JP7462807B2 - 感光性着色組成物、硬化膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置 - Google Patents

Description

本発明は、感光性着色組成物に関する。更に詳しくはカラーフィルタの着色画素などの形成に用いられる感光性着色組成物に関する。また、感光性着色組成物を用いた硬化膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置に関する。

近年、デジタルカメラ、カメラ付き携帯電話等の普及から、電荷結合素子（ＣＣＤ）イメージセンサなどの固体撮像素子の需要が大きく伸びている。ディスプレイや光学素子のキーデバイスとしてカラーフィルタが使用されている。

カラーフィルタは、色材と、重合性モノマーと、光重合開始剤とを含む感光性着色組成物を用いて製造されている。例えば、特許文献１には、光重合開始剤としてフッ素原子を含むオキシムエステル系光重合開始剤を用いた感光性着色組成物を用いてカラーフィルタを製造することが記載されている。

また、近年では、画像表示装置における発光光源の有機エレクトロルミネッセンス（有機ＥＬ）化や、イメージセンサにおける光電変換膜の有機素材化が検討されている。これらの部材は、耐熱性が低いものが多い。そこで、カラーフィルタを低温で製造することが検討されている。例えば、特許文献２には、（ｉ）感光性着色組成物を用いて基板上に層を形成する工程、（ｉｉ）感光性着色組成物層を波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光で露光する工程、（ｉｉｉ）感光性着色組成物層をアルカリ現像する工程および（ｉｖ）感光性着色組成物層を波長２５４～３５０ｎｍの光で露光する工程をこの順に有し、感光性着色組成物として、（ａ）メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^３ｍＬ／ｇｃｍ以上である重合開始剤、（ｂ）メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^２ｍＬ／ｇｃｍ以下であり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^３ｍＬ／ｇｃｍ以上である重合開始剤、（ｃ）不飽和二重結合を有する化合物、（ｄ）アルカリ可溶性樹脂、および（ｅ）色材を含有し、感光性着色組成物の全固形分中、（ａ）重合開始剤の含有量が１．５～１０質量％であり、（ｂ）重合開始剤の含有量が１．５～７．５質量％である感光性着色組成物を用いる、カラーフィルタの製造方法が記載されている。

国際公開ＷＯ２０１６／１５８１１４号公報 特開２０１５－０４１０５８号公報

上述したように、近年ではカラーフィルタをより低温で製造することが検討されている。

また、カラーフィルタに用いられる硬化膜のパターンについて、膜厚を大きくすることも検討されている。しかしながら、厚みが大きい硬化膜のパターンを低温で製造した場合、耐溶剤性、密着性および矩形性を並立させることが困難であった。

よって、本発明は、耐溶剤性、密着性および矩形性に優れたパターンを形成可能な感光性着色組成物を提供することを目的とする。また、本発明は、硬化膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子および画像表示装置を提供することを目的とする。

本発明者は鋭意検討した結果、後述する感光性着色組成物を用いることで上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は以下の通りである。
＜１＞ 色材と、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍ以上の光重合開始剤Ａ１と、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^２ｍＬ／ｇｃｍ以下で、かつ、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^３ｍＬ／ｇｃｍ以上の光重合開始剤Ａ２と、
重合性モノマーと、を含む感光性着色組成物であって、
感光性着色組成物の全固形分中における重合性モノマーの含有量が１５質量％以上である、感光性着色組成物。
＜２＞ 光重合開始剤Ａ１がフッ素原子を含むオキシム化合物である、＜１＞に記載の感光性着色組成物。
＜３＞ 光重合開始剤Ａ２がヒドロキシアルキルフェノン化合物である、＜１＞または＜２＞に記載の感光性着色組成物。
＜４＞ 光重合開始剤Ａ２が下記式（Ａ２－１）で表される化合物である、＜１＞または＜２＞に記載の感光性着色組成物；
（Ａ２－１）
式中Ｒｖ^１は、置換基を表し、Ｒｖ^２およびＲｖ^３は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を表し、Ｒｖ^２とＲｖ^３とが互いに結合して環を形成していてもよく、ｍは０～５の整数を表す。
＜５＞ 光重合開始剤Ａ１の１００質量部に対して、光重合開始剤Ａ２を５０～２００質量部含有する、＜１＞～＜４＞のいずれか１つに記載の感光性着色組成物。
＜６＞ 感光性着色組成物の全固形分中における光重合開始剤Ａ１と光重合開始剤Ａ２の合計の含有量が５～１５質量％である、＜１＞～＜５＞のいずれか１つに記載の感光性着色組成物。
＜７＞ 重合性モノマーがエチレン性不飽和基を３個以上含む化合物である、＜１＞～＜６＞のいずれか１つに記載の感光性着色組成物。
＜８＞ 重合性モノマーがエチレン性不飽和基とアルキレンオキシ基とを含む化合物である、＜１＞～＜７＞のいずれか１つに記載の感光性着色組成物。
＜９＞ 光重合開始剤Ａ１と光重合開始剤Ａ２の合計１００質量部に対して、重合性モノマーを１７０～３４５質量部含有する、＜１＞～＜８＞のいずれか１つに記載の感光性着色組成物。
＜１０＞ 感光性着色組成物の全固形分中における重合性モノマーの含有量が１７．５～２７．５質量％である、＜１＞～＜９＞のいずれか１つに記載の感光性着色組成物。
＜１１＞ 更に樹脂を含む、＜１＞～＜１０＞のいずれか１つに記載の感光性着色組成物。
＜１２＞ 樹脂の含有量が、重合性モノマーの１００質量部に対して５０～１７０質量部である、＜１１＞に記載の感光性着色組成物。
＜１３＞ ＜１＞～＜１２＞のいずれか１つに記載の感光性着色組成物を硬化して得られる硬化膜。
＜１４＞ ＜１＞～＜１２＞のいずれか１つに記載の感光性着色組成物を用いて支持体上に感光性着色組成物層を形成する工程と、
感光性着色組成物層に対して、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光を照射してパターン状に露光する工程と、
露光後の感光性着色組成物層を現像する工程と、
現像後の感光性着色組成物層に対して、波長２５４～３５０ｎｍの光を照射して露光する工程と、を有するパターンの形成方法。
＜１５＞ ＜１３＞に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
＜１６＞ ＜１３＞に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
＜１７＞ ＜１３＞に記載の硬化膜を有する画像表示装置。

本発明によれば、耐溶剤性、密着性および矩形性に優れたパターンを形成可能な感光性着色組成物を提供することができる。また、硬化膜、パターンの形成方法、カラーフィルタ、固体撮像素子を提供することができる。

以下において、本発明の内容について詳細に説明する。
本明細書における基（原子団）の表記において、置換および無置換を記していない表記は、置換基を有さない基（原子団）と共に置換基を有する基（原子団）をも包含するものである。例えば、「アルキル基」とは、置換基を有さないアルキル基（無置換アルキル基）のみならず、置換基を有するアルキル基（置換アルキル基）をも包含するものである。
本明細書において「露光」とは、特に断らない限り、光を用いた露光のみならず、電子線、イオンビーム等の粒子線を用いた描画も露光に含める。また、露光に用いられる光としては、一般的に、水銀灯の輝線スペクトル、エキシマレーザーに代表される遠紫外線、極紫外線（ＥＵＶ光）、Ｘ線、電子線等の活性光線または放射線が挙げられる。
本明細書において「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本明細書において、全固形分とは、組成物の全成分から溶剤を除いた成分の合計質量をいう。
本明細書において、「（メタ）アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリル」は、アクリルおよびメタクリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アリル」は、アリルおよびメタリルの双方、または、いずれかを表し、「（メタ）アクリロイル」は、アクリロイルおよびメタクリロイルの双方、または、いずれかを表す。
本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。
本明細書において、重量平均分子量（Ｍｗ）および数平均分子量（Ｍｎ）は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により測定したポリスチレン換算値として定義される。

＜感光性着色組成物＞
本発明の感光性着色組成物は、
色材と、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍ以上の光重合開始剤Ａ１と、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^２ｍＬ／ｇｃｍ以下で、かつ、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^３ｍＬ／ｇ・ｃｍ以上の光重合開始剤Ａ２と、
重合性モノマーと、を含む感光性着色組成物であって、
感光性着色組成物の全固形分中における重合性モノマーの含有量が１５質量％以上であることを特徴とする。

本発明の感光性着色組成物を用いることで、耐溶剤性、密着性および矩形性に優れたパターンを形成することができる。すなわち、本発明の感光性着色組成物は、光重合開始剤として上記光重合開始剤Ａ１と光重合開始剤Ａ２とを併用したことにより、現像前および現像後の２段階で感光性着色組成物を露光して硬化させることができる。そして、本発明の感光性着色組成物は、重合性モノマーを感光性着色組成物の全固形分中１５質量％以上含有し、かつ、上記光重合開始剤Ａ１を含むことにより、最初の露光（現像前の露光）で、感光性着色組成物を底部までしっかりと硬化させることができる。このため、密着性および矩形性の良いパターンを形成することができる。そして、次の露光（現像後の露光）で感光性着色組成物全体をほぼ完全に硬化させることができるので、耐溶剤性に優れたパターンを形成することができる。例えば、複数色の感光性着色組成物を用いて各色の硬化膜のパターン（画素）を順次形成して複数色の画素を有するカラーフィルタを製造する場合、２色目以降の画素の形成時に、それよりも前の工程で形成した画素も現像液に曝されるが、本発明の感光性着色組成物を用いることで、耐溶剤性に優れたパターンを形成することができるので、２色目以降の画素の形成時においてそれより前に形成した画素からの色抜けを抑制できる。
また、本発明の感光性着色組成物によれば、例えば１２０℃以下の低温プロセスでパターンを形成した場合であっても、耐溶剤性、密着性および矩形性に優れたパターンを形成することができる。このため、本発明の感光性着色組成物は、低温プロセスでパターンを形成する場合において特に効果的である。

以下、本発明の感光性着色組成物について詳細に説明する。

＜＜色材＞＞
本発明の感光性着色組成物は色材を含有する。色材としては、赤色色材、緑色色材、青色色材、黄色色材、紫色色材、オレンジ色色材などの有彩色色材が挙げられる。本発明において、色材は、顔料であってもよく、染料であってもよい。顔料と染料とを併用してもよい。本発明で用いられる色材は、顔料を含むことが好ましい。また、色材中における顔料の含有量は、５０質量％以上であることが好ましく、７０質量％以上であることがより好ましく、８０質量％以上であることが更に好ましく、９０質量％以上であることが特に好ましい。また、色材は顔料のみであってもよい。

顔料は、有機顔料であることが好ましい。有機顔料としては以下のものが挙げられる。
カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １，２，３，４，５，６，１０，１１，１２，１３，１４，１５，１６，１７，１８，２０，２４，３１，３２，３４，３５，３５：１，３６，３６：１，３７，３７：１，４０，４２，４３，５３，５５，６０，６１，６２，６３，６５，７３，７４，７７，８１，８３，８６，９３，９４，９５，９７，９８，１００，１０１，１０４，１０６，１０８，１０９，１１０，１１３，１１４，１１５，１１６，１１７，１１８，１１９，１２０，１２３，１２５，１２６，１２７，１２８，１２９，１３７，１３８，１３９，１４７，１４８，１５０，１５１，１５２，１５３，１５４，１５５，１５６，１６１，１６２，１６４，１６６，１６７，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７３，１７４，１７５，１７６，１７７，１７９，１８０，１８１，１８２，１８５，１８７，１８８，１９３，１９４，１９９，２１３，２１４等（以上、黄色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｏｒａｎｇｅ ２，５，１３，１６，１７：１，３１，３４，３６，３８，４３，４６，４８，４９，５１，５２，５５，５９，６０，６１，６２，６４，７１，７３等（以上、オレンジ色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １，２，３，４，５，６，７，９，１０，１４，１７，２２，２３，３１，３８，４１，４８：１，４８：２，４８：３，４８：４，４９，４９：１，４９：２，５２：１，５２：２，５３：１，５７：１，６０：１，６３：１，６６，６７，８１：１，８１：２，８１：３，８３，８８，９０，１０５，１１２，１１９，１２２，１２３，１４４，１４６，１４９，１５０，１５５，１６６，１６８，１６９，１７０，１７１，１７２，１７５，１７６，１７７，１７８，１７９，１８４，１８５，１８７，１８８，１９０，２００，２０２，２０６，２０７，２０８，２０９，２１０，２１６，２２０，２２４，２２６，２４２，２４６，２５４，２５５，２６４，２７０，２７２，２７９等（以上、赤色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ７，１０，３６，３７，５８，５９，６２，６３等（以上、緑色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ １，１９，２３，２７，３２，３７，４２等（以上、紫色顔料）、
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １，２，１５，１５：１，１５：２，１５：３，１５：４，１５：６，１６，２２，６０，６４，６６，７９，８０等（以上、青色顔料）。
これら有機顔料は、単独で若しくは種々組合せて用いることができる。

また、黄色顔料として、下記式（Ｉ）で表されるアゾ化合物およびその互変異性構造のアゾ化合物から選ばれる少なくとも１種のアニオンと、２種以上の金属イオンと、メラミン化合物とを含む金属アゾ顔料を用いることもできる。
式中、Ｒ^１およびＲ^２はそれぞれ独立して、ＯＨまたはＮＲ^５Ｒ^６であり、Ｒ^３およびＲ^４はそれぞれ独立して、＝Ｏまたは＝ＮＲ^７であり、Ｒ^５～Ｒ^７はそれぞれ独立して、水素原子またはアルキル基である。Ｒ^５～Ｒ^７が表すアルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～４が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐および環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は置換基を有していてもよい。置換基は、ハロゲン原子、ヒドロキシル基、アルコキシ基、シアノ基およびアミノ基が好ましい。

式（Ｉ）において、Ｒ^１およびＲ^２はＯＨであることが好ましい。また、Ｒ^３およびＲ^４は＝Ｏであることが好ましい。

金属アゾ顔料におけるメラミン化合物は、下記式（ＩＩ）で表される化合物であることが好ましい。
式中Ｒ^１１～Ｒ^１３は、それぞれ独立して水素原子またはアルキル基である。アルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、１～６がより好ましく、１～４が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐および環状のいずれであってもよく、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。アルキル基は置換基を有していてもよい。置換基はヒドロキシル基が好ましい。Ｒ^１１～Ｒ^１３の少なくとも一つは水素原子であることが好ましく、Ｒ^１１～Ｒ^１３の全てが水素原子であることがより好ましい。

上記の金属アゾ顔料は、上述した式（Ｉ）で表されるアゾ化合物およびその互変異性構造のアゾ化合物から選ばれる少なくとも１種のアニオンと、Ｚｎ^２＋およびＣｕ^２＋を少なくとも含む金属イオンと、メラミン化合物とを含む態様の金属アゾ顔料であることが好ましい。この態様においては、金属アゾ顔料の全金属イオンの１モルを基準として、Ｚｎ^２＋およびＣｕ^２＋を合計で９５～１００モル％含有することが好ましく、９８～１００モル％含有することがより好ましく、９９．９～１００モル％含有することが更に好ましく、１００モル％であることが特に好ましい。また、金属アゾ顔料中のＺｎ^２＋とＣｕ^２＋とのモル比は、Ｚｎ^２＋：Ｃｕ^２＋＝１９９：１～１：１５であることが好ましく、１９：１～１：１であることがより好ましく、９：１～２：１であることが更に好ましい。また、この態様において、金属アゾ顔料は、更にＺｎ^２＋およびＣｕ^２＋以外の二価もしくは三価の金属イオン（以下、金属イオンＭｅ１ともいう）を含んでいてもよい。金属イオンＭｅ１としては、Ｎｉ^２＋、Ａｌ^３＋、Ｆｅ^２＋、Ｆｅ^３＋、Ｃｏ^２＋、Ｃｏ^３＋、Ｌａ^３＋、Ｃｅ^３＋、Ｐｒ^３＋、Ｎｄ^２＋、Ｎｄ^３＋、Ｓｍ^２＋、Ｓｍ^３＋、Ｅｕ^２＋、Ｅｕ^３＋、Ｇｄ^３＋、Ｔｂ^３＋、Ｄｙ^３＋、Ｈｏ^３＋、Ｙｂ^２＋、Ｙｂ^３＋、Ｅｒ^３＋、Ｔｍ^３＋、Ｍｇ^２＋、Ｃａ^２＋、Ｓｒ^２＋、Ｍｎ^２＋、Ｙ^３＋、Ｓｃ^３＋、Ｔｉ^２＋、Ｔｉ^３＋、Ｎｂ^３＋、Ｍｏ^２＋、Ｍｏ^３＋、Ｖ^２＋、Ｖ^３＋、Ｚｒ^２＋、Ｚｒ^３＋、Ｃｄ^２＋、Ｃｒ^３＋、Ｐｂ^２＋、Ｂａ^２＋が挙げられ、Ａｌ^３＋、Ｆｅ^２＋、Ｆｅ^３＋、Ｃｏ^２＋、Ｃｏ^３＋、Ｌａ^３＋、Ｃｅ^３＋、Ｐｒ^３＋、Ｎｄ^３＋、Ｓｍ^３＋、Ｅｕ^３＋、Ｇｄ^３＋、Ｔｂ^３＋、Ｄｙ^３＋、Ｈｏ^３＋、Ｙｂ^３＋、Ｅｒ^３＋、Ｔｍ^３＋、Ｍｇ^２＋、Ｃａ^２＋、Ｓｒ^２＋、Ｍｎ^２＋およびＹ^３＋から選ばれる少なくとも１種であることが好ましく、Ａｌ^３＋、Ｆｅ^２＋、Ｆｅ^３＋、Ｃｏ^２＋、Ｃｏ^３＋、Ｌａ^３＋、Ｃｅ^３＋、Ｐｒ^３＋、Ｎｄ^３＋、Ｓｍ^３＋、Ｔｂ^３＋、Ｈｏ^３＋およびＳｒ^２＋から選ばれる少なくとも１種であることが更に好ましく、Ａｌ^３＋、Ｆｅ^２＋、Ｆｅ^３＋、Ｃｏ^２＋およびＣｏ^３＋から選ばれる少なくとも１種であることが特に好ましい。金属イオンＭｅ１の含有量は、金属アゾ顔料の全金属イオンの１モルを基準として、５モル％以下であることが好ましく、２モル％以下であることがより好ましく、０．１モル％以下であることが更に好ましい。

