JP7459858B2 - 積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの実装構造 - Google Patents

積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの実装構造 Download PDF

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Description

本発明は、積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの実装構造に関する。
セラミック材料からなる複数の誘電体層と複数の内部電極層とが積層された積層体と、積層体の端面に配置された外部電極とを備える積層セラミックコンデンサが知られている。積層体は、複数の誘電体層の一部と複数の内部導体層とを含む内層部と、内層部を挟み込むように配置され、複数の誘電体層の一部以外の部分をそれぞれ含む第1の外層部および第2の外層部であって、第1の主面側に配置された第1の外層部と、第2の主面側に配置された第2の外層部とを有する。このような積層セラミックコンデンサにおいて、更なる小型化(薄型化)および高容量化が求められており、誘電体層の材料として、誘電率が比較的高い強誘電体材料が用いられることがある。
しかし、このような誘電体層は、圧電性や電歪性を有するので、電界が加わった際に応力や機械的歪みが生じる。このような応力や機械的歪みは、振動となって積層セラミックコンデンサが実装された基板に伝わる。そうすると基板全体が音響反射面となり、雑音となる振動音である、いわゆる「鳴き」が発生してしまう。
この「鳴き」の発生を抑制するために、下部の外層部の厚さを上部の外層部の厚さより厚くすることで、積層セラミックコンデンサから基板への振動の伝達を抑制している積層セラミックコンデンサが知られている(特許文献1~3参照)。
特開2013-251522号公報 特開2015-65414号公報 特開2019-145684号公報
しかし、下部の外層部の厚さを厚くすると、積層セラミックコンデンサの薄型化(小型化)および高容量化のいずれかが大きく損なわれてしまう。
本発明は、薄型化(小型化)および高容量化を大きく損なうことなく、「鳴き」の発生を抑制する積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの実装構造を提供することを目的とする。
本願発明者(ら)は、鋭意検討の結果、下部の内部電極層の主成分金属のカバレッジを調整することにより、下部の外層部の厚さを大きく厚くすることなく、「鳴き」の発生を抑制することができるとの新たな知見を得た。
そこで、本発明に係る積層セラミックコンデンサは、セラミック材料からなる複数の誘電体層と複数の内部電極層とが積層された積層体であって、積層方向に相対する第1の主面および第2の主面と、前記積層方向に交差する幅方向に相対する2つの側面と、前記積層方向および前記幅方向に交差する長さ方向に相対する2つの端面とを有する積層体と、前記積層体の前記2つの端面の各々に配置された2つの外部電極と、を備える。前記複数の内部電極層の各々は、第1の金属を主成分として含んでいる。前記複数の内部電極層のうち、前記第1の主面側に配置されている内部電極層を第1主面側内部電極層とし、前記第2の主面側に配置されている内部電極層を第2主面側内部電極層とすると、前記第1主面側内部電極層における前記誘電体層との界面には、前記第1の金属と異なる第2の金属が固溶した第1の固溶層が形成されており、前記第2主面側内部電極層における前記誘電体層との界面には、前記第2の金属が固溶した第2の固溶層が形成されている。前記第2の固溶層における前記第2の金属の濃度は、前記第1の固溶層における前記第2の金属の濃度よりも高い。
また、本発明に係る積層セラミックコンデンサの実装構造は、回路基板と、上記の積層セラミックコンデンサと、を備える。前記積層セラミックコンデンサは、前記第2の主面が前記回路基板と相対するように、前記回路基板に実装されている。
本発明によれば、積層セラミックコンデンサの薄型化(小型化)および高容量化を大きく損なうことなく、「鳴き」の発生を抑制することができる。
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの実装構造を示す斜視図である。 図1に示す積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの実装構造のII-II線断面図(LT断面)である。 図1に示す積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの実装構造のIII-III線断面図(WT断面)である。 図2に示す積層セラミックコンデンサにおける積層体の内部電極層の拡大断面図である。 本実施形態の変形例に係る積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの実装構造の断面図(LT断面)である。 本実施形態の変形例に係る積層セラミックコンデンサおよび積層セラミックコンデンサの実装構造の断面図(WT断面)である。
