JP7428798B2 - ポリエステルフィルムの製造方法、ポリエステルフィルム、積層フィルム - Google Patents

Description

本発明は、ポリエステルフィルムの製造方法、ポリエステルフィルム、及び、積層フィルムに関する。

２軸配向ポリエステルフィルムは、加工性、機械的性質、電気的性質、寸法安定性、透明性、及び、耐薬品性等の観点から幅広い用途に使用されており、例えば、加飾フィルム、ドライフィルムフォトレジストの支持体及び保護フィルム、磁気テープ、及び、積層セラミックコンデンサー製造用のセラミックグリーンシートの作製等に用いられる剥離フィルム等の各種用途に使用されている。

一方、２軸配向ポリエステルフィルムの製造工程において、ポリエステルフィルムの搬送時に生じるシワ（搬送シワ）の発生を抑制する技術として、表面に粒子含有層を設ける技術が知られている。
例えば、特許文献１には、レジスト塗布面の逆面側に平均粒径が４０ｎｍより大きな粒子を含有しない、平均厚さ３～８０ｎｍの易滑樹脂層を積層した二軸配向ポリエステルフィルムであって、ポリエステルフィルムの易滑樹脂層側の１０点平均粗さ（ＳＲｚ）、ヘイズ、静摩擦係数（μｓ）、１５０℃での熱収縮応力が特定されたフォトレジスト用ポリエステルフィルムが開示されている。

特開２００４－３６１４４６号公報

本発明者らは、特許文献１に記載された技術を参考にして、粒子含有層を有するポリエステルフィルムの製造方法について更に検討したところ、２軸配向ポリエステルフィルムに機能層を形成して積層フィルムを製造する際、機能層の形成前には凹凸又はシワ等が視認されないにもかかわらず、２軸配向ポリエステルフィルムの表面に液状の組成物（例えば、塗布液）を塗布し、加熱処理をして機能層を形成した後の積層フィルムにおいて、機能層の厚みムラが発生することがあることを知見した。
このような機能層の厚みムラは、例えば、機能層として加飾層を有する加飾フィルムでは、加飾層の厚みムラは色ムラとして表され、加飾フィルムの視認性を低下させるおそれがある。また、他の機能層においても厚みムラが生じると、機能性を有する積層フィルムの特性又は外観に影響を及ぼす可能性がある。

本発明は、上記実情に鑑みて、ポリエステルフィルムの表面上に設けられる機能層の厚みムラをより抑制できるポリエステルフィルムの製造方法を提供することを課題とする。
また、本発明は、表面上に設けられる機能層の厚みムラをより抑制できるポリエステルフィルム、及び、積層フィルムを提供することを課題とする。

本発明者らは、上記課題について鋭意検討した結果、以下の構成により上記課題を解決できることを見出した。

〔１〕
ポリエステルを含有する溶融樹脂をフィルム状に押し出して、ポリエステル基材を少なくとも含む未延伸ポリエステルフィルムを形成する押出成形工程と、上記未延伸ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸して１軸配向ポリエステルフィルムを形成する縦延伸工程と、上記１軸配向ポリエステルフィルムを幅方向に延伸して２軸配向ポリエステルフィルムを形成する横延伸工程と、上記２軸配向ポリエステルフィルムを加熱して熱固定する熱固定工程と、上記熱固定工程により熱固定されたポリエステルフィルムを上記熱固定工程よりも低い温度で加熱して熱緩和する熱緩和工程と、上記熱緩和工程により熱緩和されたポリエステルフィルムを冷却する冷却工程と、上記冷却工程において、上記熱緩和されたポリエステルフィルムを幅方向に拡張する拡張工程と、を有する、ポリエステル基材と、上記ポリエステル基材の少なくとも一方の表面上にある粒子を含有する粒子含有層と、を有するポリエステルフィルムの製造方法であって、
上記冷却工程における上記ポリエステルフィルムの冷却速度Ｖが、２２００～３５００℃／分であり、かつ、後述する条件１を満たす、ポリエステルフィルムの製造方法。
〔２〕
上記Ａ、上記Ｂ、及び、上記冷却速度Ｖから後述する式（３）により算出される値Ｄが、１～１００００である、〔１〕に記載の製造方法。
〔３〕
上記ポリエステルフィルムの厚さが５０μｍ未満である、〔１〕又は〔２〕に記載の製造方法。
〔４〕
上記縦延伸工程と上記横延伸工程との間に、上記粒子を含有する塗布液を用いて上記粒子含有層を形成する工程を更に有するか、又は、上記押出成形工程において、上記粒子及びバインダーを含有する第２の溶融体を上記溶融樹脂と同時に押し出すことにより、上記粒子含有層を形成する工程を更に有する、〔１〕～〔３〕のいずれかに記載の製造方法。
〔５〕
上記熱緩和工程における上記ポリエステルフィルムの表面温度Ｔ２が、２１０℃以下である、〔１〕～〔４〕のいずれかに記載の製造方法。
〔６〕
上記冷却工程による上記ポリエステルフィルムの冷却速度Ｖが、２２００～３０００℃／分である、〔１〕～〔５〕のいずれかに記載の製造方法。
〔７〕
上記ｂが、０％を超え１．２％以下である、〔１〕～〔６〕のいずれかに記載の製造方法。
〔８〕
ポリエステル基材と、上記ポリエステル基材の少なくとも一方の表面上にある、粒子を含有する粒子含有層と、を有するポリエステルフィルムであって、上記ポリエステルフィルムの厚さが５０μｍ未満であり、上記ポリエステルフィルムに対して、搬送速度３０ｍ／分、及び、搬送方向の張力１００Ｎ／ｍの条件で搬送しながら、フィルム表面の温度が９０℃となる条件にて２０秒間加熱処理を行った後、上記ポリエステルフィルムに観察される筋状欠陥領域の面積の合計が、観察領域の全面積に対して４０％以下である、ポリエステルフィルム。
〔９〕
上記ポリエステルフィルムの９０℃における幅方向の膨張率が、上記ポリエステルフィルムの３０℃における幅方向の寸法に対して、－０．１５～０．１５％である、〔８〕に記載のポリエステルフィルム。
〔１０〕
上記ポリエステルフィルムの密度が、１．３９～１．４１ｇ／ｃｍ^３である、〔８〕又は〔９〕に記載のポリエステルフィルム。
〔１１〕
上記ポリエステル基材の厚さが、３～４０μｍであり、上記粒子含有層の厚さが、０．００１～２．５μｍである、〔８〕～〔１０〕のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
〔１２〕
上記粒子含有層が、平均粒子径が１０ｎｍ以上１μｍ未満である粒子Ｐを含有する、〔８〕～〔１１〕のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
〔１３〕
上記粒子Ｐの平均粒子径が、上記粒子含有層の厚さよりも大きい、〔１２〕に記載のポリエステルフィルム。
〔１４〕
上記粒子含有層が、平均粒子径が１０～１００ｎｍである粒子Ｐ１を含有する、〔８〕～〔１３〕のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
〔１５〕
上記粒子含有層が、平均粒子径が１００ｎｍ超４００ｎｍ以下である粒子Ｐ２を含有する、〔８〕～〔１４〕のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
〔１６〕
上記粒子含有層が含む粒子が樹脂粒子であるか、又は、上記粒子含有層が含む粒子が無機粒子であり、かつ、上記ポリエステルフィルムの少なくとも一方の表面の最大山高さＲｐが５～２００ｎｍである、〔８〕～〔１５〕のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
〔１７〕
上記ポリエステル基材が粒子を実質的に含有しない、〔８〕～〔１６〕のいずれかに記載のポリエステルフィルム。
〔１８〕
〔１〕～〔７〕のいずれかに記載の製造方法により製造されたポリエステルフィルム、又は、〔８〕～〔１７〕のいずれかに記載のポリエステルフィルムであって、ポリエステル基材の一方の表面上のみに粒子含有層を有するポリエステルフィルムと、上記ポリエステル基材の上記粒子含有層とは反対側の表面上にあり、加飾層、感光性樹脂層、及び、剥離層からなる群より選択される機能層と、を有する、積層フィルム。
〔１９〕
上記機能層が加飾層であり、上記積層フィルムが加飾フィルムである、〔１８〕に記載の積層フィルム。
〔２０〕
上記機能層が感光性樹脂層であり、上記積層フィルムが感光性転写フィルムである、〔１８〕に記載の積層フィルム。
〔２１〕
上記機能層が剥離層であり、上記積層フィルムがセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムである、〔１８〕に記載の積層フィルム。

本発明によれば、ポリエステルフィルムの表面上に設けられる機能層の厚みムラをより抑制できるポリエステルフィルムの製造方法を提供することができる。
また、本発明によれば、表面上に設けられる機能層の厚みムラをより抑制できるポリエステルフィルム、及び、積層フィルムを提供することができる。

筋状欠陥領域が発生したポリエステルフィルムの観察画像である。 ポリエステルフィルムの製造に用いられる延伸機の一例を示す平面図である。

以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に何ら制限されず、本発明の目的の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。

本開示において、「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。本開示に段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において、組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する複数の物質の合計量を意味する。
本開示において、「工程」との用語には、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本開示において、２以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。

本開示において、単なる「ポリエステルフィルム」との記載は、ポリエステル基材単体、並びに、ポリエステル基材及び粒子含有層の積層体の両者を包含する。
本開示において、「長手方向」とは、ポリエステルフィルムの製造時におけるポリエステルフィルムの長尺方向を意味し、「搬送方向」及び「機械方向」と同義である。
本開示において、「幅方向」とは、長手方向に直交する方向を意味する。本開示において、「直交」は、厳密な直交に限られず、略直交を含む。「略直交」とは、９０°±５°で交わることを意味し、９０°±３°で交わることが好ましく、９０°±１°で交わることがより好ましい。
また、本開示において、「フィルム幅」とは、ポリエステルフィルムの幅方向の両端間の距離を意味する。

［ポリエステルフィルム］
本開示に係るポリエステルフィルム（以下、「本フィルム」とも記載する。）は、ポリエステル基材と、ポリエステル基材の少なくとも一方の表面上にあり、粒子を含有する粒子含有層とを少なくとも有する。
本フィルムの実施形態の一例では、ポリエステルフィルムの厚さが５０μｍ未満であり、後述する加熱処理を行ったポリエステルフィルムに観察される筋状欠陥領域の面積が、観察領域の全面積に対して４０％以下である。

〔構造〕
本フィルムは、上記の通り、ポリエステル基材と、上記基材の少なくとも一方の表面にある粒子含有層とを有する。粒子含有層は、ポリエステル基材の一方の表面にのみ形成されていてもよいし、ポリエステル基材の両面に形成されていてもよい。
以下、ポリエステル基材及び粒子含有層のそれぞれについてより詳しく記載する。

＜ポリエステル基材＞
ポリエステル基材は、主たる重合体成分としてポリエステルを含有するフィルム状の物体である。ここで、「主たる重合体成分」とは、フィルムに含まれる全ての重合体のうち最も含有量（質量）が多い重合体を意味する。
ポリエステル基材は、１種単独のポリエステルを含有していてもよく、２種以上のポリエステルを含有していてもよい。

（ポリエステル）
ポリエステルは、主鎖にエステル結合を有する重合体である。ポリエステルは、通常、後述するジカルボン酸化合物とジオール化合物とを重縮合させることにより形成される。
ポリエステルとしては特に制限されず、公知のポリエステルを利用できる。ポリエステルとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレン－２，６－ナフタレート（ＰＥＮ）、ポリプロピレンテレフタレート（ＰＰＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）及びそれらの共重合体が挙げられ、なかでも、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン－２，６－ナフタレート（ＰＥＮ）、及び、それらの共重合体からなる群より選択される少なくとも１つが好ましく、ＰＥＴがより好ましい。

ポリエステルの固有粘度は、０．５０ｄｌ／ｇ以上０．８０ｄｌ／ｇ未満が好ましく、０．５５ｄｌ／ｇ以上０．７０ｄｌ／ｇ未満がより好ましい。
ポリエステルの融点（Ｔｍ）は、２２０～２７０℃が好ましく、２４５～２６５℃がより好ましい。
ポリエステルのガラス転移温度（Ｔｇ）は、６５～９０℃が好ましく、７０～８５℃がより好ましい。

ポリエステルの製造方法は特に制限されず、公知の方法を利用できる。例えば、触媒存在下で、少なくとも１種のジカルボン酸化合物と、少なくとも１種のジオール化合物とを重縮合させることによりポリエステルを製造できる。

－触媒－
ポリエステルの製造に使用する触媒は、特に制限されず、ポリエステルの合成に使用可能な公知の触媒を利用できる。
触媒としては、例えば、アルカリ金属化合物（例えば、カリウム化合物、ナトリウム化合物）、アルカリ土類金属化合物（例えば、カルシウム化合物、マグネシウム化合物）、亜鉛化合物、鉛化合物、マンガン化合物、コバルト化合物、アルミニウム化合物、アンチモン化合物、チタン化合物、ゲルマニウム化合物及びリン化合物が挙げられる。中でも、触媒活性、及びコストの観点から、チタン化合物が好ましい。
触媒は、１種のみ用いてもよく、２種以上を併用してもよい。カリウム化合物、ナトリウム化合物、カルシウム化合物、マグネシウム化合物、亜鉛化合物、鉛化合物、マンガン化合物、コバルト化合物、アルミニウム化合物、アンチモン化合物、チタン化合物、ゲルマニウム化合物から選択される少なくとも１種の金属触媒と、リン化合物とを併用することが好ましく、チタン化合物とリン化合物を併用することがより好ましい。

チタン化合物としては、有機キレートチタン錯体が好ましい。有機キレートチタン錯体は、配位子として有機酸を有するチタン化合物である。
有機酸としては、例えば、クエン酸、乳酸、トリメリット酸、及びリンゴ酸が挙げられる。
チタン化合物としては、特許第５５７５６７１号公報の段落００４９～段落００５３に記載されたチタン化合物も利用でき、上記公報の記載内容は、本明細書に組み込まれる。

－ジカルボン酸化合物－
ジカルボン酸化合物としては、ジカルボン酸またはジカルボン酸エステルが好ましく、例えば、脂肪族ジカルボン酸化合物、脂環式ジカルボン酸化合物、芳香族ジカルボン酸化合物、及び、それらのメチルエステル化合物又はエチルエステル化合物が挙げられる。中でも、芳香族ジカルボン酸、又は、芳香族ジカルボン酸メチルがより好ましい。

脂肪族ジカルボン酸化合物としては、例えば、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸、ダイマー酸、エイコサンジオン酸、ピメリン酸、アゼライン酸、メチルマロン酸、及びエチルマロン酸が挙げられる。
脂環式ジカルボン酸化合物としては、例えば、アダマンタンジカルボン酸、ノルボルネンジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、及びデカリンジカルボン酸が挙げられる。

芳香族ジカルボン酸化合物としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４－ナフタレンジカルボン酸、１，５－ナフタレンジカルボン酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、１，８－ナフタレンジカルボン酸、４，４’－ジフェニルジカルボン酸、４，４’－ジフェニルエーテルジカルボン酸、５－ナトリウムスルホイソフタル酸、フェニルインダンジカルボン酸、アントラセンジカルボン酸、フェナントレンジカルボン酸、９，９’－ビス（４－カルボキシフェニル）フルオレン酸、及び、それらのメチルエステル体が挙げられる。
中でも、テレフタル酸又は２，６－ナフタレンジカルボン酸が好ましく、テレフタル酸がより好ましい。

ジカルボン酸化合物は１種のみ用いてもよく、２種以上を併用してもよい。ジカルボン酸化合物として、テレフタル酸を使用する場合、テレフタル酸単独で用いてもよく、イソフタル酸等の他の芳香族ジカルボン酸又は脂肪族ジカルボン酸と共重合してもよい。

