JP7427878B2 - 光学デバイス、および、光学デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
図1~図8を参照して、光学デバイス、および、光学デバイスの製造方法の第1実施形態を説明する。光学デバイスは、光学デバイスに入射した光のなかから特定の波長域の光を取り出す機能を有する。光学デバイスの選択対象の波長域は特に限定されないが、例えば、光学デバイスは、人間の肉眼で視認可能な光、すなわち、可視領域の光のなかから特定の波長域の光を取り出す。以下において、可視領域の光の波長は、400nm以上800nm以下とする。
図1(a)が示すように、光学デバイス10は、基材11、第1低屈折率領域12、第1格子領域13、中間領域14、第2格子領域15、第2低屈折率領域16、および、頂部領域17を備えている。これらの各領域は、層状に広がっており、基材11に近い位置から、第1低屈折率領域12、第1格子領域13、中間領域14、第2格子領域15、第2低屈折率領域16、および、頂部領域17がこの順に並んでいる。各領域の並ぶ方向が第1方向であり、第1方向は、すなわち、各領域および光学デバイス10の厚さ方向である。また、基材11に対して頂部領域17の位置する側が光学デバイス10の表面側であり、頂部領域17に対して基材11の位置する側が、光学デバイス10の裏面側である。図1(b)は、第1格子領域13における第1方向と直交する断面を示し、図1(c)は、中間領域14における第1方向と直交する断面を示し、図1(d)は、第2格子領域15における第1方向と直交する断面を示す。
第1格子領域13における格子構造の周期、すなわち、第1格子高屈折率部13aの配列の周期が、第1周期P1であり、第1周期P1は、可視領域の光の波長よりも小さい。同様に、第2格子領域15における格子構造の周期、すなわち、第2格子高屈折率部15aの配列の周期が、第2周期P2であり、第2周期P2は、可視領域の光の波長よりも小さい。すなわち、第1周期P1および第2周期P2はサブ波長周期であり、第1格子領域13および第2格子領域15の各々はサブ波長格子を含む。
結果として、光学デバイス10の表面側には、第2格子領域15で強められた波長域の光と、第1格子領域13で強められた波長域の光とが射出される。そして、光学デバイス10を構成する各領域を透過した光が、透過光として光学デバイス10の裏面側に射出される。以上のように、光学デバイス10によれば、反射光として、各格子領域13,15で強められた波長域の光を取り出すことができる。したがって、格子領域が1つである形態と比較して、取り出される反射光の強度が高められる。また、透過光として、各格子領域13,15で強められた波長域とは異なる波長域の光を取り出すことができる。
上述の光学デバイス10において、第1格子領域13で共鳴を起こす光の波長域と、第2格子領域15で共鳴を起こす光の波長域とは、取り出したい光の波長域に応じて設定されればよい。例えば、より狭域で高い強度の反射光を得たい場合、すなわち、反射光の波長選択性をより高めたい場合には、第1格子領域13で共鳴を起こす光の波長域と、第2格子領域15で共鳴を起こす光の波長域とが近いほど好ましい。
高屈折率層22の材料の屈折率をn1、凹凸構造層21の材料の屈折率をn2とするとき(n1>n2)、第1格子領域13の平均屈折率NA1は、下記式(1)によって表される。
NA1=n1×R1+n2×(1-R1) ・・・(1)
OT1=T1×NA1
=T1×{n1×R1+n2×(1-R1)} ・・・(2)
高屈折率層22の材料の屈折率をn1、低屈折率層23の材料の屈折率をn3とするとき(n1>n3)、第2格子領域15の平均屈折率NA2は、下記式(3)によって表される。
NA2=n1×R2+n3×(1-R2) ・・・(3)
OT2=T2×NA2
=T2×{n1×R2+n3×(1-R2)} ・・・(4)
