で拡大観察し、以下の評価基準に従ってレーザ加工性を評価した。
A:レーザ加工端部の塗膜の剥がれがなく、レジスト残渣もない。
B:レーザ加工端部にレジスト残渣が微量残っている。
C:レーザ照射部分にレジスト膜の一部が残っている。
<レジスト性の評価>
レーザ加工性を評価した後、プラズマエッチング装置を用いて、レジスト膜側からプラズマエッチング処理を行った。このときの処理条件は、プラズマ源:ICPプラズマパワー2200W、プロセスガス:SF6ガス、ガス圧力:2Pa、処理時間:7分間とした。プラズマエッチング処理後のレジスト膜の表面をマイクロスコープにて200倍で拡大観察し、以下の評価基準に従ってレジスト性を評価した。
A:レジスト膜にプラズマエッチングによる侵食は見られない。
B:プラズマエッチングによる侵食は見られるが、シリコンウェーハの露出はない。
C:レジスト膜がなくなり、シリコンウェーハの露出が見られる。
製造した樹脂溶液を、厚さが50μmのポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの表面に、スピンコータで塗布して樹脂膜を形成した。樹脂膜の乾燥後の膜厚は10μmとした。樹脂膜を形成したPETフィルムについて波長355nmの紫外光の透過率を分光光度計を用いて測定した。得られた透過率から樹脂膜を形成する前のPETフィルムの透過率をブランクとして差し引き、樹脂膜の透過率とした。
ポリシランとして数平均分子量(Mn)が1100、重量平均分子量(Mw)が1800の第1のポリシラン(オグソールSI-10-20、大阪ガスケミカル製)56.25gを用い、ビニルモノマーとしてベンゾトリアゾール骨格を有するメタクリレート系の第1の紫外線吸収性モノマー(3-(2H-ベンゾトリアゾール-2-イル)-4-ヒドロキシフェネチル=メタクリラート、RUVA-93、大塚化学製)18.75gを用い樹脂溶液を製造した。
ポリシランをMnが900、Mwが1200の第2のポリシラン(オグソールSI-20-10、大阪ガスケミカル製)52.5gとし、第1の紫外線吸収性モノマーを22.5gとして樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2ポリシランを30.0gとし、第1の紫外線吸収性モノマーを45.0gとして樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを22.5gとし、第1の紫外線吸収性モノマーを52.5gとして樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを67.5gとし、第1の紫外線吸収性モノマーを7.5gとして樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを71.25gとし、第1の紫外線吸収性モノマーを3.75gとして樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを52.5gとし、ビニルモノマーとして2-(4-ベンゾイル-3-ヒドロキシフェノキシ)エチルアクリレートである第2の紫外線吸収性モノマーを22.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを52.5gとし、ビニルモノマーとして2-[4-(4,6-ジフェニル)-[1,3,5]トリアジン-2-イル]-3-ヒドロキシ-フェノキシ}-エチルプロプ-2-エノエートである第3の紫外線吸収性モノマーを22.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを45.0gとし、ビニルモノマーとして第2の紫外線吸収性モノマーを22.5g及び紫外線非吸収性モノマーである4-ヒドロキシブチルアクリレートを7.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを45.0gとし、ビニルモノマーとして第2の紫外線吸収性モノマーを22.5g及び紫外線非吸収性モノマーである2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレートを7.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを45.0gとし、ビニルモノマーとして第2の紫外線吸収性モノマーを22.5g及び紫外線非吸収性モノマーであるジメチルアクリルアミドを7.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
実施例2において調製した樹脂溶液を固形分が25%になるようにトルエンで希釈して調製したレジスト剤を用いて塗布面質、レーザ加工性及びレジスト性を評価した。なお、レジスト膜の膜厚は5μmとした。
実施例2において調製した樹脂溶液を固形分が14%になるようにトルエンで希釈して調製したレジスト剤を用いて塗布面質、レーザ加工性及びレジスト性を評価した。なお、レジスト膜の膜厚は2μmとした。
実施例2において調製した樹脂溶液を希釈せずにレジスト剤として塗布面質、レーザ加工性及びレジスト性を評価した。なお、スピンコータを回転数は200rpmとし、レジスト膜の膜厚を30μmとした。
実施例2において調製した樹脂溶液を希釈せずにレジスト剤として塗布面質、レーザ加工性及びレジスト性を評価した。なお、スピンコータを回転数は400rpmとして塗布を2回繰り返し、レジスト膜の膜厚を50μmとした。
温度計、還流冷却器、及び窒素ガス供給ガラス管を取付けた、200mlの3つ口丸底フラスコに、蒸留水75.0gと、ポリビニルアルコール(PVA-205、クラレ製)75.0gとを投入し、60℃にて攪拌して樹脂溶液を調製した。得られた樹脂溶液について実施例1と同様の評価を行った。
温度計、還流冷却器、及び窒素ガス供給ガラス管を取付けた、200mlの3つ口丸底フラスコに、トルエン75.0gと第2のポリシラン75.0gとを投入し、60℃にて攪拌して樹脂溶液を調製した。得られた樹脂溶液について実施例1と同様の評価を行った。
