JP7405550B2 - 半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 424
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 1406
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 333
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 208
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 claims description 142
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 55
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 54
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 54
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 54
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 claims description 54
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 38
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 36
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 32
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 27
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 claims description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 84
- 238000000034 method Methods 0.000 description 60
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 25
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 23
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 22
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 22
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 22
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 21
- NUHSROFQTUXZQQ-UHFFFAOYSA-N isopentenyl diphosphate Chemical compound CC(=C)CCO[P@](O)(=O)OP(O)(O)=O NUHSROFQTUXZQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 21
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 15
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 15
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 14
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 13
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 13
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 10
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 10
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 9
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 9
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 8
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 7
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 7
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 6
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 229910016570 AlCu Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000789 Aluminium-silicon alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 2
- 238000009623 Bosch process Methods 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- GDFCWFBWQUEQIJ-UHFFFAOYSA-N [B].[P] Chemical compound [B].[P] GDFCWFBWQUEQIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920002577 polybenzoxazole Polymers 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
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- H01L29/866—Zener diodes
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- H01L29/00—Semiconductor devices adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching, or capacitors or resistors with at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/0603—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions characterised by particular constructional design considerations, e.g. for preventing surface leakage, for controlling electric field concentration or for internal isolations regions
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- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0248—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection
- H01L27/0251—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices
- H01L27/0255—Particular design considerations for integrated circuits for electrical or thermal protection, e.g. electrostatic discharge [ESD] protection for MOS devices using diodes as protective elements
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- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body
- H01L27/08—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having at least one potential-jump barrier or surface barrier; including integrated passive circuit elements with at least one potential-jump barrier or surface barrier the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind
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- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
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- H01L29/407—Recessed field plates, e.g. trench field plates, buried field plates
Description
本発明の一実施形態は、第1導電型の第1半導体層、および、前記第1半導体層の上に形成された第2導電型の第2半導体層を有し、互いに離間した第1パッド領域および第2パッド領域を含む半導体チップと、前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記第1パッド領域に形成され、前記第1パッド領域の一部を他の領域から区画することによって前記第1半導体層および前記第2半導体層の間に第1内部寄生容量を形成する第1パッド分離溝と、前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記第2パッド領域に形成され、前記第2パッド領域の一部を他の領域から区画することによって前記第1半導体層および前記第2半導体層の間に第2内部寄生容量を形成する第2パッド分離溝と、前記第2半導体層を被覆する中間絶縁層と、前記中間絶縁層を挟んで前記第1パッド分離溝によって区画された領域に対向し、前記半導体チップとの間で前記第1内部寄生容量に直列接続された第1外部寄生容量を形成する第1パッド部を有する第1電極と、前記中間絶縁層を挟んで前記第2パッド分離溝によって区画された領域に対向し、前記半導体チップとの間で前記第2内部寄生容量に直列接続された第2外部寄生容量を形成する第2パッド部を有する第2電極と、を含む、半導体装置を提供する。
