JP7223543B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
特許文献2は、メインIGBTが形成された領域(活性領域)、および、電流検出用のセンスIGBTが形成された領域(電流検出領域)を有する半導体装置を開示している。
図1は、本発明の第1実施形態に係る半導体装置1を1つの角度から見た斜視図である。図2は、図1の平面図である。図3は、図2から半導体層2の第1主面3の上の構造を取り除いて、第1主面3の構造を示す平面図である。
図4は、図2からゲート配線22の上の構造を取り除いて、ゲート配線22の構造を示す平面図である。図5は、図2からゲート端子32、エミッタ端子33および電流検出端子34の上の構造を取り除いて、ゲート端子32、エミッタ端子33および電流検出端子34の構造を示す平面図である。
図1を参照して、半導体装置1は、直方体形状に形成されたチップ状の半導体層2を含む。半導体層2は、シリコンを含む。半導体層2は、一方側の第1主面3、他方側の第2主面4、ならびに、第1主面3および第2主面4を接続する側面5A,5B,5C,5Dを有している。第1主面3および第2主面4は、それらの法線方向Zから見た平面視(以下、単に「平面視」という。)において四角形状(この形態では長方形状)に形成されている。
半導体層2は、IGBTのn型のドリフト領域6として形成されている。半導体層2は、この形態では、n型の半導体基板7からなる単層構造を有している。半導体基板7は、FZ(Floating Zone)法を経て形成されたFZ基板であってもよい。
半導体層2の第2主面4の表層部には、n+型のバッファ領域8が形成されている。バッファ領域8は、半導体層2の第2主面4の表層部の全域に形成されていてもよい。バッファ領域8のn型不純物濃度は、半導体基板7のn型不純物濃度よりも大きい。バッファ領域8のn型不純物濃度は、1.0×1015cm-3以上1.0×1017cm-3以下であってもよい。
半導体層2の第2主面4の上には、コレクタ端子10が形成されている。コレクタ端子10は、コレクタ領域9との間でオーミック接触を形成している。
活性領域11は、メインデバイスとしてのメインIGBTを含む。活性領域11は、平面視において半導体層2の側面5A~5Dから内方領域に間隔を空けて半導体層2の中央部に設定されている。
電流検出領域12は、電流検出デバイスとしての電流検出IGBTを含む。電流検出領域12は、活性領域11から間隔を空けて形成されている。電流検出領域12は、平面視において半導体層2の側面5A~5Dおよび活性領域11の間の領域に設定されている。
外側領域14は、活性領域11、電流検出領域12および境界領域13の外側の領域である。外側領域14は、平面視において第1主面3の周縁部に沿って帯状に延びている。外側領域14は、平面視において活性領域11、電流検出領域12および境界領域13を一括して取り囲む無端状(四角環状)に設定されている。
複数のIGBTセル15は、全体として第1方向Xに沿って延びるストライプ状に形成されている。互いに隣り合う複数のIGBTセル15の間の領域には、第1ストリート16および第2ストリート17が区画されている。
電流検出領域12は、1つまたは複数(この形態では1つ)の電流検出IGBTセル18を含む。電流検出IGBTセル18は、電流検出IGBTを形成する領域である。電流検出IGBTセル18は、第2方向Yに沿って延びる帯状に形成されている。
境界領域13は、電界緩和構造19を含む。電界緩和構造19は、境界領域13の電界を緩和する。電界緩和構造19は、第2方向Yに沿って延びる帯状に形成されている。IGBTセル15、電流検出IGBTセル18および電界緩和構造19の具体的な構造については後述する。
主面絶縁層21は、酸化シリコン(SiO2)層または窒化シリコン(SiN)層からなる単層構造を有していてもよい。主面絶縁層21は、酸化シリコン層および窒化シリコン層を含む積層構造を有していてもよい。酸化シリコン層は、窒化シリコン層の上に形成されていてもよい。窒化シリコン層は、酸化シリコン層の上に形成されていてもよい。主面絶縁層21は、この形態では、酸化シリコン層からなる単層構造を有している。
第1フィンガー部25は、ボディ部23から電流検出領域12を横切って活性領域11内に引き回されている。第1フィンガー部25は、活性領域11内において第1ストリート16に沿って帯状に延びている。