上記の金属アゾ顔料については、特開２０１７－１７１９１２号公報の段落番号００１１～００６２、０１３７～０２７６、特開２０１７－１７１９１３号公報の段落番号００１０～００６２、０１３８～０２９５、特開２０１７－１７１９１４号公報の段落番号００１１～００６２、０１３９～０１９０、特開２０１７－１７１９１５号公報の段落番号００１０～００６５、０１４２～０２２２の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。

また、赤色顔料として、芳香族環に酸素原子、硫黄原子または窒素原子が結合した基が導入された芳香族環基がジケトピロロピロール骨格に結合した構造を有する化合物を用いることもできる。このような化合物としては、式（ＤＰＰ１）で表される化合物であることが好ましく、式（ＤＰＰ２）で表される化合物であることがより好ましい。

上記式中、Ｒ^１１およびＲ^１３はそれぞれ独立して置換基を表し、Ｒ^１２およびＲ^１４はそれぞれ独立して水素原子、アルキル基、アリール基またはヘテロアリール基を表し、ｎ１１およびｎ１３はそれぞれ独立して０～４の整数を表し、Ｘ^１２およびＸ^１４はそれぞれ独立して酸素原子、硫黄原子または窒素原子を表し、Ｘ^１２が酸素原子または硫黄原子の場合は、ｍ１２は１を表し、Ｘ^１２が窒素原子の場合は、ｍ１２は２を表し、Ｘ^１４が酸素原子または硫黄原子の場合は、ｍ１４は１を表し、Ｘ^１４が窒素原子の場合は、ｍ１４は２を表す。Ｒ^１１およびＲ^１３が表す置換基としては、アルキル基、アリール基、ハロゲン原子、アシル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロアリールオキシカルボニル基、アミド基、シアノ基、ニトロ基、トリフルオロメチル基、スルホキシド基、スルホ基などが好ましい具体例として挙げられる。

また、緑色顔料として、１分子中のハロゲン原子数が平均１０～１４個であり、臭素原子が平均８～１２個であり、塩素原子が平均２～５個であるハロゲン化亜鉛フタロシアニン顔料を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／１１８７２０号公報に記載の化合物が挙げられる。

また、青色顔料として、リン原子を有するアルミニウムフタロシアニン化合物を用いることもできる。具体例としては、特開２０１２－２４７５９１号公報の段落００２２～００３０、特開２０１１－１５７４７８号公報の段落００４７に記載の化合物などが挙げられる。

染料としては特に制限はなく、公知の染料が使用できる。例えば、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリアリールメタン系、アントラキノン系、アントラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピロメテン系等の染料が挙げられる。また、特開２０１２－１５８６４９号公報に記載のチアゾール化合物、特開２０１１－１８４４９３号公報に記載のアゾ化合物、特開２０１１－１４５５４０号公報に記載のアゾ化合物も好ましく用いることができる。また、黄色染料として、特開２０１３－０５４３３９号公報の段落番号００１１～００３４に記載のキノフタロン化合物、特開２０１４－０２６２２８号公報の段落番号００１３～００５８に記載のキノフタロン化合物などを用いることもできる。

また、本発明において、色材として色素多量体を用いることもできる。色素多量体は、溶剤に溶解して用いられる染料であることが好ましいが、色素多量体は、粒子を形成していてもよく、色素多量体が粒子である場合は通常溶剤に分散した状態で用いられる。粒子状態の色素多量体は、例えば乳化重合によって得ることができ、特開２０１５－２１４６８２号公報に記載されている化合物および製造方法が具体例として挙げられる。色素多量体は、一分子中に、色素構造を２以上有するものであり、色素構造を３以上有することが好ましい。上限は、特に限定はないが、１００以下とすることもできる。一分子中に有する複数の色素構造は、同一の色素構造であってもよく、異なる色素構造であってもよい。

色素多量体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、２０００～５００００が好ましい。下限は、３０００以上がより好ましく、６０００以上がさらに好ましい。上限は、３００００以下がより好ましく、２００００以下がさらに好ましい。

色素多量体が有する色素構造は、可視領域（好ましくは、波長４００～７００ｎｍの範囲、より好ましくは４００～６５０ｎｍの範囲）に吸収を有する色素化合物に由来する構造が挙げられる。例えば、トリアリールメタン色素構造、キサンテン色素構造、アントラキノン色素構造、シアニン色素構造、スクアリリウム色素構造、キノフタロン色素構造、フタロシアニン色素構造、サブフタロシアニン色素構造、アゾ色素構造、ピラゾロトリアゾール色素構造、ジピロメテン色素構造、イソインドリン色素構造、チアゾール色素構造、ベンズイミダゾール色素構造、ぺリノン色素構造、ジケトピロロピロール色素構造、ジイミニウム色素構造、ナフタロシアニン色素構造、リレン色素構造、ジベンゾフラノン色素構造、メロシアニン色素構造、クロコニウム色素構造、オキソノール色素構造などが挙げられる。

色素多量体は、式（Ａ）で表される繰り返し単位を有する色素多量体、式（Ｂ）で表される繰り返し単位を有する色素多量体、式（Ｃ）で表される繰り返し単位を有する色素多量、および、式（Ｄ）で表される色素多量体が好ましく、式（Ａ）で表される繰り返し単位を有する色素多量体、および、式（Ｄ）で表される色素多量体がより好ましい。

式（Ａ）中、Ｘ^１は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ^１は単結合または２価の連結基を表し、Ｄ^１は色素構造を表す。式（Ａ）についての詳細は、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落０１３８～０１５２を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

式（Ｂ）中、Ｘ^２は繰り返し単位の主鎖を表し、Ｌ^２は単結合または２価の連結基を表し、Ｄ^２はＹ^２とイオン結合もしくは配位結合可能な基を有する色素構造を表し、Ｙ^２はＤ^２とイオン結合または配位結合可能な基を表す。式（Ｂ）の詳細については、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落０１５６～０１６１を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

式（Ｃ）中、Ｌ^３は単結合または２価の連結基を表し、Ｄ^３は色素構造を表し、ｍは０または１を表す。式（Ｃ）の詳細については、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落０１６５～０１６７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

式（Ｄ）中、Ｌ^４は（ｎ＋ｋ）価の連結基を表し、Ｌ^４１およびＬ^４２は、それぞれ独立に、単結合または２価の連結基を表し、Ｄ^４は色素構造を表し、Ｐ^４は置換基を表す；ｎは２～１５を表し、ｋは０～１３を表し、ｎ＋ｋは２～１５である。ｎが２以上の場合、複数のＤ^４は互いに異なっていても良く、同一であってもよい。ｋが２以上の場合、複数のＰ^４は互いに異なっていても良く、同一であってもよい。Ｌ^４が表す（ｎ＋ｋ）価の連結基としては、特開２００８－２２２９５０号公報の段落番号００７１～００７２に記載された連結基、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落番号０１７６に記載された連結基などが挙げられる。Ｐ^４が表す置換基は、酸基、重合性基等が挙げられる。重合性基としては、エチレン性不飽和基、エポキシ基、オキサゾリン基、メチロール基等が挙げられる。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。酸基としては、カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基等が挙げられる。Ｐ^４が表す置換基は、繰り返し単位を有する１価のポリマー鎖であってもよい。繰り返し単位を有する１価のポリマー鎖は、ビニル化合物由来の繰り返し単位を有する１価のポリマー鎖が好ましい。

色素多量体は、特開２０１１－２１３９２５号公報、特開２０１３－０４１０９７号公報、特開２０１５－０２８１４４号公報、特開２０１５－０３０７４２号公報、国際公開ＷＯ２０１６／０３１４４２号公報等に記載されている化合物を用いることもできる。

色材の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中５～７０質量％が好ましい。下限は、１０質量％以上が好ましく、１５質量％以上がより好ましく、２０質量％以上が更に好ましい。上限は、６０質量％以下が好ましく、５５質量％以下が更に好ましく、５０質量％以下がより一層好ましい。

＜＜光重合開始剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、光重合開始剤を含有する。光重合開始剤としては、例えば、ハロゲン化炭化水素誘導体（例えば、トリアジン骨格を有する化合物、オキサジアゾール骨格を有する化合物など）、アシルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィン化合物、ヘキサアリールビイミダゾール化合物、オキシム誘導体等のオキシム化合物、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、ケトオキシムエーテル化合物、アミノアルキルフェノン化合物、ヒドロキシアルキルフェノン化合物、フェニルグリオキシレート化合物などが挙げられる。光重合開始剤の具体例としては、例えば、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落番号０２６５～０２６８の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。

フェニルグリオキシレート化合物としては、フェニルグリオキシリックアシッドメチルエステルなどが挙げられる。市販品としては、ＤＡＲＯＣＵＲ－ＭＢＦ（ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。

アミノアルキルフェノン化合物としては、例えば、特開平１０－２９１９６９号公報に記載のアミノアルキルフェノン化合物が挙げられる。また、アミノアルキルフェノン化合物としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－９０７、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－３６９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－３７９（いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることもできる。

アシルホスフィン化合物としては、特許第４２２５８９８号公報に記載のアシルホスフィン化合物が挙げられる。具体例としては、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルホスフィンオキサイドなどが挙げられる。アシルホスフィン化合物としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－８１９、ＤＡＲＯＣＵＲ－ＴＰＯ（いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることもできる。

ヒドロキシアルキルフェノン化合物としては、下記式（Ａ２－１）で表される化合物が挙げられる。
（Ａ２－１）
式中Ｒｖ^１は、置換基を表し、Ｒｖ^２およびＲｖ^３は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を表し、Ｒｖ^２とＲｖ^３とが互いに結合して環を形成していてもよく、ｍは０～５の整数を表す。

Ｒｖ^１が表す置換基としては、アルキル基（好ましくは、炭素数１～１０のアルキル基）、アルコキシ基（好ましくは、炭素数１～１０のアルコキシ基）が挙げられる。アルキル基およびアルコキシ基は、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。Ｒｖ^１が表すアルキル基およびアルコキシ基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、ヒドロキシル基や、ヒドロキシアセトフェノン構造を有する基などが挙げられる。ヒドロキシアセトフェノン構造を有する基としては、式（Ａ２－１）におけるＲｖ^１が結合したベンゼン環またはＲｖ^１から水素原子を１個除去した構造の基が挙げられる。

Ｒｖ^２およびＲｖ^３は、それぞれ独立して水素原子または置換基を表す。置換基としては、アルキル基（好ましくは炭素数１～１０のアルキル基）が好ましい。また、Ｒｖ^２とＲｖ^３は互いに結合して環（好ましくは炭素数４～８の環、より好ましくは、炭素数４～８の脂肪族環）を形成していてもよい。アルキル基は、直鎖または分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。

式（Ａ２－１）で表される化合物の具体例としては、下記化合物が挙げられる。

ヒドロキシアルキルフェノン化合物としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－１８４、ＤＡＲＯＣＵＲ－１１７３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－５００、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－２９５９、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－１２７（商品名：いずれもＢＡＳＦ社製）を用いることもできる。

オキシム化合物としては、特開２００１－２３３８４２号公報に記載の化合物、特開２０００－０８００６８号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１６５３－１６６０）に記載の化合物、Ｊ．Ｃ．Ｓ．Ｐｅｒｋｉｎ ＩＩ（１９７９年、ｐｐ．１５６－１６２）に記載の化合物、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｐｈｏｔｏｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ ａｎｄ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（１９９５年、ｐｐ．２０２－２３２）に記載の化合物、特開２０００－０６６３８５号公報に記載の化合物、特開２０００－０８００６８号公報に記載の化合物、特表２００４－５３４７９７号公報に記載の化合物、特開２００６－３４２１６６号公報に記載の化合物、特開２０１７－０１９７６６号公報に記載の化合物、特許第６０６５５９６号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１５／１５２１５３号公報に記載の化合物、国際公開ＷＯ２０１７／０５１６８０号公報に記載の化合物などが挙げられる。オキシム化合物の具体例としては、例えば、３－ベンゾイルオキシイミノブタン－２－オン、３－アセトキシイミノブタン－２－オン、３－プロピオニルオキシイミノブタン－２－オン、２－アセトキシイミノペンタン－３－オン、２－アセトキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、２－ベンゾイルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オン、３－（４－トルエンスルホニルオキシ）イミノブタン－２－オン、及び２－エトキシカルボニルオキシイミノ－１－フェニルプロパン－１－オンなどが挙げられる。オキシム化合物の市販品としては、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０１、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０２、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０３、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－ＯＸＥ０４（以上、ＢＡＳＦ社製）、ＴＲ－ＰＢＧ－３０４（常州強力電子新材料有限公司製）、アデカオプトマーＮ－１９１９（（株）ＡＤＥＫＡ製、特開２０１２－０１４０５２号公報に記載の光重合開始剤２）が挙げられる。また、オキシム化合物は、着色性が無い化合物や、透明性が高く、その他の成分を変色させにくい化合物を用いることも好ましい。市販品としては、アデカアークルズＮＣＩ－７３０、ＮＣＩ－８３１、ＮＣＩ－９３０（以上、（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。

オキシム化合物は、フッ素原子を有するオキシム化合物であることが好ましい。フッ素原子を含むオキシム化合物は、フッ素原子を含む基を有することが好ましい。フッ素原子を含む基は、フッ素原子を有するアルキル基（以下、含フッ素アルキル基ともいう）、および、フッ素原子を有するアルキル基を含む基（以下、含フッ素基ともいう）が好ましい。含フッ素基としては、－ＯＲ^Ｆ１、－ＳＲ^Ｆ１、－ＣＯＲ^Ｆ１、－ＣＯＯＲ^Ｆ１、－ＯＣＯＲ^Ｆ１、－ＮＲ^Ｆ１Ｒ^Ｆ２、－ＮＨＣＯＲ^Ｆ１、－ＣＯＮＲ^Ｆ１Ｒ^Ｆ２、－ＮＨＣＯＮＲ^Ｆ１Ｒ^Ｆ２、－ＮＨＣＯＯＲ^Ｆ１、－ＳＯ_２Ｒ^Ｆ１、－ＳＯ_２ＯＲ^Ｆ１および－ＮＨＳＯ_２Ｒ^Ｆ１から選ばれる少なくとも１種の基が好ましい。Ｒ^Ｆ１は、含フッ素アルキル基を表し、Ｒ^Ｆ２は、水素原子、アルキル基、含フッ素アルキル基、アリール基またはヘテロ環基を表す。含フッ素基は、－ＯＲ^Ｆ１が好ましい。

