KR20230011388A - 폴리에스터 필름의 제조 방법, 폴리에스터 필름, 적층 필름 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 폴리에스터 필름의 표면 상에 마련되는 기능층의 두께 불균일을 보다 억제할 수 있는 폴리에스터 필름의 제조 방법, 및, 표면 상에 마련되는 기능층의 두께 불균일을 보다 억제할 수 있는 폴리에스터 필름 및 적층 필름을 제공하는 것을 과제로 한다.
본 발명의 폴리에스터 필름의 제조 방법은, 폴리에스터를 함유하는 용융 수지를 필름상으로 압출하여, 미연신 폴리에스터 필름을 형성하는 압출 성형 공정과, 미연신 폴리에스터 필름을 반송 방향으로 연신하는 세로 연신 공정과, 1축 배향 폴리에스터 필름을 폭방향으로 연신하는 가로 연신 공정과, 2축 배향 폴리에스터 필름을 가열하여 열고정하는 열고정 공정과, 열고정된 폴리에스터 필름을 열고정 공정보다 낮은 온도에서 가열하여 열완화하는 열완화 공정과, 열완화된 폴리에스터 필름을 냉각하는 냉각 공정과, 냉각 공정에 있어서, 열완화된 폴리에스터 필름을 폭방향으로 확장하는 확장 공정과, 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면에 입자를 함유하는 입자 함유층을 마련하는 입자 함유층 형성 공정을 갖고, 냉각 공정에 있어서의 폴리에스터 필름의 냉각 속도 V가, 2200~3500℃/분이며, 또한, 특정 하기 조건 1을 충족시킨다.

Description

폴리에스터 필름의 제조 방법, 폴리에스터 필름, 적층 필름

본 발명은, 폴리에스터 필름의 제조 방법, 폴리에스터 필름, 및, 적층 필름에 관한 것이다.

2축 배향 폴리에스터 필름은, 가공성, 기계적 성질, 전기적 성질, 치수 안정성, 투명성, 및, 내약품성 등의 관점에서 폭넓은 용도에 사용되고 있으며, 예를 들면, 가식(加飾) 필름, 드라이 필름 포토레지스트의 지지체 및 보호 필름, 자기(磁氣) 테이프, 및, 적층 세라믹 콘덴서 제조용의 세라믹 그린 시트의 제작 등에 이용되는 박리 필름 등의 각종 용도에 사용되고 있다.

한편, 2축 배향 폴리에스터 필름의 제조 공정에 있어서, 폴리에스터 필름의 반송 시에 발생하는 주름(반송 주름)의 발생을 억제하는 기술로서, 표면에 입자 함유층을 마련하는 기술이 알려져 있다.

예를 들면, 특허문헌 1에는, 레지스트 도포면의 반대면 측에 평균 입경이 40nm보다 큰 입자를 함유하지 않는, 평균 두께 3~80nm의 이활(易滑) 수지층을 적층한 2축 배향 폴리에스터 필름으로서, 폴리에스터 필름의 이활 수지층 측의 10점 평균 조도(SRz), 헤이즈, 정마찰 계수(μs), 150℃에서의 열수축 응력이 특정된 포토레지스트용 폴리에스터 필름이 개시되어 있다.

특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2004-361446호

본 발명자들은, 특허문헌 1에 기재된 기술을 참고로 하여, 입자 함유층을 갖는 폴리에스터 필름의 제조 방법에 대하여 더 검토한 결과, 2축 배향 폴리에스터 필름에 기능층을 형성하여 적층 필름을 제조할 때, 기능층의 형성 전에는 요철 또는 주름 등이 시인되지 않음에도 불구하고, 2축 배향 폴리에스터 필름의 표면에 액상의 조성물(예를 들면, 도포액)을 도포하고, 가열 처리를 하여 기능층을 형성한 후의 적층 필름에 있어서, 기능층의 두께 불균일이 발생하는 경우가 있는 것을 지견(知見)했다.

이와 같은 기능층의 두께 불균일은, 예를 들면, 기능층으로서 가식층을 갖는 가식 필름에서는, 가식층의 두께 불균일은 색 불균일로서 나타나며, 가식 필름의 시인성을 저하시킬 우려가 있다. 또, 다른 기능층에 있어서도 두께 불균일이 발생하면, 기능성을 갖는 적층 필름의 특성 또는 외관에 영향을 미칠 가능성이 있다.

본 발명은, 상기 실정을 감안하여, 폴리에스터 필름의 표면 상에 마련되는 기능층의 두께 불균일을 보다 억제할 수 있는 폴리에스터 필름의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.

또, 본 발명은, 표면 상에 마련되는 기능층의 두께 불균일을 보다 억제할 수 있는 폴리에스터 필름, 및, 적층 필름을 제공하는 것을 과제로 한다.

본 발명자들은, 상기 과제에 대하여 예의 검토한 결과, 이하의 구성에 의하여 상기 과제를 해결할 수 있는 것을 알아냈다.

〔1〕

폴리에스터를 함유하는 용융 수지를 필름상으로 압출하여, 폴리에스터 기재(基材)를 적어도 포함하는 미연신 폴리에스터 필름을 형성하는 압출 성형 공정과, 상기 미연신 폴리에스터 필름을 반송 방향으로 연신하여 1축 배향 폴리에스터 필름을 형성하는 세로 연신 공정과, 상기 1축 배향 폴리에스터 필름을 폭방향으로 연신하여 2축 배향 폴리에스터 필름을 형성하는 가로 연신 공정과, 상기 2축 배향 폴리에스터 필름을 가열하여 열고정하는 열고정 공정과, 상기 열고정 공정에 의하여 열고정된 폴리에스터 필름을 상기 열고정 공정보다 낮은 온도에서 가열하여 열완화하는 열완화 공정과, 상기 열완화 공정에 의하여 열완화된 폴리에스터 필름을 냉각하는 냉각 공정과, 상기 냉각 공정에 있어서, 상기 열완화된 폴리에스터 필름을 폭방향으로 확장하는 확장 공정을 갖는, 폴리에스터 기재와, 상기 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면 상에 있는 입자를 함유하는 입자 함유층을 갖는 폴리에스터 필름의 제조 방법으로서,

상기 냉각 공정에 있어서의 상기 폴리에스터 필름의 냉각 속도 V가, 2200~3500℃/분이며, 또한, 후술하는 조건 1을 충족시키는, 폴리에스터 필름의 제조 방법.

〔2〕

상기 A, 상기 B, 및, 상기 냉각 속도 V로부터 후술하는 식 (3)에 의하여 산출되는 값 D가, 1~10000인, 〔1〕에 기재된 제조 방법.

〔3〕

상기 폴리에스터 필름의 두께가 50μm 미만인, 〔1〕 또는 〔2〕에 기재된 제조 방법.

〔4〕

상기 세로 연신 공정과 상기 가로 연신 공정의 사이에, 상기 입자를 함유하는 도포액을 이용하여 상기 입자 함유층을 형성하는 공정을 더 갖거나, 또는, 상기 압출 성형 공정에 있어서, 상기 입자 및 바인더를 함유하는 제2 용융체를 상기 용융 수지와 동시에 압출함으로써, 상기 입자 함유층을 형성하는 공정을 더 갖는, 〔1〕 내지 〔3〕 중 어느 하나에 기재된 제조 방법.

〔5〕

상기 열완화 공정에 있어서의 상기 폴리에스터 필름의 표면 온도 T2가, 210℃ 이하인, 〔1〕 내지 〔4〕 중 어느 하나에 기재된 제조 방법.

〔6〕

상기 냉각 공정에 의한 상기 폴리에스터 필름의 냉각 속도 V가, 2200~3000℃/분인, 〔1〕 내지 〔5〕 중 어느 하나에 기재된 제조 방법.

〔7〕

상기 b가, 0% 초과 1.2% 이하인, 〔1〕 내지 〔6〕 중 어느 하나에 기재된 제조 방법.

〔8〕

폴리에스터 기재와, 상기 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면 상에 있는, 입자를 함유하는 입자 함유층을 갖는 폴리에스터 필름으로서, 상기 폴리에스터 필름의 두께가 50μm 미만이며, 상기 폴리에스터 필름에 대하여, 반송 속도 30m/분, 및, 반송 방향의 장력 100N/m의 조건으로 반송하면서, 필름 표면의 온도가 90℃가 되는 조건으로 20초간 가열 처리를 행한 후, 상기 폴리에스터 필름에 관찰되는 줄무늬 형상 결함 영역의 면적의 합계가, 관찰 영역의 전체 면적에 대하여 40% 이하인, 폴리에스터 필름.

〔9〕

상기 폴리에스터 필름의 90℃에 있어서의 폭방향의 팽창률이, 상기 폴리에스터 필름의 30℃에 있어서의 폭방향의 치수에 대하여, -0.15~0.15%인, 〔8〕에 기재된 폴리에스터 필름.

〔10〕

상기 폴리에스터 필름의 밀도가, 1.39~1.41g/cm³인, 〔8〕 또는 〔9〕에 기재된 폴리에스터 필름.

〔11〕

상기 폴리에스터 기재의 두께가, 3~40μm이며, 상기 입자 함유층의 두께가, 0.001~2.5μm인, 〔8〕 내지 〔10〕 중 어느 하나에 기재된 폴리에스터 필름.

〔12〕

상기 입자 함유층이, 평균 입자경이 10nm 이상 1μm 미만인 입자 P를 함유하는, 〔8〕 내지 〔11〕 중 어느 하나에 기재된 폴리에스터 필름.

〔13〕

상기 입자 P의 평균 입자경이, 상기 입자 함유층의 두께보다 큰, 〔12〕에 기재된 폴리에스터 필름.

〔14〕

상기 입자 함유층이, 평균 입자경이 10~100nm인 입자 P1을 함유하는, 〔8〕 내지 〔13〕 중 어느 하나에 기재된 폴리에스터 필름.

〔15〕

상기 입자 함유층이, 평균 입자경이 100nm 초과 400nm 이하인 입자 P2를 함유하는, 〔8〕 내지 〔14〕 중 어느 하나에 기재된 폴리에스터 필름.

〔16〕

상기 입자 함유층이 포함하는 입자가 수지 입자이거나, 또는, 상기 입자 함유층이 포함하는 입자가 무기 입자이며, 또한, 상기 폴리에스터 필름의 적어도 일방의 표면의 최대 산 높이 Rp가 5~200nm인, 〔8〕 내지 〔15〕 중 어느 하나에 기재된 폴리에스터 필름.

〔17〕

상기 폴리에스터 기재가 입자를 실질적으로 함유하지 않는, 〔8〕 내지 〔16〕 중 어느 하나에 기재된 폴리에스터 필름.

〔18〕

〔1〕 내지 〔7〕 중 어느 하나에 기재된 제조 방법에 의하여 제조된 폴리에스터 필름, 또는, 〔8〕 내지 〔17〕 중 어느 하나에 기재된 폴리에스터 필름으로서, 폴리에스터 기재의 일방의 표면 상에만 입자 함유층을 갖는 폴리에스터 필름과, 상기 폴리에스터 기재의 상기 입자 함유층과는 반대 측의 표면 상에 있으며, 가식층, 감광성 수지층, 및, 박리층으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기능층을 갖는, 적층 필름.

〔19〕

상기 기능층이 가식층이며, 상기 적층 필름이 가식 필름인, 〔18〕에 기재된 적층 필름.

〔20〕

상기 기능층이 감광성 수지층이며, 상기 적층 필름이 감광성 전사(轉寫) 필름인, 〔18〕에 기재된 적층 필름.

〔21〕

상기 기능층이 박리층이며, 상기 적층 필름이 세라믹 그린 시트 제조용 박리 필름인, 〔18〕에 기재된 적층 필름.

본 발명에 의하면, 폴리에스터 필름의 표면 상에 마련되는 기능층의 두께 불균일을 보다 억제할 수 있는 폴리에스터 필름의 제조 방법을 제공할 수 있다.

또, 본 발명에 의하면, 표면 상에 마련되는 기능층의 두께 불균일을 보다 억제할 수 있는 폴리에스터 필름, 및, 적층 필름을 제공할 수 있다.

도 1은 줄무늬 형상 결함 영역이 발생한 폴리에스터 필름의 관찰 화상이다.
도 2는 폴리에스터 필름의 제조에 이용되는 연신기의 일례를 나타내는 평면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은, 이하의 실시형태에 전혀 제한되지 않고, 본 발명의 목적의 범위 내에 있어서, 적절히 변경을 더하여 실시할 수 있다.

본 개시에 있어서, "~"를 이용하여 나타나는 수치 범위는, "~"의 전후에 기재되는 수치를 하한값 및 상한값으로서 포함하는 범위를 의미한다. 본 개시에 단계적으로 기재되어 있는 수치 범위에 있어서, 소정의 수치 범위로 기재된 상한값 또는 하한값은, 다른 단계적인 기재의 수치 범위의 상한값 또는 하한값으로 치환해도 된다. 또, 본 개시에 기재되어 있는 수치 범위에 있어서, 소정의 수치 범위로 기재된 상한값 또는 하한값은, 실시예에 나타나 있는 값으로 치환해도 된다.

본 개시에 있어서, 조성물 중의 각 성분의 양은, 조성물 중에 각 성분에 해당하는 물질이 복수 존재하는 경우, 특별히 설명하지 않는 한, 조성물 중에 존재하는 복수의 물질의 합계량을 의미한다.

본 개시에 있어서, "공정"이라는 용어에는, 독립적인 공정뿐만 아니라, 다른 공정과 명확하게 구별할 수 없는 경우이더라도 공정의 소기의 목적이 달성되면, 본 용어에 포함된다.

본 개시에 있어서, 2 이상의 바람직한 양태의 조합은, 보다 바람직한 양태이다.

본 개시에 있어서, 단순한 "폴리에스터 필름"이라는 기재는, 폴리에스터 기재 단체(單體), 및, 폴리에스터 기재 및 입자 함유층의 적층체의 양자(兩者)를 포함한다.

본 개시에 있어서, "길이 방향"이란, 폴리에스터 필름의 제조 시에 있어서의 폴리에스터 필름의 장척(長尺) 방향을 의미하고, "반송 방향" 및 "기계 방향"과 동일한 의미이다.

본 개시에 있어서, "폭방향"이란, 길이 방향에 직교하는 방향을 의미한다. 본 개시에 있어서, "직교"는, 엄밀한 직교에 한정되지 않고, 대략 직교를 포함한다. "대략 직교"란, 90°±5°에서 교차하는 것을 의미하며, 90°±3°에서 교차하는 것이 바람직하고, 90°±1°에서 교차하는 것이 보다 바람직하다.

또, 본 개시에 있어서, "필름폭"이란, 폴리에스터 필름의 폭방향의 양단(兩端) 사이의 거리를 의미한다.

[폴리에스터 필름]

본 개시에 관한 폴리에스터 필름(이하, "본 필름"이라고도 기재한다.)은, 폴리에스터 기재와, 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면 상에 있으며, 입자를 함유하는 입자 함유층을 적어도 갖는다.

본 필름의 실시형태의 일례에서는, 폴리에스터 필름의 두께가 50μm 미만이며, 후술하는 가열 처리를 행한 폴리에스터 필름에 관찰되는 줄무늬 형상 결함 영역의 면적이, 관찰 영역의 전체 면적에 대하여 40% 이하이다.

〔구조〕

본 필름은, 상기와 같이, 폴리에스터 기재와, 상기 기재의 적어도 일방의 표면에 있는 입자 함유층을 갖는다. 입자 함유층은, 폴리에스터 기재의 일방의 표면에만 형성되어 있어도 되고, 폴리에스터 기재의 양면에 형성되어 있어도 된다.

이하, 폴리에스터 기재 및 입자 함유층의 각각에 대하여 보다 자세하게 기재한다.

<폴리에스터 기재>

폴리에스터 기재는, 주된 중합체 성분으로서 폴리에스터를 함유하는 필름상의 물체이다. 여기에서, "주된 중합체 성분"이란, 필름에 포함되는 모든 중합체 중 가장 함유량(질량)이 많은 중합체를 의미한다.

폴리에스터 기재는, 1종 단독의 폴리에스터를 함유하고 있어도 되고, 2종 이상의 폴리에스터를 함유하고 있어도 된다.

(폴리에스터)

폴리에스터는, 주쇄에 에스터 결합을 갖는 중합체이다. 폴리에스터는, 통상, 후술하는 다이카복실산 화합물과 다이올 화합물을 중축합시킴으로써 형성된다.

폴리에스터로서는 특별히 제한되지 않고, 공지의 폴리에스터를 이용할 수 있다. 폴리에스터로서는, 예를 들면, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 및 폴리에틸렌-2,6-나프탈레이트(PEN), 폴리프로필렌테레프탈레이트(PPT), 폴리뷰틸렌테레프탈레이트(PBT), 및, 그들의 공중합체를 들 수 있으며, 그중에서도, 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌-2,6-나프탈레이트(PEN) 및 그들의 공중합체로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 하나가 바람직하고, PET가 보다 바람직하다.

폴리에스터의 고유 점도는, 0.50dl/g 이상 0.80dl/g 미만이 바람직하고, 0.55dl/g 이상 0.70dl/g 미만이 보다 바람직하다.

폴리에스터의 융점(Tm)은, 220~270℃가 바람직하고, 245~265℃가 보다 바람직하다.

폴리에스터의 유리 전이 온도(Tg)는, 65~90℃가 바람직하고, 70~85℃가 보다 바람직하다.

폴리에스터의 제조 방법은 특별히 제한되지 않고, 공지의 방법을 이용할 수 있다. 예를 들면, 촉매 존재하에서, 적어도 1종의 다이카복실산 화합물과, 적어도 1종의 다이올 화합물을 중축합시킴으로써 폴리에스터를 제조할 수 있다.

-촉매-

폴리에스터의 제조에 사용하는 촉매는, 특별히 제한되지 않고, 폴리에스터의 합성에 사용 가능한 공지의 촉매를 이용할 수 있다.

촉매로서는, 예를 들면, 알칼리 금속 화합물(예를 들면, 칼륨 화합물, 나트륨 화합물), 알칼리 토류 금속 화합물(예를 들면, 칼슘 화합물, 마그네슘 화합물), 아연 화합물, 납 화합물, 망가니즈 화합물, 코발트 화합물, 알루미늄 화합물, 안티모니 화합물, 타이타늄 화합물, 저마늄 화합물 및 인 화합물을 들 수 있다. 그중에서도, 촉매 활성, 및 비용의 관점에서, 타이타늄 화합물이 바람직하다.

촉매는, 1종만 이용해도 되고, 2종 이상을 병용해도 된다. 칼륨 화합물, 나트륨 화합물, 칼슘 화합물, 마그네슘 화합물, 아연 화합물, 납 화합물, 망가니즈 화합물, 코발트 화합물, 알루미늄 화합물, 안티모니 화합물, 타이타늄 화합물, 저마늄 화합물로부터 선택되는 적어도 1종의 금속 촉매와, 인 화합물을 병용하는 것이 바람직하고, 타이타늄 화합물과 인 화합물을 병용하는 것이 보다 바람직하다.

