JP7428771B1 - ガスセンサおよびガスセンサを備えたガス警報器 - Google Patents
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Abstract
Description
酸化スズまたは酸化インジウムを主成分とする第2ガス感応部、前記第2ガス感応部を加熱するための第2加熱部、および前記第2ガス感応部の抵抗値変化を検知するための第2検知電極を備え、検知対象ガスに対する検知感度が前記第1検知素子とは異なる第2検知素子と、
を備えたガスセンサであって、
前記ガスセンサは、前記第1検知素子と前記第2検知素子との間の前記検知対象ガスに対する検知感度の差に基づいて、前記検知対象ガスを検知するように構成される、
ガスセンサ。
(1)に記載のガスセンサ。
前記第1検知素子が、前記第1ガス感応部を覆う触媒層を備えないか、または前記第1ガス感応部を覆う、前記第2触媒層とは異なる第1触媒層を備える、
(1)または(2)に記載のガスセンサ。
(1)~(3)のいずれか1つに記載のガスセンサ。
(3)に記載のガスセンサ。
前記第1触媒層が、シリカ、シリカアルミナおよびゼオライトのいずれかを含む、
(3)または(5)に記載のガスセンサ。
(1)~(6)のいずれか1つに記載のガスセンサ。
第1検知素子として、図2に示される第1検知素子3を作製した。第1検知素子の各構成要素は、以下の要領で形成した。
第2検知素子として、図2に示される第2検知素子4を作製した。第2検知素子の各構成要素は、以下の要領で形成した。
第1検知素子および第2検知素子を、図1に示されるように、第1ブリッジ回路および第2ブリッジ回路にそれぞれ組み込んで、検知対象ガスであるシラン、ならびに干渉ガスであるエタノールおよび水素が大気中にそれぞれ含まれる環境において、第1検知素子および第2検知素子のそれぞれの素子出力(ブリッジ回路内の電位差の変化、上述した検知信号に対応)を測定した。第1検知素子の第1ガス感応部および第2検知素子の第2ガス感応部の測定時の温度は、第1加熱部および第2加熱部に所定量の電流を流すことにより、400℃とした。図3(a)は、シラン、エタノール、水素のそれぞれの濃度に対する第1検知素子の素子出力の変化を示し、図3(b)は、シラン、エタノール、水素のそれぞれの濃度に対する第2検知素子の素子出力の変化を示している。図4は、図3(a)の第1検知素子の素子出力から図3(b)の第2検知素子の素子出力を差し引いた素子出力のガス濃度に対する変化を示している。
上述した第1検知素子において、第1ガス感応部を形成する際のモリブデン酸アンモニウム水溶液の濃度を変更することにより、モリブデン酸化物の添加量の異なる第1ガス感応部を形成した。このとき、ランタン酸化物の添加量は、0.1モル%とした。作製した第1検知素子を、図1に示されるように、第1ブリッジ回路に組み込んで、1ppmのシランが大気中に含まれる環境において、第1検知素子の素子出力を測定した。第1検知素子の第1ガス感応部の測定時の温度は、第1加熱部に所定量の電流を流すことにより、400℃とした。図5は、添加したモリブデン酸化物の添加量に対する第1検知素子の素子出力の変化を示している。
上述した第1検知素子において、第1ガス感応部を形成する際の硝酸ランタン水溶液の濃度を変更することにより、ランタン酸化物の添加量の異なる第1ガス感応部を形成した。このとき、モリブデン酸化物の添加量は、0.2モル%とした。作製した第1検知素子を、図1に示されるように、第1ブリッジ回路に組み込んで、1ppmのシランが大気中に含まれる環境において、第1検知素子の素子出力を測定した。また、それとは別に、100ppmの水素が大気中に含まれる環境において、第1検知素子の素子出力を測定した。第1検知素子の第1ガス感応部の測定時の温度は、第1加熱部に所定量の電流を流すことにより、400℃とした。図6は、添加したランタン酸化物の添加量に対する第1検知素子の素子出力(シラン1ppm)および素子出力比(水素100ppm/シラン1ppm)の変化を示している。
2 ガスセンサ
3 第1検知素子
31 第1ガス感応部
32 第1加熱部
33 第1検知電極
34 第1触媒層
4 第2検知素子
41 第2ガス感応部
42 第2加熱部
43 第2検知電極
44 第2触媒層
5 制御部
6 電源
7 入力部
8 記憶部
9 出力部
BC1 第1ブリッジ回路
BC2 第2ブリッジ回路
