JP7474672B2 - 検査装置、検査システム、及び検査方法 - Google Patents
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Description
また、この態様によれば、接続切替部は、一の回路基板をテスト制御部に順に接続させる接続処理を繰り返し実行し、テスト制御部は、当該接続処理に連動して一の回路基板に対するバウンダリスキャンテストを実行する。これにより、一のテスト制御部を用いて複数の回路基板の各々に対するバウンダリスキャンテストが連続的に実行されるため、複数の回路基板に対するバウンダリスキャンテストを効率的に実行できる。その結果、テストコストを削減することが可能となる。
また、この態様によれば、主制御部は、振動ストレスの印加条件に応じて、バウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる。従って、振動ストレスの印加条件が、不良が発生しやすい条件である場合には、主制御部が実行間隔を短く設定することによって、不良の発生を早期に発見できる。一方、振動ストレスの印加条件が、不良が発生しにくい条件である場合には、主制御部が実行間隔を長く設定することによって、テスト結果のデータ量が増大することを回避できる。
また、この態様によれば、主制御部は、バウンダリスキャンテストによる不良箇所の検出状況に応じて、バウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる。従って、一定数以上の不良箇所が検出され、他の不良が発生しやすい状況である場合には、主制御部が実行間隔を短く設定することによって、他の不良の発生を早期に発見できる。一方、一定数以上の不良箇所が検出されておらず、不良が発生しにくい状況である場合には、主制御部が実行間隔を長く設定することによって、テスト結果のデータ量が増大することを回避できる。
また、この態様によれば、主制御部は、第1の回路基板に対するバウンダリスキャンテストによる不良箇所の検出状況に応じて、第2の回路基板に対するバウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる。従って、第1の回路基板において一定数以上の不良箇所が検出され、第2の回路基板においても不良が発生しやすい状況である場合には、主制御部が第2の回路基板に関する実行間隔を短く設定することによって、不良の発生を早期に発見できる。一方、第1の回路基板において一定数以上の不良箇所が検出されておらず、第2の回路基板においても不良が発生しにくい状況である場合には、主制御部が第2の回路基板に関する実行間隔を長く設定することによって、テスト結果のデータ量が増大することを回避できる。
また、この態様によれば、主制御部は、温度ストレスの印加条件に応じて、バウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる。従って、温度ストレスの印加条件が、不良が発生しやすい条件である場合には、主制御部が実行間隔を短く設定することによって、不良の発生を早期に発見できる。一方、温度ストレスの印加条件が、不良が発生しにくい条件である場合には、主制御部が実行間隔を長く設定することによって、テスト結果のデータ量が増大することを回避できる。
また、この態様によれば、主制御部は、振動ストレスの印加条件、温度ストレスの印加条件、又はバウンダリスキャンテストによる不良箇所の検出状況に応じて、バウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる。従って、実行間隔を短く設定することによって不良の発生を早期に発見でき、実行間隔を長く設定することによってテスト結果のデータ量が増大することを回避できる。
本発明の第14態様に係る検査システムは、検査対象である複数の回路基板を収容可能な環境形成装置と、前記環境形成装置に対して通信可能に接続された検査装置と、を備え、前記検査装置は、前記回路基板に対するバウンダリスキャンテストを制御するテスト制御部と、主制御部と、前記複数の回路基板のうちの一の回路基板が前記テスト制御部に接続されるように、前記テスト制御部と前記複数の回路基板との接続を切り替え可能な接続切替部と、を有し、前記接続切替部は、前記複数の回路基板に対応する複数のチャンネルを有し、前記複数のチャンネルは、前記テスト制御部に対して並列に接続され、前記主制御部は、前記環境形成装置が前記回路基板に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、前記複数のチャンネルを切り替えることで前記一の回路基板を前記テスト制御部に順に接続させる接続処理を前記接続切替部に繰り返し実行させ、前記接続処理に連動して前記一の回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストを前記テスト制御部に実行させる。
この態様によれば、検査対象である回路基板は環境形成装置に収容されており、主制御部は、環境形成装置が回路基板に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、回路基板に対するバウンダリスキャンテストをテスト制御部に実行させる。このように、実製品の使用状況で起こり得る又は実製品の使用状況の想定範囲を超える3自由度以上の振動ストレスを回路基板に印加している状態で、当該回路基板に対してバウンダリスキャンテストを実行することによって、回路基板における不良の発生を促進しつつ、発生した不良箇所を高精度に評価できる。その結果、テストの所要時間の短縮化を図りつつ、実製品の信頼性を向上することが可能となる。
