JP7355059B2

JP7355059B2 - 吸引装置及び吸引方法

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Publication number: JP7355059B2
Application number: JP2021052975A
Authority: JP
Inventors: 淳一河崎
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2021-03-26
Filing date: 2021-03-26
Publication date: 2023-10-03
Anticipated expiration: 2041-03-26
Also published as: JP2022150394A

Description

本発明は、粘着シート等の保持シートに粘着保持されたチップ部品等のワークを吸引する吸引装置及び吸引方法に関する。

従来、大量生産されるワークの中に含まれる不良品を取り除くために、磁力を用いた方法がある。例えば特許文献１には、プレートに保持した複数の積層セラミックコンデンサに磁力を印加して磁化させた後、それら積層セラミックコンデンサを磁力によりプレートから引き抜くようにして、プレートから引き抜かれた積層セラミックコンデンサを、内部電極層のずれが生じている不良品として選別する方法が開示されている。

特開２００９－１７６７６７号公報

しかし、積層セラミックコンデンサがプレートに強く保持されている場合には、不良品であっても磁力による引き抜きが困難になることが想定される。

そこで本発明は、保持されているワークを選択的に除去する場合、的確に除去することができる吸引装置及び吸引方法を提供することを目的とする。

本発明に係る吸引装置は、保持シートの粘着面に粘着されたワークを吸引して当該ワークを前記粘着面から離脱させる吸引装置であって、前記保持シートを平坦な状態に支持する支持プレートと、前記ワークを吸引可能な吸引端を含み、前記支持プレート上において、前記吸引端が前記支持プレートに対して離接可能に対向し、かつ、前記粘着面に沿う方向に移動可能に配置される吸引部と、前記吸引部と一体に設けられ、前記吸引端から前記支持プレートに向かって延び、前記保持シートの前記粘着面に配置されたワークに接触可能な接触部と、を備える。

本発明に係る吸引方法は、上記本発明に係る吸引装置により、前記保持シートの前記粘着面に粘着されたワークを吸引して当該ワークを前記粘着面から離脱させる吸引方法であって、前記吸引部の前記吸引端を前記ワークに近接させるとともに、前記接触部を前記ワークの側方に配置するステップと、前記吸引部を前記ワークの方向に移動させ、前記ワークに接触した前記接触部により当該ワークの少なくとも一部を前記粘着面から剥離させるステップと、前記吸引端により前記ワークを吸引するステップと、を備える。

本発明によれば、保持されているワークを選択的に除去する場合、的確に除去することができる吸引装置及び吸引方法を提供することができる。

実施形態に係る吸引装置により吸引されるワークとしての積層体を備える積層セラミックコンデンサの概略斜視図である。図１のII－II断面図である。積層セラミックコンデンサの積層体に外部電極を形成する工程であって、保持シートに保持した複数の積層体を導電性シートに対向させた状態を示す図である。積層セラミックコンデンサの積層体に外部電極を形成する工程であって、保持シートに保持した複数の積層体の長さ方向一端部に第１導電膜を形成した状態を示す図である。積層セラミックコンデンサの積層体に外部電極を形成する工程であって、保持シートに保持した複数の積層体の長さ方向他端部に第１導電膜を形成した状態を示す図である。積層セラミックコンデンサの積層体に外部電極を形成する工程であって、保持シートに保持した複数の積層体の長さ方向一端部に第２導電膜を形成した状態を示す図である。実施形態に係る吸引装置を模式的に示す側断面図である。実施形態の吸引装置が備える吸引部及びその周辺部分を示す図４の一部拡大図である。実施形態に係る吸引装置によりワークである積層セラミックコンデンサの積層体を吸引する作用を示す図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明に係るワークとしての積層体１２を備えた積層セラミックコンデンサ１０を示している。図２は、図１に示すII－II線に沿った断面図である。図３Ａ～図３Ｄは、積層セラミックコンデンサ１０の製造工程において、積層体１２に外部電極１６を形成する工程を模式的に示す工程図である。図４は、実施形態に係る吸引装置５０の全体を模式的に示す側断面図である。

