JP7459059B2 - 太陽電池の製造方法および太陽電池 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る太陽電池を裏面側からみた図である。図1に示す太陽電池1は、裏面電極型の太陽電池である。太陽電池1は、2つの主面を備える半導体基板11を備え、半導体基板11の主面において第1領域7、第2領域8、および外周縁領域Rを有する。
同様に、第2領域8は、いわゆる櫛型の形状であり、櫛歯に相当する複数のフィンガー部8fと、櫛歯の支持部に相当するバスバー部8bとを有する。バスバー部8bは、半導体基板11の一方の辺部に対向する他方の辺部に沿って第1方向(X方向)に延在し、フィンガー部8fは、バスバー部8bから、第2方向(Y方向)に延在する。
フィンガー部7fとフィンガー部8fとは、第1方向(X方向)に交互に設けられている。
なお、第1領域7および第2領域8は、ストライプ状に形成されてもよい。
半導体基板11は、受光面側からの入射光を吸収して光キャリア(電子および正孔)を生成する光電変換基板として機能する。
半導体基板11の材料として結晶シリコンが用いられることにより、暗電流が比較的に小さく、入射光の強度が低い場合であっても比較的高出力(照度によらず安定した出力)が得られる。
真性半導体層13、第1真性半導体層23および第2真性半導体層33は、いわゆるパッシベーション層として機能し、半導体基板11で生成されたキャリアの再結合を抑制し、キャリアの回収効率を高める。
また、半導体基板11は、結晶シリコン材料にp型ドーパント(例えば、上述したホウ素(B))がドープされたp型半導体基板であってもよい。
第1電極層27および第2電極層37は、透明電極層と金属電極層とを含んでもよいし、金属電極層のみを含んでもよい。本実施形態では、第1電極層27は、第1導電型半導体層25上に順に積層された透明電極層28と金属電極層29とを有する。第2電極層37は、第2導電型半導体層35上に順に積層された透明電極層38と金属電極層39とを有する。
透明電極層28,38は、透明な導電性材料で形成される。透明導電性材料としては、ITO(Indium Tin Oxide:酸化インジウムおよび酸化スズの複合酸化物)、ZnO(Zinc Oxide:酸化亜鉛)が挙げられる。金属電極層29,39は、銀等の金属粉末を含有する導電性ペースト材料で形成されてもよい。
図4Aに示すように、レジスト40を、半導体基板11の裏面側の全面および受光面側の全面に形成する場合、実際には半導体基板11の側面側(端面側)にも形成される。
半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rに半導体層を形成する場合、図4Bに示すように、理想的には半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rを露出させる必要がある。
図7Aに示すように、半導体基板11の裏面側の全面に第1導電型半導体層材料膜25Z(および第1真性半導体層材料膜23Z)を形成し、図5Bに示すレジスト40を用いて第1導電型半導体層材料膜25Z(および第1真性半導体層材料膜23Z)のパターニングを行うと、図7Bに示すように、半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rに第1導電型半導体層25(および第1真性半導体層23)が残る。
・後述するように、例えば基板トレイ3を用いて半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rをマスクした状態で、第1導電型半導体層材料膜25Z(および第1真性半導体層材料膜23Z)を形成し(第1半導体層材料膜形成工程)、
・図9Aおよび図9Bに示すように、半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rおよび受光面側の全面をレジスト40で覆って、第1導電型半導体層25(および第1真性半導体層23)のパターニングを行う(第1半導体層形成工程)。
これにより、図7Aおよび図7Bのように半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rに、第1導電型半導体層25(および第1真性半導体層23)が残ることがない。また、図8Aおよび図8Bのように半導体基板11の受光面側の外周縁領域が露出することがない。
・図9Cに示すように、半導体基板11の裏面側の第1領域7、第2領域8および外周縁領域Rを含む全面において、第1領域7における第1導電型半導体層25の上、および第2領域8および外周縁領域における半導体基板11の上に、第2導電型半導体層材料膜35Z(および第2真性半導体層材料膜33Z)を形成し(第2半導体層材料膜形成工程)、
・図9Dに示すように、半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rおよび受光面側の全面をレジストで覆って、第2導電型半導体層35(および第2真性半導体層33)のパターニングを行う(第2半導体層形成工程)。
これにより、半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rに、第2導電型半導体層35(および第2真性半導体層33)を良好に形成することができる。すなわち、図7Cおよび図7Dのように半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rに良好でない半導体層が形成されることを回避することができる。また、図8Cおよび図8Dのように半導体基板11の受光面側の外周縁領域が露出することがない。