図1は、本発明の第1実施形態に係るダイオードチップ1の切欠き斜視図である。図2は、図1に示すダイオードチップ1の平面図である。図3は、図2に示すIII-III線に沿う断面図である。図4は、図2に示すIV-IV線に沿う断面図である。図5は、図2に示すV-V線に沿う断面図である。図6は、図3に示す第1パッド領域273の拡大断面図である。図7は、図3に示す第2パッド領域274の拡大断面図である。図8は、半導体チップ10の第1主面11の構造を示す平面図である。図9は、第1電極層101および第2電極層102の構造を示す平面図である。
前述の「0603」、「0402」、「03015」等は、チップ本体2の短辺の長さおよび長辺の長さによって定義される。チップ本体2の短辺の長さは、前記数値に限らず、0.05mm以上1mm以下であってもよい。チップ本体2の長辺の長さは、0.05mm以上0.1mm以下、0.1mm以上0.2mm以下、0.2mm以上0.3mm以下、0.3mm以上0.4mm以下、0.4mm以上0.5mm以下、0.5mm以上0.6mm以下、0.6mm以上0.7mm以下、0.7mm以上0.8mm以下、0.8mm以上0.9mm以下、または、0.9mm以上1mm以下であってもよい。
ダイオードチップ1は、半導体チップ10の第2主面12側から第1主面11側に向けてこの順に形成されたp型の第1半導体層14およびn型の第2半導体層15を含む。第1半導体層14は、半導体チップ10の第2主面12および側面13A~13Dから露出している。第2半導体層15は、半導体チップ10の第1主面11および側面13A~13Dから露出している。
図10を参照して、第1半導体層14のp型不純物濃度は、1×1012cm-3以上1×1021cm-3以下である。第1半導体層14は、第1主面11側のp型不純物濃度が、第2主面12側のp型不純物濃度未満となるように形成されている。第1半導体層14は、具体的には、第2主面12側から第1主面11側に向けてこの順に積層されたp++型の高濃度層16、p+型の濃度低下層17およびp型の濃度保持層18(concentration keeping layer)を含む。
第1値Aは、半導体チップ10の濃度勾配を関数f(x)で定義したとき、高濃度層16によって定まる区間における関数f(x)の平均値によって求められる。第2値Bは、濃度低下層17によって定まる区間における関数f(x)の平均値によって求められる。第3値Cは、濃度保持層18によって定まる区間における関数f(x)の平均値によって求められる。
高濃度層16の厚さは、10μm以上800μm以下であってもよい。高濃度層16の厚さは、10μm以上100μm以下、100μm以上200μm以下、200μm以上400μm以下、400μm以上600μm以下、または、600μm以上800μm以下であってもよい。高濃度層16の厚さは、30μm以上400μm以下であることが好ましい。
濃度低下層17の厚さは、5μm以上20μm以下であってもよい。濃度低下層17の厚さは、5μm以上10μm以下、10μm以上15μm以下、または、15μm以上20μm以下であってもよい。濃度低下層17の厚さは、この形態では、6μm以上8μm以下である。
濃度保持層18は、所定の厚さ範囲において5×1015cm-3以下5×1017cm-3以下のp型不純物濃度を保持することが好ましい。これにより、濃度保持層18は、第1半導体層14の濃度勾配に急峻な下降領域が形成されることを抑制する。図10には、濃度保持層18が存在しない場合の濃度低下層17の濃度勾配が二点鎖線によって示されている。
このような濃度保持層18は、濃度低下層17の表層部にp型不純物を選択的に導入し、エピタキシャル層を濃度低下層17の上に形成した後、当該エピタキシャル層に濃度低下層17に導入されたp型不純物を拡散させることによって形成される。また、このような濃度保持層18は、p型不純物の導入を伴うエピタキシャル成長法によって比較的高濃度なエピタキシャル層を濃度低下層17の上に直接形成することによっても得られる。
濃度保持層18は、必ずしもp型不純物濃度が増加する濃度勾配を有している必要はない。濃度保持層18は、p型不純物濃度を所定の厚さだけ保持するのであれば、たとえば、図10に太い二点鎖線で示されたように、結晶成長方向に向けてp型不純物濃度が漸減する濃度勾配を有していてもよい。
第2半導体層15は、濃度保持層18(エピタキシャル層)の上に形成されたn型のエピタキシャル層からなる。第2半導体層15は、第1半導体層14のp型不純物濃度未満のn型不純物濃度を有している。第2半導体層15のn型不純物濃度のピーク値は、1×1013cm-3以上1×1015cm-3以下であってもよい。第2半導体層15のn型不純物濃度のピーク値は、5×1013cm-3以上5×1014cm-3以下であることが好ましい。
第1装置領域21は、具体的には、装置形成領域272において一方側(第3側面13C側)の領域に形成されている。第1装置領域21は、さらに具体的には、半導体チップ10の中央部を第2方向Yに横切る中央ラインを設定したとき、当該中央ラインに対して第3側面13C側の領域に形成されている。
第2装置領域22は、この形態では、第2方向Yに沿って延びる帯状(長方形状)に形成されている。第2装置領域22は、具体的には、平面視において側面13A~13Dに平行な4辺を有する四角形状に形成されている。第2装置領域22の平面形状は任意である。第2装置領域22は、平面視において四角形状以外の多角形状、または、円形状(楕円形状を含む)に形成されていてもよい。
以下、第1装置領域21において第1側面13A側の領域を、第1装置領域21の一方側(第1側面13A側)の領域といい、第1装置領域21において第2側面13B側の領域を、第1装置領域21の他方側(第2側面13B側)の領域という。また、第2装置領域22において第1側面13A側の領域を、第2装置領域22の一方側(第1側面13A側)の領域といい、第2装置領域22において第2側面13B側の領域を、第2装置領域22の他方側(第2側面13B側)の領域という。
領域分離トレンチ24の底壁は、高濃度層16に対して濃度低下層17側に位置している。これにより、領域分離トレンチ24の側壁は、第2半導体層15、濃度保持層18および濃度低下層17を露出させている。また、領域分離トレンチ24の底壁は、濃度低下層17を露出させている。
領域分離トレンチ24の幅は、0.1μm以上3μm以下であってもよい。領域分離トレンチ24の幅は、0.1μm以上0.5μm以上、0.5μm以上1μm以下、1μm以上1.5μm以上、1.5μm以上2μm以下、2μm以上2.5μm以上、または、2.5μm以上3μm以下であってもよい。領域分離トレンチ24の幅は、1.5μm以上2.5μm以下であることが好ましい。
領域分離絶縁層25は、酸化シリコン層および窒化シリコン層のうちの少なくとも1つを含んでいてもよい。領域分離絶縁層25は、酸化シリコン層および窒化シリコン層が任意の順序で積層された積層構造を有していてもよい。領域分離絶縁層25は、酸化シリコン層または窒化シリコン層からなる単層構造を有していてもよい。領域分離絶縁層25は、この形態では、酸化シリコン層からなる単層構造を有している。
このように、領域分離絶縁層25は、半導体チップ10(第1半導体層14)を介して第1装置領域21を第2装置領域22に電気的に接続させている。この一方で、領域分離絶縁層25は、第1装置領域21内の第2半導体層15を第2装置領域22内の第2半導体層15から電気的に分離している。
第1パッド分離構造275は、平面視において領域分離構造23から間隔を空けて第1パッド領域273の一部を取り囲む環状に形成されている。第1パッド分離構造275は、具体的には、第1主面11の中央部を第2方向Yに横切る中央ラインを設定したとき、当該中央ラインを横切る長方形環状に形成されている。
第1内側パッドトレンチ277Aは、第1主面11を第2主面12に向けて掘り下げることによって形成されている。第1内側パッドトレンチ277Aは、第2半導体層15を貫通し、第1半導体層14(具体的には濃度低下層17)に至っている。
第1外側パッドトレンチ277Bは、内周壁、外周壁および底壁を含む。第1外側パッドトレンチ277Bの内周壁および外周壁は、第1半導体層14および第2半導体層15を露出させている。第1外側パッドトレンチ277Bの内周壁および外周壁は、第1主面11に対して垂直に形成されていてもよい。第1外側パッドトレンチ277Bの内周壁および外周壁は、第1主面11に対して傾斜していてもよい。この場合、第1外側パッドトレンチ277Bは、底面積が開口面積未満の先細り形状に形成されていてもよい。
これにより、第2パッド分離構造276は、第2方向Yに第1装置領域21および第2装置領域22に対向している。また、第2パッド分離構造276は、第2パッド領域274の一部の領域を第1方向Xに沿って延びる帯状(具体的には長方形状)に区画している。第2パッド分離構造276の平面形状は任意である。第2パッド分離構造276は、多角環状や円環状に形成されていてもよい。
第2内側パッドトレンチ280Aは、第1主面11を第2主面12に向けて掘り下げることによって形成されている。第2内側パッドトレンチ280Aは、第2半導体層15を貫通し、第1半導体層14(具体的には濃度低下層17)に至っている。
第2外側パッドトレンチ280Bは、内周壁、外周壁および底壁を含む。第2外側パッドトレンチ280Bの内周壁および外周壁は、第1半導体層14および第2半導体層15を露出させている。第2外側パッドトレンチ280Bの内周壁および外周壁は、第1主面11に対して垂直に形成されていてもよい。第2外側パッドトレンチ280Bの内周壁および外周壁は、第1主面11に対して傾斜していてもよい。この場合、第2外側パッドトレンチ280Bは、底面積が開口面積未満の先細り形状に形成されていてもよい。
また、第2パッド領域274において第2パッド分離構造276によって取り囲まれた領域には、第2内部寄生容量C2が形成されている。第2内部寄生容量C2は、第1半導体層14および第2半導体層15の間に形成されている。第2内部寄生容量C2は、半導体チップ10(第1半導体層14)を介して第1内部寄生容量C1に直列接続されている。