はじめに、積層セラミックコンデンサ１０の構造と、積層体１２に外部電極１６を形成する工程について説明する。実施形態の吸引装置５０は、積層体１２に外部電極１６を形成する途中において使用される。

図１に示すように、実施形態の積層セラミックコンデンサ１０は、全体として略直方体形状を有する電子部品である。この積層セラミックコンデンサ１０は、積層体１２と、一対の外部電極１６と、を備えている。

図１において、矢印Ｔは、積層セラミックコンデンサ１０及び積層体１２の積層方向を示している。図１及び図２において、矢印Ｌは、積層セラミックコンデンサ１０及び積層体１２の、積層（Ｔ）方向に直交する長さ方向を示している。図１において、矢印Ｗは、積層セラミックコンデンサ１０及び積層体１２の、積層（Ｔ）方向及び長さ（Ｌ）方向に直交する幅方向を示している。

図１及び図２に示すように、一対の外部電極１６は、積層体１２の長さ（Ｌ）方向の両端部の外表面を覆うように互いに離間して設けられている。一対の外部電極１６は、それぞれ導電膜により構成されている。

一対の外部電極１６は、後述するように、導電性シート２３による第１導電膜１６ａと、導電性ペースト２４による第２導電膜１６ｂとを含む積層膜である。なお、外部電極１６の構成はこれに限定されない。

図２に示すように、積層体１２は、積層（Ｔ）方向に沿って交互に積層された複数の誘電体セラミック層１３及び内部電極層１４を含んでいる。
誘電体セラミック層１３は、例えばチタン酸バリウムを主成分とするセラミックス材料が焼成されて形成される。
内部電極層１４は、例えばＮｉ、Ｃｕ、Ａｇ、Ｐｄ、Ａｇ－Ｐｄ合金、Ａｕ等に代表される金属材料、あるいは他の導電材料により形成される。

図２に示すように、積層（Ｔ）方向に沿って誘電体セラミック層１３を挟んで隣り合う一対の内部電極層１４のうちの一方は、積層セラミックコンデンサ１０の内部において一対の外部電極１６のうちの一方に電気的に接続されており、積層（Ｔ）方向に沿って誘電体セラミック層１３を挟んで隣り合う一対の内部電極層１４のうちの他方は、積層セラミックコンデンサ１０の内部において一対の外部電極１６のうちの他方に電気的に接続されている。これにより、一対の外部電極１６間は、複数のコンデンサ要素が電気的に並列に接続された構造となっている。

図２に示すように、誘電体セラミック層１３は、内部電極層１４の間に挟まれた複数の第１誘電体セラミック層１３ａと、積層（Ｔ）方向の両端に配置され、第１誘電体セラミック層１３ａよりも厚みの大きい一対の第２誘電体セラミック層１３ｂと、を有する。第１誘電体セラミック層１３ａの厚みは、例えば０．４μｍ以上０．５３μｍ以下程度とさされる。

図２に示すように、積層体１２は、複数の内部電極層１４のそれぞれが第１誘電体セラミック層１３ａを介して対向している内層部１２Ａと、内層部１２Ａを積層（Ｔ）方向に挟むように配設された一対の外層部１２Ｂと、を有する。

また、積層体１２は、積層（Ｔ）方向において相対する第１主面１７ａ１及び第２主面１７ａ２と、幅（Ｗ）方向において相対する第１側面１７ｂ１及び第２側面１７ｂ２と、長さ（Ｌ）方向において相対する第１端面１７ｃ１及び第２端面１７ｃ２と、を有する。積層体１２の第１端面１７ｃ１及び第２端面１７ｃ２においては、外部電極１６に接続されるべき内部電極層１４の長さ（Ｌ）方向における片側の端面が露出している。