以下、添付の図面を参照して本考案の実施形態の一例について説明する。なお、各図面において同一または相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。
<積層セラミックコンデンサ>
図1は、本実施形態に係る積層セラミックコンデンサを示す斜視図であり、図2は、図1に示す積層セラミックコンデンサのII-II線断面図であり、図3は、図1に示す積層セラミックコンデンサのIII-III線断面図である。図1~図3に示す積層セラミックコンデンサ1は、積層体10と外部電極40とを備える。外部電極40は、第1の外部電極41と第2の外部電極42とを含む。
図1~図3には、XYZ直交座標系が示されている。X方向は積層セラミックコンデンサ1および積層体10の長さ方向Lであり、Y方向は積層セラミックコンデンサ1および積層体10の幅方向Wであり、Z方向は積層セラミックコンデンサ1および積層体10の積層方向Tである。これにより、図2に示す断面はLT断面とも称され、図3に示す断面はWT断面とも称される。
なお、長さ方向L、幅方向Wおよび積層方向Tは、必ずしも互いに直交する関係になるとは限らず、互いに交差する関係であってもよい。
積層体10は、略直方体形状であり、積層方向Tに相対する第1の主面TS1および第2の主面TS2と、幅方向Wに相対する第1の側面WS1および第2の側面WS2と、長さ方向Lに相対する第1の端面LS1および第2の端面LS2とを有する。
積層体10の角部および稜線部には、丸みがつけられていると好ましい。角部は、積層体10の3面が交る部分であり、稜線部は、積層体10の2面が交る部分である。
図2および図3に示すように、積層体10は、積層方向Tに積層された複数の誘電体層20と複数の内部電極層30とを有する。また、積層体10は、積層方向Tにおいて、内層部100と、内層部100を挟み込むように配置された第1の外層部101および第2の外層部102とを有する。
内層部100は、複数の誘電体層20の一部と複数の内部電極層30とを含む。内層部100では、複数の内部電極層30が誘電体層20を介して対向して配置されている。内層部100は、静電容量を発生させ実質的にコンデンサとして機能する部分である。
第1の外層部101は、積層体10の第1の主面TS1側に配置されており、第2の外層部102は、積層体10の第2の主面TS2側に配置されている。より具体的には、第1の外層部101は、複数の内部電極層30のうち第1の主面TS1に最も近い内部電極層30と第1の主面TS1との間に配置されており、第2の外層部102は、複数の内部電極層30のうち第2の主面TS2に最も近い内部電極層30と第2の主面TS2との間に配置されている。第1の外層部101および第2の外層部102は、内部電極層30を含まず、複数の誘電体層20のうち内層部100のための一部以外の部分をそれぞれ含む。第1の外層部101および第2の外層部102は、内層部100の保護層として機能する部分である。
誘電体層20の材料としては、例えば、BaTiO、CaTiO、SrTiO、またはCaZrO等を主成分として含む誘電体セラミックを用いることができる。また、誘電体層20の材料としては、Mn化合物、Fe化合物、Cr化合物、Co化合物、またはNi化合物等を副成分として添加されてもよい。
誘電体層20の厚さは、特に限定されないが、例えば0.40μm以上0.50μm以下であると好ましく、0.40μm以上0.45μm以下であるとより好ましい。誘電体層20の枚数は、特に限定されないが、例えば100枚以上2000枚以下であると好ましい。なお、この誘電体層20の枚数は、内層部の誘電体層の枚数と外層部の誘電体層の枚数との総数である。
複数の内部電極層30は、複数の第1の内部電極層31および複数の第2の内部電極層32を含む。複数の第1の内部電極層31および複数の第2の内部電極層32は、積層体10の積層方向Tに交互に配置されている。
第1の内部電極層31は、対向電極部311と引出電極部312とを含み、第2の内部電極層32は、対向電極部321と引出電極部322とを含む。
対向電極部311と対向電極部321とは、積層体10の積層方向Tにおいて誘電体層20を介して互いに対向している。対向電極部311および対向電極部321の形状は、特に限定されず、例えば略矩形状であればよい。対向電極部311と対向電極部321とは、静電容量を発生させ実質的にコンデンサとして機能する部分である。