타이타늄 화합물로서는, 유기 킬레이트 타이타늄 착체가 바람직하다. 유기 킬레이트 타이타늄 착체는, 배위자로서 유기산을 갖는 타이타늄 화합물이다.

유기산으로서는, 예를 들면, 시트르산, 락트산, 트라이멜리트산, 및 말산을 들 수 있다.

타이타늄 화합물로서는, 일본 특허공보 제5575671호의 단락 0049~단락 0053에 기재된 타이타늄 화합물도 이용할 수 있으며, 상기 공보의 기재 내용은, 본 명세서에 원용된다.

-다이카복실산 화합물-

다이카복실산 화합물로서는, 다이카복실산 또는 다이카복실산 에스터가 바람직하고, 예를 들면, 지방족 다이카복실산 화합물, 지환식 다이카복실산 화합물, 방향족 다이카복실산 화합물, 및, 그들의 메틸에스터 화합물 또는 에틸에스터 화합물을 들 수 있다. 그중에서도, 방향족 다이카복실산, 또는, 방향족 다이카복실산 메틸이 보다 바람직하다.

지방족 다이카복실산 화합물로서는, 예를 들면, 말론산, 석신산, 글루타르산, 아디프산, 수베르산, 세바스산, 도데케인다이온산, 다이머산, 에이코세인다이온산, 피멜산, 아젤라산, 메틸말론산, 및 에틸말론산을 들 수 있다.

지환식 다이카복실산 화합물로서는, 예를 들면, 아다만테인다이카복실산, 노보넨다이카복실산, 사이클로헥세인다이카복실산, 및 데칼린다이카복실산을 들 수 있다.

방향족 다이카복실산 화합물로서는, 예를 들면, 테레프탈산, 아이소프탈산, 프탈산, 1,4-나프탈렌다이카복실산, 1,5-나프탈렌다이카복실산, 2,6-나프탈렌다이카복실산, 1,8-나프탈렌다이카복실산, 4,4'-다이페닐다이카복실산, 4,4'-다이페닐에터다이카복실산, 5-나트륨설포아이소프탈산, 페닐인데인다이카복실산, 안트라센다이카복실산, 페난트렌다이카복실산, 9,9'-비스(4-카복시페닐)플루오렌산, 및, 그들의 메틸에스터체(體)를 들 수 있다.

그중에서도, 테레프탈산 또는 2,6-나프탈렌다이카복실산이 바람직하고, 테레프탈산이 보다 바람직하다.

다이카복실산 화합물은 1종만 이용해도 되고, 2종 이상을 병용해도 된다. 다이카복실산 화합물로서, 테레프탈산을 사용하는 경우, 테레프탈산 단독으로 이용해도 되고, 아이소프탈산 등의 다른 방향족 다이카복실산 또는 지방족 다이카복실산과 공중합해도 된다.

-다이올 화합물-

다이올 화합물로서는, 예를 들면, 지방족 다이올 화합물, 지환식 다이올 화합물, 및 방향족 다이올 화합물을 들 수 있으며, 지방족 다이올 화합물이 바람직하다.

지방족 다이올 화합물로서는, 예를 들면, 에틸렌글라이콜, 1,2-프로페인다이올, 1,3-프로페인다이올, 1,4-뷰테인다이올, 1,2-뷰테인다이올, 1,3-뷰테인다이올, 및, 네오펜틸글라이콜을 들 수 있으며, 에틸렌글라이콜이 바람직하다.

지환식 다이올 화합물로서는, 예를 들면, 사이클로헥세인다이메탄올, 스파이로글라이콜, 및 아이소소바이드를 들 수 있다.

방향족 다이올 화합물로서는, 예를 들면, 비스페놀 A, 1,3-벤젠다이메탄올, 1,4-벤젠다이메탄올, 및 9,9'-비스(4-하이드록시페닐)플루오렌을 들 수 있다.

다이올 화합물은, 1종만 이용해도 되고, 2종 이상을 병용해도 된다.

-말단 밀봉제-

폴리에스터의 제조에 있어서는, 필요에 따라, 말단 밀봉제를 이용해도 된다. 말단 밀봉제를 이용함으로써, 폴리에스터의 말단에 말단 밀봉제에서 유래하는 구조가 도입된다.

말단 밀봉제로서는, 제한되지 않고, 공지의 말단 밀봉제를 이용할 수 있다. 말단 밀봉제로서는, 예를 들면, 옥사졸린계 화합물, 카보다이이미드 화합물, 및 에폭시 화합물을 들 수 있다.

말단 밀봉제로서는, 일본 공개특허공보 2014-189002호의 단락 0055~0064에 기재된 내용도 참조할 수 있으며, 상기 공보의 내용은, 본 명세서에 원용된다.

-제조 조건-

반응 온도는, 제한되지 않고, 원재료에 따라 적절히 설정하면 된다. 반응 온도는, 260~300℃가 바람직하고, 275~285℃가 보다 바람직하다.

압력은, 제한되지 않고, 원재료에 따라 적절히 설정하면 된다. 압력은, 1.33×10^-3~1.33×10^-5MPa가 바람직하고, 6.67×10^-4~6.67×10^-5MPa가 보다 바람직하다.

폴리에스터의 합성 방법으로서는, 일본 특허공보 제5575671호의 단락 0033~단락 0070에 기재된 방법도 이용할 수 있으며, 상기 공보의 내용은, 본 명세서에 원용된다.

폴리에스터 기재에 있어서의 폴리에스터의 함유량은, 폴리에스터 기재 중의 중합체의 전체 질량에 대하여, 85질량% 이상이 바람직하고, 90질량% 이상이 보다 바람직하며, 95질량% 이상이 더 바람직하고, 98질량% 이상이 특히 바람직하다.

폴리에스터의 함유량의 상한은, 제한되지 않고, 폴리에스터 기재 중의 중합체의 전체 질량에 대하여, 100질량% 이하의 범위에서 적절히 설정할 수 있다.

폴리에스터 기재가 폴리에틸렌테레프탈레이트를 함유하는 경우, 폴리에틸렌테레프탈레이트의 함유량은, 폴리에스터 기재 중의 폴리에스터의 전체 질량에 대하여, 90~100질량%가 바람직하고, 95~100질량%가 보다 바람직하며, 98~100질량%가 더 바람직하고, 100질량%가 특히 바람직하다.

폴리에스터 기재는, 폴리에스터 이외의 성분(예를 들면, 촉매, 미반응의 원료 성분, 및, 물 등)을 함유하고 있어도 된다.

폴리에스터 기재는, 입자를 실질적으로 함유하지 않는 것이 바람직하다. 여기에서, "입자를 실질적으로 함유하지 않는다"란, 폴리에스터 기재 및 입자 함유층의 양자에 대하여, 형광 X선 분석으로 입자에서 유래하는 원소를 정량 분석했을 때에, 입자의 함유량이 폴리에스터 기재의 전체 질량에 대하여 50질량ppm 이하인 것으로 정의되며, 바람직하게는 10질량ppm 이하이고, 보다 바람직하게는 검출 한계 이하이다. 이것은 적극적으로 입자를 기재 필름 중에 첨가시키지 않아도, 외래 이물 유래의 컨태미네이션 성분, 또는, 원료 수지 혹은 필름의 제조 공정에 있어서의 라인 또는 장치에 부착된 오염이 박리되어, 필름 중에 혼입되는 경우가 있기 때문이다.

폴리에스터 기재의 두께는, 헤이즈값의 상승을 억제할 수 있는 점에서, 100μm 이하가 바람직하고, 50μm 이하가 보다 바람직하며, 40μm 이하가 더 바람직하다. 두께의 하한은 특별히 제한되지 않지만, 강도가 향상되어, 가공성이 향상되는 점에서, 3μm 이상이 바람직하고, 4μm 이상이 보다 바람직하며, 10μm 이상이 더 바람직하다.

폴리에스터 기재의 두께는, 후술하는 폴리에스터 필름의 두께의 측정 방법에 따라, 측정된다.

<입자 함유층>

입자 함유층은, 입자를 함유하는 층이며, 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면에 형성된다. 본 필름은, 입자 함유층을 가짐으로써 반송성을 향상시킬 수 있다. 보다 구체적으로는, 권취 품질을 향상(블로킹을 억제)시켜, 반송 시의 흠집 및 결함의 발생을 억제하여, 반송 주름을 저감시킬 수 있다.

입자 함유층은, 폴리에스터 기재의 표면에 직접 마련해도 되고, 다른 층을 통하여 폴리에스터 기재의 표면에 마련해도 되지만, 밀착성이 보다 우수한 점에서, 폴리에스터 기재의 표면에 직접 마련하는 것이 바람직하다.

입자 함유층이 함유하는 입자로서는, 예를 들면, 유기 입자, 및 무기 입자를 들 수 있다. 그중에서도, 필름 권취 품질, 헤이즈, 및 내구성(예를 들면, 열안정성)이 보다 향상되는 관점에서, 무기 입자가 바람직하다.

유기 입자로서는, 수지 입자가 바람직하다. 수지 입자를 구성하는 수지로서는, 예를 들면, 폴리메타크릴산 메틸 수지(PMMA) 등의 아크릴 수지, 폴리에스터 수지, 실리콘 수지, 및, 스타이렌-아크릴 수지를 들 수 있다. 수지 입자는, 가교 구조를 갖는 것이 바람직하다. 가교 구조를 갖는 수지 입자로서는, 예를 들면, 다이바이닐벤젠 유래의 가교 구조를 갖는 다이바이닐벤젠 가교 입자(예를 들면, 다이바이닐벤젠/스타이렌 공중합 가교 입자)를 들 수 있다. 전사 흔적이 억제되는 관점에서는, 수지 입자가 바람직하다.

무기 입자로서는, 예를 들면, 실리카 입자(이산화 규소 입자), 타이타니아 입자(산화 타이타늄 입자), 탄산 칼슘, 황산 바륨, 및, 알루미나 입자(산화 알루미늄 입자)를 들 수 있다. 상기 중에서도, 무기 입자는, 헤이즈, 및, 내구성이 보다 향상되는 관점에서, 실리카 입자인 것이 바람직하다.

입자의 형상은, 특별히 제한되지 않고, 예를 들면, 미립상(米粒狀), 구형상, 입방체상, 방추형상, 인편상(鱗片狀), 응집상, 및, 부정형상을 들 수 있다. 응집상이란, 1차 입자가 응집된 상태를 의미한다. 응집상인 입자의 형상은 제한되지 않지만, 구상 또는 부정형상이 바람직하다.

입자 함유층은, 응집 입자, 비응집 입자 중 적어도 어느 하나를 갖는 도포액을 인라인 코팅으로 형성하는 것이 바람직하다. 여기에서, 응집 입자란, 도포액 중에서 응집상인 입자를 의미하고, 비응집 입자란, 도포액 중에서 응집상이 아닌 입자를 의미한다.

응집 입자로서는, 흄드 실리카 입자를 바람직하게 들 수 있다. 입수 가능한 시판품으로서는, 예를 들면, 닛폰 에어로질 주식회사의 에어로질 시리즈를 들 수 있다.

비응집 입자로서는, 콜로이달 실리카 입자를 바람직하게 들 수 있다. 입수 가능한 시판품으로서는, 예를 들면, 닛산 가가쿠 주식회사제의 스노텍스 시리즈를 들 수 있다.

입자 함유층은, 1종 단독의 입자를 함유하고 있어도 되고, 2종 이상의 입자를 함유하고 있어도 된다.

입자의 함유량은, 필름의 권취 품질의 향상, 및, 전사 결함의 억제의 관점에서, 입자 함유층의 전체 질량에 대하여, 0.01~20질량%가 바람직하고, 0.5~15질량%가 보다 바람직하며, 1~10질량%가 더 바람직하다.

또, 입자의 함유량은, 폴리에스터 필름의 전체 질량에 대하여, 0.0001~0.01질량%가 바람직하고, 0.0005~0.005질량%가 보다 바람직하다.

(입자 P)

입자 함유층은, 권취 품질의 향상 및 전사 고장의 억제의 점에서, 평균 입자경이 10nm 이상 1μm 미만인 입자 P를 함유하는 것이 바람직하다.

입자 P의 평균 입자경은, 권취 품질을 보다 향상시킬 수 있는 점에서, 0.03μm 이상이 바람직하다. 또, 입자 P의 평균 입자경은, 전사 고장을 보다 억제할 수 있는 점에서, 0.4μm 이하가 바람직하고, 0.25μm 이하가 보다 바람직하다.

또, 일 실시형태에서는, 반송성 및 권취 품질의 향상의 점에서, 입자 P의 평균 입자경은, 입자 함유층의 두께보다 큰 것이 바람직하다. 환언하면, 입자 함유층은, 평균 입자경이 10nm 이상 1μm 미만이며, 또한, 입자 함유층의 두께보다 큰 평균 입자경을 갖는 입자 P를 함유하는 것이 바람직하다.

입자 함유층이, 입자경이 상이한 2종 이상의 입자를 함유하는 경우, 입자경이 상이한 2종 이상의 입자 중 적어도 1종이 입자 P인 것이 바람직하고, 전사 고장 및 권취 품질이 보다 향상되는 관점에서, 입자 함유층이 입자경이 상이한 2종 이상의 입자 P를 함유하는 것이 보다 바람직하다.

입자 함유층에 포함되는 입자의 평균 입자경은, 주사형 전자 현미경(SEM: Scanning Electron Microscope) 또는 투과형 전자 현미경(TEM: Transmission Electron Microscope)을 이용하여, 하기 방법에 의하여 구해진다. 즉, 입자 함유층의 단면을 SEM 또는 TEM에 의하여 관찰하며, 3μm×4μm의 시야에 존재하는 모든 입자에 대하여, 화상 소프트웨어를 이용하여 개개의 입자의 면적을 측정하고, 동일 면적을 갖는 원의 직경(면적 원 상당 직경)을 산출하여, 얻어지는 면적 원 상당 직경의 산술 평균값을 입자의 평균 입자경으로 한다.

또한, 평균 입자경의 측정에 있어서, 응집 입자에 대해서는, 응집된 상태의 2차 입자의 입자경(2차 입자경)을 측정하는 것으로 한다.

또, 입자 함유층이, 입자경이 상이한 2종 이상의 입자를 함유하는 경우, 상기의 측정 방법으로 측정되는 면적 원 상당 직경의 분포에는, 입자경이 상이한 2 이상의 피크가 보인다. 이와 같이, 상기의 측정 방법으로 측정되는 면적 원상당 직경의 분포가, 입자경이 상이한 2 이상의 피크를 갖고 있는 경우, 각각의 피크마다 면적 원상당 직경의 평균값을 산출하여, 입자경이 상이한 각각의 입자에 대하여, 평균 입자경을 산출하는 것으로 한다.

입자 함유층은, 1종 단독의 입자 P를 함유하고 있어도 되고, 2종 이상의 입자 P를 함유하고 있어도 된다.

입자 P의 함유량은, 그 바람직한 양태도 포함시켜, 상기의 입자의 함유량과 동일해도 된다.

일 실시형태에서는, 입자 함유층은, 투명성 및 전사 고장의 관점에서, 평균 입자경이 작은 입자(이하 "입자 P1"이라고도 한다.)를 함유하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 입자 함유층은, 입자 P1로서, 평균 입자경이 100nm 이하인 입자를 함유하는 것이 바람직하고, 평균 입자경이 70nm 이하인 입자를 함유하는 것이 보다 바람직하다. 입자 P1의 하한은 특별히 제한되지 않지만, 권취 품질이 보다 향상되는 점에서, 10nm 이상이 바람직하다.

입자 P1은, 1종 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 이용해도 된다.

입자 P1의 함유량은, 폴리에스터 필름의 목적 및/또는 용도에 따라 상이하지만, 입자 함유층의 전체 질량에 대하여, 0.01~20질량%가 바람직하고, 0.5~15질량%가 보다 바람직하며, 1~10질량%가 더 바람직하다.

일 실시형태에서는, 입자 함유층은, 권취 품질을 향상시키는 관점에서, 평균 입자경이 큰 입자(이하 "입자 P2"라고도 한다.)를 함유하는 것이 바람직하다. 구체적으로는, 입자 함유층은, 입자 P2로서, 평균 입자경이 100nm 초과의 입자를 함유하는 것이 바람직하다. 입자 P2의 상한은 특별히 제한되지 않지만, 1μm 미만이 바람직하고, 전사 고장 및 권취 품질을 보다 향상시키는 관점에서, 400nm 이하가 보다 바람직하며, 250nm 이하가 더 바람직하다.

입자 P2는, 응집 입자여도 되고 비응집 입자여도 되지만, 전사 고장의 관점에서 응집 입자인 것이 바람직하다.

입자 P2로서의 응집 입자는, 평균 2차 입자경이 100nm 초과인 것이 바람직하다. 또, 응집 입자는, 평균 1차 입자경이 100nm 이하인 입자가 응집되어 있는 것이 바람직하다. 평균 1차 입자경이 100nm 이하인 입자가 응집된, 평균 2차 입자경이 100nm 초과인 응집 입자를 이용하면, 특히, 인라인 코팅으로 입자 함유층을 형성했을 때에, 원하는 Rp로 할 수 있어, 전사 고장 및 권취 품질을 보다 향상시킬 수 있다.

입자 P2는, 1종 단독으로 이용해도 되고, 2종 이상을 이용해도 된다.

입자 P2의 함유량은, 폴리에스터 필름의 목적 및/또는 용도에 따라 상이하지만, 입자 함유층의 전체 질량에 대하여, 0.01~15질량%가 바람직하고, 0.05~10질량%가 보다 바람직하며, 0.1~5질량%가 더 바람직하다.

입자 함유층은, 전사 고장 및 권취 품질을 더 향상시키는 관점에서, 적어도 1종의 입자 P1과, 적어도 1종의 입자 P2를 함유하는 것이 바람직하다.

입자 함유층에 함유되는 입자에 대해서는, 목적 및/또는 용도에 따라 적절히 선택할 수 있다.

미세 패턴을 형성하기 위한 드라이 필름 레지스트의 지지체로서 사용하는 경우에는, 지지체를 개재하여 노광할 때에, 입자를 광산란시키면 패턴 결함의 원인이 되어 버리기 때문에, 지지체에는 높은 투명성이 요구된다. 투명성을 보다 향상시키는 관점에서는, 입자 P1의 함유량이, 입자 함유층에 함유되는 전체 입자의 합계 함유량에 대하여, 50~100질량%인 것이 바람직하고, 70~100질량%인 것이 보다 바람직하다.

이 경우, 잔부는 입자 P2인 것이 바람직하다.

한편, 생산성을 향상시킬 목적으로 보다 고속으로 반송할 필요가 있는 경우에는, 높은 반송성이 요구된다. 반송성을 보다 향상시키는 관점에서는, 입자 P2의 함유량이, 입자 함유층에 함유되는 전체 입자의 합계 함유량에 대하여, 10~100질량%인 것이 바람직하고, 10~50질량%가 보다 바람직하며, 10~30질량%가 더 바람직하다.