第2フィンガー部26は、ボディ部23から電流検出領域12を横切らずに活性領域11内に引き回されている。第1フィンガー部25は、活性領域11内において第2ストリート17に沿って帯状に延びている。第2フィンガー部26は、活性領域11にゲート信号を伝達する。
図1および図5を参照して、主面絶縁層21の上には、層間絶縁層31が形成されている。層間絶縁層31は、ゲート配線22を被覆するように主面絶縁層21を選択的に被覆している。層間絶縁層31は、主面絶縁層21に接している。層間絶縁層31は、単一の絶縁層からなる単層構造を有していてもよいし、複数の絶縁層を含む積層構造を有していてもよい。層間絶縁層31の具体的な構造については、後述する。
ゲート端子32、エミッタ端子33および電流検出端子34は、それぞれ、アルミニウム、銅、Al-Si-Cu(アルミニウム-シリコン-銅)合金、Al-Si(アルミニウム-シリコン)合金、または、Al-Cu(アルミニウム-銅)合金のうちの少なくとも一種を含んでいてもよい。
エミッタ端子33の平面面積は、ゲート端子32の平面面積および電流検出端子34の平面面積よりも大きい。エミッタ端子33は、層間絶縁層31を貫通して活性領域11に選択的に電気的に接続されている。
電流検出端子34は、より具体的には、第1部分34a、第2部分34bおよび接続部34cを含む。第1部分34aは、電流検出領域12外の領域を被覆している。第1部分34aは、この形態では、平面視において四角形状に形成されている。
接続部34cは、第1部分34aおよび第2部分34bを接続している。第2方向Yに関して、接続部34cの幅は、第1部分34aの幅および第2部分34bの幅未満である。第1部分34aの幅、第2部分34bの幅および接続部34cの幅はそれぞれ等しくてもよい。
樹脂層35の周縁部は、一枚の半導体ウエハから半導体装置1を切り出す際にダイシングストリートを区画していた部分である。樹脂層35から半導体層2の第1主面3の周縁部を露出させることにより、樹脂層35を物理的に切断する必要がなくなる。これにより、一枚の半導体ウエハから半導体装置1を円滑に切り出すことができる。
以下では、図1~図5に併せて図6および図7を参照して、半導体装置1の具体的な構造について説明する。図6は、図3に示す領域VIの拡大図である。図7は、図6に示すVII-VII線に沿う断面図である。
第1ボディ領域41の深さは、1.0μm以上5.0μm以下であってもよい。第1ボディ領域41の深さは、1.0μm以上2.0μm以下、2.0μm以上3.0μm以下、3.0μm以上4.0μm以下または4.0μm以上5.0μm以下であってもよい。第1ボディ領域41の深さは、1.5μm以上4.0μm以下であることが好ましい。
複数の第1トレンチゲート構造42は、全体として第2方向Yに沿って延びるストライプ状に形成されている。各第1トレンチゲート構造42は、第1ボディ領域41を貫通している。各第1トレンチゲート構造42の底部は、ドリフト領域6内に位置している。
第1方向Xに関して、各第1トレンチゲート構造42の第1幅W1は、0.1μm以上3.0μm以下であってもよい。第1幅W1は、0.1μm以上0.5μm以下、0.5μm以上1.0μm以下、1.0μm以上1.5μm以下、1.5μm以上2.0μm以下、2.0μm以上2.5μm以下または2.5μm以上3.0μm以下であってもよい。第1幅W1は、0.5μm以上2.0μm以下であることが好ましい。
第1ピッチP1は、1μm以上2μm以下、2μm以上4μm以下、4μm以上6μm以下、6μm以上8μm以下または8μm以上10μm以下であってもよい。第1ピッチP1は、3μm以上10μm以下であることが好ましい。
各第1トレンチゲート構造42は、より具体的には、第1ゲートトレンチ43、第1ゲート絶縁層44および第1ゲート電極層45を含む。第1ゲートトレンチ43は、半導体層2の第1主面3を第2主面4に向かって掘り下げることにより形成されている。第1ゲートトレンチ43は、第1ボディ領域41を貫通している。第1ゲートトレンチ43の底部は、ドリフト領域6内に位置している。
第1ゲート絶縁層44は、酸化シリコン層および窒化シリコン層を含む積層構造を有していてもよい。酸化シリコン層は、窒化シリコン層の上に形成されていてもよい。窒化シリコン層は、酸化シリコン層の上に形成されていてもよい。第1ゲート絶縁層44は、この形態では、酸化シリコン層からなる単層構造を有している。
