JP7472468B2 - 照明装置、投影装置、計測装置、ロボット、電子機器、移動体、および造形装置 - Google Patents
照明装置、投影装置、計測装置、ロボット、電子機器、移動体、および造形装置 Download PDFInfo
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Description
まず、スペックル低減効果と複数波長出射型面発光レーザ素子の概要を示す。式Aはスペックルノイズの指標として用いられるスペックル・コントラスト(Cs)の式である。式AにおいてIはスペックル撮影画像の平均輝度値、σは標準偏差を示している。一般的な信号強度を示すSNRの逆数となっており、このコントラスト値が低いほど画像のチラツキが少なく、スペックルが少ない良い画像となる。本明細書においてもこの式から算出した値をスペックルノイズの指標として用いる。
各スペックルパターンの平均輝度をS0、標準偏差をσ0、スペックルコントラストをCs0とする。同じパワーでレーザ照射した場合、「S1=S2=S3=・・・=S0、σ1=σ2=σ3=・・・=σ0」と考えることができる。従って、n枚の画像を合成した場合、その輝度値はS1+S2+・・・+Sn=S0×nとなる。一方、ばらつきに関しては分散の加法性が成り立つ為、「σ2=σ1 2+σ2 2+・・・+σn 2」となり、「σ=√(n×σ0 2)=σ0√n」となる。
図1は、波長調整構造を有する第1の実施の形態の複数波長出射型面発光レーザ素子2の断面構造を示す図である。複数波長出射型面発光レーザ素子2は半導体基板上に有機金属気相成長法や分子線エピタキシー法などで形成される。層構成は基板上に下部ブラッグ反射鏡、活性層を含む共振領域、上部ブラッグ反射鏡を成長させたものである。ブラッグ反射鏡とは、屈折率の異なる材料が出射波長λに対して1/4波長の光学膜厚で交互に積層された構造体である。面発光レーザは上部ブラッグ反射鏡と下部ブラッグ反射鏡の間で光が基板に対して垂直方向に共振し、一部の光が基板に対して垂直方向に出射することを特徴とする。
波長重畳によるスペックルコントラストの低減効果を定式化した。このモデルでは電場のランダムウォークによる記述方式を採用している。本来であれば結像系の回折積分による記述が適しているが、定式化が複雑で適当な近似解を得ることができないため、簡略化したモデルとしている。スペックルコントラストは以下の式1で表現される。
スペックルパターンの相関が無くなると定義すると、スペックル低減に有効な波長差Δλは以下の式(3)のようになる。
波長調整量は、波長調整層を活性層に近づけること、もしくは波長調整層の膜厚を厚くすることで、より広い波長範囲で調整可能になり、活性層から遠い位置に波長調整層を設置し、波長調整層の膜厚を薄くすることにより、狭い波長範囲で波長調整が可能になる。
0<λl-λs≦5.36×10-5λc 2-5.83×10-2λc+32.4
であれば、その波長差の範囲内で、λを中心波長としてレーザ特性を維持したまま、任意の出射波長を有する複数波長出射型面発光レーザ素子2を形成できる。
図5は、複数波長出射型面発光レーザ素子2のレイアウトの一例を示す図である。中心のλ1の出射波長のメサ(レーザ出射部)と、周囲のλ1(2)~λ5の出射波長のメサとの間の距離は、それぞれ30μmである。この複数波長出射型面発光レーザ素子2の各メサλ1、λ1(2)、λ2~λ5の出射波長は表3のようになっている。
次に、複数波長出射型面発光レーザ素子の構造を説明する。図9は、第1の実施の形態の複数波長出射型面発光レーザ素子2の平面図である。図10は、複数波長出射型面発光レーザ素子2の部分的な断面図であり、図9のA-A’線に沿う断面を示している。なお、図9は、便宜上、コンタクト層等の記載が省略された、簡略化された図となっている。
以下にスペックル低減効果のある波長調整層の設計膜厚を記す。スペックル低減効果がある波長差は中心波長をλc[nm]、測定対象物の表面粗さの値である「σh」をσh=40000[nm]とすると、
図15は、VCSELアレイ11の構成の変形例を示す図である。VCSELは、Vertical Cavity Surface Emitting LASERの略称である。VCSELアレイは、複数の面発光レーザがアレイ状に配置されたレイアウトのものを指す。異なる発振波長(以下、波長と略す)の発光素子aを有するVCSELアレイのレイアウト構成の一例である。異なる波長(波長順に、波長λ1、波長λ2、波長λ3、波長λ4、波長λ5)の発光素子aを一次元的に配置したものを示している。
第1の実施の形態の面発光型半導体レーザを備える投影装置について説明する。図17は、第2の実施の形態の投影装置10のハードウェア構成を示す図である。この図17に示す投影装置10は、VCSELアレイ11と、光学系12と、光偏向素子13とを有する。
図18は、光偏向素子13の構成を説明するための図である。図18には、一例としてMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)ミラーの構成を示している。図18は、2軸走査ミラーの構成であるが、光偏向素子をこれに限定するものではない。図18では、矢印で示される方向を、それぞれα方向、β方向、及びγ方向とする。MEMSミラー90は、支持基板91と、可動部92と、蛇行状梁部93と、蛇行状梁部94と、電極接続部95とを備える。