また、この態様によれば、接続切替部は、一の回路基板をテスト制御部に順に接続させる接続処理を繰り返し実行し、テスト制御部は、当該接続処理に連動して一の回路基板に対するバウンダリスキャンテストを実行する。これにより、一のテスト制御部を用いて複数の回路基板の各々に対するバウンダリスキャンテストが連続的に実行されるため、複数の回路基板に対するバウンダリスキャンテストを効率的に実行できる。その結果、テストコストを削減することが可能となる。
また、この態様によれば、振動ストレスの印加条件、温度ストレスの印加条件、又はバウンダリスキャンテストによる不良箇所の検出状況に応じて、バウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる。従って、実行間隔を短く設定することによって不良の発生を早期に発見でき、実行間隔を長く設定することによってテスト結果のデータ量が増大することを回避できる。
本発明の第16態様に係る検査方法は、環境形成装置に収容された複数の回路基板に対して、前記環境形成装置によって3自由度以上の振動ストレスを印加するステップと、前記環境形成装置が前記回路基板に対して前記振動ストレスを印加している状態で、テスト制御部に対して並列に接続された複数のチャンネルを切り替えることで前記複数の回路基板のうちの一の回路基板を前記テスト制御部に順に接続させる接続処理を実行させ、前記接続処理に連動して前記一の回路基板に対してバウンダリスキャンテストを実行するステップと、を備える。
この態様によれば、検査対象である回路基板は環境形成装置に収容されており、環境形成装置が回路基板に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、回路基板に対するバウンダリスキャンテストをテスト制御部に実行させる。このように、実製品の使用状況で起こり得る又は実製品の使用状況の想定範囲を超える3自由度以上の振動ストレスを回路基板に印加している状態で、当該回路基板に対してバウンダリスキャンテストを実行することによって、回路基板における不良の発生を促進しつつ、発生した不良箇所を高精度に評価できる。その結果、テストの所要時間の短縮化を図りつつ、実製品の信頼性を向上することが可能となる。
また、この態様によれば、一の回路基板をテスト制御部に順に接続させる接続処理を繰り返し実行し、当該接続処理に連動して一の回路基板に対するバウンダリスキャンテストを実行する。これにより、一のテスト制御部を用いて複数の回路基板の各々に対するバウンダリスキャンテストが連続的に実行されるため、複数の回路基板に対するバウンダリスキャンテストを効率的に実行できる。その結果、テストコストを削減することが可能となる。
・第1の例(図4)の後に第2の例(図5)を実行する。
・第2の例(図5)のON期間及びOFF期間と、第3の例(図6)の大期間及び小期間とを混在させる。
・第4の例(図7)又は第5の例(図8)の途中に第2の例(図5)のOFF期間又は第3の例(図6)の小期間を挿入する。
等の組み合わせを実行しても良い。また、環境コントローラ22は、回路基板100に対して、振動ストレスに加えて温度ストレスを印加しても良い。どの印加パターンを実行すべきかを示す情報は、回路基板100の種別等に応じて、予め環境コントローラ22に設定されている。
本実施形態に係る検査装置2によれば、検査対象である回路基板100は環境形成装置3に収容されており、システムコントローラ11(主制御部)は、環境形成装置3が回路基板100に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、回路基板100に対するバウンダリスキャンテストをテストコントローラ13(テスト制御部)に実行させる。このように、実製品の使用状況の想定範囲を超える3自由度以上の振動ストレスを回路基板100に印加している状態で、当該回路基板100に対してバウンダリスキャンテストを実行することによって、回路基板100における不良の発生を促進しつつ、発生した不良箇所を高精度に評価できる。その結果、テストの所要時間の短縮化を図りつつ、実製品の信頼性を向上することが可能となる。
図13は、変形例に係る検査装置2(2B)の構成を簡略化して示すブロック図である。図2に示した構成に対して、スキャナユニット18が追加されている。本変形例において、環境形成装置3には、同種の複数の回路基板100(100_1~100_N)が収容されている。複数の回路基板100_1~100_Nは、中継ユニット17に対して並列に接続されている。各回路基板100と中継ユニット17とは、例えば、TDI(テストデータ入力)、TCK(テストクロック)、TMS(テストモードセレクト)、TRST(テストリセット)、及びTDO(テストデータ出力)の各ポート間を接続するための、5本を1組とする配線によって互いに接続される。図13中の「(N)」の表記は、回路基板100_1~100_Nと中継ユニット17との間のN組の並列配線をまとめていることを意味している。スキャナユニット18は、複数の回路基板100_1~100_Nのうちの一の回路基板100がテストコントローラ13に接続されるように、テストコントローラ13と複数の回路基板100_1~100_Nとの接続を切り替える。
2 検査装置
3 環境形成装置
11 システムコントローラ
13 テストコントローラ