E 電源
R0、R1、R2 固定抵抗
V 電位差計
Claims (8)
- 酸化スズまたは酸化インジウムを主成分とする第1ガス感応部、前記第1ガス感応部を加熱するための第1加熱部、および前記第1ガス感応部の抵抗値変化を検知するための第1検知電極を備えた第1検知素子と、
酸化スズまたは酸化インジウムを主成分とする第2ガス感応部、前記第2ガス感応部を加熱するための第2加熱部、および前記第2ガス感応部の抵抗値変化を検知するための第2検知電極を備え、検知対象ガスに対する検知感度が前記第1検知素子とは異なる第2検知素子と、
を備えたガスセンサであって、
前記ガスセンサは、前記第1検知素子と前記第2検知素子との間の前記検知対象ガスに対する検知感度の差に基づいて、前記検知対象ガスを検知するように構成され、
前記第1検知素子が、前記第1ガス感応部を覆う第1触媒層を備え、
前記第2検知素子が、前記第2ガス感応部を覆う、前記第1触媒層とは異なる第2触媒層を備え、
前記第1触媒層が、干渉ガスに対する前記第1検知素子の検知感度を低下させるように構成され、
前記第2触媒層が、前記検知対象ガスおよび前記干渉ガスに対する前記第2検知素子の検知感度を低下させるように構成される、
ガスセンサ。 - 酸化スズまたは酸化インジウムを主成分とする第1ガス感応部、前記第1ガス感応部を加熱するための第1加熱部、および前記第1ガス感応部の抵抗値変化を検知するための第1検知電極を備えた第1検知素子と、
酸化スズまたは酸化インジウムを主成分とする第2ガス感応部、前記第2ガス感応部を加熱するための第2加熱部、および前記第2ガス感応部の抵抗値変化を検知するための第2検知電極を備え、検知対象ガスに対する検知感度が前記第1検知素子とは異なる第2検知素子と、
を備えたガスセンサであって、
前記ガスセンサは、前記第1検知素子と前記第2検知素子との間の前記検知対象ガスに対する検知感度の差に基づいて、前記検知対象ガスを検知するように構成され、
前記検知対象ガスに対する検知感度の差が、ケイ素-水素結合含有ガスに対する検知感度の差であり、
前記第1検知素子が、前記第1ガス感応部を覆う第1触媒層を備え、
前記第2検知素子が、前記第2ガス感応部を覆う第2触媒層を備え、
前記検知対象ガスに対する前記第1検知素子の検知感度が、前記検知対象ガスに対する前記第2検知素子の検知感度よりも高くなるように、前記第1触媒層が、シリカ、シリカアルミナおよびゼオライトのいずれかを含み、前記第2触媒層が、アルミナを含む、
ガスセンサ。 - 前記第1検知素子と前記第2検知素子との間の前記検知対象ガスに対する検知感度の差が、前記第1検知素子と前記第2検知素子との間の干渉ガスに対する検知感度の差よりも大きい、
請求項1に記載のガスセンサ。 - 前記検知対象ガスに対する検知感度の差が、ケイ素-水素結合含有ガスに対する検知感度の差である、
請求項1に記載のガスセンサ。 - 前記第2触媒層が、アルミナを含む、
請求項1に記載のガスセンサ。 - 前記第1触媒層が、シリカ、シリカアルミナおよびゼオライトのいずれかを含む、
請求項1または5に記載のガスセンサ。 - 前記第1検知素子および前記第2検知素子が組み込まれる前記ガスセンサが、単一のガスセンサとして構成される、
請求項1または2に記載のガスセンサ。 - 請求項1または2に記載のガスセンサを備えたガス警報器。
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JP3923154B2 (ja) * | 1997-12-02 | 2007-05-30 | 松下エコシステムズ株式会社 | ガスセンサ |
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Patent Citations (5)
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JP2015034796A (ja) | 2013-08-09 | 2015-02-19 | 新コスモス電機株式会社 | 半導体式ガス検知素子 |
JP2015094641A (ja) | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 新コスモス電機株式会社 | 環境監視システム |
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