本願の発明者によって、高い波長選択性を得るためには、OT2/OT1の値は0.5以上2.0以下であることが好ましく、より高い波長選択性を得るためには、OT2/OT1の値は0.625以上1.6以下であることが好ましいことが確認された。
R3≦R2-(1-R1)=R1+R2-1 ・・・(5)
図2~図4を参照して、光学デバイス10の製造方法について説明する。
図2が示すように、まず、基材11の表面に、低屈折率材料からなる層を形成し、この層の表面に凹凸構造を形成することによって、凹凸構造層21を形成する。凹凸構造層21は、基材11に沿って広がる平坦部21cと、平坦部21cから突き出た複数の凸部21aとを有するとともに、凸部21a間に位置する部分である複数の凹部21bを有する。凸部21aおよび凹部21bは、第2方向に沿って帯状に延びる。
上記実施形態の光学デバイス10は以下のように変更してもよい。
図5が示すように、光学デバイス10は、基材11を備えていなくてもよい。この場合、低屈折率材料からなる板状体の表面に凹凸構造を形成することによって、凹凸構造層21を形成する。例えば、熱可塑性樹脂からなるシートを用いて、当該シートの表面に凹凸構造を形成してもよいし、合成石英からなる基板を用いて、当該基板の表面に凹凸構造を形成してもよい。合成石英基板に対する凹凸構造の形成には、ドライエッチング法等の公知の技術が用いられればよい。
上述した光学デバイス10の具体的な適用例について説明する。光学デバイス10は、光の色の変換や色分解を行う装置に用いられる波長選択フィルタや、表示体に適用される。以下、光学デバイス10を表示体に用いる形態について説明する。
(1)第1格子領域13と第2格子領域15とにおいて、導波モード共鳴現象が起こり、2つの格子領域13,15の各々で強められた光が反射光として得られるため、1つの格子領域のみを有する光学デバイスと比較して、反射光として取り出される光の強度が高められる。また、高屈折率層22の表面の凹凸に追従した表面形状を有する低屈折率層23が設けられているため、低屈折率層23の厚さおよび屈折率の調整により、各格子領域13,15で強められた反射光とは異なる波長域の光を打ち消して、こうした光が上記反射光とともに射出されることを抑えることができる。したがって、光学デバイス10の波長選択性が高められる。
図9~図12を参照して、光学デバイス、および、光学デバイスの製造方法の第2実施形態を説明する。以下では、第2実施形態と第1実施形態との相違点を中心に説明し、第1実施形態と同様の構成については同じ符号を付してその説明を省略する。
図9および図10を参照して、第2実施形態の光学デバイスの構成について説明する。図9が示すように、第2実施形態の光学デバイス30は、第1実施形態にて説明した第1低屈折率領域12、第1格子領域13、中間領域14、第2格子領域15、第2低屈折率領域16、および、頂部領域17からなる構造体である共鳴構造部31を、2つ備えている。ただし、頂部領域17における第2頂部低屈折率部17bは、低屈折率材料で充填されている。
2つの共鳴構造部31A,31Bが同一の構造周期Pkを有する構成では、光学デバイス30が有する4つの格子領域13,15において、共鳴を起こす光の波長域のばらつきが小さくなる。4つの格子領域13,15の各々で強められた波長域の反射光が光学デバイス30の表面側に射出されることにより、第1実施形態の光学デバイス10と比較して、反射光における特定の範囲の波長域の強度がより大きくなり、反射光の波長選択性がより高められる。このとき、第1共鳴構造部31Aと第2共鳴構造部31Bとで、光学膜厚OT1に対する光学膜厚OT2の比が一致している構成であれば、4つの格子領域13,15における光学膜厚のばらつきが小さくなり、各格子領域13,15で共鳴を起こす光の波長域がより近くなるため好ましい。
第2実施形態の光学デバイス30の構成は、第1実施形態で示した適用例と同様に、波長選択フィルタに適用されてもよいし、表示体60が備える表示要素に適用されてもよい。