18 スキャナユニット
100(100_1~100_N) 回路基板
Claims (16)
- 検査対象である複数の回路基板を収容可能な環境形成装置に対して通信可能に接続される検査装置であって、
前記複数の回路基板に対するバウンダリスキャンテストを制御するテスト制御部と、
主制御部と、
前記複数の回路基板のうちの一の回路基板が前記テスト制御部に接続されるように、前記テスト制御部と前記複数の回路基板との接続を切り替え可能な接続切替部と、
を備え、
前記接続切替部は、前記複数の回路基板に対応する複数のチャンネルを有し、
前記複数のチャンネルは、前記テスト制御部に対して並列に接続され、
前記主制御部は、前記環境形成装置が前記回路基板に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、
前記複数のチャンネルを切り替えることで前記一の回路基板を前記テスト制御部に順に接続させる接続処理を前記接続切替部に繰り返し実行させ、
前記接続処理に連動して前記一の回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストを前記テスト制御部に実行させる、検査装置。 - 検査対象である少なくとも一つの回路基板を収容可能な環境形成装置に対して通信可能に接続される検査装置であって、
前記回路基板に対するバウンダリスキャンテストを制御するテスト制御部と、
主制御部と、
を備え、
前記主制御部は、
前記環境形成装置が前記回路基板に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、前記回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストを前記テスト制御部に複数回実行させ、
前記振動ストレスの印加条件に応じて、前記バウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる、検査装置。 - 前記主制御部は、前記振動ストレスの大きさが第1所定値以上である場合には、前記振動ストレスの大きさが前記第1所定値未満である場合と比較して、前記バウンダリスキャンテストの実行間隔を狭くする、請求項2に記載の検査装置。
- 前記主制御部は、前記振動ストレスの印加時間が第2所定値以上である場合には、前記振動ストレスの印加時間が前記第2所定値未満である場合と比較して、前記バウンダリスキャンテストの実行間隔を狭くする、請求項2又は3に記載の検査装置。
- 検査対象である少なくとも一つの回路基板を収容可能な環境形成装置に対して通信可能に接続される検査装置であって、
前記回路基板に対するバウンダリスキャンテストを制御するテスト制御部と、
主制御部と、
を備え、
前記主制御部は、
前記環境形成装置が前記回路基板に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、前記回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストを前記テスト制御部に複数回実行させ、
前記バウンダリスキャンテストによる不良箇所の検出状況に応じて、前記バウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる、検査装置。 - 前記主制御部は、前記バウンダリスキャンテストによって検出された不良箇所数が第3所定値以上である場合には、前記バウンダリスキャンテストによって検出された不良箇所数が前記第3所定値未満である場合と比較して、前記バウンダリスキャンテストの実行間隔を狭くする、請求項5に記載の検査装置。
- 検査対象である少なくとも一つの回路基板を収容可能な環境形成装置に対して通信可能に接続される検査装置であって、
前記回路基板に対するバウンダリスキャンテストを制御するテスト制御部と、
主制御部と、
を備え、
前記主制御部は、前記環境形成装置が前記回路基板に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、前記回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストを前記テスト制御部に複数回実行させ、
前記少なくとも一つの回路基板は、第1の回路基板及び第2の回路基板を含み、
前記テスト制御部は、前記第1の回路基板及び前記第2の回路基板の各々に対して前記バウンダリスキャンテストを複数回実行し、
前記主制御部は、前記第1の回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストによる不良箇所の検出状況に応じて、前記第2の回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる、検査装置。 - 前記主制御部は、前記第1の回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストによって検出された不良箇所数が第4所定値以上である場合には、前記第1の回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストによって検出された不良箇所数が前記第4所定値未満である場合と比較して、前記第2の回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストの実行間隔を狭くする、請求項7に記載の検査装置。
- 検査対象である少なくとも一つの回路基板を収容可能な環境形成装置に対して通信可能に接続される検査装置であって、
