JP7407718B2 - 熱電モジュール - Google Patents

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Description

本発明は熱電モジュールに関し、より詳細には熱電素子の基板および電極構造に関する。
熱電現象は材料内部の電子(electron)と正孔(hole)の移動によって発生する現象であって、熱と電気間の直接的なエネルギー変換を意味する。
熱電素子は熱電現象を利用する素子を総称し、P型熱電材料とN型熱電材料を金属電極間に接合させてPN接合対を形成する構造を有する。
熱電素子は電気抵抗の温度変化を利用する素子、温度差によって起電力が発生する現象であるゼーベック効果を利用する素子、電流による吸熱または発熱が発生する現象であるペルティエ効果を利用する素子などに区分され得る。
熱電素子は家電製品、電子部品、通信用部品などに多様に適用されている。例えば、熱電素子は冷却用装置、温熱用装置、発電用装置などに適用され得る。これにより、熱電素子の熱電性能に対する要求がますます高まっている。
熱電素子は基板、電極および熱電レッグを含み、上部基板と下部基板間に複数の熱電レッグがアレイの形態で配置され、複数の熱電レッグと上部基板間に複数の上部電極が配置され、複数の熱電レッグとおよび下部基板間に複数の下部電極が配置される。ここで、複数の上部電極および複数の下部電極は熱電レッグを直列または並列連結する。
一般的に、上部基板と下部基板は酸化アルミニウム(Al)基板であり得る。平坦度の問題のため、酸化アルミニウム(Al)基板は一定水準以上の厚さを維持しなければならず、これにより、熱電素子の全体の厚さが厚くなる問題がある。
一方、熱電モジュールが冷却用として使用される時に冷蔵庫または浄水器に適用可能であるが、低温の具現による結露と湿気によって熱電素子が腐食する問題がある。このような問題を解決するために従来の場合、熱電素子の側面に直接シーリング材を配置して水分の浸透を防止していたが、熱電素子にシーリング材が直接付着するため熱電モジュール内で熱流動性能が低下する問題がある。
本発明が達成しようとする技術的課題は熱電素子の基板および電極構造を提供することである。
本発明が達成しようとする他の技術的課題は熱電モジュールの密封構造を提供することである。
本発明の一実施例に係る熱電モジュールは第1金属支持体、前記第1金属支持体上に配置され、エポキシ樹脂および無機充填材を含む樹脂組成物からなる第1熱伝導層、前記第1熱伝導層の上に配置され、シリコン樹脂および無機充填材を含む樹脂組成物からなる第2熱伝導層、前記第2熱伝導層上に配置された複数の第1電極、前記複数の第1電極上に交互に配置される複数のP型熱電レッグおよび複数のN型熱電レッグ、前記複数のP型熱電レッグおよび複数のN型熱電レッグ上に配置された複数の第2電極、前記複数の第2電極上に配置され、前記第1熱伝導層をなす樹脂組成物と同一の樹脂組成物からなる第3熱伝導層、そして前記第3熱伝導層上に配置された第2金属支持体を含み、前記第2熱伝導層は前記第1熱伝導層の上面および前記第1熱伝導層の側面を囲むように配置される。
前記第1金属支持体の幅は前記第1熱伝導層の幅より大きく、前記第2熱伝導層は前記第1熱伝導層の側面と前記第1金属支持体の上面の少なくとも一部上にさらに配置され得る。
前記複数の第2電極と前記第3熱伝導層間に配置され、前記第2熱伝導層をなす樹脂組成物と同一の樹脂組成物からなる第4熱伝導層をさらに含み、前記第4熱伝導層は前記第3熱伝導層の上面および前記第3熱伝導層の側面を囲むように配置され得る。
前記第2熱伝導層の幅は前記第1熱伝導層の幅の1.01~1.2倍であり得る。
前記第2熱伝導層は前記第1熱伝導層と前記複数の第1電極を接着させることができる。
前記第2熱伝導層は前記第1熱伝導層と前記第1金属支持体をさらに接着させることができる。
前記複数の第1電極の側面の少なくとも一部は前記第2熱伝導層に埋め立てられ得る。
前記複数の第1電極の側面の厚さの0.1~0.9倍が前記第2熱伝導層に埋め立てられ得る。
前記第1熱伝導層をなす樹脂組成物に含まれる無機充填材は酸化アルミニウム、窒化アルミニウムおよび窒化ホウ素のうち少なくとも一つを含むことができる。
前記窒化ホウ素は板状の窒化ホウ素が固まった窒化ホウ素凝集体であり得る。
前記第2熱伝導層をなす樹脂組成物に含まれるシリコン樹脂はPDMS(polydimethylsiloxane)であり、前記第2熱伝導層をなす樹脂組成物に含まれる無機充填材は酸化アルミニウムであり得る。
本発明の他の実施例に係る熱電モジュールは第1熱伝導プレート;前記第1熱伝導プレート上に配置された熱電素子;前記熱電素子上に配置される第2熱伝導プレート;および前記熱電素子を囲み、前記第1熱伝導プレートと前記第2熱伝導プレート間に配置された密封部;を含み、前記熱電素子は第1基板;前記第1基板上に配置された複数の熱電レッグ;前記複数の熱電レッグ上に配置された第2基板;前記第1基板と前記複数の熱電レッグ間に配置された複数の第1電極と前記第2基板と前記複数の熱電レッグ間に配置された複数の第2電極を含む電極;および前記電極に電気的に連結された口出し線;を含み、前記密封部は前記熱電素子が収容されるように中心部にホールが形成された胴体;および前記胴体の下面と前記第1熱伝導プレート間および前記胴体の上面と前記第2熱伝導プレート間にそれぞれ配置された密封部材;を含む。
前記胴体は下面で所定の深さで形成され、前記ホールの周りに沿って形成された第1溝;および上面で所定の深さで形成され、前記ホールの周りに沿って形成された第2溝;を含むことができる。
前記密封部材は前記胴体の第1溝に挿入される第1密封部材;および前記胴体の第2溝に挿入される第2密封部材;を含むことができる。
前記胴体の下面上で前記第1溝と前記ホール間に配置される第3密封部材;および前記胴体の下面上で前記第1溝と前記胴体の外側の角間に配置される第4密封部材;を含むことができる。
前記第3密封部材および前記第4密封部材は周りが閉じられた形状であり得る。
前記胴体の上面上で前記第2溝と前記ホール間に配置される第5密封部材;および前記胴体の上面上で前記第2溝と前記胴体の外側の角間に配置される第6密封部材;を含むことができる。
前記第5密封部材および前記第6密封部材は周りが閉じられた形状であり得る。
前記第1基板は前記第1熱伝導プレート上に配置され、エポキシ樹脂および無機充填材を含む樹脂組成物からなる第1熱伝導層および前記第1熱伝導層の上に配置され、シリコン樹脂および無機充填材を含む樹脂組成物からなる第2熱伝導層を含むことができる。
前記胴体は前記第1口出し線および第2口出し線が貫通する貫通ホールを含むことができる。