アルキル基および含フッ素アルキル基の炭素数は、１～２０が好ましく、１～１５がより好ましく、１～１０が更に好ましく、１～４が特に好ましい。アルキル基および含フッ素アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。含フッ素アルキル基において、フッ素原子の置換率は４０～１００％であることが好ましく、５０～１００％であることがより好ましく、６０～１００％であることがさらに好ましい。なお、フッ素原子の置換率とは、アルキル基が有する全水素原子の数に対してフッ素原子に置換されている数の比率（％）をいう。

アリール基の炭素数は、６～２０が好ましく、６～１５がより好ましく、６～１０が更に好ましい。

ヘテロ環基は、５員環または６員環が好ましい。ヘテロ環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。縮合数は、２～８が好ましく、２～６がより好ましく、３～５が更に好ましく、３～４が特に好ましい。ヘテロ環基を構成する炭素原子の数は３～４０が好ましく、３～３０がより好ましく、３～２０がより好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子の数は１～３が好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましく、窒素原子がより好ましい。

フッ素原子を含む基は、式（１）または（２）で表される末端構造を有することが好ましい。式中の＊は、連結手を表す。
＊－ＣＨＦ_２ （１）
＊－ＣＦ_３ （２）

フッ素原子を含むオキシム化合物中の全フッ素原子数は３以上が好ましく、４～１０がより好ましい。

フッ素原子を含むオキシム化合物は、式（ＯＸ－１）で表される化合物が好ましい。
（ＯＸ－１）
式（ＯＸ－１）において、Ａｒ^１およびＡｒ^２は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環を表し、Ｒ^１は、フッ素原子を含む基を有するアリール基を表し、Ｒ^２およびＲ^３は、それぞれ独立に、アルキル基またはアリール基を表す。

Ａｒ^１およびＡｒ^２は、それぞれ独立に、置換基を有していてもよい芳香族炭化水素環を表す。芳香族炭化水素環は、単環でもよく、縮合環であってもよい。芳香族炭化水素環の環を構成する炭素原子数は、６～２０が好ましく、６～１５がより好ましく、６～１０が特に好ましい。芳香族炭化水素環は、ベンゼン環およびナフタレン環が好ましい。なかでも、Ａｒ^１およびＡｒ^２の少なくとも一方がベンゼン環であることが好ましく、Ａｒ^１がベンゼン環であることがより好ましい。Ａｒ^２は、ベンゼン環またはナフタレン環が好ましく、ナフタレン環がより好ましい。

Ａｒ^１およびＡｒ^２が有してもよい置換基としては、アルキル基、アリール基、ヘテロ環基、ニトロ基、シアノ基、ハロゲン原子、－ＯＲ^Ｘ１、－ＳＲ^Ｘ１、－ＣＯＲ^Ｘ１、－ＣＯＯＲ^Ｘ１、－ＯＣＯＲ^Ｘ１、－ＮＲ^Ｘ１Ｒ^Ｘ２、－ＮＨＣＯＲ^Ｘ１、－ＣＯＮＲ^Ｘ１Ｒ^Ｘ２、－ＮＨＣＯＮＲ^Ｘ１Ｒ^Ｘ２、－ＮＨＣＯＯＲ^Ｘ１、－ＳＯ_２Ｒ^Ｘ１、－ＳＯ_２ＯＲ^Ｘ１、－ＮＨＳＯ_２Ｒ^Ｘ１などが挙げられる。Ｒ^Ｘ１およびＲ^Ｘ２は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基、アリール基またはヘテロ環基を表す。
ハロゲン原子は、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子などが挙げられ、フッ素原子が好ましい。置換基としてのアルキル基、ならびに、Ｒ^Ｘ１およびＲ^Ｘ２が表すアルキル基の炭素数は、１～３０が好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。アルキル基は、水素原子の一部または全部がハロゲン原子（好ましくは、フッ素原子）で置換されていてもよい。また、アルキル基は、水素原子の一部または全部が、上記置換基で置換されていてもよい。置換基としてのアリール基、ならびに、Ｒ^Ｘ１およびＲ^Ｘ２が表すアリール基の炭素数は、６～２０が好ましく、６～１５がより好ましく、６～１０が更に好ましい。アリール基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。また、アリール基は、水素原子の一部または全部が、上記置換基で置換されていてもよい。置換基としてのヘテロ環基、ならびに、Ｒ^Ｘ１およびＲ^Ｘ２が表すヘテロ環基は、５員環または６員環が好ましい。ヘテロ環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。ヘテロ環基を構成する炭素原子の数は３～３０が好ましく、３～１８がより好ましく、３～１２がより好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子の数は１～３が好ましい。ヘテロ環基を構成するヘテロ原子は、窒素原子、酸素原子または硫黄原子が好ましい。また、ヘテロ環基は、水素原子の一部または全部が、上記置換基で置換されていてもよい。

Ａｒ^１が表す芳香族炭化水素環は、無置換が好ましい。Ａｒ^２が表す芳香族炭化水素環は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基を有していることが好ましい。置換基としては、－ＣＯＲ^Ｘ１が好ましい。Ｒ^Ｘ１は、アルキル基、アリール基またはヘテロ環基が好ましく、アリール基がより好ましい。アリール基は置換基を有していてもよく、無置換であってもよい。置換基としては、炭素数１～１０のアルキル基などが挙げられる。

Ｒ^１は、フッ素原子を含む基を有するアリール基を表す。アリール基の炭素数は、６～２０が好ましく、６～１５がより好ましく、６～１０が更に好ましい。フッ素原子を含む基は、フッ素原子を有するアルキル基（含フッ素アルキル基）およびフッ素原子を有するアルキル基を含む基（含フッ素基）が好ましい。フッ素原子を含む基については、上述した範囲と同義であり、好ましい範囲も同様である。

Ｒ^２は、アルキル基またはアリール基を表し、アルキル基が好ましい。アルキル基およびアリール基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述したＡｒ^１およびＡｒ^２が有してもよい置換基で説明した置換基が挙げられる。アルキル基の炭素数は、１～２０が好ましく、１～１５がより好ましく、１～１０が更に好ましく、１～４が特に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。アリール基の炭素数は、６～２０が好ましく、６～１５がより好ましく、６～１０が更に好ましい。

Ｒ^３は、アルキル基またはアリール基を表し、アルキル基が好ましい。アルキル基およびアリール基は、無置換であってもよく、置換基を有していてもよい。置換基としては、上述したＡｒ^１およびＡｒ^２が有してもよい置換基で説明した置換基が挙げられる。Ｒ^３が表すアルキル基の炭素数は、１～２０が好ましく、１～１５がより好ましく、１～１０が更に好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよいが、直鎖または分岐が好ましい。Ｒ^３が表すアリール基の炭素数は、６～２０が好ましく、６～１５がより好ましく、６～１０が更に好ましい。

フッ素原子を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１０－２６２０２８号公報に記載の化合物、特表２０１４－５００８５２号公報に記載の化合物２４、３６～４０、特開２０１３－１６４４７１号公報に記載の化合物（Ｃ－３）などが挙げられる。

また、オキシム化合物は、フルオレン環を有するオキシム化合物を用いることもできる。フルオレン環を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１４－１３７４６６号公報に記載の化合物が挙げられる。この内容は本明細書に組み込まれる。

また、オキシム化合物は、ベンゾフラン骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。具体例としては、国際公開ＷＯ２０１５／０３６９１０号公報に記載の化合物ＯＥ－０１～ＯＥ－７５が挙げられる。

また、オキシム化合物は、カルバゾール環の少なくとも１つのベンゼン環がナフタレン環となった骨格を有するオキシム化合物を用いることもできる。そのようなオキシム化合物の具体例としては、国際公開ＷＯ２０１３／０８３５０５号公報に記載の化合物が挙げられる。

また、オキシム化合物は、ニトロ基を有するオキシム化合物を用いることができる。ニトロ基を有するオキシム化合物は、二量体とすることも好ましい。ニトロ基を有するオキシム化合物の具体例としては、特開２０１３－１１４２４９号公報の段落番号００３１～００４７、特開２０１４－１３７４６６号公報の段落番号０００８～００１２、００７０～００７９に記載の化合物、特許４２２３０７１号公報の段落番号０００７～００２５に記載の化合物、アデカアークルズＮＣＩ－８３１（（株）ＡＤＥＫＡ製）などが挙げられる。

オキシム化合物の具体例を以下に示すが、本発明はこれらに限定されるものではない。

本発明においては、光重合開始剤として、２官能あるいは３官能以上の光重合開始剤を用いてもよい。２官能あるいは３官能以上の光重合開始剤の具体例としては、特表２０１０－５２７３３９号公報、特表２０１１－５２４４３６号公報、国際公開ＷＯ２０１５／００４５６５号公報、特表２０１６－５３２６７５号公報の段落番号０４０７～０４１２、国際公開ＷＯ２０１７／０３３６８０号公報の段落番号００３９～００５５に記載されているオキシム化合物の２量体、特表２０１３－５２２４４５号公報に記載されている化合物（Ｅ）および化合物（Ｇ）、国際公開ＷＯ２０１６／０３４９６３号公報に記載されているＣｍｐｄ１～７、特表２０１７－５２３４６５号公報の段落番号０００７に記載されているオキシムエステル類光開始剤、特開２０１７－１６７３９９号公報の段落番号００２０～００３３に記載されている光開始剤、特開２０１７－１５１３４２号公報の段落番号００１７～００２６に記載されている光重合開始剤（Ａ）などが挙げられる。

本発明では、光重合開始剤として、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍ以上の光重合開始剤Ａ１（以下、光重合開始剤Ａ１ともいう）と、
メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^２ｍＬ／ｇｃｍ以下で、かつ、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^３ｍＬ／ｇｃｍ以上の光重合開始剤Ａ２（以下、光重合開始剤Ａ２ともいう）と、を併用する。光重合開始剤Ａ１および光重合開始剤Ａ２としては、上述した化合物のなかから上記の吸光係数を有する化合物を選択して用いることができる。

なお、本発明において、光重合開始剤の上記波長における吸光係数は、以下のようにして測定した値である。すなわち、光重合開始剤をメタノールに溶解させて測定溶液を調製し、前述の測定溶液の吸光度を測定することで算出した。具体的には、前述の測定溶液を幅１ｃｍのガラスセルに入れ、Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ社製ＵＶ－Ｖｉｓ－ＮＩＲスペクトルメーター（Ｃａｒｙ５０００）を用いて吸光度を測定し、下記式に当てはめて、波長３６５ｎｍおよび波長２５４ｎｍにおける吸光係数（ｍＬ／ｇｃｍ）を算出した。
上記式においてεは吸光係数（ｍＬ／ｇｃｍ）、Ａは吸光度、ｃは光重合開始剤の濃度（ｇ／ｍＬ）、ｌは光路長（ｃｍ）を表す。

光重合開始剤Ａ１のメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数は、１．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍ以上であり、１．１×１０^４ｍＬ／ｇｃｍ以上であることが好ましく、１．２×１０^４～１．０×１０^５ｍＬ／ｇｃｍであることがより好ましく、１．３×１０^４～５．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍであることが更に好ましく、１．５×１０^４～３．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍであることが特に好ましい。
また、光重合開始剤Ａ１のメタノール中での波長２５４ｎｍの光の吸光係数は、１．０×１０^４～１．０×１０^５ｍＬ／ｇｃｍであることが好ましく、１．５×１０^４～９．５×１０^４ｍＬ／ｇｃｍであることがより好ましく、３．０×１０^４～８．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍであることが更に好ましい。

光重合開始剤Ａ１としては、オキシム化合物、アミノアルキルフェノン化合物、アシルホスフィン化合物が好ましく、オキシム化合物およびアシルホスフィン化合物がより好ましく、オキシム化合物が更に好ましく、組成物に含まれる他の成分との相溶性の観点からフッ素原子を含むオキシム化合物が特に好ましい。また、フッ素原子を含むオキシム化合物としては、上述した式（ＯＸ－１）で表される化合物が好ましい。光重合開始剤Ａ１の具体例としては、上記のオキシム化合物の具体例で示した（Ｃ－１３）、（Ｃ－１４）などが挙げられる。

光重合開始剤Ａ２のメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数は、１．０×１０^２ｍＬ／ｇｃｍ以下であり、１０～１．０×１０^２ｍＬ／ｇｃｍであることが好ましく、２０～１．０×１０^２ｍＬ／ｇｃｍであることがより好ましい。また、光重合開始剤Ａ１のメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数と、光重合開始剤Ａ２のメタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数との差は、１．０×１０^３ｍＬ／ｇｃｍ以上であることが好ましく、５．０×１０^３～３．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍであることがより好ましく、１．０×１０^４～２．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍであることが更に好ましい。また、光重合開始剤Ａ２のメタノール中での波長２５４ｎｍの光の吸光係数は、１．０×１０^３ｍＬ／ｇｃｍ以上であり、１．０×１０^３～１．０×１０^６ｍＬ／ｇｃｍであることが好ましく、５．０×１０^３～１．０×１０^５ｍＬ／ｇｃｍであることがより好ましい。

光重合開始剤Ａ２としては、ヒドロキシアルキルフェノン化合物、フェニルグリオキシレート化合物、アミノアルキルフェノン化合物、アシルホスフィン化合物が好ましく、ヒドロキシアルキルフェノン化合物およびフェニルグリオキシレート化合物がより好ましく、ヒドロキシアルキルフェノン化合物が更に好ましい。特に、重合性モノマーとして、エチレン性不飽和基とアルキレンオキシ基とを含む化合物を用いた場合においては、重合性モノマーと光重合開始剤Ａ２とが近接して重合性モノマーの近傍でラジカルを発生させて重合性モノマーをより効果的に反応させることができると推測され、より優れた密着性や耐溶剤性を有するパターンを形成し易い。また、ヒドロキシアルキルフェノン化合物としては、上述した式（Ａ２－１）で表される化合物が好ましい。光重合開始剤Ａ２の具体例としては、１－ヒドロキシ－シクロヘキシル－フェニル－ケトン（市販品としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－１８４、ＢＡＳＦ社製）、１－［４－（２－ヒドロキシエトキシ）－フェニル］－２－ヒドロキシ－２－メチル－１－プロパン－１－オン（市販品としては、例えば、ＩＲＧＡＣＵＲＥ－２９５９、ＢＡＳＦ社製）などが挙げられる。

光重合開始剤Ａ１と光重合開始剤Ａ２との組み合わせとしては、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光の吸収係数、および、波長２５４ｎｍ以上３５０ｎｍ以下の光の吸収係数を高めることができるという理由から、光重合開始剤Ａ１がオキシム化合物であり、光重合開始剤Ａ２がヒドロキシアルキルフェノン化合物である組み合わせが好ましく、光重合開始剤Ａ１がフッ素原子を含むオキシム化合物であり、光重合開始剤Ａ２が上述した式（Ａ２－１）で表される化合物である組み合わせがより好ましく、光重合開始剤Ａ１が上述した式（ＯＸ－１）で表される化合物であり、光重合開始剤Ａ２が上述した式（Ａ２－１）で表される化合物である組み合わせが更に好ましい。

光重合開始剤Ａ１の含有量は、本発明の感光性着色組成物の全固形分中１．０～２０．０質量％であることが好ましい。現像後の硬化膜（パターン）の支持体への密着性の観点から光重合開始剤Ａ１の含有量の下限は、２．０質量％以上であることが好ましく、３．０質量％以上であることがより好ましく、４．０質量％以上であることが更に好ましい。現像後のパターンの微細化の観点から光重合開始剤Ａ１の含有量の上限は、１５．０質量％以下であることが好ましく、１２．５質量％以下であることがより好ましく、１０．０質量％以下であることが更に好ましい。

光重合開始剤Ａ２の含有量は、本発明の感光性着色組成物の全固形分中０．５～１５．０質量％が好ましい。得られる硬化膜の耐溶剤性の観点から光重合開始剤Ａ２の含有量の下限は、１．０質量％以上であることが好ましく、１．５質量％以上であることがより好ましく、２．０質量％以上であることが更に好ましい。現像後のパターンの微細化の観点から光重合開始剤Ａ２の含有量の上限は、１２．５質量％以下であることが好ましく、１０．０質量％以下であることがより好ましく、７．５質量％以下であることが更に好ましい。

本発明の感光性着色組成物は、光重合開始剤Ａ１の１００質量部に対して、光重合開始剤Ａ２を５０～２００質量部含有することが好ましい。現像後のパターンの微細化の観点から上限は、１７５質量部以下であることが好ましく、１５０質量部以下であることがより好ましい。また、得られる硬化膜の耐溶剤性の観点から下限は、６０質量部以上であることが好ましく、７０質量部以上であることが更に好ましい。

