JP7352823B2 - 液体噴射ヘッド及び液体噴射システム - Google Patents

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッド、及び液体噴射システムに関する。

圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。

液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッドは、共通インク室（共通液体室／リザーバ）から圧力室を通ってノズルに至るまでの一連の液体流路を備え、圧電振動子等の圧力発生手段を作動させて圧力室内の液体に圧力変動を生じさせ、この圧力変動を利用して圧力室内のインクをノズルからインク滴として吐出可能に構成されている。そして、この記録ヘッドには、圧電振動子群を固定板に接合したアクチュエーターユニット（振動子ユニット）と、上記インク流路を形成した流路ユニットとを、ヘッドケースに固定して構成されたものがある。

上記の流路ユニットは、例えば、複数のノズル開口を列状に開設した金属板状のノズルプレートと、圧力室等のインク流路となる流路基部を形成した流路形成基板と、この流路形成基板の流路基部の開口を封止する封止板（振動板）とを備え、これらの各部材を積層状態で一体化することにより作製されている。封止板は、例えば、ステンレス鋼等の金属製の支持板（支持基板）に樹脂製の弾性フィルム（弾性体膜）をラミネートし、支持板を部分的に除去した複合板材により構成され、弾性フィルム側の面を流路形成基板に接合するようになっている。この封止板における圧力室に対応する部分には、圧力室の容積を変化させるダイヤフラム部が設けられている。このダイヤフラム部は、圧電振動子の先端面が接合される部分を島部として残した状態で、この島部の周囲の支持板をエッチング等によって除去して弾性フィルムのみとすることで作製されている。また、封止板において共通インク室に対応する部分には、ヘッドケースのケース流路側からのインクをインク流路の一部である共通インク室に導入するためのインク導入穴（液体導入穴）が、支持板と弾性フィルムを貫通した状態で開設されている。

ヘッドケースは、例えば合成樹脂等によって中空のブロック状に形成された部材である。このヘッドケースには、アクチュエーターユニットを収容可能な収容室が形成されている。この収容室は、流路ユニット接合面となるヘッドケースの底面から、底面とは反対側の上面に渡って一連に形成されている。つまりこの収容室は、ヘッドケースの高さ方向を貫通する貫通開口部として形成されている。また、ヘッドケースの内部には、高さ方向を貫通してケース流路が設けられている。このケース流路の上端は、インク導入針を備える導入針ユニットのインク導入路と連通し、ケース流路の下端は、封止板のインク導入穴を通じて流路ユニット内のインク流路に連通するようになっている。したがって、インク導入針から導入されたインクは、ケース流路とインク導入穴を通ってインク流路側に供給される。

上記構成のヘッドケースの底面には、流路ユニットが接合される。具体的には、収容室の底面側開口内に封止板のダイヤフラム部を配置し、インク導入穴を介してケース流路とインク流路とが液密に連通する状態で、封止板をヘッドケース底面に接着等によって接合することで、流路ユニットをヘッドケースに固定する。また、アクチュエーターユニットは、圧電振動子の自由端部を先頭にした姿勢で収容室の上面側開口から挿入され、自由端部の先端を島部の表面に当接させた状態で収容室内に収容される。そして、圧電振動子の自由端部の先端を島部に接合すると共に、固定板（固定基板）を収容室の内壁面に接着することで、アクチュエーターユニットが収容室内に固定される（特許文献１参照）。

特開２０００－００６３９７号公報（図１，図２）

上述のように複数部材が積層されて一連の流路が形成されるヘッドでは、部材そのものや部材間の接合に用いる接着層がインクからの影響を受けやすいという問題がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、使用する液体から受ける化学的影響を防止又は低減することができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射システムを提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明の態様は、ノズル開口に通じる第１流路が形成された第１流路形成部材と、前記第１流路の開口を封止する封止部材と、前記第１流路に液体を供給するための第２流路を有する第２流路形成部材とが順次積層され、前記封止部材に形成された連通口を介して前記第１流路の連通部と前記第２流路の連通部とが連通した液体噴射ヘッドであって、前記封止部材は前記第１流路の一面を構成するダイヤフラム層と、前記ダイヤフラム層に積層される樹脂層とを有しており、前記連通口の内壁の少なくとも一部が、前記樹脂層を形成する第１樹脂とは異なる第２樹脂からなる樹脂被覆層で覆われていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。

ここで、前記封止部材と前記第１流路形成部材とは、前記第２樹脂と同じ樹脂からなる樹脂層で接合されていることが好ましい。

また、前記封止部材と前記第２流路形成部材とは、前記第２樹脂と同じ樹脂からなる樹脂層で接合されていることが好ましい。

また、前記ダイヤフラム層を変位させるアクチュエーターをさらに有し、前記アクチュエーターと前記ダイヤフラム層とが、前記第２樹脂と同じ樹脂からなる樹脂層で接合されていることが好ましい。

また、前記第１流路形成部材の前記連通部には前記連通口と接続される第１開口が設けられ、第２流路形成部材の前記連通部には前記連通口と接続される第２開口が設けられており、前記第１開口及び前記第２開口の径が前記連通口よりも小さくされることで、前記第１開口及び前記第２開口の内壁と前記連通口の内壁との間に段差部が形成され、当該段差部の間に前記樹脂被覆層が設けられていることが好ましい。

また、前記ノズル開口が複数設けられたノズルプレートと、前記ノズル開口と前記第１流路とを連通させるとともに、前記ノズルプレートと前記第１流路形成部材との間に積層された第３流路形成部材と、を備え、前記第１流路形成部材および前記第３流路形成部材は、シリコンで形成され、前記ノズルプレートは、ステンレス鋼で形成され、前記第１流路は、前記ノズル開口毎に設けられるとともに前記ダイヤフラム層によって一面が形成された複数の圧力室を有し、前記第１流路の連通部は、前記複数の圧力室と連通し、前記第１流路の連通部は、前記第１流路形成部材および前記第３流路形成部材によって形成されることが好ましい。