前記胴体の高さは前記第1溝の深さ対比3倍~5倍であり得る。
前記第1溝と前記第2溝の最短距離は前記第1溝の深さ対比1倍~3倍であり得る。
前記第1溝の深さは前記胴体の下面から前記貫通ホールまでの最短距離に比べて小さくてもよい。
前記胴体は発泡ポリスチレン(EPS、expanded polystyrene)であり得る。
前記第1熱伝導プレート、前記胴体および前記第2熱伝導プレートのそれぞれは上部から下部に貫通する締結ホールをそれぞれ含み、前記締結ホールに挿入されて前記第1熱伝導プレート、前記胴体および前記第2熱伝導プレートを締結する締結部材をさらに含むことができる。
本発明の実施例によると、熱伝導度が優秀であり、信頼性が高い熱電素子を得ることができる。特に、本発明の実施例に係る熱電素子は薄い厚さで具現可能であるだけでなく温度の変化に対する抵抗性が高いため、温度の変化による破損または剥離現象を最小化することができる。
本発明の他の実施例によると、防水および防塵性能が優秀な熱電モジュールを得ることができる。
熱電素子の断面図。 熱電素子の斜視図。 熱電モジュールの下部基板側の断面図の一例。 熱電モジュールの下部基板側の断面図の他の例。 本発明の一実施例に係る熱電モジュールの下部基板側の断面図。 本発明の他の実施例に係る熱電モジュールの下部基板側の断面図。 本発明のさらに他の実施例に係る熱電モジュールの下部基板側の断面図。 本発明のさらに他の実施例に係る熱電モジュールの下部基板側の断面図。 本発明のさらに他の実施例に係る熱電モジュールの下部基板側の断面図。 本発明の他の実施例に係る熱電モジュールの断面図。 図10の密封部の上面図。 図10の胴体の斜視図。 本発明のさらに他の実施例に係る熱電モジュールの断面図。 本発明のさらに他の実施例に係る熱電モジュールの密封部の上面図。 本発明の実施例に係る熱電素子が浄水器に適用された例示図。 本発明の実施例に係る熱電素子が冷蔵庫に適用された例示図。
本発明は多様な変更を加えることができ、多様な実施例を有することができるところ、特定の実施例を図面に例示して説明する。しかし、これは本発明を特定の実施形態に対して限定しようとするものではなく、本発明の思想および技術範囲に含まれるすべての変更、均等物乃至代替物を含むものと理解されるべきである。
第2、第1等のように序数を含む用語は多様な構成要素の説明に使われ得るが、前記構成要素は前記用語によって限定されはしない。前記用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的でのみ使われる。例えば、本発明の権利範囲を逸脱することなく第2構成要素は第1構成要素と命名され得、同様に第1構成要素も第2構成要素と命名され得る。および/またはという用語は複数の関連した記載された項目の組み合わせまたは複数の関連した記載された項目のいずれかの項目を含む。
ある構成要素が他の構成要素に「連結されて」いるとか「接続されて」いると言及された時には、その他の構成要素に直接的に連結されていたりまたは接続されていてもよいが、中間に他の構成要素が存在してもよいと理解されるべきである。その反面、ある構成要素が他の構成要素に「直接連結されて」いるとか「直接接続されて」いると言及された時には、中間に他の構成要素が存在しないものと理解されるべきである。
本出願で使った用語は単に特定の実施例を説明するために使われたものであって、本発明を限定しようとする意図ではない。単数の表現は文脈上明白に異なって意味しない限り、複数の表現を含む。本出願で、「含む」または「有する」等の用語は明細書上に記載された特徴、数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものが存在することを指定しようとするものであって、一つまたはそれ以上の他の特徴や数字、段階、動作、構成要素、部品またはこれらを組み合わせたものなどの存在または付加の可能性をあらかじめ排除しないものと理解されるべきである。
異なって定義されない限り、技術的または科学的な用語を含んでここで使われるすべての用語は、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者によって一般的に理解されるものと同じ意味を有している。一般的に使われる辞書に定義されているような用語は、関連技術の文脈上有する意味と一致する意味を有すると解釈されるべきであり、本出願で明白に定義しない限り、理想的または過度に形式的な意味で解釈されない。
以下、添付された図面を参照して実施例を詳細に説明するものの、図面符号にかかわらず同一または対応する構成要素は同じ参照番号を付し、これに対する重複する説明は省略する。
図1は熱電素子の断面図であり、図2は熱電素子の斜視図である。
図1~図2を参照すると、熱電素子100は下部基板110、下部電極120、P型熱電レッグ130、N型熱電レッグ140、上部電極150および上部基板160を含む。
下部電極120は下部基板110とP型熱電レッグ130およびN型熱電レッグ140の下面間に配置され、上部電極150は上部基板160とP型熱電レッグ130およびN型熱電レッグ140の上面間に配置される。これにより、複数のP型熱電レッグ130および複数のN型熱電レッグ140は下部電極120および上部電極150によって電気的に連結される。下部電極120と上部電極150間に配置され、電気的に連結される一対のP型熱電レッグ130およびN型熱電レッグ140は単位セルを形成することができる。
例えば、口出し線181、182を通じて下部電極120および上部電極150に電圧を印加すると、ペルティエ効果によってP型熱電レッグ130からN型熱電レッグ140に電流が流れる基板は熱を吸収して冷却部として作用し、N型熱電レッグ140からP型熱電レッグ130に電流が流れる基板は加熱して発熱部として作用することができる。
ここで、P型熱電レッグ130およびN型熱電レッグ140は、ビズマス(Bi)およびテルル(Te)を主原料で含むビスマステルライド(Bi-Te)系熱電レッグであり得る。P型熱電レッグ130は全体重量100wt%に対してアンチモン(Sb)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)、鉛(Pb)、ホウ素(B)、ガリウム(Ga)、テルル(Te)、ビズマス(Bi)およびインジウム(In)のうち少なくとも一つを含むビスマステルライド(Bi-Te)系主原料物質99~99.999wt%とBiまたはTeを含む混合物0.001~1wt%を含む熱電レッグであり得る。例えば、主原料物質がBi-Se-Teであり、BiまたはTeを全体重量の0.001~1wt%でさらに含むことができる。N型熱電レッグ140は全体重量100wt%に対してセレン(Se)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)、鉛(Pb)、ホウ素(B)、ガリウム(Ga)、テルル(Te)、ビズマス(Bi)およびインジウム(In)のうち少なくとも一つを含むビスマステルライド(Bi-Te)系主原料物質99~99.999wt%とBiまたはTeを含む混合物0.001~1wt%を含む熱電レッグであり得る。例えば、主原料物質がBi-Sb-Teであり、BiまたはTeを全体重量の0.001~1wt%でさらに含むことができる。