前記回路基板に対するバウンダリスキャンテストを制御するテスト制御部と、
主制御部と、
を備え、
前記主制御部は、前記環境形成装置が前記回路基板に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、前記回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストを前記テスト制御部に複数回実行させ、
前記環境形成装置は前記回路基板に対してさらに温度ストレスを印加可能であり、
前記主制御部は、前記温度ストレスの印加条件に応じて、前記バウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる、検査装置。 - 前記主制御部は、前記温度ストレスの大きさが遷移している期間内においては、前記温度ストレスの大きさが遷移していない期間内と比較して、前記バウンダリスキャンテストの実行間隔を狭くする、請求項9に記載の検査装置。
- 前記少なくとも一つの回路基板は、複数の回路基板を含み、
前記テスト制御部は、前記複数の回路基板の各々に対して前記バウンダリスキャンテストを実行し、
前記複数の回路基板のうちの一の回路基板が前記テスト制御部に接続されるように、前記テスト制御部と前記環境形成装置に収容されている前記複数の回路基板との接続を切り替え可能な接続切替部をさらに備え、
前記主制御部は、
前記環境形成装置が前記複数の回路基板に対して前記振動ストレスを印加した状態で、
前記一の回路基板を前記テスト制御部に順に接続させる接続処理を前記接続切替部に繰り返し実行させ、
前記接続処理に連動して前記一の回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストを前記テスト制御部に実行させる、請求項2~10のいずれか一つに記載の検査装置。 - 前記環境形成装置は、HALT(Highly Accelerated Limit Test)試験装置、HASS(High Accelerated Stress Screen)試験装置、又はHASA(High Accelerated Stress Audit)試験装置である、請求項1~11のいずれか一つに記載の検査装置。
- 検査対象である少なくとも一つの回路基板を収容可能な環境形成装置と、
前記環境形成装置に対して通信可能に接続された検査装置と、
を備え、
前記検査装置は、
前記回路基板に対するバウンダリスキャンテストを制御するテスト制御部と、
主制御部と、
を有し、
前記主制御部は、前記環境形成装置が前記回路基板に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、前記回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストを前記テスト制御部に複数回実行させ、
前記環境形成装置は前記回路基板に対してさらに温度ストレスを印加可能であり、
前記主制御部は、前記振動ストレスの印加条件、前記温度ストレスの印加条件、又は前記バウンダリスキャンテストによる不良箇所の検出状況に応じて、前記バウンダリスキャンテストの実行間隔を異ならせる、検査システム。 - 検査対象である複数の回路基板を収容可能な環境形成装置と、
前記環境形成装置に対して通信可能に接続された検査装置と、
を備え、
前記検査装置は、
前記回路基板に対するバウンダリスキャンテストを制御するテスト制御部と、
主制御部と、
前記複数の回路基板のうちの一の回路基板が前記テスト制御部に接続されるように、前記テスト制御部と前記複数の回路基板との接続を切り替え可能な接続切替部と、
を有し、
前記接続切替部は、前記複数の回路基板に対応する複数のチャンネルを有し、
前記複数のチャンネルは、前記テスト制御部に対して並列に接続され、
前記主制御部は、前記環境形成装置が前記回路基板に対して3自由度以上の振動ストレスを印加している状態で、
前記複数のチャンネルを切り替えることで前記一の回路基板を前記テスト制御部に順に接続させる接続処理を前記接続切替部に繰り返し実行させ、
前記接続処理に連動して前記一の回路基板に対する前記バウンダリスキャンテストを前記テスト制御部に実行させる、検査システム。 - 環境形成装置に収容された少なくとも一つの回路基板に対して、前記環境形成装置によって3自由度以上の振動ストレス及び温度ストレスを印加するステップと、
前記環境形成装置が前記回路基板に対して前記振動ストレス及び温度ストレスを印加している状態で、前記回路基板に対して行うバウンダリスキャンテストの実行間隔を、前記振動ストレスの印加条件、前記温度ストレスの印加条件、又は前記バウンダリスキャンテストによる不良箇所の検出状況に応じて異ならせて、前記バウンダリスキャンテストを実行するステップと、
を備える、検査方法。 - 環境形成装置に収容された複数の回路基板に対して、前記環境形成装置によって3自由度以上の振動ストレスを印加するステップと、
前記環境形成装置が前記回路基板に対して前記振動ストレスを印加している状態で、テスト制御部に対して並列に接続された複数のチャンネルを切り替えることで前記複数の回路基板のうちの一の回路基板を前記テスト制御部に順に接続させる接続処理を実行させ、前記接続処理に連動して前記一の回路基板に対してバウンダリスキャンテストを実行するステップと、
を備える、検査方法。
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