また、前記第３流路形成部材は、前記第１流路の連通部に対応する部分に前記ノズルプレート側へ凹んだ凹部が設けられていることが好ましい。

また、前記ダイヤフラム層がアラミド樹脂層であり、前記樹脂層がエポキシ樹脂からなることが好ましい。

また、前記樹脂被覆層がアミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤からなることが好ましい。

本発明の他の態様は、上述した態様の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドから吐出する液体としての有機溶剤系インクとを有する液体噴射システムにおいて、前記樹脂被覆層は、前記有機溶剤系インクに対する化学的安定性が、前記樹脂層よりも高いことを特徴とする液体噴射システムにある。

ここで、例えば、前記有機溶剤系インクが、グリコールエーテル類、グリコールエーテルエステル類、二塩基酸エステル類、エステル系溶剤、炭化水素系溶剤、及びアルコール系溶剤から選択される少なくとも１種を含むインクである。

また、さらに他の態様は、上述した態様の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドから吐出する液体として光硬化型インクとを有する液体噴射システムにおいて、前記樹脂被覆層は、前記光硬化型インクに対する化学的安定性が、前記樹脂層よりも高いことを特徴とする液体噴射システムにある。

ここで、例えば、前記光硬化型インクが、（メタ）アクリレート類、（メタ）アクリルアミド類、及びＮ－ビニル化合物から選択される少なくとも１種を重合性化合物として含むインクである。

以上説明したように、本発明では、連通口の内壁の少なくとも一部が、ダイヤフラム層と支持板との間に介在する樹脂層を形成する第１樹脂とは異なる第２樹脂からなる樹脂被覆層で覆われていることにより、樹脂層が液体によって化学的影響を受け易い材質である場合においても、樹脂層を樹脂被覆層で被覆することにより、液体による化学的影響を防止することができる。

プリンターの構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。 流路ユニットの構成を説明する分解斜視図である。 図２における領域Ｘの拡大断面図である。 流路形成部材の拡大平面図である。 第２実施形態の構成を説明する要部平面図である。 第２実施形態の構成を説明する要部断面図である。 第２実施形態の構成を説明する要部底面図である。 第３実施形態の構成を説明する断面図である。 第４実施形態の構成を説明する断面図である。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射システムとして、図１に示す液体噴射装置であるインクジェット式プリンター（以下、プリンターと略記する）を例示する。図２は記録ヘッド２の構成を説明する要部断面図、図３は流路ユニットの構成を説明する分解斜視図、図４は図２における領域Ｘの拡大断面図、図５は図４における流路形成部材の拡大平面図である。

プリンター１は、液体噴射ヘッドの一種である記録ヘッド２を搭載すると共に液体貯留部材の一種であるインクカートリッジ３を着脱可能に装着するキャリッジ４と、記録ヘッド２の下方に配設され、記録紙６（吐出対象物の一種）が搬送されるプラテン５と、キャリッジ４を記録紙６の紙幅方向に移動させるキャリッジ移動機構７と、記録紙６を紙送り方向に搬送する紙送り機構８等を備えて概略構成されている。ここで、紙幅方向とは、主走査方向（ヘッド走査方向）であり、紙送り方向とは、副走査方向（即ち、ヘッド走査方向に直交する方向）である。なお、インクカートリッジ３としては、本実施形態のようにキャリッジ４に装着するものには限らず、プリンター１の筐体側に装着してインク供給チューブを介して記録ヘッド２に供給するタイプ（所謂オフキャリッジタイプ）のものを採用することもできる。

また、記録ヘッド２の移動範囲内であってプラテン５よりも外側には、記録ヘッド２の走査起点となるホームポジションが設定されている。このホームポジションには、キャッピング機構１１が設けられている。このキャッピング機構１１は、キャップ部材によって記録ヘッド２のノズル形成面を封止し、ノズル開口３７（図２等参照）からのインク溶媒の蒸発を防止する。また、このキャッピング機構１１は、封止状態のノズル面に負圧を与えてノズル開口３７からインクを強制的に吸引排出するクリーニング動作等にも用いられる。

例示した記録ヘッド２は、インク導入針１３を立設する導入針ユニット１４、アクチュエーターである複数の圧電振動子１５を有する振動子ユニット１６（アクチュエーターユニットに相当する）、インク流路（液体流路の一種）を形成する流路ユニット１７、振動子ユニット１６や流路ユニット１７が固定されるヘッドケース１８、及び、圧電振動子１５に駆動信号を供給するための配線基板２８等を備えて概略構成されている。

振動子ユニット１６は、圧力発生手段としての圧電振動子１５と、この圧電振動子１５が接合される固定板２７と、配線基板２８からの駆動信号を圧電振動子１５に供給するフレキシブルケーブル２９等から構成される。本実施形態における圧電振動子１５は、圧電体を電極で挟んで積層し、細長い歯状に切り分けられた積層型の圧電振動子である。そして、この圧電振動子１５は、縦方向（振動子長手方向）に伸縮可能な縦振動型の圧電振動子として構成されている。各圧電振動子１５は、固定端部を固定板２７上に接合することにより、自由端部を固定板２７の先端縁よりも外側に突出させて所謂片持ち梁の状態となっている。そして、各圧電振動子１５における自由端部の先端面は、後述するように、封止板３５に形成されたダイヤフラム部４７の島部４９に接合される。

上記の圧電振動子１５の表面には、個別外部電極３０と共通外部電極３１とが形成されている。個別外部電極３０は、圧電振動子１５の先端面部と、圧電振動子１５における積層方向の一側面である配線接続面（フレキシブルケーブル２９が接続される面）とに一連に形成された電極であり、圧電振動子１５内部の個別内部電極（図示せず）と導通している。また、共通外部電極３１は、圧電振動子１５の先端面部とは反対側となる基端面部と、圧電振動子１５における積層方向の他側面である固定板取付面とに一連に形成された電極であり、圧電振動子１５内部の共通内部電極（図示せず）と導通している。これらの外部電極のうち、一方の個別外部電極３０はフレキシブルケーブル２９の個別端子と電気的に接続され、他方の共通外部電極３１はフレキシブルケーブル２９の共通端子（接地端子）と電気的に接続される。そして、フレキシブルケーブル２９を通じて駆動信号を圧電振動子１５に印加すると、個別外部電極３０（個別内部電極）と共通外部電極３１（共通内部電極）との電位差により圧電体が変形する。これにより、圧電振動子１５を伸縮駆動することができる。