第1の実施の形態の面発光型半導体レーザを計測装置へ適用した例を示す。ここでは計測装置の一例として、計測対象を計測する3次元計測装置への適用例を示す。
図20は、計測装置1のブロック図である。なお、図20において、既に説明済みの箇所については、同一の符号を付し、適宜詳細な説明を省略する。
次に、第4の実施の形態について説明する。第4の実施の形態は、第3の実施の形態の計測装置1を、ロボットアーム(多関節アーム)と組み合わせて用いる例である。
次に、第5の実施の形態について説明する。第5の実施の形態は、第2の実施の形態の計測装置1をスマートフォンに設けた例である。
図23は、スマートフォンのハードウェア構成を示す図である。この図23に示すように、スマートフォン80は、上述の計測装置1の他、CPU401、ROM402、RAM403、EEPROM404、CMOSセンサ405、撮像素子I/F406、加速度・方位センサ407、メディアI/F409、GPS(Global Positioning System)受信部411を備えている。
次に、第6の実施の形態について説明する。第6の実施の形態は、第2の実施の形態の計測装置1をパーソナルコンピュータ装置(PC)に設けた例である。
図24は、第6の実施の形態のパーソナルコンピュータのブロック図である。この図24に示すように、パーソナルコンピュータ装置500は、上述の計測装置1の他、CPU501、ROM502及びRAM503を有している。また、パーソナルコンピュータ装置500は、HDD(Hard Disk Drive)504、HDDコントローラ505、ディスプレイ506、外部機器接続I/F508、ネットワークI/F509、バスライン510、キーボード511及びメディアI/F516を備えている。
次に、第7の実施の形態について説明する。第7の実施の形態は、第2の実施の形態の計測装置1を画像形成装置の一例である複合機(MFP)に設けた例である。
図25は、第7の実施の形態のMFPのブロック図である。この図25に示すように、MFP900は、上述の計測装置1の他、コントローラ910、近距離通信回路920、エンジン制御部930、操作パネル940、ネットワークI/F950を備えている。
次に、第8の実施の形態について説明する。第8の実施の形態は、第2の実施の形態の計測装置1を車両に設けた例である。
次に、第9の実施の形態について説明する。第9の実施の形態は、第2の実施の形態の計測装置1を、移動体に設けた例である。図27は、第9の実施の形態の移動体に設けられた計測装置1の使用形態を示す図である。図27は、自律型の移動体に計測装置1を適用した例である。移動体87に設けられた計測装置1は、移動体87の周囲を計測する。この計測結果に基づいて、移動体87は自身の移動する経路の判断および、机88の位置などの室内89のレイアウトを算出する。
次に、第10の実施の形態について説明する。第10の実施の形態は、第2の実施の形態の計測装置1を3Dプリンタに設けた例である。
108 第2の上部DBR
109 コンタクト層
111 下部電極
112 上部電極
131 波長調整領域
132 第1の位相調整層
133 波長調整層
134 第2の位相調整層
135 第1の調整層
136 第2の調整層
137 第3の調整層
138 第4の調整層
139 第5の調整層
Claims (9)
- 半導体基板上に形成された面発光レーザ素子を備える照明装置であり、
1つの前記面発光レーザ素子には複数の面発光レーザをそれぞれ含む複数の発光素子群が形成されており、
各々の前記発光素子群は、同じ出射波長の発光素子を少なくとも1つ含み、
前記複数の発光素子群が一次元的に又は二次元的に配置され、
各々の前記発光素子群において、複数の前記面発光レーザの少なくとも1つの面発光レーザは、他の面発光レーザとは異なる出射波長を有し、前記複数の面発光レーザは、第1の出射波長をλl[nm]、前記第1の出射波長よりも短い波長となる第2の出射波長をλs[nm]、前記第1の出射波長と前記第2の出射波長との間の中心波長をλc[nm]とし、中心波長λ c は、800nm以上940nm以下であり、
前記条件を満たす出射波長から選択された互いに異なる出射波長の光を、投影領域へ同時に照射する、こと
を特徴とする照明装置。 - 前記面発光レーザ素子からの光を導光する光学系、
をさらに備えることを特徴とする請求項1または2に記載の照明装置。 - 請求項3に記載の照明装置と、
前記光学系により導光された光を前記投影領域に反射する光偏向素子と、
を備える投影装置。 - 請求項4に記載の投影装置と、
前記投影領域を撮像する撮像部と、
前記撮像部により撮像された前記投影領域の撮像画像から計測対象を計測する計測部と、
を備えることを特徴とする計測装置。 - 請求項5に記載の計測装置と、
前記計測装置を装着した多関節アームと、
を備えることを特徴とするロボット。 - 請求項5に記載の計測装置と、
前記計測装置による使用者の計測結果に基づいて使用者の認証を行う認証部と、
を備えることを特徴とする電子機器。 - 請求項5に記載の計測装置と、
前記計測装置による計測結果に基づいて移動体の運転を支援する運転支援部と、
を備えることを特徴とする移動体。 - 請求項5に記載の計測装置と、
前記計測装置による計測結果に基づいて造形物を造形する造形部と、
を備えることを特徴とする造形装置。
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