P型熱電レッグ130およびN型熱電レッグ140はバルク型または積層型で形成され得る。一般的にバルク型P型熱電レッグ130またはバルク型N型熱電レッグ140は熱電素材を熱処理してインゴット(ingot)を製造し、インゴットを粉砕して篩い分けして熱電レッグ用粉末を獲得した後、これを焼結し、焼結体をカッティングする過程を通じて得ることができる。積層型P型熱電レッグ130または積層型N型熱電レッグ140はシート状の基材上に熱電素材を含むペーストを塗布して単位部材を形成した後、単位部材を積層しカッティングする過程を通じて得ることができる。
この時、一対のP型熱電レッグ130およびN型熱電レッグ140は同じ形状および体積を有してもよく、互いに異なる形状および体積を有してもよい。例えば、P型熱電レッグ130とN型熱電レッグ140の電気伝導特性が互いに異なるため、N型熱電レッグ140の高さまたは断面積をP型熱電レッグ130の高さまたは断面積と異なるように形成してもよい。
本発明の一実施例に係る熱電素子の性能は熱電性能指数で示すことができる。熱電性能指数(ZT)は数学式1のように示すことができる。
Figure 0007407718000001
ここで、αはゼーベック係数[V/K]であり、σは電気伝導度[S/m]であり、ασはパワー因子(Power Factor、[W/mK])である。そして、Tは温度であり、kは熱伝導度[W/mK]である。kはa・c・ρで表すことができ、aは熱拡散度[cm/S]であり、cは比熱[J/gK]であり、ρは密度[g/cm]である。
熱電素子の熱電性能指数を得るために、Zメーターを利用してZ値(V/K)を測定し、測定したZ値を利用して熱電性能指数(ZT)を計算することができる。
ここで、下部基板110とP型熱電レッグ130およびN型熱電レッグ140間に配置される下部電極120、そして上部基板160とP型熱電レッグ130およびN型熱電レッグ140間に配置される上部電極150は銅(Cu)、銀(Ag)およびニッケル(Ni)のうち少なくとも一つを含むことができる。
そして、下部基板110と上部基板160の大きさは異なるように形成されてもよい。例えば、下部基板110と上部基板160のうち一つの体積、厚さまたは面積は、他の一つの体積、厚さまたは面積より大きく形成され得る。これにより、熱電素子の吸熱性能または放熱性能を高めることができる。例えば、下部基板110の幅は上部基板160の幅より大きく形成され得る。これによると、下部基板110の終端に配置された下部電極に口出し線181、182を連結することが容易となり得る。
また、下部基板110と上部基板160のうち少なくとも一つの表面には放熱パターン、例えば凹凸パターンが形成されてもよい。これにより、熱電素子の放熱性能を高めることができる。凹凸パターンがP型熱電レッグ130またはN型熱電レッグ140と接触する面に形成される場合、熱電レッグと基板間の接合特性も向上し得る。
この時、P型熱電レッグ130またはN型熱電レッグ140は円筒状、多角柱状、楕円柱状などを有することができる。
またはP型熱電レッグ130またはN型熱電レッグ140は積層型構造を有してもよい。例えば、P型熱電レッグまたはN型熱電レッグは、シート状の基材に半導体物質が塗布された複数の構造物を積層した後、これを切断する方法で形成され得る。これにより、材料の損失を防止し、電気伝導特性を向上させることができる。
またはP型熱電レッグ130またはN型熱電レッグ140はゾーンメルティング(zone melting)方式または粉末焼結方式により製作され得る。ゾーンメルティング方式によると、熱電素材を利用してインゴット(ingot)を製造した後、インゴットに徐々に熱を加えて単一の方向に粒子が再配列されるようにリファイニングし、徐々に冷却させる方法で熱電レッグを得る。粉末焼結方式によると、熱電素材を利用してインゴットを製造した後、インゴットを粉砕して篩い分けして熱電レッグ用粉末を獲得し、これを焼結する過程を通じて熱電レッグを得る。
図3は熱電モジュールの下部基板側の断面図の一例であり、図4は熱電モジュールの下部基板側の断面図の他の例である。
図3~図4を参照すると、熱電素子100は金属支持体200上に配置され得る。熱電素子100の下部基板110は金属支持体200上に配置され、下部基板110上に複数の下部電極120が配置され得る。
P型熱電レッグ、N型熱電レッグ、上部電極および上部基板に関する構造は図1~図2で説明したものと同じであるため、重複する内容については説明を省略する。
図3を参照すると、下部基板110は酸化アルミニウム(Al)基板であり得る。この時、酸化アルミニウム基板の平坦度の問題のため、下部基板110の厚さT1は0.65mm以下には製作することができない。下部基板110の厚さが厚くなると下部電極120の厚さも共に厚くならなければならないため、熱電素子100の全体の厚さが厚くならざるを得ない問題がある。
図4を参照すると、下部基板110はエポキシ樹脂と無機充填材を含む樹脂組成物からなる熱伝導層でもよい。この時、熱伝導層は平坦度の問題を有さないので、酸化アルミニウム基板に比べて薄い厚さT2、例えば0.65mm以下に製作することが可能である。図4に図示された構造で下部電極120は、エポキシ樹脂と無機充填材を含む樹脂組成物からなる熱伝導層上にCu基板を配置して圧着した後、Cu基板を電極の形状にエッチングする方法で製作され得る。ただし、下部基板110の厚さが0.65mm以下に薄くなると温度の変化に脆弱となり、これにより、下部基板110と金属支持体200間が剥離されて熱電素子100の信頼性が低くなる問題がある。本明細書で、金属支持体200は熱伝導プレートと混用され得る。
図5は本発明の一実施例に係る熱電モジュールの下部基板側の断面図であり、図6は本発明の他の実施例に係る熱電モジュールの下部基板側の断面図であり、図7は本発明のさらに他の実施例に係る熱電モジュールの下部基板側の断面図であり、図8は本発明のさらに他の実施例に係る熱電モジュールの下部基板側の断面図であり、図9は本発明のさらに他の実施例に係る熱電モジュールの下部基板側の断面図である。