第1ゲート電極層45は、導電性ポリシリコン、タングステン、チタン、窒化チタン、アルミニウム、銅、Al-Si-Cu(アルミニウム-シリコン-銅)合金、Al-Si(アルミニウム-シリコン)合金、または、Al-Cu(アルミニウム-銅)合金のうちの少なくとも一種を含んでいてもよい。第1ゲート電極層45は、この形態では、導電性ポリシリコン層からなる。
第1ゲート電極層45の一部は、より具体的には、配置に応じて第1ストリート16または第2ストリート17に引き出され、ゲート配線22のフィンガー部24に接続される。第1ゲート電極層45は、ゲート配線22と一体を成していてもよい。この場合、同一のマスクを利用して第1ゲート電極層45およびゲート配線22を形成できる。
複数の第1エミッタ領域46は、各第1トレンチゲート構造42の一方側面または両側面にそれぞれ形成されている。複数の第1エミッタ領域46は、平面視において第1トレンチゲート構造42に沿って帯状に延びている。
このように、各第1ゲートトレンチ43の側方には、半導体層2の第1主面3から第2主面4に向けて第1エミッタ領域46、第1ボディ領域41およびドリフト領域6が形成されている。第1ボディ領域41において第1エミッタ領域46およびドリフト領域6の間の領域に、メインIGBTのチャネルが形成される。チャネルのオンオフは、ゲート信号によって制御される。
第2ボディ領域51は、第1ボディ領域41(活性領域11)から間隔を空けて形成されている。第2ボディ領域51は、電流検出領域12を画定している。第2ボディ領域51のp型不純物濃度は、1.0×1017cm-3以上1.0×1018cm-3以下であってもよい。
第2ボディ領域51のp型不純物濃度は、第1ボディ領域41のp型不純物濃度と等しいことが好ましい。第2ボディ領域51の深さは、第1ボディ領域41の深さと等しいことが好ましい。これら双方の条件を満たす場合、同一マスクを利用して第1ボディ領域41および第2ボディ領域51を形成できる。
法線方向Zに関して、各第2トレンチゲート構造52の第2厚さT2は、1μm以上10μm以下であってもよい。第2厚さT2は、1μm以上2μm以下、2μm以上4μm以下、4μm以上6μm以下、6μm以上8μm以下または8μm以上10μm以下であってもよい。第2厚さT2は、2μm以上6μm以下であることが好ましい。第2厚さT2は、第1トレンチゲート構造42の第1厚さT1と等しいことが好ましい。
第2ピッチP2は、1μm以上2μm以下、2μm以上4μm以下、4μm以上6μm以下、6μm以上8μm以下または8μm以上10μm以下であってもよい。第2ピッチP2は、3μm以上10μm以下であることが好ましい。第2ピッチP2は、第1トレンチゲート構造42の第1ピッチP1と等しいことが好ましい。
第2トレンチゲート構造52は、第1トレンチゲート構造42と同一構造を有していることが好ましい。この場合、同一マスクを利用して第1トレンチゲート構造42および第2トレンチゲート構造52を形成できる。
第2ゲート絶縁層54は、酸化シリコン層および窒化シリコン層を含む積層構造を有していてもよい。酸化シリコン層は、窒化シリコン層の上に形成されていてもよい。窒化シリコン層は、酸化シリコン層の上に形成されていてもよい。第2ゲート絶縁層54は、この形態では、酸化シリコン層からなる単層構造を有している。
第2ゲート電極層55は、導電性ポリシリコン、タングステン、チタン、窒化チタン、アルミニウム、銅、Al-Si-Cu(アルミニウム-シリコン-銅)合金、Al-Si(アルミニウム-シリコン)合金、または、Al-Cu(アルミニウム-銅)合金のうちの少なくとも一種を含んでいてもよい。第2ゲート電極層55は、この形態では、導電性ポリシリコン層からなる。
複数の第2エミッタ領域56は、各第2トレンチゲート構造52の一方側面または両側面にそれぞれ形成されている。複数の第2エミッタ領域56は、平面視において第2トレンチゲート構造52に沿って帯状に延びている。
電流検出領域12の電流検出IGBTセル18は、さらに、第2ボディ領域51の表層部に形成されたp+型の複数の第2コンタクト領域57を含む。第2コンタクト領域57のp型不純物濃度は、第2ボディ領域51のp型不純物濃度よりも大きい。第2コンタクト領域57のp型不純物濃度は、1.0×1019cm-3以上1.0×1020cm-3以下であってもよい。
