JP7356237B2 - 濃度制御装置、原料消費量推定方法、及び、濃度制御装置用プログラム - Google Patents
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Description
100・・・気化器
101・・・濃度制御装置
40 ・・・濃度モニタ
MFC1・・・第1マスフローコントローラ
MFC2・・・第2マスフローコントローラ
C1 ・・・濃度算出部
C2 ・・・濃度制御部
C3 ・・・原料消費量算出器
C4 ・・・原料流量算出部
C5 ・・・消費量算出部
C6 ・・・制御パラメータ設定部
C7 ・・・制御パラメータ記憶部
Claims (12)
- 液体又は固体の原料を収容する気化タンクと、前記気化タンクにキャリアガスを供給するキャリアガス供給路と、前記原料が気化して前記気化タンクから導出された原料ガスが流れる原料ガス導出路と、を少なくとも具備する気化器において、前記原料ガスの濃度を制御する濃度制御装置であって、
前記原料ガス導出路に設けられ、前記原料ガスの濃度に応じた出力信号を出力する濃度モニタと、
前記濃度モニタからの出力信号に基づいて、前記原料ガスの濃度を算出する濃度算出部と、
前記濃度算出部が算出する算出濃度と、前記キャリアガスの流量と、に基づいて、前記原料ガスとして前記原料ガス導出路に導出された前記原料の消費量を算出する原料消費量算出器と、
前記キャリアガス供給路に設けられ、当該キャリアガス供給路を流れる前記キャリアガスの流量を第1設定流量となるように制御する第1マスフローコントローラと、
前記原料ガス導出路に合流して、当該原料ガス導出路に希釈ガスを供給する希釈ガス供給路に設けられ、当該希釈ガス供給路を流れる前記希釈ガスの流量を第2設定流量となるように制御する第2マスフローコントローラと、
予め設定される設定濃度と前記算出濃度の偏差、及び、設定されている制御パラメータに基づいて、前記第1マスフローコントローラ及び前記第2マスフローコントローラにそれぞれ設定される前記第1設定流量及び前記第2設定流量を変更し、前記原料ガスの濃度を制御する濃度制御部と、を備え、
前記原料消費量算出器で算出される前記原料の消費量、又は、前記気化タンク内における前記原料の残量に応じて前記制御パラメータが変更されることを特徴とする濃度制御装置。 - 前記原料消費量算出器が、前記算出濃度と、前記キャリアガスの流量及び前記希釈ガスの流量の合計である総キャリア流量と、に基づいて、前記原料の消費量を算出する請求項1記載の濃度制御装置。
- 前記原料消費量算出器が、
各時刻での前記算出濃度と前記総キャリア流量から、各時刻での前記原料ガスの流量を算出する原料流量算出部と、
各時刻での前記原料ガスの流量と、前記原料ガス導出路に前記原料ガスが供給されている原料ガス供給時間と、に基づいて、前記原料の消費量を算出する消費量算出部と、を具備する請求項2記載の濃度制御装置。 - 前記原料流量算出部が、前記第1設定流量又は当該第1マスフローコントローラで測定されるキャリアガスの流量と、前記第2設定流量又は前記第2マスフローコントローラで測定される希釈ガスの流量と、から総キャリア流量を算出する請求項3記載の濃度制御装置。
- 液体又は固体の原料を収容する気化タンクと、前記気化タンクにキャリアガスを供給するキャリアガス供給路と、前記原料が気化して前記気化タンクから導出された原料ガスが流れる原料ガス導出路と、を少なくとも具備する気化器において、前記原料ガスの濃度を制御する濃度制御装置であって、
前記原料ガス導出路に設けられ、前記原料ガスの濃度に応じた出力信号を出力する濃度モニタと、
前記濃度モニタからの出力信号に基づいて、前記原料ガスの濃度を算出する濃度算出部と、
前記濃度算出部が算出する算出濃度と、前記キャリアガスの流量と、に基づいて、前記原料ガスとして前記原料ガス導出路に導出された前記原料の消費量を算出する原料消費量算出器と、
