JP7454781B2 - 発光装置及びその製造方法 - Google Patents

発光装置及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7454781B2
JP7454781B2 JP2020011502A JP2020011502A JP7454781B2 JP 7454781 B2 JP7454781 B2 JP 7454781B2 JP 2020011502 A JP2020011502 A JP 2020011502A JP 2020011502 A JP2020011502 A JP 2020011502A JP 7454781 B2 JP7454781 B2 JP 7454781B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light emitting
light
emitting device
emitting element
plating layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020011502A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2021118286A (ja
Inventor
忠昭 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nichia Corp
Original Assignee
Nichia Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nichia Corp filed Critical Nichia Corp
Priority to JP2020011502A priority Critical patent/JP7454781B2/ja
Publication of JP2021118286A publication Critical patent/JP2021118286A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7454781B2 publication Critical patent/JP7454781B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Led Device Packages (AREA)

Description

実施形態は、発光装置及びその製造方法に関する。
近年、発光ダイオード(Light Emitting Diode:LED)を用いた発光装置は、低消費電力及び長寿命等の利点により、照明装置及び表示装置等の光源として広く展開されている。発光ダイオードを用いた発光装置の一種として、発光ダイオードを樹脂部材で封止し、樹脂部材の表面に外部電極を設けた発光装置が提案されている。このような発光装置においても、小型化及び製造コストの低減が要求されている。
WO2011/099384
本発明の実施形態は、小型で製造コストが低い発光装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の実施形態に係る発光装置の製造方法は、支持体と、前記支持体の上面上に配置され、複数の開口部が設けられた絶縁部材と、複数の前記開口部内にそれぞれ配置された導電部材とを含む中間体を準備する工程と、前記導電部材と発光素子の電極を接続する工程と、前記発光素子の側面を覆う被覆部材を形成する工程と、前記絶縁部材を外部に露出させるように前記支持体を除去する工程と、前記絶縁部材を除去する工程と、を備える。
本発明の実施形態に係る発光装置は、発光素子と、一対の導電部材と、前記発光素子の側面を覆う被覆部材と、を備える。前記発光素子は、一対の電極が位置する電極形成面と、前記電極形成面の反対側に位置する光取出面と、前記電極形成面と前記光取出面の間に位置する側面を有する。前記一対の導電部材は、前記発光素子の前記一対の電極とそれぞれ接続される。各前記導電部材は、第1部と、前記電極と前記第1部の間に位置する第2部と、有する。断面視において、前記第1部の幅は前記第2部の幅よりも狭い。前記第2部の側面は前記被覆部材に覆われている。前記第1部の側面の少なくとも一部は前記被覆部材から露出する。
実施形態によれば、小型で製造コストが低い発光装置及びその製造方法を実現できる。
第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。 第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。 第1の実施形態に係る発光装置を示す端面図である。 第1の実施形態の第1の変形例に係る発光装置を示す端面図である。 第1の実施形態の第2の変形例に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態の第2の変形例に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第1の実施形態の第2の変形例に係る発光装置を示す端面図である。 第2の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第2の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。 第2の実施形態に係る発光装置を示す端面図である。 第2の実施形態の第1の変形例に係る発光装置を示す端面図である。 第2の実施形態の第2の変形例に係る発光装置を示す端面図である。 第2の実施形態の第3の変形例に係る発光装置の導電部材を示す端面図である。 第2の実施形態の第4の変形例に係る発光装置の導電部材付近を示す端面図である。 第3の実施形態に係る発光装置を示す端面図である。 第4の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。 第4の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。 第4の実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。 第4の実施形態に係る発光装置を示す端面図である。