温度計、還流冷却器、及び窒素ガス供給ガラス管を取付けた、200mlの3つ口丸底フラスコに、トルエン75gと、第2のポリシラン52.5gと、ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤(2-(2-ヒドロキシ-5-t-ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、Tinuvin PS、BASFジャパン製)22.5gとを投入し、60℃にて攪拌して樹脂溶液を調製した。得られた樹脂溶液について実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを52.5gとし、ビニルモノマーとして4-ヒドロキシブチルアクリレートを22.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを52.5gとし、ビニルモノマーとして2-ヒドロキシ-3-フェノキシプロピルアクリレートを22.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを52.5gとし、ビニルモノマーとしてジメチルアクリルアミドを22.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを52.5gとし、イソボルニルアクリレートを22.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを52.5gとし、ヒドロキシエチルアクリルアミドを22.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
第2のポリシランを52.5gとし、n-ブチルアクリレートを22.5g用いて樹脂溶液を製造し、実施例1と同様の評価を行った。
Claims (5)
- ポリシラン骨格を有する第1のブロックと、ビニルモノマーの重合体である第2のブロックとを有する共重合体を含有し、
前記第2のブロックは、紫外線吸収作用を有する紫外線吸収性モノマーに由来するモノマー単位を含み、
前記紫外線吸収性モノマーは、ベンゾトリアゾール骨格、ベンゾフェノン骨格及びトリアジン骨格のいずれかを有する、紫外線レーザ加工レジスト用の樹脂組成物。 - ポリシラン骨格を有する第1のブロックと、ビニルモノマーの重合体である第2のブロックとを有する共重合体を含有し、
前記第2のブロックは、紫外線吸収作用を有する紫外線吸収性モノマーに由来するモノマー単位を含み、
波長355nmにおける紫外線透過率が2%以下である、紫外線レーザ加工レジスト用の樹脂組成物。 - 前記紫外線吸収性モノマーは、ベンゾトリアゾール骨格、ベンゾフェノン骨格及びトリアジン骨格のいずれかを有する、請求項2に記載の紫外線レーザ加工レジスト用の樹脂組成物。
- 前記紫外線吸収性モノマーに由来するモノマー単位の、前記共重合体全体に占める割合は、3質量%以上、70質量%以下であり、
前記ポリシラン骨格の、前記共重合体全体に占める割合は、30質量%以上、97質量%以下である、請求項1~3のいずれか1項に記載の紫外線レーザ加工レジスト用の樹脂組成物。 - 請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂組成物と、溶媒とを含有する、レジスト剤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020085215A JP7475955B2 (ja) | 2020-05-14 | 2020-05-14 | 樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020085215A JP7475955B2 (ja) | 2020-05-14 | 2020-05-14 | 樹脂組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021178923A JP2021178923A (ja) | 2021-11-18 |
JP7475955B2 true JP7475955B2 (ja) | 2024-04-30 |
Family
ID=78510940
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020085215A Active JP7475955B2 (ja) | 2020-05-14 | 2020-05-14 | 樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7475955B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002226664A (ja) | 2001-02-06 | 2002-08-14 | Japan Science & Technology Corp | ケイ素系ポジ型レジスト組成物及びパターニング方法 |
JP2003025338A (ja) | 2001-07-19 | 2003-01-29 | Japan Science & Technology Corp | 光学材料の製造方法 |
JP2004163603A (ja) | 2002-11-12 | 2004-06-10 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP2007017790A (ja) | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Sony Corp | パターン形成方法、感光性粘着シート、レンズシートへの遮光パターンの形成方法、透過型スクリーンの製造方法、透過型スクリーンの製造装置、透過型スクリーンおよび投射型画像表示装置 |
JP2009145436A (ja) | 2007-12-12 | 2009-07-02 | The Inctec Inc | 液晶配向制御用突起形成樹脂組成物、及びカラーフィルタ |
JP2012036078A (ja) | 1999-06-07 | 2012-02-23 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JP2014095740A (ja) | 2012-11-07 | 2014-05-22 | Toppan Printing Co Ltd | 低屈折率樹脂組成物、低屈折率層、および反射防止フィルム |