前記キャリアガス供給路に設けられ、当該キャリアガス供給路を流れる前記キャリアガスの流量を第1設定流量となるように制御する第1マスフローコントローラと、
前記原料ガス導出路に設けられた、圧力制御バルブと、
予め設定される設定濃度と前記算出濃度の偏差、及び、設定されている制御パラメータに基づいて、少なくとも前記圧力制御バルブの開度を制御し、前記原料ガスの濃度を制御する濃度制御部と、を備え、
前記原料消費量算出器で算出される前記原料の消費量、又は、前記気化タンク内における前記原料の残量に応じて前記制御パラメータが変更される濃度制御装置。 - 前記原料消費量算出器が、前記第1設定流量又は前記第1マスフローコントローラで測定されるキャリアガスの流量に基づいて、前記原料の消費量を算出する請求項5記載の濃度制御装置。
- 前記原料消費量算出器が、
各時刻での前記算出濃度と前記第1マスフローコントローラで測定されるキャリアガスの流量から、各時刻での前記原料ガスの流量を算出する原料流量算出部と、
各時刻での前記原料ガスの流量と、前記原料ガス導出路に前記原料ガスが供給されている原料ガス供給時間と、に基づいて、前記原料の消費量を算出する消費量算出部と、を具備する請求項6記載の濃度制御装置。 - 前記原料の消費量、又は、前記原料の残量に対応する制御パラメータを複数記憶する制御パラメータ記憶部と、
前記原料消費量算出器で算出される原料の消費量、又は、前記原料の残量に応じて前記制御パラメータ記憶部を参照し、対応する制御パラメータを前記濃度制御部に設定する制御パラメータ設定部と、をさらに備えた請求項1又は5記載の濃度制御装置。 - 液体又は固体の原料を収容する気化タンクと、前記気化タンクにキャリアガスを供給するキャリアガス供給路と、前記原料が気化して前記気化タンクから導出された原料ガスが流れる原料ガス導出路と、を少なくとも具備する気化器において、前記原料の消費量を推定する方法であって、
前記原料ガスの濃度に応じた出力信号を出力する濃度モニタを、前記原料ガス導出路に設けること、
前記キャリアガス供給路を流れる前記キャリアガスの流量を第1設定流量となるように制御する第1マスフローコントローラを前記キャリアガス供給路に設けること、
前記原料ガス導出路に合流して、当該原料ガス導出路に希釈ガスを供給する希釈ガス供給路を流れる前記希釈ガスの流量を第2設定流量となるように制御する第2マスフローコントローラを前記希釈ガス供給路に設けること、
前記原料ガス導出路に設けられた前記濃度モニタからの出力信号に基づいて、前記原料ガスの濃度を算出すること、
前記濃度モニタからの出力信号に基づいて算出される前記原料ガスの算出濃度と、前記キャリアガスの流量と、に基づいて、前記原料ガスとして前記原料ガス導出路に導出された前記原料の消費量を算出すること、
予め設定される設定濃度と前記算出濃度の偏差、及び、設定されている制御パラメータに基づいて、前記第1マスフローコントローラ及び前記第2マスフローコントローラにそれぞれ設定される前記第1設定流量及び前記第2設定流量を変更し、前記原料ガスの濃度を制御すること、
算出される前記原料の消費量、又は、前記気化タンク内における前記原料の残量に応じて前記制御パラメータを変更すること、を備えた原料消費量推定方法。 - 液体又は固体の原料を収容する気化タンクと、前記気化タンクにキャリアガスを供給するキャリアガス供給路と、前記原料が気化して前記気化タンクから導出された原料ガスが流れる原料ガス導出路と、を少なくとも具備する気化器において、前記原料の消費量を推定する方法であって、
前記原料ガスの濃度に応じた出力信号を出力する濃度モニタを、前記原料ガス導出路に設けること、
前記キャリアガス供給路を流れる前記キャリアガスの流量を第1設定流量となるように制御する第1マスフローコントローラを前記キャリアガス供給路に設けること、
圧力制御バルブを前記原料ガス導出路に設けること、
