JP7348069B2 - 吸着方法 - Google Patents
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Description
[ファブリペロー干渉フィルタの構成]
[吸着コレットの構成]
[吸着方法の実施形態]
[変形例]
[付記1]
基板と、前記基板上に設けられ、前記基板と反対側に臨む主面を含む積層構造部と、前記主面に交差する方向からみて前記積層構造部の外側に位置し、前記主面よりも前記基板側に窪む薄化部と、を備えるファブリペロー干渉フィルタを吸着するための吸着コレットであって、
表面を有し、前記表面に開口する吸気孔が設けられた本体部と、
前記表面から突出するように前記表面に設けられ、前記薄化部の底面に接触する接触面を有する接触部と、
を備え、
前記積層構造部には、空隙を介して互いに対向し且つ互いの距離が可変とされた第1ミラー部及び第2ミラー部と前記主面の一部とを含むメンブレン構造部が設けられており、
前記接触部は、前記表面と前記接触面との距離が前記主面と前記底面との間の距離よりも大きくされることにより、前記接触面が前記底面に接触した状態において前記表面と前記主面との間に空間を形成し、
前記吸気孔の開口は、前記表面における前記空間に臨むエリアに形成されている、
吸着コレット。
[付記2]
前記接触部は、前記表面に交差する方向からみて前記エリアを囲うように延在し、
前記接触部には、前記接触面が前記底面に接触した状態において前記空間を外部に連通する連通部が形成されている、
付記1に記載の吸着コレット。
[付記3]
前記接触部は、前記表面に交差する方向からみて前記エリアを囲うように互いに離間しつつ配列された複数の部分からなり、
前記連通部は、前記部分の間の空隙により形成されている、
付記2に記載の吸着コレット。
[付記4]
前記積層構造部には、前記主面に交差する方向からみて前記メンブレン構造部の外側に位置すると共に、前記主面から突出する電極端子が設けられており、
前記連通部は、前記接触面が前記底面に接触した状態において、前記電極端子の外側において前記電極端子に対応する位置に設けられている、
付記2又は3に記載の吸着コレット。
[付記5]
前記積層構造部は、前記主面に交差する方向からみて矩形状を呈しており、
前記連通部は、前記接触面が前記底面に接触した状態において、前記積層構造部の前記矩形状の4つの角部のそれぞれに対応するように複数設けられている、
付記2~4のいずれか一項に記載の吸着コレット。
[付記6]
前記接触部は、前記表面に交差する方向からみて前記エリアを連続的に囲うように一体的に形成されている、
付記1に記載の吸着コレット。
[付記7]
前記表面には、前記吸気孔の複数の開口が形成されており、
前記複数の開口は、前記エリアの中心に対して対称的に分散されて配置されている、
付記1~6のいずれか一項に記載の吸着コレット。
Claims (7)
- 基板と、前記基板上に設けられ、前記基板と反対側に臨む主面を含む積層構造部と、前記主面に交差する方向からみて前記積層構造部の外側に位置し、前記主面よりも前記基板側に窪む薄化部と、を備えるファブリペロー干渉フィルタを吸着コレットを用いて吸着する吸着方法であって、
前記主面に対向するように前記吸着コレットを配置する第1工程と、
前記第1工程の後に、前記吸着コレットを前記ファブリペロー干渉フィルタに接触させる第2工程と、
前記第2工程の後に、前記吸着コレットによって前記ファブリペロー干渉フィルタを吸着する第3工程と、
を備え、
前記吸着コレットは、吸気のための開口が形成された表面を有する本体部と、前記表面から突出するように前記表面に設けられ、接触面を有する接触部と、
を備え、
前記積層構造部には、空隙を介して互いに対向し且つ互いの距離が可変とされた第1ミラー部及び第2ミラー部と前記主面の一部とを含むメンブレン構造部が設けられており、
前記第1工程においては、前記接触面が前記薄化部の底面に対向するように前記吸着コレットを配置し、
前記第2工程においては、前記表面と前記主面との間に前記メンブレン構造部に臨む空間を形成しつつ前記接触面を前記底面に接触させ、
前記第3工程においては、前記開口を介した吸気により前記メンブレン構造部に臨む前記空間内を排気する、
吸着方法。 - 前記接触部は、前記表面に交差する方向からみて、前記表面における前記空間に臨むエリアを囲うように延在し、
前記接触部には、前記接触面が前記底面に接触した状態において前記空間を外部に連通する連通部が形成されており、
前記第3工程においては、前記開口を介した吸気によって前記連通部を介して前記空間内に空気を導入する、
請求項1に記載の吸着方法。 - 前記接触部は、前記表面に交差する方向からみて前記エリアを囲うように互いに離間しつつ配列された複数の部分からなり、
前記連通部は、前記部分の間の空隙により形成されている、
請求項2に記載の吸着方法。 - 前記積層構造部には、前記主面に交差する方向からみて前記メンブレン構造部の外側に位置すると共に、前記主面から突出する電極端子が設けられており、
前記第1工程においては、前記連通部が、前記接触面が前記底面に接触した状態において、前記電極端子の外側において前記電極端子に対応する位置になるように、前記吸着コレットを配置する、
請求項2又は3に記載の吸着方法。 - 前記積層構造部は、前記主面に交差する方向からみて矩形状を呈しており、
前記第1工程においては、前記連通部が、前記接触面が前記底面に接触した状態において、前記積層構造部の前記矩形状の4つの角部のそれぞれに対応する位置となるように、前記吸着コレットを配置する、
請求項2~4のいずれか一項に記載の吸着方法。 - 前記接触部は、前記表面に交差する方向からみて、前記表面における前記空間に臨むエリアを連続的に囲うように一体的に形成されている、
請求項1に記載の吸着方法。 - 前記表面には、複数の前記開口が形成されており、
前記第1工程においては、前記複数の開口が、前記主面に交差する方向からみて前記メンブレン構造部の中心に対して対称的に分散されるように前記吸着コレットを配置する、
請求項1~6のいずれか一項に記載の吸着方法。
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