積層セラミックコンデンサ１０は、例えば、誘電体セラミック層１３及び内部電極層１４となる材料が積層されて積層体１２が形成され、その積層体１２となる各材料が焼成され、この後、外部電極１６が形成されることにより製造される。

積層体１２は、例えば次のような方法で製造される。
誘電体セラミック層１３となる厚さが例えば０．６μｍ以上１．２μｍ以下程度のセラミックグリーンシートの表面に、内部電極層１４となる導電性ペーストを印刷して内部電極パターンを形成する。内部電極パターンの厚さは、例えば、０．６μｍ以上２．０μｍ以下程度とされる。

内部電極パターンが形成された内層部１２Ａ用のセラミックグリーンシートを所定枚数積層し、次いで、積層（Ｔ）方向の両端面に外層部１２Ｂ用のセラミックグリーンシートをそれぞれ積層して積層シートを得る。この積層シートを積層方向にプレスしてセラミックグリーンシート同士を圧着して、積層マザーブロックを得る。次いで、この積層マザーブロックを、ダイシングや押し切り等の方法でチップ状に個片化して、側面に内部電極層１４が露出した複数のチップを得る。このチップを所定条件で焼成することにより、積層体１２を得る。なお、この後、バレル研磨等の方法で積層体１２を研磨してもよい。

次に、図３Ａ～図３Ｄを参照して外部電極１６の形成方法の一例を説明する。
図３Ａに示すように、保持シート２０の粘着面２２ａに、複数の積層体１２の一方の端面である第２端面１７ｃ２を粘着保持させる。複数の積層体１２の配置の間隔Ｇは、保持シート２０に粘着保持された状態の積層体１２の高さＨよりも広く離間させた状態とすることが好ましい。この場合の高さＨは、積層体１２の長さ（Ｌ）方向の寸法に相当する。保持シート２０は、基材２１と、基材２１の片面に形成された粘着層２２と、を含み、粘着層２２の露出面が粘着面２２ａを構成している。そして、導電性シート２３の上方に、保持シート２０に粘着保持させた複数の積層体１２の、露出する第１端面１７ｃ１を対向させる。導電性シート２３は、導電性金属粉末を含む導電性ペーストをシート状に加工して得られるシートである。

次いで、図３Ｂに示すように、各積層体１２の露出する第１端面１７ｃ１に導電性シート２３を付着させて第１導電膜１６ａを形成する。導電性シート２３による第１導電膜１６ａは、例えば、第１端面１７ｃ１を導電性シート２３に当接させて積層体１２を導電性シート２３側に加圧して、導電性シート２３を打ち抜くことにより、第１端面１７ｃ１に導電性シート２３を圧着させて形成することができる。

次いで、複数の積層体１２を保持シート２０から一旦剥離して、図３Ｃに示すように第１導電膜１６ａが形成された第１端面１７ｃ１側を保持シート２０の粘着面２２ａに粘着保持させ、第２端面１７ｃ２を露出させる。そして上記と同じ要領で、第２端面１７ｃ２に導電性シート２３を付着させて、図３Ｃに示すように第１導電膜１６ａを形成する。

次いで、第１端面１７ｃ１及び第２端面１７ｃ２のそれぞれに、第２導電膜１６ｂを形成する。それには、図３Ｃに示す状態から、図３Ｄに示すように第２端面１７ｃ２に、導電性金属粉末を含む導電性ペースト２４を付着させ、その導電性ペースト２４を乾燥させて第２導電膜１６ｂを形成する。次いで、複数の積層体１２を保持シート２０から一旦剥離して、第２導電膜１６ｂを形成した第２端面１７ｃ２を保持シート２０の粘着面２２ａに粘着保持させ、第１端面１７ｃ１に形成した第１導電膜１６ａを露出させる。そして上記と同じ要領で、第１端面１７ｃ１に導電性ペースト２４を付着させて第２導電膜１６ｂを形成する。導電性ペースト２４を付着させるには、例えば導電性ペースト２４に第１端面１７ｃ１及び第２端面１７ｃ２を浸漬して引き上げるディップ法等が採用される。
以上で外部電極１６は形成されるが、外部電極１６としては、第２導電膜１６ｂの表面にＮｉ等をめっきしてもよい。