前記原料ガス導出路に設けられた前記濃度モニタからの出力信号に基づいて、前記原料ガスの濃度を算出すること、
前記濃度モニタからの出力信号に基づいて算出される前記原料ガスの算出濃度と、前記キャリアガスの流量と、に基づいて、前記原料ガスとして前記原料ガス導出路に導出された前記原料の消費量を算出すること、
予め設定される設定濃度と前記算出濃度の偏差、及び、設定されている制御パラメータに基づいて、少なくとも前記圧力制御バルブの開度を制御し、前記原料ガスの濃度を制御する濃度制御部を設けること、
算出される前記原料の消費量、又は、前記気化タンク内における前記原料の残量に応じて前記制御パラメータを変更すること、を備えた原料消費量推定方法。 - 液体又は固体の原料を収容する気化タンクと、前記気化タンクにキャリアガスを供給するキャリアガス供給路と、前記原料が気化して前記気化タンクから導出された原料ガスが流れる原料ガス導出路と、を少なくとも具備する気化器において、前記原料ガス導出路に設けられ、前記原料ガスの濃度に応じた出力信号を出力する濃度モニタと、前記キャリアガス供給路に設けられ、当該キャリアガス供給路を流れる前記キャリアガスの流量を第1設定流量となるように制御する第1マスフローコントローラと、前記原料ガス導出路に合流して、当該原料ガス導出路に希釈ガスを供給する希釈ガス供給路に設けられ、当該希釈ガス供給路を流れる前記希釈ガスの流量を第2設定流量となるように制御する第2マスフローコントローラと、を具備し、前記原料ガスの濃度を制御する濃度制御装置用のプログラムであって、
前記濃度モニタからの出力信号に基づいて、前記原料ガスの濃度を算出する濃度算出部としての機能、
前記濃度算出部が算出する算出濃度と、前記キャリアガスの流量と、に基づいて、前記原料ガスとして前記原料ガス導出路に導出された前記原料の消費量を算出する原料消費量算出器としての機能、及び、
予め設定される設定濃度と前記算出濃度の偏差、及び、設定されている制御パラメータに基づいて、前記第1マスフローコントローラ及び前記第2マスフローコントローラにそれぞれ設定される前記第1設定流量及び前記第2設定流量を変更し、前記原料ガスの濃度を制御する濃度制御部としての機能をコンピュータに発揮させ、
前記原料消費量算出器で算出される前記原料の消費量、又は、前記気化タンク内における前記原料の残量に応じて前記制御パラメータが変更されることを特徴とする濃度制御装置用プログラム。 - 液体又は固体の原料を収容する気化タンクと、前記気化タンクにキャリアガスを供給するキャリアガス供給路と、前記原料が気化して前記気化タンクから導出された原料ガスが流れる原料ガス導出路と、を少なくとも具備する気化器において、前記原料ガス導出路に設けられ、前記原料ガスの濃度に応じた出力信号を出力する濃度モニタと、前記キャリアガス供給路に設けられ、当該キャリアガス供給路を流れる前記キャリアガスの流量を第1設定流量となるように制御する第1マスフローコントローラと、前記原料ガス導出路に設けられた、圧力制御バルブと、を具備し、前記原料ガスの濃度を制御する濃度制御装置用のプログラムであって、
前記濃度モニタからの出力信号に基づいて、前記原料ガスの濃度を算出する濃度算出部としての機能、
前記濃度算出部が算出する算出濃度と、前記キャリアガスの流量と、に基づいて、前記原料ガスとして前記原料ガス導出路に導出された前記原料の消費量を算出する原料消費量算出器としての機能、及び、
予め設定される設定濃度と前記算出濃度の偏差、及び、設定されている制御パラメータに基づいて、少なくとも前記圧力制御バルブの開度を制御し、前記原料ガスの濃度を制御する濃度制御部としての機能をコンピュータに発揮させ、
前記原料消費量算出器で算出される前記原料の消費量、又は、前記気化タンク内における前記原料の残量に応じて前記制御パラメータが変更されることを特徴とする濃度制御装置用プログラム。
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