引出電極部312は、対向電極部311から積層体10の第1の端面LS1に向けて延在し、第1の端面LS1において露出している。引出電極部322は、対向電極部321から積層体10の第2の端面LS2に向けて延在し、第2の端面LS2において露出している。引出電極部312および引出電極部322の形状は、特に限定されず、例えば略矩形状であればよい。
これにより、第1の内部電極層31は第1の外部電極41に接続され、第1の内部電極層31と、積層体10の第2の端面LS2、すなわち第2の外部電極42、との間にはギャップが存在する。また、第2の内部電極層32は第2の外部電極42に接続され、第2の内部電極層32と、積層体10の第1の端面LS1、すなわち第1の外部電極41、との間にはギャップが存在する。
第1の内部電極層31および第2の内部電極層32は、金属Niを主成分として含む。また、第1の内部電極層31および第2の内部電極層32は、例えば、Cu、Ag、Pd、またはAu等の金属、またはAg-Pd合金等の、それらの金属の少なくとも一種を含む合金、から選ばれる少なくとも1つを主成分として含んでもよいし、主成分以外の成分として含んでもよい。更に、第1の内部電極層31および第2の内部電極層32は、誘電体層20に含まれるセラミックと同一組成系の誘電体の粒子を主成分以外の成分として含んでいてもよい。なお、本明細書において、主成分の金属とは、最も重量%が高い金属成分であると定める。
第1の内部電極層31および第2の内部電極層32の厚さは、特に限定されないが、例えば0.30μm以上0.40μm以下であると好ましく、0.30μm以上0.35μm以下であるとより好ましい。第1の内部電極層31および第2の内部電極層32の枚数は、特に限定されないが、例えば10枚以上1000枚以下であると好ましい。
図3に示すように、積層体10は、幅方向Wにおいて、内部電極層30が対向する電極対向部W30と、電極対向部W30を挟み込むように配置された第1のサイドギャップ部WG1および第2のサイドギャップ部WG2とを有する。第1のサイドギャップ部WG1は、電極対向部W30と第1の側面WS1との間に位置し、第2のサイドギャップ部WG2は、電極対向部W30と第2の側面WS2との間に位置する。より具体的には、第1のサイドギャップ部WG1は、内部電極層30の第1の側面WS1側の端と第1の側面WS1との間に位置し、第2のサイドギャップ部WG2は、内部電極層30の第2の側面WS2側の端と第2の側面WS2との間に位置する。第1のサイドギャップ部WG1および第2のサイドギャップ部WG2は、内部電極層30を含まず、誘電体層20のみを含む。第1のサイドギャップ部WG1および第2のサイドギャップ部WG2は、内部電極層30の保護層として機能する部分である。なお、第1のサイドギャップ部WG1および第2のサイドギャップ部WG2は、Wギャップともいう。
図2に示すように、積層体10は、長さ方向Lにおいて、内部電極層30の第1の内部電極層31と第2の内部電極層32とが対向する電極対向部L30と、第1のエンドギャップ部LG1と、第2のエンドギャップ部LG2とを有する。第1のエンドギャップ部LG1は、電極対向部L30と第1の端面LS1との間に位置し、第2のエンドギャップ部LG2は、電極対向部L30と第2の端面LS2との間に位置する。より具体的には、第1のエンドギャップ部LG1は、第2の内部電極層32の第1の端面LS1側の端と第1の端面LS1との間に位置し、第2のエンドギャップ部LG2は、第1の内部電極層31の第2の端面LS2側の端と第2の端面LS2との間に位置する。第1のエンドギャップ部LG1は、第2の内部電極層32を含まず、第1の内部電極層31および誘電体層20を含み、第2のエンドギャップ部LG2は、第1の内部電極層31を含まず、第2の内部電極層32および誘電体層20を含む。第1のエンドギャップ部LG1は、第1の内部電極層31の第1の端面LS1への引出電極部として機能する部分であり、第2のエンドギャップ部LG2は、第2の内部電極層32の第2の端面LS2への引出電極部として機能する部分である。第1のエンドギャップ部LG1および第2のエンドギャップ部LG2は、Lギャップともいう。
なお、電極対向部L30には、上述した第1の内部電極層31の対向電極部311および第2の内部電極層32の対向電極部321が位置する。また、第1のエンドギャップ部LG1には、上述した第1の内部電極層31の引出電極部312が位置し、第2のエンドギャップ部LG2には、上述した第2の内部電極層32の引出電極部322が位置する。