<第1の実施形態>
先ず、第1の実施形態に係る発光装置の製造方法について説明する。
図1A~図3は、本実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図であり、図4A~図4Cは、本実施形態に係る発光装置の製造方法を示す平面図である。
図1Bは図4Aに示すA-A’線による端面図であり、図2Aは図4Bに示すB-B’線による端面図であり、図2Dは図4Cに示すC-C’線による端面図である。なお、各図は模式的なものであり、適宜省略又は誇張されている。後述する他の図についても同様である。
(中間体を準備する工程)
図1Aに示すように、支持体11を準備する。支持体11は、例えば、銅又は銅合金を含む薄板であってもよい。銅は安価で放熱性が高いので、支持体11の材料として用いることが好ましい。支持体11には、ダイシングラインマーク(図示せず)が設けられていてもよい。
次に、図1B及び図4Aに示すように、支持体11上に、絶縁部材12を配置する。絶縁部材12は、例えば、レジスト材料により形成してもよい。以下、支持体11から絶縁部材12に向かう方向を「上方向」といい、上方向から見ることを「上面視」という。絶縁部材12には、複数の開口部12aが設けられている。上面視で、各開口部12aの形状は、例えば矩形である。また、複数の開口部12aが相互に直交する2つの方向に沿って配列されている。
次に、図1Cに示すように、例えばめっき法により、支持体11の上面における開口部12a内に露出した領域上に、例えば銅又は銅合金等の導電性材料を堆積させる。これにより、絶縁部材12の複数の開口部12a内に、導電部材13がそれぞれ配置される。このようにして、中間体10が作製される。中間体10は、支持体11と、支持体11の上面上に配置され、複数の開口部12aが設けられた絶縁部材12と、複数の開口部12a内にそれぞれ配置された導電部材13とを含む。中間体10においては、開口部12a及び導電部材13がそれぞれ複数対設けられている。導電部材13は支持体11に接している。
(導電部材と発光素子の電極を接続する工程)
次に、図1Dに示すように、発光素子15を準備する。発光素子15は、電圧を印加することで自ら発光する半導体素子であり、窒化物半導体等から構成される既知の半導体素子を適用できる。発光素子としては、例えばLEDチップが挙げられる。発光素子15においては、半導体部分16が設けられ、半導体部分16の一つの面には一対の電極17が設けられている。発光素子15の半導体部分16は、少なくともn型半導体層、活性層、p型半導体層を積層した半導体積層体を有する。
発光素子15の半導体部分16は、透光性の基板を有していてもよく、有していなくてもよい。透光性の基板には、例えば、半導体をエピタキシャル成長させることができる成長基板が挙げられる。成長基板の材料には、サファイア等の公知の材料を用いることができる。発光素子15の半導体部分16が、透光性の基板を有することにより、発光素子の強度を向上させることができる。また、発光素子15の半導体部分16が、透光性の基板を有していない場合には、発光素子を薄型化することができる。
発光素子15は、電極17が位置する電極形成面15aと、電極形成面15aの反対側に位置する光取出面15bと、電極形成面15aと光取出面15bとの間に位置する側面15cと、を有する。例えば、上面視において、発光素子が四角状の場合には、発光素子は、電極形成面15aと光取出面15bとの間に位置する4つの側面15cを有する。また、上面視において、発光素子が六角形状の場合には、発光素子は、電極形成面15aと光取出面15bとの間に位置する6つの側面15cを有する。
そして、中間体10の導電部材13と発光素子15の電極17を接続する。電極17は、導電性の接合部材14を介して導電部材13に接続する。これにより、発光素子15を中間体10に搭載する。例えば、一対の導電部材13毎に1つの発光素子15を配置する。
(導光部材を設ける工程)
次に、図2A及び図4Bに示すように、発光素子15の光取出面15bに接着剤を塗布し、接着剤を介して導光部材19を載置する。そして、接着剤を固化する。これにより、発光素子15上に導光部材19を設ける。固化した接着剤は透光層20を形成する。透光層20は、発光素子15の光取出面15bの全体、及び、各側面15cの上部を覆う。導光部材19は、透光層20を介して発光素子15に接着される。
(被覆部材を形成する工程)
次に、図2Bに示すように、中間体10上に中間被覆部材22mを形成する。中間被覆部材22mは、中間体10の上面、発光素子15の側面15c、透光層20の側面、導光部材19の側面及び上面を覆う。中間被覆部材22mは、絶縁部材12と半導体部分16との間の隙間に配置されてもよい。このようにすることで、発光素子の電極形成面が中間被覆部材で覆われるので、発光素子と中間被覆部材の密着性を向上させることができる。