本発明の感光性着色組成物の全固形分中における光重合開始剤Ａ１と光重合開始剤Ａ２との合計の含有量は、５～１５質量％であることが好ましい。組成物の経時安定性の観点から下限は、６質量％以上であることが好ましく、７質量％以上であることがより好ましく、８質量％以上であることが更に好ましい。現像後のパターンの微細化の観点から上限は、１４．５質量％以下であることが好ましく、１４．０質量％以下であることがより好ましく、１３．０質量％以下であることが更に好ましい。

本発明の感光性着色組成物は、光重合開始剤として光重合開始剤Ａ１および光重合開始剤Ａ２以外の光重合開始剤（以下、他の光重合開始剤ともいう）を含有することもできるが、他の光重合開始剤は実質的に含有しないことが好ましい。他の光重合開始剤を実質的に含有しない場合とは、他の光重合開始剤の含有量が、光重合開始剤Ａ１と光重合開始剤Ａ２との合計１００質量部に対して１質量部以下であることが好ましく、０．５質量部以下であることがより好ましく、０．１質量部以下であることが更に好ましく、他の光重合開始剤を含有しないことが一層好ましい。

＜＜重合性モノマー＞＞
本発明の感光性着色組成物は、重合性モノマーを含有する。重合性モノマーとしては、エチレン性不飽和基を有する化合物などが挙げられる。エチレン性不飽和基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基などが挙げられる。重合性モノマーはラジカルにより重合可能な化合物（ラジカル重合性モノマー）であることが好ましい。なお、本明細書において、重合性化合物は、重合性基を有する色材とは異なる化合物である。重合性化合物は、色素構造を有さない化合物であることが好ましい。

重合性モノマーの分子量は、１００～２０００が好ましい。上限は、１５００以下が好ましく、１０００以下がより好ましい。下限は、１５０以上がより好ましく、２５０以上が更に好ましい。

重合性モノマーのエチレン性不飽和基価（以下、Ｃ＝Ｃ価という）は、組成物の経時安定性の観点から２～１４ｍｍｏｌ／ｇであることが好ましい。下限は、３ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが好ましく、４ｍｍｏｌ／ｇ以上であることがより好ましく、５ｍｍｏｌ／ｇ以上であることが更に好ましい。上限は１２ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが好ましく、１０ｍｍｏｌ／ｇ以下であることがより好ましく、８ｍｍｏｌ／ｇ以下であることが更に好ましい。重合性モノマーのＣ＝Ｃ価は、重合性モノマーの１分子中に含まれるエチレン性不飽和基の数を重合性モノマーの分子量で割ることで算出した。

重合性モノマーは、矩形性および密着性に優れたパターンを形成し易いという理由からエチレン性不飽和基を３個以上含む化合物であることが好ましく、エチレン性不飽和基を４個以上含む化合物であることがより好ましい。エチレン性不飽和基の上限は１５個以下であることが好ましく、１０個以下であることがより好ましく、６個以下であることが更に好ましい。また、重合性モノマーは、３官能以上の（メタ）アクリレート化合物であることが好ましく、４官能以上の（メタ）アクリレート化合物であることがより好ましい。

重合性モノマーは、エチレン性不飽和基とアルキレンオキシ基とを含む化合物であることが好ましい。このような重合性モノマーは柔軟性が高く、エチレン性不飽和基が移動し易いため、露光時において重合性モノマー同士が反応し易く、支持体などとの密着性に優れたパターンを形成できる。また、上述した光重合開始剤Ａ２としてヒドロキシアルキルフェノン化合物を用いた場合においては、重合性モノマーと光重合開始剤Ａ２とが近接して重合性モノマーの近傍でラジカルを発生させて重合性モノマーをより効果的に反応させることができると推測され、より優れた密着性や耐溶剤性を有するパターンを形成し易い。

重合性モノマーの１分子中に含まれるアルキレンオキシ基の数は、密着性に優れたパターンを形成し易いという理由から３個以上であることが好ましく、４個以上であることがより好ましい。上限は、組成物の経時安定性の観点から２０個以下が好ましい。

また、エチレン性不飽和基とアルキレンオキシ基とを含む化合物のＳＰ値（Ｓｏｌｕｂｉｌｉｔｙ Ｐａｒａｍｅｔｅｒ）は、組成物中の他の成分との相溶性の観点から９．０～１１．０が好ましい。上限は、１０．７５以下が好ましく、１０．５以下がより好ましい。下限は、９．２５以上が好ましく、９．５以上が更に好ましい。なお、本明細書において、ＳＰ値はＦｅｄｏｒｓ法に基づく計算値を使用した。

エチレン性不飽和基とアルキレンオキシ基とを有する化合物としては、下記式（Ｍ－１）で表される化合物が挙げられる。
式（Ｍ－１）
式中Ａ^１は、エチレン性不飽和基を表し、Ｌ^１は単結合または２価の連結基を表し、Ｒ^１は、アルキレン基を表し、ｍは１～３０の整数を表し、ｎは３以上の整数を表し、Ｌ^２はｎ価の連結基を表す。

Ａ^１が表すエチレン性不飽和基としては、ビニル基、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基が挙げられ、（メタ）アクリロイル基が好ましい。

Ｌ^１が表す２価の連結基としては、アルキレン基、アリーレン基、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－、－ＮＨ－およびこれらの２種以上を組み合わせた基が挙げられる。アルキレン基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～２０がより好ましく、１～１５が更に好ましい。アルキレン基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよい。アリーレン基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２０がより好ましく、６～１０が更に好ましい。

Ｒ^１が表すアルキレン基の炭素数は、１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３が更に好ましく、２または３が特に好ましく、２が最も好ましい。Ｒ^１が表すアルキレン基は、直鎖、分岐が好ましく、直鎖がより好ましい。Ｒ^１が表すアルキレンの具体例は、エチレン基、直鎖または分岐のプロピレン基などが挙げられ、エチレン基が好ましい。

ｍは、１～３０の整数を表し、１～２０の整数が好ましく、１～１０の整数がより好ましく、１～５が更に好ましい。

ｎは３以上の整数を表し、４以上の整数が好ましい。ｎの上限は１５以下の整数が好ましく、１０以下の整数がより好ましく、６以下の整数が更に好ましい。

Ｌ^２が表すｎ価の連結基としては、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基、複素環基およびこれらの組み合わせからなる基、ならびに、脂肪族炭化水素基、芳香族炭化水素基および複素環基から選ばれる少なくとも１種と、－Ｏ－、－ＣＯ－、－ＣＯＯ－、－ＯＣＯ－および－ＮＨ－から選ばれる少なくとも１種とを組み合わせてなる基が挙げられる。脂肪族炭化水素基の炭素数は、１～３０が好ましく、１～２０がより好ましく、１～１５が更に好ましい。脂肪族炭化水素基は、直鎖、分岐、環状のいずれでもよく、直鎖または分岐が好ましい。芳香族炭化水素基の炭素数は、６～３０が好ましく、６～２０がより好ましく、６～１０が更に好ましい。複素環基は、非芳香族の複素環基であってもよく、芳香族複素環基であってもよい。複素環基は、５員環または６員環が好ましい。複素環基を構成するヘテロ原子の種類は窒素原子、酸素原子、硫黄原子などが挙げられる。複素環基を構成するヘテロ原子の数は１～３が好ましい。複素環基は、単環であってもよく、縮合環であってもよい。Ｌ^２が表すｎ価の連結基は、多官能アルコールから誘導される基であることも好ましい。

エチレン性不飽和基とアルキレンオキシ基とを有する化合物としては、下記式（Ｍ－２）で表される化合物がより好ましい。
式（Ｍ－２）
式中Ｒ^２は水素原子またはメチル基を表し、Ｒ^１は、アルキレン基を表し、ｍは１～３０の整数を表し、ｎは３以上の整数を表し、Ｌ^２はｎ価の連結基を表す。式（Ｍ－２）のＲ^１、Ｌ^２、ｍ、ｎは、式（Ｍ－１）のＲ^１、Ｌ^２、ｍ、ｎと同義であり、好ましい範囲も同様である。

エチレン性不飽和基とアルキレンオキシ基とを有する化合物の具体例としては、下記構造の化合物が挙げられる。また、エチレン性不飽和基とアルキレンオキシ基とを有する化合物の市販品としては、ＫＡＹＡＲＡＤ Ｔ－１４２０（Ｔ）、ＲＰ－１０４０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。

重合性モノマーとして、ジペンタエリスリトールトリアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３３０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３２０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ Ｄ－３１０；日本化薬（株）製）、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート（市販品としてはＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＨＡ；日本化薬（株）製、ＮＫエステルＡ－ＤＰＨ－１２Ｅ；新中村化学工業（株）製）、およびこれらの（メタ）アクリロイル基がエチレングリコールおよび／またはプロピレングリコール残基を介して結合している構造の化合物（例えば、サートマー社から市販されている、ＳＲ４５４、ＳＲ４９９）などを用いることもできる。また、重合性モノマーとして、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、イソシアヌル酸エチレンオキシ変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートなどの３官能の（メタ）アクリレート化合物を用いることもできる。３官能の（メタ）アクリレート化合物の市販品としては、アロニックスＭ－３０９、Ｍ－３１０、Ｍ－３２１、Ｍ－３５０、Ｍ－３６０、Ｍ－３１３、Ｍ－３１５、Ｍ－３０６、Ｍ－３０５、Ｍ－３０３、Ｍ－４５２、Ｍ－４５０（東亞合成（株）製）、ＮＫエステル Ａ９３００、Ａ－ＧＬＹ－９Ｅ、Ａ－ＧＬＹ－２０Ｅ、Ａ－ＴＭＭ－３、Ａ－ＴＭＭ－３Ｌ、Ａ－ＴＭＭ－３ＬＭ－Ｎ、Ａ－ＴＭＰＴ、ＴＭＰＴ（新中村化学工業（株）製）、ＫＡＹＡＲＡＤ ＧＰＯ－３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ－３３０、ＴＰＡ－３３０、ＰＥＴ－３０（日本化薬（株）製）などが挙げられる。

重合性モノマーは、酸基をしていてもよい。酸基としては、カルボキシル基、スルホ基、リン酸基等が挙げられ、カルボキシル基が好ましい。酸基を有する重合性モノマーの市販品としては、アロニックスＭ－５１０、Ｍ－５２０、アロニックスＴＯ－２３４９（東亞合成（株）製）等が挙げられる。

酸基を有する重合性モノマーの好ましい酸価は、０．１～４０ｍｇＫＯＨ／ｇであり、より好ましくは５～３０ｍｇＫＯＨ／ｇである。重合性モノマーの酸価が０．１ｍｇＫＯＨ／ｇ以上であれば、現像液に対する溶解性が良好であり、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であれば、製造や取扱い上、有利である。

重合性モノマーは、カプロラクトン構造を有する化合物であることも好ましい。カプロラクトン構造を有する重合性化合物は、例えば、日本化薬（株）からＫＡＹＡＲＡＤ ＤＰＣＡシリーズとして市販されており、ＤＰＣＡ－２０、ＤＰＣＡ－３０、ＤＰＣＡ－６０、ＤＰＣＡ－１２０等が挙げられる。

重合性モノマーは、特開２０１７－０４８３６７号公報、特許第６０５７８９１号公報、特許第６０３１８０７号公報に記載されている化合物、特開２０１７－１９４６６２号公報に記載されている化合物、８ＵＨ－１００６、８ＵＨ－１０１２（以上、大成ファインケミカル（株）製）、ライトアクリレートＰＯＢ－Ａ０（共栄社化学（株）製）などを用いることも好ましい。

重合性モノマーの含有量は、感光性着色組成物の全固形分中１５質量％以上であり、得られるパターンの矩形性の観点から１７．５質量％以上であることが好ましく、１９．５質量％以上であることがより好ましい。上限は、パターン形成後の残渣の発生を抑制し易いという理由から３０質量％以下が好ましく、２７．５質量％以下がより好ましく、２５質量％以下が更に好ましい。感光性着色組成物の全固形分中における重合性モノマーの含有量は、１７．５～２７．５質量％であることが特に好ましい。

また、本発明の感光性着色組成物は、光重合開始剤Ａ１と光重合開始剤Ａ２の合計１００質量部に対して、重合性モノマーを１７０～３４５質量部含有することが好ましい。重合性モノマーの含有量が上記範囲であれば、本発明の効果がより顕著に得られる。下限は、矩形性に優れた硬化膜を形成し易いという理由から２００質量部以上であることが好ましく、２２０質量部以上であることが更に好ましい。上限は、パターン形成後の残渣をより少なくし易いという理由から３３０質量部以下であることが好ましく、３００質量部以下であることが更に好ましい。

＜＜樹脂＞＞
本発明の感光性着色組成物は、樹脂を含むことが好ましい。樹脂としてはアルカリ可溶性樹脂などが挙げられる。樹脂は、例えば、顔料などの粒子を組成物中で分散させる用途、バインダーの用途で配合される。なお、主に顔料などの粒子を分散させるために用いられる樹脂を分散剤ともいう。ただし、樹脂のこのような用途は一例であって、このような用途以外の目的で樹脂を使用することもできる。

（アルカリ可溶性樹脂）
本発明の感光性着色組成物は、アルカリ可溶性樹脂を含むことが好ましい。アルカリ可溶性樹脂としては、アルカリ溶解を促進する基を有する樹脂の中から適宜選択することができる。アルカリ溶解を促進する基（以下、酸基ともいう）としては、例えば、カルボキシル基、リン酸基、スルホ基、フェノール性水酸基などが挙げられ、カルボキシル基が好ましい。アルカリ可溶性樹脂が有する酸基の種類は、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量（Ｍｗ）は、５０００～１０００００が好ましい。また、アルカリ可溶性樹脂の数平均分子量（Ｍｎ）は、１０００～２００００が好ましい。

アルカリ可溶性樹脂の酸価は、２５～２００ｍｇＫＯＨ／ｇであることが好ましい。下限は、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。上限は、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が更に好ましく、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。

アルカリ可溶性樹脂は、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。また、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。

アルカリ可溶性樹脂は、側鎖にカルボキシル基を有するポリマーが好ましい。例えば、メタクリル酸、アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、２－カルボキシエチル(メタ)アクリル酸、ビニル安息香酸、部分エステル化マレイン酸等のモノマーに由来する繰り返し単位を有する共重合体、ノボラック型樹脂などのアルカリ可溶性フェノール樹脂、側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース誘導体、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたポリマーが挙げられる。特に、（メタ）アクリル酸と、これと共重合可能な他のモノマーとの共重合体が、アルカリ可溶性樹脂として好適である。（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーとしては、アルキル（メタ）アクリレート、アリール（メタ）アクリレート、ビニル化合物などが挙げられる。アルキル（メタ）アクリレートおよびアリール（メタ）アクリレートとしては、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、トリル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、グリシジルメタクリレート、テトラヒドロフルフリルメタクリレートなどが挙げられる。ビニル化合物としては、スチレン、α－メチルスチレン、ビニルトルエン、アクリロニトリル、ビニルアセテート、Ｎ－ビニルピロリドン、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が挙げられる。これらの（メタ）アクリル酸と共重合可能な他のモノマーは、１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

アルカリ可溶性樹脂は、マレイミド化合物に由来する繰り返し単位を有していてもよい。マレイミド化合物としては、Ｎ－アルキルマレイミド、Ｎ－アリールマレイミドなどが挙げられる。マレイミド化合物に由来する繰り返し単位としては、式（Ｃ－ｍｉ）で表される繰り返し単位が挙げられる。

式（Ｃ－ｍｉ）において、Ｒｍｉはアルキル基またはアリール基を表す。アルキル基の炭素数は１～２０が好ましい。アルキル基は、直鎖、分岐、環状のいずれもよい。アリール基の炭素数は、６～２０が好ましく、６～１５がより好ましく、６～１０が更に好ましい。Ｒｍｉはアリール基であることが好ましい。

アルカリ可溶性樹脂としては、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸共重合体、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート共重合体、ベンジル（メタ）アクリレート／（メタ）アクリル酸／他のモノマーからなる多元共重合体を好ましく用いることができる。また、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートと他のモノマーとを共重合した共重合体、特開平０７－１４０６５４号公報に記載の、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２－ヒドロキシ－３－フェノキシプロピルアクリレート／ポリメチルメタクリレートマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２－ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／メチルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、２－ヒドロキシエチルメタクリレート／ポリスチレンマクロモノマー／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体なども好ましく用いることができる。