図5を参照すると、本発明の一実施例に係る熱電モジュール500の下部基板側は金属支持体510、金属支持体510上に配置された第1熱伝導層520、第1熱伝導層520上に配置された第2熱伝導層530および第2熱伝導層530上に配置された複数の第1電極540を含む。図1~2に図示した通り、各電極540上に一対のP型熱電レッグおよびN型熱電レッグが配置され、複数のP型熱電レッグおよび複数のN型熱電レッグを挟んで上部電極および上部基板が下部電極および下部基板と対称となる構造が形成され得る。例えば、複数のP型熱電レッグおよび複数のN型熱電レッグ上には、複数の第1電極540と対称となる複数の第2電極(図示されず)、第2熱伝導層530と対称となる第4熱伝導層(図示されず)、そして第1熱伝導層520と対称となる第3熱伝導層(図示されず)がさらに配置され得る。第1熱伝導層520、第2熱伝導層530、複数の第1電極540、複数のP型熱電レッグおよび複数のN型熱電レッグ、複数の第2電極(図示されず)、第2熱伝導層530と対称となる第4熱伝導層(図示されず)、そして第1熱伝導層520と対称となる第3熱伝導層(図示されず)は熱電素子100に含まれ得る。
以下、説明の便宜のために、複数のP型熱電レッグおよび複数のN型熱電レッグの下に配置される金属支持体510、第1熱伝導層520、第2熱伝導層530および複数の第1電極540を中心に説明するが、これと同じ構造が複数のP型熱電レッグおよび複数のN型熱電レッグ上に対称に配置され得る。すなわち、上部基板側もこれと同じ構造で形成され得る。
金属支持体510はアルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金などで形成され得る。金属支持体510は第1熱伝導層520、第2熱伝導層530、複数の第1電極540、複数のP型熱電レッグおよび複数のN型熱電レッグなどを支持することができ、本発明の実施例に係る熱電素子500が適用されるアプリケーションに直接付着する領域であり得る。このために、金属支持体510の幅は第1熱伝導層520の幅より大きくてもよく、金属支持体510の厚さは第1熱伝導層520の厚さより大きくてもよい。
第1熱伝導層520は金属支持体510上に配置され、エポキシ樹脂および無機充填材を含む樹脂組成物で形成される。第1熱伝導層520の厚さT3は0.01~0.65mm、好ましくは0.01~0.6mm、さらに好ましくは0.01~0.55mmであり得、熱伝導度は10W/mK以上、好ましくは20W/mK以上、さらに好ましくは30W/mK以上であり得る。
このために、エポキシ樹脂はエポキシ化合物および硬化剤を含むことができる。この時、エポキシ化合物10体積比に対して硬化剤1~10体積比で含まれ得る。ここで、エポキシ化合物は結晶性エポキシ化合物、非結晶性エポキシ化合物およびシリコンエポキシ化合物のうち少なくとも一つを含むことができる。結晶性エポキシ化合物はメソゲン(mesogen)構造を含むことができる。メソゲン(mesogen)は液晶(liquid crystal)の基本単位であり、剛性(rigid)構造を含む。そして、非結晶性エポキシ化合物は分子の中にエポキシ基を2つ以上有する通常の非結晶性エポキシ化合物であり得、例えばビスフェノールAまたはビスフェノールFから誘導されるグリシジルエーテル化物であり得る。ここで、硬化剤はアミン系硬化剤、フェノール系硬化剤、酸無水物系硬化剤、ポリメルカプタン系硬化剤、ポリアミノアミド系硬化剤、イソシアネート系硬化剤およびブロックイソシアネート系硬化剤のうち少なくとも一つを含むことができ、2種以上の硬化剤を混合して使ってもよい。
無機充填材は酸化アルミニウムおよび複数の板状の窒化ホウ素が固まった窒化ホウ素凝集体を含んでもよい。無機充填材は窒化アルミニウムをさらに含んでもよい。ここで、窒化ホウ素凝集体の表面は下記の単位体1を有する高分子でコーティングされるか、窒化ホウ素凝集体内の空隙の少なくとも一部は下記の単位体1を有する高分子によって充填され得る。
単位体1は次の通りである。
[単位体1]
Figure 0007407718000002
ここで、R、R、RおよびRのうち一つはHであり、残りはC~Cアルキル、C~CアルケンおよびC~Cアルキンで構成されたグループから選択され、Rは線形、分枝状または環状の炭素数1~12である2価の有機リンカーであり得る。
一実施例で、R、R、RおよびRのうちHを除いた残りのうち一つはC~Cアルケンから選択され、残りのうち他の一つおよびさらに他の一つはC~Cアルキルから選択され得る。例えば、本発明の実施例に係る高分子は下記の単位体2を含むことができる。
[単位体2]
Figure 0007407718000003
または前記R、R、RおよびRのうちHを除いた残りはC~Cアルキル、C~CアルケンおよびC~Cアルキンで構成されたグループから互いに異なるように選択されてもよい。
このように、単位体1または単位体2による高分子が板状の窒化ホウ素が固まった窒化ホウ素凝集体上にコーティングされ、窒化ホウ素凝集体内の空隙の少なくとも一部を充填すると、窒化ホウ素凝集体内の空気層が最小化されて窒化ホウ素凝集体の熱伝導性能を高めることができ、板状の窒化ホウ素間の結合力を高めて窒化ホウ素凝集体が破れることを防止することができる。そして、板状の窒化ホウ素が固まった窒化ホウ素凝集体上にコーティング層を形成すると作用基を形成しやすくなり、窒化ホウ素凝集体のコーティング層上に作用基が形成されると樹脂との親和度が高くなり得る。
この時、金属支持体510と第1熱伝導層520は別途の接着剤なしに直接接合され得る。このために、第1熱伝導層520をなす樹脂組成物と同一の樹脂組成物を非硬化状態で金属支持体510上に塗布し、塗布された樹脂組成物上に硬化した状態の第1熱伝導層520を積層した後に高温で加圧すると、金属支持体510と第1熱伝導層520が直接接着され得る。
一方、第2熱伝導層530はシリコン樹脂および無機充填材を含む樹脂組成物で形成され得る。第2熱伝導層530は第1熱伝導層520と複数の第1電極540間に配置され、第1熱伝導層520と複数の第1電極540を接着させる役割をすることができる。例えば、第2熱伝導層530をなす樹脂組成物に含まれるシリコン樹脂はPDMS(polydimethylsiloxane)であって、第2熱伝導層530をなす樹脂組成物に含まれる無機充填材は酸化アルミニウムであり得る。このような樹脂組成物は熱伝導性能だけでなく、高い引張強度(tensil strength)、高い熱膨張係数および接着性能を有し、硬化しても柔軟な特性を有することができる。例えば、このような樹脂組成物は1.8W/mK以上の熱伝導性能を有することができ、125ppm/℃以上の線形熱膨張係数を有することができる。また、第2熱伝導層530の熱伝導度は第1熱伝導層520の熱伝導度より低い特性を有することができる。これにより、第1熱伝導層520と複数の電極540は熱伝導性能が低下しないつつも安定的に接着され得る。この時、第2熱伝導層530の厚さT4は第1熱伝導層520の厚さT3の0.001~1倍、好ましくは0.01~0.5倍、さらに好ましくは0.05~0.2倍であり得る。第2熱伝導層530の厚さがこのような数値範囲で形成されると、第1熱伝導層520の熱伝導性能を阻害しないながらも、第1熱伝導層520と複数の第1電極540間の接着力を維持することができる。