이 경우, 잔부는 입자 P1인 것이 바람직하다.

(바인더)

입자 함유층은, 바인더를 함유하는 것이 바람직하다. 바인더로서는, 수지 바인더가 바람직하다. 수지 바인더로서는, 예를 들면, 폴리아크릴, 폴리유레테인, 폴리에스터 및 폴리올레핀을 들 수 있다.

폴리아크릴로서는, 아크릴산 에스터, 및 메타크릴산 에스터로 이루어지는 군으로부터 선택되는 적어도 1종의 화합물에서 유래하는 구성 단위를 갖는 중합체이면 제한되지 않고, 공지의 폴리아크릴을 이용할 수 있다. 폴리아크릴은, 아크릴산 에스터 및 메타크릴산 에스터 이외의 화합물(예를 들면, 올레핀 화합물, 및 스타이렌 화합물)에서 유래하는 구성 단위를 갖고 있어도 된다.

폴리유레테인으로서는, 유레테인 결합을 갖는 중합체이면 제한되지 않고, 공지의 폴리유레테인을 이용할 수 있다. 폴리유레테인은, 통상, 아이소사이아네이트 화합물과 폴리올 화합물을 반응시킴으로써 제조된다.

폴리에스터로서는, 상기 "폴리에스터"의 항목에 있어서 설명한 폴리에스터를 적용할 수 있으며, 바람직한 종류도 동일하다.

폴리올레핀으로서는, 제한되지 않고, 공지의 폴리올레핀을 이용할 수 있다. 폴리올레핀으로서는, 예를 들면, 폴리에틸렌, 및 폴리프로필렌을 들 수 있다.

입자 함유층은, 1종 단독의 바인더를 함유하고 있어도 되고, 2종 이상의 바인더를 함유하고 있어도 된다.

바인더의 함유량은, 입자 함유층의 내구성 및/또는 입자의 분산성의 관점에서, 입자 함유층의 전체 질량에 대하여, 30~99.8질량%가 바람직하고, 50~99.5질량%가 보다 바람직하다.

(첨가제)

입자 함유층은, 상기의 입자 및 바인더 이외의 첨가제를 함유하고 있어도 된다.

입자 함유층에 함유되는 첨가제로서는, 예를 들면, 계면활성제, 왁스, 가교제, 산화 방지제, 자외선 흡수제, 착색제, 강화제, 가소제, 대전 방지제, 난연제, 방청제, 및, 방미제를 들 수 있다.

계면활성제로서는, 특별히 제한되지 않고, 음이온계 계면활성제, 비이온계 계면활성제, 양이온계 계면활성제, 및, 양성(兩性) 계면활성제를 들 수 있다.

계면활성제는 1종 이용해도 되고, 2종 이상 병용해도 된다.

계면활성제의 함유량은, 입자 함유층의 전체 질량에 대하여, 0.1~10질량%가 바람직하다.

왁스로서는, 특별히 제한되지 않으며, 천연 왁스여도 되고 합성 왁스여도 된다. 천연 왁스로서는, 카나우바 왁스, 칸데릴라 왁스, 밀랍, 몬탄 왁스, 파라핀 왁스, 및, 석유 왁스를 들 수 있다. 그 외에, 국제 공개공보 2017/169844호의 [0087]에 기재된 활제(滑劑)도 사용할 수 있다.

왁스의 함유량은, 입자 함유층의 전체 질량에 대하여, 0~10질량%가 바람직하다.

가교제로서는, 특별히 제한되지 않고, 공지의 것을 사용할 수 있다.

가교제로서는, 예를 들면, 멜라민 화합물, 옥사졸린 화합물, 에폭시 화합물, 아이소사이아네이트계 화합물, 및, 카보다이이미드계 화합물을 들 수 있으며, 옥사졸린계 화합물 및 카보다이이미드계 화합물이 바람직하다. 시판품으로서는, 예를 들면, 카보딜라이트 V-02-L2(닛신보(주)제) 및 에포크로스 K-2020E(닛폰 쇼쿠바이(주)제)를 들 수 있다. 에폭시계 화합물, 아이소사이아네이트계 화합물, 및 멜라민계 화합물의 상세에 대해서는, 일본 공개특허공보 2015-163457호의 [0081]~[0083]의 기재를 참조할 수 있다. 국제 공개공보 2017/169844호의 [0082]~[0084]에 기재된 가교제도 바람직하게 사용할 수 있다. 카보다이이미드 화합물로서는, 일본 공개특허공보 2017-087421호의 [0038]~[0040]의 기재를 참조할 수 있다.

옥사졸린 화합물, 카보다이이미드 화합물, 및, 아이소사이아네이트 화합물에 대해서는, 국제 공개공보 2018/034294호의 [0074]~[0075]에 기재된 가교제도 바람직하게 사용할 수 있다.

가교제의 함유량은, 용도에 따라 적절히 변경할 수 있으며, 입자 함유층의 전체 질량에 대하여, 0~50질량%가 바람직하다. 드라이 필름의 지지체로서 적합한 점에서는, 가교제의 함유량은, 입자 함유층의 전체 질량에 대하여 0.1~10질량%인 것이 바람직하다.

입자 함유층의 두께는, 0.001~5μm여도 되지만, 입자 함유층의 제조 적성, 및, 헤이즈 저감의 관점에서, 0.001~2.5μm가 바람직하고, 0.005~2.0μm가 보다 바람직하며, 0.01~0.18μm가 더 바람직하고, 0.01~0.1μm가 특히 바람직하다.

입자 함유층의 두께는, 주사형 전자 현미경(SEM) 또는 투과형 전자 현미경(TEM)을 이용하여 측정되는 5개소의 두께의 산술 평균값으로 한다.

입자 함유층의 형성 방법에 대해서는, 후술하는 "입자 함유층 형성 공정"에 있어서 자세하게 설명한다.

본 필름은, 폴리에스터 기재 및 입자 함유층 이외의 층을 갖고 있어도 되지만, 폴리에스터 기재 및 입자 함유층으로 이루어지는 것이 바람직하다. 또, 본 필름은, 폴리에스터 기재의 일방의 표면에 형성된 입자 함유층을 1층만 갖는 것이 바람직하다.

〔물성 등〕

다음으로, 본 필름의 물성 등에 대하여 설명한다.

(배향성)

본 필름은, 2축 배향 폴리에스터 필름이다. 본 개시에 있어서 "2축 배향"이란, 2축 방향으로 분자 배향성을 갖는 성질을 의미한다.

분자 배향성은, 마이크로파 투과형 분자 배향계(예를 들면, MOA-6004, 주식회사 오지 게이소쿠 기키사제)를 이용하여 측정한다. 2축 방향이 이루는 각은, 90°±5°가 바람직하고, 90°±3°가 보다 바람직하며, 90°±1°가 더 바람직하다. 본 필름은, 길이 방향 및 폭방향으로 분자 배향성을 갖는 것이 바람직하다.

(줄무늬 형상 결함 영역)

본 필름은, 하기의 가열 처리를 행한 폴리에스터 필름에 관찰되는 줄무늬 형상 결함 영역의 면적의 합계가, 관찰 영역의 전체 면적에 대하여 40% 이하인 것이 바람직하다.

본 개시에 있어서 "줄무늬 형상 결함"이란, 필름의 길이 방향을 따라 줄무늬 형상으로 뻗고, 또한, 필름의 폭방향에 있어서는 요철로서 나타나는 주름을 말한다. 후술하는 바와 같이, 줄무늬 형상 결함은 제조 후의 필름에 발생하는 것이기 때문에, 불가역적으로 발생하는 주름인 경우가 많다. 줄무늬 형상 결함은, 필름의 제조 시의 열처리에 있어서 발생하는 것이 아니라, 제조 후의 필름에 대한 열처리에 있어서 발생하는 물결상의 주름에서 유래하고, 상기 물결상의 주름이, 열처리 후의 냉각에 의하여 고화된 것이다. 그리고, "줄무늬 형상 결함 영역"이란, 필름면 내에 있어서 줄무늬 형상 결함이 발생한 부분을 의미한다.

줄무늬 형상 결함 영역이 발생(즉, 필름면 내에 있어서 줄무늬 형상 결함이 부분적으로 발생)하면, 필름 상에 형성된 기능층에 두께 불균일을 발생시켜, 기능층의 특성 또는 외관에 영향을 미칠 가능성이 있다. 또한, 줄무늬 형상 결함 영역은, 필름의 길이 방향으로 인장 하중이 가해진 상태에서 가열되었을 때에 현저하게 발생하는 경향이 있다.

그에 대하여, 2축 배향 폴리에스터 필름에 대하여 하기의 가열 처리를 행한 후에 관찰되는 줄무늬 형상 결함 영역의 면적의 합계가 상기 범위 이하인 경우, 필름 상에 형성된 기능층의 두께 불균일을 저감시킬 수 있다.

본 필름에 있어서, 90℃에서 가열한 경우에 발생하는 줄무늬 형상 결함 영역의 합계 면적의 폴리에스터 필름의 관찰 영역의 전체 면적에 대한 비율(이하, "줄무늬 형상 결함 영역의 면적비"라고도 한다.)은, 40% 이하가 바람직하고, 30% 이하가 보다 바람직하며, 18% 이하가 더 바람직하다. 줄무늬 형상 결함 영역의 면적비의 값은 작을수록 바람직하고, 하한으로서는, 예를 들면, 0%를 들 수 있다.

또, 본 필름에 있어서, 120℃에서 가열한 경우에 발생하는 줄무늬 형상 결함 영역의 면적비는, 90% 이하가 바람직하고, 65% 이하가 보다 바람직하며, 40% 이하가 더 바람직하다.

줄무늬 형상 결함 영역의 면적비가 상기 범위 이하임으로써, 본 필름 상에 형성되는 기능층의 두께 불균일을 저감시킬 수 있다. 줄무늬 형상 결함 영역의 면적비의 값은 작을수록 바람직하고, 하한으로서는, 예를 들면, 0%를 들 수 있다.

줄무늬 형상 결함 영역의 면적비의 하한은 특별히 제한되지 않지만, 90℃ 또는 120℃에서 가열한 경우에 발생하는 줄무늬 형상 결함 영역의 면적비는, 적은 것이 바람직하고, 줄무늬 형상 결함 영역이 없는, 즉 0%인 것이 보다 바람직하다.

90℃ 및 120℃의 각 온도에서 가열한 경우에 발생하는 줄무늬 형상 결함 영역의 면적비는, 이하의 방법에 의하여 측정한다.

(1) 가열 반송 장치를 이용하여, 폴리에스터 필름에 대하여, 반송 속도 30m/분, 및, 반송 방향의 장력 100N/m의 조건으로 반송하면서, 필름의 표면 온도가 90℃ 또는 120℃에서 가열 처리를 20초간 행한다. 가열 처리에 있어서의 가열 시간은, 필름의 표면 온도가 목적으로 하는 온도(90℃ 또는 120℃)에 도달한 시점부터 기산(起算)하고, 그로부터 연속된 20초간, 가열한다. 여기에서, 필름의 표면 온도는, 비접촉식 온도계(예를 들면, 방사 온도계)를 이용하여 측정할 수 있다. 필름의 표면 온도는, 필름의 폭방향의 양단에 대하여 대략 등거리에 있는 중앙부의 온도가, 목적으로 하는 온도가 되었는지 아닌지를 계측한다.

(2) 가열 처리를 실시한 폴리에스터 필름을 흑색의 평판 상에 두고, 이어서, 실내의 천장에 설치된 형광등〔예를 들면, 미쓰비시 덴키 주식회사제의 루피카 에이스(색 온도: 5000K, 평균 연색 평가수(Ra): 84)〕의 광이 반사하도록 시점을 바꾸면서 폴리에스터 필름을 사선으로부터 육안으로 관찰한다. 육안에 의하여 관찰되는, 폴리에스터 필름의 표면에 비친 형광등의 반사 이미지가 굴곡져 있는 영역을 줄무늬 형상 결함 영역으로 한다.

(3) 관찰되는 줄무늬 형상 결함 영역의 개수를 셈과 함께, 육안으로 관찰되는 폴리에스터 필름의 관찰 영역(면적 1m²의 영역)에 존재하는 각 줄무늬 형상 결함 영역의 외주를 마킹한다. 이어서, 각 줄무늬 형상 결함 영역의 외주에 외접하는 평행한 2개의 접선 중, 접선 간의 거리가 최대가 되도록 선택되는 평행한 2개의 접선의 거리를 장축의 길이 L과, 길이 L을 부여하는 평행한 2개의 접선에 직교하고, 또한, 줄무늬 형상 결함 영역의 외주에 외접하는 평행한 2개의 접선의 거리를 단축의 길이 S를 계측한다. 얻어진 길이 L 및 S로부터, 하기 식에 의하여 각 줄무늬 형상 결함 영역의 면적을 산출한다. 이들의 값으로부터, 줄무늬 형상 결함 영역의 합계 면적의 폴리에스터 필름의 관찰 영역의 전체 면적에 대한 비율을 산출한다.

줄무늬 형상 결점 영역의 장축의 길이 L×줄무늬 형상 결점 영역의 단축의 길이 S×π=줄무늬 형상 결점 영역의 면적

줄무늬 형상 결함 영역은, 상기와 같이 타원상 또는 원상인 경우가 많기 때문에, 상기 (3)의 산출 방법에 의하여 줄무늬 형상 결함 영역의 면적을 산출할 수 있다.

도 1에, 상기 (1)의 가열 처리에 의하여 발생한 줄무늬 형상 결함 영역이 관찰되는 폴리에스터 필름의 화상(사진)을 나타낸다. 도 1에 있어서 나타내는 실선으로 둘러싸인 영역이 줄무늬 형상 결함 영역이다. 도 1에 나타내는 줄무늬 형상 결함 영역에서는, 반송(MD) 방향으로 뻗는 요철 형상이 관찰된다. 또한, 도 1에 나타내는 화상(사진)은, 관찰 영역의 일부만을 나타내고 있다.

이와 같이, 줄무늬 형상 결함 영역은, 타원 형상 또는 원형상인 경우가 많다. 또, 줄무늬 형상 결함 영역이 발생하는 경우, 장축의 방향이 반송 방향을 따르고 있는 타원 형상의 줄무늬 형상 결함 영역이 적어도 하나 나타나는 경우가 많다.

줄무늬 형상 결함 영역의 면적비가 상기 범위에 있는 2축 배향 폴리에스터 필름은, 폴리에스터 필름의 제조 방법에 있어서, 냉각 공정에 있어서의 폴리에스터 필름의 냉각 속도 V가 2200~3500℃/분이 되고, 또한, 후술하는 조건 1을 충족시키도록 각 공정의 조건을 설정함으로써, 제조할 수 있다.

(팽창률)

폴리에스터 필름은, 90℃ 및 120℃에 있어서의 폭방향의 팽창률이, 각각, 30℃에 있어서의 필름폭에 대하여, -0.15~0.15%인 것이 바람직하고, -0.10~0.10%인 것이 보다 바람직하며, 0~0.10%인 것이 더 바람직하고, 0~0.05%인 것이 특히 바람직하다.

폴리에스터 필름에 있어서의 90℃ 및 120℃에 있어서의 폭방향의 팽창률을 상기 범위로 조정함으로써, 가열 과정에 있어서의 필름의 폭방향으로의 팽창을 억제할뿐만 아니라, 필름면의 장소마다의 팽창률 불균일을 작게 할 수 있다. 그 결과, 가열에 기인하는 줄무늬 형상 결함 영역의 발생을 억제할 수 있다고 추측된다.

90℃ 및 120℃의 각 온도에 있어서의 폭방향의 팽창률은, 열기계 분석 장치를 이용하여 이하의 방법에 의하여 측정한다.

(1) 2축 배향 필름의 폭방향에 대하여 평행한 방향으로 적어도 20mm, 2축 배향 필름의 폭방향에 대하여 직교하는 방향으로 4mm의 치수로 조절된 시료를 준비한다.

(2) 열기계 분석 장치(예를 들면, TMA-60, 주식회사 시마즈 세이사쿠쇼제)를 이용하여, 폭 4mm 및 길이(척간 거리) 20mm의 시료에 대하여, 인장 하중 0.1g을 부하한다.

(3) 상기 시료를 20℃ 이상 30℃ 미만의 온도(바람직하게는 25℃)부터 150℃까지 승온 속도 5℃/분으로 승온시킴으로써, 각 온도(℃)에 있어서의 시료의 치수의 값을 얻는다.

(4) 30℃에 있어서의 시료의 치수(L30), 90℃에 있어서의 치수(L90), 및 120℃에 있어서의 치수(L120)로부터, 하기 식을 이용하여 90℃ 및 120℃의 각 온도에 있어서의 폭방향의 팽창률을 구한다. 본 개시에 있어서, 90℃ 및 120℃에 있어서의 폭방향의 팽창률은, 각각, 5개의 시료를 이용하여 얻어지는 팽창률의 산술 평균값으로 한다. 또한, 정(正)의 팽창률은 팽창을 의미하고, 부(負)의 팽창률은 수축을 의미한다.

식: 팽창률(%)=[(L120 또는 L90)-L30]/L30×100

90℃에 있어서의 폭방향의 팽창률(E90)에 대한 120℃에 있어서의 폭방향의 팽창률(E120)의 비(E120/E90)는, 0~1.5인 것이 바람직하고, 0~1.1인 것이 보다 바람직하며, 0~1.05인 것이 더 바람직하다. E120/E90이 상기 범위 내임으로써, 기능층의 두께 불균일을 더 억제할 수 있다. 90℃에 있어서의 폭방향의 팽창률(E90), 및 120℃에 있어서의 폭방향의 팽창률(E120)은, 각각, 앞서 설명한 열기계 분석 장치를 이용하는 방법에 의하여 구해진다.

폴리에스터 필름의 폭방향의 팽창률은, 예를 들면, 2축 배향 필름의 제조 과정에 있어서의 연신 배율, 열처리 온도, 및 냉각 중의 필름폭을 적절히 설정함으로써 조절할 수 있다.

(표면의 최대 산 높이 Rp)

폴리에스터 필름은, 권취 품질을 보다 향상시키는 점에서, 입자 함유층 표면의 최대 산 높이 Rp는, 0.005μm(5nm) 이상이 바람직하고, 0.01μm(10nm) 이상이 보다 바람직하다. 폴리에스터 필름은, 전사 고장을 보다 억제하는 점에서, 입자 함유층의 표면의 최대 산 높이 Rp가, 1μm 이하인 것이 바람직하고, 0.5μm 이하인 것이 보다 바람직하며, 0.25μm(250nm) 이하인 것이 더 바람직하고, 0.2μm(200nm) 이하인 것이 특히 바람직하다. 그중에서도, 입자 함유층이 무기 입자를 포함하는 경우, 전사 고장의 억제 성능이 보다 현저하게 나타나기 때문에, 입자 함유층의 표면의 최대 산 높이 Rp를 상기 범위로 하는 것이 바람직하다. 입자 함유층 표면의 최대 산 높이 Rp는, 인라인 코팅으로 입자 함유층을 형성하는 경우에는, 입자 함유층이 갖는 입자의 평균 입자경과 입자 함유층의 두께로 조절할 수 있다.