アルカリ可溶性樹脂としては、重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂を用いることもできる。重合性基としては、（メタ）アリル基、（メタ）アクリロイル基等が挙げられる。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂は、重合性基を側鎖に有するアルカリ可溶性樹脂等が有用である。重合性基を有するアルカリ可溶性樹脂の市販品としては、ダイヤナールＮＲシリーズ（三菱レイヨン（株）製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（カルボキシル基含有ポリウレタンアクリレートオリゴマー、Ｄｉａｍｏｎｄ Ｓｈａｍｒｏｃｋ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．製）、ビスコートＲ－２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（例えば、ＡＣＡ２３０ＡＡ）、プラクセル ＣＦ２００シリーズ（いずれも（株）ダイセル製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）、アクリキュアーＲＤ－Ｆ８（（株）日本触媒製）、ＤＰ－１３０５（富士ファインケミカルズ（株）製）などが挙げられる。

アルカリ可溶性樹脂は、ヒドロキシル基を有する繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂であることも好ましい。この態様によれば、現像液との親和性が向上し、矩形性に優れたパターンを形成しやすい。ヒドロキシル基を有する繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂において、アルカリ可溶性樹脂のヒドロキシル基価としては３０～１００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。下限は３５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が更に好ましい。上限は８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましい。アルカリ可溶性樹脂のヒドロキシル基価が上記範囲であれば、矩形性に優れたパターンを形成しやすい。

アルカリ可溶性樹脂は、下記式（ＥＤ１）で示される化合物および特開２０１０－１６８５３９号公報の式（１）で表される化合物から選ばれる少なくとも１種の化合物（以下、これらの化合物を「エーテルダイマー」と称することもある。）に由来する繰り返し単位を含むことも好ましい。

式（ＥＤ１）中、Ｒ^１およびＲ^２は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を有していてもよい炭素数１～２５の炭化水素基を表す。

エーテルダイマーについては、特開２０１３－０２９７６０号公報の段落番号０３１７を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。エーテルダイマーは１種のみであってもよいし、２種以上であってもよい。

エーテルダイマーに由来する繰り返し単位を含むアルカリ可溶性樹脂としては、例えば下記構造の樹脂が挙げられる。

アルカリ可溶性樹脂は、下記式（Ｘ）で示される化合物に由来する繰り返し単位を含んでいてもよい。
式（Ｘ）において、Ｒ_１は、水素原子またはメチル基を表し、Ｒ_２は炭素数２～１０のアルキレン基を表し、Ｒ_３は、水素原子またはベンゼン環を含んでもよい炭素数１～２０のアルキル基を表す。ｎは１～１５の整数を表す。

アルカリ可溶性樹脂については、特開２０１２－２０８４９４号公報の段落番号０５５８～０５７１（対応する米国特許出願公開第２０１２／０２３５０９９号明細書の段落番号０６８５～０７００）の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、特開２０１２－０３２７６７号公報の段落番号００２９～００６３に記載の共重合体（Ｂ）および実施例で用いられているアルカリ可溶性樹脂、特開２０１２－２０８４７４号公報の段落番号００８８～００９８に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１２－１３７５３１号公報の段落番号００２２～００３２に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１３－０２４９３４号公報の段落番号０１３２～０１４３に記載のバインダー樹脂および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１１－２４２７５２号公報の段落番号００９２～００９８および実施例で用いられているバインダー樹脂、特開２０１２－０３２７７０号公報の段落番号００３０～００７２に記載のバインダー樹脂を用いることもできる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。

（分散剤）
本発明の感光性着色組成物は、分散剤としての樹脂を含有することができる。分散剤としては、酸性分散剤（酸性樹脂）、塩基性分散剤（塩基性樹脂）が挙げられる。

ここで、酸性分散剤（酸性樹脂）とは、酸基の量が塩基性基の量よりも多い樹脂を表す。酸性分散剤（酸性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、酸基の量が７０モル％以上を占める樹脂が好ましく、実質的に酸基のみからなる樹脂がより好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）が有する酸基は、カルボキシル基が好ましい。酸性分散剤（酸性樹脂）の酸価は、１０～１０５ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましい。
また、塩基性分散剤（塩基性樹脂）とは、塩基性基の量が酸基の量よりも多い樹脂を表す。塩基性分散剤（塩基性樹脂）としては、酸基の量と塩基性基の量の合計量を１００モル％としたときに、塩基性基の量が５０モル％を超える樹脂が好ましい。塩基性分散剤が有する塩基性基は、アミノ基が好ましい。

分散剤としては、例えば、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン等が挙げられる。高分子分散剤は、その構造から更に直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。高分子分散剤は、顔料の表面に吸着し、再凝集を防止するように作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子を好ましい構造として挙げることができる。また、特開２０１１－０７０１５６号公報の段落番号００２８～０１２４に記載の分散剤や特開２００７－２７７５１４号公報に記載の分散剤も好ましく用いられる。これらの内容は本明細書に組み込まれる。

本発明において、分散剤としての樹脂として、アルカリ可溶性樹脂を用いることもできる。本発明において、分散剤としての樹脂として、グラフト共重合体を用いることもできる。グラフト共重合体の詳細は、特開２０１２－１３７５６４号公報の段落番号０１３１～０１６０の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。また、本発明において、分散剤としての樹脂として、主鎖に窒素原子を含む樹脂を用いることもできる。主鎖に窒素原子を含む樹脂（以下、オリゴイミン系樹脂ともいう）は、ポリ（低級アルキレンイミン）系繰り返し単位、ポリアリルアミン系繰り返し単位、ポリジアリルアミン系繰り返し単位、メタキシレンジアミン－エピクロルヒドリン重縮合物系繰り返し単位、及びポリビニルアミン系繰り返し単位から選択される少なくとも１種の、窒素原子を有する繰り返し単位を含むことが好ましい。オリゴイミン系樹脂については、特開２０１２－２５５１２８号公報の段落番号０１０２～０１７４の記載を参酌でき、本明細書にはこの内容が組み込まれる。

分散剤は市販品を用いることもできる。例えば、特開２０１２－１３７５６４号公報の段落番号０１２９に記載された製品を分散剤として用いることもできる。例えば、ＢＹＫＣｈｅｍｉｅ社製のＤＩＳＰＥＲＢＹＫシリーズ（たとえば、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ－１６１など）などが挙げられる。なお、上記分散剤として説明した樹脂は、分散剤以外の用途で使用することもできる。例えば、バインダーとして用いることもできる。

（その他の樹脂）
本発明の感光性着色組成物は、樹脂として上述した分散剤やアルカリ可溶性樹脂以外の樹脂（その他の樹脂ともいう）を含有することができる。その他の樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル樹脂、（メタ）アクリルアミド樹脂、エン・チオール樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレン樹脂、ポリアリーレンエーテルホスフィンオキシド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリオレフィン樹脂、環状オレフィン樹脂、ポリエステル樹脂、スチレン樹脂、シロキサン樹脂などが挙げられる。他の樹脂は、これらの樹脂から１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。また、樹脂としては、特開２０１７－１６７５１３号公報に記載された樹脂を用いることもでき、この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明の感光性着色組成物において、樹脂の含有量は重合性モノマーの１００質量部に対して５０～１７０質量部であることが好ましい。樹脂の含有量が上記範囲であれば、本発明の効果がより顕著に得られる。樹脂の含有量の上限は、密着性に優れた硬化膜を形成し易いという理由から１６０質量部以下が好ましく、１５０質量部以下がより好ましい。樹脂の含有量の下限は、パターン形成後の残渣をより低減し易いという理由から６０質量部以上が好ましく、７５質量部以上がより好ましい。本発明の感光性着色組成物に含まれる樹脂は、パターン形成後の残渣をより低減でき、かつ、密着性に優れた硬化膜を形成しやすいという理由からアルカリ可溶性樹脂の含有量が２０～１００質量％であることが好ましく、３０～１００質量％であることがより好ましく、４０～１００質量％であることが更に好ましく、５０～１００質量％であることが特に好ましい。

また、本発明の感光性着色組成物において、アルカリ可溶性樹脂の含有量は重合性モノマーの１００質量部に対して５０～１７０質量部であることが好ましい。アルカリ可溶性樹脂の含有量が上記範囲であれば、本発明の効果がより顕著に得られる。アルカリ可溶性樹脂の含有量の上限は、１６０質量部以下が好ましく、１５０質量部以下がより好ましい。アルカリ可溶性樹脂の含有量の下限は、６０質量部以上が好ましく、７５質量部以上がより好ましい。

本発明の感光性着色組成物が分散剤としての樹脂を含有する場合、分散剤の含有量は、顔料１００質量部に対して１～２００質量部が好ましい。下限は、５質量部以上が好ましく、１０質量部以上がより好ましい。上限は、１５０質量部以下が好ましく、１００質量部以下がより好ましい。

＜＜顔料誘導体＞＞
本発明の感光性着色組成物は、顔料誘導体を含有することができる。顔料誘導体としては、発色団の一部分を、酸基、塩基性基またはフタルイミドメチル基で置換した構造を有する化合物が挙げられる。顔料誘導体を構成する発色団としては、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、フタロシアニン系骨格、アンスラキノン系骨格、キナクリドン系骨格、ジオキサジン系骨格、ペリノン系骨格、ペリレン系骨格、チオインジゴ系骨格、イソインドリン系骨格、イソインドリノン系骨格、キノフタロン系骨格、スレン系骨格、金属錯体系骨格等が挙げられ、キノリン系骨格、ベンゾイミダゾロン系骨格、ジケトピロロピロール系骨格、アゾ系骨格、キノフタロン系骨格、イソインドリン系骨格およびフタロシアニン系骨格が好ましく、アゾ系骨格およびベンゾイミダゾロン系骨格がより好ましい。顔料誘導体が有する酸基としては、スルホ基、カルボキシル基が好ましく、スルホ基がより好ましい。顔料誘導体が有する塩基性基としては、アミノ基が好ましく、三級アミノ基がより好ましい。顔料誘導体の具体例としては、例えば、特開２０１１－２５２０６５号公報の段落番号０１６２～０１８３の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。
顔料誘導体の含有量は、顔料１００質量部に対し、１～３０質量部が好ましく、３～２０質量部がさらに好ましい。顔料誘導体は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。

＜＜エポキシ基を有する化合物＞＞
本発明の感光性着色組成物は、更にエポキシ基を有する化合物を含有することが好ましい。この態様によれば、得られる硬化膜の機械強度などを向上できる。エポキシ基を有する化合物としては、１分子内にエポキシ基を２つ以上有する化合物が好ましい。エポキシ基は、１分子内に２～１００個有することが好ましい。上限は、例えば、１０個以下とすることもでき、５個以下とすることもできる。

エポキシ基を有する化合物のエポキシ当量（＝エポキシ基を有する化合物の分子量／エポキシ基の数）は、５００ｇ／ｅｑ以下であることが好ましく、１００～４００ｇ／ｅｑであることがより好ましく、１００～３００ｇ／ｅｑであることがさらに好ましい。

エポキシ基を有する化合物は、低分子化合物（例えば、分子量１０００未満）でもよいし、高分子化合物（ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅ）（例えば、分子量１０００以上、ポリマーの場合は、重量平均分子量が１０００以上）のいずれでもよい。エポキシ基を有する化合物の分子量（ポリマーの場合は、重量平均分子量）は、２００～１０００００が好ましく、５００～５００００がより好ましい。分子量（ポリマーの場合は、重量平均分子量）の上限は、３０００以下が好ましく、２０００以下がより好ましく、１５００以下が更に好ましい。

エポキシ基を有する化合物としては、特開２０１３－０１１８６９号公報の段落番号００３４～００３６、特開２０１４－０４３５５６号公報の段落番号０１４７～０１５６、特開２０１４－０８９４０８号公報の段落番号００８５～００９２に記載された化合物、特開２０１７－１７９１７２号公報に記載された化合物を用いることもできる。これらの内容は、本明細書に組み込まれる。

本発明の感光性着色組成物がエポキシ基を有する化合物を含有する場合、エポキシ基を有する化合物の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中、０．１～４０質量％が好ましい。下限は、例えば０．５質量％以上がより好ましく、１質量％以上が更に好ましい。上限は、例えば、３０質量％以下がより好ましく、２０質量％以下が更に好ましい。エポキシ基を有する化合物は、１種単独であってもよいし、２種以上を併用してもよい。２種以上を併用する場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。また、エポキシ基を有する化合物の含有量は、重合性モノマーの１００質量部に対して１～４００質量部であることが好ましく、１～１００質量部であることがより好ましく、１～５０質量部であることが更に好ましい。

＜＜溶剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、溶剤を含有することが好ましい。溶剤は有機溶剤が好ましい。溶剤は、各成分の溶解性や感光性着色組成物の塗布性を満足すれば特に制限はない。

有機溶剤の例としては、例えば、以下の有機溶剤が挙げられる。エステル類として、例えば、酢酸エチル、酢酸－ｎ－ブチル、酢酸イソブチル、酢酸シクロヘキシル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、アルキルオキシ酢酸アルキル（例えば、アルキルオキシ酢酸メチル、アルキルオキシ酢酸エチル、アルキルオキシ酢酸ブチル（例えば、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル等））、３－アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、３－アルキルオキシプロピオン酸メチル、３－アルキルオキシプロピオン酸エチル等（例えば、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル等））、２－アルキルオキシプロピオン酸アルキルエステル類（例えば、２－アルキルオキシプロピオン酸メチル、２－アルキルオキシプロピオン酸エチル、２－アルキルオキシプロピオン酸プロピル等（例えば、２－メトキシプロピオン酸メチル、２－メトキシプロピオン酸エチル、２－メトキシプロピオン酸プロピル、２－エトキシプロピオン酸メチル、２－エトキシプロピオン酸エチル））、２－アルキルオキシ－２－メチルプロピオン酸メチル及び２－アルキルオキシ－２－メチルプロピオン酸エチル（例えば、２－メトキシ－２－メチルプロピオン酸メチル、２－エトキシ－２－メチルプロピオン酸エチル等）、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２－オキソブタン酸メチル、２－オキソブタン酸エチル等が挙げられる。エーテル類として、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等が挙げられる。ケトン類として、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、２－ヘプタノン、３－ヘプタノン等が挙げられる。芳香族炭化水素類として、例えば、トルエン、キシレン等が好適に挙げられる。ただし溶剤としての芳香族炭化水素類（ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等）は、環境面等の理由により低減したほうがよい場合がある（例えば、有機溶剤全量に対して、５０質量ｐｐｍ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｍｉｌｌｉｏｎ）以下、１０質量ｐｐｍ以下、あるいは１質量ｐｐｍ以下とすることができる）。また、３－メトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミド、３－ブトキシ－Ｎ，Ｎ－ジメチルプロパンアミドも溶解性向上の観点から好ましい。有機溶剤は、１種単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。有機溶剤を２種以上組み合わせて用いる場合、特に好ましくは、上記の３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、酢酸ブチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、２－ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートから選択される２種以上で構成される混合液である。

本発明においては、金属含有量の少ない溶剤を用いることが好ましく、溶剤の金属含有量は、例えば１０質量ｐｐｂ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｂｉｌｌｉｏｎ）以下であることが好ましい。必要に応じて質量ｐｐｔ（ｐａｒｔｓ ｐｅｒ ｔｒｉｌｌｉｏｎ）レベルの溶剤を用いてもよく、そのような高純度溶剤は例えば東洋合成社が提供している（化学工業日報、２０１５年１１月１３日）。

溶剤から金属等の不純物を除去する方法としては、例えば、蒸留（分子蒸留や薄膜蒸留等）やフィルタを用いたろ過を挙げることができる。ろ過に用いるフィルタのフィルタ孔径としては、１０μｍ以下が好ましく、５μｍ以下がより好ましく、３μｍ以下が更に好ましい。フィルタの材質は、ポリテトラフロロエチレン、ポリエチレンまたはナイロンが好ましい。

溶剤には、異性体（原子数が同じであるが構造が異なる化合物）が含まれていてもよい。また、異性体は、１種のみが含まれていてもよいし、複数種含まれていてもよい。

本発明において、有機溶剤は、過酸化物の含有率が０．８ｍｍｏｌ／Ｌ以下であることが好ましく、過酸化物を実質的に含まないことがより好ましい。

溶剤の含有量は、感光性着色組成物の固形分濃度（全固形分）が５～８０質量％となる量が好ましい。下限は１０質量％以上が好ましい。上限は、６０質量％以下が好ましく、５０質量％以下がより好ましく、４０質量％以下がさらに好ましい。