上述した積層体10の寸法は、特に限定されないが、例えば長さ方向Lの長さが0.05mm以上1.00mm以下であり、幅方向Wの幅が0.10mm以上0.50mm以下であり、積層方向Tの厚さが0.10mm以上0.50mm以下であると好ましい。
なお、積層体10において、長さ方向Lの寸法をL1とし、幅方向Wの寸法をW1とし、積層方向Tの寸法をT1とすると、L1>T1>W1であってもよい。これにより、所定のL1およびW1を満たしつつ、T1を大きくした高背の積層セラミックコンデンサを得ることができ、小型化かつ高容量化を実現することができる。
なお、誘電体層20および内部電極層30の厚さの測定方法としては、例えば研磨により露出させた積層体の幅方向中央近傍のLT断面を走査型電子顕微鏡にて観察する方法が挙げられる。また、各値は、長さ方向の複数個所の測定値の平均値であってもよいし、更に積層方向の複数個所の測定値の平均値であってもよい。
同様に、積層体10の厚さの測定方法としては、例えば研磨により露出させた積層体の幅方向中央近傍のLT断面、または、研磨により露出させた積層体の長さ方向中央近傍のWT断面を走査型電子顕微鏡にて観察する方法が挙げられる。また、各値は、長さ方向または幅方向の複数個所の測定値の平均値であってもよい。
同様に、積層体10の長さの測定方法としては、例えば研磨により露出させた積層体の幅方向中央近傍のLT断面を走査型電子顕微鏡にて観察する方法が挙げられる。また、各値は、積層方向の複数個所の測定値の平均値であってもよい。
同様に、積層体10の幅の測定方法としては、例えば研磨により露出させた積層体の長さ方向中央近傍のWT断面を走査型電子顕微鏡にて観察する方法が挙げられる。また、各値は、積層方向の複数個所の測定値の平均値であってもよい。
外部電極40は、第1の外部電極41と第2の外部電極42とを含む。
第1の外部電極41は、積層体10の第1の端面LS1に配置されており、第1の内部電極層31に接続されている。第1の外部電極41は、第1の端面LS1から、第1の主面TS1の一部および第2の主面TS2の一部に延びていてもよい。また、第1の外部電極41は、第1の端面LS1から、第1の側面WS1の一部および第2の側面WS2の一部に延びていてもよい。
第2の外部電極42は、積層体10の第2の端面LS2に配置されており、第2の内部電極層32に接続されている。第2の外部電極42は、第2の端面LS2から、第1の主面TS1の一部および第2の主面TS2の一部に延びていてもよい。また、第2の外部電極42は、第2の端面LS2から、第1の側面WS1の一部および第2の側面WS2の一部に延びていてもよい。
第1の外部電極41は、第1の下地電極層415と第1のめっき層416とを有し、第2の外部電極42は、第2の下地電極層425と第2のめっき層426とを有する。なお、第1の外部電極41は第1のめっき層416のみから構成されていてもよいし、第2の外部電極42は第2のめっき層426のみから構成されていてもよい。
第1の下地電極層415および第2の下地電極層425は、金属とガラスとを含む焼成層であってもよい。ガラスとしては、B、Si、Ba、Mg、Al、またはLi等から選ばれる少なくとも1つを含むガラス成分が挙げられる。具体例として、ホウケイ酸ガラスを用いることができる。金属としては、Cuを主成分として含む。また、金属としては、例えばNi、Ag、Pd、またはAu等の金属、またはAg-Pd合金等の合金、から選ばれる少なくとも1つを主成分として含んでもよいし、主成分以外の成分として含んでもよい。
焼成層は、金属およびガラスを含む導電性ペーストをディップ法によって積層体に塗布して焼成した層である。なお、内部電極層の焼成後に焼成されてもよく、内部電極層と同時に焼成されてもよい。また、焼成層は、複数層であってもよい。
或いは、第1の下地電極層415および第2の下地電極層425は、導電性粒子と熱硬化性樹脂とを含む樹脂層であってもよい。樹脂層は、上述した焼成層上に形成されてもよいし、焼成層を形成せずに積層体に直接形成されてもよい。
樹脂層は、導電性粒子と熱硬化性樹脂とを含む導電性ペーストを塗布法によって積層体に塗布して焼成した層である。なお、内部電極層の焼成後に焼成されてもよく、内部電極層と同時に焼成されてもよい。また、樹脂層は、複数層であってもよい。
焼成層または樹脂層としての第1の下地電極層415および第2の下地電極層425の各々の一層あたりの厚さとしては、特に限定されず、1μm以上10μm以下であってもよい。
或いは、第1の下地電極層415および第2の下地電極層425は、スパッタ法または蒸着法等の薄膜形成法により形成され、金属粒子が堆積された1μm以下の薄膜層であってもよい。