中間被覆部材22mは、例えば、光反射性の部材又は透光性の部材である。中間被覆部材22mを光反射性の部材とする場合は、中間被覆部材22mはフィラーを含有させた樹脂を用いることができる。中間被覆部材22mの樹脂には、例えば、エポキシ樹脂を用いることができる。フィラーには、酸化チタン、シリカ、アルミナ、酸化亜鉛、ガラスなど公知の材料を用いることができる。一方、中間被覆部材22mを透光性の部材とする場合は、中間被覆部材22mは樹脂中に蛍光体を含んでいてもよい。
また、中間被覆部材22mは、単層でもよく、複数層でもよい。中間被覆部材22mは、透光性の部材上に光反射性の部材が設けられていてもよい。例えば、発光素子15の光取出面15b側から主に発光素子からの光を取り出したい場合には、発光素子15の側面15cは透光性の部材を介して光反射性の部材に覆われ、発光素子15の光取出面15bは光反射性の部材から露出する透光性の部材に覆われてもよい。また、発光素子15の側面15c側から主に発光素子からの光を取り出したい場合には、発光素子15の光取出面15bは透光性の部材を介して光反射性の部材に覆われ、発光素子15の側面15cは光反射性の部材から露出する透光性の部材に覆われてもよい。
次に、図2Cに示すように、例えば中間被覆部材22mを上面側から研削することにより、中間被覆部材22mの一部を除去する。これにより、導光部材19を中間被覆部材22mから露出させる。中間被覆部材22mの残部が被覆部材22となる。被覆部材22は、中間体10の上面、発光素子15の側面15c、透光層20の側面、導光部材19の側面を覆う。
(個片化する工程)
次に、図2D及び図4Cに示すように、支持体11の下面を接着シート100に接着する。支持体11の下面を接着シート100に接着することにより、後述する支持体11の一部を除去しても支持体11が分割されることを抑制することができる。これにより、支持体11の取り扱いが容易になる。尚、支持体11の下面を接着シート100に接着せずに、後述する被覆部材22及び絶縁部材12を発光素子15毎に分割する工程を行ってもよい。
次に、被覆部材22及び絶縁部材12をダイシングすることにより、被覆部材22及び絶縁部材12を発光素子15毎に分割する。このとき、支持体11に設けられたダイシングラインマーク(図示せず)に沿ってダイシングしてもよい。また、ダイシングライン101は、支持体11の上部に進入してもよい。つまり、被覆部材22及び絶縁部材12を発光素子15毎に分割する時に支持体11の一部を除去してもよい。このようにすることで、被覆部材22及び絶縁部材12の分割が容易になる。例えば、ダイシングライン101は、各発光素子15を囲むように格子状に形成する。なお、本実施形態においては、1つの発光素子15毎に被覆部材22等を分割する例を説明したが、2つ以上の発光素子15毎に被覆部材22等を分割してもよい。
(支持体を除去する工程)
次に、接着シート100を除去する。次に、例えばウェットエッチングにより、支持体11を除去する。これにより、発光素子15及び被覆部材22等を含む構造体が分離される。また、絶縁部材12が露出する。
(絶縁部材を除去する工程)
次に、図3に示すように、絶縁部材12を除去する。例えば、絶縁部材12がレジスト材料により形成されている場合は、一般的なレジスト剥離液を用いて絶縁部材12を除去することができる。このようにして、複数の発光装置1が製造される。
(発光装置の構成)
次に、上述の如く製造された発光装置1の構成について説明する。
図5は、本実施形態に係る発光装置を示す端面図である。
図5に示すように、本実施形態に係る発光装置1は、発光素子15と、一対の導電部材13と、導光部材19と、透光層20と、被覆部材22と、を備える。発光装置1は、発光素子15を導電部材13に接合する接合部材14を備えていてもよい。接合部材14は、例えば半田等を用いることができる。
発光素子15は、半導体部分16と、一対の電極17と、を含む。一対の電極17のうち、一方の電極17は半導体部分16のn型層に接続されており、他方の電極17は半導体部分16のp型層に接続されている。n型層とp型層との間には発光層が設けられている。発光素子15は、一対の電極17が位置する電極形成面15aと、電極形成面15aの反対側に位置する光取出面15bと、電極形成面15aと光取出面15bとの間に位置する側面15cと、を有する。発光素子15は、例えば、青色の光を出射してもよい。
一対の導電部材13は、接合部材14を介して、発光素子15の一対の電極17に接続されている。すなわち、半導体部分16のn型層に接続された一方の電極17は一方の導電部材13に接続されており、半導体部分16のp型層に接続された他方の電極17は他方の導電部材13に接続されている。
透光層20は、発光素子15の各側面15cの少なくとも一部及び光取出面15bの全体を覆う。透光層20が、発光素子15の各側面15cの一部を覆う場合には、発光素子15の各側面15cの上側は透光層20に覆われ、発光素子15の各側面15cの下側は透光層20から露出する。透光層20は、透光性の樹脂材料を含む。
導光部材19は透光層20を介して発光素子15上に設けられている。導光部材19においては、透光性の母材19a中に蛍光体19bが分散されている。蛍光体19bは、発光素子15から出射した光を吸収し、異なる波長の光を放射する。例えば、蛍光体19bは、発光素子15から出射した青色の光の一部を吸収し、黄色の光を放射する。これにより、導光部材19は、発光素子15から出射した光の一部を透過させ、他の一部を異なる波長の光に変換する。導光部材19は、例えば、発光素子15から出射した青色の光の一部を黄色の光に変換し、全体として、青色の光と黄色の光が混色した白色の光を出射してもよい。