上記流路ユニット１７は、図３に示すように、ノズルプレート３３、第１流路形成部材である流路形成部材３４、及び封止部材である封止板３５（振動板）から構成され、ノズルプレート３３を流路形成部材３４の一方の表面に配置し、封止板３５をノズルプレート３３とは反対側となる流路形成部材３４の他方の表面に配置して、接着剤により接合して一体化することで構成されている。流路ユニット１７において最下部に配設されるノズルプレート３３は、複数のノズル開口３７を列状に開設したステンレス鋼製の薄い板材である。本実施形態では、例えば、１８０ｄｐｉに対応するピッチで１８０個のノズル開口３７を列状に開設し、これらのノズル開口３７によってノズル列を構成している。このノズルプレート３３は、記録紙等から発生する静電気の帯電やノイズを防止する目的で、図示しない金属製のカバーを通じて接地電位に調整される。

流路形成部材３４は、例えば、シリコンウェハーから作製され、共通インク室３８、インク供給口３９、及び圧力室４０からなる一連のインク流路（第１流路の一種）となる流路基部が区画形成された板状部材である。具体的には、圧力室４０となる圧力室空部４１、インク供給口３９となる溝部４２および共通インク室３８となる空部(凹部)４３等が、エッチング処理によって流路形成部材３４上に作製されている。なお、流路形成部材は、複数のプレート部材を積層して構成される場合もある。

上記の圧力室４０は、ノズル開口３７の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成され、インク供給口３９は、圧力室４０と共通インク室３８との間を連通する流路幅の狭い狭窄部（オリフィス）として形成されている。また、共通インク室３８は、インク導入針１３から導入されてインク導入路２２及びケース流路２５を通じて供給されるインクを一時的に貯留する室である。この共通インク室３８に貯留されたインクは、インク供給口３９を通じて各圧力室４０に分配供給される。

封止板３５は、ステンレス鋼等の導電性を有する板材から成る支持基板４５に絶縁性の可撓性フィルムから作製されたダイヤフラム層である弾性体膜４６を、第１樹脂からなる樹脂層Ｃ（図４参照）を介在させた状態でラミネート加工した二重構造の複合板材であり、弾性体膜４６側の面が流路形成部材３４に、支持基板４５側の面がヘッドケース１８の底面に、それぞれ接着剤により接合されるようになっている。この封止板３５は、圧力室４０（圧力室空部４１）の一方の開口面を封止して当該圧力室４０の容積を変動させるためのダイヤフラム部４７が形成されると共に、共通インク室３８（凹部４３）の一方の開口面を封止するコンプライアンス部４８が形成された部材である。ダイヤフラム部４７は、圧電振動子１５の先端面を接合するための部分を島部４９として残した状態で、その周囲の支持基板４５をエッチング加工によって除去して弾性体膜４６のみとすることで構成されている。即ち、この島部４９は、支持基板４５の他の部分から独立している。そして、その形状は、圧力室４０の平面形状と同様に、ノズル開口３７の列設方向と直交する方向に細長いブロック状となっている。

また、封止板３５においてコンプライアンス部４８として機能する部分、すなわち共通インク室３８に対応する部分は、流路形成部材３４の凹部４３の開口形状にほぼ倣って支持基板４５が除去され、弾性体膜４６のみとなっている。このコンプライアンス部４８を形成する際、封止板３５における支持基板４５の一部がコンプライアンス部４８の縁部から中心側に向けて張り出したエプロン部４４として残るようにエッチング加工が施されている（図３）。このエプロン部４４には、インク導入穴５０（本発明における連通口に相当）が、支持基板４５と弾性体膜４６を貫通した状態で開設されている。このインク導入穴５０は、流路形成部材３４との接合状態でインク流路の一部である共通インク室３８と連通し、また、ヘッドケース１８との接合状態でケース流路２５と連通する。即ち、このインク導入穴５０は、ヘッドケース１８のケース流路２５側から流下してくるインクを共通インク室３８側に導入するための貫通穴であり、本実施形態においては円形の穴に形成されている。このインク導入穴５０の寸法（内径Ｄ２）に関し、ケース流路２５の連通部側の開口（第２流路形成部材の第２流路の連通部の連通口との連通する第２開口に相当する）内径（内径Ｄ１）よりも大きく設定されている。この点の詳細については後述する。

ヘッドケース１８は、合成樹脂製の中空のブロック状部材であり、その内部には振動子ユニット１６を収容可能な収容室５３と、導入針ユニット１４側からのインクを流路ユニット１７側に供給するケース流路２５（第２流路に相当）とが形成されている。ヘッドケース１８の収容室５３は、流路ユニット取付面となるヘッドケース１８の底面から、導入針ユニット１４や配線基板２８が取り付けられる上面に亘って一連に形成されている。つまり、収容室５３は、ヘッドケース１８の高さ方向を貫通する貫通開口部として形成されている。

上記のヘッドケース１８には、まず、流路ユニット１７が接合される。具体的には、収容室５３の底面開口内に封止板３５のダイヤフラム部４７を配置すると共に、ケース流路２５（即ち、第２流路の連通部）と共通インク室３８（即ち、第１流路の連通部）とが封止板３５のインク導入穴５０（即ち、連通口）を介して液密に連通する状態で、封止板３５の支持基板４５側の面をヘッドケース１８の底面に接着剤によって接着することで、流路ユニット１７をヘッドケース１８に接合する。これにより、ヘッドケース１８の収容室５３の底面開口には、ダイヤフラム部４７（島部４９）が臨む。次に、振動子ユニット１６がヘッドケース１８の収容室５３に収容される。即ち、振動子ユニット１６は、圧電振動子１５の自由端部を先頭にした姿勢で収容室５３の上面側開口から挿入され、自由端部の先端を対応する島部４９の表面に当接させた状態で収容室５３内に収容される。そして、圧電振動子１５の自由端部の先端を島部４９に接着剤で接合すると共に、固定板２７を収容室５３の内壁面に接着剤で接着することで、収容室５３内に固定される。