第1のめっき層416は、第1の下地電極層415の少なくとも一部を覆い、第2のめっき層426は、第2の下地電極層425の少なくとも一部を覆う。第1のめっき層416および第2のめっき層426としては、例えば、Cu、Ni、Ag、Pd、またはAu等の金属、またはAg-Pd合金等の合金から選ばれる少なくとも1つを含む。
第1のめっき層416および第2のめっき層426の各々は複数層により形成されていてもよい。好ましくは、NiめっきおよびSnめっきの2層構造である。Niめっき層は、下地電極層がセラミック電子部品を実装する際のはんだによって侵食されることを防止することができ、Snめっき層は、セラミック電子部品を実装する際のはんだの濡れ性を向上させ、容易に実装することができる。
第1のめっき層416および第2のめっき層426の各々の一層あたりの厚さとしては、特に限定されず、1μm以上10μm以下であってもよい。
図1~図3に示すように、積層セラミックコンデンサ1の実装構造としては、第2の主面TS2が回路基板CBと相対するように、積層セラミックコンデンサ1が回路基板CBに実装される。
<<内部電極層>>
次に、内部電極層30、すなわち第1の内部電極層31および第2の内部電極層32、について更に説明する。図4は、図2に示す積層セラミックコンデンサにおける積層体の内部電極層の拡大断面図である。図4に示すように、内部電極層30、すなわち第1の内部電極層31および第2の内部電極層32、のうち、積層体10の積層方向Tの中央よりも第1の主面TS1側に配置されている内部電極層を第1主面側内部電極層301とし、積層体10の積層方向Tの中央よりも第2の主面TS2側に配置されている内部電極層を第2主面側内部電極層302とする。
第1主面側内部電極層301における誘電体層20との界面には、主成分金属、例えばNi、と異なる副成分金属、例えばSn、が固溶した第1の固溶層301Aが形成されている。一方、第2主面側内部電極層302における誘電体層20との界面には、副成分金属、例えばSn、が固溶した第2の固溶層302Aが形成されている。第1の固溶層301Aおよび第2の固溶層302Aに固溶する金属としては、Sn、In、Ga、Zn、Bi、Pb、Fe,V、Y、およびCuのうちの少なくとも1つの金属であればよい。
第2の固溶層302Aにおける副成分金属、例えばSn、の濃度(含有量)は、第1の固溶層301Aにおける副成分金属、例えばSn、の濃度(含有量)よりも高い。内部電極層において、Sn等の副成分金属の濃度(含有量)が高いということは、Ni等の主成分金属の濃度(含有量)が低いということであり、すなわちNi等の主成分金属のカバレッジが低いということである。
Ni等の主成分金属のカバレッジが低い内部電極層が配置された第2の主面TS2側を回路基板CB側として、積層セラミックコンデンサ1を回路基板CBに実装することにより、「鳴き」の発生を抑制することができる。そのため、第2の外層部102を厚くする必要がないので、内部電極層30をより多く配置することができ、積層セラミックコンデンサ1の薄型化(小型化)かつ高容量化が可能である。
第1の固溶層301Aにおける副成分金属、例えばSn、の含有量(モル比)は、主成分金属、例えばNi、100molに対して0.2mol%以上0.8mol%以下であると好ましい。これに対して、第2の固溶層302Aにおける副成分金属、例えばSn、の含有量(モル比)は、主成分金属、例えばNi、100molに対して、第1の固溶層301Aより高く、かつ1.5mol%以上2.5mol%以下であればよい。なお、第1の固溶層301Aを備える第1主面側内部電極層301の内部電極層30総数に対する割合は60%以上であると好ましく、一方、第2の固溶層302Aを備える第2主面側内部電極層302の内部電極層30総数に対する割合は40%以下であると好ましい。
ここで、積層セラミックコンデンサ1の薄型化(小型化)および高容量化のために、例えば誘電体層20の薄膜化が考えられる。しかし、誘電体層20の薄膜化により、1層あたりに加わる電界強度が増大し、積層セラミックコンデンサ1の寿命、すなわち信頼性、が低下することがある。
この点に関し、内部電極層30における誘電体層20との界面に、Sn等の副成分金属の第1の固溶層301Aおよび第2の固溶層302Aが形成されると、第1の固溶層301Aおよび第2の固溶層302Aが形成された誘電体層20との界面において絶縁性が向上し、誘電体層20において電界強度の増大を抑制することができる。そのため、積層セラミックコンデンサ1の寿命、すなわち信頼性、の低下を抑制することができる。
第2の固溶層302A(および第1の固溶層301A)におけるSn等の副成分金属の含有量が1.5mol%未満であると、上述したSn等の副成分金属含有の効果が小さい。一方、第1の固溶層301A(および第2の固溶層302A)におけるSn等の副成分金属の含有量が2.5mol%を超えると、内部電極層30の融点が下がり、内部電極層30の主成分金属、例えばNi、の玉化が発生することがある。主成分金属、例えばNi、の玉化が発生すると、内部電極層30が局所的に太り、誘電体層20が局所的に薄くなり、局所的に電界強度が増大し、上述したSn等の副成分金属含有の効果がキャンセルされてしまう。