被覆部材22は、光反射性の部材又は透光性の部材である。被覆部材22が光反射性の部材である場合は、被覆部材22はフィラーを含有させた樹脂を用いることができる。被覆部材22の樹脂には、例えば、エポキシ樹脂を用いることができる。フィラーには、酸化チタン、シリカ、アルミナ、酸化亜鉛、ガラスなど公知の材料を用いることができる。一方、被覆部材22を透光性の部材とする場合は、樹脂中に蛍光体を含んでいてもよい。
また、被覆部材22は、単層でもよく、複数層でもよい。被覆部材22は、透光性の部材上に光反射性の部材が設けられていてもよい。例えば、発光素子15の光取出面15b側から主に発光素子からの光を取り出したい場合には、発光素子15の側面15cは透光性の部材を介して光反射性の部材に覆われ、発光素子15の光取出面15bは光反射性の部材から露出する透光性の部材に覆われてもよい。また、発光素子15の側面15c側から主に発光素子からの光を取り出したい場合には、発光素子15の光取出面15bは透光性の部材を介して光反射性の部材に覆われ、発光素子15の側面15cは光反射性の部材から露出する透光性の部材に覆われてもよい。
被覆部材22は、接合部材14、発光素子15、透光層20、導光部材19を覆っている。導電部材13は、被覆部材22から外部に露出している。導電部材13の上面は接合部材14に接しており、導電部材13の下面及び導電部材13の側面は被覆部材22から外部に露出している。接合部材14の上面は電極17に接しており、接合部材14の下面は導電部材13に接しており、接合部材14の側面は被覆部材22に接している。導光部材19の側面は被覆部材22に接しており、導光部材19の上面は被覆部材22から外部に露出している。例えば、導光部材19の上面は被覆部材22の上面と略同一平面を構成している。
本実施形態によれば、導電部材13の下面及び導電部材13の側面が被覆部材22から露出している。これにより、導電部材13に半田等の外部接合部材を接合させたときに、導電部材13と外部接合部材との接触面積が増加するため、接触抵抗が低減する。また、アンカー効果により、外部接合部材の導電部材13に対する接合強度が向上する。
<第1の実施形態の第1の変形例>
次に、第1の実施形態の第1の変形例について説明する。
図6は、本変形例に係る発光装置を示す端面図である。
なお、以下の説明において、第1の実施形態と同様な部分は説明を簡略化又は省略し、第1の実施形態との相違点を主に説明する。後述する他の変形例及び実施形態においても、同様であり、既に説明された実施形態又は変形例との相違点を主に説明する。
図6に示すように、本変形例に係る発光装置1aにおいては、第1の実施形態に係る発光装置1と比較して、接合部材14が電極17の側面の少なくとも一部を覆っている点が異なっている。本変形例によれば、接合部材14と電極17との接触面積が増加するため、接触抵抗が低減する。
<第1の実施形態の第2の変形例>
次に、第1の実施形態の第2の変形例について説明する。
図7A及び図7Bは、本変形例に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。
図8は、本変形例に係る発光装置を示す端面図である。
先ず、図1A及び図1Bに示す工程を実施する。
次に、図7Aに示すように、支持体11の上面における開口部12a内に露出した領域上に、例えばめっき法により、例えば銅又は銅合金等の導電性材料を堆積させる。これにより、開口部12a内に導電部材13が形成される。このとき、導電部材13の上面13gを、絶縁部材12の上面12bよりも低い位置とする。
次に、導電部材13上に接合部材14を配置する。このとき、接合部材14を、絶縁部材12の開口部12a内に加えて、絶縁部材12の上面12b上にも配置する。これにより、接合部材14には、開口部12a内に配置された下部と、絶縁部材12の上面12b上に配置された上部が形成される。接合部材14の上部の幅は接合部材14の下部の幅よりも大きくなる。
次に、図7Bに示すように、発光素子15の電極17を接合部材14に押し付けることにより、発光素子15を中間体10に搭載する。このとき、接合部材14は電極17の下面及び電極17の側面に接触する。また、接合部材として加熱によって溶融し得る材料を用いる場合には、溶融状態の接合部材が電極17の側面に濡れ広がる。これより、電極17の下面及び電極17の側面に接触する接合部材14を形成することができる。加熱によって溶融し得る接合部材の材料としては、例えば、錫-ビスマス系、錫-銅系、錫-銀系、金-錫系などの半田、低融点金属などのろう材等が挙げられる。
次に、図2A~図2D、図3に示す工程を実施する。これにより、本変形例に係る発光装置1bが製造される。
図8に示すように、本変形例に係る発光装置1bにおいては、電極17の下面の全体及び電極17の側面の少なくとも一部が、接合部材14によって覆われている。これにより、接合部材14と電極17との間の接触抵抗が低減する。
また、接合部材14の上部14bの側面は被覆部材22に覆われ、接合部材14の下部14aの側面は被覆部材22から露出している。上部14bの幅は下部14aの幅よりも広く、上部14bの下面における下部14aと連結されていない領域は、被覆部材22から露出している。そして、接合部材14の下部14aの下面が、導電部材13に接している。これにより、導電部材13に半田等の外部接合部材を接合したときに、外部接合部材の一部は被覆部材22から露出する接合部材14にも接合されるので、接合の信頼性が増加する。
