JP7388177B2 - 圧電素子 - Google Patents
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Description
上記所定のイオンの移動しやすさは、圧電素体が当該圧電素体に配置される電極から受ける応力により異なる。たとえば、圧電素体に電界を印加する一対の電極のうち一方の電極から受ける応力が、他方の電極から受ける応力より大きい場合、上記所定のイオンは、一方の電極に向かう方向には移動しがたく、他方の電極に向かう方向には移動しやすい傾向を有する。
以上のことから、圧電素体が一方の電極から受ける応力と、圧電素体が他方の電極から受ける応力とが異なる構成を実現させた上で、分極方向が、一方の電極から他方の電極に向かう方向とされることにより、大きな分極が得られている圧電素子が実現され得る。得られている分極が大きいほど、圧電素子は、大きな変位量を示す。圧電素子では、得られている分極が大きいほど、分極方向とは逆方向に電圧が印加される状況下で使用される場合でも、分極が失われがたく、圧電素子は、高い信頼性を有する。
初めに、図1及び図2を参照して、第一実施形態に係る圧電素子1の構成を説明する。図1は、第一実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。図2は、図1のII-II線に沿った断面図である。
第一端面3c及び第二端面3dは、第一主面3aと第二主面3bとを接続するように、第一方向Ax1に沿って延びている。また、第一端面3c及び第二端面3dは、第一側面3eと第二側面3fとを接続するように、第三方向Ax3に沿って延びている。
第一側面3e及び第二側面3fは、第一端面3cと第二端面3dとを接続するように、第二方向Ax2に沿って延びている。また、第一側面3e及び第二側面3fは、第一主面3aと第二主面3bとを接続するように、第一方向Ax1に沿って延びている。
圧電素体3の分極方向は、第一電極10から第二電極20に向かう方向である。したがって、本実施形態は、分極方向が、第一部分から第二部分に向かう方向、すなわち、第一電極10から応力を受ける部分から、第二電極20から応力を受ける部分に向かう方向とされている構成を実現する。これらの結果、本実施形態では、大きな変位量を示すとともに、高い信頼性を有する。
次に、図3及び図4を参照して、第二実施形態に係る圧電素子1pの構成を説明する。図3は、第二実施形態に係る圧電素子を示す斜視図である。図4は、図3のIV-IV線に沿った断面図である。
第一端面5cと第二端面5dとは、第一方向Bx1に交差する第二方向Bx2に沿って対向しており、第二方向Bx2は、略直方体形状の圧電素体5において、たとえば、その長手方向である。圧電素体5は、第二方向Bx2に沿って、たとえば、長さ1.1mm程度を有する。
第一側面5eと第二側面5fとは、第一方向Bx1及び第二方向Bx2に交差する第三方向Bx3に沿って対向しており、第三方向Bx3は、略直方体形状の圧電素体5において、たとえば、その短手方向である。圧電素体5は、第三方向Bx3に沿って、たとえば、長さ0.75mm程度を有する。
圧電素体5の分極方向は、第一電極30から第二電極40の内部電極41に向かう方向である。したがって、本実施形態は、分極方向が、第一部分から第二部分に向かう方向、すなわち、第一電極30から応力を受ける部分から、内部電極41から応力を受ける部分に向かう方向とされている構成を実現する。これらの結果、本実施形態では、大きな変位量を示すとともに、高い信頼性を有する。
(圧電素子の作製)
実施例1に係る圧電素子の作製においては、初めに、圧電セラミック材料として、PZTを用いてグリーンを作製した。続いて、グリーンを焼成し、圧電基板を作製した。圧電基板の厚さは、0.08mmであった。
本実施例で作製した圧電素子に対して、交流電界(V[kV/mm])を印加し、分極(P[μC/cm2])の大きさを測定した。分極測定では、第一電極を正極とし、第二電極を負極として電界を印加した。室温下で測定した。
本実施例で作製した10個の圧電素子に対して、信頼性評価として150℃の環境下において、500Hzの矩形波によって電圧±30Vを印加する駆動試験を行った。駆動試験では、第一電極を正極とし、第二電極を負極として電界を印加した。駆動試験を500時間行った後に圧電特性の変化を調べた結果、本実施例の全素子において、駆動試験前後の圧電特性の変化量は2%~3%程度であった。
(圧電素子の作製)
比較例1では、第一電極のための積層電極膜を形成する条件を除いて、実施例1と同様に圧電素子を作製した。本比較例では、第一電極のための積層電極膜は、第二電極のための積層電極膜と同じ材料、層構造及び厚さとを有する電極膜とした。第二電極のための積層電極膜は、Ni-Cr/Au積層構造の電極膜であった。
本比較例で作製した圧電素子に対して、実施例1と同様に、交流電界(V[kV/mm])を印加し、分極(P[μC/cm2])を測定した。測定では、第一電極を正極とし、第二電極を負極として電界を印加した。室温下で測定した。
本比較例で作製した10個の圧電素子に対して、実施例1と同様に、信頼性評価のための試験を行った。本比較例でも、第一電極を正極とし、第二電極を負極として電界を印加した。駆動試験を500時間行った後、本比較例の全素子において、それらの圧電特性が駆動試験前に比べて10%~15%低下した。
Claims (3)
- 圧電セラミック材料を含む圧電素体と、
互いに対向するように前記圧電素体に配置されている第一電極及び第二電極と、
を備え、
前記圧電素体が前記第一電極により受ける応力は、前記圧電素体が前記第二電極により受ける応力より大きく、
前記圧電素体の分極方向は、前記第一電極から前記第二電極に向かう方向である、圧電素子。 - 前記第一電極の被覆率は、前記第二電極の被覆率より大きい、請求項1に記載の圧電素子。
- 前記圧電素子における前記第一電極及び前記第二電極が接している面は、焼結面を含んでいる、請求項1又は2に記載の圧電素子。
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