このために、第2熱伝導層530をなす樹脂組成物を非硬化状態で第1熱伝導層520上に塗布し、塗布された樹脂組成物上に複数の第1電極540を積層した後に高温で加圧すると、複数の第1電極540と第1熱伝導層520は第2熱伝導層530を通じて接着され得る。これにより、複数の電極540の側面542の少なくとも一部は第2熱伝導層530に埋め立てられ得る。例えば、複数の電極540の側面542の厚さHの0.1~0.9倍、好ましくは0.2~0.8倍、さらに好ましくは0.3~0.7倍が第2熱伝導層530に埋め立てられ得る。第2熱伝導層530に埋め立てられた複数の電極540の側面542の厚さH1が複数の第1電極540の側面の厚さHの0.1倍未満であると、複数の第1電極540のうち少なくとも一部が第2熱伝導層530から離脱する可能性があり、第2熱伝導層530に埋め立てられた複数の第1電極540の側面542の厚さH1が複数の電極540の側面542の厚さHの0.9倍を超過すると、複数の第1電極540の少なくとも一部上に第2熱伝導層530をなす樹脂組成物が流れ込んで電極とP型熱電レッグ間の接合力および電極とN型熱電レッグ間の接合力を弱化させ得る。
一方、第2熱伝導層530は第1熱伝導層520の上面524だけでなく、第1熱伝導層520の側面522も囲むように配置され得、第1熱伝導層520の側面522と接触する金属支持体510の上面512にも配置され得る。第2熱伝導層530が第1熱伝導層520の上面524、第1熱伝導層520の側面522、および第1熱伝導層520の側面522と接触する金属支持体510の上面512に配置されると、第1熱伝導層520の縁で金属支持体510および第1熱伝導層520間の接合力を高めることができ、温度の変化により第1熱伝導層520の縁が金属支持体510から剥離する問題を防止することができる。
また、第2熱伝導層530は熱膨張係数が高く、硬化しても柔軟な特性を有するので、温度の変化による熱衝撃から緩衝作用をして第1熱伝導層510と複数の第1電極540を保護することができる。
このように、第2熱伝導層530が第1熱伝導層520の上面524だけでなく第1熱伝導層520の側面522も囲むように配置されるために、第2熱伝導層530の幅W2は第1熱伝導層520の幅W1より大きくてもよい。例えば、第2熱伝導層530の幅W2は第1熱伝導層520の幅W1の1.01~1.2倍であり得る。第2熱伝導層530の幅W2が第1熱伝導層520の幅W1より大きい場合、第1熱伝導層520と金属支持体510間の接合力が向上し、第1熱伝導層520と複数の電極540間の熱衝撃が緩和され得る。
一方、図6に図示された通り、第2熱伝導層530は金属支持体510上で金属支持体510の上面512と平行な方向にさらに延びてもよい。延びた幅W3は図5に図示された構造を有する第2熱伝導層530の幅W2の0.001~0.2倍、好ましくは0.01~0.1倍であり得る。このように、第2熱伝導層530が金属支持体510上で金属支持体510の上面512と平行な方向にさらに延びると、第2熱伝導層530と金属支持体510間の接触面積が広くなるので、第1熱伝導層520の縁が金属支持体510から剥離する問題を防止することができる。
または図7のように、第2熱伝導層530は第1熱伝導層520の側面522から横に広がる形状に配置されてもよい。すなわち、第2熱伝導層530の厚さT4は第1熱伝導層520の側面522で最も厚く形成され、第1熱伝導層520の側面から遠くなるほど薄くなり得る。このように、第2熱伝導層530の幅W4が広く配置されると、第2熱伝導層530と金属支持体510間の接触面積が広くなるので、第1熱伝導層520と金属支持体510が剥離する問題を解決することができる。
または図8に図示された通り、金属支持体510には溝514が形成され、第2熱伝導層530は金属支持体510の溝514内にさらに配置されてもよい。溝514は第1熱伝導層520の縁に沿って形成され、第1熱伝導層520の厚さT3の0.001~2倍、好ましくは0.01~1倍、さらに好ましくは0.1~1倍の深さDで形成され得る。このように、金属支持体510に溝514が形成され、溝514内に第2熱伝導層530がさらに配置されると、第2熱伝導層530と金属支持体510間の接触面積が広くなるので、第1熱伝導層520の縁が金属支持体510から剥離する問題を防止することができる。この時、溝514は第1熱伝導層520の縁に沿って連続した形状で金属支持体510の上面に形成され得る。破線の形状で金属支持体510の上面に形成されてもよい。
または図9に図示された通り、第1熱伝導層520の側面522に配置された第2熱伝導層530の幅W5は金属支持体510の溝514の幅W6より広くてもよい。すなわち、溝514に配置された第2熱伝導層530の幅W6は第1熱伝導層520の側面522に配置された第2熱伝導層530の幅W5より狭くてもよい。このように第2熱伝導層530の幅W5が広く配置されると、第2熱伝導層530と金属支持体510間の接触面積が広くなるので、第1熱伝導層520の縁が金属支持体510から剥離する問題を解決することができる。また、図示されてはいないが、第1熱伝導層520の側面522に配置された第2熱伝導層530の幅W5は金属支持体510の溝514の幅W6より広く、金属支持体510の上面512に接触して配置されてもよい。
図10は、本発明の他の実施例に係る熱電モジュールの断面図である。図11は図10の密封部の上面図であり、図12は図10の胴体の斜視図である。
以下では図10~図12を参照して、本発明の実施例に係る熱電モジュール1000を説明する。
図10~図12を参照すると、熱電モジュール1000は熱電素子100、第1熱伝導プレート200、第2熱伝導プレート300および密封部400を含むことができる。
ここで、熱電素子100は図1~図9で説明した熱電素子であり得、熱電素子100の下部基板および下部電極と上部基板および上部電極のうち少なくとも一つは図5~図9で説明した実施例の構造を有することができる。第1熱伝導プレート200は図3~図4で説明した金属支持体200または図5~図9で説明した金属支持体510であり得、第2熱伝導プレート300には第1熱伝導プレート200と同じ説明が適用され得る。