流路ユニット１７と振動子ユニット１６がヘッドケース１８に取り付けられた後、ヘッドケース１８の上面に配線基板２８が配設され、この配線基板２８とフレキシブルケーブル２９の配線が行われる。その後、ヘッドケース１８の上面には、パッキン２４を介在させた状態で導入針ユニット１４が取り付けられる。これにより、導入針ユニット１４のインク導入路２２がパッキン２４を介してヘッドケース１８のケース流路２５と液密に連通する。したがって、インク導入針１３の導入孔２１から導入されたインクは、インク導入路２２及びケース流路２５を通ってインク導入穴５０から流路ユニット１７のインク流路側、即ち、共通インク室３８に供給される。

そして、上記構成の記録ヘッド２において、上記配線基板２８からフレキシブルケーブル２９を通じて圧電振動子１５に駆動信号が印加されると、この圧電振動子１５が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部４９が圧力室４０に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力室４０の容積が変化し、圧力室４０内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によって、ノズル開口３７からインク滴（液滴の一種）が吐出される。

本発明に係る記録ヘッド２では、図４および図５に示すように、流路形成部材３４の封止板３５との接合面に、支持基板４５および弾性体膜４６に形成したインク導入穴５０を覆う大きさに形成された被覆部５４を形成し、この被覆部５４にインク導入穴５０と液体流路を構成するインク流路側の連通部、即ち、共通インク室３８と連通する連通部の連通第１開口である連通穴５５を開設し、インク導入穴５０の内径Ｄ２をケース流路２５および連通穴５５の内径Ｄ１よりも大きく設定する（換言すると、ケース流路２５および流路形成部材３４の連通穴５５の内径Ｄ１を、支持基板４５におけるインク導入穴５０の内径Ｄ２よりも小さく設定する）ことにより、ケース流路２５および連通穴５５との間に段差部５６を形成し、この段差部５６の間に樹脂被覆層Ａを導入して固着させている。そして、この樹脂被覆層Ａによって支持基板４５のインク導入穴５０の内壁（内周面）を覆い隠している。

すなわち、封止板３５の支持基板４５および弾性体膜４６に形成したインク導入穴５０が流路形成部材３４の被覆部５４の連通穴５５の縮径された段差部５６によってインク導入穴５０の内周面を覆う樹脂被覆層Ａが流れ落ちることが防止されて、インク導入穴５０の内周面が樹脂被覆層Ａにより完全に覆われている。これにより、支持基板４５と弾性体膜４６とを接着している第１樹脂からなる樹脂層Ｃのインク導入穴５０の内周面への露出がなくなり、インクとの接触が防止される。

なお、流路形成部材３４に形成する被覆部５４および連通穴５５は、図５に示すように、例えば、シリコンウェハーから作製され、ドライエッチングによって被覆部５４を共通インク室３８側に半円形に突き出すように形成すると共に、連通穴５５を円形に形成する。これにより、連通穴５５を高精度に形成することができ、ケース流路２５を通ってインク導入穴５０および連通穴５５から流路ユニット１７側の共通インク室３８にインクが供給される場合の圧力損失を抑える等の形状および寸法を最適にすることが可能となる。

ここで、樹脂被覆層Ａとしては、樹脂層Ｃを形成する第１樹脂とは異なる第２樹脂で形成し、使用するインクの化学的影響をより受け難い材料を用いればよい。

すなわち、樹脂層Ｃを構成する第１樹脂は、ダイヤフラム部４７を構成する観点から選択され、耐インク性の観点を優先した選択ができない場合がある。本実施形態では、樹脂層Ｃは、ステンレス鋼等の支持基板４５と、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）やアラミド樹脂などの絶縁性の可撓性フィルムから作製されたダイヤフラム層である弾性体膜４６との接着性やダイヤフラム部４７を構成する観点から選択され、例えば、ウレタン系接着剤やビスフェノール型エポキシ樹脂系接着剤等が用いられる。

一方、樹脂被覆層Ａに用いられる第２樹脂は、耐インク性を考慮し、例えば、溶剤系インクを用いる場合には、耐溶剤性の高い材料を選択し、光硬化型インクを用いる場合には、光ＵＶ硬化型インクに用いられる溶剤などの材料から化学的影響を受け難い材料を選択する。

また、樹脂被覆層Ａは、段差部５６の間のみを固着するものとしてもよいが、封止板３５と、ヘッドケース１８及び流路ユニット１７とを接合する接着剤と共用することもでき、本実施形態においては、封止板３５と、ヘッドケース１８及び流路ユニット１７とを接合するための接着剤を利用している。このように、樹脂被覆層Ａとして、封止板３５と、ヘッドケース１８及び流路ユニット１７とを接合するための接着剤を利用した場合、封止板３５と、ヘッドケース１８及び流路ユニット１７とを接合するための接着剤を段差部５６の間にはみ出させるだけで比較的容易に樹脂被覆層Ａを形成できる。具体的には以下のように形成できる。

ヘッドケース１８と流路ユニット１７を接合する際、ヘッドケース１８の流路ユニット接合面にシート状の接着剤を転写し、この転写部分に流路ユニット１７の封止板３５側の面を接着する。この際、上述のようにインク導入穴５０と連通穴５５との間に段差部５６が形成されるようになっているため、図４に示すように、接着剤の一部がインク導入穴５０側に流れ込んで段差部５６で流れ落ちが防止され、この流れ込んだ接着剤がインク導入穴５０の内周面を覆った状態で固化し、上記樹脂被覆層Ａとして機能する。

