JP7404468B2 - コンタクトプローブおよび信号伝送方法 - Google Patents
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Description
第1経路C1は、第2プランジャ22、第1コイルばね23、第1プランジャ21を経て、具体的には、先端部22a、フランジ部22b、円筒部22c、密着巻き部23a、フランジ部21b、先端部21aを経て電極101に到達する。
また、第2経路C2は、第2プランジャ22、第2コイルばね24、第1プランジャ21を経て、具体的には、先端部22a、フランジ部22b、円筒部22c、第2コイルばね24、第2ボス部21d、第1ボス部21c、フランジ部21b、先端部21aを経て電極101に到達する。
なお、第2経路C2において、検査時に第2コイルばね24が自身の撓みや蛇行等の変形により基端部21eと接触することで、第2コイルばね24から第2ボス部21dへの導通経路が、第2コイルばね24、基端部21e、第2ボス部21dを経た導通経路になることがある。
2 コンタクトプローブ(プローブ)
3 プローブホルダ
21 第1プランジャ
21a、22a 先端部
21b、22b フランジ部
21c 第1ボス部
21d 第2ボス部
21e 基端部
22 第2プランジャ
22c 円筒部
23 第1コイルばね
23a 密着巻き部
23b 粗巻き部
24 第2コイルばね
31 第1部材
32 第2部材
33、34 ホルダ孔
33a、34a 小径部
33b、34b 大径部
100 半導体集積回路
101、201 電極
200 回路基板
Claims (6)
- 長手方向の両端で電極とそれぞれ接触して信号を伝送するコンタクトプローブであって、
前記長手方向の一端側で第1の電極に接触する第1プランジャと、
前記長手方向の他端側で前記第1の電極とは異なる第2の電極に接触する第2プランジャと、
一端で前記第1プランジャと接続するとともに、他端で前記第2プランジャと接続する第1コイルばねと、
一端が前記第1プランジャに接続される第2コイルばねと、
を備え、
前記第1プランジャは、
前記第1の電極に接触する第1の接触部と、
前記第1の接触部に連なり、前記第1コイルばねが接続される第1ボス部と、
前記第1ボス部を介して前記第1の接触部と反対側に延び、前記第2コイルばねが接続され、前記第1ボス部の径より小さい径を有する第2ボス部と、
を有し、
前記第2プランジャは、
前記第2の電極に接触する第2の接触部と、
前記第1プランジャ側に延び、内周が前記第2コイルばねと接触する円筒部と、
を有し、
前記第2コイルばねは、前記円筒部の内周に対して摺動する、
ことを特徴とするコンタクトプローブ。 - 前記円筒部は、外周が前記第1コイルばねと接触する、
ことを特徴とする請求項1に記載のコンタクトプローブ。 - 前記第1プランジャは、
前記第2ボス部を介して前記第1ボス部と反対側に延び、前記第2ボス部の径より小さい径を有する基端部、
を有し、
前記第2コイルばねと前記基端部との間には、隙間が形成される
ことを特徴とする請求項1または2に記載のコンタクトプローブ。 - 前記第1コイルばねは、
前記第1ボス部に接続する密着巻き部と、
一端が前記密着巻き部に連なり、他端が前記第2プランジャに接続し、所定のピッチで巻回される粗巻き部と、
を有することを特徴とする請求項1~3のいずれか一つに記載のコンタクトプローブ。 - 請求項1に記載のコンタクトプローブを経由して前記第2の電極から前記第1の電極に信号を伝送する信号伝送方法であって、
少なくとも一部の前記信号が、前記第2プランジャ、前記第2コイルばね、前記第1プランジャを経て前記第1の電極に到達する経路を経由して前記第1の電極に伝送される
ことを特徴とする信号伝送方法。 - 請求項2に記載のコンタクトプローブを経由して前記第2の電極から前記第1の電極に信号を伝送する信号伝送方法であって、
前記第2の電極から前記第2プランジャに入力された前記信号が、前記第2プランジャ、前記第1コイルばね、前記第1プランジャを経て前記第1の電極に到達する第1経路、および、前記第2プランジャ、前記第2コイルばね、前記第1プランジャを経て前記第1の電極に到達する第2経路のうちの少なくとも一方を経由して前記第1の電極に伝送される
ことを特徴とする信号伝送方法。
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