第2コンタクト領域57の深さは、第1コンタクト領域47の深さと等しいことが好ましい。第2コンタクト領域57のp型不純物濃度は、第1コンタクト領域47のp型不純物濃度と等しいことが好ましい。これら双方の条件を満たす場合、同一のマスクを利用して第1コンタクト領域47および第2コンタクト領域57を形成できる。
境界領域13において半導体層2の第1主面3の表層部には、p型のウェル領域61が形成されている(図2および図3参照)。ウェル領域61は、境界領域13を画定している。ウェル領域61は、第1ボディ領域41(活性領域11)および第2ボディ領域51(電流検出領域12)から電気的に分離されている。ウェル領域61のp型不純物濃度は、1.0×1017cm-3以上1.0×1018cm-3以下であってもよい。
ウェル領域61のp型不純物濃度は、第1ボディ領域41のp型不純物濃度と等しいことが好ましい。ウェル領域61の深さは、第1ボディ領域41の深さと等しいことが好ましい。これら双方の条件を満たす場合、同一マスクを利用して第1ボディ領域41およびウェル領域61を形成できる。
境界領域13の電界緩和構造19は、半導体層2の第1主面3に形成された1つまたは複数(2以上。この形態では4つ)のダミートレンチゲート構造62を含む。ダミートレンチゲート構造62の本数は、ウェル領域61の幅WWに応じて調整される。
複数のダミートレンチゲート構造62は、第1方向Xに沿って間隔を空けて形成され、第2方向Yに沿って延びる帯状にそれぞれ形成されている。つまり、複数のダミートレンチゲート構造62は、複数の第2トレンチゲート構造52が延びる方向と同一方向に沿って延びている。
法線方向Zに関して、各ダミートレンチゲート構造62の第3厚さT3は、1μm以上10μm以下であってもよい。第3厚さT3は、1μm以上2μm以下、2μm以上4μm以下、4μm以上6μm以下、6μm以上8μm以下または8μm以上10μm以下であってもよい。
第1方向Xに関して、各ダミートレンチゲート構造62の第3幅W3は、0.1μm以上3.0μm以下であってもよい。第3幅W3は、0.1μm以上0.5μm以下、0.5μm以上1.0μm以下、1.0μm以上1.5μm以下、1.5μm以上2.0μm以下、2.0μm以上2.5μm以下または2.5μm以上3.0μm以下であってもよい。
第1方向Xに関して、複数のダミートレンチゲート構造62の第3ピッチP3は、1μm以上10μm以下であってもよい。第3ピッチP3は、互いに隣り合う2つのダミートレンチゲート構造62の中央部の間の距離である。
第3ピッチP3は、第2トレンチゲート構造52の第2ピッチP2と等しいことが好ましい。また、第3ピッチP3は、第1トレンチゲート構造42の第1ピッチP1と等しいことが好ましい。
各ダミートレンチゲート構造62は、より具体的には、ダミーゲートトレンチ63、ダミーゲート絶縁層64およびダミーゲート電極層65を含む。ダミーゲートトレンチ63は、半導体層2の第1主面3を第2主面4に向かって掘り下げることにより形成されている。ダミーゲートトレンチ63は、ウェル領域61を貫通している。ダミーゲートトレンチ63の底部は、ドリフト領域6内に位置している。
ダミーゲート絶縁層64は、酸化シリコン(SiO2)層または窒化シリコン(SiN)層からなる単層構造を有していてもよい。ダミーゲート絶縁層64は、酸化シリコン層および窒化シリコン層を含む積層構造を有していてもよい。酸化シリコン層は、窒化シリコン層の上に形成されていてもよい。窒化シリコン層は、酸化シリコン層の上に形成されていてもよい。ダミーゲート絶縁層64は、この形態では、酸化シリコン層からなる単層構造を有している。
ダミーゲート電極層65は、導電性ポリシリコン、タングステン、チタン、窒化チタン、アルミニウム、銅、Al-Si-Cu(アルミニウム-シリコン-銅)合金、Al-Si(アルミニウム-シリコン)合金、または、Al-Cu(アルミニウム-銅)合金のうちの少なくとも一種を含んでいてもよい。
半導体層2の第1主面3の表層部において、活性領域11、電流検出領域12および境界領域13以外の領域には、p+型のディープウェル領域66が形成されている(図2および図3参照)。ディープウェル領域66は、活性領域11に対する主接合領域とも称される。
ディープウェル領域66は、平面視においてゲート端子32および電流検出端子34と重なる領域に形成されている。このような構造において、境界領域13は、電流検出領域12およびディープウェル領域66の間の領域に形成されている。