本実施形態では、樹脂被覆層Ａを、封止板３５と、ヘッドケース１８及び流路ユニット１７とを接合する接着剤と共用し、樹脂層Ｃに用いられている樹脂材料とは異なるｐ－アミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤とした。ここで、ｐ－アミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤は、樹脂成分として、ｐ－アミノフェノール型エポキシ樹脂を主として含有する接着剤であり、さらに、硬化成分を含有するものである。

これにより、封止板３５を構成する支持基板４５と弾性体膜４６との間に介在している樹脂層Ｃがインクによって化学的影響を受け易い材質である場合においても、この樹脂層Ｃを樹脂被覆層Ａで被覆することにより、樹脂層Ｃがインクから受ける化学的影響を防止又は低減することができ、これにより支持基板４５と弾性体膜４６の接着信頼性を確保することができる。

ここで、樹脂層Ｃは、有機溶剤系インクや、例えば、紫外線（ＵＶ）硬化型インクなどの光硬化型インクによって浸食を受けやすい場合がある。よって、このようなインクを用いる場合には、これらのインクに対して浸食され難い樹脂材料を樹脂被覆層Ａとして用いればよく、封止板３５と、ヘッドケース１８及び流路ユニット１７とを接合するための接着剤としても利用できる場合には、共用するのがさらに好ましい。さらに、各圧電振動子１５における自由端部の先端面と、封止板３５に形成されたダイヤフラム部４７の島部４９との接合に用いられる接着剤を封止板３５とヘッドケース１８とを接合する接着剤と同様なものとすることで、同一プロセスでアクチュエーターユニットを簡便に配置することができる。

ここで、有機溶剤系インクは、グリコールエーテル類、グリコールエーテルエステル類、二塩基酸エステル類、エステル系溶剤、炭化水素系溶剤、アルコール系溶剤の何れか１種以上を含有するインクである。

グリコールエーテル系溶剤としては、アルキレングリコールモノエーテルや、アルキレングリコールジエーテル等が挙げられる。

アルキレングリコールモノエーテルとしては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、エチレングリコールモノヘキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノベンジルエーテル、トリエチエレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、テトラエチレングリコールモノメチルエーテル、テトラエチレングリコールモノエチルエーテル、テトラエチレングリコールモノブチルエーテル、ペンタエチレングリコールモノメチルエーテル、ペンタエチレングリコールモノエチルエーテル、ペンタエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル等が挙げられる。

アルキレングリコールジエーテルとしては、例えば、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールブチルメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジエチルエーテル、テトラエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル等が挙げられる。

また、グリコールエーテルエステル類としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジメチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジメチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジメチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジメチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トリメチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリメチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、トリメチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、トリメチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、トリプロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、３－メトキシブチルアセテート、３－メトキシ－３－メチル－１－ブチルアセテートなどが挙げられる。

二塩基酸エステル類としては、ジカルボン酸（例えば、グルタル酸、アジピン酸、コハク酸等の脂肪族ジカルボン酸）のモノエステル、ジエステル等が挙げられる。具体的には、ジメチル－２－メチルグルタレート等が挙げられる。

エステル系溶剤としては、例えば、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ｎ－プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸ｎ－ブチル、酢酸イソブチル、酢酸イソペンチル、酢酸ｓｅｃ－ブチル、酢酸アミル、酢酸メトキシブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、カプリル酸メチル、ラウリル酸メチル、ラウリル酸イソプロピル、ミリスチン酸イソプロピル、パルミチン酸イソプロピル、パルミチン酸イソオクチル、パルミチン酸イソステアリル、オレイン酸メチル、オレイン酸エチル、オレイン酸イソプロピル、オレイン酸ブチル、リノール酸メチル、リノール酸イソブチル、リノール酸エチル、イソステアリン酸イソプロピル、大豆油メチル、大豆油イソブチル、トール油メチル、トール油イソブチル、アジピン酸ジイソプロピル、セバシン酸ジイソプロピル、セバシン酸ジエチル、モノカプリン酸プロピレングリコール、トリス（２－エチルヘキサン酸）トリメチロールプロパン、トリス（２－エチルヘキサン酸）グリセリル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等が挙げられる。

炭化水素系溶剤としては、脂肪族炭化水素（例えば、パラフィン、イソパラフィン）、脂環式炭化水素（例えば、シクロヘキサン、シクロオクタン、シクロデカン等）、芳香族炭化水素（例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、ナフタレン、テトラリン等）等が挙げられる。このような炭化水素系溶剤としては、市販品を用いてもよく、ＩＰソルベント１０１６、ＩＰソルベント１６２０、ＩＰクリーンＬＸ（以上全て、出光興産株式会社製の商品名）、Ｉｓｏｐａｒ（アイソパー）Ｇ、Ｉｓｏｐａｒ Ｌ、Ｉｓｏｐａｒ Ｈ、Ｉｓｏｐａｒ Ｍ、Ｅｘｘｓｏｌ ・uc2Ｄc４０、Ｅｘｘｓｏｌ Ｄ８０、Ｅｘｘｓｏｌ Ｄ１００、Ｅｘｘｓｏｌ Ｄ１３０、Ｅｘｘｓｏｌ Ｄ１４０（以上全て、Ｅｘｘｏｎ社製の商品名）、ＮＳクリーン１００、ＮＳクリーン１１０、ＮＳクリーン２００、ＮＳクリーン２２０（以上全て、ＪＸ日鉱日石エネルギー株式会社の商品名）、ナフテゾール１６０、ナフテゾール２００、ナフテゾール２２０（以上全て、ＪＸ日鉱日石エネルギー株式会社の商品名）等の脂肪族炭化水素または脂環式炭化水素や、ソルベッソ２００（Ｅｘｘｏｎ社製の商品名）等の芳香族炭化水素が挙げられる。