以下、本実施形態の太陽電池の製造方法を2つ説明する。
次に、図3A~図3Iを参照して、図1および図2に示す本実施形態の太陽電池1の製造方法について説明する。図3Aは、第1実施形態に係る太陽電池の製造方法における真性半導体層形成工程および光学調整層形成工程を示す図である。図3Bは、第1実施形態に係る太陽電池の製造方法における第1半導体層材料膜形成工程を示す図であり、図3C~図3Eは、第1実施形態に係る太陽電池の製造方法における第1半導体層形成工程を示す図である。図3Fは、第1実施形態に係る太陽電池の製造方法における第2半導体層材料膜形成工程を示す図であり、図3G~図3Iは、第1実施形態に係る太陽電池の製造方法における第2半導体層形成工程を示す図である。
具体的には、例えばスパッタリング法等のPVD法(物理気相成長法)を用いて、半導体基板11の裏面側の全面に、透明電極層材料膜を積層(製膜)する。その後、例えばエッチングペーストを用いたエッチング法を用いて、透明電極層材料膜の一部を除去することにより、透明電極層28,38のパターニングを行う。透明電極層材料膜に対するエッチング溶液としては、例えば塩酸または塩化第二鉄水溶液が用いられる。
その後、例えばパターン印刷法または塗布法を用いて、透明電極層28上に金属電極層29を形成し、透明電極層38の上に金属電極層39を形成することにより、第1電極層27および第2電極層37を形成する。
・例えば基板トレイ3を用いて半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rをマスクした状態で、第1導電型半導体層材料膜25Z(および第1真性半導体層材料膜23Z)を形成し(第1半導体層材料膜形成工程)、
・半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rおよび受光面側の全面をレジストで覆って、第1導電型半導体層25(および第1真性半導体層23)のパターニングを行う(第1半導体層形成工程)。
これにより、図7Aおよび図7Bのように半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rに、第1導電型半導体層25(および第1真性半導体層23)が形成されることがない。また、図8Aおよび図8Bに示すように、半導体基板11の受光面側の外周縁領域が露出することがない。
・半導体基板11の裏面側の第1領域7、第2領域8および外周縁領域Rを含む全面において、第1領域7における第1導電型半導体層25の上、および第2領域8および外周縁領域における半導体基板11の上に、第2導電型半導体層材料膜35Z(および第2真性半導体層材料膜33Z)を形成し(第2半導体層材料膜形成工程)、
・半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rおよび受光面側の全面をレジストで覆って、第2導電型半導体層35(および第2真性半導体層33)のパターニングを行う(第2半導体層形成工程)。
これにより、半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rに、第2導電型半導体層35(および第2真性半導体層33)を良好に形成することができる。すなわち、図7Cおよび図7Dのように半導体基板11の裏面側の外周縁領域Rに良好でない半導体層が形成されることを回避することができる。また、図8Cおよび図8Dのように半導体基板11の受光面側の外周縁領域が露出することがない。
両面電極型の太陽電池では、受光面、裏面ともに一度ずつしか製膜しないので、一度マスクされた場所は露出し、暴露され続けることになる。これに対して、裏面電極型の太陽電池では、例えばi層/p層製膜→パターニング→i層/n層製膜となるため、i層/p層製膜の一貫製膜の後であって、i層/n層製膜の一貫製膜の前に半導体基板の主面の外周縁領域を覆うことができる。
第2実施形態では、リフトオフ層を用いたリフトオフ法を利用する。
次に、図10A~図10Gを参照して、図1および図2に示す本実施形態の太陽電池1の製造方法について説明する。図10Aは、第2実施形態に係る太陽電池の製造方法における真性半導体層形成工程および光学調整層形成工程を示す図である。図10Bは、第2実施形態に係る太陽電池の製造方法における第1半導体層材料膜形成工程およびリフトオフ層形成工程を示す図であり、図10C~図10Eは、第2実施形態に係る太陽電池の製造方法における第1半導体層形成工程を示す図である。図10Fは、第2実施形態に係る太陽電池の製造方法における第2半導体層材料膜形成工程を示す図であり、図10Gは、第2実施形態に係る太陽電池の製造方法における第2半導体層形成工程を示す図である。
リフトオフ層50は、例えば無機物質材料で形成することが出来る。酸化珪素(SiO)、窒化珪素(SiN)、または酸窒化珪素(SiON)のようなそれらの複合物等の材料で形成される場合は、フッ酸処理(フッ酸、またはフッ酸と他の種類の酸との混合物での処理)でリフトオフが進行し、ITOやZnOのようなそれらの複合物等の材料で形成される場合は、酸処理(塩酸、硝酸、またはそれらと他の種類の酸との混合物での処理)でリフトオフが進行し、容易に除去される。