第1pin接合部31は、平面視において第1装置領域21の表層部の一方側(第1側面13A側)の領域に形成されている。第1pin接合部31は、第1装置領域21の表層部から厚さ方向に向けてこの順に形成されたn+型の第1N層32(第1上側半導体層)、n型の第1I層33(第1抵抗層)およびp+型の第1P層34(第1下側半導体層)を含む。
第1N層32は、第2半導体層15のn型不純物濃度を超えるn型不純物濃度を有している。第1N層32のn型不純物濃度のピーク値は、1×1018cm-3以上1×1021cm-3以下であってもよい。第1N層32のn型不純物濃度のピーク値は、5×1018cm-3以上1×1020cm-3以下であることが好ましい。
第1P層34は、平面視において第1N層32の幅を超える幅を有している。第1P層34の周縁は、平面視において第1N層32を取り囲んでいる。第1P層34は、平面視において円形状(楕円形状を含む)に形成されている。第1P層34の平面形状は任意である。第1P層34は、多角形状(たとえば四角形状)に形成されていてもよい。
第1pn接合部35は、半導体チップ10(第1半導体層14)を介して第1pin接合部31に電気的に接続されている。第1pn接合部35は、具体的には、半導体チップ10(第1半導体層14)を介して第1pin接合部31に逆バイアス接続されている。
第1半導体層14が濃度保持層18を有さない場合、第1内部N層36は、濃度低下層17との間でpn接合を形成する。この場合、第1pn接合部35におけるpn濃度変化が急峻になるため、当該第1pn接合部35を起点に実際の耐圧(具体的にはブレークダウン電圧VB)が目標の耐圧から変動する可能性がある。このような問題は、濃度低下層17の厚さのバラツキ(たとえば±5%程度)に起因して顕在化する。
第2極性方向は、半導体チップ10の厚さ方向に関して第1極性方向とは逆向きに順方向電流が流れる向きである。第2極性方向は、この形態では、第1主面11側から第2主面12側に順方向電流が流れる向きである。
第1逆pin接合部38は、平面視において第1pin接合部31から離間して第1装置領域21の表層部の他方側(第2側面13B側)の領域に形成されている。第1逆pin接合部38は、第1pin接合部31を第2方向Yに横切るラインを設定したとき、当該ライン上に配置されている。つまり、第1逆pin接合部38は、第2方向Yに第1pin接合部31に対向している。
第1逆P層39は、第2半導体層15の表層部に形成されている。第1逆P層39は、第2半導体層15のn型不純物濃度を超えるp型不純物濃度を有している。第1逆P層39のp型不純物濃度のピーク値は、1×1018cm-3以上1×1021cm-3以下であってもよい。第1逆P層39のp型不純物濃度のピーク値は、5×1018cm-3以上1×1020cm-3以下であることが好ましい。
第1逆P層39は、第1平面積S1を有している。第1平面積S1は、1000μm2以上10000μm2以下であってもよい。第1平面積S1は、1000μm2以上2000μm2以下、2000μm2以上4000μm2以下、4000μm2以上6000μm2以下、6000μm2以上8000μm2以下、または、8000μm2以上10000μm2以下であってもよい。
第1逆P層39、第1逆I層40および第1逆N層41は、半導体チップ10の厚さ方向(つまり法線方向Z)に沿うpin接合を形成している。これにより、第1逆P層39をアノードとし、第1逆N層41をカソードとして有する第1逆pinダイオードDR1が形成されている。第1逆pinダイオードDR1のカソードは、第1ツェナーダイオードDZ1のカソードに接続されている。
第1接合分離構造45は、第1接合分離トレンチ46(第1接合分離溝)、第1接合分離絶縁層47およびポリシリコン48を含む。第1接合分離トレンチ46は、この形態では、第1pin接合部31(第1P層34)および第1pn接合部35(第1内部N層36)の境界を両サイドから挟み込むように第1pin接合部31を取り囲むダブルトレンチ構造(二重溝構造)を有している。第1接合分離トレンチ46は、具体的には、第1内側トレンチ46Aおよび第1外側トレンチ46Bを含む。
第1内側トレンチ46Aは、第1主面11を第2主面12に向けて掘り下げることによって形成されている。第1内側トレンチ46Aは、第1pin接合部31の第1P層34を貫通し、第1半導体層14(具体的には濃度低下層17)に至っている。
第1内側トレンチ46Aの内周壁および外周壁は、第1主面11に対して垂直に形成されていてもよい。第1内側トレンチ46Aの内周壁および外周壁は、第1主面11に対して傾斜していてもよい。この場合、第1内側トレンチ46Aは、底面積が開口面積未満の先細り形状に形成されていてもよい。
第1外側トレンチ46Bは、平面視において第1内側トレンチ46Aから離間して第1内側トレンチ46Aを取り囲む環状(この形態では円環状)に形成されている。第1外側トレンチ46Bの平面形状は任意であり、必ずしも第1内側トレンチ46Aの平面形状に一致している必要はない。第1外側トレンチ46Bは、多角環状(たとえば四角環状)や円環状(楕円環状を含む)に形成されていてもよい。
第1外側トレンチ46Bは、内周壁、外周壁および底壁を含む。第1外側トレンチ46Bの内周壁は、第1内部N層36(第1逆N層41)の内周縁部を露出させている。第1外側トレンチ46Bの外周壁は、第1内部N層36(第1逆N層41)の内方部を露出させている。これにより、第1外側トレンチ46Bは、第1内部N層36(第1逆N層41)の内周縁部を第1pn接合部35および第1逆pin接合部38から電気的に分離している。
第1外側トレンチ46Bの底壁は、高濃度層16に対して濃度低下層17側に位置している。第1外側トレンチ46Bの底壁は、濃度低下層17を露出させている。第1外側トレンチ46Bは、領域分離トレンチ24と同時に形成されていてもよい。この場合、第1外側トレンチ46Bは、領域分離トレンチ24と等しい幅および深さを有している。
第1接合分離絶縁層47は、第1接合分離トレンチ46内に形成されている。第1接合分離絶縁層47は、具体的には、第1内側トレンチ46Aの内壁に沿って膜状に形成されている。これにより、第1接合分離絶縁層47は、第1内側トレンチ46A内においてリセス空間を区画している。また、第1接合分離絶縁層47は、第1外側トレンチ46Bの内壁に沿って膜状に形成されている。これにより、第1接合分離絶縁層47は、第1外側トレンチ46B内においてリセス空間を区画している。
ポリシリコン48は、電気的に浮遊状態に形成されている。第1接合分離構造45は、ポリシリコン48を有さず、第1内側トレンチ46Aに一体物として埋設された第1接合分離絶縁層47を含んでいてもよい。また、第1接合分離構造45は、ポリシリコン48を有さず、第1外側トレンチ46Bに一体物として埋設された第1接合分離絶縁層47を含んでいてもよい。
第2pin接合部51は、平面視において第2装置領域22の表層部の他方側(第2側面13B側)の領域に形成されている。第2pin接合部51は、第1逆pin接合部38を第1方向Xに横切るラインを設定したとき、当該ライン上に位置している。これにより、第2pin接合部51は、第1方向Xに第1逆pin接合部38に対向している。第2pin接合部51は、第1主面11の中央部に対して第1pin接合部31と点対称となるレイアウトで形成されていることが好ましい。
第2N層52は、第2半導体層15の表層部に形成されている。第2N層52は、平面視において円形状(楕円形状を含む)に形成されている。第2N層52の平面形状は任意である。第2N層52は、多角形状(たとえば四角形状)に形成されていてもよい。
第2P層54は、平面視において第2N層52の幅を超える幅を有している。これにより、第2P層54の周縁は、平面視において第2N層52を取り囲んでいる。第2P層54は、平面視において円形状(楕円形状を含む)に形成されている。第2P層54の平面形状は任意である。第2P層54は、多角形状(たとえば四角形状)に形成されていてもよい。
第2P層54のp型不純物濃度のピーク値は、1×1018cm-3以上1×1021cm-3以下であってもよい。第2P層54のp型不純物濃度のピーク値は、5×1018cm-3以上1×1020cm-3以下であることが好ましい。第2P層54のp型不純物濃度は、第1pin接合部31の第1P層34のp型不純物濃度と等しいことが好ましい。
第2pn接合部55は、第2装置領域22の内部において第1半導体層14(具体的には濃度保持層18)との間でpn接合を形成するn+型の第2内部N層56(第2内部半導体層)を含む。第2内部N層56は、第1半導体層14(具体的には濃度保持層18)および第2半導体層15の境界部に形成されている。第2内部N層56は、第2装置領域22において第2pin接合部51(具体的には第2P層54)以外の領域に形成されている。第2内部N層56は、第2pin接合部51(第2P層54)以外のほぼ全域に形成されていてもよい。
第2内部N層56のn型不純物濃度のピーク値は、1×1018cm-3以上1×1021cm-3以下であってもよい。第2内部N層56のn型不純物濃度のピーク値は、5×1018cm-3以上1×1020cm-3以下であることが好ましい。第2内部N層56のn型不純物濃度は、第1pn接合部35の第1内部N層36のn型不純物濃度と等しいことが好ましい。
第2逆P層59は、第2半導体層15の表層部に形成されている。第2逆P層59は、第2半導体層15のn型不純物濃度を超えるp型不純物濃度を有している。第2逆P層59のp型不純物濃度のピーク値は、1×1018cm-3以上1×1021cm-3以下であってもよい。第2逆P層59のp型不純物濃度のピーク値は、5×1018cm-3以上1×1020cm-3以下であることが好ましい。第2逆P層59のp型不純物濃度は、第1逆pin接合部38の第1逆P層39のp型不純物濃度と等しいことが好ましい。
第2逆P層59は、第2平面積S2を有している。第2平面積S2は、1000μm2以上10000μm2以下であってもよい。第2平面積S2は、1000μm2以上2000μm2以下、2000μm2以上4000μm2以下、4000μm2以上6000μm2以下、6000μm2以上8000μm2以下、または、8000μm2以上10000μm2以下であってもよい。第2平面積S2は、第1逆P層39の第1平面積S1と等しいことが好ましい。
第2逆P層59、第2逆I層60および第2逆N層61は、半導体チップ10の厚さ方向(つまり法線方向Z)に沿うpin接合を形成している。これにより、第2逆P層59をアノードとし、第2逆N層61をカソードとして有する第2逆pinダイオードDR2が形成されている。第2逆pinダイオードDR2のカソードは、第2ツェナーダイオードDZ2のカソードに接続されている。