폴리에스터 필름의 표면의 최대 산 높이 Rp는, 폴리에스터 필름을 잘라내어 테스트 피스를 제작하고, 얻어진 테스트 피스의 표면을, 하기의 미세 형상 측정 장치를 이용하여 하기 조건으로 측정하며, 그 후, 내장되어 있는 해석 소프트웨어로 입자 해석(복수 레벨)을 실시함으로써, 구해진다.

이하에, 측정기 및 측정 조건을 나타낸다. 상기의 측정은, 슬라이스 레벨을 10nm의 등간격으로 설정하여, 측정 위치를 변경하면서 각 슬라이스 레벨의 평균 직경과 밀도를 5회 측정하고, 이들의 평균값을 산출하여, 최대 산 높이 Rp의 측정값으로 한다. 테스트 피스는, 시야 측정의 X 방향이 폴리에스터 필름의 폭방향이 되도록 시료대에 고정한다.

·측정 장치: 고사카 겐큐쇼제 surf-corder ET-4000A

·해석 소프트웨어: i-Face model TDA31 Ver2.2.0.4 JSIS

·촉침 선단 반경: 0.5μm

·측정 시야: X 방향: 380μm, 피치: 1μm

Y 방향: 280μm, 피치: 5μm

·침압: 50μN

·측정 속도: 0.1mm/s

·컷 오프값: 저역-0.8mm, 고역-없음

·레벨링: 전역

·필터: 가우시안 필터(2D)

·배율: 10만 배

·입자 해석(복수 레벨) 조건

·출력 내용 설정: 산 입자

·히스테리시스폭: 5nm

·슬라이스 레벨 등간격: 10nm

(밀도)

폴리에스터 필름의 밀도는, 본 발명의 효과에 의하여 우수한 점에서, 1.39~1.41g/cm³가 바람직하고, 1.395~1.405g/cm³가 보다 바람직하며, 1.398~1.400g/cm³가 더 바람직하다.

폴리에스터 필름의 밀도는, 전자 비중계(제품명 "SD-200L", 알파 미라주사제)를 사용하여 측정할 수 있다.

(헤이즈)

폴리에스터 필름을 드라이 필름 레지스트의 지지체로서 사용하는 경우에는, 높은 투명성이 요구된다. 특히, 50μm 이하의 라인 앤드 스페이스 등의 미세 패턴 형성할 때에는, 보다 높은 투명성이 요구된다. 그 점에서, 폴리에스터 필름의 헤이즈는, 1% 이하가 바람직하고, 0.5% 이하가 보다 바람직하며, 0.4% 이하가 더 바람직하고, 0.3% 이하가 특히 바람직하다. 헤이즈는 작을수록 바람직하기 때문에, 헤이즈의 하한은 제한되지 않는다. 헤이즈의 하한을 편의상 설정한다고 하면, 0% 이상이다. 헤이즈를 상기 상한값 이하로 함으로써, 폴리에스터 필름에 레지스트층을 적층한 후, 자외선을 조사하여 노광함에 있어서의 레지스트층의 지지체인 폴리에스터 필름에 의한 자외광선의 산란을 작게 할 수 있고, 현상 후의 레지스트의 패터닝에 있어서의 왜곡 및 탈락 등의 레지스트 패턴 벽면의 상태를 개선할 수 있다.

헤이즈는, 헤이즈 미터(예를 들면, NDH-2000, 닛폰 덴쇼쿠 고교 주식회사제)를 이용하여, JIS K 7105에 준하는 방법에 의하여 측정된다.

(b^*값)

폴리에스터 필름을 드라이 필름 레지스트의 지지체로서 사용하는 경우에는, 높은 투명성이 요구된다. 그 점에서, L^*a^*b^* 표색계에 있어서의 b^*값은, 0~1이 바람직하고, 0~0.8이 보다 바람직하며, 0~0.6이 더 바람직하고, 0~0.4가 특히 바람직하다. L^*a^*b^* 표색계에 있어서의 b^*값이 0~1임으로써, 필름의 황색도를 작게 할 수 있기 때문에, 필름의 색상을 무색에 가깝게 할 수 있다. 이 결과, 예를 들면, 높은 시인성이 요구되는 용도(예를 들면, 표시 장치)에 있어서, 폴리에스터 필름을 바람직하게 적용할 수 있다.

L^*a^*b^* 표색계에 있어서의 b^*값은, 분광 색차계(예를 들면, SE-2000, 닛폰 덴쇼쿠 고교 주식회사제)를 이용하여, 투과법에 의하여 측정된다.

(두께)

폴리에스터 필름의 두께는, 헤이즈값의 상승을 억제할 수 있는 점 및 래미네이팅 적정을 향상시킬 수 있는 점에서, 100μm 이하가 바람직하고, 50μm 미만이 보다 바람직하며, 40μm 이하가 더 바람직하다. 두께의 하한은 특별히 제한되지 않지만, 강도가 향상되며, 가공성이 향상되는 점에서, 3μm 이상이 바람직하고, 5μm 이상이 보다 바람직하며, 10μm 이상이 더 바람직하다.

폴리에스터 필름의 두께는, 주사형 전자 현미경(SEM)에 의하여 측정되는 5개소의 두께의 산술 평균값으로 한다.

〔제조 방법〕

본 필름의 제조 방법으로서는, 예를 들면, 미연신 폴리에스터 필름을 2축 연신하는 방법을 들 수 있다.

2축 연신은, 세로 연신 및 가로 연신을 동시에 행하는 동시 2축 연신이어도 되고, 세로 연신 및 가로 연신을 2단계 이상의 다단계로 나누어 행하는 순차 2축 연신이어도 된다. 순차 2축 연신의 형태로서는, 예를 들면, 세로 연신→가로 연신, 세로 연신→가로 연신→세로 연신, 세로 연신→세로 연신→가로 연신, 및 가로 연신→세로 연신을 들 수 있으며, 세로 연신→가로 연신이 바람직하다.

<연신기>

2축 연신에 사용하는 장치는 특별히 제한되지 않고, 공지의 연신기를 이용할 수 있다. 이하, 연신기의 일례에 대하여 도면을 참조하여 설명한다.

도 2는, 폴리에스터 필름의 제조에 이용되는 연신기의 일례를 나타내는 평면도이다.

도 2에 나타내는 연신기(100)는, 1쌍의 환상 레일(60a 및 60b)과, 각 환상 레일에 장착되어, 레일을 따라 이동 가능한 파지(把持) 부재(2a~2l)를 구비하고 있다. 환상 레일(60a 및 60b)은, 필름(200)을 사이에 두고 서로 대칭적으로 배치되어 있다. 연신기(100)는, 파지 부재(2a~2l)로 필름(200)을 파지하고, 레일을 따라 파지 부재(2a~2l)를 이동시킴으로써, 필름(200)을 폭방향으로 연신할 수 있다.

연신기(100)는, 반송 방향 상류 측으로부터 순서대로, 예열부(10)와, 연신부(20)와, 열고정부(30)와, 열완화부(40)와, 냉각부(50)로 이루어지는 영역을 갖는다.

연신기(100)가 갖는 상기의 영역은, 차풍 커튼으로 구분되고, 열풍 등에 의하여 개개에 영역 내의 온도를 조정할 수 있다.

예열부(10)는, 필름(200)을 예열하는 영역이다.

연신부(20)는, 예열된 필름(200)을 화살표 MD의 방향(길이 방향)과 직교하는 방향인 화살표 TD의 방향(폭방향)으로 긴장을 부여하여 연신하는 영역이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 연신부(20)에 있어서, 필름(200)은 폭 L0부터 폭 L1까지 연신된다.

열고정부(30)는, 긴장이 부여된 필름(200)에 긴장을 부여한 상태로 가열하여 열고정하는 영역이다.

열완화부(40)는, 열고정한 필름(200)을 가열함으로써 열고정한 필름(200)의 긴장을 열완화하는 영역이다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 열완화부(40)에 있어서, 필름(200)은 폭 L1부터 폭 L2로까지 축소(완화)된다.

냉각부(50)는, 열완화된 필름(200)을 냉각하는 영역이다. 필름(200)을 냉각함으로써, 필름(200)의 형상을 고정화할 수 있다.

도 2에는, 냉각부(50)에 반입되는 필름(200)의 폭이 L2이며, 냉각부(50)로부터 반출되는 필름(200)의 폭이 L3인 것이 나타나 있다.

환상 레일(60a)에는, 환상 레일(60a)을 따라 이동 가능한 파지 부재(2a, 2b, 2e, 2f, 2i, 및 2j)가 장착되어 있다. 환상 레일(60b)에는, 환상 레일(60b)을 따라 이동 가능한 파지 부재(2c, 2d, 2g, 2h, 2k, 및 2l)가 장착되어 있다.

파지 부재(2a, 2b, 2e, 2f, 2i, 및 2j)는, 필름(200)의 화살표 TD의 방향의 일방의 단부를 파지한다. 파지 부재(2c, 2d, 2g, 2h, 2k, 및 2l)는, 필름(200)의 화살표 TD의 방향의 타방의 단부를 파지한다. 파지 부재(2a~2l)는, 척 또는 클립 등으로 칭해지는 경우가 많다.

파지 부재(2a, 2b, 2e, 2f, 2i, 및 2j)는, 환상 레일(60a)을 따라 반시계 방향으로 이동한다. 파지 부재(2c, 2d, 2g, 2h, 2k, 및 2l)는, 환상 레일(60b)을 따라 시계 방향으로 이동한다.

파지 부재(2a~2d)는, 예열부(10)에 있어서 필름(200)의 단부를 파지한 상태로 환상 레일(60a 또는 60b)을 따라 이동하여, 연신부(20), 열고정부(30), 및 열완화부(40)를 거쳐, 냉각부(50)까지 진행된다. 다음으로, 파지 부재(2a 및 2b)와, 파지 부재(2c 및 2d)는, 반송 방향 순서대로, 냉각부(50)의 화살표 MD의 방향 하류 측의 단부(예를 들면, 도 2에 있어서의 파지 해제점 P 및 파지 해제점 Q)에서 필름(200)의 단부를 분리한 후, 추가로 환상 레일(60a 또는 60b)을 따라 이동하여, 예열부(10)로 되돌아간다. 상기 과정에 있어서, 필름(200)은, 화살표 MD의 방향으로 이동함으로써, 예열부(10)에서의 예열, 연신부(20)에서의 연신, 열고정부(30)에서의 열고정, 열완화부(40)에서의 열완화, 및 냉각부(50)에서의 냉각이 행해져, 가로 연신된다.

파지 부재(2a~2l)의 이동 속도를 조절함으로써, 필름(200)의 반송 속도를 조절할 수 있다. 또, 파지 부재(2a~2l)는, 각각 독립적으로, 이동 속도를 변화시킬 수 있다.

상기와 같이, 연신기(100)는, 연신부(20)에 있어서, 필름(200)을 화살표 TD의 방향으로 연신하는 가로 연신을 가능하게 하는 것이다. 한편, 연신기(100)는, 파지 부재(2a~2l)의 이동 속도를 변화시킴으로써, 필름(200)을 화살표 MD의 방향으로 연신하는 것도 가능하다. 즉, 연신기(100)를 이용하여 동시 2축 연신을 행하는 것도 가능하다.

연신기(100)는, 필름(200)을 지지하기 위하여, 파지 부재(2a~2l)에 더하여, 다른 파지 부재를 더 갖고 있어도 된다(도시하지 않음).

다음으로, 본 발명의 실시형태의 일례에 관한 폴리에스터 필름의 제조 방법(이하, "본 제조 방법"이라고도 한다.)에 대하여, 구체적으로 설명한다.

본 제조 방법은, 2축 배향 폴리에스터 필름을 제조하는 방법이며, 원료 폴리에스터를 함유하는 용융 수지를 필름상으로 압출하여, 폴리에스터 기재를 적어도 포함하는 미연신 폴리에스터 필름을 형성하는 압출 성형 공정과, 미연신 폴리에스터 필름을 반송 방향으로 연신하여 1축 배향 폴리에스터 필름을 형성하는 세로 연신 공정과, 1축 배향 폴리에스터 필름을 폭방향으로 연신하여 2축 배향 폴리에스터 필름을 형성하는 가로 연신 공정과, 2축 배향 폴리에스터 필름을 가열하여 열고정하는 열고정 공정과, 열고정 공정에 의하여 열고정된 폴리에스터 필름을 열고정 공정보다 낮은 온도에서 가열하여 열완화하는 열완화 공정과, 열완화 공정에 의하여 열완화된 폴리에스터 필름을 냉각하는 냉각 공정과, 냉각 공정에 있어서, 열완화된 폴리에스터 필름을 폭방향으로 확장하는 확장 공정을 갖는다.

본 제조 방법은, 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면에 입자를 함유하는 입자 함유층을 마련하는 입자 함유층 형성 공정을 더 갖는다.

<압출 성형 공정>

압출 성형 공정은, 압출 성형법에 의하여 원료의 폴리에스터를 함유하는 용융 수지를 필름상으로 압출하여, 미연신 폴리에스터 필름을 형성하는 공정이다. 원료의 폴리에스터에 대해서는, 상기의 (폴리에스터)의 항목에 있어서 설명한 폴리에스터와 동일한 의미이다. 압출 성형 공정에 의하여 형성되는 미연신 폴리에스터 필름은, 폴리에스터 기재를 적어도 포함한다.

압출 성형법은, 예를 들면 압출기를 이용하여 원료 수지의 용융체를 압출함으로써, 원료 수지를 원하는 형상으로 성형하는 방법이다.

폴리에스터를 함유하는 용융 수지는, 예를 들면, 1개 또는 2개 이상의 스크루를 구비한 압출기를 이용하여, 상술한 폴리에스터를 융점 이상의 온도로 가열하고, 그리고, 스크루를 회전시켜 용융 혼련함으로써, 형성된다. 폴리에스터는, 가열 및 스크루에 의한 혼련에 의하여, 압출기 내에서 용융하여 용융체(멜트)가 된다.

용융체는, 기어 펌프, 및 여과기 등을 통하여, 압출 다이로부터 압출된다. 압출 다이는, 간단히 "다이"라고도 칭한다(JIS B8650:2006, a, 압출 성형기, 번호 134 참조). 예를 들면, 일본 공개특허공보 2005-297266호에 기재된 압출 다이, 일본 공개특허공보 평1-154720호에 기재된 압출 다이, 및, 그들의 조합을 사용할 수도 있다. 용융체는, 단층으로 압출되어도 되고, 다층으로 압출되어도 된다.

용융 압출에 있어서는, 압출기 내에서의 열분해(예를 들면 폴리에스터의 가수분해)를 억제하는 관점에서, 압출기 내를 질소 치환하는 것이 바람직하다. 또, 압출기는, 혼련 온도가 낮게 억제되는 점에서 2축 압출기가 바람직하다.

압출 다이로부터 압출된 용융체는, 냉각됨으로써 필름상으로 성형된다. 예를 들면, 용융체를 캐스팅 롤에 접촉시키고, 캐스팅 롤 상에서 용융체를 냉각 및 고화시킴으로써, 용융체를 필름상으로 성형할 수 있다. 용융체의 냉각에 있어서는, 또한, 용융체에 바람(바람직하게는 냉풍)을 맞히는 것이 바람직하다.

캐스팅 롤의 온도는, (Tg-10)℃ 초과 (Tg+30)℃ 이하가 바람직하고, (Tg-7)~(Tg+20)℃가 보다 바람직하며, (Tg-5)~(Tg+10)℃가 더 바람직하다. 상기의 "Tg"는, 필름을 구성하는 폴리에스터의 유리 전이 온도를 의미한다.

여기서, 본 제조 방법에 있어서의 폴리에스터 필름 및 각 부재의 온도는, 비접촉식 온도계(예를 들면, 방사 온도계)를 이용하여 측정할 수 있다. 필름의 표면 온도는, 필름의 폭방향 중앙부의 온도를 5회 계측하고, 얻어진 계측값의 평균값을 산출함으로써 구해진다.

압출 성형 공정에 있어서 캐스팅 롤을 이용하는 경우, 캐스팅 롤과 용융체의 밀착성을 높이는 것이 바람직하다. 밀착성을 높이는 방법으로서는, 예를 들면, 정전 인가법, 에어 나이프법, 에어 챔버법, 배큐엄 노즐법, 및 터치롤법을 들 수 있다.

캐스팅 롤 등을 이용하여 냉각된 성형체(미연신 폴리에스터 필름)는, 박리 롤 등의 박리 부재를 이용하여, 캐스팅 롤 등의 냉각 부재로부터 박리된다.

<세로 연신 공정>

세로 연신 공정은, 미연신 폴리에스터 필름을 반송 방향으로 연신(이하, "세로 연신"이라고도 한다.)하는 공정이다. 세로 연신 공정에 의하여, 1축 배향 폴리에스터 필름이 형성된다.

세로 연신 공정에 있어서는, 세로 연신 전에, 미연신 폴리에스터 필름을 예열하는 것이 바람직하다. 미연신 폴리에스터 필름을 예열함으로써, 폴리에스터 필름을 용이하게 세로 연신할 수 있다.

미연신 폴리에스터 필름의 예열 온도는, (Tg-30)~(Tg+40)℃가 바람직하고, (Tg-20)~(Tg+30)℃가 보다 바람직하다. 구체적으로, 예열 온도는, 60~100℃가 바람직하고, 65~80℃가 보다 바람직하다.

미연신 폴리에스터 필름을 예열하는 방법으로서는, 예를 들면, 세로 연신하는 연신 롤보다 상류 측에, 필름을 예열하는 기능을 갖는 예열 롤을 배치하고, 미연신 폴리에스터 필름을 반송하면서 예열하는 방법을 들 수 있다.

또, 연신 롤이 필름을 예열하는 기능을 가져도 된다. 연신 롤에 의한 필름의 예열 온도의 바람직한 범위는, 상기의 예열 롤의 예열 온도의 바람직한 범위와 동일하다.

세로 연신은, 예를 들면, 미연신 폴리에스터 필름을 길이 방향으로 반송하면서, 반송 방향으로 설치한 2쌍 이상의 연신 롤 사이에서 긴장을 부여함으로써 행할 수 있다. 예를 들면, 반송 방향 상류 측에 1쌍의 연신 롤 A, 및 반송 방향 하류 측에 1쌍의 연신 롤 B를 설치한 경우, 미연신 폴리에스터 필름을 반송할 때에 연신 롤 B의 회전 속도를, 연신 롤 A의 회전 속도보다 빠르게 함으로써, 미연신 폴리에스터 필름이 길이 방향으로 연신된다.