－ジオール化合物－
ジオール化合物としては、例えば、脂肪族ジオール化合物、脂環式ジオール化合物、及び芳香族ジオール化合物が挙げられ、脂肪族ジオール化合物が好ましい。

脂肪族ジオール化合物としては、例えば、エチレングリコール、１，２－プロパンジオール、１，３－プロパンジオール、１，４－ブタンジオール、１，２－ブタンジオール、１，３－ブタンジオール、及び、ネオペンチルグリコールが挙げられ、エチレングリコールが好ましい。
脂環式ジオール化合物としては、例えば、シクロヘキサンジメタノール、スピログリコール、及びイソソルビドが挙げられる。
芳香族ジオール化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ、１，３―ベンゼンジメタノール，１，４－ベンゼンジメタノール、及び９，９’－ビス（４－ヒドロキシフェニル）フルオレンが挙げられる。
ジオール化合物は、１種のみ用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

－末端封止剤－
ポリエステルの製造においては、必要に応じて、末端封止剤を用いてもよい。末端封止剤を用いることで、ポリエステルの末端に末端封止剤に由来する構造が導入される。
末端封止剤としては、制限されず、公知の末端封止剤を利用できる。末端封止剤としては、例えば、オキサゾリン系化合物、カルボジイミド化合物、及びエポキシ化合物が挙げられる。
末端封止剤としては、特開２０１４－１８９００２号公報の段落００５５～００６４に記載の内容も参照でき、上記公報の内容は、本明細書に組み込まれる。

－製造条件－
反応温度は、制限されず、原材料に応じて適宜設定すればよい。反応温度は、２６０～３００℃が好ましく、２７５～２８５℃がより好ましい。
圧力は、制限されず、原材料に応じて適宜設定すればよい。圧力は、１．３３×１０^－３～１．３３×１０^－５ＭＰａが好ましく、６．６７×１０^－４～６．６７×１０^－５ＭＰａがより好ましい。

ポリエステルの合成方法としては、特許第５５７５６７１号公報の段落００３３～段落００７０に記載された方法も利用でき、上記公報の内容は、本明細書に組み込まれる。

ポリエステル基材におけるポリエステルの含有量は、ポリエステル基材中の重合体の全質量に対して、８５質量％以上が好ましく、９０質量％以上がより好ましく、９５質量％以上が更に好ましく、９８質量％以上が特に好ましい。
ポリエステルの含有量の上限は、制限されず、ポリエステル基材中の重合体の全質量に対して、１００質量％以下の範囲で適宜設定できる。

ポリエステル基材がポリエチレンテレフタレートを含有する場合、ポリエチレンテレフタレートの含有量は、ポリエステル基材中のポリエステルの全質量に対して、９０～１００質量％が好ましく、９５～１００質量％がより好ましく、９８～１００質量％が更に好ましく、１００質量％が特に好ましい。

ポリエステル基材は、ポリエステル以外の成分（例えば、触媒、未反応の原料成分、及び、水等）を含有してもよい。
ポリエステル基材は、粒子を実質的に含有しないことが好ましい。ここで、「粒子を実質的に含有しない」とは、ポリエステル基材及び粒子含有層の両者について、蛍光Ｘ線分析で粒子に由来する元素を定量分析した際に、粒子の含有量がポリエステル基材の全質量に対して５０質量ｐｐｍ以下であることで定義され、好ましくは１０質量ｐｐｍ以下であり、より好ましくは検出限界以下である。これは積極的に粒子を基材フィルム中に添加させなくても、外来異物由来のコンタミ成分、または、原料樹脂あるいはフィルムの製造工程におけるライン又は装置に付着した汚れが剥離して、フィルム中に混入する場合があるためである。

ポリエステル基材の厚さは、ヘイズ値の上昇を抑制できる点で、１００μｍ以下が好ましく、５０μｍ以下がより好ましく、４０μｍ以下が更に好ましい。厚さの下限は特に制限されないが、強度が向上し、加工性が向上する点で、３μｍ以上が好ましく、４μｍ以上がより好ましく、１０μｍ以上が更に好ましい。
ポリエステル基材の厚さは、後述するポリエステルフィルムの厚さの測定方法に従って、測定される。

＜粒子含有層＞
粒子含有層は、粒子を含有する層であり、ポリエステル基材の少なくとも一方の表面に形成される。本フィルムは、粒子含有層を有することで搬送性を向上できる。より具体的には、巻き品質を向上（ブロッキングを抑制）し、搬送時のキズ及び欠陥の発生を抑制し、搬送シワを低減することができる。
粒子含有層は、ポリエステル基材の表面に直接設けてもよく、他の層を介してポリエステル基材の表面に設けてもよいが、密着性がより優れる点で、ポリエステル基材の表面に直接設けることが好ましい。

粒子含有層が含有する粒子としては、例えば、有機粒子、及び無機粒子が挙げられる。中でも、フィルム巻き品質、ヘイズ、及び耐久性（例えば、熱安定性）がより向上する観点から、無機粒子が好ましい。
有機粒子としては、樹脂粒子が好ましい。樹脂粒子を構成する樹脂としては、例えば、ポリメタクリル酸メチル樹脂（ＰＭＭＡ）等のアクリル樹脂、ポリエステル樹脂、シリコーン樹脂、及び、スチレン－アクリル樹脂が挙げられる。樹脂粒子は、架橋構造を有することが好ましい。架橋構造を有する樹脂粒子としては、例えば、ジビニルベンゼン由来の架橋構造を有するジビニルベンゼン架橋粒子（例えば、ジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子）が挙げられる。転写痕が抑制される観点からは、樹脂粒子が好ましい。
無機粒子としては、例えば、シリカ粒子（二酸化ケイ素粒子）、チタニア粒子（酸化チタン粒子）、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、及び、アルミナ粒子（酸化アルミニウム粒子）が挙げられる。上記の中でも、無機粒子は、ヘイズ、及び、耐久性がより向上する観点から、シリカ粒子であることが好ましい。

粒子の形状は、特に制限されず、例えば、米粒状、球形状、立方体状、紡錘形状、鱗片状、凝集状、及び、不定形状が挙げられる。凝集状とは、１次粒子が凝集した状態を意味する。凝集状にある粒子の形状は制限されないが、球状又は不定形状が好ましい。

粒子含有層は、凝集粒子、非凝集粒子の少なくともいずれかを有する塗布液をインラインコーティングにて形成することが好ましい。ここで、凝集粒子とは、塗布液中で凝集状にある粒子を意味し、非凝集粒子とは、塗布液中で凝集状態にない粒子を意味する。

凝集粒子としては、ヒュームドシリカ粒子が好ましく挙げられる。入手可能な市販品としては、例えば、日本アエロジル株式会社のアエロジルシリーズが挙げられる。
非凝集粒子としては、コロイダルシリカ粒子が好ましく挙げられる。入手可能な市販品としては、例えば、日産化学株式会社製のスノーテックスシリーズが挙げられる。

粒子含有層は、１種単独の粒子を含有していてもよく、２種以上の粒子を含有していてもよい。
粒子の含有量は、フィルムの巻き品質の向上、及び、転写欠陥の抑制の観点から、粒子含有層の全質量に対して、０．０１～２０質量％が好ましく、０．５～１５質量％がより好ましく、１～１０質量％が更に好ましい。
また、粒子の含有量は、ポリエステルフィルムの全質量に対して、０．０００１～０．０１質量％が好ましく、０．０００５～０．００５質量％がより好ましい。

（粒子Ｐ）
粒子含有層は、巻き品質の向上及び転写故障の抑制の点で、平均粒子径が１０ｎｍ以上１μｍ未満である粒子Ｐを含有することが好ましい。
粒子Ｐの平均粒子径は、巻き品質をより向上できる点で、０．０３μｍ以上が好ましい。また、粒子Ｐの平均粒子径は、転写故障をより抑制できる点で、０．４μｍ以下が好ましく、０．２５μｍ以下がより好ましい。
また、ある実施形態では、搬送性及び巻き品質の向上の点で、粒子Ｐの平均粒子径は、粒子含有層の厚さよりも大きいことが好ましい。換言すると、粒子含有層は、平均粒子径が１０ｎｍ以上１μｍ未満であり、且つ、粒子含有層の厚さよりも大きい平均粒子径を有する粒子Ｐを含有することが好ましい。

粒子含有層が、粒子径の異なる２種以上の粒子を含有する場合、粒子径の異なる２種以上の粒子のうち少なくとも１種が粒子Ｐであることが好ましく、転写故障及び巻き品質がより向上する観点から、粒子含有層が粒子径の異なる２種以上の粒子Ｐを含有することがより好ましい。

粒子含有層に含まれる粒子の平均粒子径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Scanning Electron Microscope）又は透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ：Transmission Electron Microscope）を用いて、下記の方法により求められる。即ち、粒子含有層の断面をＳＥＭ又はＴＥＭにより観察し、３μｍ×４μｍの視野に存在する全ての粒子について、画像ソフトウエアを用いて個々の粒子の面積を測定し、同一面積を有する円の直径（面積円相当径）を算出して、得られる面積円相当径の算術平均値を粒子の平均粒子径とする。
なお、平均粒子径の測定において、凝集粒子については、凝集した状態の２次粒子の粒子径（２次粒子径）を測定するものとする。
また、粒子含有層が、粒子径の異なる２種以上の粒子を含有する場合、上記の測定方法で測定される面積円相当径の分布には、粒子径の異なる２以上のピークが見られる。このように、上記の測定方法で測定される面積円相当径の分布が、粒子径の異なる２以上のピークを有している場合、それぞれのピークごとに面積円相当径の平均値を算出して、粒子径の異なるそれぞれの粒子について、平均粒子径を算出するものとする。

粒子含有層は、１種単独の粒子Ｐを含有していてもよく、２種以上の粒子Ｐを含有していてもよい。
粒子Ｐの含有量は、その好ましい態様も含めて、上記の粒子の含有量と同じであってよい。

ある実施形態では、粒子含有層は、透明性及び転写故障の観点から、平均粒子径が小さい粒子（以下「粒子Ｐ１」ともいう。）を含有することが好ましい。具体的には、粒子含有層は、粒子Ｐ１として、平均粒子径が１００ｎｍ以下の粒子を含有することが好ましく、平均粒子径が７０ｎｍ以下の粒子を含有することがより好ましい。粒子Ｐ１の下限は特に制限されないが、巻き品質がより向上する点から、１０ｎｍ以上が好ましい。

粒子Ｐ１は、１種単独で用いてもよく、２種以上を用いてもよい。
粒子Ｐ１の含有量は、ポリエステルフィルムの目的及び／又は用途によって異なるが、粒子含有層の全質量に対して、０．０１～２０質量％が好ましく、０．５～１５質量％がより好ましく、１～１０質量％が更に好ましい。

ある実施形態では、粒子含有層は、巻き品質を向上させる観点から、平均粒子径が大きい粒子（以下「粒子Ｐ２」ともいう。）を含有することが好ましい。具体的には、粒子含有層は、粒子Ｐ２として、平均粒子径が１００ｎｍ超の粒子を含有することが好ましい。粒子Ｐ２の上限は特に制限されないが、１μｍ未満が好ましく、転写故障及び巻き品質をより向上する観点から、４００ｎｍ以下がより好ましく、２５０ｎｍ以下が更に好ましい。

粒子Ｐ２は、凝集粒子であっても非凝集粒子であってもよいが、転写故障の観点から凝集粒子であることが好ましい。
粒子Ｐ２としての凝集粒子は、平均２次粒子径が１００ｎｍ超であることが好ましい。また、凝集粒子は、平均１次粒子径が１００ｎｍ以下の粒子が凝集していることが好ましい。平均１次粒子径が１００ｎｍ以下の粒子が凝集した、平均２次粒子径が１００ｎｍ超の凝集粒子を用いると、特に、インラインコーティングにて粒子含有層を形成した際に、所望のＲｐとすることができ、転写故障及び巻き品質をより向上できる。

粒子Ｐ２は、１種単独で用いてもよく、２種以上を用いてもよい。
粒子Ｐ２の含有量は、ポリエステルフィルムの目的及び／又は用途によって異なるが、粒子含有層の全質量に対して、０．０１～１５質量％が好ましく、０．０５～１０質量％がより好ましく、０．１～５質量％が更に好ましい。

粒子含有層は、転写故障及び巻き品質を更に向上する観点から、少なくとも１種の粒子Ｐ１と、少なくとも１種の粒子Ｐ２とを含有することが好ましい。

粒子含有層に含有される粒子については、目的及び／又は用途に応じて適宜選択できる。
微細パターンを形成するためのドライフィルムレジストの支持体として使用する場合には、支持体を介して露光する際に、粒子が光散乱させるとパターン欠陥の原因となってしまうため、支持体には高い透明性が求められる。透明性をより向上させる観点からは、粒子Ｐ１の含有量が、粒子含有層に含有される全粒子の合計含有量に対して、５０～１００質量％であることが好ましく、７０～１００質量％であることがより好ましい。
この場合、残部は粒子Ｐ２であることが好ましい。

一方で、生産性を向上する目的でより高速で搬送する必要がある場合には、高い搬送性が求められる。搬送性をより向上させる観点からは、粒子Ｐ２の含有量が、粒子含有層に含有される全粒子の合計含有量に対して、１０～１００質量％であることが好ましく、１０～５０質量％がより好ましく、１０～３０質量％が更に好ましい。
この場合、残部は粒子Ｐ１であることが好ましい。

（バインダー）
粒子含有層は、バインダーを含有することが好ましい。バインダーとしては、樹脂バインダーが好ましい。樹脂バインダーとしては、例えば、ポリアクリル、ポリウレタン、ポリエステル及びポリオレフィンが挙げられる。

ポリアクリルとしては、アクリル酸エステル、及びメタクリル酸エステルからなる群より選択される少なくとも１種の化合物に由来する構成単位を有する重合体であれば制限されず、公知のポリアクリルを利用できる。ポリアクリルは、アクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル以外の化合物（例えば、オレフィン化合物、及びスチレン化合物）に由来する構成単位を有していてもよい。
ポリウレタンとしては、ウレタン結合を有する重合体であれば制限されず、公知のポリウレタンを利用できる。ポリウレタンは、通常、イソシアネート化合物とポリオール化合物とを反応させることにより製造される。
ポリエステルとしては、上記「ポリエステル」の項目において説明したポリエステルを適用でき、好ましい種類も同様である。
ポリオレフィンとしては、制限されず、公知のポリオレフィンを利用できる。ポリオレフィンとしては、例えば、ポリエチレン、及びポリプロピレンが挙げられる。

粒子含有層は、１種単独のバインダーを含有していてもよく、２種以上のバインダーを含有していてもよい。
バインダーの含有量は、粒子含有層の耐久性及び／又は粒子の分散性の観点から、粒子含有層の全質量に対して、３０～９９．８質量％が好ましく、５０～９９．５質量％がより好ましい。

（添加剤）
粒子含有層は、上記の粒子及びバインダー以外の添加剤を含有していてもよい。
粒子含有層に含有される添加剤としては、例えば、界面活性剤、ワックス、架橋剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、着色剤、強化剤、可塑剤、帯電防止剤、難燃剤、防錆剤、及び、防黴剤が挙げられる。

界面活性剤としては、特に制限されず、アニオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、及び、両性界面活性剤が挙げられる。
界面活性剤は１種用いてもよいし、２種以上併用してもよい。
界面活性剤の含有量は、粒子含有層の全質量に対して、０．１～１０質量％が好ましい。

ワックスとしては、特に制限されず、天然ワックスも合成ワックスでもよい。天然ワックスとしては、カルナバワックス、キャンデリラワックス、ミツロウ、モンタンワックス、パラフィンワックス、及び、石油ワックスが挙げられる。その他、国際公開２０１７／１６９８４４号明細書の［００８７］の記載の滑り剤も使用できる。
ワックスの含有量は、粒子含有層の全質量に対して、０～１０質量％が好ましい。

架橋剤としては、特に制限されず、公知のものを使用できる。
架橋剤としては、例えば、メラミン化合物、オキサゾリン化合物、エポキシ化合物、イソシアネート系化合物、及び、カルボジイミド系化合物が挙げられ、オキサゾリン系化合物及びカルボジイミド系化合物が好ましい。市販品としては、例えば、カルボジライトＶ－０２－Ｌ２（日清紡（株）製）及びエポクロスＫ－２０２０Ｅ（日本触媒（株）製）が挙げられる。エポキシ系化合物、イソシアネート系化合物、及びメラミン系化合物の詳細については、特開２０１５－１６３４５７号公報の［００８１］～［００８３］の記載を参照することができる。国際公開２０１７／１６９８４４号明細書の［００８２］～［００８４］の記載の架橋剤も好ましく使用できる。カルボジイミド化合物としては、特開２０１７－０８７４２１号公報の［００３８］～［００４０］の記載を参照できる。
オキサゾリン化合物、カルボジイミド化合物、および、イソシアネート化合物については、国際公開２０１８／０３４２９４号明細書の［００７４］～［００７５］の記載の架橋剤も好ましく使用できる。
架橋剤の含有量は、用途に応じて適宜変更でき、粒子含有層の全質量に対して、０～５０質量％が好ましい。ドライフィルムの支持体として適する点では、架橋剤の含有量は、粒子含有層の全質量に対して０．１～１０質量％であることが好ましい。

粒子含有層の厚さは、０．００１～５μｍであってもよいが、粒子含有層の製造適性、及び、ヘイズ低減の観点から、０．００１～２．５μｍが好ましく、０．００５～２．０μｍがより好ましく、０．０１～０．１８μｍが更に好ましく、０．０１～０．１μｍが特に好ましい。
粒子含有層の厚さは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）又は透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）を用いて測定される５か所の厚さの算術平均値とする。

粒子含有層の形成方法については、後述する「粒子含有層形成工程」において詳しく説明する。

本フィルムは、ポリエステル基材及び粒子含有層以外の層を有していてもよいが、ポリエステル基材及び粒子含有層からなることが好ましい。また、本フィルムは、ポリエステル基材の一方の表面に形成された粒子含有層を１層のみ有することが好ましい。

〔物性等〕
次に、本フィルムの物性等について説明する。

（配向性）
本フィルムは、２軸配向ポリエステルフィルムである。本開示において「２軸配向」とは、２軸方向に分子配向性を有する性質を意味する。
分子配向性は、マイクロ波透過型分子配向計（例えば、ＭＯＡ－６００４、株式会社王子計測機器社製）を用いて測定する。２軸方向のなす角は、９０°±５°が好ましく、９０°±３°がより好ましく、９０°±１°が更に好ましい。本フィルムは、長手方向及び幅方向に分子配向性を有することが好ましい。

（筋状欠陥領域）
本フィルムは、下記の加熱処理を行ったポリエステルフィルムに観察される筋状欠陥領域の面積の合計が、観察領域の全面積に対して４０％以下であることが好ましい。

本開示において「筋状欠陥」とは、フィルムの長手方向に沿って筋状に延び、かつ、フィルムの幅方向においては凹凸として現れるシワをいう。後述するように、筋状欠陥は製造後のフィルムに生じるものであるから、不可逆的に発生するシワである場合が多い。筋状欠陥は、フィルムの製造時の熱処理において生じるものではなく、製造後のフィルムに対する熱処理において生じる波状のシワに由来し、上記波状のシワが、熱処理後の冷却により固化したものである。そして、「筋状欠陥領域」とは、フィルム面内において筋状欠陥が発生した部分を意味する。
筋状欠陥領域が発生（すなわち、フィルム面内において筋状欠陥が部分的に発生）すると、フィルム上に形成された機能層に厚みムラを生じさせ、機能層の特性又は外観に影響を及ぼす可能性がある。さらに、筋状欠陥領域は、フィルムの長手方向に引張荷重が加えられた状態で加熱された際に顕著に発生する傾向にある。
それに対して、２軸配向ポリエステルフィルムに対して下記の加熱処理を行った後に観察される筋状欠陥領域の面積の合計が上記範囲以下である場合、フィルム上に形成された機能層の厚みムラを低減できる。

本フィルムにおいて、９０℃で加熱した場合に発生する筋状欠陥領域の合計面積のポリエステルフィルムの観察領域の全面積に対する比率（以下、「筋状欠陥領域の面積比」ともいう。）は、４０％以下が好ましく、３０％以下がより好ましく、１８％以下が更に好ましい。筋状欠陥領域の面積比の値は小さいほどよく、下限としては、例えば、０％が挙げられる。
また、本フィルムにおいて、１２０℃で加熱した場合に発生する筋状欠陥領域の面積比は、９０％以下が好ましく、６５％以下がより好ましく、４０％以下が更に好ましい。
筋状欠陥領域の面積比が上記範囲以下であることで、本フィルム上に形成される機能層の厚みムラを低減できる。筋状欠陥領域の面積比の値は小さいほどよく、下限としては、例えば、０％が挙げられる。
筋状欠陥領域の面積比の下限は特に制限されないが、９０℃又は１２０℃で加熱した場合に発生する筋状欠陥領域の面積比は、少ないことが好ましく、筋状欠陥領域がない、つまり０％であることがより好ましい。

９０℃及び１２０℃の各温度で加熱した場合に発生する筋状欠陥領域の面積比は、以下の方法により測定する。
（１）加熱搬送装置を用いて、ポリエステルフィルムに対して、搬送速度３０ｍ／分、及び、搬送方向の張力１００Ｎ／ｍの条件で搬送しながら、フィルムの表面温度が９０℃又は１２０℃で加熱処理を２０秒間行う。加熱処理における加熱時間は、フィルムの表面温度が目的とする温度（９０℃又は１２０℃）に達した時点から起算し、そこから連続した２０秒間、加熱する。ここで、フィルムの表面温度は、非接触式温度計（例えば、放射温度計）を用いて測定できる。フィルムの表面温度は、フィルムの幅方向の両端に対しておよそ等距離にある中央部の温度が、目的とする温度になったか否かを計測する。
（２）加熱処理を施したポリエステルフィルムを黒色の平板上に置き、次いで、室内の天井に設置された蛍光灯〔例えば、三菱電機株式会社製のルピカエース（色温度：５０００Ｋ、平均演色評価数（Ｒａ）：８４）〕の光が反射するように視点を変えながらポリエステルフィルムを斜めから目視で観察する。目視により観察される、ポリエステルフィルムの表面に映った蛍光灯の反射像がうねっている領域を筋状欠陥領域とする。
（３）観察される筋状欠陥領域の個数を数えるとともに、目視で観察されるポリエステルフィルムの観察領域（面積１ｍ^２の領域）に存在する各筋状欠陥領域の外周をマーキングする。次いで、各筋状欠陥領域の外周に外接する平行な２本の接線のうち、接線間の距離が最大となるように選ばれる平行な２本の接線の距離を長軸の長さＬと、長さＬを与える平行な２本の接線に直交し、且つ、筋状欠陥領域の外周に外接する平行な２本の接線の距離を短軸の長さＳとを計測する。得られた長さＬ及びＳから、下記式により各筋状欠陥領域の面積を算出する。これらの値から、筋状欠陥領域の合計面積のポリエステルフィルムの観察領域の全面積に対する比率を算出する。
筋状欠点領域の長軸の長さＬ×筋状欠点領域の短軸の長さＳ×π＝筋状欠点領域の面積
筋状欠陥領域は、上記の通り楕円状又は円状であることが多いため、上記（３）の算出方法により筋状欠陥領域の面積が算出できる。

図１に、上記（１）の加熱処理により発生した筋状欠陥領域が観察されるポリエステルフィルムの画像（写真）を示す。図１において示す実線で囲まれた領域が筋状欠陥領域である。図１に示す筋状欠陥領域では、搬送（ＭＤ）方向に延びる凹凸形状が観察される。なお、図１に示す画像（写真）は、観察領域の一部のみを示している。
このように、筋状欠陥領域は、楕円形状又は円形状であることが多い。また、筋状欠陥領域が発生する場合、長軸の方向が搬送方向に沿っている楕円形状の筋状欠陥領域が少なくとも１つ現れることが多い。

筋状欠陥領域の面積比が上記範囲にある２軸配向ポリエステルフィルムは、ポリエステルフィルムの製造方法において、冷却工程におけるポリエステルフィルムの冷却速度Ｖが２２００～３５００℃／分となり、かつ、後述する条件１を満たすように各工程の条件を設定することにより、製造できる。

（膨張率）
ポリエステルフィルムは、９０℃及び１２０℃における幅方向の膨張率が、それぞれ、３０℃におけるフィルム幅に対して、－０．１５～０．１５％であることが好ましく、－０．１０～０．１０％であることがより好ましく、０～０．１０％であることが更に好ましく、０～０．０５％であることが特に好ましい。
ポリエステルフィルムにおける９０℃及び１２０℃における幅方向の膨張率を上記範囲に調整することで、加熱過程におけるフィルムの幅方向への膨張を抑えるだけでなく、フィルム面の場所ごとの膨張率ムラを小さくできる。その結果、加熱に起因する筋状欠陥領域の発生を抑制できると推察される。

９０℃及び１２０℃の各温度における幅方向の膨張率は、熱機械分析装置を用いて以下の方法により測定する。
（１）２軸配向フィルムの幅方向に対して平行な方向に少なくとも２０ｍｍ、２軸配向フィルムの幅方向に対して直交する方向に４ｍｍの寸法に調節された試料を準備する。
（２）熱機械分析装置（例えば、ＴＭＡ－６０、株式会社島津製作所製）を用い、幅４ｍｍ及び長さ（チャック間距離）２０ｍｍの試料に対し、引張荷重０．１ｇを負荷する。
（３）上記試料を２０℃以上３０℃未満の温度（好ましくは２５℃）から１５０℃まで昇温速度５℃／分で昇温させることにより、各温度（℃）における試料の寸法の値を得る。
（４）３０℃における試料の寸法（Ｌ３０）、９０℃における寸法（Ｌ９０）、及び１２０℃における寸法（Ｌ１２０）から、下記式を用いて９０℃及び１２０℃の各温度における幅方向の膨張率を求める。本開示において、９０℃及び１２０℃における幅方向の膨張率は、それぞれ、５つの試料を用いて得られる膨張率の算術平均値とする。なお、正の膨張率は膨張を意味し、負の膨張率は収縮を意味する。
式：膨張率（％）＝［（Ｌ１２０又はＬ９０）－Ｌ３０］／Ｌ３０×１００

９０℃における幅方向の膨張率（Ｅ９０）に対する１２０℃における幅方向の膨張率（Ｅ１２０）の比（Ｅ１２０／Ｅ９０）は、０～１．５であることが好ましく、０～１．１であることがより好ましく、０～１．０５であることが更に好ましい。Ｅ１２０／Ｅ９０が上記範囲内であることで、機能層の厚みムラを更に抑制できる。９０℃における幅方向の膨張率（Ｅ９０）、及び１２０℃における幅方向の膨張率（Ｅ１２０）は、それぞれ、既述の熱機械分析装置を用いる方法により求められる。

ポリエステルフィルムの幅方向の膨張率は、例えば、２軸配向フィルムの製造過程における延伸倍率、熱処理温度、及び冷却中のフィルム幅を適宜設定することにより調節できる。

（表面の最大山高さＲｐ）
ポリエステルフィルムは、巻取り品質をより向上する点で、粒子含有層表面の最大山高さＲｐは、０．００５μｍ（５ｎｍ）以上が好ましく、０．０１μｍ（１０ｎｍ）以上がより好ましい。ポリエステルフィルムは、転写故障をより抑制する点で、粒子含有層の表面の最大山高さＲｐが、１μｍ以下であることが好ましく、０．５μｍ以下であることがより好ましく、０．２５μｍ（２５０ｎｍ）以下であることが更に好ましく、０．２μｍ（２００ｎｍ）以下であることが特に好ましい。なかでも、粒子含有層が無機粒子を含む場合、転写故障の抑制性能がより顕著に現れるため、粒子含有層の表面の最大山高さＲｐを上記範囲にすることが好ましい。粒子含有層表面の最大山高さＲｐは、インラインコーティングにて粒子含有層を形成する場合には、粒子含有層が有する粒子の平均粒子径と粒子含有層の厚さとで調節することができる。

ポリエステルフィルムの表面の最大山高さＲｐは、ポリエステルフィルムを切り出してテストピースを作製し、得られたテストピースの表面を、下記の微細形状測定装置を用いて下記条件にて測定し、その後、内蔵されている解析ソフトにて粒子解析（複数レベル）を実施することにより、求められる。
以下に、測定機及び測定条件を示す。上記の測定は、スライスレベルを１０ｎｍの等間隔に設定して、測定位置を変更しながら各スライスレベルの平均直径と密度を５回測定し、これらの平均値を算出して、最大山高さＲｐの測定値とする。テストピースは、視野測定のＸ方向がポリエステルフィルムの幅方向になるように試料台に固定する。

・測定装置：小坂研究所製surf-corder ET-4000A
・解析ソフト：i-Face model TDA31 Ver2.2.0.4 JSIS
・触針先端半径：０．５μｍ
・測定視野 ：Ｘ方向：３８０μｍ、ピッチ：１μｍ
Ｙ方向：２８０μｍ、ピッチ：５μｍ
・針圧 ：５０μＮ
・測定速度 ：０．１ｍｍ／ｓ
・カットオフ値：低域－０．８ｍｍ、高域－なし
・レベリング ：全域
・フィルター ：ガウシアンフィルタ（２Ｄ）
・倍率 ：１０万倍
・粒子解析（複数レベル）条件
・出力内容設定：山粒子
・ヒステリシス幅：５ｎｍ
・スライスレベル等間隔：１０ｎｍ

（密度）
ポリエステルフィルムの密度は、本発明の効果により優れる点で、１．３９～１．４１ｇ／ｃｍ^３が好ましく、１．３９５～１．４０５ｇ／ｃｍ^３がより好ましく、１．３９８～１．４００ｇ／ｃｍ^３が更に好ましい。
ポリエステルフィルムの密度は、電子比重計（製品名「ＳＤ－２００Ｌ」、アルファーミラージュ社製）を使用して測定できる。

（ヘイズ）
ポリエステルフィルムをドライフィルムレジストの支持体として使用する場合には、高い透明性が要求される。特に、５０μｍ以下のラインアンドスペースなどの微細パターン形成する際には、より高い透明性が求められる。その点で、ポリエステルフィルムのヘイズは、１％以下が好ましく、０．５％以下がより好ましく、０．４％以下が更に好ましく、０．３％以下が特に好ましい。ヘイズは小さいほど好ましいため、ヘイズの下限は制限されない。ヘイズの下限を便宜上設定するとすれば、０％以上である。ヘイズを上記上限値以下とすることにより、ポリエステルフィルムにレジスト層を積層した後、紫外線を照射して露光するにあたってのレジスト層の支持体であるポリエステルフィルムによる紫外光線の散乱を小さくでき、現像後のレジストのパターニングにおけるゆがみ及び抜け等のレジストパターン壁面の状態を改善できる。

ヘイズは、ヘイズメーター（例えば、ＮＤＨ－２０００、日本電色工業株式会社製）を用いて、ＪＩＳ Ｋ ７１０５に準ずる方法により測定される。

（ｂ^＊値）
ポリエステルフィルムをドライフィルムレジストの支持体として使用する場合には、高い透明性が要求される。その点で、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊値は、０～１が好ましく、０～０．８がより好ましく、０～０．６が更に好ましく、０～０．４が特に好ましい。Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊値が０～１であることで、フィルムの黄色度を小さくできるため、フィルムの色相を無色に近づけることができる。この結果、例えば、高い視認性が求められる用途（例えば、表示装置）において、ポリエステルフィルムを好ましく適用できる。

Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系におけるｂ^＊値は、分光色差計（例えば、ＳＥ－２０００、日本電色工業株式会社製）を用いて、透過法により測定される。

（厚さ）
ポリエステルフィルムの厚さは、ヘイズ値の上昇を抑制できる点及びラミネート適正を向上できる点で、１００μｍ以下が好ましく、５０μｍ未満がより好ましく、４０μｍ以下が更に好ましい。厚さの下限は特に制限されないが、強度が向上し、加工性が向上する点で、３μｍ以上が好ましく、５μｍ以上がより好ましく、１０μｍ以上が更に好ましい。
ポリエステルフィルムの厚さは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により測定される５か所の厚さの算術平均値とする。

〔製造方法〕
本フィルムの製造方法としては、例えば、未延伸ポリエステルフィルムを２軸延伸する方法が挙げられる。

２軸延伸は、縦延伸及び横延伸を同時に行う同時２軸延伸であってもよく、縦延伸及び横延伸を２段階以上の多段階に分けて行う逐次２軸延伸であってもよい。逐次２軸延伸の形態としては、例えば、縦延伸→横延伸、縦延伸→横延伸→縦延伸、縦延伸→縦延伸→横延伸、及び横延伸→縦延伸が挙げられる、縦延伸→横延伸が好ましい。

＜延伸機＞
２軸延伸に使用する装置は特に制限されず、公知の延伸機を利用できる。以下、延伸機の一例について図面を参照して説明する。

図２は、ポリエステルフィルムの製造に用いられる延伸機の一例を示す平面図である。
図２に示す延伸機１００は、１対の環状レール６０ａ及び６０ｂと、各環状レールに取り付けられ、レールに沿って移動可能な把持部材２ａ～２ｌと、を備えている。環状レール６０ａ及び６０ｂは、フィルム２００を挟んで互いに対称的に配置されている。延伸機１００は、把持部材２ａ～２ｌでフィルム２００を把持し、レールに沿って把持部材２ａ～２ｌを移動させることにより、フィルム２００を幅方向に延伸できる。

延伸機１００は、搬送方向上流側から順に、予熱部１０と、延伸部２０と、熱固定部３０と、熱緩和部４０と、冷却部５０と、からなる領域を有する。
延伸機１００が有する上記の領域は、遮風カーテンで区分され、熱風等により個々に領域内の温度を調整できる。

予熱部１０は、フィルム２００を予熱する領域である。

延伸部２０は、予熱されたフィルム２００を矢印ＭＤの方向（長手方向）と直交する方向である矢印ＴＤの方向（幅方向）に緊張を与えて延伸する領域である。図２に示すように、延伸部２０において、フィルム２００は幅Ｌ０から幅Ｌ１まで延伸される。

熱固定部３０は、緊張が与えられたフィルム２００に緊張を与えたまま加熱して熱固定する領域である。

熱緩和部４０は、熱固定したフィルム２００を加熱することにより熱固定したフィルム２００の緊張を熱緩和する領域である。
図２に示すように、熱緩和部４０において、フィルム２００は幅Ｌ１から幅Ｌ２にまで縮小（緩和）される。

冷却部５０は、熱緩和されたフィルム２００を冷却する領域である。フィルム２００を冷却することにより、フィルム２００の形状を固定化できる。
図２には、冷却部５０に搬入されるフィルム２００の幅がＬ２であり、冷却部５０から搬出されるフィルム２００の幅がＬ３であることが示されている。

環状レール６０ａには、環状レール６０ａに沿って移動可能な把持部材２ａ、２ｂ、２ｅ、２ｆ、２ｉ、及び２ｊが取り付けられている。環状レール６０ｂには、環状レール６０ｂに沿って移動可能な把持部材２ｃ、２ｄ、２ｇ、２ｈ、２ｋ、及び２ｌが取り付けられている。
把持部材２ａ、２ｂ、２ｅ、２ｆ、２ｉ、及び２ｊは、フィルム２００の矢印ＴＤの方向の一方の端部を把持する。把持部材２ｃ、２ｄ、２ｇ、２ｈ、２ｋ、及び２ｌは、フィルム２００の矢印ＴＤの方向の他方の端部を把持する。把持部材２ａ～２ｌは、チャックまたはクリップ等と称されることが多い。
把持部材２ａ、２ｂ、２ｅ、２ｆ、２ｉ、及び２ｊは、環状レール６０ａに沿って反時計回りに移動する。把持部材２ｃ、２ｄ、２ｇ、２ｈ、２ｋ、及び２ｌは、環状レール６０ｂに沿って時計回りに移動する。

把持部材２ａ～２ｄは、予熱部１０においてフィルム２００の端部を把持したまま環状レール６０ａ又は６０ｂに沿って移動し、延伸部２０、熱固定部３０、及び熱緩和部４０を経て、冷却部５０まで進行する。次に、把持部材２ａ及び２ｂと、把持部材２ｃ及び２ｄとは、搬送方向順に、冷却部５０の矢印ＭＤの方向下流側の端部（例えば、図２における把持解除点Ｐ及び把持解除点Ｑ）でフィルム２００の端部を離した後、さらに環状レール６０ａ又は６０ｂに沿って移動し、予熱部１０に戻る。上記過程において、フィルム２００は、矢印ＭＤの方向に移動することで、予熱部１０での予熱、延伸部２０での延伸、熱固定部３０での熱固定、熱緩和部４０での熱緩和、及び冷却部５０での冷却が行われ、横延伸される。

把持部材２ａ～２ｌの移動速度を調節することで、フィルム２００の搬送速度を調節できる。また、把持部材２ａ～２ｌは、各々独立に、移動速度を変化することができる。

上記のとおり、延伸機１００は、延伸部２０において、フィルム２００を矢印ＴＤの方向に延伸する横延伸を可能とするものである。一方、延伸機１００は、把持部材２ａ～２ｌの移動速度を変化させることにより、フィルム２００を矢印ＭＤの方向に延伸することもできる。すなわち、延伸機１００を用いて同時２軸延伸を行うことも可能である。

延伸機１００は、フィルム２００を支えるために、把持部材２ａ～２ｌに加えて、他の把持部材をさらに有していてもよい（不図示）。

次に、本発明の実施形態の一例に係るポリエステルフィルムの製造方法（以下、「本製造方法」ともいう。）について、具体的に説明する。

本製造方法は、２軸配向ポリエステルフィルムを製造する方法であり、原料ポリエステルを含有する溶融樹脂をフィルム状に押し出して、ポリエステル基材を少なくとも含む未延伸ポリエステルフィルムを形成する押出成形工程と、未延伸ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸して１軸配向ポリエステルフィルムを形成する縦延伸工程と、１軸配向ポリエステルフィルムを幅方向に延伸して２軸配向ポリエステルフィルムを形成する横延伸工程と、２軸配向ポリエステルフィルムを加熱して熱固定する熱固定工程と、熱固定工程により熱固定されたポリエステルフィルムを熱固定工程よりも低い温度で加熱して熱緩和する熱緩和工程と、熱緩和工程により熱緩和されたポリエステルフィルムを冷却する冷却工程と、冷却工程において、熱緩和されたポリエステルフィルムを幅方向に拡張する拡張工程と、を有する。
本製造方法は、更に、ポリエステル基材の少なくとも一方の表面に粒子を含有する粒子含有層を設ける粒子含有層形成工程を有する。

＜押出成形工程＞
押出成形工程は、押出成形法により原料のポリエステルを含有する溶融樹脂をフィルム状に押し出して、未延伸ポリエステルフィルムを形成する工程である。原料のポリエステルについては、上記の（ポリエステル）の項目において説明したポリエステルと同義である。押出成形工程により形成される未延伸ポリエステルフィルムは、ポリエステル基材を少なくとも含む。

押出成形法は、例えば押出機を用いて原料樹脂の溶融体を押し出すことによって、原料樹脂を所望の形状に成形する方法である。
ポリエステルを含有する溶融樹脂は、例えば、１本又は２本以上のスクリュを備えた押出機を用いて、上述したポリエステルを融点以上の温度に加熱し、そして、スクリュを回転させて溶融混練することにより、形成される。ポリエステルは、加熱及びスクリュによる混練により、押出機内で溶融して溶融体（メルト）となる。

溶融体は、ギアポンプ、及び濾過器等を通して、押出ダイから押し出される。押出ダイは、単に「ダイ」とも称する（ＪＩＳ Ｂ８６５０：２００６、ａ、押出成形機、番号１３４参照）。例えば、特開２００５－２９７２６６号公報に記載の押出しダイ、特開平１－１５４７２０号公報に記載の押出しダイ、及び、それらの組合せを使用することもできる。溶融体は、単層で押出されてもよく、多層で押出されてもよい。

溶融押出においては、押出機内での熱分解（例えばポリエステルの加水分解）を抑制する観点から、押出機内を窒素置換することが好ましい。また、押出機は、混練温度が低く抑えられる点で２軸押出機が好ましい。

押出ダイから押し出された溶融体は、冷却されることによってフィルム状に成形される。例えば、溶融体をキャスティングロールに接触させ、キャスティングロール上で溶融体を冷却及び固化することで、溶融体をフィルム状に成形できる。溶融体の冷却においては、更に、溶融体に風（好ましくは冷風）を当てることが好ましい。

キャスティングロールの温度は、（Ｔｇ－１０）℃を超え（Ｔｇ＋３０）℃以下が好ましく、（Ｔｇ－７）～（Ｔｇ＋２０）℃がより好ましく、（Ｔｇ－５）～（Ｔｇ＋１０）℃が更に好ましい。上記の「Ｔｇ」は、フィルムを構成するポリエステルのガラス転移温度を意味する。
ここで、本製造方法におけるポリエステルフィルム及び各部材の温度は、非接触式温度計（例えば、放射温度計）を用いて測定できる。フィルムの表面温度は、フィルムの幅方向中央部の温度を５回計測し、得られた計測値の平均値を算出することにより求められる。

押出成形工程においてキャスティングロールを用いる場合、キャスティングロールと溶融体との密着性を上げることが好ましい。密着性を上げる方法としては、例えば、静電印加法、エアーナイフ法、エアーチャンバー法、バキュームノズル法、及びタッチロール法が挙げられる。

キャスティングロール等を用いて冷却された成形体（未延伸ポリエステルフィルム）は、剥ぎ取りロール等の剥ぎ取り部材を用いて、キャスティングロール等の冷却部材から剥ぎ取られる。

＜縦延伸工程＞
縦延伸工程は、未延伸ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸（以下、「縦延伸」ともいう。）する工程である。縦延伸工程により、１軸配向ポリエステルフィルムが形成される。

縦延伸工程においては、縦延伸前に、未延伸ポリエステルフィルムを予熱することが好ましい。未延伸ポリエステルフィルムを予熱することで、ポリエステルフィルムを容易に縦延伸できる。
未延伸ポリエステルフィルムの予熱温度は、（Ｔｇ－３０）～（Ｔｇ＋４０）℃が好ましく、（Ｔｇ－２０）～（Ｔｇ＋３０）℃がより好ましい。具体的に、予熱温度は、６０～１００℃が好ましく、６５～８０℃がより好ましい。
未延伸ポリエステルフィルムを予熱する方法としては、例えば、縦延伸する延伸ロールよりも上流側に、フィルムを予熱する機能を有する予熱ロールを配置し、未延伸ポリエステルフィルムを搬送しながら予熱する方法が挙げられる。

また、延伸ロールがフィルムを予熱する機能を有してもよい。延伸ロールによるフィルムの予熱温度の好ましい範囲は、上記の予熱ロールの予熱温度の好ましい範囲と同じである。

縦延伸は、例えば、未延伸ポリエステルフィルムを長手方向に搬送しながら、搬送方向に設置した２対以上の延伸ロール間で緊張を与えることによって行うことができる。例えば、搬送方向上流側に１対の延伸ロールＡ、及び搬送方向下流側に１対の延伸ロールＢを設置した場合、未延伸ポリエステルフィルムを搬送する際に延伸ロールＢの回転速度を、延伸ロールＡの回転速度より速くすることで、未延伸ポリエステルフィルムが長手方向に延伸される。

縦延伸工程における、搬送方向上流側に設けた１対の延伸ロールＡ、及び、搬送方向下流側に設けた１対の延伸ロールＢによるフィルムの搬送速度（周速度）は、延伸ロールＡによるフィルムの搬送速度が、延伸ロールＢによるフィルムの搬送速度よりも遅ければ、特に制限されない。
延伸ロールＡによるフィルムの搬送速度は、例えば、５～６０ｍ／分であり、１０～５０ｍ／分が好ましく、１５～４５ｍ／分がより好ましい。延伸ロールＢによるフィルムの搬送速度は、例えば４０～１６０ｍ／分であり、５０～１５０ｍ／分が好ましく、６０～１４０ｍ／分がより好ましい。

縦延伸工程における延伸倍率は、用途によって適宜設定されるが、２．０～５．０倍が好ましく、２．５～４．０倍がより好ましく、２．８～４．０倍が更に好ましい。

縦延伸工程における延伸速度は、８００～１５００％／秒が好ましく、１０００～１４００％／秒がより好ましく、１２００～１４００％／秒が更に好ましい。ここで、「延伸速度」とは、縦延伸工程において１秒間に延伸されたポリエステルフィルムの搬送方向の長さΔｄを、延伸前のポリエステルフィルムの搬送方向の長さｄ０で除した値を、百分率で表した値である。

縦延伸工程においては、未延伸ポリエステルフィルムを加熱することが好ましい。加熱により縦延伸が容易になるためである。
縦延伸工程における加熱温度は、（Ｔｇ－２０）～（Ｔｇ＋５０）℃が好ましく、（Ｔｇ－１０）～（Ｔｇ＋４０）℃がより好ましく、（Ｔｇ）～（Ｔｇ＋３０）℃が更に好ましい。具体的に、縦延伸工程における加熱温度は、７０～１２０℃が好ましく、８０～１１０℃がより好ましく、８５～１００℃が更に好ましい。

縦延伸工程において未延伸ポリエステルフィルムを加熱する方法としては、未延伸ポリエステルフィルムに接触する延伸ロール等のロールを加熱する方法が挙げられる。ロールを加熱する方法としては、例えば、ロール内部にヒーターを設ける方法、及び、ロール内部に配管を設け、その配管内に加熱した流体を流す方法が挙げられる。上記の他、例えば、未延伸ポリエステルフィルムに温風を当てる方法、並びに、未延伸ポリエステルフィルムをヒーター等の熱源に接触させるか、又は、熱源の近傍を通過させることによって未延伸ポリエステルフィルムを加熱する方法が挙げられる。

未延伸ポリエステルフィルムに対して縦延伸する縦延伸工程は、上記の方法に制限されない。
上記の縦延伸工程では、２対の延伸ロールの搬送速度の差を利用して未延伸ポリエステルフィルムを縦延伸しているが、２つの延伸ロールの間に配置され、それらの延伸ロールよりも速い搬送速度でフィルムを搬送する高速延伸ロールを１つ以上用いて、未延伸ポリエステルフィルムを縦延伸して、１軸配向ポリエステルフィルムを作製してもよい。
また、上記の縦延伸工程では、互いに対向する２つのロール（１対のロール）によりフィルムを挟んで搬送する構成を有しているが、縦延伸工程に使用する延伸ロールが、対向するロールを有さず、ポリエステルフィルムの一方の面に接する１つのロールのみで構成されていてもよい。

＜横延伸工程＞
横延伸工程は、１軸配向ポリエステルフィルムを横延伸する工程である。横延伸工程は、例えば、上記延伸機１００の横延伸部２０において実施される。

横延伸工程においては、横延伸前に、ポリエステルフィルムを予熱することが好ましい。ポリエステルフィルムを予熱することで、ポリエステルフィルムを容易に横延伸できる。
予熱温度は、（Ｔｇ－１０）～（Ｔｇ＋６０）℃が好ましく、（Ｔｇ）～（Ｔｇ＋５０）℃がより好ましい。具体的に、予熱温度は、８０～１２０℃が好ましく、９０～１１０℃がより好ましい。

横延伸工程における１軸配向ポリエステルフィルムの幅方向の延伸倍率（横延伸倍率ａ）は特に制限されないが、上記縦延伸工程における延伸倍率より大きいことが好ましい。横延伸工程における延伸倍率ａは、３．０～６．０倍が好ましく、３．５～５．０倍がより好ましく、３．５～４．５倍が更に好ましい。
横延伸工程を延伸機１００の横延伸部２０において実施する場合、横延伸倍率ａは、横延伸部２０の搬入時のフィルム幅Ｌ０に対する横延伸部２０からの搬出時のフィルム幅Ｌ１の比率（Ｌ１／Ｌ０）から求められる。

縦延伸工程における延伸倍率と、横延伸工程における延伸倍率との積で表される面積倍率は、１２．８～１５．５倍が好ましく、１３．５～１５．２倍がより好ましく、１４．０～１５．０倍が更に好ましい。面積倍率が上記の下限値以上であると、フィルム幅方向における分子配向が良好になる。また、面積倍率が上記の上限値以下であると、加熱処理に供された際に分子配向が緩和されにくい状態を維持しやすい。

横延伸工程における加熱温度は、（Ｔｇ－１０）～（Ｔｇ＋８０）℃が好ましく、（Ｔｇ）～（Ｔｇ＋７０）℃がより好ましく、（Ｔｇ）～（Ｔｇ＋６０）℃が更に好ましい。具体的に、横延伸工程における加熱温度は、１００～１４０℃が好ましく、１１０～１３５℃がより好ましく、１１５～１３０℃が更に好ましい。

横延伸工程における延伸速度は、８～４５％／秒が好ましく、１０～３０％／秒がより好ましく、１５～２０％／秒が更に好ましい。

＜熱固定工程＞
本製造方法では、横延伸工程により横延伸されたポリエステルフィルムに対する加熱処理として、熱固定工程及び熱緩和工程を行う。
熱固定工程においては、横延伸工程により得られた２軸配向ポリエステルフィルムを加熱して、熱固定する。熱固定によってポリエステルを結晶化させることにより、ポリエステルフィルムの収縮を抑えることができる。
熱固定工程は、例えば、上記延伸機１００の熱固定部３０において実施される。

熱固定工程におけるポリエステルフィルムの表面温度（熱固定温度Ｔ１）は、１９０～２４０℃が好ましく、２００～２４０℃がより好ましく、２１０～２３０℃が更に好ましい。
熱固定工程では、ポリエステルフィルムの表面の最高到達温度が上記熱固定温度Ｔ１となるように制御しながら加熱処理が行われる。

熱固定工程において、フィルム幅方向の表面温度のバラツキは、０．５～１０．０℃が好ましく、０．５～７．０℃がより好ましく、０．５～５．０℃が更に好ましく、０．５～４．０℃が特に好ましい。フィルム幅方向の表面温度のバラツキを上記範囲内に制御することで、幅方向における結晶化度のバラツキを抑制できる。

加熱方法としては、例えば、フィルムに熱風を当てる方法、及び、フィルムを輻射加熱する方法が挙げられる。輻射加熱する方法において用いられる装置としては、例えば、赤外線ヒーターが挙げられる。

熱固定工程における加熱時間は、５～５０秒間が好ましく、５～３０秒間がより好ましく、５～１０秒間が更に好ましい。

＜熱緩和工程＞
熱緩和工程においては、熱固定工程により熱固定されたポリエステルフィルムを、熱固定工程よりも低い温度で加熱することで熱緩和する。熱緩和によってポリエステルフィルムの残留歪みを緩和できる。
熱緩和工程は、例えば、上記延伸機１００の熱緩和部４０において実施される。

熱緩和工程におけるポリエステルフィルムの表面温度（熱緩和温度Ｔ２）は、熱固定温度Ｔ１より、５℃以上低い温度が好ましく、１５℃以上低い温度がより好ましく、２５℃以上低い温度が更に好ましく、３０℃以上低い温度が特に好ましい。即ち、熱緩和温度Ｔ２は、２３５℃以下が好ましく、２２５℃以下がより好ましく、２１０℃以下が更に好ましく、２００℃以下が特に好ましい。
熱緩和温度Ｔ２の下限は、１００℃以上が好ましく、１１０℃以上がより好ましく、１２０℃以上が更に好ましい。
熱緩和工程では、ポリエステルフィルムの表面の最高到達温度が上記熱緩和温度Ｔ２となるように制御しながら加熱処理が行われる。

加熱方法としては、例えば、フィルムに熱風を当てる方法、フィルムを輻射加熱する方法が挙げられる。輻射加熱する方法において用いられる装置としては、例えば、赤外線ヒーターが挙げられる。

＜冷却工程＞
本製造方法は、熱緩和されたポリエステルフィルムを冷却する冷却工程を有する。冷却工程及び後述する拡張工程は、例えば、上記延伸機１００の冷却部５０において実施される。

冷却工程におけるポリエステルフィルムの冷却方法としては、例えば、フィルムに風（好ましくは冷風）を当てる方法、及び温度調節可能な部材（例えば、温調ロール）にフィルムを接触させる方法が挙げられる。
冷却工程における冷却温度は、熱緩和工程と区別する点で、１３０℃以下が好ましい。冷却温度は、３０～１２０℃がより好ましく、３０～１００℃が更に好ましく、３０～８０℃が特に好ましい。

本製造方法では、ポリエステルフィルムの冷却速度Ｖが２２００～３５００℃／分となるように冷却工程を実施する。冷却速度Ｖを上記範囲内に調節することで、２軸配向フィルムに積層される機能層の厚みムラを低減できる。
冷却速度Ｖの範囲を特定することにより機能層の厚みムラが低減されるメカニズムの詳細は明らかではないが、フィルム表面の温度が効率的に低下され、かつ、フィルム表面の温度ムラを抑制できる冷却速度とすることにより、冷却後のフィルムに内在する歪みが低減され、機能層積層時の高温処理に伴ううねりの発生を抑制できるためと推測される。
上記の観点から、冷却工程における冷却速度Ｖは、２２００～３０００℃／分が好ましく、２３００～２６００℃／分がより好ましい。

冷却工程におけるポリエステルフィルムの冷却速度Ｖは、非接触式温度計を用いて、測定できる。例えば、上記延伸機１００の冷却部５０において冷却工程を実施する場合、熱緩和部４０から冷却部５０に搬入されるフィルム２００の表面温度と、冷却部５０から搬出されるフィルム２００の表面温度とを測定して、両者の温度差ΔＴ（℃）を得る。得られた温度差ΔＴ（℃）を、冷却部５０におけるフィルム２００の滞在時間ｔａで割ることにより、冷却速度Ｖが求められる。
ポリエステルフィルムの冷却速度は、冷却装置の運転条件、及び、フィルムの搬送速度により、調整できる。

本製造方法における上記の熱固定工程、熱緩和工程及び冷却工程は、この順に連続して実施することが好ましい。これにより、ポリエステルフィルムに対する加熱及び冷却の繰返しによる負荷（熱履歴）を低減し、フィルムに内在する歪み等を低減して、筋状欠陥の発生を抑制できるためである。

＜拡張工程＞
本製造方法は、上記冷却工程において、熱緩和されたポリエステルフィルムを幅方向に拡張する拡張工程を有する。
冷却工程においてポリエステルフィルムを「幅方向に拡張する」とは、冷却工程の開始時におけるポリエステルフィルムのフィルム幅（図２中のＬ２）よりも、冷却工程の終了時におけるフィルム幅（図２中のＬ３）が広くなるように、冷却工程の間に、ポリエステルフィルムに対して幅方向に張力を付与することを意味する。

冷却工程において、ポリエステルフィルムを幅方向に拡張する方法は、特に制限されない。例えば、上記の延伸機１００を用いて２軸配向ポリエステルフィルムを製造する場合、冷却部５０の開始地点における環状レール６０ａ及び６０ｂの距離よりも、冷却部５０の終了地点（把持解除点Ｐ及び把持解除点Ｑ）における環状レール６０ａ及び６０ｂの距離を広げることにより、冷却工程において、各把持部材により把持されるフィルム２００を幅方向に拡張することができる。
拡張工程は、冷却工程の前後でフィルム幅が拡張される限り、冷却工程の開始から終了まで連続的又は断続的に実施してもよく、冷却工程の間の一時期においてのみ実施してもよい。
拡張工程は、１３０℃以下で行われることが好ましい。なかでも、３０～１２０℃がより好ましく、３０～１００℃が更に好ましく、３０～８０℃が特に好ましい。

拡張工程によるポリエステルフィルムの幅方向の拡張率、即ち、冷却工程の開始前におけるフィルム幅に対する冷却工程の終了時におけるフィルム幅の比率は、０よりも大きければ特に制限されないが、本発明の効果がより優れる点で、上記拡張率の百分率ｂが０．００１％以上であることが好ましく、０．０１％以上であることがより好ましい。
上限は特に制限されないが、上記拡張率の百分率ｂが１．３％以下であることが好ましく、１．２％以下であることがより好ましく、１．０％以下であることが更に好ましい。フィルム幅の拡張率を上記の上限値以下に設定することにより、フィルム製造時に高速で搬送するために搬送方向に強い張力を付与した場合（例えば、搬送方向の張力が１００Ｎ／ｍ以上である場合）であっても、後述するトリミング工程における切断面の乱れ、更には、その切断乱れに伴うフィルムの破断を抑制できる。

＜粒子含有層形成工程＞
本製造方法は、ポリエステル基材の少なくとも一方の表面に粒子含有層を設ける粒子含有層形成工程を有する。粒子含有層形成工程により形成される粒子含有層については、上記＜粒子含有層＞の項目において詳しく説明した粒子含有層と同義である。
粒子含有層の形成は、本製造方法のいずれの段階で行ってもよく、例えば、粒子含有層を構成する材料を含有する塗布液を用いて、未延伸又は延伸されたポリエステル基材の少なくとも一方の表面上に塗布膜を形成し、必要に応じて乾燥する方法、及び、共押出法によって、ポリエステル基材の形成と同時に粒子含有層を形成する方法が挙げられる。

まず、粒子含有層用塗布液を用いて粒子含有層を形成する方法について、説明する。
粒子含有層用塗布液は、粒子含有層が含有する粒子、必要に応じて添加されるバインダー及び添加剤、並びに、溶剤を混合することにより調製できる。溶剤としては、例えば、水、エタノール、トルエン、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びプロピレングリコールモノエチルエーテルが挙げられる。中でも、環境、安全性及び経済性の観点から、水が好ましい。

粒子含有層用塗布液は、１種単独の溶剤を含有していてもよく、２種以上の溶剤を含有していてもよい。
溶剤の含有量は、粒子含有層用塗布液の全質量に対して、８０～９９質量％が好ましく、９０～９８質量％がより好ましい。
即ち、粒子含有層用塗布液において、溶剤以外の成分（固形分）の合計含有量は、粒子含有層用塗布液の全質量に対して、０．５～２０質量％が好ましく、１～１０質量％がより好ましい。
粒子含有層用塗布液における溶剤以外の各成分については、その好ましい態様も含めて、上記の粒子含有層に含有される各成分について説明した内容と同じである。また、粒子含有層用塗布液の固形分の全質量に対する各成分の含有量が上記の粒子含有層の全質量に対する各成分の好ましい含有量と同じになるように、塗布液における各成分の含有量を調整することが好ましい。
粒子含有層用塗布液に含まれる粒子の平均粒子径は、レーザー回折／散乱式粒子径分布測定装置（「ＬＡ－９５０」、株式会社堀場製作所製）を用いて測定する。また、粒子の市販品を用いる場合は、粒子の平均粒子径はカタログ値であってもよい。

粒子含有層用塗布液の塗布方法は特に制限されず、公知の方法を利用できる。塗布方法としては、例えば、スプレーコート法、スリットコート法、ロールコート法、ブレードコート法、スピンコート法、バーコート法及びディップコート法が挙げられる。

粒子含有層用塗布液を用いて粒子含有層を形成する方法としては、ポリエステル基材を搬送しながら、ポリエステル基材の少なくとも一方に表面に塗布液を塗布する所謂インラインコーティング法、及び、２軸配向されたポリエステル基材を製造した後、別途塗布液を塗布する所謂オフラインコーティング法のいずれも適用できるが、効率性がより優れる点、及び、透明性を付与する点で、インラインコーティング法が好ましい。
インラインコーティング法において、粒子含有層用塗布液を塗布するポリエステル基材は、未延伸のポリエステル基材であってもよく、１軸配向されたポリエステル基材であってもよよいが、１軸配向されたポリエステル基材であることが好ましい。

次いで、共押出法によって、ポリエステル基材の形成と同時に粒子含有層を形成する方法について、説明する。
共押出法による粒子含有層の形成方法は、特に制限されない。例えば、粒子含有層を構成する粒子及びバインダー、並びに、必要に応じて添加される添加剤を含有する樹脂組成物を調製し、上記の＜押出成形工程＞に記載の方法に準じて、得られた樹脂組成物を加熱、及び、溶融混練することにより樹脂組成物の溶融体を作製し、ポリエステルの溶融体と共に押出機を用いて押し出すことによって、粒子含有層を形成できる。

粒子含有層形成工程としては、製造工程におけるポリエステル基材の加熱時間を短くでき、ポリエステル基材内部の歪みを低減できる点で、縦延伸工程と横延伸工程との間に粒子含有層用塗布液を用いて粒子含有層を形成するインラインコーティング工程、又は、ポリエステル基材を構成するポリエステルを含有する第１の溶融体並びに粒子及びバインダーを含有する第２の溶融体を用いて、ポリエステル基材と粒子含有層とを同時に形成する共押出成形工程であることが好ましい。
中でも、縦延伸工程と横延伸工程との間に、１軸配向されたポリエステル基材に対して、上記のインラインコーティング法を適用して粒子含有層を形成することが好ましい。１軸配向されたポリエステル基材の少なくとも一方の表面に粒子含有層用塗布液を塗布して粒子含有層を形成した後、ポリエステル基材と粒子含有層とを同時に横延伸することにより、ポリエステル基材及び粒子含有層の密着性を向上できる。その際の横延伸の具体的な方法については上記横延伸工程において説明した通りである。

本製造方法は、上記の工程を経て得られた２軸配向ポリエステルフィルムを巻き取ることにより、ロール状の２軸配向ポリエステルフィルムを得る巻き取り工程を有していてもよい。
また、本製造方法は、巻き取り工程を実施する前に、ポリエステルフィルムを搬送方向に沿って連続的に切断して、ポリエステルフィルムの幅方向の少なくとも一方の端部を切り取るトリミング工程を更に有してもよい。

＜製造条件＞
本製造方法は、下記条件１を満たす。
条件１：ポリエステル基材を構成するポリエステルの融点をＴｍ（℃）、熱固定工程における熱固定温度をＴ１（℃）、横延伸工程における１軸配向ポリエステルフィルムの延伸倍率をａ、拡張工程における熱緩和されたポリエステルフィルムの幅方向の拡張率の百分率をｂ（％）としたとき、下記式（１）で算出されるＡと下記式（２）で算出されるＢとの積（Ａ×Ｂ）である値Ｃが、－４．０～４．０である。ただし、Ａ及びＢのいずれか一方のみが０である場合は除く。
Ａ＝Ｔｍ－Ｔ１－３０ （１）
Ｂ＝ａ／５－ｂ （２）

上記条件１を満たすように各工程の条件を設定することにより機能層の厚みムラが低減されるメカニズムの詳細は明らかではないが、熱固定工程においてポリエステルの過剰な結晶化を抑制し、かつ、冷却工程において所定の拡張率で幅方向に拡張することで、幅方向に向いたポリエステル分子鎖の存在比率が上昇することにより、後工程での加熱による寸法変化率を低減し、その結果、機能層を積層する工程における高温処理に伴ううねりの発生を抑制できるためと推測される。
上記の観点から、上記の値Ｃの絶対値が０．１～０．７であることが好ましく、上記の値Ｃが０．１～０．５であることがより好ましい。
なお、上記の通り、Ａ及びＢのいずれか一方のみが０である場合は条件１を満たさないが、Ａ及びＢの両者が０である場合、条件１を満たすものとする。

本製造方法は、更に、ポリエステル基材を構成するポリエステルの融点をＴｍ（℃）、熱固定工程における熱固定温度をＴ１（℃）、横延伸工程における１軸配向ポリエステルフィルムの延伸倍率をａ、拡張工程における熱緩和されたポリエステルフィルムの幅方向の拡張率の百分率をｂ（％）、冷却工程における冷却速度をＶ（℃／分）としたとき、上記式（１）で算出されるＡ、上記式（２）で算出されるＢ、及び、冷却速度Ｖから下記式（３）より算出されるＤが、１～１００００であることが好ましい。
Ｄ＝（Ａ×Ｂ）^２×Ｖ （３）

上記の値Ｄが上記の範囲となるように各工程の条件を設定することにより機能層の厚みムラが低減されるメカニズムの詳細は明らかではないが、上記の冷却速度Ｖの範囲、及び、値Ｃの範囲を特定したことにより厚みムラが低減されるメカニズムと同様のメカニズムが推測される。
上記の値Ｄは、上記の観点から、０．１～６０００が好ましく、１～１５００がより好ましい。

本製造方法の縦延伸工程以外の各工程におけるポリエステルフィルムの搬送速度は、特に制限されないが、横延伸工程、熱固定工程、熱緩和工程、冷却工程及び拡張工程を上記延伸機１００を用いて行う場合、生産性及び品質の点で、ポリエステルフィルムの搬送速度は、５０～２００ｍ／分が好ましく、８０～１５０ｍ／分がより好ましい。また、冷却工程を施された後、上記の巻き取り工程において巻き取られるまでのポリエステルフィルムの搬送速度は、５０～２００ｍ／分が好ましく、８０～１５０ｍ／分がより好ましい。縦延伸工程におけるポリエステルフィルムの搬送速度は、上記の通りである。

また、縦延伸工程以外の各工程において、ポリエステルフィルムに付与される搬送方向の張力は、特に制限されないが、横延伸工程、熱固定工程、熱緩和工程、冷却工程及び拡張工程を上記延伸機１００を用いて行う場合、ポリエステルフィルムに付与される搬送方向の張力は、延伸条件によって調節できる。
また、冷却工程を施された後、上記の巻き取り工程において巻き取られるまでのポリエステルフィルムに付与される搬送方向の張力は、３～３０Ｎ／ｍが好ましく、５～２０Ｎ／ｍがより好ましい。

［積層フィルム］
本フィルムの用途は特に制限されないが、更に機能層を積層して、積層フィルムを製造することが好ましい。
本フィルムに積層する機能層としては、例えば、加飾層、感光性樹脂層、磁気層、剥離層、粘着層、導電層、屈折率調製層、及び、視認性層が挙げられる。
積層フィルムとしては粒子含有層による易滑性（搬送性）を維持するために、粒子含有層がポリエステル基材の一方の表面上のみに設けられ、かつ、ポリエステル基材の粒子含有層とは反対側の表面上に機能層が設けられていることが好ましい。

積層フィルムのより具体的な例としては、機能層が加飾層である加飾フィルム、機能層が感光性樹脂層であり、ドライフィルムレジストの支持体として用いられる感光性転写フィルム、機能層が剥離層である剥離フィルム（ドライフィルムレジストの保護フィルム、セラミックグリーンシート製造用剥離フィルム、半導体工程製造用剥離フィルム）、機能層が粘着層である粘着フィルム（半導体工程製造用粘着フィルム）、機能層が透明導電層である透明導電性基板用フィルム、機能層が感光性樹脂層及び視認性層であるエッチングレジスト膜形成用感光性転写フィルム、並びに、機能層が感光性樹脂層及び屈折率調製層であるタッチパネル用保護膜形成用感光性転写フィルムが挙げられる。

本フィルムの表面に機能層を積層する方法は特に制限されないが、機能層を構成する材料を含む塗布液を２軸配向ポリエステルフィルムの表面に塗布して機能層を形成することが好ましく、生産性がより優れる点で、本フィルムを搬送しながら、機能層用塗布液を本フィルムの表面に塗布した後、塗膜を加熱することにより機能層を形成することがより好ましい。
本フィルムは、機能層の形成工程において加熱処理を行う場合であっても、２軸配向ポリエステルフィルムにおける筋状欠陥領域の発生を抑え、積層される機能性層の厚みムラを抑制することができる。

積層フィルムは、本フィルム及び機能層以外の層を有してもよい。本フィルム及び機能層以外の層としては、例えば、本フィルムと機能層との密着性を向上する目的で設けられる、バインダー樹脂を含有する下地層が挙げられる。

本フィルムをドライフィルムレジストの支持体として適用することが好ましい。機能層としては感光性樹脂層が設けられ、加飾層、屈折率調製層、及び／又は、視認性層が更に積層されていてもよい。機能層が複数であると、積層のたびに加熱され厚みムラが発生しやすくなる傾向にあるが、本フィルムを用いることにより厚みムラの課題が解決できる。
感光性樹脂層としては、特に制限されないが、ネガ型であることが好ましい。具体的には、国際公開第２０１８／１０５３１３号明細書に記載のバインダーポリマー、エチレン性不飽和化合物、又は、光重合開始剤が好ましい形態として挙げられる。感光性樹脂層は、環状構造を有するアルカリ可溶性のアクリル樹脂と、多官能アクリレートと、オキシム系光重合開始剤あるいはビスイミダゾール型光重合開始剤とを有する層であることがより好ましい。

タッチパネル用電極保護膜を形成するためのドライフィルムレジスト支持体の場合には、感光性樹脂層とは別に屈折率調整層が積層されていることが好ましい。屈折率調整層の好ましい形態としては、特開２０１４－１０８５４１公報に記載の第２の硬化性透明樹脂層が挙げられる。屈折率調整層の屈折率は、１．６以上が好ましく、また、屈折率調整層は、酸化チタン及び酸化ジルコニウム等の屈折率の高い金属酸化粒子を有することが好ましい。

加飾パターンを形成するためのドライフィルムレジスト支持体の場合には、感光性樹脂層は着色していることが好ましい。着色した感光性樹脂層としては、国際公開第２０１７／２０８８４９号明細書に記載の感光性樹脂組成物から形成されること好ましい。着色した感光性樹脂層は、着色剤として顔料を有する層であることが好ましく、顔料と、バインダーポリマーと、多官能アクリレートと、光重合開始剤とを有する層であることがより好ましい。

５０μｍ以下の微細パターンの形成に用いるエッチングレジストを形成するためのドライフィルムレジスト支持体の場合には、感光性樹脂層とは別に視認性層が積層されていることが好ましい。視認性層があることで、パターン潜像を確認する工程において視認することができる。

本フィルムをセラミックグリーンシートを製造するための剥離フィルムとして適用することも好ましい。剥離フィルムの場合には、機能層としては剥離層が設けられることが多い。剥離層の好ましい形態としては、シリコーン樹脂を有する層が挙げられる。

以下に実施例を挙げて本開示を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順は、本開示の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更することができる。したがって、本開示の範囲は以下に示す具体例に制限されない。なお、特に断りのない限り、「部」及び「％」は質量基準である。

以下、本実施例において、単なる「フィルム」との表記は、ポリエステル基材単体、及び、ポリエステル基材と粒子含有層とを有する態様の両者を包含するとともに、未延伸フィルム、１軸配向フィルム、及び、２軸配向フィルムの全てを包含するものとする。
また、本実施例の各工程では、非接触式温度計（ＡＤ－５６１６（製品名）、Ａ＆Ｄ社製、放射率０．９５）を用いて、フィルムの幅方向中央部の温度を５回計測し、得られた計測値の算術平均値をフィルムの表面温度の測定値とした。

〔実施例１〕
＜押出成形工程＞
重合触媒として特許第５５７５６７１号公報に記載のチタン化合物（クエン酸キレートチタン錯体、ＶＥＲＴＥＣ ＡＣ－４２０、ジョンソン・マッセイ社製）を用いて、ポリエチレンテレフタレートのペレットを製造した。具体的には、テレフタル酸を１トン（１０００ｋｇ）に対して、エチレングリコールを３９０ｋｇ、チタン化合物を生成されるポリエチレンテレフタレートに対してＴｉ原子が９質量ｐｐｍとなる量で、これらを混合した。得られた混合物を反応装置に連続供給してエステル化反応を行った。更に、生成されるポリエチレンテレフタレートに対してＭｇ原子が８１質量ｐｐｍとなる量の酢酸マグネシウム四水和物と、生成されるポリエチレンテレフタレートに対してＰ原子が７３質量ｐｐｍとなる量のリン酸トリメチルとを混合物に添加し、重縮合反応を行い、ポリエチレンテレフタレートのペレットを製造した。
得られたペレットを、含水率が５０ｐｐｍ以下になるまで乾燥させた後、直径３０ｍｍの１軸混練押出し機のホッパーに投入し、次いで、２８０℃で溶融して押出した。溶融体（メルト）を、濾過器（孔径３μｍ）に通した後、ダイから２５℃の冷却ドラムに押し出すことにより、ポリエチレンテレフタレートからなる未延伸フィルムを得た。なお、押し出された溶融体（メルト）は、静電印加法により冷却ドラムに密着させた。
未延伸フィルムを構成するポリエチレンテレフタレートの融点（Ｔｍ）は２５８℃であり、ガラス転移温度（Ｔｇ）は８０℃であった。

＜縦延伸工程＞
上記未延伸フィルムに対し、以下の方法により縦延伸工程を施した。
予熱された未延伸フィルムを、下記の条件にて、周速の異なる２対のロールの間に通過させて縦方向（搬送方向）に延伸することにより、１軸配向フィルムを作製した。
（縦延伸条件）
予熱温度：７５℃
延伸温度：９０℃
延伸倍率：３．４倍
延伸速度：１３００％／秒

＜粒子含有層形成工程＞
縦延伸された１軸配向フィルム（ポリエステル基材）の片面に、下記の粒子含有層用塗布液を、１軸配向フィルムの表面積に対する塗布膜の固形分の重量が５．６ｇ／ｍ^２となるように、バーコーターで塗布した。

（粒子含有層用塗布液）
下記に示す各成分を混合することにより、粒子含有層用塗布液（塗布液Ａ）を調製した。調製された塗布液Ａに対して、孔径が６μｍであるフィルター（Ｆ２０、株式会社マーレフィルターシステムズ製）を用いたろ過処理、及び、膜脱気（２ｘ６ラジアルフロースーパーフォビック、ポリポア株式会社製）を実施した後、１軸配向フィルムの表面に塗布し、１００℃の熱風中にて乾燥させて易滑塗布層を形成した。

・アクリル樹脂（メタクリル酸メチル、スチレン、２－エトキシヘキシルアクリレート、２－ヒドロキシエチルメタクリレート及びアクリル酸（５９：８：２６：５：２の質量比で含有）からなるコポリマーを、固形分として２７．５質量％含有する水分散液）：１６７部
・ノニオン系界面活性剤（「ナロアクティー（登録商標）ＣＬ９５）、三洋化成工業株式会社製、ポリオキシアルキレンアルキルエーテル、固形分１００質量％）：０．７部
・アニオン系界面活性剤（「ラピゾール（登録商標）Ａ－９０」、日油株式会社製、固形分１質量％水希釈液）：５５．７部
・ワックス（「セロゾール（登録商標）５２４」、中京油脂株式会社製、エステルワックス分散物、固形分３０質量％）：７部
・架橋剤（「カルボジライト（登録商標）Ｖ－０２－Ｌ２」、日清紡ケミカル株式会社製、カルボジイミド化合物、固形分１０質量％水希釈液）：２０．９部
・非凝集粒子（「スノーテックスＸＬ」、平均粒子径５０ｎｍ、コロイダルシリカ、日産化学株式会社製、固形分４０質量％水分散液）：２．８部
・凝集粒子（「アエロジルＯＸ５０」、平均２次粒子径２００ｎｍ、凝集シリカ、平均一次粒径４０ｎｍ、日本アエロジル株式会社製、固形分１０質量％水分散液）：２．９５部
・水：７４３部

＜横延伸工程＞
縦延伸工程及び粒子含有層形成工程を行ったフィルムに対し、テンターを用いて下記の条件にて幅方向に延伸し、２軸配向フィルムを作製した。
（横延伸条件）
予熱温度：１００℃
延伸温度：１２０℃
延伸倍率：４．３倍
延伸速度：５０％／秒

＜熱固定工程＞
上記横延伸工程を施した２軸配向フィルムに対して、テンターを用いて下記条件で加熱することにより、フィルムを熱固定する熱固定工程を行った。
（熱固定条件）
熱固定温度Ｔ１：２２７℃
熱固定時間：６秒間

＜熱緩和工程＞
次いで、熱固定されたフィルムに対して、下記条件で加熱することにより、フィルムの緊張を緩和する熱緩和工程を行った。また、熱緩和工程において、フィルムの両端を把持するテンターの把持部材間の距離（テンター幅）を狭めることにより、熱固定工程終了時と比較してフィルム幅を縮小した。下記の熱緩和率ΔＬｒは、熱緩和工程の開始時におけるフィルム幅Ｌ１に対する熱緩和工程の終了時におけるフィルム幅Ｌ２から、Ｌｒ＝（Ｌ１－Ｌ２）／Ｌ１×１００の式により求めた。
（熱緩和条件）
熱緩和温度Ｔ２：１９０℃
熱緩和率Ｌｒ：４％

＜冷却工程、及び、拡張工程＞
熱緩和されたフィルムに対して、下記条件で冷却する冷却工程を行った。また、冷却工程において、テンター幅を広げることにより、熱緩和工程終了時と比較してフィルム幅を拡張する拡張工程を実施した。
下記の冷却速度Ｖは、フィルムが延伸機１００の冷却部５０に搬入されてから搬出されるまでの滞在時間を冷却時間ｔａとして、冷却部５０への搬入時に測定したフィルム表面温度と冷却部５０の搬出時に測定したフィルム表面温度との温度差ΔＴ（℃）を、冷却時間ｔａで割ることにより求めた。
また、下記の拡張率ΔＬは、冷却工程の開始時におけるポリエステルフィルムのフィルム幅Ｌ２に対する冷却工程の終了時におけるフィルム幅Ｌ３から、ΔＬ＝（Ｌ３－Ｌ２）／Ｌ２×１００の式により求めた。
（冷却条件）
冷却速度Ｖ：２５００℃／分
冷却時間ｔａ：３．１秒間
（拡張条件）
拡張率ΔＬ：０．６％

＜巻き取り工程＞
冷却工程により冷却されたフィルムに対して、トリミング装置を用いて、フィルムの幅方向の両端から２０ｃｍの位置で搬送方向に沿って連続的にフィルムを切断して、フィルムの両端部をトリミングした。次いで、フィルムの両端から幅方向１０ｍｍまでの領域に対して、押出し加工（ナーリング）を行った後、張力４０ｋｇ／ｍでフィルムを巻き取った。
以上の方法により、２軸配向フィルムを作製した。得られた２軸配向フィルムの厚さは３１μｍであり、幅は１．５ｍであり、巻長は７０００ｍであった。また、得られた２軸配向フィルムの粒子含有層の厚さは４０ｎｍであった。さらに、上述の方法で測定した結果、得られた２軸配向フィルムの粒子含有層は、平均粒子径が５０ｎｍである粒子と、平均粒子径が２００ｎｍである粒子とを含有することが確認された。

〔実施例２〕
粒子含有層用塗布液として、非凝集粒子を含まないこと以外は塗布液Ａと同じ組成を有する塗布液Ｂを使用したこと以外は、実施例１に記載の方法に従って、２軸配向フィルムを作製した。

〔実施例３～１１〕
熱固定工程における熱固定温度Ｔ１、冷却工程における冷却速度Ｖ、及び、拡張工程における拡張率ΔＬが後述する表１に記載の数値となるように制御したこと以外は、実施例１に記載の方法に従って、２軸配向フィルムを作製した。

〔実施例１２～１７〕
凝集粒子を含有せず、非凝集粒子として表１に記載の粒子を使用し、かつ、粒子含有層の厚さを表１に記載の数値となるように調整したこと以外は、実施例１に記載の方法に従って、２軸配向フィルムを作製した。
表１に記載の粒子の詳細を以下に示す。
４５０ｎｍの非凝集粒子：スノーテックスＭＰ－４５４０Ｍ、日産化学株式会社製、平均粒子径４５０ｎｍ、コロイダルシリカ
２００ｎｍの非凝集粒子：スノーテックスＭＰ－２０４０、日産化学株式会社製、平均粒子径２００ｎｍ、コロイダルシリカ
１００ｎｍの非凝集粒子：スノーテックスＺＬ、日産化学株式会社製、平均粒子径１００ｎｍ、コロイダルシリカ
５０ｎｍの非凝集粒子：スノーテックスＸＬ、日産化学株式会社製、平均粒子径５０ｎｍ、コロイダルシリカ
３００ｎｍの非凝集粒子：ジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子、平均粒子径３００ｎｍ

〔実施例１８〕
実施例１で実施した押出成形工程に代えて、共押出成形により、実施例１の押出成形工程で製造された溶融体と、下記樹脂Ｈの溶融体とを、２５℃の冷却ドラムに共押出ししすることにより、ポリエチレンテレフタレートと粒子含有層とからなる未延伸フィルムを作製したこと以外は、実施例１に記載の方法に従って、２軸配向フィルムを作製した。
平均粒子径３００ｎｍのジビニルベンゼン／スチレン共重合架橋粒子を混合した以外は実施例１におけるポリエチレンテレフタレートのペレットの製造方法に従って、非凝集粒子を含有する樹脂Ｈのペレットを製造した。得られたペレットを、含水率が５０ｐｐｍ以下になるまで乾燥させた後、直径３０ｍｍの１軸混練押出し機のホッパーに投入し、次いで、２８０℃で溶融することにより、樹脂Ｈの溶融体を製造した。
得られた２軸配向フィルムの厚さは３１μｍであり、粒子含有層の厚さは２μｍであった。

〔実施例１９～２１〕
製造される２軸配向ポリエステルフィルムの厚さが表１に記載の数値となるように、押出成形工程において、ポリエチレンテレフタレートからなる未延伸フィルムの厚さを調整したこと以外は、実施例１に記載の方法に従って、２軸配向フィルムを作製した。
なお、実施例２０では、粒子含有層用塗布液として、上記塗布液Ｆを使用した。

〔実施例２２〕
熱固定工程において、熱固定温度Ｔ１が表１に記載の数値となるように制御したこと以外は、実施例１に記載の方法に従って、２軸配向フィルムを作製した。

〔比較例１～５〕
熱固定工程における熱固定温度Ｔ１、冷却工程における冷却速度Ｖ、及び、拡張工程における拡張率ΔＬが後述する表１に記載の数値となるように制御したこと、並びに、比較例１～４において、粒子含有層用塗布液として上記塗布液Ｂを使用したこと以外は、実施例１に記載の方法に従って、２軸配向フィルムを作製した。

〔物性測定〕
実施例１～２５及び比較例１～６の各２軸配向フィルムについて、以下の物性を測定した。測定結果を表１に示す。
また、実施例２～２５及び比較例１～６の各２軸配向フィルムについて、上述の測定方法に従って、粒子含有層の厚さと、粒子含有層に含まれる粒子の平均粒子径を測定した。これらの測定結果も表１に示す。

＜密度＞
２軸配向フィルムの密度（ｇ／ｃｍ^３）を、電子比重計（製品名「ＳＤ－２００Ｌ」、アルファーミラージュ社製）を用いて、測定した。

＜筋状欠陥領域（９０℃、１２０℃）＞
加熱搬送装置を用いて、２軸配向フィルムを搬送速度３０ｍ／分、搬送方向の張力１００Ｎ／ｍで搬送しながら９０℃又は１２０℃で２０秒間加熱処理した。加熱処理における加熱温度は、フィルムの表面温度を指す。加熱処理における加熱時間は、フィルムの表面温度が目的とする温度（９０℃又は１２０℃）に達した時点から起算した。加熱処理後の２軸配向フィルムを黒色の平板上に置き、次いで、室内の天井に設置された蛍光灯〔三菱電機株式会社製のルピカエース（色温度：５０００Ｋ、平均演色評価数（Ｒａ）：８４）〕の光が反射するように視点を変えながら２軸配向フィルムを斜めから目視で観察した。１ｍ×１ｍの領域を目視により観察し、２軸配向フィルムの表面において蛍光灯の反射像がうねっている領域を筋状欠陥領域とした。次いで、観察される筋状欠陥領域の面積の合計の２軸配向フィルムの観察領域の全面積に対する比率（面積比）を既述の方法（上記「筋状欠陥領域」の項目参照）で算出した。

＜膨張率（９０℃、１２０℃）＞
２軸配向フィルムの９０℃及び１２０℃における幅方向の膨張率を、熱機械分析装置（ＴＭＡ－６０、株式会社島津製作所製）を用いて、既述の方法（上記「膨張率」の項目参照）に従って測定した。

＜最大山高さＲｐ＞
２軸配向フィルムの表面の最大山高さＲｐは、製造された２軸配向フィルムを切り出してテストピースを作製し、得られたテストピースの表面を、既述の微細形状測定装置を用いて既述の条件にて測定し、その後、内蔵されている解析ソフトにて粒子解析（複数レベル）を実施することにより、求めた。
最大山高さＲｐの測定は、スライスレベルを１０ｎｍの等間隔に設定して、測定位置を変更しながら各スライスレベルの平均直径と密度を５回測定し、これらの平均値を算出して、最大山高さＲｐの測定値とした。テストピースは、視野測定のＸ方向がポリエステルフィルムの幅方向になるように試料台に固定した。

［評価］
実施例１～２２及び比較例１～５の各２軸配向フィルムに対して、以下の評価を行った。評価結果を表１に示す。

〔厚みムラ〕
各実施例及び比較例で製造された２軸配向フィルムを搬送しながら、スリット状ノズルを用いて下記処方Ａからなる下地層用塗布液を２軸配向フィルムの表面に塗布した後、９０℃の温度条件下で塗布膜を乾燥することにより、下地層を形成した。次に、下地層が形成された２軸配向フィルムを搬送しながら、下記処方Ｂからなる黒色層用塗布液を下地層上に塗布した後、９０℃の温度条件下で塗布膜を乾燥することにより黒色層を形成した。下地層及び黒色層を形成する際の２軸配向フィルムの搬送速度は、７０ｍ／分であった。
下地層及び黒色層を設けた２軸配向フィルムをライトテーブルに置き、２軸配向フィルムから１ｍ離れた位置で黒色層の色ムラを目視で観察した。
下地層の形成時、及び、黒色層の形成時の乾燥温度条件をいずれも１２０℃に変更したこと以外は上記の方法に従って、下地層及び黒色層を設けた２軸配向フィルムを形成し、目視での観察を行った。
塗布膜の乾燥温度条件を９０℃又は１２０℃として製造されたそれぞれの２軸配向フィルムの観察結果に基づいて、以下の基準に従って２軸配向フィルムの厚みムラを評価した。

（処方Ａ：下地層用塗布液）
・ＰＶＡ２０５（ポリビニルアルコール、株式会社クラレ製、鹸化度８８％、重合度５５０）：３２．２質量部
・ポリビニルピロリドン（アイエスピー・ジャパン株式会社製、Ｋ－３０）：１４．９部
・蒸留水：５２４質量部
・メタノール：４２９質量部

（処方Ｂ：黒色層用塗布液）
・特許第５３２０６５２号公報の段落００３６～段落００４２の記載に従って作製した樹脂被覆カーボンブラック：１３．１質量部
・分散剤：国際公開２０１７／２０８８４９号明細書の段落［０１０３］に記載の分散剤１ ０．６５質量部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合体物、重量平均分子量３．７万）：６．７２質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート：７９．５３質量部

（評価基準）
Ａ：乾燥温度条件が９０℃及び１２０℃のいずれの場合においても、黒色層の色ムラが確認されない。
Ｂ：乾燥温度条件が９０℃又は１２０℃のいずれかの場合において、黒色層の色ムラがわずかに確認された。
Ｃ：乾燥温度条件が１２０℃の場合にのみ、黒色層の色ムラが確認された。
Ｄ：乾燥温度条件が９０℃及び１２０℃のいずれの場合においても、黒色層の色ムラがはっきりと確認された。

〔転写故障〕
上記厚みムラの評価において作製した下地層及び黒色層を有する２軸配向フィルムの幅が４５ｃｍになるように両端部をトリミングした。次いで、トリミングされた２軸配向フィルムを、張力１１．５ｋｇ／ｍでコンタクトローラを押しあてながら、径３インチ（１インチ＝２．５４ｃｍ）のＡＢＳ（アクリロニトリル－ブタジエン－スチレン）樹脂製巻き芯に巻きつけた。巻きつけた２軸配向フィルムの長手方向の長さは１００ｍであった。
得られた試験体を、２５℃、５０％ＲＨの条件下で３０日間静置した。３０日間経過後、上記巻き芯に巻きつけられた２軸配向フィルムにおける黒色層の表面を蛍光灯〔三菱電機株式会社製のルピカエース（色温度：５０００Ｋ、平均演色評価数（Ｒａ）：８４）〕の下で観察した。蛍光灯の反射光によってフィルム表面の凹凸を目視で観察し、以下の基準に従って、転写故障を評価した。

（評価基準）
Ａ：表面の凹凸が一切見られず、極めて良好な状態である。
Ｂ：若干の表面凹凸が視認できるが、非常に軽微な凹凸である。
Ｃ：軽微な表面凹凸が視認できる。

表１に、各実施例及び比較例の評価結果をそれぞれ示す。
表１中、「粒子含有層」の「形成方法」欄は、各実施例及び比較例において、粒子含有層形成工程として下記の方法で粒子含有層を形成したことを意味する。
Ａ：縦延伸工程の後、横延伸工程よりも前に、１軸配向フィルム上に塗布液を塗布することにより形成（インラインコーティング法）。
Ｂ：共押出成形により、未延伸フィルムと同時に形成。

表１より、冷却工程におけるポリエステルフィルムの冷却速度Ｖが２２００～３５００℃／分の範囲内であり、かつ、上記の条件１を満たす実施例１～２２は、比較例１～５に比べて、積層される機能層の厚みムラを抑制できることが確認された。
また、表１より、特定の加熱処理を行った後、ポリエステルフィルムに観察される筋状欠陥領域の面積が観察領域の全面積に対して４０％以下である実施例１～２２は、比較例１～５に比べて、積層される機能層の厚みムラを抑制できることが確認された。

なかでも、実施例１～５及び９～１１の比較より、式（１）で算出されるＡと式（２）で算出されるＢとの積である値Ｃの絶対値が、０．１～０．７である場合、積層される機能層の厚みムラをより抑制できることが確認され、上記の値Ｃが０．１～０．５である場合、積層される機能層の厚みムラを更に抑制できることが確認された。

また、実施例１及び６～８の比較より、冷却工程における冷却速度Ｖが、２２００～３０００℃である場合、積層される機能層の厚みムラをより抑制でき、２３００～２６００℃／分である場合、積層される機能層の厚みムラを更に抑制できることが確認された。

また、実施例１及び１２～１７の比較より、粒子含有層の表面の最大山高さＲｐが０．２μｍ以下である場合、転写故障をより抑制できることが確認された。
また、実施例１２及び実施例１８の比較により、粒子含有層が含む粒子が樹脂粒子である場合、転写故障をより抑制できることが確認された。
また、実施例１及び１２～１７の比較より、平均粒子径が０．４μｍ以下の粒子を有する場合、転写故障をより抑制できることが確認された。

〔実施例２３〕
実施例１で作製した２軸配向フィルムを支持体として用いて、以下の手順にて、加飾用転写フィルムを作製した。
実施例１で作製した２軸配向フィルムの粒子含有層とは反対側の表面に、国際公開２０１７／２０８８４９号明細書の［０１０６］に記載の熱可塑性（非感光性）樹脂層塗布液を塗布し、８０℃で乾燥させて熱可塑性（非感光性）樹脂層を形成した。続いて、上述した処方Ａからなる下地層用塗布液を塗布し、１２０℃で乾燥することで下地層を形成した。その上に下記処方Ｃからなる感光性樹脂層形成用組成物を塗布し、９０℃で乾燥することで感光性樹脂層を形成した。下地層の厚さは１．６μｍ、感光性樹脂層の厚さは２．０μｍであった。最後に感光性樹脂層の表面に保護フィルムとして、厚さ１２μｍのポリプロピレンフィルムを圧着して加飾用転写フィルムを作製した。
得られた加飾用転写フィルムは、色ムラなく、転写故障もなく、良好な特性を有していた。また、得られた加飾用転写フィルムを用いて、国際公開２０１７／２０８８４９号明細書の［０１０９］の記載を参考に加飾パターンを形成したところ、良好なパターンを形成できた。

＜処方Ｃ：感光性樹脂層形成用組成物＞
・既述の黒色顔料分散液 １８０．９部
・Ａ－ＮＯＤ－Ｎ（新中村化学工業（株）、２官能、分子量２２６）３．２９部
・Ａ－ＤＣＰ（新中村化学工業（株）、２官能、分子量３０４）９．９部
・８ＵＸ－０１５Ａ（大成ファインケミカル（株）、１５官能）６．５９部
・Ａ－ＤＰＨ（新中村化学工業（株）、６官能、分子量５７８）２．２０部
・バインダー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸の共重合体、７０／３０質量％、重量平均分子量（Ｍｗ）＝５０００、固形分量＝４０．５質量％）１４１．２部
・重合開始剤ＯＸＥ－０２（ＢＡＳＦ社、ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ ０２、エタノン，１－［９－エチル－６－（２－メチルベンゾイル）－９Ｈ－カルバゾール－３－イル］－，１－（０－アセチルオキシム））６．７５部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ２５０部
・メチルエチルケトン ４０４．２部

〔実施例２４〕
実施例２１で作製した２軸配向フィルムを支持体として用いて、以下の手順にて、タッチパネル保護膜形成用のドライフィルムを作製した。
実施例２１で作製した２軸配向フィルムの粒子含有層とは反対側の表面に、下記処方Ｄからなる第２透明転写層形成用塗布液を塗布し、９０℃で乾燥して第２透明転写層を形成した。次いで、下記処方Ｅからなる第１透明転写層形成用塗布液を、第２透明転写層の上に塗布した後、７０℃で乾燥させて第１透明転写層を形成した。第２透明転写層の厚さは５．０μｍ、第１透明転写層の厚さは約８０ｎｍであった。最後に、第１透明転写層の表面に、保護フィルムとして、厚み１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを圧着し、タッチパネル保護膜形成用の転写フィルムを作製した。
得られた転写フィルムは、厚みムラに起因する屈折率変化が認められず、転写故障もなく、良好な特性を有していた。得られた転写フィルムに対して、国際公開２０１８／１８６４２８号明細書の［０１２２］～［０１２８］を参考にコンタクトホールを形成したところ、良好なパターンを形成できた。

＜処方Ｄ：第２透明転写層形成用塗布液＞
・アロニックスＴＯ－２３４９（東亜合成（株）、カルボン酸含有モノマー）０．９３部
・Ａ－ＤＣＰ（新中村化学工業（株）、２官能、分子量３０４）５．６部
・８ＵＸ－０１５Ａ（大成ファインケミカル（株）、ウレタンアクリレート）２．８０部
・バインダー（シクロヘキシルメタクリレート／メタクリル酸メチル／メタクリル酸／メタクリル酸のグリシジルメタクリレート付加物の共重合体、５１．５／２／２６．５／２０％、重量平均分子量（Ｍｗ）＝２９０００、酸価＝９５ｍｇＫＯＨ） １５．５９部
・重合開始剤ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸＥ－０２（ＢＡＳＦ社）０．１１部
・重合開始剤ＩＲＧＡＣＵＲＥ ９０７（ＢＡＳＦ社、２－メチル－１－（４－メチルチオフェニル）－２－モルフォリノプロパン－１－オン）０．２１部
・Ｎ－フェニルグリシン ０．０３部
・ブロックイソシアネート（旭化成ケミカルズ（株）、デュラネートＷＴ３２－Ｂ７５Ｐ） ３．６３部
・ベンゾイミダゾール ０．０９部
・界面活性剤（ＤＩＣ（株）、メガファックＦ－５５１）０．０２部
・１－メトキシ－２－プロピルアセテート ３１．０８部
・メチルエチルケトン ４０．０部

＜処方Ｅ：第１透明転写層形成用塗布液＞
・ナノユースＯＺ－Ｓ３０Ｍ（ＺｒＯ_２粒子メタノール分散液、日産化学工業（株）、不揮発分３０．５％）４．３４部
・アンモニア水（２５％）７．８２部
・モノイソプロパノールアミン ０．０２部
・バインダー（アリルメタクリレート／メタクリル酸共重合体、４０／６０ｍｏｌ％、重量平均分子量（Ｍｗ）＝３８０００） ０．２４部
・アロニックスＴＯ－２３４９（東亜合成（株））０．０３部
・ベンゾトリアゾール ０．０３部
・界面活性剤（ＤＩＣ（株）、メガファックＦ－４４４）０．０１部
・イオン交換水 ２１．５部
・メタノール ６６．０部

〔実施例２５〕
実施例２１で作製した２軸配向フィルムを支持体として用いて、以下の手順にて、エッチングレジスト形成用のドライフィルムを作製した。
実施例２１で作製した２軸配向フィルムの粒子含有層とは反対側の表面に、下記処方Ｆからなる熱可塑性樹脂層形成用塗布液を塗布し、８０℃で乾燥して熱可塑性樹脂層を形成した。次いで、下記処方Ｇからなる水溶性樹脂層形成用塗布液を、熱可塑性樹脂層の上に塗布した後、８０℃で乾燥させて水溶性樹脂層を形成した。更に、下記処方Ｈからなる感光性樹脂層形成用塗布液を、水溶性樹脂層の上に塗布した後、８０℃で乾燥させて感光性樹脂層を形成した。熱可塑性樹脂層の厚さは２μｍ、水溶性樹脂層の厚さは１μｍ、感光性樹脂層の厚さは２μｍであった。最後に、感光性樹脂層の表面に、保護フィルムとして、厚み１６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを圧着し、エッチングレジスト形成用の転写フィルムを作製した。
得られた転写フィルムに対して、国際公開２０１９／１５１５３４号明細書の［０４２９］～［０４３０］を参考に露光し、視認性を確認したところ、ラインアンドスペースパターンをはっきりと視認できた。

＜処方Ｆ：熱可塑性樹脂層形成用塗布液＞
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／アクリル酸の重合体（７５／１０／１５質量％、分子量３万、固形分濃度３０％）２２．７部
・３，６－ビス（ジフェニルアミノ）フルオラン ０．１２部
・特開２０１３－０４７７６５号公報の段落０２２７に記載のＡ－１、オキシムスルホネート型光酸発生剤 ０．２部
・トリシクロデカンジメタノールジアクリレート ３．３２部
・８ＵＸ－０１５Ａ（大成ファインケミカル（株）、１５官能）１．６６部
・アロニックスＴＯ－２３４９（東亜合成（株））０．５５部
・界面活性剤（ＤＩＣ（株）、メガファックＦ－５５２）０．０２部

＜処方Ｇ：水溶性樹脂層形成用塗布液＞

・ポリビニルアルコール（クラレポバール４－８８ＬＡ、（株）クラレ製）３．２２部
・ポリビニルピロリドン（日本触媒（株）製、Ｋ－３０）１．４９部
・界面活性剤（メガファックＦ－４４４、ＤＩＣ（株）製）０．００３５部
・メタノール（三菱ガス化学（株）製）５７．１部
・イオン交換水 ３８．１２部

＜処方Ｈ：感光性樹脂層形成用塗布液＞
・スチレン／メタクリル酸／メタクリル酸メチルの重合体（５２／２９／１９質量％、分子量６万、固形分濃度３０％）２５．２部
・ロイコクリスタルバイオレット ０．０６部
・光重合開始剤（２－（２－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール二量体）１．０３部
・４，４‘－ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン ０．０４部
・（Ｎ－フェニルカルバモイルメチル－Ｎ－カルボキシメチルアニリン ０．０２部
・エトキシ化ビスフェノールＡジメタクリレートＮＫエステルＢＰＥ－５００（新中村化学工業（株）製）５．６１部
・アロニックスＭ－２７０（東亞合成（株）製）０．５８部
・フェノチアジン ０．０４部
・４－ヒドロキシメチル－４―メチル－１－フェニル－３－ピラゾリドン ０．００２部
・界面活性剤（ＤＩＣ（株）、メガファックＦ－５５２）０．０４８部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート １９．７部
・メチルエチルケトン ４３．８部

〔実施例２６〕
実施例１で作製した２軸配向フィルムを支持体として用いて、以下の手順にて、セラミックグリーンシート製造用の剥離フィルムを作製した。
実施例１で作製した２軸配向フィルムの粒子含有層とは反対側の表面に、下記処方Ｊからなる剥離層形成用塗布液を塗布し、１２０℃で乾燥して剥離層を形成した。剥離層の厚さは０．１μｍであった。次いで、下記処方Ｋからなるセラミックスラリーを、乾燥後の厚みが０．５μｍになるように剥離層の上に塗布した後、９０℃で乾燥させた。スラリー面と粒子含有層面とを重ね合わせ、１０分間、１ｋｇ／ｃｍ^２の荷重をかけた後、剥離フィルムを剥離し、セラミックグリーンシートを得た。
得られたセラミックグリーンシートは、厚みムラも転写故障もなく、良好な特性を有していた。

＜処方Ｊ：剥離層形成用塗布液＞
・シリコーン樹脂（東レダウコーニング（株）製、ＳＲＸ－３４５、付加反応型のシリコーン）１０部
・白金触媒（東レダウコーニング（株）製、ＳＲＸ－２１２）０．１部
・トルエン／メチルエチルケトン混合溶媒 ４９０部

＜処方Ｋ：セラミックスラリー＞
・ポリビニルブチラール（積水化学工業（株）製、エスレックＢＨ－３）５部
・チタン酸バリウム（富士チタン工業（株）製、ＨＰＢＴ）５０部
・トルエン／エタノール混合溶媒 ４５部

２ａ～２ｌ：把持部材
１０：予熱部
２０：延伸部
３０：熱固定部
４０：熱緩和部
５０：冷却部
６０ａ、６０ｂ：環状レール
１００：延伸機
２００：フィルム
Ｐ、Ｑ：把持解除点
ＭＤ：搬送方向（長手方向）
ＴＤ：幅方向
Ｌ０、Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３：フィルム幅

Claims (22)

1. ポリエステルを含有する溶融樹脂をフィルム状に押し出して、ポリエステル基材を少なくとも含む未延伸ポリエステルフィルムを形成する押出成形工程と、
   前記未延伸ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸して１軸配向ポリエステルフィルムを形成する縦延伸工程と、
   前記１軸配向ポリエステルフィルムを幅方向に延伸して２軸配向ポリエステルフィルムを形成する横延伸工程と、
   前記２軸配向ポリエステルフィルムを加熱して熱固定する熱固定工程と、
   前記熱固定工程により熱固定されたポリエステルフィルムを前記熱固定工程よりも低い温度で加熱して熱緩和する熱緩和工程と、
   前記熱緩和工程により熱緩和されたポリエステルフィルムを冷却する冷却工程と、
   前記冷却工程において、前記熱緩和されたポリエステルフィルムを幅方向に拡張する拡張工程と、を有する、
   ポリエステル基材と、前記ポリエステル基材の少なくとも一方の表面上にある粒子を含有する粒子含有層と、を有するポリエステルフィルムの製造方法であって、
   前記冷却工程における前記ポリエステルフィルムの冷却速度Ｖが、２２００～３５００℃／分であり、
   下記条件１を満たし、かつ、
   前記縦延伸工程と前記横延伸工程との間に、前記粒子を含有する塗布液を用いて前記粒子含有層を形成する工程を更に有するか、又は、前記押出成形工程において、前記粒子及びバインダーを含有する第２の溶融体を前記溶融樹脂と同時に押し出すことにより、前記粒子含有層を形成する工程を更に有する、ポリエステルフィルムの製造方法。
   条件１：前記ポリエステルの融点をＴｍ（℃）、前記熱固定工程における熱固定温度をＴ１（℃）、前記横延伸工程における前記１軸配向ポリエステルフィルムの延伸倍率をａ、前記拡張工程における前記熱緩和されたポリエステルフィルムの幅方向の拡張率の百分率をｂ（％）としたとき、下記式（１）で算出されるＡと下記式（２）で算出されるＢとの積である値Ｃが、－４．０～４．０である。ただし、前記Ａ及びＢのいずれか一方のみが０である場合は除く。
   Ａ＝Ｔｍ－Ｔ１－３０ （１）
   Ｂ＝ａ／５－ｂ （２）
2. 前記Ａ、前記Ｂ、及び、前記冷却速度Ｖから下記式（３）により算出される値Ｄが、１～１００００である、請求項１に記載の製造方法。
   Ｄ＝（Ａ×Ｂ）^２×Ｖ （３）
3. 前記ポリエステルフィルムの厚さが５０μｍ未満である、請求項１又は２に記載の製造方法。
4. 前記熱緩和工程における前記ポリエステルフィルムの表面温度Ｔ２が、２１０℃以下である、請求項１～３のいずれか１項に記載の製造方法。
5. 前記冷却工程による前記ポリエステルフィルムの冷却速度Ｖが、２２００～３０００℃／分である、請求項１～４のいずれか１項に記載の製造方法。
6. 前記ｂが、０％を超え１．２％以下である、請求項１～５のいずれか１項に記載の製造方法。
7. ポリエステル基材と、
   前記ポリエステル基材の少なくとも一方の表面上にある、粒子を含有する粒子含有層と、
   を有するポリエステルフィルムであって、
   前記ポリエステルフィルムの厚さが５０μｍ未満であり、
   前記粒子含有層の表面の最大山高さＲｐが０．２μｍ以下であり、
   前記ポリエステルフィルムに対して、搬送速度３０ｍ／分、及び、搬送方向の張力１００Ｎ／ｍの条件で搬送しながら、フィルム表面の温度が９０℃となる条件にて２０秒間加熱処理を行った後、前記ポリエステルフィルムの１ｍ×１ｍの領域を目視により観察した際に観察される筋状欠陥領域の面積の合計が、前記１ｍ×１ｍの領域の全面積に対して４０％以下である、ポリエステルフィルム。
8. ポリエステル基材と、
   前記ポリエステル基材の少なくとも一方の表面上にある、樹脂粒子を含有する粒子含有層と、
   を有するポリエステルフィルムであって、
   前記ポリエステルフィルムの厚さが５０μｍ未満であり、
   前記ポリエステルフィルムに対して、搬送速度３０ｍ／分、及び、搬送方向の張力１００Ｎ／ｍの条件で搬送しながら、フィルム表面の温度が９０℃となる条件にて２０秒間加熱処理を行った後、前記ポリエステルフィルムの１ｍ×１ｍの領域を目視により観察した際に観察される筋状欠陥領域の面積の合計が、前記１ｍ×１ｍの領域の全面積に対して４０％以下である、ポリエステルフィルム。
9. ポリエステル基材と、
   前記ポリエステル基材の少なくとも一方の表面上にある、粒子を含有する粒子含有層と、
   を有するポリエステルフィルムであって、
   前記ポリエステルフィルムの厚さが５０μｍ未満であり、
   前記粒子含有層が、平均粒子径が０．４μｍ以下の粒子を含有し、
   前記ポリエステルフィルムに対して、搬送速度３０ｍ／分、及び、搬送方向の張力１００Ｎ／ｍの条件で搬送しながら、フィルム表面の温度が９０℃となる条件にて２０秒間加熱処理を行った後、前記ポリエステルフィルムの１ｍ×１ｍの領域を目視により観察した際に観察される筋状欠陥領域の面積の合計が、前記１ｍ×１ｍの領域の全面積に対して４０％以下である、ポリエステルフィルム。
10. 前記ポリエステルフィルムの９０℃における幅方向の膨張率が、前記ポリエステルフィルムの３０℃における幅方向の寸法に対して、－０．１５～０．１５％である、請求項７～９のいずれか１項に記載のポリエステルフィルム。
11. 前記ポリエステルフィルムの密度が、１．３９～１．４１ｇ／ｃｍ^３である、請求項７～１０のいずれか１項に記載のポリエステルフィルム。
12. 前記ポリエステル基材の厚さが、３～４０μｍであり、
    前記粒子含有層の厚さが、０．００１～２．５μｍである、請求項７～１１のいずれか１項に記載のポリエステルフィルム。
13. 前記粒子含有層が、平均粒子径が１０ｎｍ以上１μｍ未満である粒子Ｐを含有する、請求項７～１２のいずれか１項に記載のポリエステルフィルム。
14. 前記粒子Ｐの平均粒子径が、前記粒子含有層の厚さよりも大きい、請求項１３に記載のポリエステルフィルム。
15. 前記粒子含有層が、平均粒子径が１０～１００ｎｍである粒子Ｐ１を含有する、請求項７～１４のいずれか１項に記載のポリエステルフィルム。
16. 前記粒子含有層が、平均粒子径が１００ｎｍ超４００ｎｍ以下である粒子Ｐ２を含有する、請求項７～１５のいずれか１項に記載のポリエステルフィルム。
17. 前記粒子含有層が含む粒子が樹脂粒子であるか、又は、
    前記粒子含有層が含む粒子が無機粒子であり、かつ、前記ポリエステルフィルムの少なくとも一方の表面の最大山高さＲｐが５～２００ｎｍである、
    請求項７～１６のいずれか１項に記載のポリエステルフィルム。
18. 前記ポリエステル基材が粒子を実質的に含有しない、請求項７～１７のいずれか１項に記載のポリエステルフィルム。
19. 請求項７～１８のいずれか１項に記載のポリエステルフィルムであって、ポリエステル基材の一方の表面上のみに粒子含有層を有するポリエステルフィルムと、
    前記ポリエステル基材の前記粒子含有層とは反対側の表面上にあり、加飾層、感光性樹脂層、及び、剥離層からなる群より選択される機能層と、
    を有する、積層フィルム。
20. 前記機能層が加飾層であり、前記積層フィルムが加飾フィルムである、請求項１９に記載の積層フィルム。
21. 前記機能層が感光性樹脂層であり、前記積層フィルムが感光性転写フィルムである、請求項１９に記載の積層フィルム。
22. 前記機能層が剥離層であり、前記積層フィルムがセラミックグリーンシート製造用剥離フィルムである、請求項１９に記載の積層フィルム。