第2接合分離構造65は、第2接合分離トレンチ66(第2接合分離溝)、第2接合分離絶縁層67およびポリシリコン68を含む。第2接合分離トレンチ66は、この形態では、第2pin接合部51(第2P層54)および第2pn接合部55(第2内部N層56)の境界を両サイドから挟み込むように第2pin接合部51を取り囲むダブルトレンチ構造(二重溝構造)を有している。第2接合分離トレンチ66は、具体的には、第2内側トレンチ66Aおよび第2外側トレンチ66Bを含む。
第2内側トレンチ66Aは、第1主面11を第2主面12に向けて掘り下げることによって形成されている。第2内側トレンチ66Aは、第2pin接合部51の第2P層54を貫通し、第1半導体層14(具体的には濃度低下層17)に至っている。
第2内側トレンチ66Aの内周壁および外周壁は、第1主面11に対して垂直に形成されていてもよい。第2内側トレンチ66Aの内周壁および外周壁は、第1主面11に対して傾斜していてもよい。この場合、第2内側トレンチ66Aは、底面積が開口面積未満の先細り形状に形成されていてもよい。
第2外側トレンチ66Bは、平面視において第2内側トレンチ66Aから離間して第2内側トレンチ66Aを取り囲む環状(この形態では円環状)に形成されている。第2外側トレンチ66Bの平面形状は任意であり、必ずしも第2内側トレンチ66Aの平面形状に一致している必要はない。第2外側トレンチ66Bは、多角環状(たとえば四角環状)や円環状(楕円環状を含む)に形成されていてもよい。
第2外側トレンチ66Bは、内周壁、外周壁および底壁を含む。第2外側トレンチ66Bの内周壁は、第2内部N層56(第2逆N層61)の内周縁部を露出させている。第2外側トレンチ66Bの外周壁は、第2内部N層56(第2逆N層61)の内方部を露出させている。これにより、第2外側トレンチ66Bは、第2内部N層56(第2逆N層61)の内周縁部を第2pn接合部55および第2逆pin接合部58から電気的に分離している。
第2外側トレンチ66Bの底壁は、高濃度層16に対して濃度低下層17側に位置している。第2外側トレンチ66Bの底壁は、濃度低下層17を露出させている。第2外側トレンチ66Bは、領域分離トレンチ24と同時に形成されていてもよい。この場合、第2外側トレンチ66Bは、領域分離トレンチ24と等しい幅および深さを有している。
第2接合分離絶縁層67は、第2接合分離トレンチ66内に形成されている。第2接合分離絶縁層67は、具体的には、第2内側トレンチ66Aの内壁に沿って膜状に形成されている。これにより、第2接合分離絶縁層67は、第2内側トレンチ66A内においてリセス空間を区画している。また、第2接合分離絶縁層67は、第2外側トレンチ66Bの内壁に沿って膜状に形成されている。これにより、第2接合分離絶縁層67は、第2外側トレンチ66B内においてリセス空間を区画している。
ポリシリコン68は、電気的に浮遊状態に形成されている。第2接合分離構造65は、ポリシリコン68を有さず、第2内側トレンチ66Aに一体物として埋設された第2接合分離絶縁層67を含んでいてもよい。また、第2接合分離構造65は、ポリシリコン68を有さず、第2外側トレンチ66Bに一体物として埋設された第2接合分離絶縁層67を含んでいてもよい。
シールド構造71は、半導体チップ10とは異なる材料からなり、第1主面11から第2主面12に向けて壁状に延びている。シールド構造71は、具体的には、シールドトレンチ74、シールド絶縁層75およびポリシリコン76を含むトレンチ絶縁構造を有している。
シールドトレンチ74は、側壁および底壁を含む。シールドトレンチ74の側壁は、第1主面11に対して垂直に形成されていてもよい。シールドトレンチ74の側壁は、第1主面11に対して傾斜していてもよい。この場合、シールドトレンチ74は、底面積が開口面積未満の先細り形状に形成されていてもよい。
シールドトレンチ74の幅は、0.1μm以上3μm以下であってもよい。シールドトレンチ74の幅は、0.1μm以上0.5μm以上、0.5μm以上1μm以下、1μm以上1.5μm以上、1.5μm以上2μm以下、2μm以上2.5μm以上、または、2.5μm以上3μm以下であってもよい。シールドトレンチ74の幅は、1.5μm以上2.5μm以下であることが好ましい。
シールド絶縁層75は、酸化シリコン層および窒化シリコン層のうちの少なくとも1つを含んでいてもよい。シールド絶縁層75は、酸化シリコン層および窒化シリコン層が任意の順序で積層された積層構造を有していてもよい。シールド絶縁層75は、酸化シリコン層または窒化シリコン層からなる単層構造を有していてもよい。シールド絶縁層75は、領域分離絶縁層25と同一の絶縁材料からなることが好ましい。シールド絶縁層75は、この形態では、酸化シリコン層からなる単層構造を有している。
図2~図9を参照して、ダイオードチップ1は、第1主面11の周縁において第1主面11の表層部に形成されたp+型の外側不純物層80を含む。外側不純物層80は、半導体チップ10の周縁における第1半導体層14および第2半導体層15の間のリーク電流を抑制する。
外側不純物層80は、平面視において側面13A~13Dに沿って帯状に延びている。外側不純物層80は、具体的には、側面13A~13Dに沿って延びる環状(この形態では四角環状)に形成されている。
外側不純物層80は、第1半導体層14および第2半導体層15の境界を横切るように第1主面11の表層部に形成されている。外側不純物層80は、具体的には、第1主面11から厚さ方向に向けてこの順に形成された上側領域81および下側領域82を含む。上側領域81は、第2半導体層15の表層部に形成されている。上側領域81のp型不純物濃度は、第2半導体層15のn型不純物濃度を超えている。上側領域81は、第1主面11側から第2主面12側に向けてp型不純物濃度が漸減する濃度勾配を有している。
中間絶縁層91は、第1pin開口92、第1逆pin開口93、第2pin開口94および第2逆pin開口95を含む。第1pin開口92は、第1装置領域21において第1pin接合部31を露出させている。第1逆pin開口93は、第1装置領域21において第1逆pin接合部38を露出させている。第2pin開口94は、第2装置領域22において第2pin接合部51を露出させている。第2逆pin開口95は、第2装置領域22において第2逆pin接合部58を露出させている。
第1配線部101Bは、中間絶縁層91の上から第1pin開口92および第1逆pin開口93に入り込んでいる。第1配線部101Bは、第1pin開口92内において第1pin接合部31に電気的に接続されている。第1配線部101Bは、第1pin接合部31(具体的には第1N層32)との間でオーミック接触を形成している。
図2~図9(特に図9)を参照して、ダイオードチップ1は、第2装置領域22において中間絶縁層91を貫通して第2pin接合部51および第2ダイオード対57に電気的に接続された第2電極層102(第2電極)を含む。第2電極層102は、第2pin接合部51および第2ダイオード対57を並列接続させている。第2電極層102は、第1電極層101から離間して中間絶縁層91の上に膜状に形成されている。第2電極層102は、第2パッド部102Aおよび第2配線部102Bを含む。
第2配線部102Bは、第2逆pin開口95内において第2逆pin接合部58に電気的に接続されている。第2配線部102Bは、第2逆pin接合部58(具体的には第2逆P層59)との間でオーミック接触を形成している。このようにして、第2電極層102は、第2装置領域22において第2pin接合部51および第2ダイオード対57を並列接続させている。
図2~図9を参照して、第1電極層101(第1パッド部101A)は、第1パッド領域273(具体的には第2半導体層15)との間で第1外部寄生容量CO1を形成している。第1外部寄生容量CO1は、第2半導体層15を介して第1内部寄生容量C1に直列接続されている。半導体チップ10(第1パッド領域273)において第1パッド分離構造275によって区画された領域は、第1内部寄生容量C1および第1外部寄生容量CO1を含む直列回路によって専有されている。
第2外部寄生容量CO2は、第1外部寄生容量CO1と等しいことが好ましい。つまり、第1電極層101(第1パッド部101A)は、平面視において中間絶縁層91の上に第1電極面積で形成され、第2電極層102(第2パッド部102A)は、平面視において中間絶縁層91の上に第1電極面積と等しい第2電極面積で形成されていることが好ましい。
最上絶縁層111は、第1電極層101を露出させる第1パッド開口114、および、第2電極層102を露出させる第2パッド開口115を含む。
側面絶縁層131は、酸化シリコン層または窒化シリコン層を含む単層構造を有していてもよい。側面絶縁層131は、任意の順で積層された酸化シリコン層および窒化シリコン層を含む積層構造を有していてもよい。側面絶縁層131は、この形態では、酸化シリコン層からなる単層構造を有している。
第1並列回路42は、第1pinダイオードD1および第1ダイオード対37を含む。第1ダイオード対37は、第1逆pinダイオードDR1および第1ツェナーダイオードDZ1を含む。第1pinダイオードD1のカソードは、第1端子電極121に電気的に接続されている。
第1pin接合部31、第1pn接合部35および第1逆pin接合部38のレイアウトに対する第2pin接合部51、第2pn接合部55および第2逆pin接合部58のレイアウトの対称性を高めることにより、双方向デバイスとしての電気的特性を向上できる。つまり、第1端子電極121から第2端子電極122に向けて電流が流れた場合の電気的特性が、第2端子電極122から第1端子電極121に向けて電流が流れた場合の電気的特性と等しくなる。
寄生容量回路283は、第1内部寄生容量C1、第2内部寄生容量C2、第1外部寄生容量CO1および第2外部寄生容量CO2からなる直列回路を含み、第1端子電極121および第2端子電極122に電気的に接続されている。第1パッド領域273側の合成容量CP1は、下記式(1)によって表される。また、第2パッド領域274側の合成容量CP2は、下記式(2)によって表される。
図13には、ダイオードチップ1の端子間容量CTを示す容量特性L1が示されている。容量特性L1を参照して、端子間容量CTは、第1平面積S1の増加に比例して増加し、第1平面積S1の減少に比例して減少した。第1平面積S1が1000μm2以上10000μm2以下の範囲に位置する場合、端子間容量CTは0.15pF以上0.35pF以下となった。
図14には、ダイオードチップ1の最大電流能力IPPを示す電流特性L2が示されている。電流特性L2を参照して、最大電流能力IPPは、第1平面積S1の増加に比例して増加し、第1平面積S1の減少に比例して減少した。第1平面積S1が1000μm2以上10000μm2以下の範囲に位置する場合、最大電流能力IPPは2A以上5A以下となった。
図15には、ダイオードチップ1のクランプ電圧VCLを示す電圧特性L3が示されている。電圧特性L3を参照して、クランプ電圧VCLは、第1平面積S1の増加に比例して減少し、第1平面積S1の減少に比例して増加した。第1平面積S1が1000μm2以上10000μm2以下の範囲に位置する場合、クランプ電圧VCLは23V以上27V以下となった。