세로 연신 공정에 있어서의, 반송 방향 상류 측에 마련한 1쌍의 연신 롤 A, 및, 반송 방향 하류 측에 마련한 1쌍의 연신 롤 B에 의한 필름의 반송 속도(주속도)는, 연신 롤 A에 의한 필름의 반송 속도가, 연신 롤 B에 의한 필름의 반송 속도보다 느리면, 특별히 제한되지 않는다.

연신 롤 A에 의한 필름의 반송 속도는, 예를 들면, 5~60m/분이며, 10~50m/분이 바람직하고, 15~45m/분이 보다 바람직하다. 연신 롤 B에 의한 필름의 반송 속도는, 예를 들면 40~160m/분이며, 50~150m/분이 바람직하고, 60~140m/분이 보다 바람직하다.

세로 연신 공정에 있어서의 연신 배율은, 용도에 따라 적절히 설정되지만, 2.0~5.0배가 바람직하고, 2.5~4.0배가 보다 바람직하며, 2.8~4.0배가 더 바람직하다.

세로 연신 공정에 있어서의 연신 속도는, 800~1500%/초가 바람직하고, 1000~1400%/초가 보다 바람직하며, 1200~1400%/초가 더 바람직하다. 여기에서, "연신 속도"란, 세로 연신 공정에 있어서 1초 동안에 연신된 폴리에스터 필름의 반송 방향의 길이 Δd를, 연신 전의 폴리에스터 필름의 반송 방향의 길이 d0으로 나눈 값을, 백분율로 나타낸 값이다.

세로 연신 공정에 있어서는, 미연신 폴리에스터 필름을 가열하는 것이 바람직하다. 가열에 의하여 세로 연신이 용이해지기 때문이다.

세로 연신 공정에 있어서의 가열 온도는, (Tg-20)~(Tg+50)℃가 바람직하고, (Tg-10)~(Tg+40)℃가 보다 바람직하며, (Tg)~(Tg+30)℃가 더 바람직하다. 구체적으로, 세로 연신 공정에 있어서의 가열 온도는, 70~120℃가 바람직하고, 80~110℃가 보다 바람직하며, 85~100℃가 더 바람직하다.

세로 연신 공정에 있어서 미연신 폴리에스터 필름을 가열하는 방법으로서는, 미연신 폴리에스터 필름에 접촉하는 연신 롤 등의 롤을 가열하는 방법을 들 수 있다. 롤을 가열하는 방법으로서는, 예를 들면, 롤 내부에 히터를 마련하는 방법, 및, 롤 내부에 배관을 마련하고, 그 배관 내에 가열한 유체를 흘려보내는 방법을 들 수 있다. 상기 이외에, 예를 들면, 미연신 폴리에스터 필름에 온풍을 맞히는 방법, 및, 미연신 폴리에스터 필름을 히터 등의 열원에 접촉시키거나, 또는, 열원의 근방을 통과시킴으로써 미연신 폴리에스터 필름을 가열하는 방법을 들 수 있다.

미연신 폴리에스터 필름에 대하여 세로 연신하는 세로 연신 공정은, 상기의 방법에 제한되지 않는다.

상기의 세로 연신 공정에서는, 2쌍의 연신 롤의 반송 속도의 차를 이용하여 미연신 폴리에스터 필름을 세로 연신하고 있지만, 2개의 연신 롤의 사이에 배치되고, 그들의 연신 롤보다 빠른 반송 속도로 필름을 반송하는 고속 연신 롤을 1개 이상 이용하여, 미연신 폴리에스터 필름을 세로 연신하여, 1축 배향 폴리에스터 필름을 제작해도 된다.

또, 상기의 세로 연신 공정에서는, 서로 대향하는 2개의 롤(1쌍의 롤)에 의하여 필름을 사이에 끼워 반송하는 구성을 갖고 있지만, 세로 연신 공정에 사용하는 연신 롤이, 대향하는 롤을 갖지 않고, 폴리에스터 필름의 일방의 면에 접하는 1개의 롤만으로 구성되어 있어도 된다.

<가로 연신 공정>

가로 연신 공정은, 1축 배향 폴리에스터 필름을 가로 연신하는 공정이다. 가로 연신 공정은, 예를 들면, 상기 연신기(100)의 가로 연신부(20)에 있어서 실시된다.

가로 연신 공정에 있어서는, 가로 연신 전에, 폴리에스터 필름을 예열하는 것이 바람직하다. 폴리에스터 필름을 예열함으로써, 폴리에스터 필름을 용이하게 가로 연신할 수 있다.

예열 온도는, (Tg-10)~(Tg+60)℃가 바람직하고, (Tg)~(Tg+50)℃가 보다 바람직하다. 구체적으로, 예열 온도는, 80~120℃가 바람직하고, 90~110℃가 보다 바람직하다.

가로 연신 공정에 있어서의 1축 배향 폴리에스터 필름의 폭방향의 연신 배율(가로 연신 배율 a)은 특별히 제한되지 않지만, 상기 세로 연신 공정에 있어서의 연신 배율보다 큰 것이 바람직하다. 가로 연신 공정에 있어서의 연신 배율 a는, 3.0~6.0배가 바람직하고, 3.5~5.0배가 보다 바람직하며, 3.5~4.5배가 더 바람직하다.

가로 연신 공정을 연신기(100)의 가로 연신부(20)에 있어서 실시하는 경우, 가로 연신 배율 a는, 가로 연신부(20)의 반입 시의 필름폭 L0에 대한 가로 연신부(20)로부터의 반출 시의 필름폭 L1의 비율(L1/L0)로부터 구해진다.

세로 연신 공정에 있어서의 연신 배율과, 가로 연신 공정에 있어서의 연신 배율의 곱으로 나타나는 면적 배율은, 12.8~15.5배가 바람직하고, 13.5~15.2배가 보다 바람직하며, 14.0~15.0배가 더 바람직하다. 면적 배율이 상기의 하한값 이상이면, 필름 폭방향에 있어서의 분자 배향이 양호해진다. 또, 면적 배율이 상기의 상한값 이하이면, 가열 처리에 제공되었을 때에 분자 배향이 완화되기 어려운 상태를 유지하기 쉽다.

가로 연신 공정에 있어서의 가열 온도는, (Tg-10)~(Tg+80)℃가 바람직하고, (Tg)~(Tg+70)℃가 보다 바람직하며, (Tg)~(Tg+60)℃가 더 바람직하다. 구체적으로, 가로 연신 공정에 있어서의 가열 온도는, 100~140℃가 바람직하고, 110~135℃가 보다 바람직하며, 115~130℃가 더 바람직하다.

가로 연신 공정에 있어서의 연신 속도는, 8~45%/초가 바람직하고, 10~30%/초가 보다 바람직하며, 15~20%/초가 더 바람직하다.

<열고정 공정>

본 제조 방법에서는, 가로 연신 공정에 의하여 가로 연신된 폴리에스터 필름에 대한 가열 처리로서, 열고정 공정 및 열완화 공정을 행한다.

열고정 공정에 있어서는, 가로 연신 공정에 의하여 얻어진 2축 배향 폴리에스터 필름을 가열하여, 열고정한다. 열고정에 의하여 폴리에스터를 결정화시킴으로써, 폴리에스터 필름의 수축을 억제할 수 있다.

열고정 공정은, 예를 들면, 상기 연신기(100)의 열고정부(30)에 있어서 실시된다.

열고정 공정에 있어서의 폴리에스터 필름의 표면 온도(열고정 온도 T1)는, 190~240℃가 바람직하고, 200~240℃가 보다 바람직하며, 210~230℃가 더 바람직하다.

열고정 공정에서는, 폴리에스터 필름의 표면의 최고 도달 온도가 상기 열고정 온도 T1이 되도록 제어하면서 가열 처리가 행해진다.

열고정 공정에 있어서, 필름 폭방향의 표면 온도의 불균일은, 0.5~10.0℃가 바람직하고, 0.5~7.0℃가 보다 바람직하며, 0.5~5.0℃가 더 바람직하고, 0.5~4.0℃가 특히 바람직하다. 필름 폭방향의 표면 온도의 불균일을 상기 범위 내로 제어함으로써, 폭방향에 있어서의 결정화도의 불균일을 억제할 수 있다.

가열 방법으로서는, 예를 들면, 필름에 열풍을 맞히는 방법, 및, 필름을 복사 가열하는 방법을 들 수 있다. 복사 가열하는 방법에 있어서 이용되는 장치로서는, 예를 들면, 적외선 히터를 들 수 있다.

열고정 공정에 있어서의 가열 시간은, 5~50초간이 바람직하고, 5~30초간이 보다 바람직하며, 5~10초간이 더 바람직하다.

<열완화 공정>

열완화 공정에 있어서는, 열고정 공정에 의하여 열고정된 폴리에스터 필름을, 열고정 공정보다 낮은 온도에서 가열함으로써 열완화한다. 열완화에 의하여 폴리에스터 필름의 잔류 왜곡을 완화시킬 수 있다.

열완화 공정은, 예를 들면, 상기 연신기(100)의 열완화부(40)에 있어서 실시된다.

열완화 공정에 있어서의 폴리에스터 필름의 표면 온도(열완화 온도 T2)는, 열고정 온도 T1보다, 5℃ 이상 낮은 온도가 바람직하고, 15℃ 이상 낮은 온도가 보다 바람직하며, 25℃ 이상 낮은 온도가 더 바람직하고, 30℃ 이상 낮은 온도가 특히 바람직하다. 즉, 열완화 온도 T2는, 235℃ 이하가 바람직하고, 225℃ 이하가 보다 바람직하며, 210℃ 이하가 더 바람직하고, 200℃ 이하가 특히 바람직하다.

열완화 온도 T2의 하한은, 100℃ 이상이 바람직하고, 110℃ 이상이 보다 바람직하며, 120℃ 이상이 더 바람직하다.

열완화 공정에서는, 폴리에스터 필름의 표면의 최고 도달 온도가 상기 열완화 온도 T2가 되도록 제어하면서 가열 처리가 행해진다.

가열 방법으로서는, 예를 들면, 필름에 열풍을 맞히는 방법, 필름을 복사 가열하는 방법을 들 수 있다. 복사 가열하는 방법에 있어서 이용되는 장치로서는, 예를 들면, 적외선 히터를 들 수 있다.

<냉각 공정>

본 제조 방법은, 열완화된 폴리에스터 필름을 냉각하는 냉각 공정을 갖는다. 냉각 공정 및 후술하는 확장 공정은, 예를 들면, 상기 연신기(100)의 냉각부(50)에 있어서 실시된다.

냉각 공정에 있어서의 폴리에스터 필름의 냉각 방법으로서는, 예를 들면, 필름에 바람(바람직하게는 냉풍)을 맞히는 방법, 및 온도 조절 가능한 부재(예를 들면, 온도 조절 롤)에 필름을 접촉시키는 방법을 들 수 있다.

냉각 공정에 있어서의 냉각 온도는, 열완화 공정과 구별하는 점에서, 130℃ 이하가 바람직하다. 냉각 온도는, 30~120℃가 보다 바람직하고, 30~100℃가 더 바람직하며, 30~80℃가 특히 바람직하다.

본 제조 방법에서는, 폴리에스터 필름의 냉각 속도 V가 2200~3500℃/분이 되도록 냉각 공정을 실시한다. 냉각 속도 V를 상기 범위 내로 조절함으로써, 2축 배향 필름에 적층되는 기능층의 두께 불균일을 저감시킬 수 있다.

냉각 속도 V의 범위를 특정함으로써 기능층의 두께 불균일이 저감되는 메커니즘의 상세는 명확하지 않지만, 필름 표면의 온도가 효율적으로 저하되고, 또한, 필름 표면의 온도 불균일을 억제할 수 있는 냉각 속도로 함으로써, 냉각 후의 필름에 내재하는 왜곡이 저감되며, 기능층 적층 시의 고온 처리에 따른 굴곡의 발생을 억제할 수 있기 때문이라고 추측된다.

상기의 관점에서, 냉각 공정에 있어서의 냉각 속도 V는, 2200~3000℃/분이 바람직하고, 2300~2600℃/분이 보다 바람직하다.

냉각 공정에 있어서의 폴리에스터 필름의 냉각 속도 V는, 비접촉식 온도계를 이용하여, 측정할 수 있다. 예를 들면, 상기 연신기(100)의 냉각부(50)에 있어서 냉각 공정을 실시하는 경우, 열완화부(40)로부터 냉각부(50)에 반입되는 필름(200)의 표면 온도와, 냉각부(50)로부터 반출되는 필름(200)의 표면 온도를 측정하여, 양자의 온도차 ΔT(℃)를 얻는다. 얻어진 온도차 ΔT(℃)를, 냉각부(50)에 있어서의 필름(200)의 체재 시간 ta로 나눔으로써, 냉각 속도 V가 구해진다.

폴리에스터 필름의 냉각 속도는, 냉각 장치의 운전 조건, 및, 필름의 반송 속도에 따라, 조정할 수 있다.

본 제조 방법에 있어서의 상기의 열고정 공정, 열완화 공정 및 냉각 공정은, 이 순서로 연속하여 실시하는 것이 바람직하다. 이로써, 폴리에스터 필름에 대한 가열 및 냉각의 반복에 의한 부하(열이력)를 저감시키고, 필름에 내재하는 왜곡 등을 저감시켜, 줄무늬 형상 결함의 발생을 억제할 수 있기 때문이다.

<확장 공정>

본 제조 방법은, 상기 냉각 공정에 있어서, 열완화된 폴리에스터 필름을 폭방향으로 확장하는 확장 공정을 갖는다.

냉각 공정에 있어서 폴리에스터 필름을 "폭방향으로 확장한다"란, 냉각 공정의 개시 시에 있어서의 폴리에스터 필름의 필름폭(도 2 중의 L2)보다, 냉각 공정의 종료 시에 있어서의 필름폭(도 2 중의 L3)이 넓어지도록, 냉각 공정의 사이에, 폴리에스터 필름에 대하여 폭방향으로 장력을 부여하는 것을 의미한다.

냉각 공정에 있어서, 폴리에스터 필름을 폭방향으로 확장하는 방법은, 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면, 상기의 연신기(100)를 이용하여 2축 배향 폴리에스터 필름을 제조하는 경우, 냉각부(50)의 개시 지점에 있어서의 환상 레일(60a 및 60b)의 거리보다, 냉각부(50)의 종료 지점(파지 해제점 P 및 파지 해제점 Q)에 있어서의 환상 레일(60a 및 60b)의 거리를 넓힘으로써, 냉각 공정에 있어서, 각 파지 부재에 의하여 파지되는 필름(200)을 폭방향으로 확장할 수 있다.

확장 공정은, 냉각 공정의 전후에서 필름폭이 확장되는 한, 냉각 공정의 개시부터 종료까지 연속적 또는 단속적으로 실시해도 되고, 냉각 공정의 사이의 한 시기에 있어서만 실시해도 된다.

확장 공정은, 130℃ 이하에서 행해지는 것이 바람직하다. 그중에서도, 30~120℃가 보다 바람직하며, 30~100℃가 더 바람직하고, 30~80℃가 특히 바람직하다.

확장 공정에 의한 폴리에스터 필름의 폭방향의 확장률, 즉, 냉각 공정의 개시 전에 있어서의 필름폭에 대한 냉각 공정의 종료 시에 있어서의 필름폭의 비율은, 0보다 크면 특별히 제한되지 않지만, 본 발명의 효과가 보다 우수한 점에서, 상기 확장률의 백분율 b가 0.001% 이상인 것이 바람직하고, 0.01% 이상인 것이 보다 바람직하다.

상한은 특별히 제한되지 않지만, 상기 확장률의 백분율 b가 1.3% 이하인 것이 바람직하고, 1.2% 이하인 것이 보다 바람직하며, 1.0% 이하인 것이 더 바람직하다. 필름폭의 확장률을 상기의 상한값 이하로 설정함으로써, 필름 제조 시에 고속으로 반송하기 위하여 반송 방향으로 강한 장력을 부여한 경우(예를 들면, 반송 방향의 장력이 100N/m 이상인 경우)이더라도, 후술하는 트리밍 공정에 있어서의 절단면의 불균일, 나아가서는, 그 절단 불균일에 따른 필름의 파단을 억제할 수 있다.

<입자 함유층 형성 공정>

본 제조 방법은, 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면에 입자 함유층을 마련하는 입자 함유층 형성 공정을 갖는다. 입자 함유층 형성 공정에 의하여 형성되는 입자 함유층에 대해서는, 상기 <입자 함유층>의 항목에 있어서 자세하게 설명한 입자 함유층과 동일한 의미이다.

입자 함유층의 형성은, 본 제조 방법의 어느 단계에서 행해도 되고, 예를 들면, 입자 함유층을 구성하는 재료를 함유하는 도포액을 이용하여, 미연신 또는 연신된 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면 상에 도포막을 형성하며, 필요에 따라 건조하는 방법, 및, 공압출법에 의하여, 폴리에스터 기재의 형성과 동시에 입자 함유층을 형성하는 방법을 들 수 있다.

먼저, 입자 함유층용 도포액을 이용하여 입자 함유층을 형성하는 방법에 대하여, 설명한다.

입자 함유층용 도포액은, 입자 함유층이 함유하는 입자, 필요에 따라 첨가되는 바인더 및 첨가제, 및, 용제를 혼합함으로써 조제할 수 있다. 용제로서는, 예를 들면, 물, 에탄올, 톨루엔, 에틸렌글라이콜모노에틸에터, 에틸렌글라이콜다이메틸에터, 프로필렌글라이콜모노메틸에터 및 프로필렌글라이콜모노에틸에터를 들 수 있다. 그중에서도, 환경, 안전성 및 경제성의 관점에서, 물이 바람직하다.

입자 함유층용 도포액은, 1종 단독의 용제를 함유하고 있어도 되고, 2종 이상의 용제를 함유하고 있어도 된다.

용제의 함유량은, 입자 함유층용 도포액의 전체 질량에 대하여, 80~99질량%가 바람직하고, 90~98질량%가 보다 바람직하다.

즉, 입자 함유층용 도포액에 있어서, 용제 이외의 성분(고형분)의 합계 함유량은, 입자 함유층용 도포액의 전체 질량에 대하여, 0.5~20질량%가 바람직하고, 1~10질량%가 보다 바람직하다.

입자 함유층용 도포액에 있어서의 용제 이외의 각 성분에 대해서는, 그 바람직한 양태도 포함시켜, 상기의 입자 함유층에 함유되는 각 성분에 대하여 설명한 내용과 동일하다. 또, 입자 함유층용 도포액의 고형 분의전체 질량에 대한 각 성분의 함유량이 상기의 입자 함유층의 전체 질량에 대한 각 성분의 바람직한 함유량과 동일해지도록, 도포액에 있어서의 각 성분의 함유량을 조정하는 것이 바람직하다.