第1主面側内部電極層301における主成分金属、例えばNi、100molに対する、第1の固溶層301AにおけるSn等の副成分金属の含有量mol%(モル比)、および、第2主面側内部電極層302における主成分金属、例えばNi、100molに対する、第2の固溶層302AにおけるSn等の副成分金属の含有量mol%(モル比)の測定方法としては、TEM分析などがあげられる。積層方向に配置された内部電極層を領域として3分割し、各領域の中央部の内部電極層をTEM分析により界面から10nm内側を面内方向に10点測定し、平均化しモル比とした。
第1の固溶層301Aの厚さは、1nm以上20nm以下であると好ましい。これに対して、第2の固溶層302Aの厚さは、1nm以上20nm以下であると好ましい。
第1の固溶層301Aおよび第2の固溶層302Aの厚さの測定方法としては、上述した誘電体層20および内部電極層30の厚さの測定方法と同様に、例えば研磨により露出させた積層体の幅方向中央近傍のLT断面を観察する方法が挙げられる。測定機器としては、例えば波長分散型X線分析(WDX)またはエネルギー分散型X線分析(EDX)と、走査型電子顕微鏡(SEM)または透過型電子顕微鏡(TEM)とが挙げられる。第1の固溶層301Aで言えば、副成分金属、例えばSn、の含有量(モル比)は、主成分金属、例えばNi、100molに対して0.2mol%以上0.8mol%以下である領域を当該厚みとし、第2の固溶層302Aで言えば副成分金属、例えばSn、の含有量(モル比)は、主成分金属、例えばNi、100molに対して1.5mol%以上2.5mol%以下の領域を当該厚みとした。
<製造方法>
次に、上述した積層セラミックコンデンサ1の製造方法について説明する。まず、誘電体層20用の誘電体シートおよび内部電極層30用の導電性ペーストを準備する。誘電体シートには、Snが含有されている。例えば、Snによって表面がコーティングされたコアシェル構造の誘電体グレイン粒子を含有する絶縁体シートが用いられる。誘電体シートのSnの含有量は、第1主面側内部電極層301に隣接する誘電体シートと、第2主面側内部電極層302に隣接する誘電体シートとで異ならせる。また、誘電体シートおよび導電性ペーストには、バインダおよび溶剤が含まれる。バインダおよび溶剤としては公知の材料を用いることができる。
次に、誘電体シート上に導電性ペーストを、例えば所定のパターンで印刷することにより、誘電体シート上に内部電極パターンを形成する。内部電極パターンの形成方法としては、スクリーン印刷またはグラビア印刷等を用いることができる。
次に、内部電極パターンが印刷されていない第2の外層部102用の誘電体シートを所定枚数積層する。その上に、内部電極パターンが印刷された内層部100用の誘電体シートを順次積層する。その上に、内部電極パターンが印刷されていない第1の外層部101用の誘電体シートを所定枚数積層する。これにより、積層シートが作製される。
次に、静水圧プレス等の手段により、積層シートを積層方向にプレスし、積層ブロックを作製する。次に、積層ブロックを所定のサイズにカットし、積層チップを切り出す。このとき、バレル研磨等により積層チップの角部および稜線部に丸みをつける。
次に、積層チップを焼成し、積層体10を作製する。焼成温度は、誘電体や内部電極の材料にもよるが、900℃以上1400℃以下であることが好ましい。
このとき、内部電極層30における誘電体層20との界面には、誘電体層20に由来するSnが偏析し固溶した固溶層が形成される。例えば、上述したように、第1主面側内部電極層301に隣接する誘電体シートと第2主面側内部電極層302に隣接する誘電体シートとでSnの含有量を異ならせることにより、第1主面側内部電極層301における誘電体層20との界面には、誘電体層20に由来するSnが偏析し固溶した第1の固溶層301Aが形成され、第2主面側内部電極層302における誘電体層20との界面には、誘電体層20に由来するSnが偏析し固溶した第2の固溶層302Aが形成される。
次に、ディップ法を用いて、積層体10の第1の端面LS1を下地電極層用の電極材料である導電性ペーストに浸漬することによって、第1の端面LS1に第1の下地電極層415用の導電性ペーストを塗布する。同様に、ディップ法を用いて、積層体10の第2の端面LS2を下地電極層用の電極材料である導電性ペーストに浸漬することによって、第2の端面LS2に第2の下地電極層425用の導電性ペーストを塗布する。その後、これらの導電性ペーストを焼成することにより、焼成層である第1の下地電極層415および第2の下地電極層425が形成される。焼成温度は、600℃以上900℃以下であることが好ましい。