更に、本変形例においては、図7Aに示す工程において、接合部材14の一部を絶縁部材12の開口部12a内に配置することができるため、接合部材14のセルフアライメント性が良好である。
<第2の実施形態>
次に、第2の実施形態に係る発光装置の製造方法について説明する。
図9A及び図9Bは、本実施形態に係る発光装置の製造方法を示す端面図である。
先ず、図1A及び図1Bに示す工程を実施する。
次に、図9Aに示すように、支持体11の上面における開口部12a内に露出した領域上に、例えばめっき法により、例えば銅又は銅合金等の導電性材料を堆積させる。このとき、絶縁部材12における開口部12aの周辺部分上にも、導電性材料を堆積させる。これにより、中間体10においては、導電部材13に、開口部12a内に位置する第1部13aと、絶縁部材12の上面12bよりも上側に位置する第2部13bと、が形成される。第2部13bは、絶縁部材12の上面12bに接する。
次に、図9Bに示すように、導電部材13の第2部13bと発光素子15の電極17を、接合部材14を介して接続する。これにより、発光素子15が中間体10に搭載される。次に、図2A~図2D、図3に示す工程を実施する。これにより、本実施形態に係る発光装置2が製造される。
次に、本実施形態に係る発光装置について説明する。
図10は、本実施形態に係る発光装置を示す端面図である。
図10に示すように、本実施形態に係る発光装置2においては、各導電部材13が、第1部13aと、電極17と第1部13aとの間に位置する第2部13bと、を有する。
一対の導電部材13を含み、上下方向を含む断面において(以下、「断面視において」ともいう)、各導電部材13の第1部13aの幅Waは、第2部13bの幅Wbよりも狭い。すなわち、Wa<Wbである。第1部13aは被覆部材22の外部に位置する。換言すると、第1部13aの側面の少なくとも一部及び第1部13aの下面の全体は被覆部材22から露出している。第2部13bは被覆部材22の内部に位置し、第2部13bの上面は電極17に接している。第2部13bの上面のうち、接合部材14から露出する領域がある場合は、その領域は被覆部材22に接している。第2部13bの下面は被覆部材22から露出していてもよい。第2部13bの側面は被覆部材22に覆われている。
本実施形態によれば、導電部材13において、第1部13aが第2部13bから下方に突出している。これにより、導電部材13に半田等の外部接合部材を接合させたときに、導電部材13と外部接合部材との接触面積が増加するため、接触抵抗が低減する。また、アンカー効果により、外部接合部材の接合強度が向上する。
<第2の実施形態の第1の変形例>
次に、第2の実施形態の第1の変形例について説明する。
図11は、本変形例に係る発光装置を示す端面図である。
図11に示すように、本変形例は、第1の実施形態の第1変形例と第2の実施形態を組み合わせた例である。すなわち、本変形例に係る発光装置2aは、第2の実施形態に係る発光装置2と比較して、発光素子15の電極17の下面に加えて側面の少なくとも一部も、接合部材14に覆われている点が異なっている。これにより、接合部材14と電極17との接触抵抗が減少する。
<第2の実施形態の第2の変形例>
次に、第2の実施形態の第2の変形例について説明する。
図12は、本変形例に係る発光装置を示す端面図である。
図12に示すように、本変形例に係る発光装置2bにおいては、導電部材13の第2部13bの全体と、導電部材13の第1部13aの上部が、被覆部材22内に配置されており、第1部13aの下部が被覆部材22から露出している。これにより、導電部材13が被覆部材22から脱落しにくくなる。
<第2の実施形態の第3の変形例>
次に、第2の実施形態の第3の変形例について説明する。
図13は、本変形例に係る発光装置の導電部材を示す端面図である。
図13に示すように、本変形例は、導電部材13を多層構造とした例である。本変形例に係る発光装置2cにおいては、導電部材13において、金めっき層13c、銅めっき層13d、ニッケルめっき層13e及び金めっき層13fが、この順に積層されている。金めっき層13cは第1部13aの下面を構成する。銅めっき層13dは、金めっき層13c、ニッケルめっき層13e及び金めっき層13fのそれぞれの厚みよりも厚く、導電部材13の本体部を構成する。銅は安価で放熱性が高いので、銅めっき層の厚みが厚いことにより、発光装置の放熱性を向上させ、且つ、発光装置のコストを下げることができる。また、銅めっき層13dは、金めっき層13c、ニッケルめっき層13e及び金めっき層13fの合計の厚みよりも厚く形成してもよい。ニッケルめっき層13e及び金めっき層13fは、第2部13bの上層部を構成する。
本実施形態においては、導電部材13に金めっき層13cが設けられていることにより、導電部材13と外部接合部材との濡れ性と接合強度が向上する。また、金めっき層13fが設けられていることにより、導電部材13と接合部材14との濡れ性と接合強度が向上する。
<第2の実施形態の第4の変形例>
次に、第2の実施形態の第4の変形例について説明する。
図14は、本変形例に係る発光装置の導電部材付近を示す端面図である。
図14に示すように、本変形例に係る発光装置2dにおいては、電極17と導電部材13との間に、接合部材14が設けられている。そして、断面視で、導電部材13の外縁に位置する第2部13bの厚みt1は、導電部材13の中央に位置する第2部13bの厚みt2よりも薄い。すなわち、t1<t2である。一方、電極17の下面は略平坦である。このため、接合部材14の外縁における厚みt3は、接合部材14の中央における厚みt4よりも厚い。すなわち、t3>t4である。