-
2020
- 2020-05-14 JP JP2020085215A patent/JP7475955B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012036078A (ja) | 1999-06-07 | 2012-02-23 | Toshiba Corp | パターン形成方法 |
JP2002226664A (ja) | 2001-02-06 | 2002-08-14 | Japan Science & Technology Corp | ケイ素系ポジ型レジスト組成物及びパターニング方法 |
JP2003025338A (ja) | 2001-07-19 | 2003-01-29 | Japan Science & Technology Corp | 光学材料の製造方法 |
JP2004163603A (ja) | 2002-11-12 | 2004-06-10 | Fujitsu Ltd | 液晶表示装置およびその製造方法 |
JP2007017790A (ja) | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Sony Corp | パターン形成方法、感光性粘着シート、レンズシートへの遮光パターンの形成方法、透過型スクリーンの製造方法、透過型スクリーンの製造装置、透過型スクリーンおよび投射型画像表示装置 |
JP2009145436A (ja) | 2007-12-12 | 2009-07-02 | The Inctec Inc | 液晶配向制御用突起形成樹脂組成物、及びカラーフィルタ |
JP2014095740A (ja) | 2012-11-07 | 2014-05-22 | Toppan Printing Co Ltd | 低屈折率樹脂組成物、低屈折率層、および反射防止フィルム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021178923A (ja) | 2021-11-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7011386B2 (ja) | 密着層形成組成物および物品製造方法 | |
JP7336078B2 (ja) | リソグラフィー用膜形成材料、リソグラフィー用膜形成用組成物、リソグラフィー用下層膜及びパターン形成方法 | |
KR20160078336A (ko) | 실세스퀴옥산 화합물 및 변성 실리콘 화합물을 포함하는 임프린트 재료 | |
TW201842081A (zh) | 硬化型組成物 | |
JP7475955B2 (ja) | 樹脂組成物 | |
KR20230156137A (ko) | 조성물 | |
WO2020039966A1 (ja) | リソグラフィー用膜形成材料、リソグラフィー用膜形成用組成物、リソグラフィー用下層膜及びパターン形成方法 | |
JP7237915B2 (ja) | 光硬化性組成物 | |
JP7195459B2 (ja) | ネガ型感光性組成物 | |
KR101938504B1 (ko) | 광경화성 조성물, 및 그를 사용한 경화물 패턴의 형성 방법, 및 광학 부품, 회로 기판 및 임프린트용 몰드의 제조 방법 | |
JP2022097284A (ja) | 樹脂組成物 | |
TW202030229A (zh) | 微影用膜形成材料、微影用膜形成用組成物、微影用下層膜及圖型形成方法 | |
JP2022097290A (ja) | 樹脂組成物 | |
KR20210093904A (ko) | 리소그래피용 막형성재료, 리소그래피용 막형성용 조성물, 리소그래피용 하층막 및 패턴 형성방법 | |
TWI374338B (ja) | ||
JP5324290B2 (ja) | 反射防止膜形成材料、およびこれを用いたレジストパターン形成方法 | |
JP2005336497A (ja) | 新規なラダー型シリコーン共重合体 | |
KR101947300B1 (ko) | 임프린트용 광경화성 조성물, 경화막의 제조 방법, 광학 부품의 제조 방법, 회로 기판의 제조 방법, 및 전자 부품의 제조 방법 | |
KR20180096614A (ko) | 임프린트재료 | |
JP2014088504A (ja) | 絶縁膜形成組成物、当該組成物から形成された絶縁膜、及び当該絶縁膜を有するタッチパネル | |
KR20180021725A (ko) | 임프린트 재료 | |
US11981759B2 (en) | Photocurable composition | |
JP6042223B2 (ja) | ネガ型感放射線性樹脂組成物 | |
WO2021029320A1 (ja) | リソグラフィー用膜形成材料、リソグラフィー用膜形成用組成物、リソグラフィー用下層膜及びパターン形成方法 | |
TW202229476A (zh) | 光可固化組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20200601 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20200601 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230224 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20240109 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240417 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7475955 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |