WO2021220717A1 - ポリエステルフィルムの製造方法、ポリエステルフィルム - Google Patents

ポリエステルフィルムの製造方法、ポリエステルフィルム Download PDF

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WO2021220717A1
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polyester film
roll
cooling
cooling roll
film
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PCT/JP2021/014252
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佑記 福岡
享春 永尾
和晴 中村
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富士フイルム株式会社
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    • B29C48/88—Thermal treatment of the stream of extruded material, e.g. cooling
    • B29C48/911—Cooling
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2067/00—Use of polyesters or derivatives thereof, as moulding material

Definitions

  • the present invention relates to a method for producing a polyester film and a polyester film.
  • Polyester films are used in a wide range of applications from the viewpoints of processability, mechanical properties, electrical properties, dimensional stability, transparency, chemical resistance, etc.
  • support and protection for dry film photoresists It is used as a film.
  • the dry film photoresist has a structure in which a photosensitive resin layer (photoresist layer) is laminated on a support, and then a protective film is further laminated.
  • dry film photoresists have been used for etching in the wiring forming process, for forming a protective film for protecting wiring portions such as copper, ITO (indium tin oxide) and silver nanoparticles, and for interlayer insulating films. It is used for.
  • Patent Document 1 describes a longitudinal stretching step of stretching a film made of a strip-shaped thermoplastic resin in a transport direction, a cooling step of cooling the film with a cooling roller, and a film width direction between the longitudinal stretching step and the cooling step.
  • a method for producing a stretched film including a side edge removing step for removing both side edges is disclosed.
  • a method for producing a polyester film which comprises a cooling step of bringing a uniaxially stretched polyester film into contact with a cooling roll to cool the surface, and the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cooling roll is 0.05 ⁇ m or less.
  • a polyester film capable of further suppressing the formation of linear defects on the surface of the polyester film. Further, according to the present invention, a polyester film can be provided.
  • the numerical range represented by using "-" means a range including the numerical values before and after "-" as the lower limit value and the upper limit value.
  • the upper limit value or the lower limit value described in a certain numerical range may be replaced with the upper limit value or the lower limit value of another numerical range described stepwise.
  • the upper limit value or the lower limit value described in a certain numerical range may be replaced with the value shown in the examples.
  • the amount of each component in the composition means the total amount of the plurality of substances present in the composition when a plurality of substances corresponding to each component are present in the composition, unless otherwise specified. ..
  • process is included in the term “process” as long as the intended purpose of the process is achieved, not only in an independent process but also in cases where it cannot be clearly distinguished from other processes. ..
  • % by mass and % by weight are synonymous, and “parts by mass” and “parts by weight” are synonymous.
  • a combination of two or more preferred embodiments is a more preferred embodiment.
  • the "longitudinal direction” means the elongated direction of the polyester film at the time of manufacturing the polyester film, and is synonymous with the "transportation direction” and the “mechanical direction”.
  • the "width direction” means a direction orthogonal to the longitudinal direction.
  • the term “orthogonal” is not limited to strict orthogonality, but includes substantially orthogonality. “Approximately orthogonal” means intersecting at 90 ° ⁇ 5 °, preferably at 90 ° ⁇ 3 °, and more preferably at 90 ° ⁇ 1 °.
  • the method for producing a polyester film according to the present invention includes a cooling step of bringing a uniaxially stretched polyester film into contact with a cooling roll to cool it.
  • the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cooling roll used in this cooling step is 0.05 ⁇ m or less.
  • the method for producing a polyester film according to an example of the embodiment of the present invention is a step of producing an unstretched polyester film from raw material polyester by an extrusion molding method (hereinafter, also referred to as “manufacturing method of the present embodiment”).
  • the uniaxially stretched polyester film obtained by the "extrusion molding step”), the step of stretching the unstretched polyester film in the transport direction (hereinafter, also referred to as “longitudinal stretching step”), and the longitudinal stretching step is cooled. (Hereinafter, also referred to as “cooling step”), and a step of stretching the uniaxially stretched polyester film cooled by the cooling step in the width direction (hereinafter, also referred to as “transverse stretching step”).
  • Polyester raw material As a raw material for the unstretched polyester film in the production method of the present embodiment will be described.
  • Polyester is a polymer having an ester bond in the main chain. Polyester is often formed by polycondensing a dicarboxylic acid compound and a diol compound, which will be described later.
  • the polyester is not limited, and known polyester can be used.
  • Examples of the polyester include polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene-2,6-naphthalate (PEN), and PET is preferable.
  • the intrinsic viscosity of polyester is preferably 0.50 dl / g or more and less than 0.80 dl / g. More preferably, it is 0.55 dl / g or more and less than 0.70 dl / g.
  • the polyester film may contain one kind of polyester alone or may contain two or more kinds of polyesters.
  • the polyester content is preferably 85% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, further preferably 95% by mass or more, and particularly preferably 98% by mass or more, based on the total mass of the polymer in the polyester film.
  • the upper limit of the polyester content is not limited and can be appropriately set within a range of 100% by mass or less with respect to the total mass of the polymer in the polyester film.
  • the polyester content is preferably 85% by mass or more, more preferably 90% by mass or more, further preferably 95% by mass or more, and particularly preferably 98% by mass or more, based on the total mass of the polyester film.
  • the upper limit of the polyester content is not limited and can be appropriately set within a range of 100% by mass or less with respect to the total mass of the polyester film.
  • the content of polyethylene terephthalate is preferably 90 to 100% by mass, more preferably 95 to 100% by mass, and 98 to 100% by mass with respect to the total mass of polyester in the polyester film. % Is more preferable, and 100% by mass is particularly preferable.
  • polyester manufacturing method The method for producing polyester is not limited, and a known method can be used.
  • polyester can be produced by polycondensing at least one dicarboxylic acid compound and at least one diol compound in the presence of a catalyst.
  • the catalyst used in the production of the polyester is not particularly limited, and a known catalyst that can be used in the synthesis of the polyester can be used.
  • the catalyst include alkali metal compounds, alkaline earth metal compounds, zinc compounds, lead compounds, manganese compounds, cobalt compounds, aluminum compounds, antimony compounds, titanium compounds, germanium compounds and phosphorus compounds. Of these, titanium compounds are preferable from the viewpoint of catalytic activity and cost.
  • the titanium compound an organic chelated titanium complex is preferable.
  • the organic chelated titanium complex is a titanium compound having an organic acid as a ligand.
  • the organic acid include citric acid, lactic acid, trimellitic acid, and malic acid.
  • the titanium compound the titanium compounds described in paragraphs 0049 to 0053 of Japanese Patent No. 5575671 can also be used, and the contents of the above publication are incorporated in the present specification.
  • dicarboxylic acid compound examples include an aliphatic dicarboxylic acid compound, an alicyclic dicarboxylic acid compound, and an aromatic dicarboxylic acid compound, and an aromatic dicarboxylic acid is preferable.
  • Examples of the aliphatic dicarboxylic acid compound include malonic acid, succinic acid, glutaric acid, adipic acid, suberic acid, sebacic acid, dodecandioic acid, dimer acid, eikosandionic acid, pimelic acid, azelaic acid, and methylmalonic acid. And ethylmalonic acid.
  • Examples of the alicyclic dicarboxylic acid compound include adamantandicarboxylic acid, norbornenedicarboxylic acid, cyclohexanedicarboxylic acid, and decalindicarboxylic acid.
  • aromatic dicarboxylic acid compound examples include terephthalic acid, isophthalic acid, phthalic acid, 1,4-naphthalenedicarboxylic acid, 1,5-naphthalenedicarboxylic acid, 2,6-naphthalenedicarboxylic acid, and 1,8-naphthalenedicarboxylic acid.
  • 4,4'-diphenyldicarboxylic acid, 4,4'-diphenyletherdicarboxylic acid, 5-sodium sulfoisophthalic acid, phenylindandicarboxylic acid, anthracendicarboxylic acid, phenanthrangecarboxylic acid, and 9,9'-bis (4-carboxy) Dicarboxylic acid) fluorenic acid can be mentioned.
  • terephthalic acid or 2,6-naphthalenedicarboxylic acid is preferable, and terephthalic acid is more preferable.
  • terephthalic acid may be used alone, or may be copolymerized with another aromatic dicarboxylic acid such as isophthalic acid or an aliphatic dicarboxylic acid.
  • diol compound examples include an aliphatic diol compound, an alicyclic diol compound, and an aromatic diol compound, and an aliphatic diol compound is preferable.
  • Examples of the aliphatic diol compound include ethylene glycol, 1,2-propanediol, 1,3-propanediol, 1,4-butanediol, 1,2-butanediol, 1,3-butanediol, and neo. Pentyl glycol is mentioned, and ethylene glycol is preferable.
  • Examples of the alicyclic diol compound include cyclohexanedimethanol, spiroglycol, and isosorbide.
  • Examples of the aromatic diol compound include bisphenol A, 1,3-benzenedimethanol, 1,4-benzenedimethanol, and 9,9'-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene. Only one type of diol compound may be used, or two or more types may be used in combination.
  • an end sealant may be used if necessary.
  • a structure derived from the end sealant is introduced into the end of the polyester.
  • the end encapsulant is not limited, and a known end encapsulant can be used.
  • the terminal encapsulant include an oxazoline compound, a carbodiimide compound, and an epoxy compound.
  • the contents described in paragraphs 0055 to 0064 of JP2014-189002A can also be referred to, and the contents of the above publication are incorporated in the present specification.
  • the reaction temperature is not limited and may be appropriately set according to the raw material.
  • the reaction temperature is preferably 260 to 300 ° C, more preferably 275 to 285 ° C.
  • the pressure is not limited and may be set appropriately according to the raw material.
  • the pressure is preferably 1.33 ⁇ 10 -3 to 1.33 ⁇ 10 -5 MPa, more preferably 6.67 ⁇ 10 -4 to 6.67 ⁇ 10 -5 MPa.
  • FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing an example of a manufacturing apparatus used in the manufacturing method of the present embodiment.
  • the polyester film manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 1 includes a longitudinally stretched portion 10 for stretching an unstretched polyester film produced by an extrusion molding method in the transport direction, and a uniaxially stretched polyester film stretched in the transport direction by the longitudinally stretched portion 10. 20 ..
  • a longitudinally stretched portion 10 for stretching an unstretched polyester film produced by an extrusion molding method in the transport direction
  • a detailed description of the configuration, functions, and the like of each of the above parts will be described together with a description of each manufacturing process included in the manufacturing method of the present embodiment described below.
  • the notation "film F" and the mere “polyester film” are used as an unstretched polyester film, a uniaxially stretched polyester film, and a biaxially stretched polyester film. It shall include all of.
  • an unstretched polyester film is formed from the raw material polyester by an extrusion molding method.
  • the extrusion molding method is a method of molding a raw material resin into a desired shape by, for example, extruding the raw material resin using an extruder.
  • the unstretched polyester film is obtained by, for example, using an extruder equipped with one or more screws, heating the polyester described above to a temperature equal to or higher than the melting point, and rotating the screw to melt and knead the polyester. It is formed. Polyester is melted in an extruder by heating and kneading with a screw to form a melt.
  • the melt is extruded from the extrusion die through a gear pump, a filter, etc.
  • the extrusion die is also simply referred to as a "die” (see JIS B8650: 2006, (a) Extruder, No. 134).
  • the melt may be extruded in a single layer or in multiple layers.
  • melt extrusion it is preferable to replace the inside of the extruder with nitrogen from the viewpoint of suppressing thermal decomposition (for example, hydrolysis of polyester) in the extruder.
  • the extruder is preferably a twin-screw extruder because the kneading temperature can be kept low.
  • the melt extruded from the extrusion die is cooled to form a film.
  • the melt can be formed into a film by bringing the melt into contact with a casting roll and cooling and solidifying the melt on the casting roll.
  • air preferably cold air
  • the temperature of the casting roll is preferably more than (Tg-10) ° C. and (Tg + 30) ° C. or lower, more preferably (Tg-7) to (Tg + 20) ° C., and even more preferably (Tg-5) to (Tg + 10) ° C.
  • Tg means the glass transition temperature of the polyester constituting the polyester film produced by the production method of the present embodiment.
  • the temperature of the polyester film and each member in the manufacturing method can be measured by using a non-contact thermometer (for example, a radiation thermometer).
  • the method for improving the adhesion include an electrostatic application method, an air knife method, an air chamber method, a vacuum nozzle method, and a touch roll method.
  • the molded product (unstretched polyester film) cooled using a casting roll or the like is stripped from the cooling member such as the casting roll by using a stripping member such as a stripping roll.
  • the longitudinal stretching step is a step of stretching an unstretched polyester film in the transport direction (hereinafter, also referred to as “longitudinal stretching”). More specifically, it is a step of stretching an unstretched polyester film in the transport direction to form a uniaxially stretched polyester film by using an apparatus including two or more stretching rolls having different transport speeds.
  • the longitudinally stretched portion 10 is an example of an apparatus including two or more stretching rolls having different transport speeds, and includes a pair of preheating rolls 12, a pair of stretching rolls 14, and a heater 16.
  • a pair of preheating rolls 12, a pair of stretching rolls 14, and a heater 16 are arranged in this order from the upstream side in the transport direction.
  • the preheating roll 12 has a function of transporting the film F in the longitudinal direction and preheating the film F before longitudinal stretching.
  • the unstretched polyester film is preheated by the preheating roll 12 before the longitudinal stretching.
  • the polyester film can be easily stretched vertically.
  • the manufacturing apparatus 100 shown in FIG. 1 includes only a pair of preheating rolls 12, the number of preheating rolls arranged on the upstream side of the stretching roll 14 for longitudinal stretching is not particularly limited. The number may be provided according to the transport speed of the film F and / or the thickness of the film.
  • the preheating temperature of the unstretched polyester film is preferably (Tg-30) to (Tg + 40) ° C, more preferably (Tg-20) to (Tg + 30) ° C. Specifically, the preheating temperature is preferably 60 to 100 ° C, more preferably 65 to 80 ° C.
  • the transport speed of the film F by the preheating roll 12 is not particularly limited, but is preferably the same as the transport speed of the film F by the stretch roll 14.
  • the stretching roll 14 has a function of transporting the film F in the longitudinal direction.
  • the transport speed of the film F by the stretching roll 14 is set to be slower than the transport speed of the film F by the cooling roll 22, which will be described later.
  • the unstretched polyester film is longitudinally stretched by transporting the film F between the stretching roll 14 and the cooling roll 22, which has a faster conveying speed than the stretching roll, while applying tension to the film F. ..
  • the transport speed (peripheral speed) of the film F by the stretching roll 14 is not particularly limited as long as it is slower than the cooling roll 22, but is preferably 5 to 60 m / min, more preferably 10 to 50 m / min, and 15 to 45 m / min. More preferred.
  • the transport speed (peripheral speed) of the film F by the cooling roll 22 is not particularly limited as long as it is faster than the stretching roll 14, but is preferably 40 to 160 m / min, more preferably 50 to 150 m / min, and more preferably 60 to 140 m / min. Minutes are even more preferred.
  • the stretching ratio in the longitudinal stretching step may be appropriately set depending on the intended use, but is preferably 2.0 to 5.0 times, more preferably 2.5 to 4.0 times, and further preferably 2.8 to 4.0 times. preferable.
  • the stretching speed in the longitudinal stretching step is preferably 800 to 1500% / sec, more preferably 1000 to 1400% / sec, and even more preferably 1200 to 1400% / sec.
  • the "stretching speed" is a value obtained by dividing the length ⁇ d in the transport direction of the polyester film stretched in 1 second in the longitudinal stretching step by the length d0 in the transport direction of the polyester film before stretching as a percentage. It is a value represented by.
  • the stretch roll 14 has a function of preheating the film F.
  • the preferable range of the preheating temperature of the film F by the stretching roll 14 is the same as the preferable range of the preheating temperature of the preheating roll described above.
  • the preheating roll 12 and the stretching roll 14 are not particularly limited, and known rolls used for stretching plastic films can be used, but the material constituting the surface layer including the surface of each roll is metal, ceramic or fluororesin. It is preferably present, and more preferably ceramic. Chromium is preferable as the metal. As the ceramic, chromium oxide or alumina oxide is preferable, and chromium oxide is more preferable. As the fluororesin, polytetrafluoroethylene is preferable.
  • the heater 16 has a function of heating the film F (unstretched polyester film) vertically stretched by the stretching roll 14 and the cooling roll 22.
  • the heating temperature in the longitudinal stretching step by the heater 16 is preferably (Tg-20) to (Tg + 50) ° C., more preferably (Tg-10) to (Tg + 40) ° C., and even more preferably (Tg) to (Tg + 30) ° C.
  • the heating temperature in the longitudinal stretching step is preferably 70 to 120 ° C., more preferably 80 to 110 ° C., and even more preferably 85 to 100 ° C.
  • the method for heating the film F in the longitudinal stretching step is not limited to the method using the heater 16, and the method for heating the film F with a heated roll other than the above-mentioned stretching roll 14 or the stretching roll 14 and the film F Examples include a method of applying warm air. Examples of the method of heating each roll include a method of providing a heater inside the roll and a method of providing a pipe inside the roll and allowing the heated fluid to flow through the pipe.
  • the uniaxially stretched polyester film used in the manufacturing method according to the present invention is not limited to the polyester film manufactured by the above-mentioned longitudinal stretching step.
  • the unstretched polyester film is longitudinally stretched by utilizing the difference between the transport speed of the pair of stretching rolls 14 and the transport speed of the cooling roll 22, but instead of the cooling roll 22
  • the unstretched polyester film is longitudinally stretched using one or more high-speed stretching rolls arranged between the stretching roll 14 and the cooling roll 22 and transporting the film F at a transport speed faster than that of the stretching roll 14.
  • Axial stretched polyester film may be produced.
  • the apparatus used in the longitudinal stretching step may be provided with two or more preheats for preheating the unstretched polyester film before the longitudinal stretching, and may be provided with two or more low-speed stretching rolls used for the longitudinal stretching. May be good.
  • the preheating roll 12 and the stretching roll 14 included in the longitudinal stretching portion 10 each have a configuration in which the film F is sandwiched between two opposing rolls (a pair of rolls) and conveyed, but in the longitudinal stretching step.
  • the preheating roll and / or stretching roll used may not have opposing rolls and may consist of only one roll in contact with one surface of the polyester film.
  • the cooling step included in the manufacturing method of the present embodiment is a step of cooling the uniaxially stretched polyester film obtained by the longitudinal stretching step. More specifically, the uniaxially stretched polyester film is cooled by contacting it with the cooling roll 22 included in the cooling unit 20.
  • the cooling unit 20 that performs the cooling step in the present embodiment includes a cooling roll 22, an opposing roll 24 that is arranged so as to face the cooling roll 22, and three or more second cooling rolls 26.
  • the second cooling roll 26 other than the second cooling roll 26 arranged on the most upstream side and the second cooling roll 26 arranged on the most downstream side is omitted.
  • the cooling roll 22 has a function of cooling the film F, and as described above, the cooling roll 22 and the opposing roll 24 rotate while sandwiching the film F, and the film F is conveyed at a predetermined conveying speed, so that the film F is not stretched. It has a function of vertically stretching a polyester film.
  • the surface of the cooling roll 22 included in the cooling unit 20 has an arithmetic mean roughness Ra of 0.05 ⁇ m or less.
  • the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cooling roll 22 is preferably 0.04 ⁇ m or less, more preferably 0.03 ⁇ m or less, still more preferably 0.02 ⁇ m or less, in that the effect of the present invention is more excellent.
  • the lower limit of the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cooling roll 22 is not particularly limited, but 0.001 ⁇ m or more is preferable, and 0.008 ⁇ m or more is more preferable in that the occurrence of turbulent defects (described later) in the polyester film can be further suppressed. , 0.01 ⁇ m or more is more preferable.
  • the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cooling roll if the cooling roll is a commercial product and a catalog value exists, the catalog value is adopted. If the catalog value does not exist, a test piece having the same structure as the cooling roll used is prepared, and the surface of the obtained test piece is subjected to a magnification of 3000 times using a laser microscope (manufactured by KEYENCE CORPORATION; VK-9510). The measured value obtained is taken as the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cooling roll.
  • the maximum peak height Rp of the surface of the cooling roll 22 is preferably 0.4 ⁇ m or less, more preferably 0.3 ⁇ m or less, and 0.2 ⁇ m or less, because it is excellent in suppressing linear defects. It is more preferable to have.
  • the lower limit of the maximum mountain height Rp on the surface of the cooling roll 22 is not particularly limited, but is preferably 0.01 ⁇ m or more.
  • the cooling roll 22 is excellent in suppressing linear defects, and the protrusion density on the surface thereof is preferably 10,000 pieces / mm 2 or less, more preferably 8,000 pieces / mm 2 or less, and 6000. It is more preferably 2 pieces / mm or less.
  • the lower limit of the protrusion density on the surface of the cooling roll 22 is not particularly limited, but 1000 pieces / mm 2 or more is preferable.
  • a test piece having the same structure as the cooling roll used was prepared, and the surface of the obtained test piece was subjected to the following conditions using the following fine shape measuring device. After that, particle analysis (multiple levels) is performed with the built-in analysis software. The measuring machine and measuring conditions are shown below. In the above measurement, the slice levels are set at equal intervals of 10 nm, the average diameter and density of each slice level are measured 5 times while changing the measurement position, and these average values are calculated to obtain the maximum mountain height Rp. And each measured value of protrusion density. The test piece is fixed to the sample table so that the X direction of the visual field measurement is the width direction of the polyester film.
  • ⁇ Measuring device surf-corder ET-4000A manufactured by Kosaka Laboratory ⁇ Analysis software: i-Face model TDA31 Ver2.2.0.4 JSIS ⁇ Radius of stylus tip: 0.5 ⁇ m -Measurement field of view: X direction: 380 ⁇ m, pitch: 1 ⁇ m Y direction: 280 ⁇ m, pitch: 5 ⁇ m ⁇ Needle pressure: 50 ⁇ N ⁇ Measurement speed: 0.1 mm / s ⁇ Cutoff value: Low range-0.8mm, High range-None ⁇ Leveling: Whole area ⁇ Filter: Gaussian filter (2D) ⁇ Magnification: 100,000 times ⁇ Particle analysis (multiple levels) conditions ⁇ Output content setting: Mountain particles ⁇ Hysteresis width: 5 nm ⁇ Slice level equal spacing: 10 nm
  • the surface temperature of the cooling roll is preferably 40 ° C. or lower, more preferably 35 ° C. or lower, still more preferably 30 ° C. or lower, in that it is superior in cooling performance of the uniaxially stretched polyester film.
  • the lower limit of the surface temperature of the cooling roll is not particularly limited, but is preferably 15 ° C. or higher.
  • the contact angle of the surface of the cooling roll with water is preferably 10 ° or more, more preferably 20 ° or more, still more preferably 50 ° or more, in that the occurrence of turbulent defects (described later) of the polyester film can be further suppressed.
  • the upper limit of the contact angle of the surface of the cooling roll with water is not particularly limited, but is preferably 120 ° or less.
  • the contact angle of the surface of the cooling roll with water if the cooling roll is a commercial product and a catalog value exists, the catalog value is adopted. If the catalog value does not exist, prepare a test piece having the same structure as the cooling roll used, and use a contact angle meter (DMo-901, manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) to obtain water on the surface of the test piece. The static contact angle (°) with respect to water is measured by the sessile drop method, and the obtained measured value is taken as the contact angle of the surface of the cooling roll with water.
  • DMo-901 manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.
  • the material constituting the cooling roll is not particularly limited, but a cooling roll whose cooling efficiency and surface arithmetic average roughness Ra, maximum peak height Rp, protrusion density and / or contact angle are included in the above ranges can be easily used.
  • the material constituting the surface layer including at least the surface of the cooling roll is metal, ceramic or fluororesin.
  • the metal and ceramic include tungsten carbide, hard chromium and alumina oxide, preferably tungsten carbide or hard chromium, and more preferably tungsten carbide.
  • the fluororesin polytetrafluoroethylene is preferable.
  • a cooling roll having a surface layer made of the above material can be produced, for example, by forming a surface layer made of the above material on the outer peripheral surface of a known metal roll by a known method such as a plating method or a thermal spraying method.
  • the opposing roll is a member that is arranged so as to face the cooling roll, rotates in accordance with the rotation of the cooling roll, and applies pressure to the cooling roll.
  • the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the opposing roll 24 is preferably 1.8 ⁇ m or less, more preferably 1.5 ⁇ m or less, and 1.2 ⁇ m or less in that the occurrence of transfer defects (described later) in the polyester film can be further suppressed. More preferred.
  • the lower limit of the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the opposing roll 24 is not particularly limited, but is preferably 0.1 ⁇ m or more.
  • the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the opposing roll 24 is measured by the following method.
  • the replica material is injected onto the surface of the opposing roll 24 to imitate the surface shape.
  • a laser microscope manufactured by KEYENCE CORPORATION; VK-9510
  • the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the opposing roll 24 can be obtained.
  • the material constituting the opposed roll is not particularly limited, but an elastic body is preferable.
  • the elastic body include rubber and thermoplastic elastomer.
  • the hardness of the opposing roll is preferably 50 to 90 degrees, more preferably 60 to 80 degrees, in that the transfer is more excellent.
  • the hardness of the opposing roll is a rubber hardness measured using a hardness tester such as a type A durometer in accordance with the method described in JIS K6253-3.
  • the condition of the cooling step is the cooling rate of the polyester film by the cooling roll, that is, the time at which the polyester film and the cooling roll come into contact with each other, that is, the temperature of the polyester film lowered from the time when the polyester film comes into contact with the cooling roll until it is separated from the cooling roll.
  • the divided value is preferably 50 ° C./sec or higher, more preferably 120 ° C./sec or higher, further preferably 150 ° C./sec or higher, and particularly preferably 180 ° C./sec or higher. preferable.
  • the upper limit of the above cooling rate is not particularly limited, but is preferably 300 ° C./sec or less.
  • the cooling rate of the polyester film by the cooling roll can be adjusted by the surface temperature of the cooling roll and the transport speed of the film by the cooling roll and the opposing roll.
  • the cooling rate of the polyester film by the cooling roll is the temperature of the polyester film at the position where it contacts the cooling roll (film temperature at the time of contact) and the temperature of the polyester film at a position away from the cooling roll, as measured by using a non-contact thermometer. It is obtained from the measured value of (film temperature at separation), the length of the contact surface between the polyester film and the cooling roll in the transport direction, and the transport speed of the polyester film by the cooling roll and the opposing roll.
  • the temperature of the polyester film in contact with the cooling roll is preferably 90 ° C. or higher, more preferably 95 ° C. or higher, in that 80 ° C. is more excellent.
  • the upper limit is not particularly limited, but 120 ° C. or lower is preferable.
  • the temperature of the polyester film away from the cooling roll is preferably 80 ° C. or lower, more preferably 50 ° C. or lower, in that the occurrence of turbulent defects in the polyester film can be further suppressed.
  • the lower limit is not particularly limited, but is preferably 15 ° C. or higher.
  • the temperature of the polyester film lowered from the contact with the cooling roll to the separation from the cooling roll is preferably 10 ° C.
  • the temperature and temperature change of the polyester film in the cooling step can be measured by the above method using a non-contact thermometer.
  • the pressure applied to the polyester film by the cooling roll and the opposing roll is not particularly limited, but the surface average value of the pressure is 0 in that the occurrence of linear defects in the obtained polyester film can be further suppressed. It is preferably 8.8 MPa or more, more preferably 1.1 MPa or more, and even more preferably 1.3 MPa or more. Further, the upper limit of the surface average value of the pressure is preferably 2.5 MPa or less, more preferably 2.0 MPa or less, in that the occurrence of transfer defects and transport wrinkles (described later) in the obtained polyester film can be further suppressed. It is more preferably 0.7 MPa or less.
  • a pressure measuring film (“Prescale (registered trademark)” manufactured by FUJIFILM Corporation; for ultra-low pressure (LLW)) is used. Is measured. More specifically, the pressure measuring film is sandwiched between the cooling roll and the opposing roll and pressed under the same conditions as in the cooling step without rotating the cooling roll and the opposing roll. As a result, the region colored red in the pressure measuring film is regarded as the region (pressing region) to which the pressure is applied by the cooling roll and the opposing roll.
  • the difference between the maximum value and the minimum value in the width direction of the pressure in the pressing region of the polyester film is preferably 0.6 MPa or less, preferably 0.4 MPa. The following is more preferable, and 0.2 MPa or less is further preferable.
  • the lower limit is not particularly limited, but 0.01 MPa or more is preferable.
  • the difference between the maximum value and the minimum value in the width direction of the pressure in the pressing region is the same as the method for measuring the surface average value of the pressure described above, and the pressure in the pressing region is based on the color development region appearing on the pressure measuring film.
  • the value is obtained by comparing the average value of the obtained pressure values in the transport direction along the width direction and taking the difference between the maximum value and the minimum value in the width direction.
  • the size of the pressing region of the polyester film by the cooling roll and the opposing roll is not particularly limited, but the length of the pressing region in the transport direction (hereinafter, also referred to as “nip width”) is 12 mm in that it is superior in suppressing linear defects.
  • the above is preferable, 15 mm or more is more preferable, and 18 mm or more is further preferable.
  • the upper limit is not particularly limited, but is preferably 30 mm or less.
  • the nip width of the pressing region is obtained by carrying out the same method as the above-mentioned method for measuring the surface average value of pressure and measuring the length of the coloring region appearing on the pressure measuring film in the transport direction. Further, the nip width of the pressing region can be adjusted by the load applied between the cooling roll and the opposing roll, the hardness of the material constituting the opposing roll, and the outer diameters of the cooling roll and the opposing roll.
  • the film F is conveyed while applying pressure to the film F by the cooling roll 22 and the opposing roll 24, but the device used in the cooling step has an arithmetic mean roughness Ra of 0 on the surface. It is not particularly limited as long as it has a cooling roll of .05 ⁇ m or less.
  • the polyester film may be cooled and conveyed only by the cooling roll that is in contact with one side of the polyester film without providing the facing roll that is arranged so as to face the cooling roll.
  • the apparatus used in the cooling step may include two or more of the above cooling rolls.
  • the film F cooled by the cooling roll 22 is subjected to a secondary cooling process of further cooling by the second cooling roll 26.
  • the second cooling roll 26 has a function of cooling while conveying the film F.
  • the surface temperature of the second cooling roll is not particularly limited as long as it is equal to or lower than the surface temperature of the cooling roll 22, but is preferably 15 to 50 ° C.
  • the cooling unit 20 shown in FIG. 1 uses three or more second cooling rolls, the number of the second cooling rolls may be one or two. Further, the secondary cooling process may be performed using a device other than the cooling roll.
  • the transverse stretching step is a step of stretching a uniaxially stretched polyester film in the width direction (hereinafter, also referred to as "transverse stretching"). More specifically, it is a step of stretching a uniaxially stretched polyester film in the width direction using a transverse stretching machine to form a biaxially stretched polyester film.
  • the transversely stretched portion 30 is a device that stretches the film F in the width direction by applying tension in the width direction while heating the film F.
  • a known transverse stretching machine such as a tenter is used.
  • the tenter is divided by a windbreak curtain and has a large number of zones whose temperature can be individually adjusted by hot air or the like.
  • Specific examples of the tenter having such a zone include a tenter having a preheating zone, a lateral stretching zone, a heat fixing zone, a heat relaxation zone, and a cooling zone in this order from the upstream side in the transport direction.
  • the preheating temperature is preferably (Tg-10) to (Tg + 60) ° C, more preferably (Tg) to (Tg + 50) ° C. Specifically, the preheating temperature is preferably 80 to 120 ° C, more preferably 90 to 110 ° C.
  • the draw ratio in the transverse stretching step is preferably larger than the draw ratio in the longitudinal stretching step.
  • the stretching ratio in the transverse stretching step is preferably 3.0 to 6.0 times, more preferably 3.5 to 5.0 times, and even more preferably 3.5 to 4.5 times.
  • the area magnification represented by the product of the stretching ratio in the longitudinal stretching step and the stretching ratio in the transverse stretching step is preferably 12.8 to 15.5 times, more preferably 13.5 to 15.2 times, and 14. It is more preferably 0 to 15.0 times.
  • the area magnification is at least the above lower limit value, the molecular orientation in the film width direction becomes good. Further, when the area magnification is not more than the above upper limit value, it is easy to maintain a state in which the molecular orientation is difficult to be relaxed when subjected to the heat treatment.
  • the heating temperature in the transverse stretching step is preferably (Tg-10) to (Tg + 80) ° C, more preferably (Tg) to (Tg + 70) ° C, and even more preferably (Tg) to (Tg + 60) ° C.
  • the heating temperature in the transverse stretching step is preferably 100 to 140 ° C, more preferably 110 to 135 ° C, and even more preferably 115 to 130 ° C.
  • the stretching speed in the transverse stretching step is preferably 8 to 45% / sec, more preferably 10 to 30% / sec, still more preferably 15 to 20% / sec.
  • the production method of the present embodiment may include a step of heat-treating the polyester film stretched in the width direction by the transverse stretching step (hereinafter, also referred to as “heat treatment step”).
  • the heat treatment step include a heat fixing step and a heat relaxation step.
  • the heat treatment step preferably has at least one of a heat fixing step and a heat relaxation step, and more preferably has both a heat fixing step and a heat relaxation step.
  • the heat treatment step including the heat fixing step and the heat relaxation step is carried out, for example, by using the tenter including the heat fixing zone and the heat relaxation zone exemplified as the transverse stretching portion 30 in the transverse stretching step.
  • the heating temperature in the heat fixing step is preferably 190 to 240 ° C., more preferably 200 to 240 ° C., and even more preferably 210 to 230 ° C.
  • the variation in the maximum film surface temperature in the film width direction is preferably 0.5 to 10.0 ° C, more preferably 0.5 to 7.0 ° C, and 0.5 to 5.0 ° C. More preferably, 0.5 to 4.0 ° C. is particularly preferable.
  • Examples of the heating method include a method of applying hot air to the film and a method of radiant heating of the film.
  • Examples of the device used in the method of radiant heating include an infrared heater.
  • the heating time in the heat fixing step is preferably 5 to 50 seconds, more preferably 5 to 30 seconds, and even more preferably 5 to 10 seconds.
  • Heat relaxation process In the heat relaxation step, heat is relaxed by heating the polyester film stretched in the width direction. Residual strain of the polyester film can be alleviated by heat relaxation.
  • the heating temperature in the heat relaxation step is preferably 5 ° C. or higher lower than the heating temperature in the heat fixing step, more preferably 15 ° C. or higher, further preferably 25 ° C. or higher, and particularly preferably 30 ° C. or higher. ..
  • the lower limit of the heating temperature in the heat relaxation step is preferably 100 ° C. or higher, more preferably 110 ° C. or higher, and even more preferably 120 ° C. or higher.
  • Examples of the heating method include a method of applying hot air to the film and a method of radiant heating of the film.
  • Examples of the device used in the method of radiant heating include an infrared heater.
  • the manufacturing method of the present embodiment includes a winding step of obtaining a roll-shaped biaxially stretched polyester film by winding the biaxially stretched polyester film subjected to the above-mentioned transverse stretching step by the winding unit 40.
  • polyester film The polyester film produced by the production method of this embodiment will be described.
  • the polyester film produced by the production method of the present embodiment is a biaxially oriented polyester film.
  • the term "biaxial orientation” means a property having molecular orientation in the biaxial direction.
  • the molecular orientation is measured using a microwave transmission type molecular orientation meter (for example, MOA-6004, manufactured by Oji Measuring Instruments Co., Ltd.).
  • the angle formed in the biaxial direction is preferably 90 ° ⁇ 5 °, more preferably 90 ° ⁇ 3 °, and even more preferably 90 ° ⁇ 1 °.
  • the polyester film produced by the production method of the present embodiment preferably has molecular orientation in the longitudinal direction and the width direction.
  • Linear defect is a scratch formed on the surface of a polyester film that extends linearly along a transport direction, and has a length of 1 mm or more and a maximum depth of 500 nm or more. A certain wound. Linear defects can occur due to the polyester film shrinking in the width direction when the longitudinally stretched polyester film is cooled. When linear defects occur in the polyester film, for example, when the polyester film is used as a temporary support and a protective film for DFR, the required performance may not be satisfied, such as causing an exposure failure. According to the production method according to the present invention, the occurrence of linear defects in the obtained polyester film can be suppressed.
  • the number of linear defects on the surface of the polyester film is measured by the following method. (1) In a dark room, visually observe the reflected light of tungsten light by the polyester film and the transmitted light passing through the polyester film while changing the viewpoint, and visually observe the positions of linear scratches existing on the surface of the polyester film. To identify. (2) The length and depth of the observed scratches were measured using a laser microscope (manufactured by KEYENCE CORPORATION; VK-9510) at a magnification of 300 to 3000 times, and the length was 1 mm based on the measurement results. A scratch having the above and the maximum depth of 500 nm or more is regarded as a linear defect. (3) The number (pieces / m 2 ) of the observed linear defects per 1 m 2 of the polyester film is measured.
  • turbulent defect refers to a rough appearance of the surface that is visually recognized by visually observing the reflected light on the surface of the polyester film. Disturbance defects can occur when the polyester film attached to the roll is peeled off from the roll during the production of the polyester film.
  • the number of turbulent defects in the polyester film is preferably 30 pieces / m 2 or less, more preferably 10 pieces / m 2 or less, and even more preferably 5 pieces / m 2 or less.
  • the lower limit is not particularly limited, but 0.01 pieces / m 2 or more is preferable.
  • the number of turbulent defects in the polyester film is measured by the following method.
  • the polyester film In a dark room, the polyester film is placed on a flat surface, and the reflected light of the tungsten light by the polyester film is visually observed while changing the viewpoint.
  • the region where the reflected light is not uniform and a rough appearance such as wrinkles or drags is observed on the surface of the polyester film is regarded as a disorder defect.
  • the number of observed turbulent defects is counted, and the number of turbulent defects per 1 m 2 of the polyester film (pieces / m 2 ) is calculated.
  • transfer defect means a pinhole formed in a coating layer provided on the surface of a polyester film.
  • the coating layer is preferably a coating layer formed on the polyester film by the in-line coating method in the above production method. Transfer defects can occur, for example, when a polyester film having a coating layer is sandwiched between a pair of rolls and conveyed, and the pressure applied to the polyester film by the pair of rolls is too high, or on the surface of either roll. It can occur when the uneven shape is large.
  • the number of transfer defects in the polyester film is preferably 10 pieces / m 2 or less, more preferably 3 pieces / m 2 or less, and even more preferably 1 piece / m 2 or less.
  • the lower limit is not particularly limited, but 0.01 pieces / m 2 or more is preferable.
  • the number of transfer defects in the polyester film is measured by the following method.
  • the polyester film is formed according to the method described above, except that a coating liquid consisting of the following formulation A is applied onto the polyester film after longitudinal stretching using a slit-shaped nozzle to form a coating film.
  • a laminated film composed of a coating layer having a thickness of 0.05 ⁇ m and a coating layer having a thickness of 0.05 ⁇ m is produced.
  • Tungsten light is irradiated from the surface opposite to the surface on which the coating layer of the manufactured laminated film is formed, and the coating layer side of the laminated film is visually observed.
  • the number of transfer defects in the coating layer that is visually recognized as pinholes through which light escapes is counted, and the number of transfer defects per 1 m 2 of the polyester film (pieces / m 2 ) is calculated.
  • Coating liquid for forming a coating layer- -Polyacrylic (AS-563A, manufactured by Daicel FineChem Co., Ltd., solid content 27.5% by mass): 167 parts by mass-Nonion-based surfactant (Naroacty (registered trademark) CL95, manufactured by Sanyo Kasei Kogyo Co., Ltd., solid content 100% by mass): 0.7 parts by mass, anionic surfactant (Lapisol (registered trademark) A-90, manufactured by Nippon Oil Co., Ltd., solid content 1% by mass, diluted with water): 55.7 parts by mass, carnauba wax dispersion Product (Cerozole (registered trademark) 524, manufactured by Chukyo Oil & Fat Co., Ltd., solid content 30% by mass): 7 parts by mass ⁇ Carbodiimide compound (Carbodilite (registered trademark) V-02-L2, manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., solid content 10%
  • the haze of the polyester film is preferably 3% or less, more preferably 1% or less, further preferably 0.5% or less, and particularly preferably 0.4% or less.
  • By setting the haze to the above upper limit or less it is possible to reduce the scattering of ultraviolet rays by the polyester film, which is the support of the resist layer when the resist layer is laminated on the polyester film and then irradiated with ultraviolet rays for exposure, and after development. It is possible to improve the state of the wall surface of the resist pattern such as distortion and omission in the patterning of the resist, and to improve the permeability of the polyester film.
  • Haze is measured using a haze meter (for example, NDH-2000, manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.) by a method according to JIS K 7105.
  • a haze meter for example, NDH-2000, manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.
  • the b * value in the L * a * b * color system is preferably 0 to 1, more preferably 0 to 0.8, further preferably 0 to 0.6, and particularly preferably 0 to 0.4.
  • the b * value in the L * a * b * color system is 0 to 1, the yellowness of the film can be reduced, so that the hue of the film can be made close to colorless.
  • the polyester film can be preferably applied, for example, in applications where high visibility is required (for example, a display device).
  • the b * value in the L * a * b * color system is measured by a transmission method using a spectrocolorimeter (for example, SE-2000, manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.).
  • a spectrocolorimeter for example, SE-2000, manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.
  • the thickness of the polyester film is preferably 10 to 100 ⁇ m, more preferably 10 to 50 ⁇ m, and even more preferably 12 to 40 ⁇ m from the viewpoint of processability (particularly, processability when laminating the film).
  • the thickness of the polyester film is an arithmetic average value of five thicknesses measured by a scanning electron microscope (SEM).
  • the dimensional change rate can be achieved by appropriately adjusting the conditions such as relaxation and heat treatment under the film forming conditions by a known method.
  • the dimensional change rate at 150 ° C. is preferably less than 3% in the longitudinal direction and less than 2.5% in the width direction, more preferably 0.5% or more and less than 2% in the longitudinal direction, and more preferably 1% or more and less than 2% in the width direction.
  • the dimensional change rate at 100 ° C. is preferably less than 1% in both the longitudinal direction and the width direction, and more preferably less than 0.8%.
  • the coating thickness of the resist layer may be uneven.
  • the polyester film preferably has a strength (F-5 value) of 0 MPa or more and less than 150 MPa when stretched by 5% in the longitudinal direction. If the F-5 value in the longitudinal direction is less than 70 MPa, the processing characteristics may deteriorate due to scratches due to insufficient strength. On the other hand, if the F-5 value in the longitudinal direction is 150 MPa or more, it may be difficult to achieve a compatibility with the F-5 value in the width direction.
  • the F-5 value in the longitudinal direction is more preferably 80 MPa or more and less than 140 MPa, and further preferably 90 MPa or more and less than 130 MPa.
  • the F-5 value in the width direction is 80 MPa or more and less than 160 MPa. If the F-5 value in the width direction is less than 80 MPa, the processing characteristics may deteriorate due to the occurrence of scratches due to insufficient strength, and if it is 160 MPa or more, it may be difficult to achieve both the F-5 value in the longitudinal direction.
  • the F-5 value in the width direction is more preferably 90 MPa or more and less than 150 MPa, and further preferably 100 MPa or more and less than 140 MPa.
  • the breaking strength in the longitudinal direction is preferably 200 MPa or more and less than 360 MPa, and more preferably 220 MPa or more and less than 340 MPa.
  • the breaking strength in the width direction is preferably 260 MPa or more and less than 420 MPa, and more preferably 280 MPa or more and less than 400 MPa.
  • the F-5 value and breaking strength of the polyester film can be achieved by appropriately adjusting the stretching temperature and stretching ratio in the vertical and horizontal directions.
  • the polyester film may have a single-layer structure or a laminated structure.
  • the polyester film has a laminated structure, it is preferable to have a base material containing polyester and a coating layer containing particles on at least one surface of the base material and having a plurality of protrusions on the surface. Since the polyester film has a coating layer, the winding quality can be improved.
  • the coating layer is not particularly limited.
  • the coating layer may or may not contain particles.
  • the coating layer preferably contains particles and has a plurality of protrusions on the surface.
  • the particles include organic particles and inorganic particles.
  • the particles are preferably inorganic particles from the viewpoint of film winding quality, haze, and durability (for example, thermal stability).
  • resin particles are preferable.
  • the resin particles include acrylic resin particles, polyester resin particles, silicone resin particles, and styrene-acrylic resin particles.
  • the resin particles preferably have a crosslinked structure.
  • the inorganic particles include silica particles (silicon dioxide particles), titania particles (titanium oxide particles), calcium carbonate, barium sulfate, and alumina particles (aluminum oxide particles).
  • the inorganic particles are preferably silica particles from the viewpoint of haze and durability.
  • the average particle size of the particles is not particularly limited, but is preferably 0.01 to 0.4 ⁇ m, more preferably 0.04 to 0.2 ⁇ m, from the viewpoint of improving winding quality and suppressing transfer defects.
  • the average particle size of the particles is obtained by arithmetically averaging the particle sizes of 50 particles arbitrarily selected from the scanning electron microscope (SEM) image.
  • the coating layer may contain one type of particles alone, or may contain two or more types of particles.
  • the particle content is preferably 0.01 to 15% by mass, more preferably 0.1 to 10% by mass, based on the total mass of the coating layer, from the viewpoint of improving the winding quality of the film and suppressing transfer defects. It is preferable, and 0.5 to 6% by mass is more preferable.
  • the content of particles is preferably 0.0001 to 0.01% by mass, more preferably 0.0005 to 0.005% by mass, based on the total mass of the polyester film.
  • the coating layer preferably contains a binder.
  • a resin binder is preferable.
  • the resin binder include polyacrylics, polyurethanes, polyesters and polyolefins.
  • the polyacrylic is not limited as long as it is a polymer having a structural unit derived from at least one compound selected from the group consisting of an acrylic acid ester and a methacrylic acid ester, and known polyacrylics can be used.
  • the polyacrylic may have a structural unit derived from a compound other than the acrylic acid ester and the methacrylic acid ester (for example, an olefin compound and a styrene compound).
  • the polyurethane is not limited as long as it is a polymer having a urethane bond, and known polyurethane can be used. Polyurethane is often produced by reacting an isocyanate compound with a polyol compound.
  • polyester As the polyester, the polyester described in the above item "Polyester” can be applied, and the preferred type is also the same.
  • the polyolefin is not limited, and known polyolefins can be used. Examples of the polyolefin include polyethylene and polypropylene.
  • the coating layer may contain one kind of binder alone, or may contain two or more kinds of binders.
  • the content of the binder is preferably 30 to 80% by mass, more preferably 40 to 70% by mass, and 45 to 40% by mass, based on the total mass of the coating layer, from the viewpoint of the durability of the coating layer and / or the dispersibility of the particles. 65% by mass is more preferable.
  • the plurality of protrusions in the coating layer are the same as those described in the above item "Protrusion density", including the preferred embodiment.
  • the thickness of the coating layer is preferably 0.01 to 0.3 ⁇ m, more preferably 0.02 to 0.1 ⁇ m, and even more preferably 0.02 to 0.06 ⁇ m from the viewpoint of manufacturing suitability of the coating layer.
  • the thickness of the coating layer is an arithmetic average value of five thicknesses measured by a scanning electron microscope (SEM) or a transmission electron microscope (TEM).
  • Examples of the method for forming the coating layer include a method using a coating liquid for forming a coating layer.
  • a coating layer can be formed by applying a coating liquid for forming a coating layer on a polyester film base material and drying it if necessary. Further, the coating layer may be formed at the same time as the formation of the unstretched polyester film in the extrusion formation step by the coextrusion method.
  • the coating liquid for forming a coating layer can be prepared by mixing each of the above components and a solvent.
  • the solvent include water, hexane, acetone, ethanol, tetrahydrofuran, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether and propylene glycol monoethyl ether. Of these, water is preferable from the viewpoint of environment, safety and economy.
  • the coating liquid for forming a coating layer may contain one type of solvent alone, or may contain two or more types of solvents.
  • the content of the solvent is preferably 80 to 99% by mass, more preferably 90 to 98% by mass, based on the total mass of the coating liquid for forming the coating layer.
  • the coating method of the coating liquid for forming the coating layer is not limited, and a known method can be used.
  • the coating method include a spray coating method, a slit coating method, a roll coating method, a blade coating method, a spin coating method, a bar coating method and a dip coating method.
  • the base material to which the coating liquid for forming the coating layer is applied may be an unstretched polyester film or a uniaxially stretched polyester film. It may be a biaxially stretched polyester film.
  • a method for forming the coating layer a method of applying a coating liquid for forming a coating layer on a uniaxially stretched polyester film is preferable from the viewpoint of adhesion between the base material and the coating layer.
  • a coating layer is formed by applying a coating liquid for forming a coating layer on the surface of a uniaxially stretched polyester film, and then the uniaxially stretched polyester film and the coating layer are simultaneously stretched to form a base material and a coating layer. Adhesion can be improved.
  • the specific method of stretching is as described above.
  • polyester film produced by the production method according to the present invention is not particularly limited, and for example, a support and protective film for a dry film photoresist, a release film in a laminated ceramic capacitor (MLCC) production process, and a transparent conductive film.
  • a support and protective film for a dry film photoresist a release film in a laminated ceramic capacitor (MLCC) production process
  • MLCC laminated ceramic capacitor
  • transparent conductive film examples include films for sex substrates.
  • Example 1 ⁇ Extrusion molding process> Pellets of polyethylene terephthalate were produced using a titanium compound (citrate chelated titanium complex, VERTEC AC-420, manufactured by Johnson Matthey) described in Japanese Patent No. 5575671 as a polymerization catalyst. The obtained pellets were dried to a water content of 50 ppm or less, put into a hopper of a uniaxial kneading extruder having a diameter of 30 mm, and then melted and extruded at 280 ° C. An unstretched film was obtained by passing the melt (melt) through a filter (pore diameter 3 ⁇ m) and then extruding it from a die into a cooling drum at 25 ° C. The extruded melt was brought into close contact with the cooling drum by the electrostatic application method.
  • a titanium compound cementitrate chelated titanium complex, VERTEC AC-420, manufactured by Johnson Matthey
  • the unstretched film was subjected to a longitudinal stretching step by the following method.
  • An unstretched film preheated by a preheating roll is passed between a pair of stretched rolls (made of ceramic), and then a cooling roll C1 (product) having a surface layer composed of tungsten carbide on the outer peripheral surface of the metal roll.
  • a cooling roll C1 product having a surface layer composed of tungsten carbide on the outer peripheral surface of the metal roll.
  • the longitudinal stretching step was carried out under the conditions that the preheating temperature was 75 ° C., the stretching temperature was 90 ° C., the stretching ratio was 3.4 times, and the stretching speed was 1300% / sec.
  • the transport speed of the unstretched film when passing through the pair of stretched rolls is 30 m / min, and the transport speed of the uniaxially stretched film when passing between the cooling roll C1 and the opposing roll N1 is 100 m / min. It was a minute.
  • the above-mentioned uniaxially stretched film was cooled by contacting it with the cooling roll C1. Further, pressure was applied to the uniaxially stretched film by passing the uniaxially stretched film between the cooling roll C1 and the opposing roll N1.
  • the arithmetic mean roughness Ra is 0.02 ⁇ m
  • the maximum mountain height Rp is 0.187 ⁇ m
  • the protrusion density is 3647 / mm 2
  • the contact angle with water is 68.1 °.
  • the temperature was 25 ° C.
  • the arithmetic mean roughness Ra of the surface of the opposing roll N1 was 1.1 ⁇ m.
  • the average value in the width direction of the pressure applied to the uniaxially stretched film by the cooling roll C1 and the opposing roll N1 was 1.3 MPa, and the difference between the maximum value and the minimum value in the width direction of the pressure was 0.08 MPa. ..
  • the length of the pressing region formed by pressing the cooling roll C1 and the opposing roll N1 in the transport direction (hereinafter, also referred to as “nip width of the pressing region”) was 20 mm.
  • the temperature of the uniaxially stretched film at a position in contact with the cooling roll was 100 ° C., and the temperature of the uniaxially stretched film at a position away from the cooling roll was 50 ° C. From these temperatures, the cooling rate of the uniaxially stretched film by the cooling roll was calculated to be 200 ° C./sec.
  • a method for measuring each of the above physical property values will be described.
  • ⁇ Measuring device surf-corder ET-4000A manufactured by Kosaka Laboratory ⁇ Analysis software: i-Face model TDA31 Ver2.2.0.4 JSIS ⁇ Radius of stylus tip: 0.5 ⁇ m -Measurement field of view: X direction: 380 ⁇ m, pitch: 1 ⁇ m Y direction: 280 ⁇ m, pitch: 5 ⁇ m ⁇ Needle pressure: 50 ⁇ N ⁇ Measurement speed: 0.1 mm / s ⁇ Cutoff value: Low range-0.8mm, High range-None ⁇ Leveling: Whole area ⁇ Filter: Gaussian filter (2D) ⁇ Magnification: 100,000 times ⁇ Particle analysis (multiple levels) conditions ⁇ Output content setting: Mountain particles ⁇ Hysteresis width: 5 nm ⁇ Slice level equal spacing: 10 nm
  • the cooling roll is a commercially available product and a catalog value exists, the catalog value is adopted. If the catalog value does not exist, prepare a test piece having the same structure as the cooling roll used, and use a contact angle meter (DMo-901, manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.) to obtain water on the surface of the test piece. The static contact angle (°) with respect to water was measured by the sessile drop method and used as the contact angle of the surface of the cooling roll with respect to water.
  • DMo-901 manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.
  • a replica material was injected onto the surface of the opposing roll using a replica making kit (101THTHIXO, manufactured by Microset Products) to imitate the surface shape.
  • the surface of the obtained replica was measured using a laser microscope (manufactured by KEYENCE CORPORATION; VK-9510) at a magnification of 3000 times to obtain an arithmetic mean roughness Ra of the surface of the opposing roll.
  • the pressure applied to the uniaxially stretched film by the cooling roll and the opposed roll is measured by using a pressure measuring film (“Prescale (registered trademark)” manufactured by FUJIFILM Corporation; for ultra-low pressure (LLW)). It was measured. Specifically, the pressure measuring film was sandwiched between the cooling roll and the opposing roll and pressed under the same conditions as in the cooling step without rotating the cooling roll and the opposing roll. As a result, a red-colored region appeared on the pressure measurement film.
  • the color-developing region in the pressure measuring film corresponds to the region (that is, the pressing region) to which pressure is applied by the cooling roll and the opposing roll.
  • the pressure measuring film was taken out, and a pressure measuring device (manufactured by FUJIFILM Corporation; FPD-306) was used to convert the color density of the coloring region appearing on the pressure measuring film into the corresponding pressure value. From the obtained pressure value, the average value of the pressure in the pressing region in the width direction and the difference between the maximum value and the minimum value in the width direction were obtained. In addition, the length of the color-developing region appearing on the pressure measurement film in the transport direction was measured using a ruler. This measurement was performed every 100 mm in the width direction, and the average value of the obtained measured values was taken as the nip width of the pressing region formed by pressing the cooling roll C1 and the opposing roll N1.
  • the time in which the uniaxially stretched film is in contact with the cooling roll was determined as the cooling time ta from the length of the contact surface in which the uniaxially stretched film is in contact with the cooling roll in the vertical direction and the rotation speed of the cooling roll.
  • the temperature difference Ta (° C.) between the measured film temperature at contact and the film temperature at separation is divided by the cooling time ta (Ta / ta), and the cooling rate of the uniaxially stretched film by the cooling step (° C./sec). Asked.
  • Example 2 In the cooling step, the same method as in Example 1 was obtained except that the pressure (average value in the width direction) applied to the uniaxially stretched film by the cooling roll C1 and the opposing roll N1 was adjusted to 1.0 MPa. The nip width of the pressing region in the cooling step of Example 2 was 17 mm.
  • Example 3 In the cooling step, the opposing roll N2 (product name "90A80W", manufactured by Kinyo Co., Ltd.) was used instead of the opposing roll N1, and the pressure (in the width direction) applied to the uniaxially stretched film by the cooling roll C1 and the opposing roll N2.
  • a biaxially oriented film was obtained by the same method as in Example 1 except that the average value) was adjusted to 2.1 MPa.
  • the hardness of the opposing roll N2 was 80 degrees.
  • the nip width of the pressing region in the cooling step of Example 3 was 17 mm.
  • Example 4 A biaxially oriented film was obtained by the same method as in Example 1 except that the opposing roll N3 (product name “90A70W”, manufactured by Kinyo Co., Ltd.) was used instead of the opposing roll N1 in the cooling step.
  • the difference between the maximum value and the minimum value in the width direction of the pressure applied to the uniaxially stretched film by the cooling roll C1 and the opposing roll N3 is 0.49 MPa, and the nip width of the pressing region. was 20 mm. It is considered that this pressure difference and nip width are caused by the distortion of the roll mounting portion.
  • Example 5 A biaxially oriented film was obtained by the same method as in Example 1 except that the opposing roll N4 (product name “90A70W”, manufactured by Kinyo Co., Ltd.) was used instead of the opposing roll N1 in the cooling step. Since the opposing roll N4 had deteriorated over time, the arithmetic mean roughness Ra on its surface was 1.8 ⁇ m.
  • the opposing roll N4 product name “90A70W”, manufactured by Kinyo Co., Ltd.
  • Example 6 In the cooling step, the cooling roll C2 (manufactured by Nomura Plating Co., Ltd.) having a hard chrome plating treatment layer on the outer peripheral surface of the metal roll was used instead of the cooling roll C1. An axially oriented film was obtained.
  • the surface of the plated layer of the cooling roll C2 has an arithmetic mean roughness Ra of 0.008 ⁇ m, a maximum mountain height Rp of 0.113 ⁇ m, a maximum protrusion density of 2284 pieces / mm 2 , and contact with water. It had a surface with an angle of 15.5 °.
  • Example 7 A biaxially oriented film was obtained by the same method as in Example 1 except that the cooling rate was adjusted to 100 ° C./sec in the cooling step. The temperature of the uniaxially stretched film at a position separated from the cooling roll C1 at this time was 75 ° C.
  • a cooling roll C3 (product name "LC-4", manufactured by Plasquare Engineering Co., Ltd.) having a surface layer composed of chromium oxide on the outer peripheral surface of the metal roll was used. Obtained a biaxially oriented film by the same method as in Example 1.
  • the surface layer of the cooling roll C3 has an arithmetic mean roughness Ra of 0.08 ⁇ m, a maximum mountain height Rp of 0.323 ⁇ m, a maximum protrusion density of 4549 / mm 2 , and a contact angle with water. It had a surface that was 100.6 °.
  • scratches having a length of 1 mm or more and a maximum depth of 500 nm or more are defined as linear defects, and the number of linear defects per 1 m 2 of the biaxially oriented film (pieces / m). 2 ) was measured. Further, a region having an area of 1 m 2 in the biaxially oriented film was arbitrarily selected, and the maximum depth (unit: nm) of the longest linear defect in the selected region was measured.
  • Table 1 shows the cooling steps performed in each Example and Comparative Example and the results of each evaluation.
  • the "surface material” column of the “cooling roll” indicates the material constituting the surface of the cooling roll
  • “material A” is tungsten carbide
  • “material B” is hard chromium (plating layer).
  • “Material C” means ceramic (chromium oxide), respectively.

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Abstract

本発明の課題は、ポリエステルフィルムの表面における線状欠陥の形成をより抑制できるポリエステルフィルムの製造方法を提供することにある。また、本発明の課題は、ポリエステルフィルムを提供することにある。　本発明のポリエステルフィルムの製造方法は、１軸延伸されたポリエステルフィルムを冷却ロールに接触させて冷却する冷却工程を有し、冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａが、０．０５μｍ以下である。

Description

ポリエステルフィルムの製造方法、ポリエステルフィルム
　本発明は、ポリエステルフィルムの製造方法、及び、ポリエステルフィルムに関する。
　ポリエステルフィルムは、加工性、機械的性質、電気的性質、寸法安定性、透明性、及び、耐薬品性等の観点から幅広い用途に使用されており、例えば、ドライフィルムフォトレジストの支持体及び保護フィルムとして使用されている。ドライフィルムフォトレジストは、感光性樹脂層（フォトレジスト層）を、支持体上に積層した後、更に保護フィルムを積層してなる構造を有している。近年、ドライフィルムフォトレジストは、タッチパネル分野において、配線形成工程におけるエッチング用途、銅、ＩＴＯ（酸化インジウムスズ）及び銀ナノ粒子等の配線部分を保護する保護膜形成用途、並びに、層間絶縁膜用途等に利用されている。
　特許文献１には、帯状の熱可塑性樹脂からなるフィルムを搬送方向に延伸する縦延伸工程と、冷却ローラによりフィルムを冷却する冷却工程と、縦延伸工程と冷却工程との間でフィルムの幅方向両側縁部を除去する側縁部除去工程とを含む延伸フィルムの製造方法が開示されている。
特開２０１４－１８８７４８号公報
　一方、近年、ドライフィルムフォトレジスト（ＤＦＲ）により形成されるパターンの更なる精細化（細線化）が要求されており、仮支持体及び保護膜にも従来以上の高い性能（薄膜化、低ヘイズ等）が要求されている。
　本発明者らは、ＤＦＲの仮支持体及び保護膜として用いられるポリエステルフィルムについて検討した結果、上記の要求に応じたＤＦＲを作製する際、ポリエステルフィルムの表面に存在するかすかな線状の傷（線状欠陥）が露光障害につながる場合があることを知見した。
　本発明は、上記実情に鑑みて、ポリエステルフィルムの表面における線状欠陥の形成をより抑制できるポリエステルフィルムの製造方法を提供することを課題とする。
　また、本発明は、ポリエステルフィルムを提供することも課題とする。
　本発明者らは、上記課題について鋭意検討した結果、以下の構成により上記課題を解決できることを見出した。
〔１〕
　１軸延伸されたポリエステルフィルムを冷却ロールに接触させて冷却する冷却工程を有し、上記冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａが、０．０５μｍ以下である、ポリエステルフィルムの製造方法。
〔２〕
　上記冷却ロールの表面の最大山高さＲｐが、０．３μｍ以下である、〔１〕に記載の製造方法。
〔３〕
　上記冷却ロールの表面における突起密度が、１００００個／ｍｍ２以下である、〔１〕又は〔２〕に記載の製造方法。
〔４〕
　上記冷却工程における上記冷却ロールによる上記ポリエステルフィルムの冷却速度が、１５０℃／秒以上である、〔１〕～〔３〕のいずれかに記載の製造方法。
〔５〕
　上記冷却工程において上記冷却ロールに接触する上記ポリエステルフィルムの温度が、９０℃以上である、〔１〕～〔４〕のいずれかに記載の製造方法。
〔６〕
　上記冷却工程において上記冷却ロールから離れる上記ポリエステルフィルムの温度が、５０℃以下である、〔１〕～〔５〕のいずれかに記載の製造方法。
〔７〕
　上記冷却工程において上記冷却ロールに接触してから上記冷却ロールから離れるまでに低下した上記ポリエステルフィルムの温度が、３０℃以上である、〔１〕～〔６〕のいずれかに記載の製造方法。
〔８〕
　上記冷却ロールの表面温度が、３５℃以下である、〔１〕～〔７〕のいずれかに記載の製造方法。
〔９〕
　上記冷却ロールによる上記ポリエステルフィルムの搬送速度が、５０～１５０ｍ／分である、〔１〕～〔８〕のいずれかに記載の製造方法。
〔１０〕
　上記冷却ロールと、上記冷却ロールの搬送方向上流側に配置され、上記冷却ロールよりも搬送速度が遅い１つ以上の延伸ロールとを用いて、未延伸ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸して、上記１軸延伸されたポリエステルフィルムを形成する縦延伸工程を更に有し、上記延伸ロールによる上記未延伸ポリエステルフィルムの搬送速度が、１０～５０ｍ／分である、〔１〕～〔９〕のいずれかに記載の製造方法。
〔１１〕
　上記冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａが、０．００８μｍ以上である、〔１〕～〔１０〕のいずれかに記載の製造方法。
〔１２〕
　上記冷却ロールの表面の水に対する接触角が、１０°以上である、〔１〕～〔１１〕のいずれかに記載の製造方法。
〔１３〕
　上記ポリエステルフィルムの厚さが、４０μｍ以下である、〔１〕～〔１２〕のいずれかに記載の製造方法。
〔１４〕
　上記冷却工程において、上記冷却ロールと、上記冷却ロールに対向するように配置されている対向ロールとの間に上記ポリエステルフィルムを通過させることにより、上記ポリエステルフィルムに圧力を付与する、〔１〕～〔１３〕のいずれかに記載の製造方法。
〔１５〕
　上記冷却ロール及び上記対向ロールにより上記ポリエステルフィルムに付与される圧力の幅方向における最大値と最小値の差が、０．４ＭＰａ以下である、〔１４〕に記載の製造方法。
〔１６〕
　上記冷却ロール及び上記対向ロールにより上記ポリエステルフィルムに付与される圧力の面平均値が、１．１ＭＰａ以上である、〔１４〕又は〔１５〕に記載の製造方法。
〔１７〕
　上記冷却ロール及び上記対向ロールにより上記ポリエステルフィルムに付与される圧力の面平均値が、１．７ＭＰａ以下である、〔１４〕～〔１６〕のいずれかに記載の製造方法。
〔１８〕
　上記ポリエステルフィルムにおいて、上記冷却ロール及び上記対向ロールにより圧力が付与される領域の搬送方向の長さが、１５ｍｍ以上である、〔１４〕～〔１７〕のいずれかに記載の製造方法。
〔１９〕
　上記対向ロールの表面の算術平均粗さＲａが、１．５μｍ以下である、〔１４〕～〔１８〕のいずれかに記載の製造方法。
〔２０〕
　ポリエステルフィルムであって、上記ポリエステルフィルムの表面において、深さが５００ｎｍ以上であり、且つ、長さが１ｍｍ以上である線状欠陥の個数が、上記ポリエステルフィルム１ｍ２あたり５個以下である、ポリエステルフィルム。
〔２１〕
　上記ポリエステルフィルムの表面における反射光を目視で観察することにより視認される乱れ欠陥の個数が、上記ポリエステルフィルム１ｍ２あたり５個以下である、〔２０〕に記載のポリエステルフィルム。
〔２２〕
　上記ポリエステルフィルムの表面に設けられた被覆層を更に有し、上記被覆層とは反対側の面から光を照射して、上記被覆層側の表面を目視で観察することによりピンホールとして視認される転写欠陥の個数が、上記ポリエステルフィルム１ｍ２あたり３個以下である、〔２０〕又は〔２１〕に記載のポリエステルフィルム。
　本発明によれば、ポリエステルフィルムの表面における線状欠陥の形成をより抑制できるポリエステルフィルムの製造方法を提供できる。また、本発明によれば、ポリエステルフィルムを提供できる。
ポリエステルフィルムの製造方法に用いられる製造装置の構成を示す概略図である。
　以下、本発明の実施形態について詳細に説明する。なお、本発明は、以下の実施形態に何ら制限されず、本発明の目的の範囲内において適宜変更を加えて、本発明を実施できる。
　本開示において、「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。本開示に段階的に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示に記載されている数値範囲において、ある数値範囲で記載された上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
　本開示において、組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する複数の物質の合計量を意味する。
　本開示において、「工程」との用語には、独立した工程だけでなく、他の工程と明確に区別できない場合であっても工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
　本開示において、「質量％」と「重量％」とは同義であり、「質量部」と「重量部」とは同義である。
　本開示において、２以上の好ましい態様の組み合わせは、より好ましい態様である。
　本開示において、「長手方向」とは、ポリエステルフィルムの製造時におけるポリエステルフィルムの長尺方向を意味し、「搬送方向」及び「機械方向」と同義である。また、「幅方向」とは、長手方向に直交する方向を意味する。
　本開示において、「直交」との用語は、厳密な直交に限られず、略直交を含む。「略直交」とは、９０°±５°で交わることを意味し、９０°±３°で交わることが好ましく、９０°±１°で交わることがより好ましい。
［ポリエステルフィルムの製造方法］
　本発明に係るポリエステルフィルムの製造方法は、１軸延伸されたポリエステルフィルムを冷却ロールに接触させて冷却する冷却工程を有する。また、この冷却工程において使用する冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａは、０．０５μｍ以下である。
　以下、具体的な実施形態に基づいて、本発明に係るポリエステルフィルムの製造方法について説明するが、本発明は、下記の実施形態に制限されるものではない。
　本発明の実施形態の一例に係るポリエステルフィルムの製造方法（以下、「本実施形態の製造方法」ともいう。）は、押出成形法により原料のポリエステルから未延伸ポリエステルフィルムを作製する工程（以下、「押出成形工程」ともいう。）と、未延伸ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸する工程（以下、「縦延伸工程」ともいう。）と、縦延伸工程により得られた１軸延伸ポリエステルフィルムを冷却する工程（以下、「冷却工程」ともいう。）、冷却工程により冷却された１軸延伸ポリエステルフィルムを幅方向に延伸する工程（以下、「横延伸工程」ともいう。）と、を有する。
〔ポリエステル原料〕
　以下、本実施形態の製造方法において未延伸ポリエステルフィルムの原料として用いるポリエステルについて、説明する。
　ポリエステルは、主鎖にエステル結合を有する重合体である。ポリエステルは、後述するジカルボン酸化合物とジオール化合物とを重縮合させることにより形成することが多い。
　ポリエステルとしては、制限されず、公知のポリエステルを利用できる。ポリエステルとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、及びポリエチレン－２，６－ナフタレート（ＰＥＮ）が挙げられ、ＰＥＴが好ましい。
　ポリエステルの固有粘度は、０．５０ｄｌ／ｇ以上０．８０ｄｌ／ｇ未満が好ましい。より好ましくは、０．５５ｄｌ／ｇ以上０．７０ｄｌ／ｇ未満である。
　ポリエステルフィルムは、１種単独のポリエステルを含有していてもよく、２種以上のポリエステルを含有していてもよい。
　ポリエステルの含有量は、ポリエステルフィルム中の重合体の全質量に対して、８５質量％以上が好ましく、９０質量％以上がより好ましく、９５質量％以上が更に好ましく、９８質量％以上が特に好ましい。
　ポリエステルの含有量の上限は、制限されず、ポリエステルフィルム中の重合体の全質量に対して、１００質量％以下の範囲で適宜設定できる。
　ポリエステルの含有量は、ポリエステルフィルムの全質量に対して、８５質量％以上が好ましく、９０質量％以上がより好ましく、９５質量％以上が更に好ましく、９８質量％以上が特に好ましい。ポリエステルの含有量の上限は、制限されず、ポリエステルフィルムの全質量に対して、１００質量％以下の範囲で適宜設定できる。
　ポリエステルフィルムがポリエチレンテレフタレートを含有する場合、ポリエチレンテレフタレートの含有量は、ポリエステルフィルム中のポリエステルの全質量に対して、９０～１００質量％が好ましく、９５～１００質量％がより好ましく、９８～１００質量％が更に好ましく、１００質量％が特に好ましい。
（ポリエステルの製造方法）
　ポリエステルの製造方法としては、制限されず、公知の方法を利用できる。例えば、触媒存在下で、少なくとも１種のジカルボン酸化合物と、少なくとも１種のジオール化合物とを重縮合させることによりポリエステルを製造できる。
－触媒－
　ポリエステルの製造に使用する触媒は、特に制限されず、ポリエステルの合成に使用可能な公知の触媒を利用できる。
　触媒としては、例えば、アルカリ金属化合物、アルカリ土類金属化合物、亜鉛化合物、鉛化合物、マンガン化合物、コバルト化合物、アルミニウム化合物、アンチモン化合物、チタン化合物、ゲルマニウム化合物及びリン化合物が挙げられる。中でも、触媒活性、及びコストの観点から、チタン化合物が好ましい。
　チタン化合物としては、有機キレートチタン錯体が好ましい。有機キレートチタン錯体は、配位子として有機酸を有するチタン化合物である。
　有機酸としては、例えば、クエン酸、乳酸、トリメリット酸、及びリンゴ酸が挙げられる。
　チタン化合物としては、特許第５５７５６７１号公報の段落００４９～段落００５３に記載されたチタン化合物も利用でき、上記公報の記載内容は、本明細書に組み込まれる。
－ジカルボン酸化合物－
　ジカルボン酸化合物としては、例えば、脂肪族ジカルボン酸化合物、脂環式ジカルボン酸化合物、及び芳香族ジカルボン酸化合物が挙げられ、芳香族ジカルボン酸が好ましい。
　脂肪族ジカルボン酸化合物としては、例えば、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、スベリン酸、セバシン酸、ドデカンジオン酸、ダイマー酸、エイコサンジオン酸、ピメリン酸、アゼライン酸、メチルマロン酸、及びエチルマロン酸が挙げられる。
　脂環式ジカルボン酸化合物としては、例えば、アダマンタンジカルボン酸、ノルボルネンジカルボン酸、シクロヘキサンジカルボン酸、及びデカリンジカルボン酸が挙げられる。
　芳香族ジカルボン酸化合物としては、例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、１，４－ナフタレンジカルボン酸、１，５－ナフタレンジカルボン酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸、１，８－ナフタレンジカルボン酸、４，４’－ジフェニルジカルボン酸、４，４’－ジフェニルエーテルジカルボン酸、５－ナトリウムスルホイソフタル酸、フェニルインダンジカルボン酸、アントラセンジカルボン酸、フェナントレンジカルボン酸、及び９，９’－ビス（４－カルボキシフェニル）フルオレン酸が挙げられる。
　中でも、テレフタル酸又は２，６－ナフタレンジカルボン酸が好ましく、テレフタル酸がより好ましい。
　ジカルボン酸化合物は１種のみ用いてもよく、２種以上を併用してもよい。ジカルボン酸化合物として、テレフタル酸を使用する場合、テレフタル酸単独で用いてもよく、イソフタル酸等の他の芳香族ジカルボン酸又は脂肪族ジカルボン酸と共重合してもよい。
－ジオール化合物－
　ジオール化合物としては、例えば、脂肪族ジオール化合物、脂環式ジオール化合物、及び芳香族ジオール化合物が挙げられ、脂肪族ジオール化合物が好ましい。
　脂肪族ジオール化合物としては、例えば、エチレングリコール、１，２－プロパンジオール、１，３－プロパンジオール、１，４－ブタンジオール、１，２－ブタンジオール、１，３－ブタンジオール、及び、ネオペンチルグリコールが挙げられ、エチレングリコールが好ましい。
　脂環式ジオール化合物としては、例えば、シクロヘキサンジメタノール、スピログリコール、及びイソソルビドが挙げられる。
　芳香族ジオール化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ、１，３―ベンゼンジメタノール，１，４－ベンゼンジメタノール、及び９，９’－ビス（４－ヒドロキシフェニル）フルオレンが挙げられる。
　ジオール化合物は、１種のみ用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
－末端封止剤－
　ポリエステルの製造においては、必要に応じて、末端封止剤を用いてもよい。末端封止剤を用いることで、ポリエステルの末端に末端封止剤に由来する構造が導入される。
　末端封止剤としては、制限されず、公知の末端封止剤を利用できる。末端封止剤としては、例えば、オキサゾリン系化合物、カルボジイミド化合物、及びエポキシ化合物が挙げられる。
　末端封止剤としては、特開２０１４－１８９００２号公報の段落００５５～００６４に記載の内容も参照でき、上記公報の内容は、本明細書に組み込まれる。
－製造条件－
　反応温度は、制限されず、原材料に応じて適宜設定すればよい。反応温度は、２６０～３００℃が好ましく、２７５～２８５℃がより好ましい。
　圧力は、制限されず、原材料に応じて適宜設定すればよい。圧力は、１．３３×１０－３～１．３３×１０－５ＭＰａが好ましく、６．６７×１０－４～６．６７×１０－５ＭＰａがより好ましい。
　ポリエステルの合成方法としては、特許第５５７５６７１号公報の段落００３３～段落００７０に記載された方法も利用でき、上記公報の内容は、本明細書に組み込まれる。
〔製造装置〕
　本実施形態の製造方法に使用する装置としては、特に制限されず、公知の装置を利用できる。
　図１は、本実施形態の製造方法に使用される製造装置の一例を示す概略構成図である。
　図１に示すポリエステルフィルムの製造装置１００は、押出成形法により作製された未延伸ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸する縦延伸部１０、縦延伸部１０で搬送方向に延伸された１軸延伸ポリエステルフィルムを急速に冷却する冷却部２０、冷却部２０で冷却されたポリエステルフィルムを幅方向に延伸する横延伸部３０、及び、横延伸部３０で延伸されたポリエステルフィルムを巻き取る巻取部４０を備える。
　上記の各部の詳しい構成及び機能等の説明については、以下に記載する本実施形態の製造方法が有する各製造工程の説明とともに記載する。
　以下、本明細書において、「フィルムＦ」との表記、及び、単なる「ポリエステルフィルム」との表記は、未延伸のポリエステルフィルム、１軸延伸されたポリエステルフィルム、及び、２軸延伸されたポリエステルフィルムの全てを包含するものとする。
〔各製造工程〕
　図１に示す製造装置１００を参照しながら、本実施形態の製造方法が有する各工程について、具体的に説明する。
＜押出成形工程＞
　押出成形工程においては、押出成形法により原料のポリエステルから未延伸ポリエステルフィルムを形成する。
　押出成形法は、例えば押出機を用いて原料樹脂を押し出すことによって、原料樹脂を所望の形状に成形する方法である。
　未延伸ポリエステルフィルムは、例えば、１本又は２本以上のスクリュを備えた押出機を用いて、上述したポリエステルを融点以上の温度に加熱し、そして、スクリュを回転させて溶融混練することにより、形成される。ポリエステルは、加熱及びスクリュによる混練により、押出機内で溶融して溶融体（メルト）となる。
　溶融体は、ギアポンプ、及び濾過器等を通して、押出ダイから押し出される。押出ダイは、単に「ダイ」とも称する（ＪＩＳ　Ｂ８６５０：２００６、（ａ）押出成形機、番号１３４参照）。溶融体は、単層で押出されてもよく、多層で押出されてもよい。
　溶融押出においては、押出機内での熱分解（例えばポリエステルの加水分解）を抑制する観点から、押出機内を窒素置換することが好ましい。また、押出機は、混練温度が低く抑えられる点で２軸押出機が好ましい。
　押出ダイから押し出された溶融体は、冷却されることによってフィルム状に成形される。例えば、溶融体をキャスティングロールに接触させ、キャスティングロール上で溶融体を冷却及び固化することで、溶融体をフィルム状に成形できる。溶融体の冷却においては、更に、溶融体に風（好ましくは冷風）を当てることが好ましい。
　キャスティングロールの温度は、（Ｔｇ－１０）℃を超え（Ｔｇ＋３０）℃以下が好ましく、（Ｔｇ－７）～（Ｔｇ＋２０）℃がより好ましく、（Ｔｇ－５）～（Ｔｇ＋１０）℃が更に好ましい。
　なお、本明細書において「Ｔｇ」は、本実施形態の製造方法により製造されるポリエステルフィルムを構成するポリエステルのガラス転移温度を意味する。
　また、本明細書において、製造方法におけるポリエステルフィルム及び各部材の温度は、非接触式温度計（例えば、放射温度計）を用いて測定できる。
　押出成形工程においてキャスティングロールを用いる場合、キャスティングロールと溶融体との密着性を上げることが好ましい。密着性を上げる方法としては、例えば、静電印加法、エアーナイフ法、エアーチャンバー法、バキュームノズル法、及びタッチロール法が挙げられる。
　キャスティングロール等を用いて冷却された成形体（未延伸ポリエステルフィルム）は、剥ぎ取りロール等の剥ぎ取り部材を用いて、キャスティングロール等の冷却部材から剥ぎ取られる。
＜縦延伸工程＞
　縦延伸工程は、未延伸ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸（以下、「縦延伸」ともいう。）する工程である。より具体的には、搬送速度が異なる２つ以上の延伸ロールを備える装置を用いて、未延伸ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸して、１軸延伸されたポリエステルフィルムを形成する工程である。
　縦延伸部１０は、上記の搬送速度が異なる２つ以上の延伸ロールを備える装置の一例であって、１対の予熱ロール１２、１対の延伸ロール１４、及び、ヒーター１６を備える。
　縦延伸部１０において、１対の予熱ロール１２、１対の延伸ロール１４、及び、ヒーター１６は、搬送方向の上流側からこの順で配置されている。
　予熱ロール１２は、フィルムＦを長手方向に搬送し、且つ、縦延伸の前にフィルムＦを予熱する機能を有する。
　縦延伸部１０を用いる縦延伸工程においては、縦延伸前に、予熱ロール１２により未延伸ポリエステルフィルムが予熱されるする。未延伸ポリエステルフィルムを予熱することで、ポリエステルフィルムを容易に縦延伸できる。
　なお、図１に示す製造装置１００は、１対の予熱ロール１２のみを備えているが、縦延伸を行う延伸ロール１４よりも上流側に配置される予熱ロールの数は、特に制限されず、フィルムＦの搬送速度及び／又はフィルムの厚みに応じた数を設ければよい。
　未延伸ポリエステルフィルムの予熱温度は、（Ｔｇ－３０）～（Ｔｇ＋４０）℃が好ましく、（Ｔｇ－２０）～（Ｔｇ＋３０）℃がより好ましい。具体的に、予熱温度は、６０～１００℃が好ましく、６５～８０℃がより好ましい。
　予熱ロール１２によるフィルムＦの搬送速度は、特に制限されないが、延伸ロール１４によるフィルムＦの搬送速度と同じであることが好ましい。
　延伸ロール１４は、フィルムＦを長手方向に搬送する機能を有する。ここで、延伸ロール１４によるフィルムＦの搬送速度は、後述する冷却ロール２２によるフィルムＦの搬送速度よりも遅く設定されている。
　縦延伸部１０では、延伸ロール１４と延伸ロールよりも搬送速度が速い冷却ロール２２との間でフィルムＦに緊張を与えながらフィルムＦを搬送することによって、未延伸ポリエステルフィルムの縦延伸が行われる。
　延伸ロール１４によるフィルムＦの搬送速度（周速度）は、冷却ロール２２よりも遅ければ特に制限されないが、５～６０ｍ／分が好ましく、１０～５０ｍ／分がより好ましく、１５～４５ｍ／分が更に好ましい。
　また、冷却ロール２２によるフィルムＦの搬送速度（周速度）は、延伸ロール１４よりも速ければ特に制限されないが、４０～１６０ｍ／分が好ましく、５０～１５０ｍ／分がより好ましく、６０～１４０ｍ／分が更に好ましい。
　縦延伸工程における延伸倍率は、用途によって適宜設定すればよいが、２．０～５．０倍が好ましく、２．５～４．０倍がより好ましく、２．８～４．０倍が更に好ましい。
　縦延伸工程における延伸速度は、８００～１５００％／秒が好ましく、１０００～１４００％／秒がより好ましく、１２００～１４００％／秒が更に好ましい。ここで、「延伸速度」とは、縦延伸工程において１秒間に延伸されたポリエステルフィルムの搬送方向の長さΔｄを、延伸前のポリエステルフィルムの搬送方向の長さｄ０で除した値を、百分率で表した値である。
　また、延伸ロール１４は、フィルムＦを予熱する機能を有する。延伸ロール１４によるフィルムＦの予熱温度の好ましい範囲は、上記の予熱ロールの予熱温度の好ましい範囲と同じである。
　予熱ロール１２及び延伸ロール１４としては、特に制限されず、プラスチックフィルムの延伸に用いられる公知のロールが使用できるが、各ロールの表面を含む表層を構成する材料が、金属、セラミック又はフッ素樹脂であることが好ましく、セラミックであることがより好ましい。金属としては、クロムが好ましい。セラミックとしては、酸化クロム又は酸化アルミナが好ましく、酸化クロムがより好ましい。フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレンが好ましい。
　ヒーター１６は、延伸ロール１４及び冷却ロール２２によって縦延伸されるフィルムＦ（未延伸ポリエステルフィルム）を加熱する機能を有する。
　ヒーター１６による縦延伸工程における加熱温度は、（Ｔｇ－２０）～（Ｔｇ＋５０）℃が好ましく、（Ｔｇ－１０）～（Ｔｇ＋４０）℃がより好ましく、（Ｔｇ）～（Ｔｇ＋３０）℃が更に好ましい。具体的に、縦延伸工程における加熱温度は、７０～１２０℃が好ましく、８０～１１０℃がより好ましく、８５～１００℃が更に好ましい。
　なお、本実施形態では、フィルムＦの一方の面のみをヒーター１６を用いて加熱しているが、フィルムＦの両面を加熱してもよい。
　また、縦延伸工程におけるフィルムＦの加熱方法は、ヒーター１６を用いる方法に制限されず、上記の延伸ロール１４又は延伸ロール１４以外の加熱したロールによりフィルムＦを加熱する方法、及び、フィルムＦに温風を当てる方法等の方法が挙げられる。
　各ロールを加熱する方法としては、例えば、ロール内部にヒーターを設ける方法、及び、ロール内部に配管を設け、その配管内に加熱した流体を流す方法が挙げられる。
　本発明に係る製造方法において使用する１軸延伸ポリエステルフィルムは、上記の縦延伸工程により製造されるポリエステルフィルムに制限されない。
　例えば、上記の縦延伸工程では、１対の延伸ロール１４の搬送速度と冷却ロール２２の搬送速度との差を利用して未延伸ポリエステルフィルムを縦延伸しているが、冷却ロール２２に代えて、延伸ロール１４と冷却ロール２２との間に配置され、延伸ロール１４よりも速い搬送速度でフィルムＦを搬送する高速延伸ロールを１つ以上用いて、未延伸ポリエステルフィルムを縦延伸して、１軸延伸ポリエステルフィルムを作製してもよい。
　また、上述の通り、縦延伸工程に用いる装置は、縦延伸前に未延伸ポリエステルフィルムを予熱する予熱を２つ以上備えていてもよく、縦延伸に用いる低速延伸ロールを２つ以上備えていてもよい。
　また、縦延伸部１０が備える予熱ロール１２及び延伸ロール１４は、それぞれ、対向する２つのロール（１対のロール）によりフィルムＦを挟んで搬送する構成を有しているが、縦延伸工程に使用する予熱ロール及び／又は延伸ロールが、対向するロールを有さず、ポリエステルフィルムの一方の面に接する１つのロールのみで構成されていてもよい。
＜冷却工程＞
　本実施形態の製造方法が有する冷却工程は、縦延伸工程により得られた１軸延伸ポリエステルフィルムを冷却する工程である。より具体的には、１軸延伸されたポリエステルフィルムを、冷却部２０が備える冷却ロール２２に接触させることにより、冷却する。
　本実施形態において冷却工程を行う冷却部２０は、冷却ロール２２、冷却ロール２２に対向するように配置されている対向ロール２４、及び、３つ以上の第２冷却ロール２６を備える。なお、図１においては、最も上流側に配置された第２冷却ロール２６及び最も下流側に配置された第２冷却ロール２６以外の第２冷却ロール２６を省略している。
（冷却ロール）
　冷却ロール２２は、フィルムＦを冷却する機能を有するとともに、上述の通り、冷却ロール２２及び対向ロール２４がフィルムＦを挟みながら回転し、フィルムＦを所定の搬送速度で搬送することで、未延伸ポリエステルフィルムを縦延伸する機能を有する。
　ここで、冷却部２０が備える冷却ロール２２は、その表面の算術平均粗さＲａが、０．０５μｍ以下である。表面の算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下であるロールを用いて１軸延伸されたポリエステルフィルムを冷却することにより、冷却工程において幅方向に縮むポリエステルフィルムに発生する線状欠陥の数を抑制できる。
　冷却ロール２２の表面の算術平均粗さＲａは、本発明の効果がより優れる点で、０．０４μｍ以下が好ましく、０．０３μｍ以下がより好ましく、０．０２μｍ以下が更に好ましい。冷却ロール２２の表面の算術平均粗さＲａの下限は特に制限されないが、ポリエステルフィルムにおける乱れ欠陥（後述）の発生をより抑制できる点で、０．００１μｍ以上が好ましく、０．００８μｍ以上がより好ましく、０．０１μｍ以上が更に好ましい。
　冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａについて、冷却ロールが市販品であってカタログ値が存在する場合は、カタログ値を採用する。カタログ値が存在しない場合は、使用する冷却ロールと同じ構造を有するテストピースを作製し、得られたテストピースの表面を、レーザー顕微鏡（株式会社キーエンス製；ＶＫ－９５１０）を用いて倍率３０００倍で計測し、得られた計測値を、その冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａとする。
　冷却ロール２２は、線状欠陥の抑制により優れる点で、その表面の最大山高さＲｐが、０．４μｍ以下であることが好ましく、０．３μｍ以下であることがより好ましく、０．２μｍ以下であることが更に好ましい。冷却ロール２２の表面の最大山高さＲｐの下限は特に制限されないが、０．０１μｍ以上であることが好ましい。
　また、冷却ロール２２は、線状欠陥の抑制により優れる点で、その表面における突起密度が、１００００個／ｍｍ２以下であることが好ましく、８０００個／ｍｍ２以下であることがより好ましく、６０００個／ｍｍ２以下であることが更に好ましい。冷却ロール２２の表面における突起密度の下限は特に制限されないが、１０００個／ｍｍ２以上が好ましい。
　冷却ロールの表面の最大山高さＲｐ及び突起密度は、使用する冷却ロールと同じ構造を有するテストピースを作製し、得られたテストピースの表面を、下記の微細形状測定装置を用いて下記条件にて測定し、その後、内蔵されている解析ソフトにて粒子解析（複数レベル）を実施することにより、求められる。
　以下に、測定機及び測定条件を示す。上記の測定は、スライスレベルを１０ｎｍの等間隔に設定して、測定位置を変更しながら各スライスレベルの平均直径と密度を５回測定し、これらの平均値を算出して、最大山高さＲｐ及び突起密度の各測定値とする。テストピースは、視野測定のＸ方向がポリエステルフィルムの幅方向になるように試料台に固定する。
・測定装置：小坂研究所製surf-corder ET-4000A
・解析ソフト：i-Face model TDA31 Ver2.2.0.4 JSIS
・触針先端半径：０．５μｍ
・測定視野　　：Ｘ方向：３８０μｍ、ピッチ：１μｍ
　　　　　　　　Ｙ方向：２８０μｍ、ピッチ：５μｍ
・針圧　　　　：５０μＮ
・測定速度　　：０．１ｍｍ／ｓ
・カットオフ値：低域－０．８ｍｍ、高域－なし
・レベリング　：全域
・フィルター　：ガウシアンフィルタ（２Ｄ）
・倍率　　　　：１０万倍
・粒子解析（複数レベル）条件
・出力内容設定：山粒子
・ヒステリシス幅：５ｎｍ
・スライスレベル等間隔：１０ｎｍ
　冷却ロールの表面温度は、１軸延伸ポリエステルフィルムの冷却性能により優れる点で、４０℃以下が好ましく、３５℃以下がより好ましく、３０℃以下が更に好ましい。冷却ロールの表面温度の下限は特に制限されないが、１５℃以上が好ましい。
　冷却ロールの表面の水に対する接触角は、ポリエステルフィルムの乱れ欠陥（後述）の発生をより抑制できる点で、１０°以上が好ましく、２０°以上がより好ましく、５０°以上が更に好ましい。冷却ロールの表面の水に対する接触角の上限は特に制限されないが、１２０°以下が好ましい。
　冷却ロールの表面の水に対する接触角については、冷却ロールが市販品であってカタログ値が存在する場合は、カタログ値を採用する。カタログ値が存在しない場合は、使用する冷却ロールと同じ構造を有するテストピースを作製し、接触角計（協和界面科学社製、ＤＭｏ－９０１）を用いて、得られたテストピースの表面の水に対する静的接触角（°）を液滴法により測定し、得られた測定値を冷却ロールの表面の水に対する接触角とする。
　冷却ロールを構成する材料としては、特に制限されないが、冷却効率、並びに、表面の算術平均粗さＲａ、最大山高さＲｐ、突起密度及び／又は接触角が上記範囲に含まれる冷却ロールを容易に製造できる点で、冷却ロールの少なくとも表面を含む表層を構成する材料が、金属、セラミック又はフッ素樹脂であることが好ましい。金属及びセラミックとしては、タングステンカーバイト、ハードクロム及び酸化アルミナが挙げられ、タングステンカーバイト又はハードクロムが好ましく、タングステンカーバイトがより好ましい。フッ素樹脂としては、ポリテトラフルオロエチレンが好ましい。冷却ロールを構成する材料としては、中でも、タングステンカーバイト又はハードクロムが好ましく、タングステンカーバイトがより好ましい。
　上記材料で構成される表層を有する冷却ロールは、例えば、公知の金属製ロールの外周面に、めっき法及び溶射法等の公知の方法で上記材料からなる表層を形成することによって製造できる。
（対向ロール）
　対向ロールは、冷却ロールに対向するように配置され、冷却ロールの回転に合わせて回転し、冷却ロールに対して圧力を付与する構成を有する部材である。
　対向ロール２４の表面の算術平均粗さＲａは、ポリエステルフィルムにおける転写欠陥（後述）の発生をより抑制できる点で、１．８μｍ以下が好ましく、１．５μｍ以下がより好ましく、１．２μｍ以下が更に好ましい。対向ロール２４の表面の算術平均粗さＲａの下限は特に制限されないが、０．１μｍ以上が好ましい。
　対向ロール２４の表面の算術平均粗さＲａは、以下の方法により測定する。
　レプリカ作製キット（Microset Products社製、101THTHIXO）を用いてレプリカ材料を対向ロール２４の表面に射出して、表面形状の模りを行う。得られたレプリカの表面を、レーザー顕微鏡（株式会社キーエンス製；ＶＫ－９５１０）を用いて計測することにより、対向ロール２４の表面の算術平均粗さＲａが求められる。
　対向ロールを構成する材料としては、特に制限されないが、弾性体が好ましい。弾性体としては、ゴム及び熱可塑性エラストマーが挙げられる。
　対向ロールの硬度は、転写がより優れる点で、５０～９０度が好ましく、６０～８０度がより好ましい。なお、対向ロールの硬度は、ＪＩＳ　Ｋ６２５３－３に記載されている方法に準拠して、タイプＡデュロメータ等の硬度計を用いて測定されるゴム硬度である。
（冷却条件）
　冷却工程の条件としては、冷却ロールによるポリエステルフィルムの冷却速度、即ち、ポリエステルフィルムが冷却ロールに接触してから離れるまでに低下したポリエステルフィルムの温度を、ポリエステルフィルムと冷却ロールとが接触する時間で除した値が、５０℃／秒以上であることが好ましく、１２０℃／秒以上であることがより好ましく、１５０℃／秒以上であることが更に好ましく、１８０℃／秒以上であることが特に好ましい。冷却速度が上記範囲内であると、ポリエステルフィルムにおける乱れ欠陥の発生をより抑制できる。
　上記の冷却速度の上限は特に制限されないが、３００℃／秒以下が好ましい。
　冷却ロールによるポリエステルフィルムの冷却速度は、冷却ロールの表面温度、並びに、冷却ロール及び対向ロールによるフィルムの搬送速度により、調整できる。
　冷却ロールによるポリエステルフィルムの冷却速度は、非接触温度計を用いて測定された、冷却ロールに接触する位置のポリエステルフィルムの温度（接触時膜温）及び冷却ロールから離れる位置でのポリエステルフィルムの温度（離間時膜温）の測定値、ポリエステルフィルムと冷却ロールとの接触面の搬送方向の長さ、並びに、冷却ロールと対向ロールとによるポリエステルフィルムの搬送速度から、求められる。
　冷却工程において、冷却ロールに接触するポリエステルフィルムの温度は、８０℃がより優れる点で、９０℃以上が好ましく、９５℃以上がより好ましい。上限は特に制限されないが、１２０℃以下が好ましい。
　冷却工程において、冷却ロールから離れるポリエステルフィルムの温度は、ポリエステルフィルムにおける乱れ欠陥の発生をより抑制できる点で、８０℃以下が好ましく、５０℃以下がより好ましい。下限は特に制限されないが、１５℃以上が好ましい。
　冷却工程において、冷却ロールに接触してから上記冷却ロールから離れるまでに低下したポリエステルフィルムの温度が、ポリエステルフィルムにおける乱れ欠陥の発生をより抑制できる点で、１０℃以上であることが好ましく、３０℃以上であることがより好ましく、４０℃以上であることが更に好ましい。上限は特に制限されないが、１００℃以下が好ましい。
　冷却工程におけるポリエステルフィルムの温度及び温度変化は、非接触温度計を用いて上記の方法により測定できる。
　また、冷却部２０を用いる冷却工程では、冷却ロール２２と対向ロール２４との間にフィルムＦを通過させることにより、フィルムＦに圧力が付与される（フィルムＦが押圧される）。１軸延伸ポリエステルフィルムを、冷却ロール２２で冷却しながら、冷却ロール２２と対向ロール２４とで押圧することにより、得られるポリエステルフィルムの幅方向の収縮量を低減できる。
　冷却工程において、冷却ロール及び対向ロールによりポリエステルフィルムに付与される圧力は、特に制限されないが、得られるポリエステルフィルムにおける線状欠陥の発生をより抑制できる点で、上記圧力の面平均値が、０．８ＭＰａ以上であることが好ましく、１．１ＭＰａ以上がより好ましく、１．３ＭＰａ以上が更に好ましい。
　また、上記圧力の面平均値の上限は、得られるポリエステルフィルムにおける転写欠陥及び搬送シワ（後述）の発生をより抑制できる点で、２．５ＭＰａ以下が好ましく、２．０ＭＰａ以下がより好ましく、１．７ＭＰａ以下が更に好ましい。
　なお、上記の冷却ロール及び対向ロールによりポリエステルフィルムに付与される圧力の面平均値は、圧力測定フィルム（富士フイルム株式会社製「プレスケール（登録商標）」；超低圧用（ＬＬＷ））を用いて測定される。より具体的には、冷却ロール及び対向ロールを回転させずに、冷却工程と同じ条件で上記の圧力測定フィルムを冷却ロールと対向ロールとの間に挟み、押圧する。その結果、圧力測定フィルムにおいて赤色に発色した領域を、冷却ロール及び対向ロールにより圧力が付与された領域（押圧領域）と見なす。
　その上で、圧力計測機（富士フイルム株式会社製；ＦＰＤ－３０６）を使用して、圧力測定フィルムに現れた発色領域の発色濃度を、対応する圧力値に換算し、得られた圧力値から、押圧領域における圧力の面平均値（押圧領域にかかる圧力の合計値／押圧領域の全面積）が求められる。
　また、ポリエステルフィルムの押圧領域における圧力の幅方向の最大値と最小値との差（以下、「幅方向の圧力差」ともいう。）が、０．６ＭＰａ以下であることが好ましく、０．４ＭＰａ以下がより好ましく、０．２ＭＰａ以下が更に好ましい。押圧領域における幅方向の圧力差を小さくすることにより、搬送時におけるポリエステルフィルムの幅方向のずれを抑制し、得られるポリエステルフィルムにおける線状欠陥の発生をより抑制できる。下限値は特に制限されないが、０．０１ＭＰａ以上が好ましい。
　押圧領域における圧力の幅方向の最大値と最小値との差は、上記の圧力の面平均値の測定方法と同じ方法を実施し、圧力測定フィルムに現れた発色領域に基づいて押圧領域における圧力値を求め、得られた圧力値の搬送方向の平均値を幅方向に沿って比較して、幅方向における最大値及び最小値の差を取ることにより、求められる。
　冷却ロール及び対向ロールによるポリエステルフィルムの押圧領域の広さは特に制限されないが、線状欠陥の抑制により優れる点で、押圧領域の搬送方向の長さ（以下「ニップ幅」ともいう）が、１２ｍｍ以上であることが好ましく、１５ｍｍ以上がより好ましく、１８ｍｍ以上が更に好ましい。上限値は特に制限されないが、３０ｍｍ以下が好ましい。
　押圧領域のニップ幅は、上記の圧力の面平均値の測定方法と同じ方法を実施し、圧力測定フィルムに現れた発色領域の搬送方向における長さを測定することにより得られる。また、押圧領域のニップ幅は、冷却ロールと対向ロールとの間にかかる荷重、対向ロールを構成する材料の硬度、並びに、冷却ロール及び対向ロールの外径によって調整できる。
　冷却部２０を用いる冷却工程では、冷却ロール２２及び対向ロール２４によりフィルムＦに圧力を付与しながらフィルムＦを搬送しているが、冷却工程に用いる装置は、表面の算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下である冷却ロールを備えているものであれば、特に制限されない。
　例えば、冷却ロールに対向するように配置される対向ロールを設けず、ポリエステルフィルムの片面に接する冷却ロールのみでポリエステルフィルムの冷却及び搬送を行ってもよい。また、冷却工程に用いる装置は、上記の冷却ロールを２つ以上備えていてもよい。
（２次冷却処理）
　冷却部２０を用いる冷却工程では、冷却ロール２２により冷却されたフィルムＦに対して、第２冷却ロール２６により更に冷却する２次冷却処理が施される。
　第２冷却ロール２６は、フィルムＦを搬送しながら冷却する機能を有する。第２冷却ロールの表面温度は、冷却ロール２２の表面温度以下であれば特に制限されないが、１５～５０℃が好ましい。
　図１に示す冷却部２０では、３つ以上の第２冷却ロールを用いているが、第２冷却ロールの数は、１つ又は２つであってもよい。また、冷却ロール以外の装置を用いて２次冷却処理を行ってもよい。
＜横延伸工程＞
　横延伸工程は、１軸延伸されたポリエステルフィルムを幅方向に延伸（以下、「横延伸」ともいう。）する工程である。より具体的には、１軸延伸されたポリエステルフィルムを横延伸機を用いて幅方向に延伸して、２軸延伸されたポリエステルフィルムを形成する工程である。
　横延伸部３０は、フィルムＦに対して加熱しながら幅方向に張力を付与することにより、フィルムＦを幅方向に延伸する装置である。横延伸部３０としては、テンター等の公知の横延伸機が用いられる。
　テンターは、遮風カーテンで区分され、熱風等により個々に温度調整可能な多数のゾーンを備えている。そのようなゾーンを備えるテンターの具体例としては、搬送方向上流側から順に、予熱ゾーン、横延伸ゾーン、熱固定ゾーン、熱緩和ゾーン及び冷却ゾーンを備えるテンターが挙げられる。
　横延伸工程においては、横延伸前に、ポリエステルフィルムを予熱することが好ましい。ポリエステルフィルムを予熱することで、ポリエステルフィルムを容易に横延伸できる。
　予熱温度は、（Ｔｇ－１０）～（Ｔｇ＋６０）℃が好ましく、（Ｔｇ）～（Ｔｇ＋５０）℃がより好ましい。具体的に、予熱温度は、８０～１２０℃が好ましく、９０～１１０℃がより好ましい。
　横延伸工程における延伸倍率は、上記縦延伸工程における延伸倍率より大きいことが好ましい。横延伸工程における延伸倍率は、３．０～６．０倍が好ましく、３．５～５．０倍がより好ましく、３．５～４．５倍が更に好ましい。
　縦延伸工程における延伸倍率と、横延伸工程における延伸倍率との積で表される面積倍率は、１２．８～１５．５倍が好ましく、１３．５～１５．２倍がより好ましく、１４．０～１５．０倍が更に好ましい。面積倍率が上記の下限値以上であると、フィルム幅方向における分子配向が良好になる。また、面積倍率が上記の上限値以下であると、加熱処理に供された際に分子配向が緩和されにくい状態を維持しやすい。
　横延伸工程における加熱温度は、（Ｔｇ－１０）～（Ｔｇ＋８０）℃が好ましく、（Ｔｇ）～（Ｔｇ＋７０）℃がより好ましく、（Ｔｇ）～（Ｔｇ＋６０）℃が更に好ましい。具体的に、横延伸工程における加熱温度は、１００～１４０℃が好ましく、１１０～１３５℃がより好ましく、１１５～１３０℃が更に好ましい。
　横延伸工程における延伸速度は、８～４５％／秒が好ましく、１０～３０％／秒がより好ましく、１５～２０％／秒が更に好ましい。
　被覆層を有するポリエステルフィルムを製造する場合、長手方向に延伸されたポリエステルフィルム上に被覆層形成用塗布液を塗布し、次いで、横延伸することが好ましい。上記方法により、被覆層の密着性を向上できる。
＜加熱処理工程＞
　本実施形態の製造方法は、横延伸工程により幅方向に延伸されたポリエステルフィルムを加熱処理する工程（以下、「加熱処理工程」ともいう。）を有してもよい。加熱処理工程としては、例えば、熱固定工程及び熱緩和工程が挙げられる。加熱処理工程は、熱固定工程及び熱緩和工程の少なくとも一方を有することが好ましく、熱固定工程及び熱緩和工程の両者を有することがより好ましい。
　熱固定工程及び熱緩和工程を含む加熱処理工程は、例えば、上記横延伸工程において横延伸部３０として例示した、熱固定ゾーン及び熱緩和ゾーンを含むテンターを用いて実施される。
（熱固定工程）
　熱固定工程においては、上記幅方向に延伸されたポリエステルフィルムを加熱することで熱固定する。熱固定によってポリエステルを結晶化させることができるため、ポリエステルフィルムの収縮を抑えることができる。
　熱固定工程における加熱温度は、１９０～２４０℃が好ましく、２００～２４０℃がより好ましく、２１０～２３０℃が更に好ましい。
　熱固定工程において、フィルム幅方向における最高到達膜面温度のバラツキは、０．５～１０．０℃が好ましく、０．５～７．０℃がより好ましく、０．５～５．０℃が更に好ましく、０．５～４．０℃が特に好ましい。フィルム幅方向における最高到達膜面温度のバラツキを上記範囲内に調節することで、幅方向における結晶化度のバラツキを抑制できる。
　加熱方法としては、例えば、フィルムに熱風を当てる方法、及び、フィルムを輻射加熱する方法が挙げられる。輻射加熱する方法において用いられる装置としては、例えば、赤外線ヒーターが挙げられる。
　熱固定工程における加熱時間は、５～５０秒間が好ましく、５～３０秒間がより好ましく、５～１０秒間が更に好ましい。
（熱緩和工程）
　熱緩和工程においては、上記幅方向に延伸されたポリエステルフィルムを加熱することで熱緩和する。熱緩和によってポリエステルフィルムの残留歪みを緩和できる。
　熱緩和工程における加熱温度は、熱固定工程における加熱温度より、５℃以上低い温度が好ましく、１５℃以上低い温度がより好ましく、２５℃以上低い温度が更に好ましく、３０℃以上低い温度が特に好ましい。
　熱緩和工程における加熱温度の下限は、１００℃以上が好ましく、１１０℃以上がより好ましく、１２０℃以上が更に好ましい。
　加熱方法としては、例えば、フィルムに熱風を当てる方法、フィルムを輻射加熱する方法が挙げられる。輻射加熱する方法において用いられる装置としては、例えば、赤外線ヒーターが挙げられる。
＜巻き取り工程＞
　本実施形態の製造方法では、上記の横延伸工程を施した２軸延伸ポリエステルフィルムを、巻取部４０で巻き取ることにより、ロール状の２軸延伸ポリエステルフィルムを得る巻き取り工程を有する。
　以上の工程を経ることにより、表面における線状欠陥の発生がより抑制されたポリエステルフィルムを製造できる。
〔ポリエステルフィルム〕
　本実施形態の製造方法により製造されるポリエステルフィルムについて説明する。
＜物性＞
（配向性）
　本実施形態の製造方法により製造されるポリエステルフィルムは、２軸配向ポリエステルフィルムである。本明細書において「２軸配向」とは、２軸方向に分子配向性を有する性質を意味する。
　分子配向性は、マイクロ波透過型分子配向計（例えば、ＭＯＡ－６００４、株式会社王子計測機器社製）を用いて測定する。２軸方向のなす角は、９０°±５°が好ましく、９０°±３°がより好ましく、９０°±１°が更に好ましい。本実施形態の製造方法により製造されるポリエステルフィルムは、長手方向及び幅方向に分子配向性を有することが好ましい。
（組成）
　ポリエステルフィルムは、主たる重合体成分としてポリエステルを含有するフィルムである。ここで、「主たる重合体成分」とは、フィルムに含まれる全ての重合体のうち最も含有量（質量）が多い重合体を意味する。
（線状欠陥）
　本明細書において「線状欠陥」とは、ポリエステルフィルムの表面において形成される、搬送方向に沿って線状に延びる傷であって、長さが１ｍｍ以上、深さの最大値が５００ｎｍ以上である傷をいう。線状欠陥は、縦延伸を施したポリエステルフィルムを冷却する際、ポリエステルフィルムが幅方向に収縮することによって生じ得る。ポリエステルフィルムに線状欠陥が発生すると、例えば、ポリエステルフィルムをＤＦＲの仮支持体及び保護膜として用いた場合に、露光障害を引き起こすなど、要求される性能が満たされない可能性がある。
　本発明に係る製造方法により、得られるポリエステルフィルムの線状欠陥の発生を抑制できる。上記製造方法により製造されるポリエステルフィルムにおける線状欠陥の個数は、２０個／ｍ２以下が好ましく、５個／ｍ２以下がより好ましく、３個／ｍ２以下が更に好ましく、１個／ｍ２以下が特に好ましい。下限値は特に制限されないが、０．０１個／ｍ２以上が好ましい。
　ポリエステルフィルムの表面における線状欠陥の個数は、以下の方法により測定する。
（１）暗室内にて、タングステン光のポリエステルフィルムによる反射光、及び、ポリエステルフィルムを通過する透過光を、視点を変えながら目視で観察し、ポリエステルフィルムの表面に存在する線状の傷の位置を特定する。
（２）観察された傷の長さ及び深さを、レーザー顕微鏡（株式会社キーエンス製；ＶＫ－９５１０）を用いて、倍率３００～３０００倍で測定し、測定結果に基づいて、長さが１ｍｍ以上であり、且つ、深さの最大値が５００ｎｍ以上である傷を線状欠陥とする。
（３）観察される線状欠陥のポリエステルフィルム１ｍ２あたりの個数（個／ｍ２）を計測する。
（乱れ欠陥）
　本明細書において「乱れ欠陥」とは、ポリエステルフィルムの表面における反射光を目視で観察することにより視認される表面の荒れた外観をいう。乱れ欠陥は、ポリエステルフィルムの製造時において、ロールに貼り付いたポリエステルフィルムをロールから剥離する際に生じ得る。
　ポリエステルフィルムにおける乱れ欠陥の個数は、３０個／ｍ２以下が好ましく、１０個／ｍ２以下がより好ましく、５個／ｍ２以下が更に好ましい。下限値は特に制限されないが、０．０１個／ｍ２以上が好ましい。
　ポリエステルフィルムにおける乱れ欠陥の個数は、以下の方法により測定する。
　暗室内にて、ポリエステルフィルムを平面上に置き、タングステン光のポリエステルフィルムによる反射光を、視点を変えながら目視で観察する。目視による観察の結果、反射光が一様ではなく、ポリエステルフィルムの表面にしわ又は引きつり等の荒れた外観が観察される領域を乱れ欠陥とする。観察された乱れ欠陥の個数を数え、ポリエステルフィルム１ｍ２あたりの乱れ欠陥の個数（個／ｍ２）を算出する。
（転写欠陥）
　本明細書において「転写欠陥」とは、ポリエステルフィルムの表面に設けられた被覆層に形成されるピンホールを意味する。上記被覆層は、上記の製造方法において、インラインコート法によりポリエステルフィルム上に形成された被覆層であることが好ましい。転写欠陥は、例えば、被覆層を有するポリエステルフィルムを１対のロールに挟んで搬送する際、１対のロールによってポリエステルフィルムに付与される圧力が高すぎる場合、或いは、いずれかのロールの表面の凹凸形状が大きい場合に生じ得る。
　ポリエステルフィルムにおける転写欠陥の個数は、１０個／ｍ２以下が好ましく、３個／ｍ２以下がより好ましく、１個／ｍ２以下が更に好ましい。下限値は特に制限されないが、０．０１個／ｍ２以上が好ましい。
　ポリエステルフィルムにおける転写欠陥の個数は、以下の方法により測定する。
（１）縦延伸を施した後のポリエステルフィルム上に、スリット状ノズルを用いて下記処方Ａからなる塗布液を塗布して塗膜を形成すること以外は、上記で説明した方法に従って、ポリエステルフィルムと厚さ０．０５μｍの被覆層とからなる積層フィルムを製造する。
（２）製造された積層フィルムの被覆層が形成された面とは反対側の面からタングステン光を照射して、積層フィルムの被覆層側を目視で観察する。その結果、光が抜けるピンホールとして視認される被覆層の転写欠陥の個数を数え、ポリエステルフィルム１ｍ２あたりの転写欠陥の個数（個／ｍ２）を算出する。
－処方Ａ：被覆層形成用塗布液－
・ポリアクリル（ＡＳ－５６３Ａ、ダイセルファインケム株式会社製、固形分２７．５質量％）：１６７質量部
・ノニオン系界面活性剤（ナロアクティー（登録商標）ＣＬ９５、三洋化成工業株式会社製、固形分１００質量％）：０．７質量部
・アニオン系界面活性剤（ラピゾール（登録商標）Ａ－９０、日油株式会社製、固形分１質量％水希釈）：５５．７質量部
・カルナバワックス分散物（セロゾール（登録商標）５２４、中京油脂株式会社製、固形分３０質量％）：７質量部
・カルボジイミド化合物（カルボジライト（登録商標）Ｖ－０２－Ｌ２、日清紡ケミカル株式会社製、固形分１０質量％水希釈）：２０．９質量部
・凝集シリカ（アエロジルＯＸ５０、日本アエロジル株式会社製、固形分１０質量％、水分散、平均粒子径４０ｎｍ）：２．９５質量部
・水：７４５.８部
（ヘイズ）
　ポリエステルフィルムのヘイズは、３％以下が好ましく、１％以下がより好ましく、０．５％以下が更に好ましく、０．４％以下が特に好ましい。ヘイズは小さいほど好ましいため、ヘイズの下限は制限されない。ヘイズの下限を便宜上設定するとすれば、０％以上である。ヘイズを上記上限値以下とすることにより、ポリエステルフィルムにレジスト層を積層した後、紫外線を照射して露光するにあたってのレジスト層の支持体であるポリエステルフィルムによる紫外光線の散乱を小さくでき、現像後のレジストのパターニングにおけるゆがみ及び抜け等のレジストパターン壁面の状態を改善でき、また、ポリエステルフィルムの透過率を改善できる。
　ヘイズは、ヘイズメーター（例えば、ＮＤＨ－２０００、日本電色工業株式会社製）を用いて、ＪＩＳ　Ｋ　７１０５に準ずる方法により測定する。
（ｂ＊値）
　Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるｂ＊値は、０～１が好ましく、０～０．８がより好ましく、０～０．６が更に好ましく、０～０．４が特に好ましい。Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるｂ＊値が０～１であることで、フィルムの黄色度を小さくできるため、フィルムの色相を無色に近づけることができる。この結果、例えば、高い視認性が求められる用途（例えば、表示装置）において、ポリエステルフィルムを好ましく適用できる。
　Ｌ＊ａ＊ｂ＊表色系におけるｂ＊値は、分光色差計（例えば、ＳＥ－２０００、日本電色工業株式会社製）を用いて、透過法により測定する。
（厚さ）
　ポリエステルフィルムの厚さは、加工性（特に、フィルムをラミネートする際の加工性）の観点から、１０～１００μｍが好ましく、１０～５０μｍがより好ましく、１２～４０μｍが更に好ましい。ポリエステルフィルムの厚さを上記の下限値以上とすることにより、強度を向上し、加工工程での取り扱いを容易にすることができる。また、厚さを上記の上限値以下とすることにより、ヘイズ値の上昇を抑えることができる。ポリエステルフィルムの厚さは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ：Scanning Electron Microscope）により測定される５か所の厚さの算術平均値とする。
（寸法変化率）
　ポリエステルフィルムにおいては、寸法変化率が、下記の範囲内であるとＤＦＲ加工工程での熱収縮による歪み及びシワの発生を抑制できるため好ましい。寸法変化率は、製膜条件における弛緩・熱処理等の条件を公知の方法により適宜調整することにより達成出来る。１５０℃における寸法変化率は長手方向で３％未満、幅方向で２．５％未満が好ましく、長手方向で０．５％以上２％未満、幅方向で１％以上２％未満がより好ましい。また、１００℃における寸法変化率は長手方向、幅方向ともに１％未満が好ましく、０．８％未満であるとより好ましい。寸法変化率において上記範囲の下限を下回ると、レジスト層を塗布する際にタルミによる平面性不良が発生し、上限を上回ると、レジスト層を塗布する際に収縮によりトタン状に収縮斑が発生し平面性不良となり、いずれの場合もレジスト層の塗布厚みに斑を生じさせることがある。
（Ｆ－５値）
　ポリエステルフィルムは、長手方向に５％伸張したときの強度（Ｆ－５値）が、０ＭＰａ以上１５０ＭＰａ未満であることが好ましい。長手方向のＦ－５値が７０ＭＰａ未満では強度不足により傷の発生などにより加工特性が悪くなる場合がある。一方、長手方向のＦ－５値が１５０ＭＰａ以上では幅方向のＦ－５値との両立が困難となる場合がある。長手方向のＦ－５値は、より好ましくは８０ＭＰａ以上１４０ＭＰａ未満であり、更に好ましくは９０ＭＰａ以上１３０ＭＰａ未満である。
　幅方向のＦ－５値が８０ＭＰａ以上１６０ＭＰａ未満であることが好ましい。幅方向のＦ－５値が８０ＭＰａ未満では強度不足による傷の発生などによる加工特性が悪くなる場合があり、１６０ＭＰａ以上では長手方向のＦ－５値との両立が難しくなる場合がある。幅方向のＦ－５値は、より好ましくは９０ＭＰａ以上１５０ＭＰａ未満であり、更に好ましくは１００ＭＰａ以上１４０ＭＰａ未満である。
（破断強度）
　ポリエステルフィルムにおいては、長手方向の破断強度は２００ＭＰａ以上３６０ＭＰａ未満であることが好ましく、２２０ＭＰａ以上３４０ＭＰａ未満であることがより好ましい。幅方向の破断強度については、２６０ＭＰａ以上４２０ＭＰａ未満であることが好ましく、２８０ＭＰａ以上４００ＭＰａ未満であることがより好ましい。
　ポリエステルフィルムのＦ－５値及び破断強度は、縦方向及び横方向の延伸温度及び延伸倍率を適宜調整することで達成できる。
＜構造＞
　ポリエステルフィルムは、単層構造を有していてもよく、積層構造を有していてもよい。ポリエステルフィルムが積層構造を有する場合、ポリエステルを含有する基材と、上記基材の少なくとも一方の面に、粒子を含有し、かつ、表面に複数の突起を有する被覆層とを有することが好ましい。ポリエステルフィルムが被覆層を有することで、巻き品質を向上できる。
（被覆層）
　ポリエステルフィルムが積層構造を有する場合の被覆層は、特に制限されない。被覆層は、粒子を含有していてもよく、粒子を含有していなくてもよい。
　被覆層は、粒子を含有し、かつ、表面に複数の突起を有することが好ましい。
　粒子としては、例えば、有機粒子、及び無機粒子が挙げられる。上記の中でも、粒子は、フィルム巻き品質、ヘイズ、及び耐久性（例えば、熱安定性）の観点から、無機粒子が好ましい。
　有機粒子としては、樹脂粒子が好ましい。樹脂粒子としては、例えば、アクリル樹脂粒子、ポリエステル樹脂粒子、シリコーン樹脂粒子、及びスチレン－アクリル樹脂粒子が挙げられる。樹脂粒子は、架橋構造を有することが好ましい。
　無機粒子としては、例えば、シリカ粒子（二酸化ケイ素粒子）、チタニア粒子（酸化チタン粒子）、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、及びアルミナ粒子（酸化アルミニウム粒子）が挙げられる。上記の中でも、無機粒子は、ヘイズ及び耐久性の観点から、シリカ粒子が好ましい。
　粒子の平均粒子径は、特に制限されないが、巻き品質の向上及び転写欠陥の抑制の点で、０．０１～０．４μｍが好ましく、０．０４～０．２μｍがより好ましい。
　粒子の平均粒子径は、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）の画像から任意に選択した５０個の粒子の粒子径を算術平均することにより求める。
　被覆層は、１種単独の粒子を含有していてもよく、２種以上の粒子を含有していてもよい。
　粒子の含有量は、フィルムの巻き品質の向上、及び転写欠陥の抑制の観点から、被覆層の全質量に対して、０．０１～１５質量％が好ましく、０．１～１０質量％がより好ましく、０．５～６質量％が更に好ましい。
　ポリエステルフィルムが被覆層を有する場合、粒子の含有量は、ポリエステルフィルムの全質量に対して、０．０００１～０．０１質量％が好ましく、０．０００５～０．００５質量％がより好ましい。
　被覆層は、バインダーを含有することが好ましい。バインダーとしては、樹脂バインダーが好ましい。樹脂バインダーとしては、例えば、ポリアクリル、ポリウレタン、ポリエステル及びポリオレフィンが挙げられる。
　ポリアクリルとしては、アクリル酸エステル、及びメタクリル酸エステルからなる群より選択される少なくとも１種の化合物に由来する構成単位を有する重合体であれば制限されず、公知のポリアクリルを利用できる。ポリアクリルは、アクリル酸エステル及びメタクリル酸エステル以外の化合物（例えば、オレフィン化合物、及びスチレン化合物）に由来する構成単位を有していてもよい。
　ポリウレタンとしては、ウレタン結合を有する重合体であれば制限されず、公知のポリウレタンを利用できる。ポリウレタンは、イソシアネート化合物とポリオール化合物とを反応させることにより製造することが多い。
　ポリエステルとしては、上記「ポリエステル」の項目において説明したポリエステルを適用でき、好ましい種類も同様である。
　ポリオレフィンとしては、制限されず、公知のポリオレフィンを利用できる。ポリオレフィンとしては、例えば、ポリエチレン、及びポリプロピレンが挙げられる。
　被覆層は、１種単独のバインダーを含有していてもよく、２種以上のバインダーを含有していてもよい。
　バインダーの含有量は、被覆層の耐久性及び／又は粒子の分散性の観点から、被覆層の全質量に対して、３０～８０質量％が好ましく、４０～７０質量％がより好ましく、４５～６５質量％が更に好ましい。
　被覆層における複数の突起については、好ましい態様も含めて、上記「突起密度」の項目において説明した突起と同じである。
　被覆層の厚さは、被覆層の製造適性の観点から、０．０１～０．３μｍが好ましく、０．０２～０．１μｍがより好ましく、０．０２～０．０６μｍが更に好ましい。被覆層の厚さは、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）又は透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）により測定される５か所の厚さの算術平均値とする。
　被覆層の形成方法としては、例えば、被覆層形成用塗布液を用いる方法が挙げられる。例えば、ポリエステルフィルム基材上に被覆層形成用塗布液を塗布し、必要に応じて乾燥することにより被覆層を形成できる。また、共押出法によって、押出形成工程における未延伸ポリエステルフィルムの形成と同時に被覆層を形成してもよい。
　被覆層形成用塗布液は、上記各成分及び溶剤を混合することにより調製できる。溶剤としては、例えば、水、ヘキサン、アセトン、エタノール、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル及びプロピレングリコールモノエチルエーテルが挙げられる。中でも、環境、安全性及び経済性の観点から、水が好ましい。
　被覆層形成用塗布液は、１種単独の溶剤を含有していてもよく、２種以上の溶剤を含有していてもよい。
　溶剤の含有量は、被覆層形成用塗布液の全質量に対して、８０～９９質量％が好ましく、９０～９８質量％がより好ましい。
　被覆層形成用塗布液の塗布方法は、制限されず、公知の方法を利用できる。塗布方法としては、例えば、スプレーコート法、スリットコート法、ロールコート法、ブレードコート法、スピンコート法、バーコート法及びディップコート法が挙げられる。
　被覆層形成用塗布液を用いて被覆層を形成する場合、被覆層形成用塗布液が塗布される基材は、未延伸ポリエステルフィルムであってもよく、１軸延伸ポリエステルフィルムであってもよく、２軸延伸ポリエステルフィルムであってよい。
　被覆層の形成方法は、基材及び被覆層の密着性の観点から、１軸延伸ポリエステルフィルム上に被覆層形成用塗布液を塗布する方法が好ましい。例えば、１軸延伸ポリエステルフィルムの表面に被覆層形成用塗布液を塗布することにより被覆層を形成した後、１軸延伸ポリエステルフィルムと被覆層とを同時に延伸することにより、基材及び被覆層の密着性を向上できる。延伸の具体的な方法については上述の通りである。
＜用途＞
　本発明に係る製造方法で製造されるポリエステルフィルムの用途は特に制限されず、例えば、ドライフィルムフォトレジストの支持体及び保護フィルム、積層セラミックコンデンサー（ＭＬＣＣ）製造工程の離型用フィルム並びに、透明導電性基板用フィルムが挙げられる。
　以下に実施例を挙げて本開示を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、使用量、割合、処理内容、及び、処理手順は、本開示の趣旨を逸脱しない限り、適宜、変更できる。したがって、本開示の範囲は以下に示す具体例に制限されない。なお、特に断りのない限り、「部」及び「％」は質量基準である。
〔実施例１〕
＜押出成形工程＞
　重合触媒として特許第５５７５６７１号公報に記載のチタン化合物（クエン酸キレートチタン錯体、ＶＥＲＴＥＣ　ＡＣ－４２０、ジョンソン・マッセイ社製）を用いて、ポリエチレンテレフタレートのペレットを製造した。得られたペレットを、含水率が５０ｐｐｍ以下になるまで乾燥させた後、直径３０ｍｍの１軸混練押出し機のホッパーに投入し、次いで、２８０℃で溶融して押出した。溶融体（メルト）を、濾過器（孔径３μｍ）に通した後、ダイから２５℃の冷却ドラムに押し出すことにより、未延伸フィルムを得た。なお、押し出された溶融体（メルト）は、静電印加法により冷却ドラムに密着させた。
＜縦延伸工程及び冷却工程＞
　上記未延伸フィルムに対し、以下の方法により縦延伸工程を施した。
　予熱ロールにより予熱された未延伸フィルムを、１対の延伸ロール（セラミック製）の間を通過させた後、金属製ロールの外周面にタングステンカーバイトで構成された表層を有する冷却ロールＣ１（製品名「ＷＣ－１２Ｃｏ」、プラスクエア工学社製）と対向ロールＮ１（製品名「９０Ａ７０Ｗ」、金陽社製、硬度７０度）との間を通過させることにより、縦方向（搬送方向）に延伸し、１軸延伸フィルムを作製した。なお、縦延伸工程は、予熱温度が７５℃、延伸温度が９０℃、延伸倍率が３．４倍、延伸速度が１３００％／秒である条件で、実施した。１対の延伸ロールを通過する際の未延伸フィルムの搬送速度は、３０ｍ／分であり、冷却ロールＣ１と対向ロールＮ１との間を通過する際の１軸延伸フィルムの搬送速度は、１００ｍ／分であった。
　また、冷却工程として、上記の１軸延伸フィルムを、冷却ロールＣ１に接触させることにより冷却した。また、冷却ロールＣ１と対向ロールＮ１との間に１軸延伸フィルムを通過させることにより、１軸延伸フィルムに圧力を付与した。
　冷却ロールＣ１の表面について、算術平均粗さＲａは０．０２μｍであり、最大山高さＲｐは０．１８７μｍであり、突起密度は３６４７個／ｍｍ２であり、水に対する接触角は６８．１°であり、温度は２５℃であった。