ディープウェル領域66の深さは、5.0μm以上15μm以下であってもよい。ディープウェル領域66の深さは、5.0μm以上7.0μm以下、7.0μm以上9.0μm以下、9.0μm以上11μm以下、11μm以上13μm以下または13μm以上15μm以下であってもよい。ウェル領域61の深さは、5.0μm以上10μm以下であることが好ましい。
半導体層2の第1主面3の上には、前述の主面絶縁層21が形成されている(図1および図4参照)。主面絶縁層21は、半導体層2の第1主面3において第1ゲート絶縁層44、第2ゲート絶縁層54およびダミーゲート絶縁層64に連なっている。主面絶縁層21、第1ゲート絶縁層44、第2ゲート絶縁層54およびダミーゲート絶縁層64は、同一工程によって形成された1つの絶縁層によって形成されていてもよい。
層間絶縁層31は、境界領域13においてウェル領域61を被覆している。層間絶縁層31は、境界領域13において複数のダミートレンチゲート構造62を一括して被覆している。各ダミートレンチゲート構造62のダミーゲート電極層65は、ダミーゲート絶縁層64および層間絶縁層31によって他の領域から電気的に絶縁されている。
厚膜部70は、平面視においてウェル領域61を被覆している。厚膜部70は、この形態では、平面視において複数のダミートレンチゲート構造62を一括して被覆している。厚膜部70は、エミッタ端子33および電流検出端子34の間の領域に形成されている。
薄膜部69の厚さTAに対する厚膜部70の厚さTBの比TB/TAは、1を超えて10以下であってもよい。比TB/TAは、1を超えて2以下、2以上3以下、3以上4以下、4以上5以下、5以上6以下、6以上7以下、7以上8以下、8以上9以下または9以上10以下であってもよい。
層間絶縁層31は、より具体的には、第1主面3側(主面絶縁層21側)からこの順に積層された第1絶縁層71および第2絶縁層72を含む積層構造を有している。層間絶縁層31の薄膜部69は、第1絶縁層71を含む単層構造を有している。層間絶縁層31の厚膜部70は、第1絶縁層71および第2絶縁層72を含む積層構造を有している。
第1絶縁層71は、酸化シリコン層、窒化シリコン層、酸化アルミニウム層、酸化ジルコニウム層または酸化タンタル層、もしくは、その他の絶縁材料のうちの少なくとも1つを含んでいてもよい。第1絶縁層71は、この形態では、酸化シリコン層からなる単層構造を有している。
第2絶縁層72は、第1絶縁層71において電流検出領域12を被覆する部分の上に形成されている。第2絶縁層72は、第1絶縁層71を挟んでウェル領域61に対向している。第2絶縁層72は、第1絶縁層71を挟んで複数のダミートレンチゲート構造62に一括して対向している。
第2絶縁層72の厚さTI2は、0.05μm以上2μm以下であってもよい。厚さTI2は、0.05μm以上0.1μm以下、0.1μm以上0.5μm以下、0.5μm以上1.0μm以下、1.0μm以上1.5μm以下または1.5μm以上2.0μm以下であってもよい。層間絶縁層31の厚膜部70の厚さTBは、第2絶縁層72の厚さによって調整できる。
第1エミッタ開口74は、活性領域11において第1エミッタ領域46および第1コンタクト領域47を露出させている。第2エミッタ開口75は、電流検出領域12において第2エミッタ領域56および第2コンタクト領域57を露出させている。ウェル開口76は、ディープウェル領域66を露出させている。
エミッタ端子33は、層間絶縁層31の上から第1エミッタ開口74およびウェル開口76に入り込んでいる。エミッタ端子33は、第1エミッタ開口74内において、第1エミッタ領域46、第1コンタクト領域47およびディープウェル領域66に電気的に接続されている。
ゲート端子32、エミッタ端子33および電流検出端子34の厚さTEは、厚膜部70の厚さTB以上である。厚さTEは、厚さTBを超えていることが好ましい。換言すると、厚膜部70の厚さTBは、厚さTE未満であることが好ましい。
層間絶縁層31の上には、さらに、前述の樹脂層35が形成されている。樹脂層35は、エミッタ端子33および電流検出端子34の間の領域において、層間絶縁層31の厚膜部70を被覆している。
図8には、折れ線L1が示されている。折れ線L1は、ダミートレンチゲート構造62の本数を増加させた場合のアバランシェ耐量の特性を示している。折れ線L1を参照して、ダミートレンチゲート構造62の本数を増加させた場合、アバランシェ耐量は、単調に増加した後、飽和した。