本発明の実施例によると、第1熱伝導プレート200と第2熱伝導プレート300は熱電素子100を間に配置して互いに対向する。第1熱伝導プレート200と第2熱伝導プレート300は熱伝導性が優秀な金属材質で構成され得る。
ここで、第1熱伝導プレート200は熱電素子100の吸熱面と冷却側(図示されず)の表面間に設置されて、熱電素子100の吸熱面を通じての吸熱時に熱伝達面積を向上させる。この時、第1熱伝導プレート200はアルミニウムなどが使われているが、銅およびステンレス鋼、または黄銅などの使用も可能であることは言うまでもない。
第1熱伝導プレート200は使用時に熱伝達面積を広げることができるように、複数の放熱フィン201を含んで温度勾配を減らすことができ、特に熱電素子100の放熱面方向に付着した第2熱伝導プレート300と冷却側(図示されず)との間隔を人為的に離隔させることによって、相対的に熱い第2熱伝導プレート300から冷たい冷却側(図示されず)に熱が伝達されることを遮断することができる。
第2熱伝導プレート300は熱電素子100の発熱面に密着して熱電素子100の熱を放熱させ、通常的に押出型放熱板が多く使われるが、場合によってスカイビング方式放熱板、ヒートパイプエンベデッドタイプ放熱板、フィンボンディングタイプ放熱板などの使用も可能である。
第2熱伝導プレート300は熱伝達面積を広げることができるように複数の放熱フィン301を含むことができ、角の領域に密封部400が配置されるための段差310を含むことができる。
ここで、第1熱伝導プレート200は吸熱面、第2熱伝導プレート300は放熱面として設定されるものと説明したが、これは熱電素子に印加される電流の方向により吸熱面と放熱面は互いに変わってもよい。
密封部400は胴体410および密封部材421、422、431、432、433、434を含むことができる。
胴体410は第1高さH1を有し、下面411、上面412および側面で構成された略六面体状を有することができる。もちろん、下面411および上面412を含み、外周面で構成された円筒状を有してもよい。
胴体410は発泡ポリスチレン(EPS、expanded polystyrene)で構成され得る。
EPSは軽量性で、成形性が優秀であり、熱抵抗性および熱絶縁性が優秀で、密度の調節が可能であり、防水および防塵性能が優秀であるため、経済的な側面と製品の信頼性の側面で優秀な効果を引き起こし得る。
胴体410の下面411には、下面411から第2深さH2で凹むように形成された第1溝413を含むことができる。
また、胴体410の上面413には、上面413から第2深さH2で凹むように形成された第2溝414を含むことができる。
第1溝413の底面と第2溝414の底面は第3高さH3で離隔し得る。
ここで、第1高さH1は第2高さH2対比3倍~5倍で設定され得る。すなわち、第3高さH3は第2高さH2対比1倍~3倍で設定され得る。
胴体410の第1高さH1が第1溝413および第2溝414の第2高さH2に比べて3倍未満の場合、第1溝413と第2溝414間の距離である第3高さH3が相対的に小さくなるので胴体410の構造的剛性を確保することが難しく、胴体410の第1高さH1が第1溝413および第2溝414の第2高さH2に比べて5倍超過である場合、第1溝413および第2溝414の内側面に沿って浸透する可能性がある水分の経路が短くなるため、防塵および防水性能に対する信頼性を確保することが難しいか熱電モジュール1000の体積を増大させる問題がある。
第1溝413および第2溝414は角形または円形で周りが閉じられた形状を有する。
胴体410の略中心には、下面411と上面412を貫通するように形成されたホール415を含むことができる。
ホール415は熱電素子100が収容されるための収容空間を形成し、ホール415の収容空間に熱電素子100が収容され得る。
一方、収容空間は熱電素子100の体積対比1.1倍~5倍の範囲で形成され得る。さらに好ましくは2倍~3倍の範囲で具現することができる。
収容空間が熱電素子100の体積対比1.1倍以下である場合、熱電素子100の側面に熱流動空間を確保することができないため熱流動性能の改善を期待することができず、収容空間が熱電素子100の体積対比5倍以上である場合、収容空間の拡張による熱流動性能の改善を期待することができず、熱電モジュール1000の体積を増大させる問題がある。
すなわち、本発明の一実施例に係る熱電モジュール1000は、熱電素子100の下部基板と上部基板間で温度差によって発生する熱流動を熱電素子100の側部に拡張することができるため、熱流動による信頼性を確保することができる。
ここで、胴体410のホール415がなす内側面416には熱電素子100の側面が当接しているため、熱電素子100の流動を防止することができる。
すなわち、胴体410のホール415の形状および直径は熱電素子100の形状に応じて容易に設計変更され得る。
また、胴体410の一つの側面には、熱電素子100の口出し線181、182が外部に排出されるための貫通ホール417を含むことができる。
一方、貫通ホール417は胴体410の下面411から第4高さH4を有することができ、第4高さH4は第1溝413の第2高さH2に比べて大きくてもよい。
密封部材421、422、431、432、433、434は第1密封部材421、第2密封部材422、第3密封部材431、第4密封部材432、第5密封部材433および第6密封部材434を含むことができる。
第1密封部材421は胴体410の下面411から第1溝413に挿入されるように配置され、胴体410の内側に水分が浸透しないように密封する。
ここで、第1密封部材421は硬化前の第1溝413に流入した後、第1溝413と第1熱伝導プレート200を付着できる防水シリコン等で具現されることが好ましい。
第2密封部材422は胴体410の上面412から第2溝414に挿入されるように配置され、胴体410の内側に水分が浸透しないように密封する。
ここで、第2密封部材422は硬化前の第2溝414に流入した後、第2溝414と第2熱伝導プレート300を付着できる防水シリコン等で具現されることが好ましい。
第3密封部材431、第4密封部材432、第5密封部材433および第6密封部材434のそれぞれは、防水テープ、防水シリコン、ゴムや樹脂素材などの接着剤などで構成されて、第1熱伝導プレート200および第2熱伝導プレート300と胴体410を接着することができる。