입자 함유층용 도포액에 포함되는 입자의 평균 입자경은, 레이저 회절/산란식 입자경 분포 측정 장치("LA-950", 주식회사 호리바 세이사쿠쇼제)를 이용하여 측정한다. 또, 입자의 시판품을 이용하는 경우는, 입자의 평균 입자경은 카탈로그값이어도 된다.

입자 함유층용 도포액의 도포 방법은 특별히 제한되지 않고, 공지의 방법을 이용할 수 있다. 도포 방법으로서는, 예를 들면, 스프레이 코트법, 슬릿 코트법, 롤 코트법, 블레이드 코트법, 스핀 코트법, 바 코트법 및 딥 코트법을 들 수 있다.

입자 함유층용 도포액을 이용하여 입자 함유층을 형성하는 방법으로서는, 폴리에스터 기재를 반송하면서, 폴리에스터 기재의 적어도 일방에 표면에 도포액을 도포하는 이른바 인라인 코팅법, 및, 2축 배향된 폴리에스터 기재를 제조한 후, 별도 도포액을 도포하는 이른바 오프라인 코팅법 모두를 적용할 수 있지만, 효율성이 보다 우수한 점, 및, 투명성을 부여하는 점에서, 인라인 코팅법이 바람직하다.

인라인 코팅법에 있어서, 입자 함유층용 도포액을 도포하는 폴리에스터 기재는, 미연신의 폴리에스터 기재여도 되고, 1축 배향된 폴리에스터 기재여도 되지만, 1축 배향된 폴리에스터 기재인 것이 바람직하다.

이어서, 공압출법에 의하여, 폴리에스터 기재의 형성과 동시에 입자 함유층을 형성하는 방법에 대하여, 설명한다.

공압출법에 의한 입자 함유층의 형성 방법은, 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면, 입자 함유층을 구성하는 입자 및 바인더, 및, 필요에 따라 첨가되는 첨가제를 함유하는 수지 조성물을 조제하고, 상기의 <압출 성형 공정>에 기재된 방법에 준하여 얻어진 수지 조성물을 가열, 및, 용융 혼련함으로써 수지 조성물의 용융체를 제작하며, 폴리에스터의 용융체와 함께 압출기를 이용하여 압출함으로써, 입자 함유층을 형성할 수 있다.

입자 함유층 형성 공정으로서는, 제조 공정에 있어서의 폴리에스터 기재의 가열 시간을 짧게 할 수 있으며, 폴리에스터 기재 내부의 왜곡을 저감시킬 수 있는 점에서, 세로 연신 공정과 가로 연신 공정의 사이에 입자 함유층용 도포액을 이용하여 입자 함유층을 형성하는 인라인 코팅 공정, 또는, 폴리에스터 기재를 구성하는 폴리에스터를 함유하는 제1 용융체 및 입자 및 바인더를 함유하는 제2 용융체를 이용하여, 폴리에스터 기재와 입자 함유층을 동시에 형성하는 공압출 성형 공정인 것이 바람직하다.

그중에서도, 세로 연신 공정과 가로 연신 공정의 사이에, 1축 배향된 폴리에스터 기재에 대하여, 상기의 인라인 코팅법을 적용하여 입자 함유층을 형성하는 것이 바람직하다. 1축 배향된 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면에 입자 함유층용 도포액을 도포하여 입자 함유층을 형성한 후, 폴리에스터 기재와 입자 함유층을 동시에 가로 연신함으로써, 폴리에스터 기재 및 입자 함유층의 밀착성을 향상시킬 수 있다. 그때의 가로 연신의 구체적인 방법에 대해서는 상기 가로 연신 공정에 있어서 설명한 바와 같다.

본 제조 방법은, 상기의 공정을 거쳐 얻어진 2축 배향 폴리에스터 필름을 권취함으로써, 롤상의 2축 배향 폴리에스터 필름을 얻는 권취 공정을 갖고 있어도 된다.

또, 본 제조 방법은, 권취 공정을 실시하기 전에, 폴리에스터 필름을 반송 방향을 따라 연속적으로 절단하여, 폴리에스터 필름의 폭방향의 적어도 일방의 단부를 잘라내는 트리밍 공정을 더 가져도 된다.

<제조 조건>

본 제조 방법은, 하기 조건 1을 충족시킨다.

조건 1: 폴리에스터 기재를 구성하는 폴리에스터의 융점을 Tm(℃), 열고정 공정에 있어서의 열고정 온도를 T1(℃), 가로 연신 공정에 있어서의 1축 배향 폴리에스터 필름의 연신 배율을 a, 확장 공정에 있어서의 열완화된 폴리에스터 필름의 폭방향의 확장률의 백분율을 b(%)로 했을 때, 하기 식 (1)로 산출되는 A와 하기 식 (2)로 산출되는 B의 곱(A×B)인 값 C가, -4.0~4.0이다. 단, A 및 B 중 어느 일방만이 0인 경우는 제외한다.

A=Tm-T1-30 (1)

B=a/5-b (2)

상기 조건 1을 충족시키도록 각 공정의 조건을 설정함으로써 기능층의 두께 불균일이 저감되는 메커니즘의 상세는 명확하지 않지만, 열고정 공정에 있어서 폴리에스터의 과잉된 결정화를 억제하고, 또한, 냉각 공정에 있어서 소정의 확장률로 폭방향으로 확장됨으로써, 폭방향을 향한 폴리에스터 분자쇄의 존재 비율이 상승함으로써, 후 공정에서의 가열에 의한 치수 변화율을 저감시키며, 그 결과, 기능층을 적층하는 공정에 있어서의 고온 처리에 따른 굴곡의 발생을 억제할 수 있기 때문이라고 추측된다.

상기의 관점에서, 상기의 값 C의 절댓값이 0.1~0.7인 것이 바람직하고, 상기의 값 C가 0.1~0.5인 것이 보다 바람직하다.

또한, 상기와 같이, A 및 B 중 어느 일방만이 0인 경우는 조건 1을 충족시키지 않지만, A 및 B의 양자가 0인 경우, 조건 1을 충족시키는 것으로 한다.

본 제조 방법은, 또한, 폴리에스터 기재를 구성하는 폴리에스터의 융점을 Tm(℃), 열고정 공정에 있어서의 열고정 온도를 T1(℃), 가로 연신 공정에 있어서의 1축 배향 폴리에스터 필름의 연신 배율을 a, 확장 공정에 있어서의 열완화된 폴리에스터 필름의 폭방향의 확장률의 백분율을 b(%), 냉각 공정에 있어서의 냉각 속도를 V(℃/분)로 했을 때, 상기 식 (1)로 산출되는 A, 상기 식 (2)로 산출되는 B, 및, 냉각 속도 V로부터 하기 식 (3)으로부터 산출되는 D가, 1~10000인 것이 바람직하다.

D=(A×B)²×V (3)

상기의 값 D가 상기의 범위가 되도록 각 공정의 조건을 설정함으로써 기능층의 두께 불균일이 저감되는 메커니즘의 상세는 명확하지 않지만, 상기의 냉각 속도 V의 범위, 및, 값 C의 범위를 특정한 것에 의하여 두께 불균일이 저감되는 메커니즘과 동일한 메커니즘이 추측된다.

상기의 값 D는, 상기의 관점에서, 0.1~6000이 바람직하고, 1~1500이 보다 바람직하다.

본 제조 방법의 세로 연신 공정 이외의 각 공정에 있어서의 폴리에스터 필름의 반송 속도는, 특별히 제한되지 않지만, 가로 연신 공정, 열고정 공정, 열완화 공정, 냉각 공정 및 확장 공정을 상기 연신기(100)를 이용하여 행하는 경우, 생산성 및 품질의 점에서, 폴리에스터 필름의 반송 속도는, 50~200m/분이 바람직하고, 80~150m/분이 보다 바람직하다. 또, 냉각 공정을 실시한 후, 상기의 권취 공정에 있어서 권취될 때까지의 폴리에스터 필름의 반송 속도는, 50~200m/분이 바람직하고, 80~150m/분이 보다 바람직하다. 세로 연신 공정에 있어서의 폴리에스터 필름의 반송 속도는, 상기와 같다.

또, 세로 연신 공정 이외의 각 공정에 있어서, 폴리에스터 필름에 부여되는 반송 방향의 장력은, 특별히 제한되지 않지만, 가로 연신 공정, 열고정 공정, 열완화 공정, 냉각 공정 및 확장 공정을 상기 연신기(100)를 이용하여 행하는 경우, 폴리에스터 필름에 부여되는 반송 방향의 장력은, 연신 조건에 따라 조절할 수 있다.

또, 냉각 공정을 실시한 후, 상기의 권취 공정에 있어서 권취될 때까지의 폴리에스터 필름에 부여되는 반송 방향의 장력은, 3~30N/m가 바람직하고, 5~20N/m가 보다 바람직하다.

[적층 필름]

본 필름의 용도는 특별히 제한되지 않지만, 기능층을 더 적층하여, 적층 필름을 제조하는 것이 바람직하다.

본 필름에 적층하는 기능층으로서는, 예를 들면, 가식층, 감광성 수지층, 자기층, 박리층, 점착층, 도전층, 굴절률 조제층, 및, 시인성층을 들 수 있다.

적층 필름으로서는 입자 함유층에 의한 역활성(반송성)을 유지하기 위하여, 입자 함유층이 폴리에스터 기재의 일방의 표면 상에만 마련되고, 또한, 폴리에스터 기재의 입자 함유층과는 반대 측의 표면 상에 기능층이 마련되어 있는 것이 바람직하다.

적층 필름의 보다 구체적인 예로서는, 기능층이 가식층인 가식 필름, 기능층이 감광성 수지층이며, 드라이 필름 레지스트의 지지체로서 이용되는 감광성 전사 필름, 기능층이 박리층인 박리 필름(드라이 필름 레지스트의 보호 필름, 세라믹 그린 시트 제조용 박리 필름, 반도체 공정 제조용 박리 필름), 기능층이 점착층인 점착 필름(반도체 공정 제조용 점착 필름), 기능층이 투명 도전층인 투명 도전성 기판용 필름, 기능층이 감광성 수지층 및 시인성층인 에칭 레지스트막 형성용 감광성 전사 필름, 및, 기능층이 감광성 수지층 및 굴절률 조제층인 터치 패널용 보호막 형성용 감광성 전사 필름을 들 수 있다.

본 필름의 표면에 기능층을 적층하는 방법은 특별히 제한되지 않지만, 기능층을 구성하는 재료를 포함하는 도포액을 2축 배향 폴리에스터 필름의 표면에 도포하여 기능층을 형성하는 것이 바람직하고, 생산성이 보다 우수한 점에서, 본 필름을 반송하면서, 기능층용 도포액을 본 필름의 표면에 도포한 후, 도막을 가열함으로써 기능층을 형성하는 것이 보다 바람직하다.

본 필름은, 기능층의 형성 공정에 있어서 가열 처리를 행하는 경우이더라도, 2축 배향 폴리에스터 필름에 있어서의 줄무늬 형상 결함 영역의 발생을 억제하고, 적층되는 기능성층의 두께 불균일을 억제할 수 있다.

적층 필름은, 본 필름 및 기능층 이외의 층을 가져도 된다. 본 필름 및 기능층 이외의 층으로서는, 예를 들면, 본 필름과 기능층의 밀착성을 향상시킬 목적으로 마련되는, 바인더 수지를 함유하는 하지(下地)층을 들 수 있다.

본 필름을 드라이 필름 레지스트의 지지체로서 적용하는 것이 바람직하다. 기능층으로서는 감광성 수지층이 마련되고, 가식층, 굴절률 조제층, 및/또는, 시인성층이 더 적층되어 있어도 된다. 기능층이 복수이면, 적층될 때마다 가열되어 두께 불균일이 발생하기 쉬워지는 경향이 있지만, 본 필름을 이용함으로써 두께 불균일의 과제를 해결할 수 있다.

감광성 수지층으로서는, 특별히 제한되지 않지만, 네거티브형인 것이 바람직하다. 구체적으로는, 국제 공개공보 제2018/105313호에 기재된 바인더 폴리머, 에틸렌성 불포화 화합물, 또는, 광중합 개시제를 바람직한 형태로서 들 수 있다. 감광성 수지층은, 환상 구조를 갖는 알칼리 가용성의 아크릴 수지와, 다관능 아크릴레이트와, 옥심계 광중합 개시제 혹은 비스이미다졸형 광중합 개시제를 갖는 층인 것이 보다 바람직하다.

터치 패널용 전극 보호막을 형성하기 위한 드라이 필름 레지스트 지지체의 경우에는, 감광성 수지층과는 별도로 굴절률 조정층이 적층되어 있는 것이 바람직하다. 굴절률 조정층의 바람직한 형태로서는, 일본 공개특허공보 2014-108541 공보에 기재된 제2 경화성 투명 수지층을 들 수 있다. 굴절률 조정층의 굴절률은, 1.6 이상이 바람직하고, 또, 굴절률 조정층은, 산화 타이타늄 및 산화 지르코늄 등의 굴절률이 높은 금속 산화 입자를 갖는 것이 바람직하다.

가식 패턴을 형성하기 위한 드라이 필름 레지스트 지지체의 경우에는, 감광성 수지층은 착색되어 있는 것이 바람직하다. 착색된 감광성 수지층으로서는, 국제 공개공보 제2017/208849호에 기재된 감광성 수지 조성물로 형성되는 것이 바람직하다. 착색된 감광성 수지층은, 착색제로서 안료를 갖는 층인 것이 바람직하고, 안료와, 바인더 폴리머와, 다관능 아크릴레이트와, 광중합 개시제를 갖는 층인 것이 보다 바람직하다.

50μm 이하의 미세 패턴의 형성에 이용하는 에칭 레지스트를 형성하기 위한 드라이 필름 레지스트 지지체의 경우에는, 감광성 수지층과는 별도로 시인성층이 적층되어 있는 것이 바람직하다. 시인성층이 존재함으로써, 패턴 잠상(潛像)을 확인하는 공정에 있어서 시인할 수 있다.

본 필름을 세라믹 그린 시트를 제조하기 위한 박리 필름으로서 적용하는 것도 바람직하다. 박리 필름의 경우에는, 기능층으로서는 박리층이 마련되는 경우가 많다. 박리층의 바람직한 형태로서는, 실리콘 수지를 갖는 층을 들 수 있다.

실시예

이하에 실시예를 들어 본 개시를 더 구체적으로 설명한다. 이하의 실시예에 나타내는 재료, 사용량, 비율, 처리 내용, 및, 처리 수순은, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 한, 적절히, 변경할 수 있다. 따라서, 본 개시의 범위는 이하에 나타내는 구체예에 제한되지 않는다. 또한, 특별히 설명이 없는 한, "부" 및 "%"는 질량 기준이다.

이하, 본 실시예에 있어서, 단순한 "필름"이라는 표기는, 폴리에스터 기재 단체, 및, 폴리에스터 기재와 입자 함유층을 갖는 양태의 양자를 포함함과 함께, 미연신 필름, 1축 배향 필름, 및, 2축 배향 필름 모두를 포함하는 것으로 한다.

또, 본 실시예의 각 공정에서는, 비접촉식 온도계(AD-5616(제품명), A&D사제, 방사율 0.95)를 이용하여, 필름의 폭방향 중앙부의 온도를 5회 계측하고, 얻어진 계측값의 산술 평균값을 필름의 표면 온도의 측정값으로 했다.

〔실시예 1〕

<압출 성형 공정>

중합 촉매로서 일본 특허공보 제5575671호에 기재된 타이타늄 화합물(시트르산 킬레이트 타이타늄 착체, VERTEC AC-420, 존슨·매티사제)을 이용하여, 폴리에틸렌테레프탈레이트의 펠릿을 제조했다. 구체적으로는, 1톤(1000kg)의 테레프탈산에 대하여, 에틸렌글라이콜을 390kg, 타이타늄 화합물을, 생성되는 폴리에틸렌테레프탈레이트에 대하여 Ti 원자가 9질량ppm이 되는 양으로, 이들을 혼합했다. 얻어진 혼합물을 반응 장치에 연속 공급하여 에스터화 반응을 행했다. 또한, 생성되는 폴리에틸렌테레프탈레이트에 대하여 Mg 원자가 81질량ppm이 되는 양의 아세트산 마그네슘 사수화물과, 생성되는 폴리에틸렌테레프탈레이트에 대하여 P 원자가 73질량ppm이 되는 양의 인산 트라이메틸을 혼합물에 첨가하고, 중축합 반응을 행하여, 폴리에틸렌테레프탈레이트의 펠릿을 제조했다.

얻어진 펠릿을, 함수율이 50ppm 이하가 될 때까지 건조시킨 후, 직경 30mm의 1축 혼련 압출기의 호퍼에 투입하고, 이어서, 280℃에서 용융하여 압출했다. 용융체(멜트)를, 여과기(구멍 직경 3μm)에 통과시킨 후, 다이로부터 25℃의 냉각 드럼에 압출함으로써, 폴리에틸렌테레프탈레이트로 이루어지는 미연신 필름을 얻었다. 또한, 압출된 용융체(멜트)는, 정전 인가법에 의하여 냉각 드럼에 밀착시켰다.

미연신 필름을 구성하는 폴리에틸렌테레프탈레이트의 융점(Tm)은 258℃이며, 유리 전이 온도(Tg)는 80℃였다.

<세로 연신 공정>

상기 미연신 필름에 대하여, 이하의 방법에 의하여 세로 연신 공정을 실시했다.

예열된 미연신 필름을, 하기의 조건으로, 주속이 상이한 2쌍의 롤의 사이로 통과시켜 세로 방향(반송 방향)으로 연신함으로써, 1축 배향 필름을 제작했다.

(세로 연신 조건)

예열 온도: 75℃

연신 온도: 90℃

연신 배율: 3.4배

연신 속도: 1300%/초

<입자 함유층 형성 공정>

세로 연신된 1축 배향 필름(폴리에스터 기재)의 편면에, 하기의 입자 함유층용 도포액을, 1축 배향 필름의 표면적에 대한 도포막의 고형분의 중량이 5.6g/m²가 되도록, 바 코터로 도포했다.

(입자 함유층용 도포액)

하기에 나타내는 각 성분을 혼합함으로써, 입자 함유층용 도포액(도포액 A)을 조제했다. 조제된 도포액 A에 대하여, 구멍 직경이 6μm인 필터(F20, 주식회사 말레 필터 시스템즈제)를 이용한 여과 처리, 및, 막탈기(2x6 레이디얼 플로 수퍼 포빅, 폴리포아 주식회사제)를 실시한 후, 1축 배향 필름의 표면에 도포하고, 100℃의 열풍 중에서 건조시켜 이활 도포층을 형성했다.