折れ線L1から、境界領域13にダミートレンチゲート構造62を形成することにより、アバランシェ耐量を向上できることが分かった。これは、ダミートレンチゲート構造62の導入によって、ウェル領域61に対する電界集中が緩和され、かつ、境界領域13の絶縁耐量が向上したためである。
図9には、折れ線L2が示されている。折れ線L2は、厚膜部70の厚さTBを増加させた場合のアバランシェ耐量の特性を示している。折れ線L2を参照して、厚膜部70の厚さTBを増加させた場合、アバランシェ耐量は、単調に増加した後、飽和した。アバランシェ耐量の飽和点は、電流検出領域12のアバランシェ耐量に略等しかった。
しかし、厚膜部70の厚さTBが、ゲート端子32、エミッタ端子33および電流検出端子34の厚さTEを超えることは、構造上、好ましくはない。したがって、ゲート端子32、エミッタ端子33および電流検出端子34の厚さTE未満の範囲で、厚膜部70の厚さTBを調整し、アバランシェ耐量の向上を図ることが好ましい。
図10には、折れ線L3が示されている。折れ線L3は、前述の折れ線L1(図8参照)および折れ線L2(図9参照)の結果に基づいて、ダミートレンチゲート構造62の本数および厚膜部70の厚さTBを調整した場合のアバランシェ耐量の特性を示している。
以上、半導体装置1によれば、活性領域11および電流検出領域12の間の境界領域13を起点とする耐圧低下を抑制できる。
図11を参照して、半導体装置81は、半導体装置1と異なり、厚膜部70を有していない。図8~図10において述べた通り、ダミートレンチゲート構造62だけを有する場合であっても、アバランシェ耐量を向上できる。よって、半導体装置81によれば、活性領域11および電流検出領域12の間の境界領域13を起点とする耐圧低下を抑制できる。
図12を参照して、半導体装置82は、半導体装置1と異なり、ダミートレンチゲート構造62を有していない。図8~図10において述べた通り、厚膜部70だけを有する場合であっても、アバランシェ耐量を向上できる。よって、半導体装置82によれば、活性領域11および電流検出領域12の間の境界領域13を起点とする耐圧低下を抑制できる。
図13を参照して、半導体装置83は、境界領域13において、ダミートレンチゲート構造62に代えて、電界緩和構造19の一例として、半導体層2の第1主面3に埋め込まれた1つまたは複数(この形態では6つ)の絶縁体84を含む。絶縁体84の個数は、ウェル領域61の幅WWに応じて調整される。
複数のトレンチ絶縁構造85は、全体として第2方向Yに沿って延びるストライプ状に形成されている。各トレンチ絶縁構造85は、ウェル領域61を貫通している。各トレンチ絶縁構造85の底部は、ドリフト領域6内に位置している。
第4厚さT4は、2μm以上6μm以下であることが好ましい。第4厚さT4は、第2トレンチゲート構造52の第2厚さT2と等しいことが好ましい。また、第4厚さT4は、第1トレンチゲート構造42の第1厚さT1と等しいことが好ましい。
第4ピッチP4は、0.5μm以上1μm以下、1μm以上2μm以下、2μm以上4μm以下、4μm以上6μm以下、6μm以上8μm以下または8μm以上10μm以下であってもよい。
絶縁体84は、絶縁トレンチ86内に一体物として埋め込まれている。絶縁体84は、絶縁トレンチ86の両側壁に沿って膜状に形成された2つの絶縁層が、絶縁トレンチ86内で一体を成すことによって形成されている。
2つの絶縁層は、酸化シリコン層および窒化シリコン層を含む積層構造をそれぞれ有していてもよい。酸化シリコン層は、窒化シリコン層の上に形成されていてもよい。窒化シリコン層は、酸化シリコン層の上に形成されていてもよい。2つの絶縁層は、この形態では、酸化シリコン層からなる単層構造をそれぞれ有している。
トレンチ絶縁構造85(絶縁体84)によれば、ダミートレンチゲート構造62および厚膜部70の双方と同様の効果を奏することができる。つまり、トレンチ絶縁構造85(絶縁体84)によれば、ウェル領域61に対する電界集中を緩和しながら、境界領域13における絶縁破壊耐量を高めることができる。よって、半導体装置83によれば、活性領域11および電流検出領域12の間の境界領域13を起点とする耐圧低下を抑制できる。