図11および図12を参照して、第2実施形態の光学デバイス30の製造方法について説明する。まず、第2実施形態の光学デバイス30の製造に際しては、第1実施形態と同様に、基材11上に凹凸構造層21と高屈折率層22と低屈折率層23とが順に形成される。
また、光学デバイス30は、第1方向に並ぶ3以上の共鳴構造部31を備えていてもよい。光学デバイス30が複数の共鳴構造部31を備える形態において、これらの共鳴構造部31における構造周期Pkが同一であれば、共鳴構造部31の数が多いほど、反射光の強度は高められる。また、複数の共鳴構造部31に、構造周期Pkが同一である共鳴構造部31と、構造周期Pkが互いに異なる共鳴構造部31とが含まれてもよい。こうした構成によれば、光学デバイス30から出射される反射光や透過光の色の細かな調整も可能となる。
(7)光学デバイス30が、第1方向に並ぶ複数の共鳴構造部31を備える構成によれば、光学デバイス10が4つ以上の格子領域13,15を備えるため、光学デバイス30の波長選択性をさらに高めることや、反射光と透過光とに含まれる波長域の調整の自由度を高めることが可能である。
図13を参照して、光学デバイス、および、光学デバイスの製造方法の第3実施形態を説明する。第3実施形態は、第2実施形態と比較して、2つの共鳴構造部におけるサブ波長格子の配列方向が異なる。以下では、第3実施形態と第2実施形態との相違点を中心に説明し、第2実施形態と同様の構成については同じ符号を付してその説明を省略する。なお、図13は、光学デバイスの一部分を示す図であり、光学デバイスの構造を理解しやすくするために、凹凸構造層21、高屈折率層22、低屈折率層23、埋込層24の各々に、互いに異なる濃度のドットを付して示している。
図13が示すように、第3実施形態の光学デバイス40は、第2実施形態と同様に、第1方向に隣り合う2つの共鳴構造部31A,31Bを備えている。ただし、第3実施形態においては、第1共鳴構造部31Aの格子領域13,15が有する格子要素、すなわち、格子高屈折率部13a,15aおよび格子低屈折率部13b,15bの延びる方向と、第2共鳴構造部31Bの格子領域13,15が有する各格子要素の延びる方向とは互いに異なる。言い換えれば、第1共鳴構造部31Aが有するサブ波長格子の配列方向と、第2共鳴構造部31Bが有するサブ波長格子の配列方向とが互いに異なっている。
上述のように、サブ波長格子が、1つの方向に帯状に延びる格子高屈折率部13a,15aから構成されている場合、各格子領域13,15では、特定の方向へ偏光した光が多重反射して共鳴を起こし、反射光として射出される。上記特定の方向は、サブ波長格子の配列方向に依存する。第1共鳴構造部31Aと第2共鳴構造部31Bとでサブ波長格子の配列方向が異なることにより、第1共鳴構造部31Aの格子領域13,15と第2共鳴構造部31Bの格子領域13,15とでは、多重反射する光の偏光方向は互いに異なる。したがって、第3実施形態の光学デバイス40によれば、様々な方向への偏光成分を含む入射光に対して、効率的に反射光が出射されるため、反射光の強度がより高められる。
第3実施形態の光学デバイス40は、第2実施形態と同様に、2つの凹凸構造体32を、頂部領域17同士が向かい合うように対向させ、2つの凹凸構造体32の間の領域を低屈折率材料で埋めることによって形成される。ここで、第3実施形態では、一方の凹凸構造体32における凸部21aの延びる方向と、他方の凹凸構造体32における凸部21aの延びる方向とが直交するように、これらの凹凸構造体32を向かい合わせて低屈折率材料により接合する。
(12)第1共鳴構造部31Aの格子要素の延びる方向と、第2共鳴構造部31Bの格子要素の延びる方向とが、互いに異なるため、第1共鳴構造部31Aの格子領域13,15と第2共鳴構造部31Bの格子領域13,15とでは、入射光に含まれる光のうち、互いに異なる方向へ偏光した光が共鳴を起こして、それぞれの共鳴構造部31から射出される。したがって、様々な方向への偏光成分を含む入射光に対して、効率的に反射光が出射されるため、反射光の強度がより高められる。