特にリフトオフ層50を前記酸化珪素(SiO)、窒化珪素(SiN)、または酸窒化珪素(SiON)のようなそれらの複合物等の材料で形成する場合、リフトオフ層を2層か3層以上の複数層構成とすることで、より高いリフトオフ性が得られる。例えば2層構成の場合、第1導電型半導体層材料膜25Z上に第1リフトオフ層、第2リフトオフ層の順にリフトオフ層を形成し、これらの層は第1導電型半導体層材料膜25Zのエッチング液に対して、第1導電型半導体層材料膜25Zのエッチング速度<第2リフトオフ層のエッチング速度<第1リフトオフ層のエッチング速度…[関係式1]を満たす。
以上の工程により、図1および図2に示す本実施形態の裏面電極型の太陽電池1が完成する。
7 第1領域
7b,8b バスバー部
7f,8f フィンガー部
8 第2領域
11 半導体基板
13 真性半導体層
15 光学調整層
23 第1真性半導体層
23Z 第1真性半導体層材料膜
25 第1導電型半導体層
25Z 第1導電型半導体層材料膜
27 第1電極層
28,38 透明電極層
29,39 金属電極層
33 第2真性半導体層
33Z 第2真性半導体層材料膜
35 第2導電型半導体層
35Z 第2導電型半導体層材料膜
37 第2電極層
40 レジスト
50 リフトオフ層(犠牲層)
R 外周縁領域
Claims (5)
- 半導体基板と、前記半導体基板の一方主面側と反対側の他方主面側の一部である第1領域に順に積層された第1導電型半導体層および第1電極層と、前記半導体基板の前記他方主面側の他の一部である第2領域に順に積層された第2導電型半導体層および第2電極層とを備える裏面電極型の太陽電池の製造方法であって、
前記半導体基板の前記他方主面側の外周縁領域をマスクした状態で、前記半導体基板の前記他方主面側の前記第1領域および前記第2領域に、前記第1導電型半導体層の材料膜を形成する第1半導体層材料膜形成工程と、
前記半導体基板の前記他方主面側の前記第1領域および前記外周縁領域をレジストで覆って、前記第2領域における前記第1導電型半導体層の材料膜を除去することにより、前記第1領域に、パターン化された前記第1導電型半導体層を形成し、前記レジストを除去する第1半導体層形成工程と、
前記半導体基板の前記他方主面側の前記第1領域、前記第2領域および前記外周縁領域を含む全面において、前記第1領域における前記第1導電型半導体層の上、および前記第2領域および前記外周縁領域における前記半導体基板の上に、前記第2導電型半導体層の材料膜を形成する第2半導体層材料膜形成工程と、
前記半導体基板の前記他方主面側の前記第2領域および前記外周縁領域をレジストで覆って、前記第1領域における前記第2導電型半導体層の材料膜を除去することにより、前記第2領域および前記外周縁領域に、パターン化された前記第2導電型半導体層を形成する第2半導体層形成工程と、
を含む、太陽電池の製造方法。 - 半導体基板と、前記半導体基板の一方主面側と反対側の他方主面側の一部である第1領域に順に積層された第1導電型半導体層および第1電極層と、前記半導体基板の前記他方主面側の他の一部である第2領域に順に積層された第2導電型半導体層および第2電極層とを備える裏面電極型の太陽電池の製造方法であって、
前記半導体基板の前記他方主面側の外周縁領域をマスクした状態で、前記半導体基板の前記他方主面側の前記第1領域および前記第2領域に、前記第1導電型半導体層の材料膜を形成する第1半導体層材料膜形成工程と、
前記第1導電型半導体層の材料膜の上に、リフトオフ層を形成するリフトオフ層形成工程と、
前記半導体基板の前記他方主面側の前記第1領域および前記外周縁領域をレジストで覆って、前記第2領域における前記リフトオフ層および前記第1導電型半導体層の材料膜を除去することにより、前記第1領域に、パターン化された前記第1導電型半導体層および前記リフトオフ層を形成し、前記レジストを除去する第1半導体層形成工程と、
前記半導体基板の前記他方主面側の前記第1領域、前記第2領域および前記外周縁領域を含む全面において、前記第1領域における前記リフトオフ層の上、および前記第2領域および前記外周縁領域における前記半導体基板の上に、前記第2導電型半導体層の材料膜を形成する第2半導体層材料膜形成工程と、
前記リフトオフ層を除去することにより、前記第1領域における前記第2導電型半導体層の材料膜を除去し、前記第2領域および前記外周縁領域に、パターン化された前記第2導電型半導体層を形成する第2半導体層形成工程と、
を含む、太陽電池の製造方法。 - 前記第1半導体層形成工程では、前記半導体基板の前記一方主面側をレジストで覆って、前記第1導電型半導体層の材料膜のパターニングを行い、
前記第2半導体層形成工程では、前記半導体基板の前記一方主面側をレジストで覆って、前記第2導電型半導体層の材料膜のパターニングを行う、
請求項1または2に記載の太陽電池の製造方法。 - 半導体基板と、前記半導体基板の一方主面側と反対側の他方主面側の一部である第1領域に順に積層された第1導電型半導体層および第1電極層と、前記半導体基板の前記他方主面側の他の一部である第2領域に順に積層された第2導電型半導体層および第2電極層とを備える裏面電極型の太陽電池であって、
前記半導体基板の前記他方主面側の外周縁領域に、前記第2導電型半導体層が形成されている、太陽電池。 - 前記外周縁領域は、前記半導体基板の端から前記半導体基板の中心に向かって幅5mm以下の領域である、請求項4に記載の太陽電池。
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