なお、上述したように、導電性粒子と熱硬化性樹脂とを含む導電性ペーストを塗布法によって塗布して焼成することによって、樹脂層である第1の下地電極層415および第2の下地電極層425を形成してもよいし、スパッタ法または蒸着法等の薄膜形成法により、薄膜である第1の下地電極層415および第2の下地電極層425を形成してもよい。
その後、第1の下地電極層415の表面に第1のめっき層416を形成して第1の外部電極41を形成し、第2の下地電極層425の表面に第2のめっき層426を形成して第2の外部電極42を形成する。以上の工程により、上述した積層セラミックコンデンサ1が得られる。
以上説明したように、本実施形態の積層セラミックコンデンサ1によれば、第1の主面TS1側に配置されている第1主面側内部電極層301には、主成分金属、例えばNi、と異なる副成分金属、例えばSn、が固溶した第1の固溶層301Aが形成されており、第2の主面TS2側に配置されている第2主面側内部電極層302には、主成分金属、例えばNi、と異なる副成分金属、例えばSn、が固溶した第2の固溶層302Aが形成されており、第2の固溶層302Aにおける副成分金属、例えばSn、の濃度(含有量)は、第1の固溶層301Aにおける副成分金属、例えばSn、の濃度(含有量)よりも高い。内部電極層において、Sn等の副成分金属の濃度(含有量)が高いということは、Ni等の主成分金属の濃度(含有量)が低いということであり、すなわちNi等の主成分金属のカバレッジが低いということである。
Ni等の主成分金属のカバレッジが低い内部電極層が配置された第2の主面TS2側を回路基板CB側として、積層セラミックコンデンサ1を回路基板CBに実装することにより、「鳴き」の発生を抑制することができる。そのため、第2の外層部102を厚くする必要がないので、内部電極層30をより多く配置することができ、積層セラミックコンデンサ1の薄型化(小型化)かつ高容量化が可能である。そのため、積層セラミックコンデンサ1の薄型化(小型化)および高容量化を損なうことなく、「鳴き」の発生を抑制することができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、種々の変更および変形が可能である。例えば、上述した実施形態では、第1主面側内部電極層301と第2主面側内部電極層302との境界が、積層体10の積層方向Tの中央近傍である積層セラミックコンデンサを例示した。しかし、本発明はこれに限定されず、第1主面側内部電極層301と第2主面側内部電極層302との境界は、第1の主面TS1側に片寄っていてもよいし、第2の主面TS2側に片寄っていてもよい。或いは、第1主面側内部電極層301と第2主面側内部電極層302との間に更に、これらの内部電極層と異なる内部電極層が配置されていてもよい。例えば、第1の主面TS1から第2の主面TS2へ向けて、内部電極層の固有層におけるSn等の副成分金属の濃度(含有量)が2段階以上に段階的に高くなる形態であってもよいし、第1主面側内部電極層301と第2主面側内部電極層302との間の内部電極層には、Sn等の副成分金属が固溶した固溶層が形成されていない形態であってもよい。
また、上述した実施形態では、第2の外層部102の厚さが第1の外層部101の厚さと略同じである積層セラミックコンデンサを例示した。しかし、本発明はこれに限定されず、図5および図6に示すように、第2の外層部102の厚さが第1の外層部101の厚さよりも厚い形態であってもよい。換言すれば、第2の主面TS2に最も近い内部電極層30と第2の主面TS2との間隔は、第1の主面TS1に最も近い内部電極層30と第1の主面TS1との間隔よりも大きい形態であってもよい。この変形例では、上述した実施形態と比較して、薄型化(小型化)かつ高容量化の効果が低くなるが、「鳴き」の発生を抑制する効果はより高くなる。そのため、この変形例では、積層セラミックコンデンサ1の薄型化(小型化)および高容量化を大きく損なうことなく、「鳴き」の発生をより抑制することができる。
第1の外層部101および第2の外層部102の厚さの測定方法としては、上述した誘電体層20および内部電極層30の厚さの測定方法と同様であればよい。例えば研磨により露出させた積層体の幅方向中央近傍のLT断面を走査型電子顕微鏡にて観察する方法が挙げられる。また、各値は、長さ方向の複数個所の測定値の平均値であってもよい。
また、積層セラミックコンデンサの製造方法として、積層体10の幅方向Wの側面WS1およびWS2におけるサイドギャップの誘電体を後から付与する工法が適用されてもよい。この場合、積層セラミックコンデンサにおいて、内部電極層の幅方向Wの両側の端部が揃う(例えば5μmの誤差で揃う)。