第1逆pin接合部38(第1逆P層39)の第1平面積S1を小さくすることによって、低い端子間容量CTが実現されるが、高い最大電流能力IPPおよび低いクランプ電圧VCLは実現されない。一方で、第1逆pin接合部38(第1逆P層39)の第1平面積S1を大きくすることによって、高い最大電流能力IPPおよび低いクランプ電圧VCLが実現されるが、低い端子間容量CTは実現されない。
特に、第1接合分離構造45は、第1接合分離トレンチ46を含むトレンチ構造を有している。これにより、第1装置領域21において第1pin接合部31の不所望な拡散を第1接合分離構造45によって適切に抑制できる。
また、ダイオードチップ1は、第2装置領域22において第2pin接合部51を第2pn接合部55および第2逆pin接合部58から区画する第2接合分離構造65を含む。これにより、第2pin接合部51を第2装置領域22の表層部に適切に作りこむことができる。
さらに、第2接合分離トレンチ66は、第2装置領域22において第2pin接合部51(第2P層54)および第2pn接合部55(第2内部N層56)の境界を両サイドから挟み込むダブルトレンチ構造(二重溝構造)を有している。第2接合分離トレンチ66は、具体的には、第2pin接合部51および第2pn接合部55の境界を両サイドから挟み込む第2内側トレンチ66Aおよび第2外側トレンチ66Bを含む。
また、ダイオードチップ1によれば、第1半導体層14が濃度低下層17および濃度保持層18を含み、第1pn接合部35の第1内部N層36が、第1半導体層14の濃度保持層18との間でpn接合を形成している。
第1半導体層14が濃度保持層18を有さない場合、第2内部N層56は、濃度低下層17との間でpn接合を形成する。この場合、第2pn接合部55におけるpn濃度変化が急峻になるため、当該第2pn接合部55を起点に実際の耐圧(具体的にはブレークダウン電圧VB)が目標の耐圧から変動する可能性がある。このような問題は、濃度低下層17の厚さのバラツキ(たとえば±5%程度)に起因して顕在化する。
このような構造によれば、第1装置領域21および第2装置領域22の間に形成される電流経路を短縮できるから、半導体チップ10(第1半導体層14)の抵抗成分による影響を低減できる。その結果、抵抗成分の減少分に応じて、最大電流能力IPPを増加させ、クランプ電圧VCLを低減させることができる。
ダイオードチップ291は、複数(この形態では3個)の第1装置領域21および複数(この形態では3個)の第2装置領域22を含む。第1装置領域21の個数は、2個以上であればよく、4個以上形成されていてもよい。第2装置領域22の個数は、2個以上であればよく、4個以上形成されていてもよい。第2装置領域22の個数は、対称性の観点から、第1装置領域21の個数と等しいことが好ましい。
複数の第2装置領域22は、半導体チップ10の装置形成領域272において第1方向Xに沿って間隔を空けて形成され、第2方向Yに沿って延びる帯状(長方形状)にそれぞれ形成されている。複数の第2装置領域22は、複数の第1装置領域21から第1方向Xに間隔を空けて形成されている。複数の第2装置領域22は、第1方向Xに沿って複数の第1装置領域21と交互に形成されている。複数の第2装置領域22は、第1方向Xに沿って複数の第1装置領域21と等間隔に形成されていることが好ましい。
複数の第1領域分離構造23Aは、1対1対応の関係で複数の第1装置領域21をそれぞれ区画している。複数の第2領域分離構造23Bは、1対1対応の関係で複数の第2装置領域22をそれぞれ区画している。複数の第2領域分離構造23Bは、この形態では、複数の第1領域分離構造23Aから間隔を空けて形成されている。複数の第2領域分離構造23Bは、互いに隣り合う第1装置領域21および第2装置領域22の間において複数の第1領域分離構造23Aと一体的に形成されていてもよい。
複数の第1pin接合部31は、各第1装置領域21において第2方向Yに沿って間隔を空けて一列に配列されている。また、複数の第1pin接合部31は、複数の第1装置領域21の間で第1方向Xに沿って間隔を空けて一列に配列されている。これにより、複数の第1pin接合部31は、複数の第1装置領域21の間で行列状(この形態では3行3列の行列状)に配列されている。
各第1装置領域21に形成される第1pin接合部31の個数は、1個以上であればよく、2個以上形成されていてもよい。第1pin接合部31の個数は、複数の第1装置領域21の間で異なっていてもよい。複数の第1装置領域21の間において、第1pin接合部31の個数は、対称性の観点から、互いに等しいことが好ましい。
複数の第1逆P層39(第1逆pin接合部38)は、第1総面積ST1を有している。第1総面積ST1は、複数の第1逆P層39の第1平面積S1の総和によって定義される。複数の第1逆P層39は、等しい第1平面積S1をそれぞれ有していてもよいし、互いに異なる第1平面積S1をそれぞれ有していてもよい。複数の第1逆P層39は、電気的特性を一致させる観点から、等しい第1平面積S1をそれぞれ有していることが好ましい。
各第1装置領域21に形成される第1逆pin接合部38の個数は、1個以上であればよく、2個以上形成されていてもよい。第1逆pin接合部38の個数は、複数の第1装置領域21の間で異なっていてもよい。複数の第1装置領域21の間において、第1逆pin接合部38の個数は、対称性の観点から、互いに等しいことが好ましい。
複数の第2pin接合部51は、各第2装置領域22において第2方向Yに沿って間隔を空けて一列に配列されている。また、複数の第2pin接合部51は、複数の第2装置領域22の間で第1方向Xに沿って間隔を空けて一列に配列されている。これにより、複数の第2pin接合部51は、複数の第2装置領域22の間で行列状(この形態では3行3列の行列状)に配列されている。
各第2装置領域22に形成される第2pin接合部51の個数は、1個以上であればよく、2個以上形成されていてもよい。第2pin接合部51の個数は、複数の第2装置領域22の間で異なっていてもよい。複数の第2装置領域22において、第2pin接合部51の個数は、対称性の観点から、互いに等しいことが好ましい。また、第2pin接合部51の個数は、対称性の観点から、第1pin接合部31の個数と等しいことがさらに好ましい。
複数の第2逆pin接合部58は、第1主面11の中央部に対して複数の第1逆pin接合部38と点対称となるレイアウトで形成されていることが好ましい。第1方向Xに関して、第1逆pin接合部38および第2pin接合部51の間の距離は、第1pin接合部31および第2逆pin接合部58の間の距離と等しいことが好ましい。
複数の第2逆P層59(第2逆pin接合部58)は、第2総面積ST2を有している。第2総面積ST2は、複数の第2逆P層59の第2平面積S2の総和によって定義される。複数の第2逆P層59は、等しい第2平面積S2をそれぞれ有していてもよいし、互いに異なる第2平面積S2をそれぞれ有していてもよい。複数の第2逆P層59は、電気的特性を一致させる観点から、等しい第2平面積S2をそれぞれ有していることが好ましい。
第2総面積ST2は、複数の第1逆P層39の第1総面積ST1と等しいことが好ましい。この場合、各第2逆P層59の第2平面積S2は、各第1逆P層39の第1平面積S1と等しいことがさらに好ましい。
複数の第2配線部102Bは、中間絶縁層91の上から対応する第2pin開口94および対応する第2逆pin開口95に入り込んでいる。第2パッド部102Aは、対応する第2pin開口94内において対応する第2pin接合部51に電気的に接続されている。第2パッド部102Aは、対応する第2pin接合部51(具体的には第2N層52)との間でオーミック接触を形成している。
図17を参照して、ダイオードチップ291は、第1端子電極121、第2端子電極122およびTVS回路63を含む。TVS回路63は、第1並列回路42および第2並列回路62が直列接続された直列回路からなり、第1端子電極121および第2端子電極122に電気的に接続されている。
図18には、第1実施形態に係るダイオードチップ1の容量特性L1が破線によって示されている。また、図18には、第2実施形態に係るダイオードチップ291の端子間容量CTが第1プロット点P1によって示されている。
図19は、図16のダイオードチップ291の最大電流能力IPPを示すグラフである。縦軸は最大電流能力IPP[A]を示し、横軸は複数の第1逆P層39の第1総面積ST1[μm2]を示している。ダイオードチップ291は、双方向デバイスであるので、横軸を複数の第2逆P層59の第2総面積ST2[μm2]としても同様のことが言える。
第2プロット点P2は、第1総面積ST1を3000μm2とした場合のダイオードチップ291の最大電流能力IPPを示している。第2プロット点P2を参照して、ダイオードチップ291の最大電流能力IPPは、3.5A以上4A以下であり、電流特性L2から増加方向に変動した。
第3プロット点P3は、第1総面積ST1を3000μm2とした場合のダイオードチップ291のクランプ電圧VCLを示している。第3プロット点P3を参照して、ダイオードチップ291のクランプ電圧VCLは、23V以上24A以下であり、電圧特性L3から減少方向に変動した。
以上、ダイオードチップ291によってもダイオードチップ1に対して述べた効果と同様の効果を奏することができる。また、ダイオードチップ291によれば、比較的小さい第1平面積S1を有する複数の第1逆P層39が第1総面積ST1で形成されている。これにより、比較的大きい第1平面積S1を有する1つの第1逆P層39を形成する場合に比べて、設計の自由度を高めることができると同時に、低い端子間容量CT、高い最大電流能力IPPおよび低いクランプ電圧VCLを実現できる。
図21を参照して、ダイオードチップ331は、第1パッド領域273に形成された1つの第1pin接合部31を含む。第1パッド領域273側の第1pin接合部31は、第1パッド領域273において第1pinダイオードD1を形成している。
これにより、第1パッド領域273側の第1pin接合部31は、第2方向Yに第1装置領域21および第2装置領域22に対向している。第1パッド領域273側の第1pin接合部31は、第2方向Yに第1装置領域21および第2装置領域22のいずれか一方だけに対向する態様(長さ)で形成されていてもよい。
第2パッド領域274側の第2pin接合部51は、第2パッド領域274において第1方向Xに沿って延びる帯状に形成されている。第2パッド領域274側の第2pin接合部51は、この形態では、第1主面11の中央部を第2方向Yに横切る中央ラインを設定したとき、当該中央ラインを横切る帯状に形成されている。