アルコール系溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、イソプロパノール、１－プロパノール、１－ブタノール、２－ブタノール、３－ペンタノール、２－メチル－１－ブタノール、２－メチル－２－ブタノール、イソアミルアルコール、３－メチル－２－ブタノール、３－メトキシ－３－メチル－１－ブタノール、４－メチル－２－ペンタノール、アリルアルコール、１－ヘキサノール、１－ヘプタノール、２－ヘプタノール、３－ヘプタノール、イソミリスチルアルコール、イソパルミチルアルコール、イソステアリルアルコール、オレイルアルコール等が挙げられる。

一方、光硬化型インク組成物は、例えば、（メタ）アクリレート類、（メタ）アクリルアミド類、Ｎ－ビニル化合物のいずれかを重合性化合物として含むインクが挙げられる。

単官能（メタ）アクリレートとしては、ヘキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ－オクチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、４－ｎ－ブチルシクロへキシル（メタ）アクリレート、ボルニル（メタ）アクリレート、イソボニル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシルジグリコール（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、２－クロロエチル（メタ）アクリレート、４－ブロモブチル（メタ）アクリレート、シアノエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、ブトキシメチル（メタ）アクリレート、３－メトキシブチル（メタ）アクリレート、アルコキシメチル（メタ）アクリレート、アルコキシエチル（メタ）アクリレート、２－（２－メトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、２－（２－ブトキシエトキシ）エチル（メタ）アクリレート、２，２，２－テトラフルオロエチル（メタ）アクリレート、１Ｈ，１Ｈ，２Ｈ，２Ｈ－パーフルオロデシル（メタ）アクリレート、４－ブチルフェニル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２，４，５－テトラメチルフェニル（メタ）アクリレート、４－クロロフェニル（メタ）アクリレート、フェノキシメチル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、グリシジル（メタ）アクリレート、グリシジロキシブチル（メタ）アクリレート、グリシジロキシエチル（メタ）アクリレート、グリシジロキシプロピル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、３－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、トリメトキシシリルプロピル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、トリメトキシシリルプロピル（メタ）アクリレート、トリメチルシリルプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシドモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、オリゴエチレンオキシドモノメチルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシド（メタ）アクリレート、オリゴエチレンオキシド（メタ）アクリレート、オリゴエチレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、ポリエチレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ポリプロピレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、オリゴプロピレンオキシドモノアルキルエーテル（メタ）アクリレート、２－メタクリロイロキシエチルコハク酸、２－メタクリロイロキシヘキサヒドロフタル酸、２－メタクリロイロキシエチル－２－ヒドロキシプロピルフタレート、ブトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、トリフロロエチル（メタ）アクリレート、パーフロロオクチルエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、ＥＯ変性フェノール（メタ）アクリレート、ＥＯ変性クレゾール（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ノニルフェノール（メタ）アクリレート、ＰＯ変性ノニルフェノール（メタ）アクリレート、ＥＯ変性－２－エチルヘキシル（メタ）アクリレートが挙げられる。

多官能（メタ）アクリレートとしては、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，１０－デカンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（ＤＰＧＤ（Ｍ）Ａ）、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート（ＴＰＧＤ（Ｍ）Ａ）、２，４－ジメチル－１，５－ペンタンジオールジ（メタ）アクリレート、ブチルエチルプロパンジオールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化シクロヘキサンメタノールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート（ＴＥＧＤ（Ｍ）Ａ）、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、オリゴエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２－エチル－２－ブチル－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジメチロールトリシクロデカンジ（メタ）アクリレート、ＥＯ変性ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦポリエトキシジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、オリゴプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４－ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、２－エチル－２－ブチル－プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９－ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジ（メタ）アクリレート等の２官能の（メタ）アクリレートが挙げられる。

さらに、多官能の（メタ）アクリレートとしては、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンのアルキレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスルトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（（メタ）アクリロイルオキシプロピル）エーテル、イソシアヌル酸アルキレンオキサイド変性トリ（メタ）アクリレート、プロピオン酸ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、トリ（（メタ）アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、ヒドロキシピバルアルデヒド変性ジメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ソルビトールトリ（メタ）アクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エトキシ化グリセリントリ（メタ）アクリレート：以上３官能、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ソルビトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、プロピオン酸ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート：以上４官能、ソルビトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート：以上５官能、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ソルビトールヘキサ（メタ）アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート：以上６官能、等が挙げられる。

（メタ）アクリルアミド類としては、（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－エチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－プロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ｎ－ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ｔ－ブチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－イソプロピル（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジエチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルフォリンが挙げられる。

Ｎ－ビニル化合物は、ビニル基が窒素に結合した構造（＞Ｎ－ＣＨ＝ＣＨ２）を有する。Ｎ－ビニル化合物の具体例としては、例えば、Ｎ－ビニルホルムアミド、Ｎ－ビニルカルバゾール、Ｎ－ビニルインドール、Ｎ－ビニルピロール、Ｎ－ビニルアセトアミド、Ｎ－ビニルピロリドン、Ｎ－ビニルカプロラクタム、およびそれらの誘導体が挙げられ、これらの化合物の中でも特にＮ－ビニルカプロラクタムが好ましい。

このような有機溶剤系インクや光硬化型インクに対して化学的耐性に優れた樹脂材料としては、アミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤、特に、ｐ－アミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤を挙げることができる。この材料は、樹脂層Ｃに用いられる樹脂材料（例えば、ウレタン樹脂系接着剤やビスフェノール型エポキシ樹脂系接着剤）よりも上述のような有機溶剤系インクや光硬化型インクに対する化学的耐性が高く、樹脂被覆層Ａの材料として好適である。

このように構成した記録ヘッド２を搭載したプリンター１によれば、インクによる樹脂層Ｃへ化学的影響を防止することができるので、信頼性の高い吐出制御を行うことが可能となる。また、本実施形態では、樹脂被覆層Ａとして、封止板３５と、ヘッドケース１８及び流路ユニット１７とを接合する接着剤を利用しているので、別個に樹脂材料を用意する必要が無く、且つ段差部５６を設けて封止板３５と、ヘッドケース１８及び流路ユニット１７とを接合する接着剤を段差部５６の間にはみ出させて樹脂被覆層Ａを形成しているので、樹脂被覆層Ａを設ける工程も比較的簡便である。