　対向ロールＮ１の表面の算術平均粗さＲａは１．１μｍであった。
　冷却ロールＣ１及び対向ロールＮ１により１軸延伸フィルムに付与される圧力の幅方向の平均値は１．３ＭＰａであり、圧力の幅方向の最大値と最小値との差は０．０８ＭＰａであった。冷却ロールＣ１及び対向ロールＮ１の押圧により形成される押圧領域の搬送方向の長さ（以下「押圧領域のニップ幅」ともいう。）は、２０ｍｍであった。
　また、冷却ロールに接触する位置での１軸延伸フィルムの温度は１００℃であり、冷却ロールから離間する位置での１軸延伸フィルムの温度は５０℃であった。これらの温度から、冷却ロールによる１軸延伸フィルムの冷却速度は２００℃／秒と算出された。
　以下、上記の各物性値の測定方法を記載する。
－冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａの測定－
　冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａについて、冷却ロールが市販品であってカタログ値が存在する場合は、カタログ値を採用した。カタログ値が存在しない場合は、使用する冷却ロールと同じ構造を有するテストピースを作製し、得られたテストピースの表面を、レーザー顕微鏡（株式会社キーエンス製；ＶＫ－９５１０）を用いて倍率３０００倍で計測し、冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａを得た。
－最大山高さＲｐ及び突起密度の測定－
　冷却ロールの表面の最大山高さＲｐ及び突起密度は、使用する冷却ロールと同じ構造を有するテストピースを作製し、得られたテストピースの表面を、下記の微細形状測定装置を用いて下記条件にて測定し、その後、内蔵されている解析ソフトにて粒子解析（複数レベル）を実施することにより、求めた。
　以下に、測定機及び測定条件を示す。上記の測定は、スライスレベルを１０ｎｍの等間隔に設定して、測定位置を変更しながら各スライスレベルの平均直径と密度を５回測定し、これらの平均値を算出して、最大山高さＲｐ及び突起密度の各測定値とした。また、テストピースは、視野測定のＸ方向がポリエステルフィルムの幅方向になるように試料台に固定した。
・測定装置：小坂研究所製surf-corder ET-4000A
・解析ソフト：i-Face model TDA31 Ver2.2.0.4 JSIS
・触針先端半径：０．５μｍ
・測定視野　　：Ｘ方向：３８０μｍ、ピッチ：１μｍ
　　　　　　　　Ｙ方向：２８０μｍ、ピッチ：５μｍ
・針圧　　　　：５０μＮ
・測定速度　　：０．１ｍｍ／ｓ
・カットオフ値：低域－０．８ｍｍ、高域－なし
・レベリング　：全域
・フィルター　：ガウシアンフィルタ（２Ｄ）
・倍率　　　　：１０万倍
・粒子解析（複数レベル）条件
・出力内容設定：山粒子
・ヒステリシス幅：５ｎｍ
・スライスレベル等間隔：１０ｎｍ
－接触角の測定－
　冷却ロールの表面の水に対する接触角について、冷却ロールが市販品であってカタログ値が存在する場合は、カタログ値を採用した。カタログ値が存在しない場合は、使用する冷却ロールと同じ構造を有するテストピースを作製し、接触角計（協和界面科学社製、ＤＭｏ－９０１）を用いて、得られたテストピースの表面の水に対する静的接触角（°）を液滴法により測定し、冷却ロールの表面の水に対する接触角とした。
－対向ロールの表面の算術平均粗さＲａの測定－
　レプリカ作製キット（Microset Products社製、101THTHIXO）を用いてレプリカ材料を対向ロールの表面に射出して、表面形状の模りを行った。得られたレプリカの表面を、レーザー顕微鏡（株式会社キーエンス製；ＶＫ－９５１０）を用いて、倍率３０００倍で計測し、対向ロールの表面の算術平均粗さＲａを得た。
－押圧条件－
　上記冷却工程において、冷却ロール及び対向ロールにより１軸延伸フィルムに付与される圧力を、圧力測定フィルム（富士フイルム株式会社製「プレスケール（登録商標）」；超低圧用（ＬＬＷ））を用いて測定した。具体的には、冷却ロール及び対向ロールを回転させずに、上記冷却工程と同じ条件で、上記圧力測定フィルムを冷却ロールと対向ロールとの間に挟み、押圧した。その結果、圧力測定フィルムに赤色に発色した領域が現れた。圧力測定フィルムにおける発色領域が、冷却ロール及び対向ロールにより圧力が付与された領域（即ち、押圧領域）に対応する。
　次いで、圧力測定フィルムを取り出し、圧力計測機（富士フイルム株式会社製；ＦＰＤ－３０６）を使用して、圧力測定フィルムに現れた発色領域の発色濃度を、対応する圧力値を換算した。得られた圧力値から、押圧領域における圧力の幅方向の平均値と、幅方向の最大値と最小値との差を求めた。
　また、圧力測定フィルムに現れた発色領域の搬送方向の長さを、定規を用いて測定した。この測定を幅方向で１００ｍｍ毎に行い、得られた測定値の平均値を、冷却ロールＣ１及び対向ロールＮ１の押圧により形成される押圧領域のニップ幅とした。
－フィルム温度の測定－
　非接触温度計（ＡＤ－５６１６（製品名）、Ａ＆Ｄ社製、放射率０．９５）を用いて、冷却ロールに接触する位置の１軸延伸フィルムの温度（接触時膜温）と、冷却ロールから離れる位置での１軸延伸フィルムの温度（離間時膜温）とを測定した。それぞれの温度の測定において、フィルムの幅方向中央部の温度を５回測定し、これらの平均値を接触時膜温及び離間時膜温の測定値とした。
　また、１軸延伸フィルムが冷却ロールに接している接触面の縦方向の長さと、冷却ロールの回転速度とから、１軸延伸フィルムが冷却ロールに接している時間を冷却時間ｔａとして求めた。測定された接触時膜温と離間時膜温との温度差Ｔａ（℃）を、冷却時間ｔａで除して（Ｔａ／ｔａ）、冷却工程による１軸延伸フィルムの冷却速度（℃／秒）を求めた。
＜横延伸工程＞
　上記の冷却工程を施した１軸延伸フィルムに対し、テンターを用いて下記条件にて横延伸し、２軸延伸フィルムを得た。
－条件－
　予熱温度：１００℃
　延伸温度：１２０℃
　延伸倍率：４．２倍
　延伸速度：５０％／秒
＜熱固定及び熱緩和工程＞
　上記横延伸工程を施した２軸延伸フィルムを下記条件で熱固定した。更に、熱固定した後、テンター幅を縮め下記条件で熱緩和し、次いで冷却した。
（熱固定条件）
　熱固定温度：２２７℃
　熱固定時間：６秒
（熱緩和条件）
　熱緩和温度：１９０℃
　熱緩和率：４％
（冷却条件）
　冷却速度：２５００℃／分
＜巻き取り工程＞
　上記熱固定及び熱緩和工程を施したフィルムの幅方向の両端部をトリミングし、次いで、フィルム幅方向の両端部に、幅１０ｍｍで押出し加工（ナーリング）を行なった後、張力４０ｋｇ／ｍで延伸フィルムを巻き取った。以上の方法により、厚さ３０μｍの２軸配向フィルムを得た。得られた２軸配向フィルムの幅は１．５ｍであり、巻長は７０００ｍであった。
〔実施例２〕
　冷却工程において、冷却ロールＣ１及び対向ロールＮ１により１軸延伸フィルムに付与する圧力（幅方向の平均値）を１．０ＭＰａに調整したこと以外は、実施例１と同様の方法によりを得た。
　実施例２の冷却工程における押圧領域のニップ幅は、１７ｍｍであった。
〔実施例３〕
　冷却工程において、対向ロールＮ１に代えて対向ロールＮ２（製品名「９０Ａ８０Ｗ」、金陽社製）を用いたこと、並びに、冷却ロールＣ１及び対向ロールＮ２により１軸延伸フィルムに付与する圧力（幅方向の平均値）を２．１ＭＰａに調整したこと以外は、実施例１と同様の方法により２軸配向フィルムを得た。
　対向ロールＮ２の硬度は、８０度であった。また、実施例３の冷却工程における押圧領域のニップ幅は、１７ｍｍであった。
〔実施例４〕
　冷却工程において、対向ロールＮ１に代えて対向ロールＮ３（製品名「９０Ａ７０Ｗ」、金陽社製）を用いたこと以外は、実施例１と同様の方法により２軸配向フィルムを得た。
　実施例４の冷却工程において、冷却ロールＣ１及び対向ロールＮ３により１軸延伸フィルムに付与される圧力の、幅方向の最大値と最小値との差は０．４９ＭＰａであり、押圧領域のニップ幅は２０ｍｍであった。なお、この圧力差とニップ幅はロール据え付け部の歪が原因と考えられる。
〔実施例５〕
　冷却工程において、対向ロールＮ１に代えて対向ロールＮ４（製品名「９０Ａ７０Ｗ」、金陽社製）を用いたこと以外は、実施例１と同様の方法により２軸配向フィルムを得た。
　なお、対向ロールＮ４は経年劣化していたため、その表面の算術平均粗さＲａは、１．８μｍであった。
〔実施例６〕
　冷却工程において、冷却ロールＣ１に代えて、金属製ロールの外周面にハードクロムめっき処理層を有する冷却ロールＣ２（野村鍍金社製）を用いたこと以外は、実施例１と同様の方法により２軸配向フィルムを得た。
　冷却ロールＣ２のめっき処理層は、表面の算術平均粗さＲａが０．００８μｍであり、最大山高さＲｐが０．１１３μｍであり、最大突起密度が２２８４個／ｍｍ２であり、水との接触角が１５．５°である表面を有していた。
〔実施例７〕
　冷却工程において、冷却速度を１００℃／秒に調整したこと以外は、実施例１と同様の方法により２軸配向フィルムを得た。
　このときの冷却ロールＣ１から離間する位置での１軸延伸フィルムの温度は、７５℃であった。
〔比較例１〕
　冷却工程において、冷却ロールＣ１に代えて、金属製ロールの外周面に酸化クロムで構成された表層を有する冷却ロールＣ３（製品名「ＬＣ－４」、プラスクエア工学社製）を用いたこと以外は、実施例１と同様の方法により２軸配向フィルムを得た。
　冷却ロールＣ３の表層は、表面の算術平均粗さＲａが０．０８μｍであり、最大山高さＲｐが０．３２３μｍであり、最大突起密度が４５４９個／ｍｍ２であり、水との接触角が１００．６°である表面を有していた。
［評価］
　実施例１～７及び比較例１の各２軸配向フィルムに対して、以下の評価を行った。評価結果を表１に示す。
〔線状欠陥〕
　暗室内にて、光源としてタングステン光を用いて、タングステン光の２軸配向フィルムによる反射光、及び、２軸配向フィルムを通過する透過光を、視点を変えながら目視で観察し、２軸配向フィルムの表面に存在する線状の傷の位置を特定した。次に、観察された傷の長さ及び深さを、レーザー顕微鏡（株式会社キーエンス製；ＶＫ－９５１０）を用いて、倍率３００～３０００倍で測定した。測定結果に基づいて、長さが１ｍｍ以上であり、且つ、深さの最大値が５００ｎｍ以上である傷を線状欠陥とし、２軸配向フィルム１ｍ２あたりの線状欠陥の個数（個／ｍ２）を計測した。また、２軸配向フィルムにおける面積１ｍ２の領域を任意に選択し、選択された領域における最も長い線状欠陥の最大深さ（単位：ｎｍ）を測定した。
〔乱れ欠陥〕
　暗室内にて、２軸配向フィルムを平面上に置き、タングステン光の２軸配向フィルムによる反射光を、視点を変えながら目視で観察した。目視による観察の結果、反射光が一様ではなく、２軸配向フィルムの表面に光源の反射光を乱す荒れた外観が観察される領域を乱れ欠陥とした。観察された乱れ欠陥を数え、２軸配向フィルム１ｍ２あたりの乱れ欠陥の個数（個／ｍ２）を算出した。
〔転写欠陥〕
　上記縦延伸工程により縦延伸を施した後のポリエステルフィルム上に、スリット状ノズルを用いて上記処方Ａからなる塗布液を塗布して厚さ０．０５μｍの被覆層を形成したこと以外は、上記実施例１～７及び比較例１に記載した方法に従って、被覆層を有する２軸配向フィルムを製造した。
　被覆層を設けた２軸配向フィルムの被覆層が形成された面とは反対側の面からタングステン光を照射して、被覆層のピンホール（転写欠陥）の有無を目視で観察した。観察された転写欠陥の個数を数えて、２軸配向フィルム１ｍ２あたりの転写欠陥の個数（個／ｍ２）を算出した。
〔搬送シワ〕
　冷却工程において、冷却ロール上での１軸延伸フィルムの搬送状態を観察し、以下の基準に従って評価した。評価がＡであれば、実用上問題ないといえる。なお、「幅方向両端部」とは、１軸延伸フィルムの幅方向の両端から３０ｍｍまでの領域を意味する。また、搬送シワは、搬送方向に対して斜め方向に延びる形状を有することが多い。
（基準）
　Ａ：冷却ロール上で１軸延伸フィルムの幅方向両端部にシワが生じない。
　Ｂ：冷却ロール上で１軸延伸フィルムの幅方向両端部にシワが生じる。
　表１に、各実施例及び比較例で行った冷却工程及び各評価結果をそれぞれ示す。
　表１において、「冷却ロール」の「表面材料」欄は、冷却ロールの表面を構成する材料を示しており、「材料Ａ」はタングステンカーバイトを、「材料Ｂ」はハードクロム（めっき層）を、「材料Ｃ」はセラミック（酸化クロム）を、それぞれ意味する。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表１より、冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａが０．０５μｍ以下である実施例１～７は、比較例１に比べて、ポリエステルフィルムの表面における線状欠陥の発生を抑制できることが確認された。
　冷却ロール及び対向ロールによりポリエステルフィルムに付与される圧力の面平均値が１．１ＭＰａ以上である場合、ポリエステルフィルムの表面における線状欠陥の発生をより抑制できることが確認された（実施例１と実施例２との比較）。
　また、冷却ロール及び対向ロールによりポリエステルフィルムに付与される圧力の面平均値が２．０ＭＰａ以下である場合、ポリエステルフィルムにおける転写欠陥及び搬送シワの発生をより抑制できることが確認された（実施例１と実施例３との比較）。
　ポリエステルフィルムにおける、冷却ロール及び対向ロールにより圧力が付与される領域における圧力の幅方向の最大値と最小値との差が０．４ＭＰａ以下である場合、ポリエステルフィルムの表面における線状欠陥の発生をより抑制できることが確認された（実施例１と実施例４との比較）。
　対向ロールの表面の算術平均粗さＲａが１．５μｍ以下である場合、ポリエステルフィルムの表面における転写欠陥の発生を抑制できることが確認された（実施例１と実施例５との比較）。
　冷却ロールの表面の水に対する接触角が２０°以上である場合、ポリエステルフィルムの表面における乱れ欠陥の発生を抑制できることが確認された（実施例１と実施例６との比較）。
　冷却ロールによるポリエステルフィルムの冷却速度が１２０℃／秒以上である場合、ポリエステルフィルムの表面における乱れ欠陥の発生を抑制できることが確認された（実施例１と実施例７との比較）。
１０　　縦延伸部
１２　　予熱ロール
１４　　延伸ロール
１６　　ヒーター
２０　　冷却部
２２　　冷却ロール
２４　　対向ロール
２６　　第２冷却ロール
３０　　横延伸部
４０　　巻取部
１００　製造装置
Ｆ　　　フィルム

Claims (22)

  1. 　１軸延伸されたポリエステルフィルムを冷却ロールに接触させて冷却する冷却工程を有し、
    　前記冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａが、０．０５μｍ以下である、
    　ポリエステルフィルムの製造方法。
  2. 　前記冷却ロールの表面の最大山高さＲｐが、０．３μｍ以下である、請求項１に記載の製造方法。
  3. 　前記冷却ロールの表面における突起密度が、１００００個／ｍｍ２以下である、請求項１又は２に記載の製造方法。
  4. 　前記冷却工程における前記冷却ロールによる前記ポリエステルフィルムの冷却速度が、１５０℃／秒以上である、請求項１～３のいずれか１項に記載の製造方法。
  5. 　前記冷却工程において前記冷却ロールに接触する前記ポリエステルフィルムの温度が、９０℃以上である、請求項１～４のいずれか１項に記載の製造方法。
  6. 　前記冷却工程において前記冷却ロールから離れる前記ポリエステルフィルムの温度が、５０℃以下である、請求項１～５のいずれか１項に記載の製造方法。
  7. 　前記冷却工程において前記冷却ロールに接触してから前記冷却ロールから離れるまでに低下した前記ポリエステルフィルムの温度が、３０℃以上である、請求項１～６のいずれか１項に記載の製造方法。
  8. 　前記冷却ロールの表面温度が、３５℃以下である、請求項１～７のいずれか１項に記載の製造方法。
  9. 　前記冷却ロールによる前記ポリエステルフィルムの搬送速度が、５０～１５０ｍ／分である、請求項１～８のいずれか１項に記載の製造方法。
  10. 　前記冷却ロールと、前記冷却ロールの搬送方向上流側に配置され、前記冷却ロールよりも搬送速度が遅い１つ以上の延伸ロールとを用いて、未延伸ポリエステルフィルムを搬送方向に延伸して、前記１軸延伸されたポリエステルフィルムを形成する縦延伸工程を更に有し、
    　前記延伸ロールによる前記未延伸ポリエステルフィルムの搬送速度が、１０～５０ｍ／分である、請求項１～９のいずれか１項に記載の製造方法。
  11. 　前記冷却ロールの表面の算術平均粗さＲａが、０．００８μｍ以上である、請求項１～１０のいずれか１項に記載の製造方法。
  12. 　前記冷却ロールの表面の水に対する接触角が、１０°以上である、請求項１～１１のいずれか１項に記載の製造方法。
  13. 　前記ポリエステルフィルムの厚さが、４０μｍ以下である、請求項１～１２のいずれか１項に記載の製造方法。
  14. 　前記冷却工程において、前記冷却ロールと、前記冷却ロールに対向するように配置されている対向ロールとの間に前記ポリエステルフィルムを通過させることにより、前記ポリエステルフィルムに圧力を付与する、請求項１～１３のいずれか１項に記載の製造方法。
  15. 　前記冷却ロール及び前記対向ロールにより前記ポリエステルフィルムに付与される圧力の幅方向における最大値と最小値の差が、０．４ＭＰａ以下である、請求項１４に記載の製造方法。
  16. 　前記冷却ロール及び前記対向ロールにより前記ポリエステルフィルムに付与される圧力の面平均値が、１．１ＭＰａ以上である、請求項１４又は１５に記載の製造方法。
  17. 　前記冷却ロール及び前記対向ロールにより前記ポリエステルフィルムに付与される圧力の面平均値が、１．７ＭＰａ以下である、請求項１４～１６のいずれか１項に記載の製造方法。
  18. 　前記ポリエステルフィルムにおいて、前記冷却ロール及び前記対向ロールにより圧力が付与される領域の搬送方向の長さが、１５ｍｍ以上である、請求項１４～１７のいずれか１項に記載の製造方法。
  19. 　前記対向ロールの表面の算術平均粗さＲａが、１．５μｍ以下である、請求項１４～１８のいずれか１項に記載の製造方法。
  20. 　ポリエステルフィルムであって、前記ポリエステルフィルムの表面において、深さが５００ｎｍ以上であり、且つ、長さが１ｍｍ以上である線状欠陥の個数が、前記ポリエステルフィルム１ｍ２あたり５個以下である、ポリエステルフィルム。
  21. 　前記ポリエステルフィルムの表面における反射光を目視で観察することにより視認される乱れ欠陥の個数が、前記ポリエステルフィルム１ｍ２あたり５個以下である、請求項２０に記載のポリエステルフィルム。
  22. 　前記ポリエステルフィルムの表面に設けられた被覆層を更に有し、
    　前記被覆層とは反対側の面から光を照射して、前記被覆層側の表面を目視で観察することによりピンホールとして視認される転写欠陥の個数が、前記ポリエステルフィルム１ｍ２あたり３個以下である、請求項２０又は２１に記載のポリエステルフィルム。
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