中間絶縁層91は、複数の第1pin開口92および複数の第2pin開口94を含む。複数の第1pin開口92は、第1装置領域21において第1pin接合部31を露出させ、かつ、第1パッド領域273において第1pin接合部31を露出させている。複数の第2pin開口94は、第2装置領域22において第2pin接合部51を露出させ、かつ、第2パッド領域274において第2pin接合部51を露出させている。
第1パッド部101Aは、第1パッド分離構造275によって取り囲まれた領域に加えて、第1パッド領域273側の第1pin接合部31を被覆している。第1パッド部101Aは、中間絶縁層91の上から第1pin開口92に入り込んでいる。第1パッド部101Aは、第1pin開口92内において第1パッド領域273側の第1pin接合部31に電気的に接続されている。第1パッド部101Aは、第1パッド領域273側の第1pin接合部31(具体的には第1N層32)との間でオーミック接触を形成している。
第2パッド部102Aは、第2パッド分離構造276によって取り囲まれた領域に加えて、第2パッド領域274側の第2pin接合部51を被覆している。第2パッド部102Aは、中間絶縁層91の上から第2pin開口94に入り込んでいる。第2パッド部102Aは、第2pin開口94内において第2パッド領域274側の第2pin接合部51に電気的に接続されている。第2パッド部102Aは、第2パッド領域274側の第2pin接合部51(具体的には第2N層52)との間でオーミック接触を形成している。
この形態では、第1パッド領域273に1つの第1pin接合部31が形成された例について説明した。しかし、第1パッド領域273側の第1pin接合部31の個数は任意である。第1パッド領域273には、2つ以上の第1pin接合部31が形成されていてもよい。
図22は、図8の対応図であって、本発明の第4実施形態に係るダイオードチップ341の平面図である。以下、ダイオードチップ1に対して述べた構造に対応する構造については、同一の参照符号を付して説明を省略する。
第3装置領域342は、第1パッド領域273において第1方向Xに沿って延びる帯状(長方形状)に形成されている。第3装置領域342は、この形態では、第1主面11の中央部を第2方向Yに横切る中央ラインを設定したとき、当該中央ラインを横切る帯状に形成されている。
第4装置領域343は、第2パッド領域274において第1方向Xに沿って延びる帯状(長方形状)に形成されている。第4装置領域343は、この形態では、第1主面11の中央部を第2方向Yに横切る中央ラインを設定したとき、当該中央ラインを横切る帯状に形成されている。
第3装置領域342内における複数の第1pin接合部31のレイアウトおよび複数の第1逆pin接合部38のレイアウトは任意である。複数の第1pin接合部31は、この形態では、第1方向Xに関して第3装置領域342の両サイドにそれぞれ形成されている。複数の第1逆pin接合部38は、第3装置領域342において複数の第1pin接合部31に挟まれた領域にそれぞれ形成されている。複数の第1逆pin接合部38は、この形態では、第1方向Xに沿って一列に配列されている。
複数の第2pin接合部51のレイアウトおよび複数の第2逆pin接合部58のレイアウトは任意である。複数の第2pin接合部51は、この形態では、第1方向Xに関して、第4装置領域343の両サイドにそれぞれ形成されている。複数の第2逆pin接合部58は、第4装置領域343内において複数の第2pin接合部51に挟まれた領域にそれぞれ形成されている。複数の第2逆pin接合部58は、この形態では、第1方向Xに沿って一列に配列されている。
中間絶縁層91は、複数の第1pin開口92、複数の第1逆pin開口93、複数の第2pin開口94および複数の第2逆pin開口95を含む。
第1パッド部101Aは、第3装置領域342における対応する第1pin開口92内において対応する第1pin接合部31に電気的に接続されている。第1パッド部101Aは、第3装置領域342において第1pin接合部31(具体的には第1N層32)との間でオーミック接触を形成している。
第2電極層102は、第2装置領域22において中間絶縁層91を貫通して第2pin接合部51および第2ダイオード対57に電気的に接続され、かつ、第4装置領域343において中間絶縁層91を貫通して複数の第2pin接合部51および第2ダイオード対57に電気的に接続されている。第2電極層102は、第2パッド部102Aおよび第2配線部102Bを含む。
第2パッド部102Aは、第4装置領域343における対応する第2pin開口94内において対応する第2pin接合部51に電気的に接続されている。第2パッド部102Aは、第4装置領域343において第2pin接合部51(具体的には第2N層52)との間でオーミック接触を形成している。
以上、ダイオードチップ341によってもダイオードチップ1に対して述べた効果と同様の効果を奏することができる。ダイオードチップ341の構造は、第2~第3実施形態にも組み込むことができる。
ダイオードチップ351は、第1パッド領域273において第1パッド分離構造275によって取り囲まれた領域の表層部に形成されたp+型の第1容量層352を含む。第1容量層352は、具体的には、第2半導体層15の表層部に形成されている。第1容量層352は、第2半導体層15のn型不純物濃度を超えるp型不純物濃度を有している。第1容量層352のp型不純物濃度のピーク値は、1×1018cm-3以上1×1021cm-3以下であってもよい。第1容量層352のp型不純物濃度のピーク値は、5×1018cm-3以上1×1020cm-3以下であることが好ましい。
第2電極層102の第2パッド部102Aは、中間絶縁層91を挟んで第2容量層353に対向している。第2パッド部102Aは、第2半導体層15(第2容量層353)との間で第2外部寄生容量CO2を形成している。第2外部寄生容量CO2は、第2表層寄生容量CS2に直列接続されている。
寄生容量回路283は、第1外部寄生容量CO1、第1表層寄生容量CS1、第1内部寄生容量C1、第2外部寄生容量CO2、第2表層寄生容量CS2および第2内部寄生容量C2の直列回路からなり、第1端子電極121および第2端子電極122に電気的に接続されている。第1パッド領域273側の合成容量CP1は、下記式(5)によって表され、第2パッド領域274側の合成容量CP2は、下記式(6)によって表される。
以上、ダイオードチップ351によってもダイオードチップ1に対して述べた効果と同様の効果を奏することができる。また、ダイオードチップ351によれば、ダイオードチップ1と比較して、第1外部寄生容量CO1に直列接続される寄生容量の個数を増加させることができる。また、ダイオードチップ351によれば、第2外部寄生容量CO2に直列接続される寄生容量の個数を増加させることができる。これにより、端子間容量CTをさらに低減できる。ダイオードチップ351の構造は、第2~第4実施形態にも組み込むことができる。
第1内部容量層362は、第2半導体層15のn型不純物濃度を超えるp型不純物濃度を有している。また、第1内部容量層362は、少なくとも濃度保持層18のp型不純物濃度を超えるp型不純物濃度を有している。第1内部容量層362は、高濃度層16のp型不純物濃度を超えるp型不純物濃度を有していてもよい。
第2内部容量層363は、第2半導体層15のn型不純物濃度を超えるp型不純物濃度を有している。また、第2内部容量層363は、少なくとも濃度保持層18のp型不純物濃度を超えるp型不純物濃度を有している。第2内部容量層363は、高濃度層16のp型不純物濃度を超えるp型不純物濃度を有していてもよい。
図26は、図8の対応図であって、本発明の第7実施形態に係るダイオードチップ371の平面図である。前述の第1~第6実施形態では、第1ダイオード対37が、第1pin接合部31との間で第1並列回路42を形成し、第2ダイオード対57が、第2pin接合部51との間で第2並列回路62を形成していた。
図26を参照して、ダイオードチップ371は、第1装置領域21において1つの第1pin接合部31、1つの第1pn接合部35、および、1つの第1逆pin接合部38を含む。第1pin接合部31、第1pn接合部35および第1逆pin接合部38は、第1実施形態の場合と同様のレイアウトで形成されている。第1逆pin接合部38は、第1pn接合部35との間で第1ダイオード対37を形成している。
第2pin接合部51は、半導体チップ10(第1半導体層14)を介して第1ダイオード対37との間で第1並列回路192を形成している。第2逆pin接合部58は、第2pn接合部55との間で第2ダイオード対57を形成している。第2ダイオード対57は、半導体チップ10(第1半導体層14)を介して第1pin接合部31との間で第2並列回路193を形成している。第2並列回路193は、第1並列回路192との間でTVS回路194を形成している。
第1パッド部101Aは、平面視において第1装置領域21および第2装置領域22から離間して第1パッド領域273の上に形成されている。第1パッド部101Aは、この形態では、平面視において第1装置領域21および第2装置領域22に重ならない領域に形成されている。第1パッド部101Aは、平面視において第1装置領域21の一部および第2装置領域22の一部に重なっていてもよい。
第2パッド部102Aは、平面視において第1装置領域21および第2装置領域22から離間して第2パッド領域274の上に形成されている。第2パッド部102Aは、この形態では、平面視において第1装置領域21および第2装置領域22に重ならない領域に形成されている。第2パッド部102Aは、平面視において第1装置領域21の一部および第2装置領域22の一部に重なっていてもよい。
第1ダイオード対37は、第1逆pinダイオードDR1のカソードが第1ツェナーダイオードDZ1のカソードに逆バイアス接続された逆直列回路からなる。第1逆pinダイオードDR1のアノードは、第2端子電極122に電気的に接続されている。第1ツェナーダイオードDZ1のアノードは、第2pinダイオードD2のアノードに逆バイアス接続されている。
第1pin接合部31、第1pn接合部35および第1逆pin接合部38のレイアウトに対する第2pin接合部51、第2pn接合部55および第2逆pin接合部58のレイアウトの対称性を高めることにより、双方向デバイスとしての電気的特性を向上できる。つまり、第1端子電極121から第2端子電極122に向けて電流が流れた場合の電気的特性が、第2端子電極122から第1端子電極121に向けて電流が流れた場合の電気的特性と等しくなる。
すなわち、ダイオードチップ371では、第2pin接合部51が第1ダイオード対37との間で第1並列回路192を形成し、第2ダイオード対57が第1pin接合部31との間で第2並列回路193を形成している。ダイオードチップ371では、第1電極層101が第1pin接合部31および第2ダイオード対57に電気的に接続され、第2電極層102が第1ダイオード対37および第2pin接合部51に電気的に接続されている。