また、本発明の感光性着色組成物は、環境規制の観点から環境規制物質を実質的に含有しないことが好ましい。なお、本発明において、環境規制物質を実質的に含有しないとは、感光性着色組成物中における環境規制物質の含有量が５０質量ｐｐｍ以下であることを意味し、３０質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、１０質量ｐｐｍ以下であることが更に好ましく、１質量ｐｐｍ以下であることが特に好ましい。環境規制物質は、例えばベンゼン；トルエン、キシレン等のアルキルベンゼン類；クロロベンゼン等のハロゲン化ベンゼン類等が挙げられる。これらは、ＲＥＡＣＨ（Ｒｅｇｉｓｔｒａｔｉｏｎ Ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ Ａｕｔｈｏｒｉｚａｔｉｏｎ ａｎｄ Ｒｅｓｔｒｉｃｔｉｏｎ ｏｆ ＣＨｅｍｉｃａｌｓ）規則、ＰＲＴＲ（Ｐｏｌｌｕｔａｎｔ Ｒｅｌｅａｓｅ ａｎｄ Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｒｅｇｉｓｔｅｒ）法、ＶＯＣ（Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ）規制等のもとに環境規制物質として登録されており、使用量や取り扱い方法が厳しく規制されている。これらの化合物は、本発明の感光性着色組成物に用いられる各成分などを製造する際に溶媒として用いられることがあり、残留溶媒として感光性着色組成物中に混入することがある。人への安全性、環境への配慮の観点よりこれらの物質は可能な限り低減することが好ましい。環境規制物質を低減する方法としては、系中を加熱や減圧して環境規制物質の沸点以上にして系中から環境規制物質を留去して低減する方法が挙げられる。また、少量の環境規制物質を留去する場合においては、効率を上げる為に該当溶媒と同等の沸点を有する溶媒と共沸させることも有用である。また、ラジカル重合性を有する化合物を含有する場合、減圧留去中にラジカル重合反応が進行して分子間で架橋してしまうことを抑制するために重合禁止剤等を添加して減圧留去してもよい。これらの留去方法は、原料の段階、原料を反応させた生成物（例えば重合した後の樹脂溶液や多官能モノマー溶液）の段階、またはこれらの化合物を混ぜて作製した組成物の段階いずれの段階でも可能である。

＜＜硬化促進剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、重合性モノマーの反応を促進させたり、硬化温度を下げる目的で、硬化促進剤を添加してもよい。硬化促進剤としては、分子内に２個以上のメルカプト基を有する多官能チオール化合物などが挙げられる。多官能チオール化合物は安定性、臭気、解像性、現像性、密着性等の改良を目的として添加してもよい。多官能チオール化合物は、２級のアルカンチオール類であることが好ましく、式（Ｔ１）で表される化合物であることがより好ましい。
式（Ｔ１）
（式（Ｔ１）中、ｎは２～４の整数を表し、Ｌは２～４価の連結基を表す。）

式（Ｔ１）において、連結基Ｌは炭素数２～１２の脂肪族基であることが好ましく、ｎが２であり、Ｌが炭素数２～１２のアルキレン基であることが特に好ましい。

また、硬化促進剤は、メチロール系化合物（例えば特開２０１５－０３４９６３号公報の段落番号０２４６において、架橋剤として例示されている化合物）、アミン類、ホスホニウム塩、アミジン塩、アミド化合物（以上、例えば特開２０１３－０４１１６５号公報の段落番号０１８６に記載の硬化剤）、塩基発生剤（例えば、特開２０１４－０５５１１４号公報に記載のイオン性化合物）、シアネート化合物（例えば、特開２０１２－１５０１８０号公報の段落番号００７１に記載の化合物）、アルコキシシラン化合物（例えば、特開２０１１－２５３０５４号公報に記載のエポキシ基を有するアルコキシシラン化合物）、オニウム塩化合物（例えば、特開２０１５－０３４９６３号公報の段落番号０２１６に酸発生剤として例示されている化合物、特開２００９－１８０９４９号公報に記載の化合物）などを用いることもできる。

本発明の感光性着色組成物が硬化促進剤を含有する場合、硬化促進剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中０．３～８．９質量％が好ましく、０．８～６．４質量％がより好ましい。

＜＜界面活性剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、界面活性剤を含有することができる。界面活性剤としては、フッ素系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、シリコン系界面活性剤などの各種界面活性剤を使用することができる。界面活性剤については、国際公開ＷＯ２０１５／１６６７７９号公報の段落番号０２３８～０２４５を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

本発明において、界面活性剤はフッ素系界面活性剤であることが好ましい。感光性着色組成物にフッ素系界面活性剤を含有させることで液特性（特に、流動性）がより向上し、省液性をより改善することができる。また、厚みムラの小さい膜を形成することもできる。

フッ素系界面活性剤中のフッ素含有率は、３～４０質量％が好ましく、５～３０質量％がより好ましく、７～２５質量％が更に好ましい。フッ素含有率が上記範囲内であるフッ素系界面活性剤は、塗布膜の厚さの均一性や省液性の点で効果的であり、感光性着色組成物中における溶解性も良好である。

フッ素系界面活性剤としては、特開２０１４－０４１３１８号公報の段落番号００６０～００６４（対応する国際公開２０１４／０１７６６９号公報の段落番号００６０～００６４）等に記載の界面活性剤、特開２０１１－１３２５０３号公報の段落番号０１１７～０１３２に記載の界面活性剤が挙げられ、これらの内容は本明細書に組み込まれる。フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、メガファックＦ１７１、Ｆ１７２、Ｆ１７３、Ｆ１７６、Ｆ１７７、Ｆ１４１、Ｆ１４２、Ｆ１４３、Ｆ１４４、Ｒ３０、Ｆ４３７、Ｆ４７５、Ｆ４７９、Ｆ４８２、Ｆ５５４、Ｆ７８０、ＥＸＰ、ＭＦＳ－３３０（以上、ＤＩＣ（株）製）、フロラードＦＣ４３０、ＦＣ４３１、ＦＣ１７１（以上、住友スリーエム（株）製）、サーフロンＳ－３８２、ＳＣ－１０１、ＳＣ－１０３、ＳＣ－１０４、ＳＣ－１０５、ＳＣ－１０６８、ＳＣ－３８１、ＳＣ－３８３、Ｓ－３９３、ＫＨ－４０（以上、旭硝子（株）製）、ＰｏｌｙＦｏｘ ＰＦ６３６、ＰＦ６５６、ＰＦ６３２０、ＰＦ６５２０、ＰＦ７００２（以上、ＯＭＮＯＶＡ社製）等が挙げられる。

フッ素系界面活性剤は、フッ素原子を含有する官能基を持つ分子構造で、熱を加えるとフッ素原子を含有する官能基の部分が切断されてフッ素原子が揮発するアクリル系化合物も好適に使用できる。このようなフッ素系界面活性剤としては、ＤＩＣ（株）製のメガファックＤＳシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月２２日）（日経産業新聞、２０１６年２月２３日）、例えばメガファックＤＳ－２１が挙げられる。

フッ素系界面活性剤として、フッ素化アルキル基またはフッ素化アルキレンエーテル基を有するフッ素原子含有ビニルエーテル化合物と、親水性のビニルエーテル化合物との重合体を用いることも好ましい。このようなフッ素系界面活性剤については、特開２０１６－２１６６０２号公報の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。

フッ素系界面活性剤として、ブロックポリマーを用いることもできる。例えば特開２０１１－０８９０９０号公報に記載された化合物が挙げられる。フッ素系界面活性剤としては、フッ素原子を有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、アルキレンオキシ基（好ましくはエチレンオキシ基、プロピレンオキシ基）を２以上（好ましくは５以上）有する（メタ）アクリレート化合物に由来する繰り返し単位と、を含む含フッ素高分子化合物も好ましく用いることができる。下記化合物も本発明で用いられるフッ素系界面活性剤として例示される。下記の式中、繰り返し単位の割合を示す％はモル％である。
上記の化合物の重量平均分子量は、好ましくは３，０００～５０，０００であり、例えば、１４，０００である。

フッ素系界面活性剤として、エチレン性不飽和基を側鎖に有する含フッ素重合体を用いることもできる。具体例としては、特開２０１０－１６４９６５号公報の段落番号００５０～００９０および段落番号０２８９～０２９５に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、例えばＤＩＣ（株）製のメガファックＲＳ－１０１、ＲＳ－１０２、ＲＳ－７１８－Ｋ、ＲＳ－７２－Ｋ等が挙げられる。

ノニオン系界面活性剤としては、グリセロール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン並びにそれらのエトキシレートおよびプロポキシレート（例えば、グリセロールプロポキシレート、グリセロールエトキシレート等）、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート、ソルビタン脂肪酸エステル、プルロニックＬ１０、Ｌ３１、Ｌ６１、Ｌ６２、１０Ｒ５、１７Ｒ２、２５Ｒ２（ＢＡＳＦ社製）、テトロニック３０４、７０１、７０４、９０１、９０４、１５０Ｒ１（ＢＡＳＦ社製）、ソルスパース２００００（日本ルーブリゾール（株）製）、ＮＣＷ－１０１、ＮＣＷ－１００１、ＮＣＷ－１００２（和光純薬工業（株）製）、パイオニンＤ－６１１２、Ｄ－６１１２－Ｗ、Ｄ－６３１５（竹本油脂（株）製）、オルフィンＥ１０１０、サーフィノール１０４、４００、４４０（日信化学工業（株）製）などが挙げられる。

カチオン系界面活性剤としては、オルガノシロキサンポリマーＫＰ３４１（信越化学工業（株）製）、（メタ）アクリル酸系（共）重合体ポリフローＮｏ．７５、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５（共栄社化学（株）製）、Ｗ００１（裕商（株）製）等が挙げられる。

アニオン系界面活性剤としては、Ｗ００４、Ｗ００５、Ｗ０１７（裕商（株）製）、サンデットＢＬ（三洋化成（株）製）等が挙げられる。

シリコン系界面活性剤としては、例えば、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ７ＰＡ、トーレシリコーンＤＣ１１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２１ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２８ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ２９ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ３０ＰＡ、トーレシリコーンＳＨ８４００（以上、東レ・ダウコーニング（株）製）、ＴＳＦ－４４４０、ＴＳＦ－４３００、ＴＳＦ－４４４５、ＴＳＦ－４４６０、ＴＳＦ－４４５２（以上、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ社製）、ＫＰ３４１、ＫＦ６００１、ＫＦ６００２（以上、信越シリコーン株式会社製）、ＢＹＫ３０７、ＢＹＫ３２３、ＢＹＫ３３０（以上、ビックケミー社製）等が挙げられる。

界面活性剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中、０．００１～２．０質量％が好ましく、０．００５～１．０質量％がより好ましい。界面活性剤は、１種のみを用いてもよいし、２種以上を組み合わせてもよい。２種以上含む場合はそれらの合計量が上記範囲であることが好ましい。

＜＜シランカップリング剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、シランカップリング剤を含有することができる。シランカップリング剤としては、一分子中に少なくとも２種の反応性の異なる官能基を有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤は、ビニル基、エポキシ基、スチレン基、メタクリル基、アミノ基、イソシアヌレート基、ウレイド基、メルカプト基、スルフィド基、および、イソシアネート基から選ばれる少なくとも１種の基と、アルコキシ基とを有するシラン化合物が好ましい。シランカップリング剤の具体例としては、例えば、Ｎ－β－アミノエチル－γ－アミノプロピルメチルジメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ－６０２）、Ｎ－β－アミノエチル－γ－アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ－６０３）、Ｎ－β－アミノエチル－γ－アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＥ－６０２）、γ－アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ－９０３）、γ－アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＥ－９０３）、３－メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ－５０３）、３－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製、ＫＢＭ－４０３）等が挙げられる。シランカップリング剤の詳細については、特開２０１３－２５４０４７号公報の段落番号０１５５～０１５８の記載を参酌でき、この内容は本明細書に組み込まれる。本発明の感光性着色組成物がシランカップリング剤を含有する場合、シランカップリング剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中０．００１～２０質量％が好ましく、０．０１～１０質量％がより好ましく、０．１質量％～５質量％が特に好ましい。本発明の感光性着色組成物は、シランカップリング剤を、１種のみを含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜重合禁止剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、重合禁止剤を含有することができる。重合禁止剤としては、ハイドロキノン、ｐ－メトキシフェノール、ジ－ｔ－ブチル－ｐ－クレゾール、ピロガロール、ｔ－ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’－チオビス（３－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、２，２’－メチレンビス（４－メチル－６－ｔ－ブチルフェノール）、Ｎ－ニトロソフェニルヒドロキシアミン塩（アンモニウム塩、第一セリウム塩等）等が挙げられる。本発明の感光性着色組成物が重合禁止剤を含有する場合、重合禁止剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中０．００１～５質量％が好ましい。本発明の感光性着色組成物は、重合禁止剤を、１種のみを含んでいてもよいし、２種以上含んでいてもよい。２種以上含む場合は、それらの合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜紫外線吸収剤＞＞
本発明の感光性着色組成物は、紫外線吸収剤を含有することができる。紫外線吸収剤としては、共役ジエン化合物、アミノブタジエン化合物、メチルジベンゾイル化合物、クマリン化合物、サリシレート化合物、ベンゾフェノン化合物、ベンゾトリアゾール化合物、アクリロニトリル化合物、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物などを用いることができる。これらの詳細については、特開２０１２－２０８３７４号公報の段落番号００５２～００７２、特開２０１３－０６８８１４号公報の段落番号０３１７～０３３４の記載を参酌でき、これらの内容は本明細書に組み込まれる。紫外線吸収剤の市販品としては、例えば、ＵＶ－５０３（大東化学（株）製）などが挙げられる。また、ベンゾトリアゾール化合物としてはミヨシ油脂製のＭＹＵＡシリーズ（化学工業日報、２０１６年２月１日）を用いてもよい。本発明の感光性着色組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、紫外線吸収剤の含有量は、感光性着色組成物の全固形分中０．１～１０質量％が好ましく、０．１～５質量％がより好ましく、０．１～３質量％が特に好ましい。また、紫外線吸収剤は、１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。２種以上を用いる場合は、合計量が上記範囲となることが好ましい。

＜＜その他添加剤＞＞
本発明の感光性着色組成物には、必要に応じて、各種添加剤、例えば、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、凝集防止剤等を配合することができる。これらの添加剤としては、特開２００４－２９５１１６号公報の段落番号０１５５～０１５６に記載の添加剤を挙げることができ、この内容は本明細書に組み込まれる。また、酸化防止剤としては、例えばフェノール化合物、リン系化合物（例えば特開２０１１－０９０１４７号公報の段落番号００４２に記載の化合物）、チオエーテル化合物などを用いることができる。市販品としては、例えば（株）ＡＤＥＫＡ製のアデカスタブシリーズ（ＡＯ－２０、ＡＯ－３０、ＡＯ－４０、ＡＯ－５０、ＡＯ－５０Ｆ、ＡＯ－６０、ＡＯ－６０Ｇ、ＡＯ－８０、ＡＯ－３３０など）が挙げられる。また、酸化防止剤として、国際公開ＷＯ２０１７／００６６００号公報に記載された多官能ヒンダードアミン酸化防止剤、国際公開ＷＯ２０１７／１６４０２４号公報に記載された酸化防止剤を用いることもできる。酸化防止剤は１種のみを用いてもよく、２種以上を用いてもよい。また、本発明の感光性着色組成物は、必要に応じて、潜在酸化防止剤を含有してもよい。潜在酸化防止剤としては、酸化防止剤として機能する部位が保護基で保護された化合物であって、１００～２５０℃で加熱するか、又は酸／塩基触媒存在下で８０～２００℃で加熱することにより保護基が脱離して酸化防止剤として機能する化合物が挙げられる。潜在酸化防止剤としては、国際公開ＷＯ２０１４／０２１０２３号公報、国際公開ＷＯ２０１７／０３０００５号公報、特開２０１７－００８２１９号公報に記載された化合物が挙げられる。市販品としては、アデカアークルズＧＰＡ－５００１（（株）ＡＤＥＫＡ製）等が挙げられる。また、本発明の感光性着色組成物は、特開２００４－２９５１１６号公報の段落番号００７８に記載の増感剤や光安定剤、同公報の段落番号００８１に記載の熱重合防止剤を含有することができる。