すなわち、第3密封部材431、第4密封部材432、第5密封部材433および第6密封部材434を通じて、第1熱伝導プレート200および第2熱伝導プレート300と胴体410間の接着力および密封性を向上させることができる。
一方、第3密封部材431および第4密封部材432は胴体410の下面411と第1熱伝導プレート200間に配置され、第5密封部材433および第6密封部材434は胴体410の上面412と第2熱伝導プレート300間に配置され得る。
第3密封部材431は胴体410の下面411上で第1溝413とホール415間に配置され、角形または円形で周りが閉じられた形状を有することができる。
第4密封部材432は胴体410の下面411上で第1溝413と外側面間に配置され、角形または円形で周りが閉じられた形状を有することができる。
第5密封部材433は胴体410の上面412上で第2溝414とホール415間に配置され、角形または円形で周りが閉じられた形状を有することができる。
第6密封部材434は胴体410の上面412上で第2溝414と外側面間に配置され、角形または円形で周りが閉じられた形状を有することができる。
図13は本発明のさらに他の実施例に係る熱電モジュールの断面図であり、図14は本発明のさらに他の実施例に係る熱電モジュールの密封部の上面図である。
図13および図14に図示された熱電モジュール2000は、図10に図示された本発明の一実施例に係る熱電モジュール1000に比べて密封部600の構成が互いに異なるので、以下では異なる密封部600の構成についてのみ詳細に説明し、同じ構成に重複する図面番号については詳細な説明は省略する。
密封部600は胴体610および密封部材421、422、431、432、433、434を含むことができる。
胴体610は第1溝413と外側面の間で下面411と上面412を貫通する締結ホール418を含むことができる。
また、締結ホール418に対応する位置で、第1熱伝導プレート200および第2熱伝導プレート300を貫通する締結ホール210、320を含むことができる。
胴体610の締結ホール418、第1熱伝導プレート200の締結ホール210および第2熱伝導プレート300の締結ホール320にはボルトのような第1締結部材710が挿入され、挿入反対側にはナットのような第2締結部材720が締結され得る。
すなわち、第1締結部材710と第2締結部材720の締結を通じて、第1熱伝導プレート200、胴体610および第2熱伝導プレート300はより堅固に結合され得、熱に対する変形を防止することができる。
以下では図15を参照して、本発明の実施例に係る熱電素子が浄水器に適用された例を説明する。
図15は、本発明の実施例に係る熱電素子が浄水器に適用された例示図である。
本発明の実施例に係る熱電素子が適用された浄水器1は、原水供給管12a、浄水タンク流入管12b、浄水タンク12、フィルターアセンブリー13、冷却ファン14、蓄熱槽15、冷水供給管15a、および熱電モジュール1000を含む。
原水供給管12aは水源から浄水の対象である水をフィルターアセンブリー13に流入させる供給管であり、浄水タンク流入管12bはフィルターアセンブリー13で浄水された水を浄水タンク12に流入させる流入管であり、冷水供給管15aは浄水タンク12で熱電モジュール1000により所定温度に冷却された冷水が最終的に使用者に供給される供給管である。
浄水タンク12はフィルターアセンブリー13を経由しながら浄水され、浄水タンク流入管12bを介して流入した水を貯蔵および外部に供給するように浄水された水をしばらくの間収容する。
フィルターアセンブリー13は沈殿フィルター13aと、プレカーボンフィルター13bと、メンブレンフィルター13cと、ポストカーボンフィルター13dで構成される。
すなわち、原水供給管12aに流入する水はフィルターアセンブリー13を経由しながら浄水され得る。
蓄熱槽15が浄水タンク12と熱電モジュール1000間に配置されて、熱電モジュール1000で形成された冷気が貯蔵される。蓄熱槽15に貯蔵された冷気は浄水タンク12に印加されて浄水タンク120に収容された水を冷却させる。
冷気の伝達が円滑に行われるように、蓄熱槽15は浄水タンク12と面接触され得る。
熱電モジュール1000は前述した通り、吸熱面と発熱面を具備し、P型半導体およびN型半導体上の電子移動によって、一側は冷却し、他側は加熱する。
ここで、一側は浄水タンク12側であり、他側は浄水タンク12の反対側であり得る。
また、前述した通り、熱電モジュール1000は防水および防塵性能が優秀であり、熱流動性能が改善して浄水器内で浄水タンク12を効率的に冷却させることができる。
以下では図16を参照して、本発明の実施例に係る熱電素子が冷蔵庫に適用された例を説明する。
図16は、本発明の実施例に係る熱電素子が冷蔵庫に適用された例示図である。
冷蔵庫は深温蒸発室内に深温蒸発室カバー23、蒸発室区画壁24、メイン蒸発器25、冷却ファン26および熱電モジュール1000を含む。
冷蔵庫内は深温蒸発室カバー23によって深温貯蔵室と深温蒸発室に区画される。
詳細には、前記深温蒸発室カバー23の前方に該当する内部空間が深温貯蔵室と定義され、深温蒸発室カバー23の後方に該当する内部空間が深温蒸発室と定義され得る。
深温蒸発室カバー23の前面には吐出グリル23aと吸入グリル23bがそれぞれ形成され得る。
蒸発室区画壁24はインナーキャビネットの後壁から前方に離隔する地点に設置されて、深温室貯蔵システムが置かれる空間とメイン蒸発器25が置かれる空間を区画する。
メイン蒸発器25によって冷却される冷気は冷凍室に供給された後、再びメイン蒸発器側に戻る。
熱電モジュール1000は深温蒸発室に収容され、吸熱面が深温貯蔵室の引き出しアセンブリー側に向かい、発熱面が蒸発器側に向かう構造をなす。したがって、熱電モジュール1000で発生する吸熱現象を利用して、引き出しアセンブリーに貯蔵された飲食物を-50℃以下の超低温状態に迅速に冷却させることに使われ得る。
また、前述した通り、熱電モジュール1000は防水および防塵性能が優秀であり、熱流動性能が改善して冷蔵庫内で引き出しアセンブリーを効率的に冷却させることができる。
本発明の実施例に係る熱電素子は発電用装置、冷却用装置、温熱用装置などに作用され得る。具体的には、本発明の実施例に係る熱電素子は主に光通信モジュール、センサ、医療機器、測定機器、航空宇宙産業、冷蔵庫、チラー(chiller)、自動車通風シート、カップホルダー、洗濯機、乾燥機、ワインセラー、浄水器、センサ用電源供給装置、サーモパイル(thermopile)等に適用され得る。
ここで、本発明の実施例に係る熱電素子が医療機器に適用される例として、PCR(Polymerase Chain Reaction)機器がある。PCR機器はDNAを増幅してDNAの塩基配列を決定するための装備であり、精密な温度制御が要求され、熱循環(thermal cycle)が必要な機器である。このために、ペルティエ基盤の熱電素子が適用され得る。