図14を参照して、光学デバイス、および、光学デバイスの製造方法の第4実施形態を説明する。第4実施形態は、第1実施形態と比較して、サブ波長格子の配列が異なる。以下では、第4実施形態と第1実施形態との相違点を中心に説明し、第1実施形態と同様の構成については同じ符号を付してその説明を省略する。
詳細には、図14(b)が示すように、第1格子領域13において、複数の第1格子低屈折率部13bは、二次元格子状に配置されている。二次元格子の種類は特に限定されず、互いに異なる方向に延びる2つの平行線群が交差することによって構成される格子の格子点に第1格子低屈折率部13bが位置していればよい。例えば、第1格子低屈折率部13bが構成する二次元格子は、正方格子であってもよいし、六方格子であってもよい。第1格子領域13における格子構造の周期である第1周期P1は、二次元格子が延びる各方向において一致している。第1格子高屈折率部13aは、複数の第1格子低屈折率部13bの間を埋めており、連続する1つの高屈折率部を構成している。
(13)サブ波長格子を構成する格子要素が二次元格子状に並ぶため、様々な方向への偏光成分を含む入射光に対して、効率的に反射光が出射される。そのため、反射光の強度がより高められる。
上記各実施形態は、以下のように変更して実施することが可能である。
・上記各実施形態において、光学デバイスの中間領域14は、中間高屈折率部14aを有していなくてもよい。すなわち、中間領域14は、第1中間低屈折率部14bと第2中間低屈折率部14cとから構成されていてもよい。高屈折率層22の製造条件によっては、中間高屈折率部14aを有さない光学デバイス、すなわち、凸部21aの側面への高屈折率層22の成膜がない光学デバイスの製造が可能である。
Claims (11)
- 凸部または凹部である凹凸要素であって、サブ波長周期で並ぶ複数の前記凹凸要素が構成する凹凸構造を表面に有する凹凸構造層と、
前記凹凸構造上に位置して当該凹凸構造に追従した表面形状を有する高屈折率層であって、前記凹凸構造の底部に位置してサブ波長格子を構成する第1格子高屈折率部、および、前記凹凸構造の頂部に位置してサブ波長格子を構成する第2格子高屈折率部を含む前記高屈折率層と、
前記高屈折率層上に位置して当該高屈折率層の表面の凹凸に追従した形状の表面および裏面を有する低屈折率層と、を備え、
前記高屈折率層は、前記凹凸構造層および前記低屈折率層の各々よりも、屈折率の高い材料から構成され、
前記凹凸構造層と前記高屈折率層と前記低屈折率層とから各サブ波長格子が低屈折率の領域に埋めこまれた構造が形成されており、この構造から、導波モード共鳴現象によって特定の波長域の反射光が射出され、
前記低屈折率層は、前記特定の波長域とは異なる波長域の射出光を干渉によって弱めるように構成されている
光学デバイス。 - 前記凹凸構造層、前記高屈折率層、および、前記低屈折率層の各々は、可視領域の光に対して透明な材料から構成されており、
前記凹凸構造層は、紫外線硬化性樹脂、熱硬化性樹脂、および、熱可塑性樹脂のいずれかから構成され、
前記低屈折率層は、無機化合物材料から構成される
請求項1に記載の光学デバイス。 - 前記第1格子高屈折率部の厚さをT1、前記第2格子高屈折率部の厚さをT2、
前記高屈折率層の材料の屈折率をn1、前記凹凸構造層の材料の屈折率をn2、前記低屈折率層の材料の屈折率をn3、
前記第1格子高屈折率部を含みその厚さ方向と直交する断面にて当該第1格子高屈折率部が占める面積比率をR1、前記第2格子高屈折率部を含みその厚さ方向と直交する断面にて当該第2格子高屈折率部が占める面積比率をR2、とするとき、
n1>n2、n1>n3、かつ、R1+R2>1であって、