用いる原料等により感光性着色組成物中に金属元素が含まれることがあるが、欠陥発生抑制等の観点で、着色組成物中の第２族元素（カルシウム、マグネシウム等）の含有量は５０質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、０．０１～１０質量ｐｐｍがより好ましい。また、感光性着色組成物中の無機金属塩の総量は１００質量ｐｐｍ以下であることが好ましく、０．５～５０質量ｐｐｍがより好ましい。

本発明の感光性着色組成物の含水率は、通常３質量％以下であり、０．０１～１．５質量％が好ましく、０．１～１．０質量％の範囲であることがより好ましい。含水率は、カールフィッシャー法にて測定することができる。

本発明の感光性着色組成物は、膜面状（平坦性など）の調整、膜厚の調整などを目的として粘度を調整して用いることができる。粘度の値は必要に応じて適宜選択することができるが、例えば、２５℃において０．３ｍＰａ・ｓ～５０ｍＰａ・ｓが好ましく、０．５ｍＰａ・ｓ～２０ｍＰａ・ｓがより好ましい。粘度の測定方法としては、例えば、東機産業製 粘度計 ＲＥ８５Ｌ（ローター：１°３４’×Ｒ２４、測定範囲０．６～１２００ｍＰａ・ｓ）を使用し、２５℃に温度調整を施した状態で測定することができる。

本発明の感光性着色組成物の収容容器としては、特に限定はなく、公知の収容容器を用いることができる。また、収容容器として、原材料や組成物中への不純物混入を抑制することを目的に、容器内壁を６種６層の樹脂で構成する多層ボトルや６種の樹脂を７層構造にしたボトルを使用することも好ましい。このような容器としては例えば特開２０１５－１２３３５１号公報に記載の容器が挙げられる。

本発明の感光性着色組成物は、カラーフィルタにおける着色画素の形成用の感光性着色組成物として好ましく用いることができる。着色画素としては、例えば、赤色画素、緑色画素、青色画素、マゼンタ色画素、シアン色画素、イエロー色画素などが挙げられる。

本発明の感光性着色組成物を液晶表示装置用途のカラーフィルタとして用いる場合、カラーフィルタを備えた液晶表示素子の電圧保持率は、７０％以上であることが好ましく、９０％以上であることがより好ましい。高い電圧保持率を得るための公知の手段を適宜組み込むことができ、典型的な手段としては純度の高い素材の使用（例えばイオン性不純物の低減）や、組成物中の酸性官能基量の制御が挙げられる。電圧保持率は、例えば特開２０１１－００８００４号公報の段落０２４３、特開２０１２－２２４８４７号公報の段落０１２３～０１２９に記載の方法等で測定することができる。

＜感光性着色組成物の調製方法＞
本発明の感光性着色組成物は、前述の成分を混合して調製できる。感光性着色組成物の調製に際しては、全成分を同時に溶剤に溶解および／または分散して感光性着色組成物を調製してもよいし、必要に応じて、各成分を適宜２つ以上の溶液または分散液としておいて、使用時（塗布時）にこれらを混合して感光性着色組成物を調製してもよい。

また、顔料を含む感光性着色組成物を調製する場合、感光性着色組成物の調製に際して、顔料を分散させるプロセスを含むことも好ましい。顔料を分散させるプロセスにおいて、顔料の分散に用いる機械力としては、圧縮、圧搾、衝撃、剪断、キャビテーションなどが挙げられる。これらプロセスの具体例としては、ビーズミル、サンドミル、ロールミル、ボールミル、ペイントシェーカー、マイクロフルイダイザー、高速インペラー、サンドグラインダー、フロージェットミキサー、高圧湿式微粒化、超音波分散などが挙げられる。またサンドミル（ビーズミル）における顔料の粉砕においては、径の小さいビーズを使用する、ビーズの充填率を大きくする事等により粉砕効率を高めた条件で処理することが好ましい。また、粉砕処理後にろ過、遠心分離などで粗粒子を除去することが好ましい。また、顔料を分散させるプロセスおよび分散機は、「分散技術大全、株式会社情報機構発行、２００５年７月１５日」や「サスペンション（固／液分散系）を中心とした分散技術と工業的応用の実際 総合資料集、経営開発センター出版部発行、１９７８年１０月１０日」、特開２０１５－１５７８９３号公報の段落番号００２２に記載のプロセス及び分散機を好適に使用出来る。また顔料を分散させるプロセスにおいては、ソルトミリング工程にて粒子の微細化処理を行ってもよい。ソルトミリング工程に用いられる素材、機器、処理条件等は、例えば特開２０１５－１９４５２１号公報、特開２０１２－０４６６２９号公報の記載を参酌できる。

感光性着色組成物の調製にあたり、異物の除去や欠陥の低減などの目的で、フィルタでろ過することが好ましい。フィルタとしては、従来からろ過用途等に用いられているフィルタであれば特に限定されることなく用いることができる。例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂、ナイロン（例えばナイロン－６、ナイロン－６，６）等のポリアミド系樹脂、ポリエチレン、ポリプロピレン（ＰＰ）等のポリオレフィン樹脂（高密度、超高分子量のポリオレフィン樹脂を含む）等の素材を用いたフィルタが挙げられる。これら素材の中でもポリプロピレン（高密度ポリプロピレンを含む）およびナイロンが好ましい。フィルタの孔径は、０．０１～７．０μｍ程度が適しており、好ましくは０．０１～３．０μｍ程度であり、更に好ましくは０．０５～０．５μｍ程度である。フィルタの孔径が上記範囲であれば、微細な異物を確実に除去できる。また、ファイバ状のろ材を用いることも好ましい。ファイバ状のろ材としては、例えばポリプロピレンファイバ、ナイロンファイバ、グラスファイバ等が挙げられる。具体的には、ロキテクノ社製のＳＢＰタイプシリーズ（ＳＢＰ００８など）、ＴＰＲタイプシリーズ（ＴＰＲ００２、ＴＰＲ００５など）、ＳＨＰＸタイプシリーズ（ＳＨＰＸ００３など）のフィルタカートリッジが挙げられる。フィルタを使用する際、異なるフィルタ（例えば、第１のフィルタと第２のフィルタなど）を組み合わせてもよい。その際、各フィルタでのろ過は、１回のみでもよいし、２回以上行ってもよい。また、上述した範囲内で異なる孔径のフィルタを組み合わせてもよい。また、第１のフィルタでのろ過は、分散液のみに対して行い、他の成分を混合した後で、第２のフィルタでろ過を行ってもよい。

＜硬化膜＞
本発明の硬化膜は、上述した本発明の感光性着色組成物から得られる硬化膜である。本発明の硬化膜は、カラーフィルタの着色画素として好ましく用いることができる。着色画素としては、赤色画素、緑色画素、青色画素、マゼンタ色画素、シアン色画素、イエロー色画素などが挙げられる。硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。例えば、膜厚は、２０．０μｍ以下が好ましく、１０．０μｍ以下がより好ましく、５．０μｍ以下がさらに好ましく、４．０μｍ以下であることがより一層好ましく、２．５μｍ以下であることが特に好ましい。下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．５μｍ以上がさらに好ましい。

＜パターン形成方法＞
本発明のパターン形成方法は、上述した本発明の感光性着色組成物を用いて支持体上に感光性着色組成物層を形成する工程と、
感光性着色組成物層に対して、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光を照射してパターン状に露光する工程と、
露光後の感光性着色組成物層を現像する工程と、
現像後の感光性着色組成物層に対して、波長２５４～３５０ｎｍの光を照射して露光する工程と、を有する。さらに、必要に応じて、感光性着色組成物層を支持体上に形成した後であって露光する前にベークする工程（プリベーク工程）、および、現像されたパターンをベークする工程（ポストベーク工程）を設けてもよい。以下、各工程について説明する。

感光性着色組成物層を形成する工程では、感光性着色組成物を用いて、支持体上に感光性着色組成物層を形成する。

支持体としては、特に限定は無く、用途に応じて適宜選択できる。例えば、ガラス基板、固体撮像素子（受光素子）が設けられた固体撮像素子用基板、シリコン基板等が挙げられる。また、これらの基板上には、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは表面の平坦化のために下塗り層が設けられていてもよい。

支持体上への感光性着色組成物の適用方法は、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の方法を用いることができる。

支持体上に形成した感光性着色組成物層は、乾燥（プリベーク）してもよい。低温プロセスによりパターンを形成する場合は、プリベークを行わなくてもよい。プリベークを行う場合、プリベーク温度は、１２０℃以下が好ましく、１１０℃以下がより好ましく、１０５℃以下が更に好ましい。下限は、例えば、５０℃以上とすることができ、８０℃以上とすることもできる。プリベーク時間は、１０～３００秒が好ましく、４０～２５０秒がより好ましく、８０～２２０秒がさらに好ましい。プリベークは、ホットプレート、オーブン等を用いて行うことができる。

次に、感光性着色組成物層に対して、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光を照射してパターン状に露光する。例えば、感光性着色組成物層に対し、ステッパー等の露光装置を用いて、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光することで、パターン状に露光することができる。これにより、感光性着色組成物層の露光部分を硬化させることができる。露光に際して用いることができる放射線（光）としては、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光であり、波長３５５～３７０ｎｍの光が好ましく、ｉ線がより好ましい。照射量（露光量）としては、例えば、３０～１５００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましく、５０～１０００ｍＪ／ｃｍ^２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができ、大気下で行う他に、例えば酸素濃度が１９体積％以下の低酸素雰囲気下（例えば、１５体積％、５体積％、実質的に無酸素）で露光してもよく、酸素濃度が２１体積％を超える高酸素雰囲気下（例えば、２２体積％、３０体積％、５０体積％）で露光してもよい。また、露光照度は適宜設定することが可能であり、通常１０００Ｗ／ｍ^２～１０００００Ｗ／ｍ^２（例えば、５０００Ｗ／ｍ^２、１５０００Ｗ／ｍ^２、３５０００Ｗ／ｍ^２）の範囲から選択することができる。酸素濃度と露光照度は適宜条件を組み合わせてよく、例えば、酸素濃度１０体積％で照度１００００Ｗ／ｍ^２、酸素濃度３５体積％で照度２００００Ｗ／ｍ^２などとすることができる。

露光後の感光性着色組成物層中の重合性モノマーの反応率は、３０％を超え６０％未満であることが好ましい。このような反応率にすることにより重合性モノマーを適度に硬化させた状態にすることができる。ここで、重合性モノマーの反応率とは、重合性モノマーが有する重合性基中の反応した重合性基の割合のことをいう。

次に、露光後の感光性着色組成物層を現像する。すなわち、未露光部の感光性着色組成物層を現像液を用いて除去してパターンを形成する。現像液の温度は、例えば、２０～３０℃が好ましい。現像時間は、２０～３００秒が好ましい。

現像液はアルカリ剤を純水で希釈したアルカリ性水溶液（アルカリ現像液）が好ましい。アルカリ剤としては、例えば、アンモニア、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、ジグリコールアミン、ジエタノールアミン、ヒドロキシアミン、エチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラプロピルアンモニウムヒドロキシド、テトラブチルアンモニウムヒドロキシド、エチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ベンジルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、ジメチルビス（２－ヒドロキシエチル）アンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８－ジアザビシクロ［５．４．０］－７－ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウムなどの無機アルカリ性化合物が挙げられる。アルカリ剤は、分子量が大きい化合物の方が環境面および安全面で好ましい。アルカリ性水溶液のアルカリ剤の濃度は、０．００１～１０質量％が好ましく、０．０１～１質量％がより好ましい。また、現像液は、さらに界面活性剤を含有していてもよい。界面活性剤としては、上述した界面活性剤が挙げられ、ノニオン系界面活性剤が好ましい。現像液は、移送や保管の便宜などの観点より、一旦濃縮液として製造し、使用時に必要な濃度に希釈してもよい。希釈倍率は特に限定されないが、例えば１．５～１００倍の範囲に設定することができる。また、現像後純水で洗浄（リンス）することも好ましい。また、リンスは、現像後の感光性着色組成物層が形成された支持体を回転させつつ、現像後の感光性着色組成物層へリンス液を供給して行うことが好ましい。また、リンス液を吐出させるノズルを支持体の中心部から支持体の周縁部に移動させて行うことも好ましい。この際、ノズルの支持体中心部から周縁部へ移動させるにあたり、ノズルの移動速度を徐々に低下させながら移動させてもよい。このようにしてリンスを行うことで、リンスの面内ばらつきを抑制できる。また、ノズルの支持体中心部から周縁部へ移動させつつ、支持体の回転速度を徐々に低下させても同様の効果が得られる。

次に、現像後の感光性着色組成物層に対して、波長２５４～３５０ｎｍの光を照射して露光する。以下、現像後の露光を後露光ともいう。後露光に際して用いることができる放射線（光）は、波長２５４～３００ｎｍの紫外線が好ましく、波長２５４ｎｍの紫外線がより好ましい。後露光は、例えば紫外線フォトレジスト硬化装置を用いて行うことができる。紫外線フォトレジスト硬化装置からは、例えば波長２５４～３５０ｎｍの光とともに、これ以外の光（例えばｉ線）が照射されてもよい。

上述した現像前の露光で用いられる光の波長と、現像後の露光（後露光）で用いられる光の波長の差は、２００ｎｍ以下であることが好ましく、１００～１５０ｎｍであることがより好ましい。照射量（露光量）は、３０～４０００ｍＪ／ｃｍ^２が好ましく、５０～３５００ｍＪ／ｃｍ^２がより好ましい。露光時における酸素濃度については適宜選択することができる。上述した現像前の露光工程で説明した条件が挙げられる。

後露光後の感光性着色組成物層中の重合性モノマーの反応率は、６０％以上であることが好ましい。上限は、１００％以下とすることもでき、９０％以下とすることもできる。このような反応率にすることにより、露光後の感光性着色組成物層の硬化状態をより良好にすることができる。

本発明では、現像前および現像後の２段階で感光性着色組成物層を露光することにより、最初の露光（現像前の露光）で感光性着色組成物を適度に硬化させることができ、次の露光（現像後の露光）で感光性着色組成物全体をほぼ完全に硬化させることができる。結果として、低温条件でも、感光性着色組成物を十分に硬化させて、耐溶剤性、密着性および矩形性に優れたパターンを形成することができる。

本発明のパターン形成においては、更に、後露光後にポストベークを行ってもよい。ポストベークを行う場合、画像表示装置の発光光源として有機エレクトロルミネッセンス素子を用いた場合や、イメージセンサの光電変換膜を有機素材で構成した場合においては、５０～１２０℃（より好ましくは８０～１００℃、さらに好ましくは８０～９０℃）で加熱処理（ポストベーク）を行うことが好ましい。ポストベークは、ホットプレートやコンベクションオーブン（熱風循環式乾燥機）、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。また、低温プロセスによりパターンを形成する場合においては、ポストベークは行わなくてもよい。

後露光後（後露光後にポストベークを行った場合はポストベーク後）のパターン（以下画素ともいう）の厚みとしては、０．１～５．０μｍであることが好ましい。下限は、０．２μｍ以上であることが好ましく、０．５μｍ以上であることがより好ましい。上限は、４．０μｍ以下であることが好ましく、２．５μｍ以下であることがより好ましい。

画素の幅としては、０．５～２０．０μｍであることが好ましい。下限は、１．０μｍ以上であることが好ましく、２．０μｍ以上であることがより好ましい。上限は、１５．０μｍ以下であることが好ましく、１０．０μｍ以下であることがより好ましい。

画素のヤング率としては０．５～２０ＧＰａが好ましく、２．５～１５ＧＰａがより好ましい。

画素は高い平坦性を有することが好ましい。具体的には、画素の表面粗さＲａとしては、１００ｎｍ以下であることが好ましく、４０ｎｍ以下であることがより好ましく、１５ｎｍ以下であることが更に好ましい。下限は規定されないが、例えば０．１ｎｍ以上であることが好ましい。表面粗さの測定は、例えばＶｅｅｃｏ社製のＡＦＭ（原子間力顕微鏡） Ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ３１００を用いて測定することができる。
また、画素上の水の接触角は適宜好ましい値に設定することができるが、典型的には、５０～１１０°の範囲である。接触角は、例えば接触角計ＣＶ－ＤＴ・Ａ型（協和界面科学（株）製）を用いて測定できる。