一般に、電極17と導電部材13とを接合部材14を介して接合させると、電極17と導電部材13の線膨張係数の差に起因して、接合部材14にクラックが発生する虞がある。クラックは接合部材14の端部において発生しやすく、また、接合部材14が薄いほど発生しやすい。本変形例においては、接合部材14の外縁に位置する部分を厚くすることにより、クラックの発生を抑制できる。
<第3の実施形態>
次に、第3の実施形態について説明する。
図15は、本実施形態に係る発光装置を示す端面図である。
図15に示すように、本実施形態に係る発光装置3は、第2の実施形態に係る発光装置2と比較して、導光部材19が蛍光体層31と透光層32の2層構造である点が異なっている。蛍光体層31においては、透光性の材料である母材31a中に、蛍光体31bが配置されている。透光層32は蛍光体層31上に設けられ、透光性の材料からなり、蛍光体を含まない。
本実施形態によれば、蛍光体層31が透光層32によって覆われており、蛍光体31bが外部に露出しない。これにより、大気中の水分等に起因する蛍光体の劣化を抑制できる。
<第4の実施形態>
次に、第4の実施形態について説明する。
図16A~図16Cは、本実施形態に係る発光装置の製造方法を示す図である。
図17は、本実施形態に係る発光装置を示す端面図である。
先ず、図1A~図1Dに示す工程を実施する。
これにより、図16Aに示すように、中間体10に複数の発光素子15が搭載された構造体40が作製される。構造体40において、発光素子15は、電極17が位置する電極形成面15aと、電極形成面15aの反対側に位置する光取出面15bを有する。また、支持体11には、ダイシングラインマーク11aが設けられていてもよい。
一方、容器102内に、液体状の第1接着部材20aを準備する。容器102は上面が開口している。
次に、構造体40を、発光素子15が中間体10よりも下方に配置されるような向きで、容器102内の第1接着部材20aに近づけて、発光素子15の光取出面15bを液体状の第1接着部材20aに接触させる。これにより、光取出面15bに第1接着部材20aが被着し、光取出面15bに第1接着部材20aの一部である第2接着部材20bが形成される。第2接着部材20bは液滴であり、第2接着部材20bの表面張力により、その形状は球体の一部に近い形状になる。
次に、図16Bに示すように、発光素子15の光取出面15bを下方に向けた状態で、発光素子15を導光部材19に押し付ける。これにより、液滴状の第2接着部材20bを介して発光素子15の光取出面15bを導光部材19に接着する。
このとき、図16Cに示すように、第2接着部材20bは発光素子15と導光部材19との間から押し出され、発光素子15の側面15cに付着する。側面15cに付着した第2接着部材20bは、導光部材19側が相対的に厚く、中間体10側が相対的に薄く、外面が凸状に湾曲した形状になる。
次に、第2接着部材20bを硬化させる。これにより、第2接着部材20bが透光層20となる。
次に、図2B~図2D、図3に示す工程を実施する。図2Dに示す工程においては、導光部材19もダイシングする。これにより、複数の発光装置4が製造される。なお、本実施形態においては、図16Cに示す工程において、構造体40に含まれる複数の発光素子15と、1枚の板状の導光部材19とが接着される。但し、これには限定されず、複数の導光部材19を準備し、発光素子15と導光部材19とを一対一で接着してもよい。尚、発光素子15と導光部材19は透光層20を介して接着される。
図17に示すように、本実施形態に係る発光装置4においては、透光層20における発光素子15の半導体部分16の側方に配置された部分の外面20cが凸状に湾曲する。外面20cは被覆部材22との界面である。これにより、半導体部分16の側面から出射した光が、外面20cにおいて、上方に向けて反射されると共に集光される。このため、本実施形態に係る発光装置4は、光の取出効率が高い。
また、発光装置4においては、導光部材19の側面が被覆部材22から外部に露出している。
前述の各実施形態及びその変形例は、本発明を具現化した例であり、本発明はこれらの実施形態及び変形例には限定されない。例えば、前述の各実施形態及び各変形例において、いくつかの構成要素又は工程を追加、削除又は変更したものも本発明に含まれる。また、前述の各実施形態及び各変形例は、相互に組み合わせて実施することができる。
例えば、前述の各実施形態及びその変形例においては、発光装置に導光部材19を設ける例を示したが、導光部材19は設けなくてもよい。この場合は、被覆部材22の上面に透光層20が露出していてもよく、発光素子15の光取出面15bが露出していてもよい。
本発明は、例えば、照明装置及び表示装置の光源等に利用することができる。
1、1a、1b、2、2a、2b、2c、2d、3、4:発光装置
10:中間体
11:支持体
11a:ダイシングラインマーク
12:絶縁部材
12a:開口部
12b:上面
13:導電部材
13a:第1部
13b:第2部
13c:金めっき層
13d:銅めっき層
13e:ニッケルめっき層
13f:金めっき層
13g:上面
14:接合部材
14a:下部
14b:上部
15:発光素子
15a:電極形成面
15b:光取出面
15c:側面
16:半導体部分
17:電極
19:導光部材
19a:母材
19b:蛍光体
20:透光層
20a:第1接着部材
20b:第2接着部材
20c:外面
22:被覆部材
22m:中間被覆部材
31:蛍光体層
31a:母材
31b:蛍光体
32:透光層
40:構造体
100:接着シート
101:ダイシングライン
102:容器
Wa、Wb:幅
t1、t2、t3、t4:厚み