1 積層セラミックコンデンサ
10 積層体
20 誘電体層
30 内部電極層
301 第1主面側内部電極層
302 第2主面側内部電極層
301A 第1の固溶層
302A 第2の固溶層
31 第1の内部電極層
311 第1の対向電極部
312 第1の引出電極部
313 拡散層
32 第2の内部電極層
321 第2の対向電極部
322 第2の引出電極部
323 拡散層
40 外部電極
41 第1の外部電極
415 第1の下地電極層
416 第1のめっき層
42 第2の外部電極
425 第2の下地電極層
426 第2のめっき層
100 内層部
101 第1の外層部
102 第2の外層部
L30 電極対向部
LG1 第1のエンドギャップ部
LG2 第2のエンドギャップ部
W30 電極対向部
WG1 第1のサイドギャップ部
WG2 第2のサイドギャップ部
L 長さ方向
T 積層方向
W 幅方向
LS1 第1の端面
LS2 第2の端面
TS1 第1の主面
TS2 第2の主面
WS1 第1の側面
WS2 第2の側面

Claims (9)

  1. セラミック材料からなる複数の誘電体層と複数の内部電極層とが積層された積層体であって、積層方向に相対する第1の主面および第2の主面と、前記積層方向に交差する幅方向に相対する2つの側面と、前記積層方向および前記幅方向に交差する長さ方向に相対する2つの端面とを有する積層体と、
    前記積層体の前記2つの端面の各々に配置された2つの外部電極と、
    を備え、
    前記複数の内部電極層の各々は、第1の金属を主成分として含んでおり、
    前記複数の内部電極層のうち、前記第1の主面側に配置されている内部電極層を第1主面側内部電極層とし、前記第2の主面側に配置されている内部電極層を第2主面側内部電極層とすると、
    前記第1主面側内部電極層における前記誘電体層との界面には、前記第1の金属と異なる第2の金属が固溶した第1の固溶層が形成されており、
    前記第2主面側内部電極層における前記誘電体層との界面には、前記第2の金属が固溶した第2の固溶層が形成されており、
    前記第2の固溶層における前記第2の金属の濃度は、前記第1の固溶層における前記第2の金属の濃度よりも高い、
    積層セラミックコンデンサ。
  2. 前記第1の固溶層における前記第2の金属の含有量は、前記第1の金属100molに対して0.2mol%以上0.8mol%以下であり、
    前記第2の固溶層における前記第2の金属の含有量は、前記第1の金属100molに対して1.5mol%以上2.5mol%以下である、
    請求項1に記載の積層セラミックコンデンサ。
  3. 前記積層体において、前記長さ方向の寸法をL1とし、前記幅方向の寸法をW1とし、前記積層方向の寸法をT1とすると、L1>T1>W1である、請求項1または2に記載の積層セラミックコンデンサ。
  4. 前記積層体は、前記複数の誘電体層の一部と前記複数の内部導体層とを含む内層部と、前記内層部を挟み込むように配置され、前記複数の誘電体層の前記一部以外の部分をそれぞれ含む第1の外層部および第2の外層部であって、前記第1の主面側に配置された前記第1の外層部と、前記第2の主面側に配置された前記第2の外層部とを有し、
    前記第2の外層部の厚さは、前記第1の外層部の厚さよりも厚い、請求項1~3のいずれか1項に記載の積層セラミックコンデンサ。
  5. 前記第1の金属は、Niである、請求項1~4のいずれか1項に記載の積層セラミックコンデンサ。
  6. 前記第2の金属は、Sn、In、Ga、Zn、Bi、Pb、Fe,V、Y、またはCuである、請求項1~5のいずれか1項に記載の積層セラミックコンデンサ。
  7. 前記第1の固溶層の厚さは、1nm以上20nm以下であり、
    前記第2の固溶層の厚さは、1nm以上20nm以下である、
    請求項1~6のいずれか1項に記載の積層セラミックコンデンサ。
  8. 前記複数の内部電極層に対する前記第1主面側内部電極層の割合は、60%以上であり、
    前記複数の内部電極層に対する前記第2主面側内部電極層の割合は、40%以下である、
    請求項1~7のいずれか1項に記載の積層セラミックコンデンサ。
  9. 回路基板と、
    請求項1~8のいずれか1項に記載の積層セラミックコンデンサと、
    を備え、
    前記積層セラミックコンデンサは、前記第2の主面が前記回路基板と相対するように、前記回路基板に実装されている、
    積層セラミックコンデンサの実装構造。
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