また、換言すると、封止板３５と、ヘッドケース１８及び流路ユニット１７とを接合する接着剤として、樹脂被覆層Ａと同様に耐インク性に優れた接着剤を用いることになるので、インクと接触があっても、接合状態に影響を与えることがない。

さらに、各圧電振動子１５における自由端部の先端面と、封止板３５に形成されたダイヤフラム部４７の島部４９との接合に用いられる接着剤も樹脂被覆層Ａと同様な樹脂材料とするのが望ましい。この場合、封止板３５とヘッドケース１８との接合プロセスにおいてアクチュエーターユニットを接合することができ、プロセスが簡便となる。

（他の実施形態）
本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。

図６は、本発明の第２の実施形態の構成を説明する要部平面図、図７は要部断面図、図８は要部底面図である。この第２実施形態では、流路形成部材３４に形成する被覆部５４および連通穴５５を、シリコンウェハーをウェットエッチングすることによって被覆部５４を共通インク室３８側に結晶面に沿ったギザギザな多角形状に突き出すように形成すると共に、連通穴５５も結晶面に沿ったギザギザな２つの台形状を組み合わせて形成してある。これにより、流路形成部材３４の作製の際に、エッチング時間を調整することで、共通インク室３８などの作製と同時に、被覆部５４や連通穴５５を簡単に形成することが可能となる。そして、このようなウェットエッチングで作製した被覆部５４や連通穴５５によってインク導入穴５０に段差部５６を形成することができ、接着剤を段差部５６上に留めて底面への廻り込みを防止することができる。これにより、接着剤の剥げ落ちを防止することができると共に、支持基板４５がインクと接触することをより確実に防止することができる。要は、インク導入穴５０に対して、その周囲に被覆部５４の連通穴５５で段差部５６を形成できれば良く、被覆部５４や連通穴５５の形状は任意で良く、作製方法も適宜選択すれば良い。

また、上述した各実施形態では、液体噴射装置は記録ヘッド２がキャリッジ４に支持されて、紙幅方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド２が固定されて、記録紙６を紙送り方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式の液体噴射装置にも本発明を適用することができる。

さらに、上記実施の形態においては、液体噴射システムの一例として、液体噴射装置を例示して説明したが、所望の液体を噴射するように設計された液体噴射ヘッドである記録ヘッドと、所望の液体を貯留する液体貯留部材との組み合わせ部材も、本発明の液体噴射システムの１種である。このような記録ヘッドと液体貯留部材との組み合わせ部材は、所定のプリンター本体に取り付けることにより、印刷等を行うことができるものであり、上述した本発明の効果を奏するものである。

さらに、上記実施の形態においては、インクを吐出する液体噴射ヘッド（ヘッドユニット）を、また液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置を挙げて説明したが、本発明は、広くヘッドユニット及び液体噴射装置全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射するヘッドユニットや液体噴射装置にも勿論適用することができる。その他のヘッドユニットとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のヘッドユニット、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッドユニット、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（電界放出ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッドユニット、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッドユニット等が挙げられ、かかるヘッドユニットを備えた液体噴射装置にも適用できる。

次に、第３実施形態について説明する。図９は、本実施形態の記録ヘッド２Ａの構成を説明する断面図である。
本実施形態における記録ヘッド２Ａは、第１実施形態における記録ヘッド２に対して第３流路形成部材としての連通板６０を付加した形態である。なお、第１実施形態と同じ構成には同じ符号を付している。

図９に示すように、記録ヘッド２Ａは、ノズル開口３７が複数設けられたノズルプレート３３と、ノズルプレート３３と流路形成部材３４との間に積層された連通板６０と、を備える。連通板６０は、板状部材である。また、第１実施形態と同様にして、流路形成部材３４上には封止板３５が積層され、封止板３５上には、ヘッドケース１８及び振動子ユニット１６が積層される。

ノズルプレート３３と連通板６０とは接着剤によって接合される。また、流路形成部材３４と連通板６０とは接着剤によって接合される。ここで、流路形成部材３４および連通板６０はシリコンで形成され、ノズルプレート３３はステンレス鋼で形成される。すなわち、流路形成部材３４と連通板６０とは同種材料同士での接合であり、ノズルプレート３３と連通板６０とは異種材料同士での接合となる。

連通板６０のノズル開口３７に対応する位置には、連通板６０の厚さ方向に貫通する貫通孔６２が設けられ、共通インク室３８、インク供給口３９、及び圧力室４０からなる一連のインク流路（第１流路）は、貫通孔６２を介してノズル開口３７と連通する。

ここで、共通インク室３８は、流路形成部材３４および連通板６０によって形成される。詳細には、共通インク室３８は、流路形成部材３４、連通板６０および弾性体膜４６によって区画形成される。すなわち、第１実施形態の構成と異なり、ノズルプレート３３は、共通インク室３８の形成に寄与していない。
このため、共通インク室３８において、液体としてのインクとノズルプレート３３とが接触する接触面積が低減される。従って、ノズルプレート３３と連通板６０とが接着する接着部へのインクの接触機会が低減され、ノズルプレート３３と連通板６０との剥離の発生を抑制させることができる。
また、連通板６０とノズルプレート３３とは互いに異なる材料であるが、第１実施形態のように、異種材料同士の流路形成部材３４とノズルプレート３３とが接着する構成に比べ、連通板６０とノズルプレート３３とが接着する接着面積が増えるため、互いの接着強度を向上させることができる。
一方、流路形成部材３４と連通板６０とは互いに同じ材料同士で形成されるため、部材間の接着強度が高まる。このため、流路形成部材３４と連通板６０とが接着する接着部にインクが接触しても、流路形成部材３４と連通板６０とを剥がれにくくすることができる。
なお、連通板６０以外の基本的な構成は、第１実施形態の構成と同様なので説明を省略する。