図14を参照して、半導体装置87は、半導体装置83と異なり、厚膜部70を有していない。トレンチ絶縁構造85(絶縁体84)だけを有する場合であっても、アバランシェ耐量を向上できる。よって、半導体装置87によれば、活性領域11および電流検出領域12の間の境界領域13を起点とする耐圧低下を抑制できる。
図15を参照して、半導体装置88に係る層間絶縁層31は、半導体装置1に係る層間絶縁層31と異なり、第1絶縁層71および第2絶縁層72を含む積層構造を有していない。層間絶縁層31は、単一の絶縁層89からなる単層構造を有している。
以上、半導体装置88によれば、活性領域11および電流検出領域12の間の境界領域13を起点とする耐圧低下を抑制できる。層間絶縁層31が単一の絶縁層89からなる構造は、第1実施形態の他、前述の第3実施形態および第4実施形態にも適用できる。
図16を参照して、半導体装置91は、この形態では、IGBTに代えて絶縁ゲート型のトランジスタの一例としてのMISFET(Metal Insulator Field Effect Transistor)を備えた電子部品である。
エピタキシャル層93のn型不純物濃度は、半導体基板92のn型不純物濃度以下である。エピタキシャル層93のn型不純物濃度は、より具体的には、半導体基板92のn型不純物濃度未満である。半導体基板92のn型不純物濃度は、1.0×1018cm-3以上1.0×1021cm-3以下であってもよい。エピタキシャル層93のn型不純物濃度は、1.0×1015cm-3以上1.0×1018cm-3以下であってもよい。
本発明の実施形態について説明したが、本発明の実施形態は、さらに他の形態で実施することもできる。
前述各実施形態において、各半導体部分の導電型が反転された構造が採用されてもよい。つまり、p型の部分がn型に形成され、n型の部分がp型に形成されてもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
2 半導体層
3 第1主面
11 活性領域
12 電流検出領域
13 境界領域
22 ゲート配線
31 層間絶縁層
32 ゲート端子
33 エミッタ端子
34 電流検出端子
41 第1ボディ領域
42 第1トレンチゲート構造
46 第1エミッタ領域
51 第2ボディ領域
52 第2トレンチゲート構造
56 第2エミッタ領域
61 ウェル領域
62 ダミートレンチゲート構造
66 ディープウェル領域
70 厚膜部
81 半導体装置
82 半導体装置
83 半導体装置
84 絶縁体
87 半導体装置
88 半導体装置
91 半導体装置
Claims (16)
- 主面を有し、前記主面に設定された活性領域、前記活性領域から間隔を空けて前記主面に設定された電流検出領域、ならびに、前記主面において前記活性領域および前記電流検出領域の間の領域に設定された境界領域を含む第1導電型の半導体層と、
前記活性領域において前記主面の表層部に形成された第2導電型の第1ボディ領域と、
前記活性領域において前記主面に形成された第1トレンチゲート構造と、
前記電流検出領域において前記主面の表層部に形成された第2導電型の第2ボディ領域と、
前記電流検出領域において前記主面に形成された第2トレンチゲート構造と、
前記境界領域において前記主面の表層部に形成された第2導電型のウェル領域と、
前記境界領域において前記主面に電気的に浮遊状態に形成されたダミートレンチゲート構造と、を含み、
前記主面の表層部において前記第1ボディ領域および前記ウェル領域の間の領域に形成され、前記第1ボディ領域および前記ウェル領域よりも深い第2導電型のディープウェル領域をさらに含む、半導体装置。 - 主面を有し、前記主面に設定された活性領域、前記活性領域から間隔を空けて前記主面に設定された電流検出領域、ならびに、前記主面において前記活性領域および前記電流検出領域の間の領域に設定された境界領域を含む第1導電型の半導体層と、
前記活性領域において前記主面の表層部に形成された第2導電型の第1ボディ領域と、
前記活性領域において前記主面に形成された第1トレンチゲート構造と、
前記電流検出領域において前記主面の表層部に形成された第2導電型の第2ボディ領域と、
前記電流検出領域において前記主面に形成された第2トレンチゲート構造と、
前記境界領域において前記主面の表層部に形成された第2導電型のウェル領域と、
前記境界領域において前記主面の表層部に埋め込まれた絶縁体と、を含み、