まず、図28Aを参照して、半導体チップ10(具体的には高濃度層16)のベースとなるp++型のシリコン製の半導体ウエハ401が用意される。半導体ウエハ401のp型不純物は、ホウ素であってもよい。
次に、図28Cを参照して、p型不純物(たとえばホウ素)が第1エピタキシャル層402の表層部に導入される。p型不純物は、イオン注入法によって第1エピタキシャル層402の表層部に導入されてもよい。これにより、第1エピタキシャル層402の表層部のp型不純物濃度が高められる。
次に、ダイオードチップ1にそれぞれ対応した複数のチップ領域404、および、複数のチップ領域404を区画する切断予定領域405が設定される。図28Dでは、1つのチップ領域404が図示されている(以下、同じ。)。複数のチップ領域404は、第1方向Xおよび第2方向Yに沿って間隔を空けて行列状に設定される。切断予定領域405は、第1方向Xおよび第2方向Yに沿って延びる格子状に設定され、複数のチップ領域404を区画する。
次に、p型不純物(たとえばホウ素)が、イオン注入マスク410を介して第1ウエハ主面408(第3エピタキシャル層406)の表層部に導入される。これにより、外側不純物層80の上側領域81が各チップ領域404および切断予定領域405において第1ウエハ主面408の表層部に形成される。
次に、ハードマスク411を介するエッチング法によって、第1ウエハ主面408の不要な部分が除去される。エッチング法は、ウエットエッチング法および/またはドライエッチング法であってもよい。エッチング法は、ドライエッチング法の一例としてのRIE(Reactive Ion Etching)法であることが好ましい。これにより、複数のトレンチ412が第1ウエハ主面408に形成される。ハードマスク411は、その後、除去される。
第1ベース絶縁層413は、第1ウエハ主面408および複数のトレンチ412の内壁に沿って膜状に形成される。第1ベース絶縁層413は、CVD法または酸化処理法(たとえば熱酸化処理法)によって形成されてもよい。第1ベース絶縁層413は、この形態では、熱酸化処理法によって形成される。
次に、第1ベース絶縁層413の不要な部分が、エッチング法によって除去される。エッチング法は、ウエットエッチング法および/またはドライエッチング法であってもよい。第1ベース絶縁層413は、第1ウエハ主面408が露出するまで除去される。第1ベース絶縁層413のうち第1ウエハ主面408を被覆する部分は、中間絶縁層91の一部として残存させてもよい。これにより、領域分離構造23、第1接合分離構造45、第2接合分離構造65、シールド構造71、第1パッド分離構造275および第2パッド分離構造276が、各チップ領域404に形成される。
次に、n型不純物(たとえば燐)が、イオン注入マスク415を介して第1ウエハ主面408(第3エピタキシャル層406)の表層部に導入される。これにより、第1N層32および第2N層52が、各チップ領域404において第1ウエハ主面408の表層部に形成される。また、第1N層32、第1I層33および第1P層34を含む第1pin接合部31、ならびに、第2N層52、第2I層53および第2P層54を含む第2pin接合部51が、各チップ領域404において第1ウエハ主面408(第3エピタキシャル層406)の表層部に形成される。イオン注入マスク415は、その後、除去される。
次に、p型不純物(たとえばホウ素)が、イオン注入マスク416を介して第1ウエハ主面408(第3エピタキシャル層406)の表層部に導入される。これにより、第1逆P層39および第2逆P層59が、各チップ領域404において第1ウエハ主面408の表層部に形成される。また、第1逆P層39、第1逆I層40および第1逆N層41を含む第1逆pin接合部38、ならびに、第2逆P層59、第2逆I層60および第2逆N層61を含む第2逆pin接合部58が、各チップ領域404において第1ウエハ主面408(第3エピタキシャル層406)の表層部に形成される。イオン注入マスク416は、その後、除去される。図28Lの工程は、図28Kの工程に先立って実施されてもよい。
次に、レジストマスク420を介するエッチング法によって、ベース電極層419の不要な部分が除去される。エッチング法は、ウエットエッチング法および/またはドライエッチング法であってもよい。これにより、各チップ領域404に第1電極層101および第2電極層102に形成される。レジストマスク420は、その後、除去される。
次に、図28Sを参照して、樹脂層113が、第1パッド開口114、第2パッド開口115および切断予定領域405に対応したパターンで露光された後、現像される。これにより、第1パッド開口114、第2パッド開口115および切断予定領域405に対応したパターンを有する複数の開口421が、樹脂層113に形成される。
前述の各実施形態において、第1pin接合部31および第1逆pin接合部38の配置が入れ替えられ、第2pin接合部51および第2逆pin接合部58の配置が入れ替えられてもよい。
前述の各実施形態において、各半導体部分の導電型が反転された構造が採用されてもよい。つまり、p型の部分がn型に形成され、n型の部分がp型に形成されてもよい。この場合、第1pinダイオードD1、第1ツェナーダイオードDZ1、第1逆pinダイオードDR1、第2pinダイオードD2、第2ツェナーダイオードDZ2、第2逆pinダイオードDR2の極性方向がそれぞれ逆向きになる。
この明細書は、第1~第11実施形態に示された特徴の如何なる組み合わせ形態をも制限しない。第1~第11実施形態は、それらの間で任意の態様および任意の形態において組み合わせられることができる。つまり、第1~第11実施形態に示された特徴が任意の態様および任意の形態で組み合わされたダイオードチップが採用されてもよい。
10 半導体チップ
21 第1装置領域
22 第2装置領域
23 領域分離構造
24 領域分離トレンチ
25 領域分離絶縁体
26 ポリシリコン
31 第1pin接合部
35 第1pn接合部
37 第1ダイオード対
38 第1逆pin接合部
48 第1ポリシリコン
51 第2pin接合部
55 第2pn接合部
57 第2ダイオード対
58 第2逆pin接合部
68 第2ポリシリコン
91 中間絶縁層
101 第1電極層
101A 第1パッド部
101B 第1配線部
102 第2電極層
102A 第2パッド部
102B 第2配線部
111 最上絶縁層
121 第1端子電極
122 第2端子電極
273 第1パッド領域
274 第2パッド領域
275 第1パッド分離構造
276 第2パッド分離構造
277 第1パッド分離トレンチ
278 第1パッド分離絶縁層
279 ポリシリコン
280 第2パッド分離トレンチ
281 第2パッド分離絶縁層
282 ポリシリコン
291 ダイオードチップ
331 ダイオードチップ
341 ダイオードチップ
351 ダイオードチップ
352 第1容量層
353 第2容量層
361 ダイオードチップ
362 第1内部容量層
363 第2内部容量層
371 ダイオードチップ
C1 第1内部寄生容量
C2 第2内部寄生容量
CO1 第1外部寄生容量
CO2 第2外部寄生容量
CS1 第1表層寄生容量
CS2 第2表層寄生容量
Claims (25)
- 第1導電型の第1半導体層、および、前記第1半導体層の上に形成された第2導電型の第2半導体層を含む半導体チップと、
前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記半導体チップに形成され、平面視において前記半導体チップの一部を取り囲み、前記半導体チップの一部を他の領域から区画することによって前記第1半導体層および前記第2半導体層の間に内部寄生容量を形成する分離溝と、
前記第2半導体層を被覆する中間絶縁層と、
前記中間絶縁層を挟んで前記分離溝によって区画された領域に対向し、前記半導体チップとの間で前記内部寄生容量に直列接続された外部寄生容量を形成する電極と、を含む、半導体装置。 - 第1導電型の第1半導体層、および、前記第1半導体層の上に形成された第2導電型の第2半導体層を含む半導体チップと、
前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記半導体チップに形成され、前記半導体チップの一部を他の領域から区画することによって前記第1半導体層および前記第2半導体層の間に内部寄生容量を形成する分離溝と、
前記第2半導体層の表層部において前記分離溝によって区画された領域に形成され、前記第2半導体層との間で前記内部寄生容量に直列接続された表層寄生容量を形成する第1導電型の容量層と、
前記第2半導体層を被覆する中間絶縁層と、
前記中間絶縁層を挟んで前記分離溝によって区画された領域に対向し、前記半導体チップとの間で前記内部寄生容量および前記表層寄生容量に直列接続された外部寄生容量を形成する電極と、を含む、半導体装置。 - 第1導電型の第1半導体層、および、前記第1半導体層の上に形成された第2導電型の第2半導体層を含む半導体チップと、
前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記半導体チップに形成され、前記半導体チップの一部を他の領域から区画する分離溝と、
前記分離溝によって区画された領域において前記第1半導体層および前記第2半導体層の間の境界に形成され、前記第2半導体層の第2導電型不純物濃度を超える第1導電型不純物濃度を有し、内部寄生容量を形成する内部容量層と、
前記第2半導体層を被覆する中間絶縁層と、
前記中間絶縁層を挟んで前記分離溝によって区画された領域に対向し、前記半導体チップとの間で前記内部寄生容量に直列接続された外部寄生容量を形成する電極と、を含む、半導体装置。 - 前記内部容量層は、前記第1半導体層および前記第2半導体層の間の境界において前記第1半導体層の表層部の第1導電型不純物濃度を超える第1導電型不純物濃度を有している、請求項3に記載の半導体装置。
- 第1導電型の第1半導体層、および、前記第1半導体層の上に形成された第2導電型の第2半導体層を含む半導体チップと、
前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記半導体チップに形成され、前記半導体チップの一部を他の領域から区画することによって前記第1半導体層および前記第2半導体層の間に内部寄生容量を形成する分離溝と、
前記半導体チップ側からこの順に積層された酸化シリコン層、窒化シリコン層および酸化シリコン層を含むONO構造を有し、前記第2半導体層を被覆する中間絶縁層と、
前記中間絶縁層を挟んで前記分離溝によって区画された領域に対向し、前記半導体チップとの間で前記内部寄生容量に直列接続された外部寄生容量を形成する電極と、を含む、半導体装置。 - チップサイズパッケージからなる半導体装置であって、