Claims (17)

  1. 支持体と、前記支持体の上面上に配置され、複数の開口部が設けられた絶縁部材と、複数の前記開口部内にそれぞれ配置され、銅又は銅合金を含む導電部材とを含む中間体を準備する工程と、
    前記導電部材と発光素子の電極を接続する工程と、
    前記発光素子の側面を覆う被覆部材を形成する工程と、
    前記絶縁部材を外部に露出させるように前記支持体を除去する工程と、
    前記絶縁部材を除去する工程と、
    を備えた発光装置の製造方法。
  2. 前記支持体を除去する工程は、前記支持体をエッチングすることにより除去する請求項1に記載の発光装置の製造方法。
  3. 前記中間体において、前記導電部材は、前記開口部内に位置する第1部と、前記絶縁部材の上面よりも上側に位置する第2部と、を含む請求項1又は2に記載の発光装置の製造方法。
  4. 前記第2部は前記絶縁部材の上面に接する請求項3に記載の発光装置の製造方法。
  5. 前記中間体を準備する工程は、
    前記支持体上に前記開口部が設けられた前記絶縁部材を配置する工程と、
    前記開口部内にそれぞれ配置された前記導電部材をめっきにより形成する工程と、
    を有する請求項1~のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
  6. 前記被覆部材を形成する工程の前に、前記発光素子上に導光部材を設ける工程をさらに備えた請求項1~のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
  7. 前記被覆部材を形成する工程において、前記被覆部材は前記導光部材の側面を覆う請求項に記載の発光装置の製造方法。
  8. 前記被覆部材を形成する工程は、
    前記導光部材の上面を覆う中間被覆部材を形成する工程と、
    前記中間被覆部材の一部を除去することにより前記導光部材を前記中間被覆部材から露出させて前記被覆部材を形成する工程と、
    を有する請求項に記載の発光装置の製造方法。
  9. 前記導光部材は、蛍光体を含む蛍光体層、及び、前記蛍光体層上に設けられ蛍光体を含まない透光層を含む請求項のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
  10. 前記発光素子は前記電極が位置する電極形成面と、前記電極形成面の反対側に位置する光取出面を有し、
    前記発光素子上に前記導光部材を設ける工程は、
    前記光取出面を液体状の第1接着部材に接触させることにより、前記光取出面に前記第1接着部材の一部である第2接着部材を形成する工程と、
    前記光取出面を下方に向けた状態で、前記第2接着部材を介して前記光取出面を前記導光部材に繋げる工程と、
    前記第2接着部材を硬化させる工程と、
    を有する請求項のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
  11. 前記支持体は、銅又は銅合金を含む請求項1~10のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
  12. 一対の電極が位置する電極形成面と、前記電極形成面の反対側に位置する光取出面と、前記電極形成面と前記光取出面の間に位置する側面を有する発光素子と、
    前記発光素子の前記一対の電極とそれぞれ接続される一対の導電部材と、
    前記発光素子の側面を覆う被覆部材と、
    を備え、
    各前記導電部材は、第1部と、前記電極と前記第1部の間に位置する第2部と、有し、
    断面視において、前記第1部の幅は前記第2部の幅よりも狭く、
    前記第2部の側面は前記被覆部材に覆われ、
    前記第1部の側面の少なくとも一部は前記被覆部材から露出し、
    各前記導電部材は、
    前記導電部材の下面を構成する第1金めっき層と、
    前記第1金めっき層上に配置され、前記第1金めっき層よりも厚い銅めっき層と、
    前記銅めっき層上に配置され、前記銅めっき層よりも薄いニッケルめっき層と、
    前記ニッケルめっき層上に配置され、前記導電部材の上面を構成し、前記銅めっき層よりも薄い第2金めっき層と、
    を有し、
    前記第1部は前記第1金めっき層及び前記銅めっき層の下部を含み、
    前記第2部は前記銅めっき層の上部、前記ニッケルめっき層及び前記第2金めっき層を含む発光装置。
  13. 前記一対の導電部材に接続され、前記一対の電極の側面の少なくとも一部及び下面を覆う一対の接合部材をさらに備えた請求項12に記載の発光装置。
  14. 前記第2部の下面は前記被覆部材から露出する請求項12または13に記載の発光装置。
  15. 前記導電部材の外縁に位置する前記第2部の厚みは、前記導電部材の中央に位置する前記第2部の厚みよりも薄い請求項14に記載の発光装置。
  16. 前記発光素子上に位置する導光部材をさらに備えた請求項12~15のいずれか1つに記載の発光装置。
  17. 前記導光部材は、
    蛍光体を含む蛍光体層と、
    前記蛍光体層上に設けられ、蛍光体を含まない透光層と、
    を有する請求項16に記載の発光装置。
JP2020011502A 2020-01-28 2020-01-28 発光装置及びその製造方法 Active JP7454781B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020011502A JP7454781B2 (ja) 2020-01-28 2020-01-28 発光装置及びその製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020011502A JP7454781B2 (ja) 2020-01-28 2020-01-28 発光装置及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021118286A JP2021118286A (ja) 2021-08-10
JP7454781B2 true JP7454781B2 (ja) 2024-03-25