前記主面の表層部において前記第1ボディ領域および前記ウェル領域の間の領域に形成され、前記第1ボディ領域および前記ウェル領域よりも深い第2導電型のディープウェル領域をさらに含む、半導体装置。 - 主面を有し、前記主面に設定された活性領域、前記活性領域から間隔を空けて前記主面に設定された電流検出領域、ならびに、前記主面において前記活性領域および前記電流検出領域の間の領域に設定された境界領域を含む第1導電型の半導体層と、
前記活性領域において前記主面の表層部に形成された第2導電型の第1ボディ領域と、
前記活性領域において前記主面に形成された第1トレンチゲート構造と、
前記電流検出領域において前記主面の表層部に形成された第2導電型の第2ボディ領域と、
前記電流検出領域において前記主面に形成された第2トレンチゲート構造と、
前記境界領域において前記主面の表層部に形成された第2導電型のウェル領域と、
前記主面の上において前記活性領域、前記電流検出領域および前記境界領域を選択的に被覆し、前記境界領域を被覆する部分において前記ウェル領域に対向する厚膜部を有する絶縁層と、を含み、
前記主面の表層部において前記第1ボディ領域および前記ウェル領域の間の領域に形成され、前記第1ボディ領域および前記ウェル領域よりも深い第2導電型のディープウェル領域をさらに含む、半導体装置。 - 前記ディープウェル領域は、前記活性領域を取り囲んでいる、請求項1~3のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記主面の上に形成された電流検出端子をさらに含み、
前記第2ボディ領域は、前記電流検出端子に電気的に接続されている、請求項1~4のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記電流検出端子は、前記電流検出領域を被覆しており、
前記第2ボディ領域は、前記電流検出端子の直下の領域において前記電流検出端子に電気的に接続されている、請求項5に記載の半導体装置。 - 前記主面の上に形成されたゲート端子をさらに含み、
前記第1トレンチゲート構造は、前記ゲート端子に電気的に接続され、
前記第2トレンチゲート構造は、前記ゲート端子に電気的に接続されている、請求項1~6のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記ゲート端子は、平面視において前記活性領域、前記電流検出領域および前記境界領域を避けて形成されている、請求項7記載の半導体装置。
- 前記主面の上を選択的に引き回され、前記ゲート端子に電気的に接続されたゲート配線をさらに含み、
前記第1トレンチゲート構造および前記第2トレンチゲート構造は、前記ゲート配線を介して前記ゲート端子に電気的に接続されている、請求項8に記載の半導体装置。 - 前記主面の上に形成された基準電圧端子をさらに含み、
前記第1ボディ領域は、前記基準電圧端子に電気的に接続されている、請求項1~9のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記基準電圧端子は、前記活性領域を被覆しており、
前記第1ボディ領域は、前記基準電圧端子の直下の領域において前記基準電圧端子に電気的に接続されている、請求項10に記載の半導体装置。 - 前記電流検出領域は、前記活性領域の平面面積未満の平面面積を有している、請求項1~11のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記活性領域を流れる第1電流I1に対する前記電流検出領域を流れる第2電流I2の比I2/I1は、1/10000以上1/100以下である、請求項1~12のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記活性領域において前記第1ボディ領域の表層部に形成された第1導電型の第1不純物領域と、
前記電流検出領域において前記第2ボディ領域の表層部に形成された第1導電型の第2不純物領域と、をさらに含む、請求項1~13のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第1不純物領域は、第1エミッタ領域であり、
前記第2不純物領域は、第2エミッタ領域である、請求項14に記載の半導体装置。 - 前記第1不純物領域は、第1ソース領域であり、
前記第2不純物領域は、第2ソース領域である、請求項14に記載の半導体装置。
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