T1×{n1×R1+n2×(1-R1)}で表される第1パラメータに対する、T2×{n1×R2+n3×(1-R2)}で表される第2パラメータの比が、0.5以上2.0以下である
請求項1または2に記載の光学デバイス。 - 前記高屈折率層は、前記第1格子高屈折率部と前記第2格子高屈折率部との間で前記凹凸要素の側面に沿って延びる中間高屈折率部を含み、
前記中間高屈折率部を含みその厚さ方向と直交する断面にて当該中間高屈折率部が占める面積比率をR3とするとき、R3≦R1+R2-1が満たされる
請求項3に記載の光学デバイス。 - 前記凹凸構造層、前記高屈折率層、および、前記低屈折率層を有する部分が共鳴構造部であり、
前記光学デバイスは、前記共鳴構造部の厚さ方向に沿って並ぶ複数の前記共鳴構造部を備える
請求項1~4のいずれか一項に記載の光学デバイス。 - 前記複数の共鳴構造部には、第1共鳴構造部と第2共鳴構造部とが含まれ、前記第1共鳴構造部が有する前記凹凸要素の配列の周期と、前記第2共鳴構造部が有する前記凹凸要素の配列の周期とは、一致している
請求項5に記載の光学デバイス。 - 前記複数の共鳴構造部には、第1共鳴構造部と第2共鳴構造部とが含まれ、前記第1共鳴構造部が有する前記凹凸要素の配列の周期と、前記第2共鳴構造部が有する前記凹凸要素の配列の周期とは、互いに異なる
請求項5に記載の光学デバイス。 - 前記複数の共鳴構造部には、第1共鳴構造部と第2共鳴構造部とが含まれ、前記第1共鳴構造部が有する前記凹凸要素の配列の方向と、前記第2共鳴構造部が有する前記凹凸要素の配列の方向とは、互いに異なる
請求項5に記載の光学デバイス。 - サブ波長周期で並ぶ複数の凸部または凹部である凹凸要素を表面に有し、第1低屈折率材料から構成される凹凸構造層を形成する第1工程と、
前記第1低屈折率材料よりも高い屈折率を有する高屈折率材料を用いて、前記凹凸構造層の表面に沿って、当該凹凸構造層が有する凹凸構造の底部に位置してサブ波長格子を構成する第1格子高屈折率部と、前記凹凸構造の頂部に位置してサブ波長格子を構成する第2格子高屈折率部とを含む高屈折率層を形成する第2工程と、
前記高屈折率材料よりも低い屈折率を有する第2低屈折率材料を用いて、前記高屈折率層の表面に沿って、当該高屈折率層の表面の凹凸に追従した形状の表面および裏面を有する低屈折率層を形成する第3工程と、を含み、
前記凹凸構造層と前記高屈折率層と前記低屈折率層とから各サブ波長格子が低屈折率の領域に埋めこまれた構造が形成され、この構造から、導波モード共鳴現象によって特定の波長域の反射光が射出されるとともに、前記低屈折率層が、前記特定の波長域とは異なる波長域の射出光を干渉によって弱めるように、前記凹凸構造層と前記高屈折率層と前記低屈折率層とを形成する
光学デバイスの製造方法。 - 前記第1工程では、前記第1低屈折率材料である樹脂からなる塗工層に凹版を押し付け、前記樹脂を硬化させた後に前記凹版を離型して前記凹版の有する凹凸を前記樹脂に転写することにより、前記凹凸構造層を形成し、
前記第2工程では、前記高屈折率層が、前記第1格子高屈折率部と前記第2格子高屈折率部との間で前記凹凸要素の側面に沿って延びる中間高屈折率部を含み、前記高屈折率層の厚さ方向に沿った方向から見て、前記第2格子高屈折率部が前記中間高屈折率部の外側まで広がるように、物理気相成長法を用いて前記高屈折率層を形成し、
前記第3工程では、物理気相成長法を用いて前記低屈折率層を形成する
請求項9に記載の光学デバイスの製造方法。 - 前記凹凸構造層、前記高屈折率層、および、前記低屈折率層を有する構造体が凹凸構造体であり、
2つの前記凹凸構造体を、前記低屈折率層同士が向かい合うように対向させ、2つの前記凹凸構造体の間の領域を、前記高屈折率材料よりも低い屈折率を有する第3低屈折率材料で埋めることによって、埋込層を形成する第4工程をさらに備える
請求項9または10に記載の光学デバイスの製造方法。
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