Family

ID=77175215

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020011502A Active JP7454781B2 (ja) 2020-01-28 2020-01-28 発光装置及びその製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7454781B2 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011099384A1 (ja) 2010-02-09 2011-08-18 日亜化学工業株式会社 発光装置および発光装置の製造方法
JP2016058447A (ja) 2014-09-05 2016-04-21 大日本印刷株式会社 Ledパッケージおよびその製造方法、ならびにled素子搭載基板およびその製造方法
JP2017168819A (ja) 2016-01-28 2017-09-21 マブン オプトロニックス カンパニー リミテッドMaven Optronics Co., Ltd. 非対称放射パターンを有する発光素子およびその製造方法
JP2019029478A (ja) 2017-07-28 2019-02-21 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法
US20190067539A1 (en) 2017-08-22 2019-02-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor light emitting element package including solder bump
JP2019212649A (ja) 2018-05-31 2019-12-12 マクセルホールディングス株式会社 半導体装置用基板とその製造方法、および半導体装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011099384A1 (ja) 2010-02-09 2011-08-18 日亜化学工業株式会社 発光装置および発光装置の製造方法
US20130037842A1 (en) 2010-02-09 2013-02-14 Motokazu Yamada Light emitting device and method for manufacturing light emitting device
JP2016058447A (ja) 2014-09-05 2016-04-21 大日本印刷株式会社 Ledパッケージおよびその製造方法、ならびにled素子搭載基板およびその製造方法
JP2017168819A (ja) 2016-01-28 2017-09-21 マブン オプトロニックス カンパニー リミテッドMaven Optronics Co., Ltd. 非対称放射パターンを有する発光素子およびその製造方法
JP2019029478A (ja) 2017-07-28 2019-02-21 日亜化学工業株式会社 発光装置の製造方法
US20190067539A1 (en) 2017-08-22 2019-02-28 Samsung Electronics Co., Ltd. Semiconductor light emitting element package including solder bump
JP2019212649A (ja) 2018-05-31 2019-12-12 マクセルホールディングス株式会社 半導体装置用基板とその製造方法、および半導体装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021118286A (ja) 2021-08-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11276802B2 (en) Light emitting device
JP5251038B2 (ja) 発光装置
JP4961887B2 (ja) 固体素子デバイス
TWI528595B (zh) 晶圓等級led封裝及其製造方法
JP4881358B2 (ja) 発光装置
TWI589030B (zh) 發光裝置
US10461227B2 (en) Method for manufacturing light emitting device, and light emitting device
WO2013168802A1 (ja) Ledモジュール
JP2009059883A (ja) 発光装置
JP2013183020A (ja) 半導体発光装置およびその製造方法
TW201517310A (zh) 半導體發光裝置
JP4590994B2 (ja) 発光装置およびその製造方法
JP2010135488A (ja) 発光装置及びその製造方法
KR102100923B1 (ko) 발광 디바이스 및 제조방법
JP5407116B2 (ja) 発光装置
JP2008251664A (ja) 照明装置
JP2007335462A (ja) 半導体複合素子およびその製造方法
JP2007335734A (ja) 半導体装置
JP7454781B2 (ja) 発光装置及びその製造方法
CN107768360B (zh) 发光装置
JP2015041722A (ja) 半導体発光装置
US11227983B2 (en) Light emitting device and method of manufacturing the light emitting device
JP6399057B2 (ja) 発光装置
JP6565895B2 (ja) 半導体装置用パッケージ及び半導体装置
JP7386417B2 (ja) 発光装置及びその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230106

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230927

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20231019

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231213

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240209

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240222

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7454781

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151