次に、第４実施形態について説明する。図１０は、本実施形態の記録ヘッド２Ｂの構成を説明する断面図である。
本実施形態における記録ヘッド２Ｂは、第３実施形態における記録ヘッド２Ａに対して連通板６０に凹部６１を付加した形態である。なお、第１及び第３実施形態と同じ構成には同じ符号を付している。

図１０に示すように、記録ヘッド２Ｂの連通板６０には、共通インク室３８に対応する部分にノズルプレート３３側へ凹んだ凹部６１が設けられる。具体的には、流路形成部材３４における空部４３（図３参照）に対応する部分に凹部６１が設けられる。そして、空部４３と凹部６１が設けられた空間とによって共通インク室３８が構成される。これにより、共通インク室３８の流路体積をより増大させることができる。

また、凹部６１は、平面視において流路形成部材３４における空部４３と同様の形状で形成される。凹部６１は、エッチング処理によって形成される。凹部６１が形成された部分の連通板６０の厚さ寸法は、凹部６１が形成されていない連通板６０の厚さ寸法の約半分である。また、図１０に示すように、断面視において、流路形成部材３４における空部４３の幅寸法Ｗ１は、凹部６１の幅寸法Ｗ２と同じか、よりも大きいことが好ましい。これにより、流路形成部材３４と連通板６０との接着面積を確保することができる。
なお、連通板６０の凹部６１以外の基本的な構成は、第１及び第３実施形態の構成と同様なので説明を省略する。

１…プリンター、２，２Ａ，２Ｂ…記録ヘッド、１５…圧電振動子、１６…振動子ユニット、１７…流路ユニット、１８…ヘッドケース、２５…ケース流路、３３…ノズルプレート、３４…流路形成部材、３５…封止板、３７…ノズル開口、３８…共通インク室、４０…圧力室、４５…支持基板、４６…弾性体膜、４７…ダイヤフラム部、４９…島部、５０…インク導入穴、５３…収容室、５４…被覆部、５５…連通穴、５６…段差部、６０…連通板、６１…凹部、６２…貫通孔、Ａ…樹脂被覆層、Ｃ…樹脂層、Ｄ１…連通穴の内径、Ｄ２…インク導入穴の内径、Ｗ１，Ｗ２…幅。

Claims (10)

1. ノズル開口に通じる第１流路が形成された第１流路形成部材と、前記第１流路の開口を 封止する封止部材と、前記第１流路に液体を供給するための第２流路を有する第２流路形 成部材とが順次積層され、前記封止部材に形成された連通口を介して前記第１流路の連通 部と前記第２流路の連通部とが連通した液体噴射ヘッドであって、
   前記封止部材は前記第１流路の一面を構成するダイヤフラム層と、前記ダイヤフラム層 に積層される樹脂層とを有しており、
   前記連通口の内壁の少なくとも一部が、前記樹脂層を形成する第１樹脂とは異なる第２樹脂からなる樹脂被覆層で覆われており、
   前記第２樹脂は、（メタ）アクリレート類、（メタ）アクリルアミド類、及びＮ－ビニル化合物から選択される少なくとも１種を重合性化合物として含む光硬化型インクに対する化学的安定性が前記第１樹脂より高いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 前記封止部材と前記第１流路形成部材とは、前記第２樹脂と同じ樹脂からなる他の樹脂層で接合されていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
3. 前記封止部材と前記第２流路形成部材とは、前記第２樹脂と同じ樹脂からなる他の樹脂層で接合されていることを特徴とする請求項１又は２記載の液体噴射ヘッド。
4. 前記ダイヤフラム層を変位させるアクチュエーターをさらに有し、前記アクチュエーターと前記ダイヤフラム層とが、前記第２樹脂と同じ樹脂からなる他の樹脂層で接合されていることを特徴とする請求項３記載の液体噴射ヘッド。
5. 前記第１流路形成部材の前記連通部には前記連通口と接続される第１開口が設けられ、
   第２流路形成部材の前記連通部には前記連通口と接続される第２開口が設けられており、
   前記第１開口及び前記第２開口の径が前記連通口よりも小さくされることで、前記第１開口及び前記第２開口の内壁と前記連通口の内壁との間に段差部が形成され、当該段差部の間に前記樹脂被覆層が設けられていることを特徴とする請求項１～４の何れか一項記載の液体噴射ヘッド。
6. 前記ノズル開口が複数設けられたノズルプレートと、
   前記ノズル開口と前記第１流路とを連通させるとともに、前記ノズルプレートと前記第 １流路形成部材との間に積層された第３流路形成部材と、を備え、
   前記第１流路形成部材および前記第３流路形成部材は、シリコンで形成され、
   前記ノズルプレートは、ステンレス鋼で形成され、
   前記第１流路は、前記ノズル開口毎に設けられるとともに前記ダイヤフラム層によって 一面が形成された複数の圧力室を有し、
   前記第１流路の連通部は、前記複数の圧力室と連通し、
   前記第１流路の連通部は、前記第１流路形成部材および前記第３流路形成部材によって 形成されることを特徴とする請求項５記載の液体噴射ヘッド。
7. 前記第３流路形成部材は、前記第１流路の連通部に対応する部分に前記ノズルプレート 側へ凹んだ凹部が設けられていることを特徴とする請求項６記載の液体噴射ヘッド。
8. 前記ダイヤフラム層がアラミド樹脂層であり、前記樹脂層がエポキシ樹脂からなること を特徴とする請求項１～７の何れか一項記載の液体噴射ヘッド。
9. 前記樹脂被覆層がアミノフェノール型エポキシ樹脂系接着剤からなることを特徴とする 請求項１～８の何れか一項記載の液体噴射ヘッド。
10. 請求項１～９の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドと、前記液体噴射ヘッドから吐出する液体として前記光硬化型インクとを有することを特徴とする液体噴射システム。

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