第1導電型の第1半導体層、および、前記第1半導体層の上に形成された第2導電型の第2半導体層を含む半導体チップと、
前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記半導体チップに形成され、前記半導体チップの一部を他の領域から区画することによって前記第1半導体層および前記第2半導体層の間に内部寄生容量を形成する分離溝と、
前記第2半導体層を被覆する中間絶縁層と、
前記中間絶縁層を挟んで前記分離溝によって区画された領域に対向し、前記半導体チップとの間で前記内部寄生容量に直列接続された外部寄生容量を形成する電極と、を含む、半導体装置。 - 前記半導体チップにおいて前記分離溝によって区画された領域は、前記内部寄生容量および前記外部寄生容量を含む直列回路によって専有されている、請求項1~6のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記分離溝内に形成された分離絶縁層をさらに含む、請求項1~7のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記分離絶縁層を挟んで前記分離溝に埋設されたポリシリコンをさらに含む、請求項8に記載の半導体装置。
- 第1導電型の第1半導体層、および、前記第1半導体層の上に形成された第2導電型の第2半導体層を含み、装置領域および前記装置領域外のパッド領域を有する半導体チップと、
前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記半導体チップに形成され、前記パッド領域の一部を他の領域から区画し、前記半導体チップの一部を他の領域から区画することによって前記第1半導体層および前記第2半導体層の間に内部寄生容量を形成する分離溝と、
前記第2半導体層を被覆する中間絶縁層と、
前記中間絶縁層を挟んで前記分離溝によって区画された領域に対向し、前記半導体チップとの間で前記内部寄生容量に直列接続された外部寄生容量を形成する電極と、を含む、半導体装置。 - 前記電極は、前記中間絶縁層を挟んで前記分離溝によって区画された領域に対向し、前記外部寄生容量を形成するパッド部、および、前記パッド部から前記装置領域に向けて引き出され、前記装置領域に電気的に接続された配線部を含む、請求項10に記載の半導体装置。
- 前記装置領域を他の領域から区画する領域分離構造をさらに含む、請求項10または11に記載の半導体装置。
- 前記領域分離構造は、前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記半導体チップに形成された領域分離溝を含む、請求項12に記載の半導体装置。
- 前記領域分離溝は、前記分離溝の深さと等しい深さで形成されている、請求項13に記載の半導体装置。
- 前記領域分離溝内に形成された領域分離絶縁層をさらに含む、請求項13または14に記載の半導体装置。
- 前記領域分離絶縁層を挟んで前記領域分離溝に埋設された領域分離ポリシリコンをさらに含む、請求項15に記載の半導体装置。
- 前記装置領域に形成されたダイオードをさらに含む、請求項10~16のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 第1導電型の第1半導体層、および、前記第1半導体層の上に形成された第2導電型の第2半導体層を有し、互いに離間した第1パッド領域および第2パッド領域を含む半導体チップと、
前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記第1パッド領域に形成され、前記第1パッド領域の一部を他の領域から区画することによって前記第1半導体層および前記第2半導体層の間に第1内部寄生容量を形成する第1パッド分離溝と、
前記第2半導体層を貫通し、前記第1半導体層に至るように前記第2パッド領域に形成され、前記第2パッド領域の一部を他の領域から区画することによって前記第1半導体層および前記第2半導体層の間に第2内部寄生容量を形成する第2パッド分離溝と、
前記第2半導体層を被覆する中間絶縁層と、
前記中間絶縁層を挟んで前記第1パッド分離溝によって区画された領域に対向し、前記半導体チップとの間で前記第1内部寄生容量に直列接続された第1外部寄生容量を形成する第1パッド部を有する第1電極と、
前記中間絶縁層を挟んで前記第2パッド分離溝によって区画された領域に対向し、前記半導体チップとの間で前記第2内部寄生容量に直列接続された第2外部寄生容量を形成する第2パッド部を有する第2電極と、を含む、半導体装置。 - 前記第2内部寄生容量は、前記第1半導体層を介して前記第1内部寄生容量に直列接続されている、請求項18に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップは、前記第1パッド領域および前記第2パッド領域の間の領域に装置領域を含む、請求項18または19に記載の半導体装置。
- 前記第1電極は、前記第1パッド部から前記装置領域に向けて引き出され、前記装置領域に電気的に接続された第1配線部を含み、
前記第2電極は、前記第2パッド部から前記装置領域に向けて引き出され、前記装置領域に電気的に接続された第2配線部を含む、請求項20に記載の半導体装置。 - 前記第2配線部は、平面視において前記第1配線部が延びる方向に沿って延び、かつ、
前記第1配線部が延びる方向に直交する方向に前記第1配線部と対向している、請求項21に記載の半導体装置。 - 前記第1パッド部に電気的に接続された第1端子電極と、
前記第2パッド部に電気的に接続された第2端子電極と、をさらに含む、請求項18~22のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記中間絶縁層を被覆する最上絶縁層をさらに含み、
前記第1端子電極は、前記最上絶縁層を貫通して前記第1パッド部に接続され、
前記第2端子電極は、前記最上絶縁層を貫通して前記第2パッド部に接続されている、請求項23に記載の半導体装置。 - チップサイズパッケージからなる、請求項18~24のいずれか一項に記載の半導体装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019180821A JP7405550B2 (ja) | 2019-09-30 | 2019-09-30 | 半導体装置 |
CN202010442434.2A CN112582481B (zh) | 2019-09-30 | 2020-05-22 | 半导体装置 |
US16/922,109 US11289571B2 (en) | 2019-09-30 | 2020-07-07 | Semiconductor apparatus for reducing parasitic capacitance |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019180821A JP7405550B2 (ja) | 2019-09-30 | 2019-09-30 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021057491A JP2021057491A (ja) | 2021-04-08 |
JP7405550B2 true JP7405550B2 (ja) | 2023-12-26 |
Family
ID=75119382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019180821A Active JP7405550B2 (ja) | 2019-09-30 | 2019-09-30 | 半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11289571B2 (ja) |
JP (1) | JP7405550B2 (ja) |
CN (1) | CN112582481B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11158759B1 (en) * | 2020-04-16 | 2021-10-26 | International Business Machines Corporation | Chip carrier integrating power harvesting and regulation diodes and fabrication thereof |
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WO2023058553A1 (ja) * | 2021-10-04 | 2023-04-13 | 株式会社村田製作所 | 過渡電圧吸収素子 |
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CN103797572B (zh) * | 2011-09-16 | 2016-06-22 | 富士电机株式会社 | 高耐压半导体装置 |
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DE102018213633A1 (de) * | 2018-08-13 | 2020-02-13 | Infineon Technologies Ag | Halbleitervorrichtung |
-
2019
- 2019-09-30 JP JP2019180821A patent/JP7405550B2/ja active Active
-
2020
- 2020-05-22 CN CN202010442434.2A patent/CN112582481B/zh active Active
- 2020-07-07 US US16/922,109 patent/US11289571B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014175325A (ja) | 2013-03-06 | 2014-09-22 | Panasonic Corp | 低容量半導体装置 |
JP2018067663A (ja) | 2016-10-20 | 2018-04-26 | ローム株式会社 | ダイオード素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112582481B (zh) | 2024-01-02 |
JP2021057491A (ja) | 2021-04-08 |
US20210098572A1 (en) | 2021-04-01 |
CN112582481A (zh) | 2021-03-30 |
US11289571B2 (en) | 2022-03-29 |
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