·아크릴 수지(메타크릴산 메틸, 스타이렌, 2-에톡시헥실아크릴레이트, 2-하이드록시에틸메타크릴레이트 및 아크릴산(59:8:26:5:2의 질량비로 함유)으로 이루어지는 코폴리머를, 고형분으로서 27.5질량% 함유하는 수분산액): 167부

·비이온계 계면활성제("나로액티(등록 상표) CL95), 산요 가세이 고교 주식회사제, 폴리옥시알킬렌알킬에터, 고형분 100질량%): 0.7부

·음이온계 계면활성제("라피졸(등록 상표) A-90", 니치유 주식회사제, 고형분 1질량% 물 희석액): 55.7부

·왁스("셀로졸(등록 상표) 524", 주쿄 유시 주식회사제, 에스터 왁스 분산물, 고형분 30질량%): 7부

·가교제("카보딜라이트(등록 상표) V-02-L2", 닛신보 케미컬 주식회사제, 카보다이이미드 화합물, 고형분 10질량% 물 희석액): 20.9부

·비응집 입자("스노텍스 XL", 평균 입자경 50nm, 콜로이달 실리카, 닛산 가가쿠 주식회사제, 고형분 40질량% 수분산액): 2.8부

·응집 입자("에어로질 OX50", 평균 2차 입자경 200nm, 응집 실리카, 평균 1차 입경 40nm, 닛폰 에어로질 주식회사제, 고형분 10질량% 수분산액): 2.95부

·물: 743부

<가로 연신 공정>

세로 연신 공정 및 입자 함유층 형성 공정을 행한 필름에 대하여, 텐터를 이용하여 하기의 조건으로 폭방향으로 연신하여, 2축 배향 필름을 제작했다.

(가로 연신 조건)

예열 온도: 100℃

연신 온도: 120℃

연신 배율: 4.3배

연신 속도: 50%/초

<열고정 공정>

상기 가로 연신 공정을 실시한 2축 배향 필름에 대하여, 텐터를 이용하여 하기 조건으로 가열함으로써, 필름을 열고정시키는 열고정 공정을 행했다.

(열고정 조건)

열고정 온도 T1: 227℃

열고정 시간: 6초간

<열완화 공정>

이어서, 열고정된 필름에 대하여, 하기 조건으로 가열함으로써, 필름의 긴장을 완화시키는 열완화 공정을 행했다. 또, 열완화 공정에 있어서, 필름의 양단을 파지하는 텐터의 파지 부재 사이의 거리(텐터폭)를 좁힘으로써, 열고정 공정 종료 시와 비교하여 필름폭을 축소했다. 하기의 열완화율 ΔLr은, 열완화 공정의 개시 시에 있어서의 필름폭 L1에 대한 열완화 공정의 종료 시에 있어서의 필름폭 L2로부터, Lr=(L1-L2)/L1×100의 식에 의하여 구했다.

(열완화 조건)

열완화 온도 T2: 190℃

열완화율 Lr: 4%

<냉각 공정, 및, 확장 공정>

열완화된 필름에 대하여, 하기 조건으로 냉각하는 냉각 공정을 행했다. 또, 냉각 공정에 있어서, 텐터폭을 넓힘으로써, 열완화 공정 종료 시와 비교하여 필름폭을 확장하는 확장 공정을 실시했다.

하기의 냉각 속도 V는, 필름이 연신기(100)의 냉각부(50)에 반입되고 나서 반출될 때까지의 체재 시간을 냉각 시간 ta로 하고, 냉각부(50)로의 반입 시에 측정한 필름 표면 온도와 냉각부(50)의 반출 시에 측정한 필름 표면 온도의 온도차 ΔT(℃)를, 냉각 시간 ta로 나눔으로써 구했다.

또, 하기의 확장률 ΔL은, 냉각 공정의 개시 시에 있어서의 폴리에스터 필름의 필름폭 L2에 대한 냉각 공정의 종료 시에 있어서의 필름폭 L3으로부터, ΔL=(L3-L2)/L2×100의 식에 의하여 구했다.

(냉각 조건)

냉각 속도 V: 2500℃/분

냉각 시간 ta: 3.1초간

(확장 조건)

확장률 ΔL: 0.6%

<권취 공정>

냉각 공정에 의하여 냉각된 필름에 대하여, 트리밍 장치를 이용하여, 필름의 폭방향의 양단으로부터 20cm의 위치에서 반송 방향을 따라 연속적으로 필름을 절단하여, 필름의 양 단부를 트리밍했다. 이어서, 필름의 양단으로부터 폭방향 10mm까지의 영역에 대하여, 압출 가공(널링)을 행한 후, 장력 40kg/m로 필름을 권취했다.

이상의 방법에 의하여, 2축 배향 필름을 제작했다. 얻어진 2축 배향 필름의 두께는 31μm이고, 폭은 1.5m이며, 권취 길이는 7000m였다. 또, 얻어진 2축 배향 필름의 입자 함유층의 두께는 40nm였다. 또한, 상술한 방법으로 측정한 결과, 얻어진 2축 배향 필름의 입자 함유층은, 평균 입자경이 50nm인 입자와, 평균 입자경이 200nm인 입자를 함유하는 것이 확인되었다.

〔실시예 2〕

입자 함유층용 도포액으로서, 비응집 입자를 포함하지 않는 것 이외에는 도포액 A와 동일한 조성을 갖는 도포액 B를 사용한 것 이외에는, 실시예 1에 기재된 방법에 따라, 2축 배향 필름을 제작했다.

〔실시예 3~11〕

열고정 공정에 있어서의 열고정 온도 T1, 냉각 공정에 있어서의 냉각 속도 V, 및, 확장 공정에 있어서의 확장률 ΔL이 후술하는 표 1에 기재된 수치가 되도록 제어한 것 이외에는, 실시예 1에 기재된 방법에 따라, 2축 배향 필름을 제작했다.

〔실시예 12~17〕

응집 입자를 함유하지 않으며, 비응집 입자로서 표 1에 기재된 입자를 사용하고, 또한, 입자 함유층의 두께를 표 1에 기재된 수치가 되도록 조정한 것 이외에는, 실시예 1에 기재된 방법에 따라, 2축 배향 필름을 제작했다.

표 1에 기재된 입자의 상세를 이하에 나타낸다.

450nm의 비응집 입자: 스노텍스 MP-4540M, 닛산 가가쿠 주식회사제, 평균 입자경 450nm, 콜로이달 실리카

200nm의 비응집 입자: 스노텍스 MP-2040, 닛산 가가쿠 주식회사제, 평균 입자경 200nm, 콜로이달 실리카

100nm의 비응집 입자: 스노텍스 ZL, 닛산 가가쿠 주식회사제, 평균 입자경 100nm, 콜로이달 실리카

50nm의 비응집 입자: 스노텍스 XL, 닛산 가가쿠 주식회사제, 평균 입자경 50nm, 콜로이달 실리카

300nm의 비응집 입자: 다이바이닐벤젠/스타이렌 공중합 가교 입자, 평균 입자경 300nm

〔실시예 18〕

실시예 1에서 실시한 압출 성형 공정 대신에, 공압출 성형에 의하여, 실시예 1의 압출 성형 공정에서 제조된 용융체와, 하기 수지 H의 용융체를, 25℃의 냉각 드럼에 공압출함으로써, 폴리에틸렌테레프탈레이트와 입자 함유층으로 이루어지는 미연신 필름을 제작한 것 이외에는, 실시예 1에 기재된 방법에 따라, 2축 배향 필름을 제작했다.

평균 입자경 300nm의 다이바이닐벤젠/스타이렌 공중합 가교 입자를 혼합한 것 이외에는 실시예 1에 있어서의 폴리에틸렌테레프탈레이트의 펠릿의 제조 방법에 따라, 비응집 입자를 함유하는 수지 H의 펠릿를 제조했다. 얻어진 펠릿을, 함수율이 50ppm 이하가 될 때까지 건조시킨 후, 직경 30mm의 1축 혼련 압출기의 호퍼에 투입하고, 이어서, 280℃에서 용융함으로써, 수지 H의 용융체를 제조했다.

얻어진 2축 배향 필름의 두께는 31μm이며, 입자 함유층의 두께는 2μm였다.

〔실시예 19~21〕

제조되는 2축 배향 폴리에스터 필름의 두께가 표 1에 기재된 수치가 되도록, 압출 성형 공정에 있어서, 폴리에틸렌테레프탈레이트로 이루어지는 미연신 필름의 두께를 조정한 것 이외에는, 실시예 1에 기재된 방법에 따라, 2축 배향 필름을 제작했다.

또한, 실시예 20에서는, 입자 함유층용 도포액으로서, 상기 도포액 F를 사용했다.

〔실시예 22〕

열고정 공정에 있어서, 열고정 온도 T1이 표 1에 기재된 수치가 되도록 제어한 것 이외에는, 실시예 1에 기재된 방법에 따라, 2축 배향 필름을 제작했다.

〔비교예 1~5〕

열고정 공정에 있어서의 열고정 온도 T1, 냉각 공정에 있어서의 냉각 속도 V, 및, 확장 공정에 있어서의 확장률 ΔL이 후술하는 표 1에 기재된 수치가 되도록 제어한 것, 및, 비교예 1~4에 있어서, 입자 함유층용 도포액으로서 상기 도포액 B를 사용한 것 이외에는, 실시예 1에 기재된 방법에 따라, 2축 배향 필름을 제작했다.

〔물성 측정〕

실시예 1~25 및 비교예 1~6의 각 2축 배향 필름에 대하여, 이하의 물성을 측정했다. 측정 결과를 표 1에 나타낸다.

또, 실시예 2~25 및 비교예 1~6의 각 2축 배향 필름에 대하여, 상술한 측정 방법에 따라, 입자 함유층의 두께와, 입자 함유층에 포함되는 입자의 평균 입자경을 측정했다. 이들의 측정 결과도 표 1에 나타낸다.

<밀도>

2축 배향 필름의 밀도(g/cm³)를, 전자 비중계(제품명 "SD-200L", 알파 미라주사제)를 이용하여, 측정했다.

<줄무늬 형상 결함 영역(90℃, 120℃)>

가열 반송 장치를 이용하여, 2축 배향 필름을 반송 속도 30m/분, 반송 방향의 장력 100N/m로 반송하면서 90℃ 또는 120℃에서 20초간 가열 처리했다. 가열 처리에 있어서의 가열 온도는, 필름의 표면 온도를 가리킨다. 가열 처리에 있어서의 가열 시간은, 필름의 표면 온도가 목적으로 하는 온도(90℃ 또는 120℃)에 도달한 시점부터 기산했다. 가열 처리 후의 2축 배향 필름을 흑색의 평판 상에 두고, 이어서, 실내의 천장에 설치된 형광등〔미쓰비시 덴키 주식회사제의 루피카 에이스(색 온도: 5000K, 평균 연색 평가수(Ra): 84)〕의 광이 반사하도록 시점을 바꾸면서 2축 배향 필름을 사선으로부터 육안으로 관찰했다. 1m×1m의 영역을 육안에 의하여 관찰하고, 2축 배향 필름의 표면에 있어서 형광등의 반사 이미지가 굴곡져 있는 영역을 줄무늬 형상 결함 영역으로 했다. 이어서, 관찰되는 줄무늬 형상 결함 영역의 면적의 합계의 2축 배향 필름의 관찰 영역의 전체 면적에 대한 비율(면적비)을 앞서 설명한 방법(상기 "줄무늬 형상 결함 영역"의 항목 참조)으로 산출했다.

<팽창률(90℃, 120℃)>

2축 배향 필름의 90℃ 및 120℃에 있어서의 폭방향의 팽창률을, 열기계 분석 장치(TMA-60, 주식회사 시마즈 세이사쿠쇼제)를 이용하여, 앞서 설명한 방법(상기 "팽창률"의 항목 참조)에 따라 측정했다.

<최대 산 높이 Rp>

2축 배향 필름의 표면의 최대 산 높이 Rp는, 제조된 2축 배향 필름을 잘라내어 테스트 피스를 제작하고, 얻어진 테스트 피스의 표면을, 앞서 설명한 미세 형상 측정 장치를 이용하여 앞서 설명한 조건으로 측정하며, 그 후, 내장되어 있는 해석 소프트웨어로 입자 해석(복수 레벨)을 실시함으로써, 구했다.

최대 산 높이 Rp의 측정은, 슬라이스 레벨을 10nm의 등간격으로 설정하여, 측정 위치를 변경하면서 각 슬라이스 레벨의 평균 직경과 밀도를 5회 측정하고, 이들의 평균값을 산출하여, 최대 산 높이 Rp의 측정값으로 했다. 테스트 피스는, 시야 측정의 X 방향이 폴리에스터 필름의 폭방향이 되도록 시료대에 고정했다.

[평가]

실시예 1~22 및 비교예 1~5의 각 2축 배향 필름에 대하여, 이하의 평가를 행했다. 평가 결과를 표 1에 나타낸다.

〔두께 불균일〕

각 실시예 및 비교예에서 제조된 2축 배향 필름을 반송하면서, 슬릿상 노즐을 이용하여 하기 처방 A로 이루어지는 하지층용 도포액을 2축 배향 필름의 표면에 도포한 후, 90℃의 온도 조건하에서 도포막을 건조함으로써, 하지층을 형성했다. 다음으로, 하지층이 형성된 2축 배향 필름을 반송하면서, 하기 처방 B로 이루어지는 흑색층용 도포액을 하지층 상에 도포한 후, 90℃의 온도 조건하에서 도포막을 건조함으로써 흑색층을 형성했다. 하지층 및 흑색층을 형성할 때의 2축 배향 필름의 반송 속도는, 70m/분이었다.

하지층 및 흑색층을 마련한 2축 배향 필름을 라이트 테이블에 두고, 2축 배향 필름으로부터 1m 떨어진 위치에서 흑색층의 색 불균일을 육안으로 관찰했다.

하지층의 형성 시, 및, 흑색층의 형성 시의 건조 온도 조건을 모두 120℃로 변경한 것 이외에는 상기의 방법에 따라, 하지층 및 흑색층을 마련한 2축 배향 필름을 형성하고, 육안으로의 관찰을 행했다.

도포막의 건조 온도 조건을 90℃ 또는 120℃로 하여 제조된 각각의 2축 배향 필름의 관찰 결과에 근거하여, 이하의 기준에 따라 2축 배향 필름의 두께 불균일을 평가했다.

(처방 A: 하지층용 도포액)

·PVA205(폴리바이닐알코올, 주식회사 구라레제, 비누화도 88%, 중합도 550): 32.2질량부

·폴리바이닐피롤리돈(아이에스피·재팬 주식회사제, K-30): 14.9부

·증류수: 524질량부

·메탄올: 429질량부

(처방 B: 흑색층용 도포액)

·일본 특허공보 제5320652호의 단락 0036~단락 0042의 기재에 따라 제작한 수지 피복 카본 블랙: 13.1질량부

·분산제: 국제 공개공보 2017/208849호의 단락 [0103]에 기재된 분산제 1 0.65질량부

·폴리머(벤질메타크릴레이트/메타크릴산=72/28몰비의 랜덤 공중합체물, 중량 평균 분자량 3.7만): 6.72질량부

·프로필렌글라이콜모노메틸에터아세테이트: 79.53질량부

(평가 기준)

A: 건조 온도 조건이 90℃ 및 120℃ 중 어느 경우에 있어서도, 흑색층의 색 불균일이 확인되지 않는다.

B: 건조 온도 조건이 90℃ 또는 120℃ 중 어느 하나인 경우에 있어서, 흑색층의 색 불균일이 약간 확인되었다.

C: 건조 온도 조건이 120℃인 경우에만, 흑색층의 색 불균일이 확인되었다.

D: 건조 온도 조건이 90℃ 및 120℃ 중 어느 경우에 있어서도, 흑색층의 색 불균일이 명확하게 확인되었다.

〔전사 고장〕

상기 두께 불균일의 평가에 있어서 제작한 하지층 및 흑색층을 갖는 2축 배향 필름의 폭이 45cm가 되도록 양 단부를 트리밍했다. 이어서, 트리밍된 2축 배향 필름을, 장력 11.5kg/m로 콘택트 롤러를 누르면서, 직경 3인치(1인치=2.54cm)의 ABS(아크릴로나이트릴-뷰타다이엔-스타이렌) 수지제 권취 코어에 감았다. 감은 2축 배향 필름의 길이 방향의 길이는 100m였다.

얻어진 시험체를, 25℃, 50%RH의 조건하에서 30일간 정치했다. 30일간 경과 후, 상기 권취 코어에 감긴 2축 배향 필름에 있어서의 흑색층의 표면을 형광등〔미쓰비시 덴키 주식회사제의 루피카 에이스(색 온도: 5000K, 평균 연색 평가수(Ra): 84)〕의 아래에서 관찰했다. 형광등의 반사광에 의하여 필름 표면의 요철을 육안으로 관찰하고, 이하의 기준에 따라, 전사 고장을 평가했다.

(평가 기준)

A: 표면의 요철이 전혀 보이지 않아, 매우 양호한 상태이다.

B: 약간의 표면 요철을 시인할 수 있지만, 매우 경미한 요철이다.

C: 경미한 표면 요철을 시인할 수 있다.

표 1에, 각 실시예 및 비교예의 평가 결과를 각각 나타낸다.

표 1 중, "입자 함유층"의 "형성 방법"란은, 각 실시예 및 비교예에 있어서, 입자 함유층 형성 공정으로서 하기의 방법으로 입자 함유층을 형성한 것을 의미한다.

A: 세로 연신 공정 후, 가로 연신 공정보다 전에, 1축 배향 필름 상에 도포액을 도포함으로써 형성(인라인 코팅법).

B: 공압출 성형에 의하여, 미연신 필름과 동시에 형성.

[표 1]

[표 2]

표 1로부터, 냉각 공정에 있어서의 폴리에스터 필름의 냉각 속도 V가 2200~3500℃/분의 범위 내이며, 또한, 상기의 조건 1을 충족시키는 실시예 1~22는, 비교예 1~5에 비하여, 적층되는 기능층의 두께 불균일을 억제할 수 있는 것이 확인되었다.

또, 표 1로부터, 특정 가열 처리를 행한 후, 폴리에스터 필름에 관찰되는 줄무늬 형상 결함 영역의 면적이 관찰 영역의 전체 면적에 대하여 40% 이하인 실시예 1~22는, 비교예 1~5에 비하여, 적층되는 기능층의 두께 불균일을 억제할 수 있는 것이 확인되었다.

그중에서도, 실시예 1~5 및 9~11의 비교로부터, 식 (1)로 산출되는 A와 식 (2)로 산출되는 B의 곱인 값 C의 절댓값이, 0.1~0.7인 경우, 적층되는 기능층의 두께 불균일을 보다 억제할 수 있는 것이 확인되고, 상기의 값 C가 0.1~0.5인 경우, 적층되는 기능층의 두께 불균일을 더 억제할 수 있는 것이 확인되었다.

또, 실시예 1 및 6~8의 비교로부터, 냉각 공정에 있어서의 냉각 속도 V가, 2200~3000℃인 경우, 적층되는 기능층의 두께 불균일을 보다 억제할 수 있으며, 2300~2600℃/분인 경우, 적층되는 기능층의 두께 불균일을 더 억제할 수 있는 것이 확인되었다.