以上のような方法により積層セラミックコンデンサ１０が製造されるが、この製造工程において、積層体１２に外部電極１６を形成する前に、積層体１２の不良品チェックを目視で行う場合がある。目視による不良品チェックは、積層体１２の外観や形状が正常であるかを観察することにより行う。不良品と判断された積層体１２は、除去される。実施形態の吸引装置５０は、そのための装置であって、図３Ａに示したように、保持シート２０に保持された積層体１２が不良品と判断された場合に、その不良品の積層体１２を吸引して除去する。
以下、図４～図６を参照して実施形態の吸引装置５０を説明する。

実施形態の吸引装置５０は、保持シート２０の粘着面２２ａに粘着された積層体１２を吸引してその積層体１２を粘着面２２ａから離脱させることができる装置である。図４に示すように、実施形態の吸引装置５０は、支持プレート５１と、吸引部５２と、接触部５３と、撮像部５４と、を備える。

支持プレート５１は、通気性を有する多孔質材料により成形された板状部材である。支持プレート５１の平坦な上面５１ａに、複数の積層体１２が粘着保持された保持シート２０が載置される。保持シート２０は、図３に示した基材２１側が支持プレート５１に接触するように支持プレート５１の上面５１ａに載置される。

支持プレート５１は、金属等からなる通気性を有さないフレーム５５の内部に収容されている。フレーム５５は、底板部５５ａと、底板部５５ａの外周縁から立ち上がる壁部５５ｂと、を有し、フレーム５５の内側には、上方に開口する凹所５５ｃが形成されている。支持プレート５１は、その側面５１ｂ及び底面５１ｃがフレーム５５の内面に気密的に密着するようにして、凹所５５ｃに収容されている。その収容状態で、支持プレート５１の上面５１ａは略水平になる。

フレーム５５の底板部５５ａの中央には、吸気孔５５ｄが形成されている。フレーム５５には、吸気孔５５ｄに連通する吸気管５６が接続されている。吸気管５６は、真空ポンプ等の第１吸引源５７に接続されている。第１吸引源５７を作動させると、多孔質の支持プレート５１内の空気が吸気管５６、吸気孔５５ｄを経て吸引される。これにより、支持プレート５１の上面５１ａは負圧となり、支持プレート５１の上面５１ａに載置された保持シート２０は、支持プレート５１の上面５１ａに吸着して保持される。

吸引部５２は、支持プレート５１の上方に配置される。図５に示すように、実施形態の吸引部５２は、金属や樹脂等からなる管状のノズルである。吸引部５２は、少なくともその管状の先端部の軸線方向が略鉛直方向に沿っている。したがって吸引部５２の先端部は、支持プレート５１の上面５１ａに対して軸線方向が略直交するように配置されている。吸引部５２は、少なくともその管状の先端部は、弾性変形の生じない硬度を有する比較的硬い材料で構成されていることが好ましい。また、吸引部５２の内面５２ｂは略鉛直方向に沿った平滑面であり、段差や凹凸がないことが好ましい。

吸引部５２は、真空ポンプ等の第２吸引源５８に接続されている。第２吸引源５８を作動させると、吸引部５２の下端開口５２ａから吸引部５２内に空気が吸引される。下端開口５２ａは、吸引端の一例である。吸引部５２は、アクチュエータ等の不図示の移動機構により上下動し、支持プレート５１の上面５１ａに対して離接可能となっている。また、吸引部５２は、その移動機構により、支持プレート５１の上面５１ａに沿う方向に移動可能、すなわち横移動が可能となっている。

図５に示すように、接触部５３は、吸引部５２の下端から下方の支持プレート５１に向かって延びるピン状の部材である。接触部５３は、吸引部５２の下端面に一体的に固定されている。接触部５３は、吸引部５２の直下に配置されている。接触部５３は、保持シート２０に保持されている積層体１２の高さ、すなわち積層体１２の長さ（Ｌ）方向の寸法よりもやや長いか、同じ程度の長さを有している。接触部５３は、保持シート２０に粘着保持されている複数の積層体１２の間に入り込んで積層体１２の側方に配置可能な大きさを有する。吸引部５２は、支持プレート５１の上面５１ａの全域をカバーできる範囲であって、保持シート２０に粘着保持されている複数の積層体１２の全てに接触部５３が接触可能な範囲を移動可能となっている。

撮像部５４は、保持シート２０の粘着面２２ａに配置されて粘着保持された積層体１２及び吸引部５２の接触部５３を撮像することができるカメラである。撮像部５４による撮像は、モニタ５９に表示される。撮像部５４は、ズームイン・ズームアウト（被写体の拡大・縮小）ができるものであると好ましい。撮像部５４で撮像される撮像を、モニタ５９で観察することができる。

撮像部５４は、吸引部５２と同様に、支持プレート５１の上面５１ａに対して離接可能、かつ、支持プレート５１の上面５１ａに沿う方向に移動可能になっていると好ましい。撮像部５４は、吸引部５２に連結され、吸引部５２と一体に移動可能な構成であってもよい。

以上の構成を備える実施形態の吸引装置５０の使用方法及び作用を説明する。当該使用方法は、吸引方法の一例である。

図４に示すように、図５に示すように、基材２１を下側にして保持シート２０を支持プレート５１の上面５１ａに載置して複数の積層体１２を支持プレート５１上に突出する状態に配置する。第１吸引源５７を作動させて、負圧作用により保持シート２０及び保持シート２０に粘着保持されている複数の積層体１２を支持プレート５１上に吸着して保持する。

撮像部５４により支持プレート５１上の複数の積層体１２を撮像してモニタ５９に表示させ、撮像部５４を移動させながらモニタ５９を観察することにより、外観や形状等が正常ではない不良品の積層体１２が無いか否かを検出していく。

不良品の積層体１２が検出された場合、図５に示すように、その積層体１２の上方に吸引部５２の下端開口５２ａを近接させるとともに、接触部５３をその積層体１２の側方に配置する。次いで、第１吸引源５７を作動させて吸引部５２の下端開口５２ａから空気を吸引しながら、吸引部５２を積層体１２の方向に横移動させ、積層体１２に接触した接触部５３により、積層体１２を保持シート２０の粘着面２２ａから剥離させる。この場合、第２端面１７ｃ２を保持シート２０の粘着面２２ａから剥離させる。このとき、保持シート２０の破れないように、接触部５３の先端が保持シート２０に接触しないように吸引部５２を動かす。

第２端面１７ｃ２が保持シート２０から剥離するか、あるいは少なくとも一部が剥離した状態になった積層体１２は、下端開口５２ａから吸引部５２内に吸引され、保持シート２０から除去される。
保持シート２０上の不良品が全て除去されたら、引き続き、保持シート２０に支持された複数の積層体１２に対して上述したようにして外部電極１６の形成が行われる。

上記のようにして複数の積層体１２の中から不良品の積層体１２を吸引して除去することができる実施形態の吸引装置５０によれば、支持プレート５１上に保持シート２０を介して積層体１２を支持するため、接触部５３を積層体１２に接触させても積層体１２が沈み込むことがないため、積層体１２を保持シート２０から的確に剥離させて吸引することができる。吸引部５２の下端開口５２ａに積層体１２が滞留することがなく、不良品とされた積層体１２を下端開口５２ａ付近から取り除く手間が生じない。その結果、複数の不良品を保持シート２０から的確、かつ円滑に除去することができる。

接触部５３は吸引部５２の直下に位置して横方向に離れていないため、接触部５３により保持シート２０から剥離した積層体１２は他の積層体１２に接触するおそれがなく、吸引部５２の下端開口５２ａに直接入り込む。したがって、保持シート２０から剥離した積層体１２が吸引部５２に吸引される間に、他の積層体１２に接触して不良品の積層体１２を増やしてしまうという事態が生じない。

上述のように、吸引部５２の内面５２ｂは略鉛直方向に沿った平滑面であり、段差や凹凸がないことが好ましい。これにより、吸引部５２内に入った積層体１２は円滑に吸引され、吸引部５２から飛び出るおそれがない。

上述のように、吸引部５２は弾性変形の生じない硬度を有する比較的硬い材料で構成されていることが好ましい。これにより、積層体１２に接触して剥離させるように横移動した際に、吸引部５２が弾性変形し、その反動で積層体１２を跳ね飛ばしてしまうという事態が生じない。

モニタ５９で観察しながら吸引部５２をアクチュエータ等により移動させ、接触部５３で積層体１２を保持シート２０から剥離させることにより、不良品のみをピンポイントで除去することができる。また、接触部５３を不良品ではない正常な積層体１２に接触して傷付けることなく、不良品を除去することができる。

以上説明した実施形態に係る吸引装置５０によれば、以下の効果が奏される。

（１）実施形態に係る吸引装置５０は、保持シート２０の粘着面２２ａに粘着されたワークとしての積層体１２を吸引して積層体１２を粘着面２２ａから離脱させる吸引装置であって、保持シート２０を平坦な状態に支持する支持プレート５１と、積層体１２を吸引可能な吸引端としての下端開口５２ａを含み、支持プレート５１上において、下端開口５２ａが支持プレート５１に対して離接可能に対向し、かつ、粘着面２２ａに沿う方向に移動可能に配置される吸引部５２と、吸引部５２と一体に設けられ、下端開口５２ａから支持プレート５１に向かって延び、保持シート２０の粘着面２２ａに配置された積層体１２に接触可能な接触部５３と、を備える。

これにより、保持シート２０に保持されている複数の積層体１２から不良品と判断された積層体１２を選択的に除去する場合、接触部５３によりその積層体１２を強制的に保持シート２０から剥離させることにより、積層体１２を的確に除去することができる。

（２）実施形態に係る吸引装置５０においては、保持シート２０の粘着面２２ａに配置された積層体１２を撮像する撮像部５４をさらに備えることが好ましい。

これにより、複数の積層体１２の中から不良品を的確に検出することができるとともに、吸引部５２の移動操作を撮像部５４の撮像を見ながら行うことにより、接触部５３を不良品の積層体１２に確実に接触させて除去することができる。

（３）実施形態に係る吸引装置５０においては、吸引部５２は、下端開口５２ａから空気を吸引することにより積層体１２を吸引することが好ましい。

これにより、吸引部５２の下端開口５２ａに積層体１２が滞留することがなく、不良品とされた積層体１２を下端開口５２ａ付近から取り除く手間が生じない。その結果、複数の不良品を保持シート２０から円滑に除去することができる。

（５）実施形態に係る吸引方法は、上記吸引装置５０により、保持シート２０の粘着面２２ａに粘着された積層体１２を吸引して積層体１２を粘着面２２ａから離脱させる吸引方法であって、吸引部５２の下端開口５２ａを積層体１２に近接させるとともに、接触部５３を積層体１２の側方に配置するステップと、吸引部５２を積層体１２の方向に移動させ、積層体１２に接触した接触部５３により当該積層体１２の少なくとも一部を粘着面２２ａから剥離させるステップと、下端開口５２ａにより積層体１２を吸引するステップと、を備える。

（６）実施形態に係る吸引方法においては、複数の積層体１２が保持シート２０の粘着面２２ａに配置される場合、複数の積層体１２の配置の間隔を当該積層体１２の高さよりも広く離間させた状態とすることが好ましい。

これにより、保持シート２０から剥離した積層体１２が倒れた場合にも、隣接する積層体１２に接触して損傷を与える事態が生じにくい。

実施形態の吸引部５２は、環状のノズルであって、空気の吸引により積層体１２を吸引して保持シート２０から除去するものであるが、そのようなノズルに代えて、吸引部５２を、磁力により積層体１２を吸引する磁石で構成することができる。その場合、吸引端となる磁石の先端に積層体１２を磁力により吸着させて、保持シート２０から積層体１２を除去する。この場合、積層体１２は磁性を有することが必要となるが、積層体１２は内部電極層１４や外部電極１６がＮｉ等を含むことにより磁性を有する。
また、吸引部５２による吸引は、空気による吸引と磁石による吸引とを併用して行われてもよい。

（４）すなわち、吸引部５２は、磁力により吸引端に積層体１２を吸引する。

これにより、保持シート２０に保持されている複数の積層体１２から不良品と判断された積層体１２を選択的に除去する場合、接触部５３によりその積層体１２を強制的に保持シート２０から剥離させて吸引部５２に磁力で積層体１２を吸着することにより、積層体１２を的確に除去することができる。

以上、実施形態について説明したが、本発明はこれら実施形態に限定されず、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。

例えば、吸引装置５０が吸引して保持シート２０から除去する吸引対象物は、上記積層体１２に限られず、積層セラミックコンデンサ１０の製造途中でチップ状に形成される任意の部品や、完成品である積層セラミックコンデンサ１０等を吸引対象物とすることができる。また、積層セラミックコンデンサに限らず、他のチップ状の電子部品の半製品や完成品等にも適用可能である。

支持プレート５１は、負圧発生により保持シート２０を吸着して保持する多孔質のものに限らず、保持シート２０を平坦な状態に保持して積層体１２を保持可能であれば、いかなるものでもよい。

１２積層体（ワーク）
２０保持シート
２２ａ粘着面
５０吸引装置
５１支持プレート
５２吸引部
５２ａ下端開口（吸引端）
５３接触部
５４撮像部

Claims

保持シートの粘着面に粘着されたワークを吸引して当該ワークを前記粘着面から離脱させる吸引装置であって、
前記保持シートを平坦な状態に支持する支持プレートと、
前記ワークを吸引可能な吸引端を含み、前記支持プレート上において、前記吸引端が前記支持プレートに対して離接可能に対向し、かつ、前記粘着面に沿う方向に移動可能に配置される吸引部と、
前記吸引部と一体に設けられ、前記吸引端から前記支持プレートに向かって延び、前記保持シートの前記粘着面に配置されたワークに接触可能な接触部と、を備える、吸引装置。
前記保持シートの前記粘着面に配置されたワークを撮像する撮像部をさらに備える、請求項１に記載の吸引装置。
前記吸引部は、前記吸引端から空気を吸引することにより前記ワークを吸引する、請求項１または２に記載の吸引装置。
前記吸引部は、磁力により前記吸引端に前記ワークを吸引する、請求項１または２に記載の吸引装置。
請求項１～４のいずれか１項に記載の吸引装置により、前記保持シートの前記粘着面に粘着されたワークを吸引して当該ワークを前記粘着面から離脱させる吸引方法であって、
前記吸引部の前記吸引端を前記ワークに近接させるとともに、前記接触部を前記ワークの側方に配置するステップと、
前記吸引部を前記ワークの方向に移動させ、前記ワークに接触した前記接触部により当該ワークの少なくとも一部を前記粘着面から剥離させるステップと、
前記吸引端により前記ワークを吸引するステップと、を備える吸引方法。
複数のワークが前記保持シートの前記粘着面に配置される場合、
複数のワークの配置の間隔を当該ワークの高さよりも広く離間させた状態とする、請求項５に記載の吸引方法。