本発明の実施例に係る熱電素子が医療機器に適用される他の例として、光検出器がある。ここで、光検出器は赤外線/紫外線検出器、CCD(Charge Coupled Device)センサ、X-ray検出器、TTRS(Thermoelectric Thermal Reference Source)等がある。光検出器の冷却(cooling)のためにペルティエ基盤の熱電素子が適用され得る。これにより、光検出器内部の温度上昇による波長の変化、出力の低下および解像力の低下などを防止することができる。
本発明の実施例に係る熱電素子が医療機器に適用されるさらに他の例として、免疫分析(immunoassay)分野、インビトロ診断(In vitro Diagnostics)分野、温度制御および冷却システム(general temperature control and cooling systems)、物理治療分野、液状チラーシステム、血液/プラズマ温度制御分野などがある。これにより、精密な温度制御が可能である。
本発明の実施例に係る熱電素子が医療機器に適用されるさらに他の例として、人工心臓がある。これにより、人工心臓に電源を供給することができる。
本発明の実施例に係る熱電素子が航空宇宙産業に適用される例として、星追跡システム、熱イメージングカメラ、赤外線/紫外線検出器、CCDセンサ、ハッブル宇宙望遠鏡、TTRSなどがある。これにより、イメージセンサーの温度を維持することができる。
本発明の実施例に係る熱電素子が航空宇宙産業に適用される他の例として、冷却装置、ヒーター、発電装置などがある。
この他にも本発明の実施例に係る熱電素子は、その他の産業分野に発電、冷却および温熱のために適用され得る。
前記では本発明の好ましい実施例を参照して説明したが、該当技術分野の熟練した当業者は下記の特許請求の範囲に記載された本発明の思想および領域から逸脱しない範囲内で本発明を多様に修正および変更できることが理解できるであろう。

Claims (20)

  1. 第1基板;
    前記第1基板上に配置された第1樹脂層;
    前記第1樹脂層上に配置された第2樹脂層;
    前記第2樹脂層上に配置された第1電極;
    前記第1電極上に配置された半導体構造物;および
    前記半導体構造物上に配置された第2基板を含み、
    前記第2樹脂層は前記第1電極が配置されたリセスを含み、
    前記リセスは前記第1樹脂層と離隔した底面を含み、
    前記第1電極の厚は前記リセスの深さより大きい、熱電素子。
  2. 前記第2樹脂層は前記リセスの底面と前記第1樹脂層間に配置された第1領域、および前記リセスの周囲に配置された第2領域を含み、
    前記第2領域の少なくとも一部の厚さは前記第1領域の厚さより大きい、請求項1に記載の熱電素子。
  3. 前記第1基板の幅は前記第2樹脂層の幅より大きい、請求項1に記載の熱電素子。
  4. 前記第2樹脂層は前記第1電極から遠くなるほど厚さが減少する領域を含む、請求項2に記載の熱電素子。
  5. 前記第1樹脂層の幅は前記第2樹脂層の幅より小さい、請求項3に記載の熱電素子。
  6. 前記第1基板、および前記第2基板は金属物質を含み、
    前記第1樹脂層は前記第2樹脂層に含まれた物質と異なる物質を含む、請求項1に記載の熱電素子。
  7. 前記第2樹脂層はシリコン樹脂および無機充填材を含む、請求項6に記載の熱電素子。
  8. 前記第1電極は互いに向かい合う上面と下面、および前記上面と前記下面の間に配置された側面を含み、
    前記第1電極の側面は前記第2樹脂層と接触する接触面を含み、
    前記第1電極の接触面の厚さは前記第1電極の厚さの0.1倍~0.9倍である、請求項1に記載の熱電素子。
  9. 前記第1電極の下面は前記第2樹脂層のリセスの底面と接触し、
    前記第1電極の側面は前記第2樹脂層と接触しない非接触面をさらに含む、請求項8に記載の熱電素子。
  10. 前記第2樹脂層の厚さは前記第1樹脂層の厚さの0.001倍~1倍である、請求項8に記載の熱電素子。
  11. 請求項1~請求項10のいずれか一項に記載された熱電素子を含む、発電装置。
  12. 前記第1樹脂層はエポキシ樹脂および無機充填材を含む、請求項1に記載の熱電素子。
  13. 第1基板;
    前記第1基板上に配置された第1樹脂層;
    前記第1樹脂層上に配置され、リセスを含む第2樹脂層;
    前記第2樹脂層のリセスに配置される第1電極;
    前記第1電極上に配置される半導体構造物;
    前記半導体構造物上に配置される第2電極;および
    前記第2電極上に配置される第2基板を含み、
    前記第2樹脂層は前記リセスの底面と前記第1樹脂層間の第1領域および前記第1電極の側面と接触する第2領域を含み、
    前記第1電極の前記側面は接触面および非接触面を含み、
    前記接触面は前記第2樹脂層の第2領域と接触し、
    前記非接触面は前記第2樹脂層と接触しない、熱電素子。
  14. 前記第2樹脂層の前記第2領域は前記第2樹脂層の前記第1領域の周辺領域に配置され、
    前記第2樹脂層の前記第2領域は前記第1樹脂層と接触する、請求項13に記載の熱電素子。
  15. 前記第1樹脂層の組成は前記第2樹脂層の組成と異なり、
    前記第2樹脂層は前記第1電極から遠くなるほど厚さが薄くなる領域を含む、請求項13に記載の熱電素子。
  16. 前記第1基板の幅は前記第2樹脂層の幅より大きく、
    前記第1樹脂層の幅前記第2樹脂層の幅より小さい、請求項13に記載の熱電素子。
  17. 前記第2樹脂層の前記第2領域の最上面と前記第1樹脂層との垂直距離は前記リセスの深さより大きい、請求項14に記載の熱電素子。
  18. 前記第1電極は前記第1電極の上面と向かい合い前記リセスの底面と接触する下面、および前記上面と前記下面の間に配置された前記側面を含み
    前記第1電極の接触面の高さは前記第1電極の厚さの0.2倍~0.8倍であり
    前記第2樹脂層の厚さは前記第1樹脂層の厚さの0.001倍~1倍である、請求項13に記載の熱電素子。
  19. 前記第1基板、および前記第2基板は金属物質を含み、
    前記第2樹脂層はシリコン樹脂および無機充填材を含む、請求項13に記載の熱電素子。
  20. 前記第1樹脂層はエポキシ樹脂および無機充填材を含む、請求項19に記載の熱電素子。
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