画素の体積抵抗値は高いことが望まれる。具体的には、画素の体積抵抗値は１０^９Ω・ｃｍ以上であることが好ましく、１０^１１Ω・ｃｍ以上であることがより好ましい。上限は規定されないが、例えば１０^１４Ω・ｃｍ以下であることが好ましい。画素の体積抵抗値は、例えば超高抵抗計５４１０（アドバンテスト社製）を用いて測定することができる。

＜カラーフィルタ＞
次に、本発明のカラーフィルタについて説明する。本発明のカラーフィルタは、上述した本発明の硬化膜を有する。本発明のカラーフィルタにおいて、硬化膜の膜厚は、目的に応じて適宜調整できる。膜厚は、２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下がより好ましく、５μｍ以下がさらに好ましい。膜厚の下限は、０．１μｍ以上が好ましく、０．２μｍ以上がより好ましく、０．３μｍ以上が更に好ましい。本発明のカラーフィルタは、ＣＣＤ（電荷結合素子）やＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）などの固体撮像素子や画像表示装置などに用いることができる。

＜固体撮像素子＞
本発明の固体撮像素子は、上述した本発明の硬化膜を有する。本発明の固体撮像素子の構成としては、本発明の硬化膜を備え、固体撮像素子として機能する構成であれば特に限定はないが、例えば、以下のような構成が挙げられる。

基板上に、固体撮像素子（ＣＣＤ（電荷結合素子）イメージセンサ、ＣＭＯＳ（相補型金属酸化膜半導体）イメージセンサ等）の受光エリアを構成する複数のフォトダイオードおよびポリシリコン等からなる転送電極を有し、フォトダイオードおよび転送電極上にフォトダイオードの受光部のみ開口した遮光膜を有し、遮光膜上に遮光膜全面およびフォトダイオード受光部を覆うように形成された窒化シリコン等からなるデバイス保護膜を有し、デバイス保護膜上に、カラーフィルタを有する構成である。更に、デバイス保護膜上であってカラーフィルタの下（基板に近い側）に集光手段（例えば、マイクロレンズ等。以下同じ）を有する構成や、カラーフィルタ上に集光手段を有する構成等であってもよい。また、カラーフィルタは、隔壁により例えば格子状に仕切られた空間に、各着色画素を形成する硬化膜が埋め込まれた構造を有していてもよい。この場合の隔壁は各着色画素に対して低屈折率であることが好ましい。このような構造を有する撮像装置の例としては、特開２０１２－２２７４７８号公報、特開２０１４－１７９５７７号公報に記載の装置が挙げられる。本発明の固体撮像素子を備えた撮像装置は、デジタルカメラや、撮像機能を有する電子機器（携帯電話等）の他、車載カメラや監視カメラ用としても用いることができる。

＜画像表示装置＞
本発明の硬化膜は、液晶表示装置や有機エレクトロルミネッセンス表示装置などの、画像表示装置に用いることができる。画像表示装置の定義や各画像表示装置の詳細については、例えば「電子ディスプレイデバイス（佐々木昭夫著、（株）工業調査会、１９９０年発行）」、「ディスプレイデバイス（伊吹順章著、産業図書（株）平成元年発行）」などに記載されている。また、液晶表示装置については、例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田龍男編集、（株）工業調査会、１９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば、上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。

以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、処理手順等は、本発明の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。

＜感光性着色組成物の調製＞
（実施例１）
以下に示す原料を混合し、撹拌した後、孔径０．４５μｍのナイロン製フィルタ（日本ポール（株）製）でろ過して感光性着色組成物を調製した。
・顔料分散液（Ｇ１）・・・７２．５質量部
・光重合開始剤ａ（開始剤１）・・・１．１６質量部
・光重合開始剤ｂ（開始剤４）・・・０．８７質量部
・アルカリ可溶性樹脂（樹脂Ａ）の４０質量％プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液）・・・６．３１質量部
・重合性モノマー（Ｍ１）・・・４．７７質量部
・重合禁止剤（ｐ－メトキシフェノール）・・・０．００２質量部
・界面活性剤（下記構造の化合物（Ｍｗ＝１４０００、繰り返し単位の割合を示す％の数値はモル％である）の１質量％プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液）・・・０．８３質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート・・・１３.４８質量部

（実施例２～１８、比較例１～３）
顔料分散液の種類、光重合開始剤の種類および含有量、重合性モノマーの種類および含有量をそれぞれ下記表に記載の通り変更し、実施例１と同様にして感光性着色組成物を調製した。なお、下記表の重合性モノマーの含有量の欄に記載の含有量の数値は、感光性着色組成物の全固形分中における含有量である。なお、実施例１０については、顔料分散液の配合量Ｒ１を７９．５質量部とした。また、実施例１１については顔料分散液の配合量Ｂ１を６８．４質量部とした。

上記表に記載の原料は以下の通りである。

（顔料分散液）
Ｇ１：以下の方法で調製した顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６の７．４質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５の５．２質量部、顔料誘導体１の１．４質量部、分散剤１の４．８６質量部、および、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の８１．１４質量部を混合した混合液に、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて３時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散液Ｇ１を調製した。この顔料分散液Ｇ１の固形分濃度は１８．８６質量％であり、顔料含有量は１４．００質量％であった。
顔料誘導体１：下記構造の化合物。
分散剤１：下記構造の樹脂（Ｍｗ＝２４０００、主鎖に付記した数値はモル比であり、側鎖に付記した数値は繰り返し単位の数である。）

Ｇ２：以下の方法で調製した顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ５８の８．８質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５の３．８質量部、顔料誘導体１の１．４質量部、分散剤１の４．８６質量部、および、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の８１．１４質量部を混合した混合液に、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて３時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散液Ｇ２を調製した。この顔料分散液Ｇ２の固形分濃度は１８．８６質量％であり、顔料含有量は１４．００質量％であった。

Ｇ３：以下の方法で調製した顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ３６の７．１質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １８５の４．２質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９の１．３質量部、顔料誘導体１の１．４質量部、分散剤１の４．８６質量部、および、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の８１．１４質量部を混合した混合液に、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて３時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散液Ｇ３を調製した。この顔料分散液Ｇ３の固形分濃度は１８．８６質量％であり、顔料含有量は１４．００質量％であった。

Ｒ１：以下の方法で調製した顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ２５４の８．０質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌｌｏｗ １３９の３．５質量部、顔料誘導体１の１．４質量部、分散剤１の４．３質量部、および、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の８２．８質量部を混合した混合液に、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて３時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散液Ｒ１を調製した。この顔料分散液Ｒ１の固形分濃度は１７．２質量％であり、顔料含有量は１２．９質量％であった。

Ｂ１：以下の方法で調製した顔料分散液
Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：６の９．５質量部、Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｖｉｏｌｅｔ ２３の５．０質量部、分散剤１の５．５質量部、および、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）の８０．０質量部を混合した混合液に、直径０．３ｍｍのジルコニアビーズ２３０質量部を加えて、ペイントシェーカーを用いて３時間分散処理を行い、ビーズをろ過で分離して顔料分散液Ｂ１を調製した。この顔料分散液Ｂ１の固形分濃度は２０．０質量％であり、顔料含有量は１４．５質量％であった。

（光重合開始剤）
開始剤Ａ１－１：下記構造の化合物（Ａ１－１）（メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１８９００ｍＬ／ｇｃｍである）
開始剤Ａ１－２：下記構造の化合物（Ａ１－２）（メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１３２００ｍＬ／ｇｃｍである）
開始剤Ａ２－１：下記構造の化合物（Ａ２－１）（メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が４８．９３ｍＬ／ｇｃｍであり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が３．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍである。）
開始剤Ａ２－２：下記構造の化合物（Ａ２－２）（メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が８８．６４ｍＬ／ｇｃｍであり、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が３．３×１０^４ｍＬ／ｇｃｍである。）
開始剤Ｒ１：下記構造の化合物（Ｒ１）（メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が６９６９ｍＬ／ｇｃｍである）

（重合性モノマー）
Ｍ１～Ｍ４：下記構造の化合物

（アルカリ可溶性樹脂）
樹脂Ａ：下記構造の樹脂（Ｍｗ＝１１０００、酸価＝３１．５ｍｇＫＯＨ／ｇ、主鎖に付記した数値はモル比である。）

＜評価＞
（耐溶剤性）
ガラス基板上に、各感光性着色組成物をプリベーク後の膜厚が１．６μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。
次いで、紫外線フォトレジスト硬化装置（ＵＭＡ－８０２－ＨＣ－５５２；ウシオ電気株式会社製）を用いて、３０００ｍＪ／ｃｍ^２の露光量で露光を行い、硬化膜を作製した。
得られた硬化膜について、紫外可視近赤外分光光度計ＵＶ３６００（島津製作所製）の分光光度計（レファレンス：ガラス基板）を用いて波長３００～８００ｎｍの範囲の光の透過率を測定した。また、ＯＬＹＭＰＵＳ製光学顕微鏡 ＢＸ６０を用いて、反射観測（倍率５０倍）にて微分干渉像を観察した。次いで、硬化膜を、２５℃のアルカリ現像液（ＦＨＤ－５、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の中に５分間浸漬し、乾燥させた後に再度分光測定を実施し、アルカリ現像液浸漬前後の透過率変動を算出して以下の基準で耐溶剤性を評価した。
透過率変動＝｜Ｔ０－Ｔ１｜
Ｔ０は、アルカリ現像液浸漬前の硬化膜の透過率であり、Ｔ１は、アルカリ現像液浸漬後の硬化膜の透過率である。
ＡＡ：波長３００～８００ｎｍの全範囲での透過率変動が２％未満である。
Ａ：波長３００～８００ｎｍの全範囲での透過率変動が５％未満であり、かつ、一部の範囲において透過率変動が２％以上５％未満である。
Ｂ：波長３００～８００ｎｍの全範囲での透過率変動が１０％未満であり、かつ、一部の範囲において透過率変動が５％以上１０％未満である。
Ｃ：波長３００～８００ｎｍの少なくも一部の範囲において透過率変動が１０％以上である。

（密着性、残渣および矩形性の評価）
ヘキサメチルジシラザンを噴霧した８インチ（２０．３２ｃｍ）のシリコンウエハの上に各感光性着色組成物をプリベーク後の膜厚が１．６μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。
次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ－３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して、３６５ｎｍの波長で３．０μｍ四方のアイランドパターンマスクを通して３００ｍＪ／ｃｍ^２にて照射した（３．０μｍの線幅を得るのに必要な露光量である）。
次いで、露光後の塗布膜が形成されているシリコンウエハをスピン・シャワー現像機（ＤＷ－３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、現像液（ＣＤ－２０００（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）の４０％希釈液）を用いて２３℃で１８０秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハ上にパターン（画素）を形成した。このパターン（画素）が形成されたシリコンウエハを真空チャック方式で水平回転テーブルに固定し、回転装置によってシリコンウエハを回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スピン乾燥してパターン（画素）を形成した。

［密着性］
作製したパターンを光学式顕微鏡を用いて観察し、以下の基準での密着性を評価した。
ＡＡ：パターンの剥がれがない。
Ａ：パターンの剥がれが１００画素中１～５画素存在する
Ｂ：パターンの剥がれが１００画素中６～１５画素存在する
Ｃ：パターンの剥がれが１００画素中１６画素以上存在する

［残渣］
パターンの形成領域外（未露光部）を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）（倍率１００００倍）で観察し、未露光部５μｍ×５μｍの面積（１エリア）あたりの直径０．１μｍ以上の残渣を数え、下記評価基準に従って残渣を評価した。
ＡＡ：１エリアあたりの残渣の数が１０個未満
Ａ：１エリアあたりの残渣の数が１０個以上２０個未満
Ｂ：１エリアあたりの残渣の数が２０個以上３０個未満
Ｃ：１エリアあたりの残渣の数が３０個以上

［矩形性］
作製したパターンの断面を走査型電子顕微鏡で観察し、最適露光量で形成した３．０μｍ角の正方形ピクセルパターン側壁の、シリコンウエハ表面に対する角度を測定し、以下の評価基準で評価した。
ＡＡ：パターン側壁の角度が８０°以上１００°未満
Ａ：パターン側壁の角度が７５°以上８０°未満、もしくは１００°以上１０５°未満
Ｂ：パターン側壁の角度が７０°以上７５°未満、もしくは１０５°以上１１０°未満
Ｃ：パターン側壁の角度が７０°未満、もしくは１１０°以上

上記表に示す通り、実施例は耐溶剤性、密着性、残渣および矩形性に優れていた。これに対し、光重合開始剤Ａ１および光重合開始剤Ａ２の一方のみしか含まない比較例は、耐溶剤性、密着性、残渣および矩形性のいずれかの評価が実施例よりも劣っていた。

Claims (16)

1. 色材と、
   メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^４ｍＬ／ｇｃｍ以上の光重合開始剤Ａ１と、
   メタノール中での波長３６５ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^２ｍＬ／ｇｃｍ以下で、かつ、波長２５４ｎｍの光の吸光係数が１．０×１０^３ｍＬ／ｇｃｍ以上の光重合開始剤Ａ２と、
   重合性モノマーと、を含む感光性着色組成物であって、
   前記重合性モノマーは、エチレン性不飽和基とアルキレンオキシ基とを含む化合物を含み、
   前記感光性着色組成物の全固形分中における前記重合性モノマーの含有量が１９．５～２７．５質量％であり、
   前記感光性着色組成物の全固形分中における前記光重合開始剤Ａ１と前記光重合開始剤Ａ２の合計の含有量が５～１５質量％であり、
   前記光重合開始剤Ａ１と前記光重合開始剤Ａ２の合計１００質量部に対して、前記重合性モノマーを１７０～３４５質量部含有する、
   感光性着色組成物。
2. 前記光重合開始剤Ａ１の１００質量部に対して、前記光重合開始剤Ａ２を５０～２００質量部含有する、請求項１に記載の感光性着色組成物。
3. 前記光重合開始剤Ａ１がフッ素原子を含むオキシム化合物である、請求項１または２に記載の感光性着色組成物。
4. 前記光重合開始剤Ａ２がヒドロキシアルキルフェノン化合物である、請求項１～３のいずれか１項に記載の感光性着色組成物。
5. 前記光重合開始剤Ａ２が下記式（Ａ２－１）で表される化合物である、請求項１～３のいずれか１項に記載の感光性着色組成物；
   （Ａ２－１）
   式中Ｒｖ^１は、置換基を表し、Ｒｖ^２およびＲｖ^３は、それぞれ独立して、水素原子または置換基を表し、Ｒｖ^２とＲｖ^３とが互いに結合して環を形成していてもよく、ｍは０～５の整数を表す。
6. 前記重合性モノマーがエチレン性不飽和基を３個以上含む化合物である、請求項１～５のいずれか１項に記載の感光性着色組成物。
7. 前記光重合開始剤Ａ１と前記光重合開始剤Ａ２の合計１００質量部に対して、前記重合性モノマーを２００～３００質量部含有する、請求項１～６のいずれか１項に記載の感光性着色組成物。
8. 更に樹脂を含む、請求項１～７のいずれか１項に記載の感光性着色組成物。
9. 前記樹脂の含有量が、前記重合性モノマーの１００質量部に対して５０～１７０質量部である、請求項８に記載の感光性着色組成物。
10. 前記樹脂はアルカリ可溶性樹脂を含み、前記アルカリ可溶性樹脂の含有量が前記重合性モノマーの１００質量部に対して５０～１７０質量部である、請求項８に記載の感光性着色組成物。
11. 前記光重合開始剤Ａ１および前記光重合開始剤Ａ２以外の光重合開始剤の含有量が、前記光重合開始剤Ａ１と前記光重合開始剤Ａ２との合計１００質量部に対して１質量部以下である、請求項１～１０のいずれか１項に記載の感光性着色組成物。
12. 請求項１～１１のいずれか１項に記載の感光性着色組成物を硬化して得られる硬化膜。
13. 請求項１～１１のいずれか１項に記載の感光性着色組成物を用いて支持体上に感光性着色組成物層を形成する工程と、
    前記感光性着色組成物層に対して、波長３５０ｎｍを超え３８０ｎｍ以下の光を照射してパターン状に露光する工程と、
    前記露光後の感光性着色組成物層を現像する工程と、
    前記現像後の感光性着色組成物層に対して、波長２５４～３５０ｎｍの光を照射して露光する工程と、を有するパターンの形成方法。
14. 請求項１２に記載の硬化膜を有するカラーフィルタ。
15. 請求項１２に記載の硬化膜を有する固体撮像素子。
16. 請求項１２に記載の硬化膜を有する画像表示装置。