JP7360880B2 - サーマルプリントヘッド及びその製造方法 - Google Patents
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Description
電極3は導電体からなる。導電体としては、例えば、アルミニウム、銅、金などを用いることができる。本実施形態では、電極3の厚さは、例えば、0.2~0.8μm程度である。
上述のように、いくつかの実施形態について記載したが、開示の一部をなす論述及び図面は例示的なものであり、限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替の実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。このように、本実施形態は、ここでは記載していない様々な実施形態等を含む。
2 中空層
3 電極
4 抵抗体層
5 接続基板
7 ドライバIC
8 放熱部材
12 接続基板
13 領域
19 絶縁層
31 個別電極
32 共通電極
41 発熱部
59 コネクタ
61 ワイヤ
62 ワイヤ
78 保護樹脂
90 基板
91 プラテンローラ
100 酸化物層
101 活性層
102 活性層
104 絶縁層
106 ヒーター層
108 層間絶縁層
110 配線層
112 層間絶縁層
114 支持層
116 基板
311 個別パッド部
323 共通部
324 櫛歯部
A1 サーマルプリントヘッド
Claims (16)
- 主走査方向に並ぶ複数の発熱部を備えるサーマルプリントであって、
中空層を囲う、基板と、
前記基板上の酸化物層と、
前記酸化物層上の活性層と、
前記活性層上の絶縁層と、
前記発熱部を構成する、前記絶縁層上のヒーター層と、を備え、
前記活性層は、前記主走査方向に延びて前記主走査方向とは直交する副走査方向に所定の幅を有し、前記主走査方向及び前記副走査方向に直交する積層方向に前記ヒーター層と重畳する領域を包含するヒーター層重畳部と、前記ヒーター層と重畳する領域から前記副走査方向に離れ、前記ヒーター層重畳部とは離間するヒーター層非重畳部とを含むサーマルプリントヘッド。 - 前記基板は、単結晶半導体からなる請求項1に記載のサーマルプリントヘッド。
- 前記単結晶半導体は、シリコンからなる請求項2に記載のサーマルプリントヘッド。
- 前記ヒーター層は、
抵抗体層と、
前記抵抗体層上の電極と、を備える請求項1~3のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 - 前記ヒーター層は、前記中空層と重畳する請求項1~4のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。
- さらに、前記絶縁層上及び前記ヒーター層上の層間絶縁層と、
前記層間絶縁層の開口を介して前記ヒーター層と電気的に接続する配線層と、を備える請求項1~5のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 - 前記中空層は、蓄熱する機能を有する請求項1~6のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。
- 前記酸化物層は、Box層であり、
前記活性層は、SOI層である請求項1~7のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 - 前記活性層は凸部を有し、
前記ヒーター層は、前記凸部と重畳する請求項1~8のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッド。 - 主走査方向に並ぶ複数の発熱部を備えるサーマルプリントの製造方法であって、
酸化物層及び前記酸化物層上の活性層を含む第1積層体が表面に設けられた第1基板を用意し、
前記活性層の一部の領域を除去し、
前記活性層上に絶縁層を形成し、
前記絶縁層上に、前記発熱部を構成するヒーター層を形成し、
前記絶縁層上及び前記ヒーター層上に第1層間絶縁層を形成し、
前記第1層間絶縁層に開口を形成し、
前記開口を介して前記ヒーター層と電気的に接続する配線層を形成し、
前記第1層間絶縁層上及び前記配線層上に第2層間絶縁層を形成し、
前記第2層間絶縁層と、前記第2層間絶縁層と接する支持層及び第2基板を含む第2積層体と、を張り合わせ、
前記第1基板の一部を除去して中空層を形成し、
前記第1基板の一部を除去後、前記第2積層体を除去するものであって、
前記活性層の一部の領域の除去は、前記活性層が、前記主走査方向に延びて前記主走査方向とは直交する副走査方向に所定の幅を有し、前記主走査方向及び前記副走査方向に直交する積層方向に前記ヒーター層と重畳する領域を包含するヒーター層重畳部と、前記ヒーター層と重畳する領域から前記副走査方向に離れ、前記ヒーター層重畳部とは離間するヒーター層非重畳部とを含むようにするサーマルプリントヘッドの製造方法。 - 前記第1基板は、単結晶半導体からなる請求項10に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記単結晶半導体は、シリコンからなる請求項11に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記ヒーター層は、
抵抗体層と、
前記抵抗体層上の電極と、を備える請求項10~12のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。 - 前記ヒーター層は、前記中空層と重畳する請求項10~13のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記中空層は、蓄熱する機能を有する請求項10~14のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
- 前記酸化物層は、Box層であり、
前記活性層は、SOI層である請求項10~15のいずれか1項に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019178385A JP7360880B2 (ja) | 2019-09-30 | 2019-09-30 | サーマルプリントヘッド及びその製造方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2021053889A JP2021053889A (ja) | 2021-04-08 |
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2019
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