또, 실시예 1 및 12~17의 비교로부터, 입자 함유층의 표면의 최대 산 높이 Rp가 0.2μm 이하인 경우, 전사 고장을 보다 억제할 수 있는 것이 확인되었다.

또, 실시예 12 및 실시예 18의 비교에 의하여, 입자 함유층이 포함하는 입자가 수지 입자인 경우, 전사 고장을 보다 억제할 수 있는 것이 확인되었다.

또, 실시예 1 및 12~17의 비교로부터, 평균 입자경이 0.4μm 이하인 입자를 갖는 경우, 전사 고장을 보다 억제할 수 있는 것이 확인되었다.

〔실시예 23〕

실시예 1에서 제작한 2축 배향 필름을 지지체로서 이용하여, 이하의 수순으로, 가식용 전사 필름을 제작했다.

실시예 1에서 제작한 2축 배향 필름의 입자 함유층과는 반대 측의 표면에, 국제 공개공보 2017/208849호의 [0106]에 기재된 열가소성(비감광성) 수지층 도포액을 도포하고, 80℃에서 건조시켜 열가소성(비감광성) 수지층을 형성했다. 계속해서, 상술한 처방 A로 이루어지는 하지층용 도포액을 도포하고, 120℃에서 건조함으로써 하지층을 형성했다. 그 위에 하기 처방 C로 이루어지는 감광성 수지층 형성용 조성물을 도포하고, 90℃에서 건조함으로써 감광성 수지층을 형성했다. 하지층의 두께는 1.6μm, 감광성 수지층의 두께는 2.0μm였다. 마지막으로 감광성 수지층의 표면에 보호 필름으로서, 두께 12μm의 폴리프로필렌 필름을 압착하여 가식용 전사 필름을 제작했다.

얻어진 가식용 전사 필름은, 색 불균일이 없고, 전사 고장도 없이, 양호한 특성을 갖고 있었다. 또, 얻어진 가식용 전사 필름을 이용하여, 국제 공개공보 2017/208849호의 [0109]의 기재를 참고로 가식 패턴을 형성한 결과, 양호한 패턴을 형성할 수 있었다.

<처방 C: 감광성 수지층 형성용 조성물>

·앞서 설명한 흑색 안료 분산액 180.9부

·A-NOD-N(신나카무라 가가쿠 고교(주), 2관능, 분자량 226) 3.29부

·A-DCP(신나카무라 가가쿠 고교(주), 2관능, 분자량 304) 9.9부

·8UX-015 A(다이세이 파인 케미컬(주), 15관능) 6.59부

·A-DPH(신나카무라 가가쿠 고교(주), 6관능, 분자량 578) 2.20부

·바인더(벤질메타크릴레이트/메타크릴산의 공중합체, 70/30질량%, 중량 평균 분자량(Mw)=5000, 고형분량=40.5질량%) 141.2부

·중합 개시제 OXE-02(BASF사, IRGACURE OXE 02, 에탄온, 1-[9-에틸-6-(2-메틸벤조일)-9H-카바졸-3-일], 1-(0-아세틸옥심)) 6.75부

·프로필렌글라이콜모노메틸에터아세테이트 250부

·메틸에틸케톤 404.2부

〔실시예 24〕

실시예 21에서 제작한 2축 배향 필름을 지지체로서 이용하여, 이하의 수순으로, 터치 패널 보호막 형성용의 드라이 필름을 제작했다.

실시예 21에서 제작한 2축 배향 필름의 입자 함유층과는 반대 측의 표면에, 하기 처방 D로 이루어지는 제2 투명 전사층 형성용 도포액을 도포하고, 90℃에서 건조하여 제2 투명 전사층을 형성했다. 이어서, 하기 처방 E로 이루어지는 제1 투명 전사층 형성용 도포액을, 제2 투명 전사층 위에 도포한 후, 70℃에서 건조시켜 제1 투명 전사층을 형성했다. 제2 투명 전사층의 두께는 5.0μm, 제1 투명 전사층의 두께는 약 80nm였다. 마지막으로, 제1 투명 전사층의 표면에, 보호 필름으로서, 두께 16μm의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 압착하여, 터치 패널 보호막 형성용의 전사 필름을 제작했다.

얻어진 전사 필름은, 두께 불균일에 기인하는 굴절률 변화가 확인되지 않고, 전사 고장도 없이, 양호한 특성을 갖고 있었다. 얻어진 전사 필름에 대하여, 국제 공개공보 2018/186428호의 [0122]~[0128]을 참고로 콘택트 홀을 형성한 결과, 양호한 패턴을 형성할 수 있었다.

<처방 D: 제2 투명 전사층 형성용 도포액>

·아로닉스 TO-2349(도아 고세이(주), 카복실산 함유 모노머) 0.93부

·A-DCP(신나카무라 가가쿠 고교(주), 2관능, 분자량 304) 5.6부

·8UX-015A(다이세이 파인 케미컬(주), 유레테인아크릴레이트) 2.80부

·바인더(사이클로헥실메타크릴레이트/메타크릴산 메틸/메타크릴산/메타크릴산의 글리시딜메타크릴레이트 부가물의 공중합체, 51.5/2/26.5/20%, 중량 평균 분자량(Mw)=29000, 산가=95mgKOH) 15.59부

·중합 개시제 IRGACURE OXE-02(BASF사) 0.11부

·중합 개시제 IRGACURE 907(BASF사, 2-메틸-1-(4-메틸싸이오페닐)-2-모폴리노프로판-1-온) 0.21부

·N-페닐글라이신 0.03부

·블록 아이소사이아네이트(아사히 가세이 케미컬즈(주), 듀라네이트 WT32-B75P) 3.63부

·벤즈이미다졸 0.09부

·계면활성제(DIC(주), 메가팍 F-551) 0.02부

·1-메톡시-2-프로필아세테이트 31.08부

·메틸에틸케톤 40.0부

<처방 E: 제1 투명 전사층 형성용 도포액>

·나노 유스 OZ-S30M(ZrO₂ 입자 메탄올 분산액, 닛산 가가쿠 고교(주), 불휘발분 30.5%) 4.34부

·암모니아수(25%) 7.82부

·모노아이소프로판올아민 0.02부

·바인더(알릴메타크릴레이트/메타크릴산 공중합체, 40/60mol%, 중량 평균 분자량(Mw)=38000) 0.24부

·아로닉스 TO-2349(도아 고세이(주)) 0.03부

·벤조트라이아졸 0.03부

·계면활성제(DIC(주), 메가팍 F-444) 0.01부

·이온 교환수 21.5부

·메탄올 66.0부

〔실시예 25〕

실시예 21에서 제작한 2축 배향 필름을 지지체로서 이용하여, 이하의 수순으로, 에칭 레지스트 형성용의 드라이 필름을 제작했다.

실시예 21에서 제작한 2축 배향 필름의 입자 함유층과는 반대 측의 표면에, 하기 처방 F로 이루어지는 열가소성 수지층 형성용 도포액을 도포하고, 80℃에서 건조하여 열가소성 수지층을 형성했다. 이어서, 하기 처방 G로 이루어지는 수용성 수지층 형성용 도포액을, 열가소성 수지층 위에 도포한 후, 80℃에서 건조시켜 수용성 수지층을 형성했다. 또한, 하기 처방 H로 이루어지는 감광성 수지층 형성용 도포액을, 수용성 수지층 위에 도포한 후, 80℃에서 건조시켜 감광성 수지층을 형성했다. 열가소성 수지층의 두께는 2μm, 수용성 수지층의 두께는 1μm, 감광성 수지층의 두께는 2μm였다. 마지막으로, 감광성 수지층의 표면에, 보호 필름으로서, 두께 16μm의 폴리에틸렌테레프탈레이트 필름을 압착하여, 에칭 레지스트 형성용의 전사 필름을 제작했다.

얻어진 전사 필름에 대하여, 국제 공개공보 2019/151534호의 [0429]~[0430]을 참고로 노광하고, 시인성을 확인한 결과, 라인 앤드 스페이스 패턴을 명확하게 시인할 수 있었다.

<처방 F: 열가소성 수지층 형성용 도포액>

·벤질메타크릴레이트/메타크릴산/아크릴산의 중합체(75/10/15질량%, 분자량 3만, 고형분 농도 30%) 22.7부

·3, 6-비스(다이페닐아미노)플루오란 0.12부

·일본 공개특허공보 2013-047765호의 단락 0227에 기재된 A-1, 옥심설포네이트형 광산발생제 0.2부

·트라이사이클로데케인다이메탄올다이아크릴레이트 3.32부

·8UX-015A(다이세이 파인 케미컬(주), 15관능) 1.66부

·아로닉스 TO-2349(도아 고세이(주)) 0.55부

·계면활성제(DIC(주), 메가팍 F-552) 0.02부

<처방 G: 수용성 수지층 형성용 도포액>

·폴리바이닐알코올(구라레 포발 4-88LA, (주)구라레제) 3.22부

·폴리바이닐피롤리돈(닛폰 쇼쿠바이(주)제, K-30) 1.49부

·계면활성제(메가팍 F-444, DIC(주)제) 0.0035부

·메탄올(미쓰비시 가스 가가쿠(주)제) 57.1부

·이온 교환수 38.12부

<처방 H: 감광성 수지층 형성용 도포액>

·스타이렌/메타크릴산/메타크릴산 메틸의 중합체(52/29/19질량%, 분자량 6만, 고형분 농도 30%) 25.2부

·류코 크리스탈 바이올렛 0.06부

·광중합 개시제(2-(2-클로로페닐)-4,5-다이페닐이미다졸 이량체) 1.03부

·4,4'-비스(다이에틸아미노)벤조페논 0.04부

·N-페닐카바모일메틸-N-카복시메틸아닐린 0.02부

·에톡시화 비스페놀 A 다이메타크릴레이트 NK 에스터 BPE-500(신나카무라 가가쿠 고교(주)제) 5.61부

·아로닉스 M-270(도아 고세이(주)제) 0.58부

·페노싸이아진 0.04부

·4-하이드록시메틸-4-메틸-1-페닐-3-피라졸리돈 0.002부

·계면활성제(DIC(주), 메가팍 F-552) 0.048부

·프로필렌글라이콜모노메틸에터아세테이트 19.7부

·메틸에틸케톤 43.8부

〔실시예 26〕

실시예 1에서 제작한 2축 배향 필름을 지지체로서 이용하여, 이하의 수순으로, 세라믹 그린 시트 제조용의 박리 필름을 제작했다.

실시예 1에서 제작한 2축 배향 필름의 입자 함유층과는 반대 측의 표면에, 하기 처방 J로 이루어지는 박리층 형성용 도포액을 도포하고, 120℃에서 건조하여 박리층을 형성했다. 박리층의 두께는 0.1μm였다. 이어서, 하기 처방 K로 이루어지는 세라믹 슬러리를, 건조 후의 두께가 0.5μm가 되도록 박리층 위에 도포한 후, 90℃에서 건조시켰다. 슬러리면과 입자 함유층면을 중첩하고, 10분간, 1kg/cm²의 하중을 가한 후, 박리 필름을 박리하여, 세라믹 그린 시트를 얻었다.

얻어진 세라믹 그린 시트는, 두께 불균일도 없고 전사 고장도 없이, 양호한 특성을 갖고 있었다.

<처방 J: 박리층 형성용 도포액>

·실리콘 수지(도레이 다우코닝(주)제, SRX-345, 부가 반응형의 실리콘) 10부

·백금 촉매(도레이 다우코닝(주)제, SRX-212) 0.1부

·톨루엔/메틸에틸케톤 혼합 용매 490부

<처방 K: 세라믹 슬러리>

·폴리바이닐뷰티랄(세키스이 가가쿠 고교(주)제, 에스렉 BH-3) 5부

·타이타늄산 바륨(후지 타이타늄 고교(주)제, HPBT) 50부

·톨루엔/에탄올 혼합 용매 45부

2a~2l: 파지 부재
10: 예열부
20: 연신부
30: 열고정부
40: 열완화부
50: 냉각부
60a, 60b: 환상 레일
100: 연신기
200: 필름
P, Q: 파지 해제점
MD: 반송 방향(길이 방향)
TD: 폭방향
L0, L1, L2, L3: 필름폭

Claims (21)

1. 폴리에스터를 함유하는 용융 수지를 필름상으로 압출하여, 폴리에스터 기재를 적어도 포함하는 미연신 폴리에스터 필름을 형성하는 압출 성형 공정과,
   상기 미연신 폴리에스터 필름을 반송 방향으로 연신하여 1축 배향 폴리에스터 필름을 형성하는 세로 연신 공정과,
   상기 1축 배향 폴리에스터 필름을 폭방향으로 연신하여 2축 배향 폴리에스터 필름을 형성하는 가로 연신 공정과,
   상기 2축 배향 폴리에스터 필름을 가열하여 열고정하는 열고정 공정과,
   상기 열고정 공정에 의하여 열고정된 폴리에스터 필름을 상기 열고정 공정보다 낮은 온도에서 가열하여 열완화하는 열완화 공정과,
   상기 열완화 공정에 의하여 열완화된 폴리에스터 필름을 냉각하는 냉각 공정과,
   상기 냉각 공정에 있어서, 상기 열완화된 폴리에스터 필름을 폭방향으로 확장하는 확장 공정을 갖는,
   폴리에스터 기재와, 상기 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면 상에 있는 입자를 함유하는 입자 함유층을 갖는 폴리에스터 필름의 제조 방법으로서,
   상기 냉각 공정에 있어서의 상기 폴리에스터 필름의 냉각 속도 V가, 2200~3500℃/분이며, 또한,
   하기 조건 1을 충족시키는, 폴리에스터 필름의 제조 방법.
   조건 1: 상기 폴리에스터의 융점을 Tm(℃), 상기 열고정 공정에 있어서의 열고정 온도를 T1(℃), 상기 가로 연신 공정에 있어서의 상기 1축 배향 폴리에스터 필름의 연신 배율을 a, 상기 확장 공정에 있어서의 상기 열완화된 폴리에스터 필름의 폭방향의 확장률의 백분율을 b(%)로 했을 때, 하기 식 (1)로 산출되는 A와 하기 식 (2)로 산출되는 B의 곱인 값 C가, -4.0~4.0이다. 단, 상기 A 및 B 중 어느 일방만이 0인 경우는 제외한다.
   A=Tm-T1-30 (1)
   B=a/5-b (2)
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 A, 상기 B, 및, 상기 냉각 속도 V로부터 하기 식 (3)에 의하여 산출되는 값 D가, 1~10000인, 제조 방법.
   D=(A×B)²×V (3)
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 폴리에스터 필름의 두께가 50μm 미만인, 제조 방법.
4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 세로 연신 공정과 상기 가로 연신 공정 사이에, 상기 입자를 함유하는 도포액을 이용하여 상기 입자 함유층을 형성하는 공정을 더 갖거나, 또는,
   상기 압출 성형 공정에 있어서, 상기 입자 및 바인더를 함유하는 제2 용융체를 상기 용융 수지와 동시에 압출함으로써, 상기 입자 함유층을 형성하는 공정을 더 갖는, 제조 방법.
5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 열완화 공정에 있어서의 상기 폴리에스터 필름의 표면 온도 T2가, 210℃ 이하인, 제조 방법.
6. 청구항 1 내지 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 냉각 공정에 의한 상기 폴리에스터 필름의 냉각 속도 V가, 2200~3000℃/분인, 제조 방법.
7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 b가, 0% 초과 1.2% 이하인, 제조 방법.
8. 폴리에스터 기재와,
   상기 폴리에스터 기재의 적어도 일방의 표면 상에 있는, 입자를 함유하는 입자 함유층을 갖는 폴리에스터 필름으로서,
   상기 폴리에스터 필름의 두께가 50μm 미만이며,
   상기 폴리에스터 필름에 대하여, 반송 속도 30m/분, 및, 반송 방향의 장력 100N/m의 조건으로 반송하면서, 필름 표면의 온도가 90℃가 되는 조건으로 20초간 가열 처리를 행한 후, 상기 폴리에스터 필름에 관찰되는 줄무늬 형상 결함 영역의 면적의 합계가, 관찰 영역의 전체 면적에 대하여 40% 이하인, 폴리에스터 필름.
9. 청구항 8에 있어서,
   상기 폴리에스터 필름의 90℃에 있어서의 폭방향의 팽창률이, 상기 폴리에스터 필름의 30℃에 있어서의 폭방향의 치수에 대하여, -0.15~0.15%인, 폴리에스터 필름.
10. 청구항 8 또는 청구항 9에 있어서,
    상기 폴리에스터 필름의 밀도가, 1.39~1.41g/cm³인, 폴리에스터 필름.
11. 청구항 8 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 폴리에스터 기재의 두께가, 3~40μm이며,
    상기 입자 함유층의 두께가, 0.001~2.5μm 인, 폴리에스터 필름.
12. 청구항 8 내지 청구항 11 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입자 함유층이, 평균 입자경이 10nm 이상 1μm 미만인 입자 P를 함유하는, 폴리에스터 필름.
13. 청구항 12에 있어서,
    상기 입자 P의 평균 입자경이, 상기 입자 함유층의 두께보다 큰, 폴리에스터 필름.
14. 청구항 8 내지 청구항 13 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입자 함유층이, 평균 입자경이 10~100nm인 입자 P1을 함유하는, 폴리에스터 필름.
15. 청구항 8 내지 청구항 14 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입자 함유층이, 평균 입자경이 100nm 초과 400nm 이하인 입자 P2를 함유하는, 폴리에스터 필름.
16. 청구항 8 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 입자 함유층이 포함하는 입자가 수지 입자이거나, 또는,
    상기 입자 함유층이 포함하는 입자가 무기 입자이며, 또한, 상기 폴리에스터 필름의 적어도 일방의 표면의 최대 산 높이 Rp가 5~200nm인, 폴리에스터 필름.
17. 청구항 8 내지 청구항 16 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 폴리에스터 기재가 입자를 실질적으로 함유하지 않는, 폴리에스터 필름.
18. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 기재된 제조 방법에 의하여 제조된 폴리에스터 필름, 또는, 청구항 8 내지 청구항 17 중 어느 한 항에 기재된 폴리에스터 필름으로서, 폴리에스터 기재의 일방의 표면 상에만 입자 함유층을 갖는 폴리에스터 필름과,
    상기 폴리에스터 기재의 상기 입자 함유층과는 반대 측의 표면 상에 있으며, 가식층, 감광성 수지층, 및, 박리층으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 기능층을 갖는, 적층 필름.
19. 청구항 18에 있어서,
    상기 기능층이 가식층이며, 상기 적층 필름이 가식 필름인, 적층 필름.
20. 청구항 18에 있어서,
    상기 기능층이 감광성 수지층이며, 상기 적층 필름이 감광성 전사 필름인, 적층 필름.
21. 청구항 18에 있어서,
    상기 기능층이 박리층이며, 상기 적층 필름이 세라믹 그린 시트 제조용 박리 필름인, 적층 필름.

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