JP7335999B2 - メインrf発生器およびエッジrf発生器を同期させることによってプラズマチャンバ内のエッジ領域に関連する予め定められた要素を達成するためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Description
本発明は、例えば、以下のような形態により実現されてもよい。
[形態1]
プラズマチャンバ内のエッジ領域に関連する予め定められた要素を達成するための方法であって、
第1インピーダンス整合回路を介して前記プラズマチャンバ内のメイン電極に高周波(RF)信号を供給する工程であって、前記RF信号は、第1RF発生器の動作周波数に基づいて生成される、工程と、
第2インピーダンス整合回路を介して前記プラズマチャンバ内のエッジ電極に別のRF信号を供給する工程であって、前記別のRF信号は、前記第1RF発生器の前記動作周波数に基づいて生成される、工程と、
前記第1インピーダンス整合回路の出力に関連する変数の第1測定値を受信する工程と、
前記第2インピーダンス整合回路の出力に関連する前記変数の第2測定値を受信する工程と、
前記第1測定値および前記第2測定値に基づいて、前記別のRF信号の位相を修正する工程と、
前記予め定められた要素を達成するように、第2RF発生器に関連する変数の大きさを変更する工程と、
を備える、方法。
[形態2]
形態1に記載の方法であって、前記大きさを変更する工程は、前記別のRF信号が生成された後および前記別のRF信号の前記位相が修正された後に実行される、方法。
[形態3]
形態1に記載の方法であって、前記RF信号および前記別のRF信号の前記位相を修正する工程は、前記第2測定値の位相から予め定められた範囲内にある前記第1測定値の位相を達成するように、前記位相を修正する工程を含む、方法。
[形態4]
形態1に記載の方法であって、前記第2RF発生器に関連する前記変数は、前記第1および第2インピーダンス整合回路の前記出力に関連する前記変数とは異なる、方法。
[形態5]
形態1に記載の方法であって、前記第1測定値を受信する工程は、前記第1インピーダンス整合回路の前記出力から前記第1測定値を受信する工程を含み、前記第2測定値を受信する工程は、前記第2インピーダンス整合回路の前記出力から前記第2測定値を受信する工程を含む、方法。
[形態6]
形態1に記載の方法であって、前記メイン電極は、基板を支持して、前記プラズマチャンバ内の中央領域で前記基板を処理するよう構成され、前記エッジ電極は、前記エッジ領域で前記基板を処理するよう構成される、方法。
[形態7]
形態1に記載の方法であって、前記メイン電極はチャックであり、前記エッジ電極はエッジリングまたは結合リングである、方法。
[形態8]
形態1に記載の方法であって、前記メイン電極は上側電極であり、前記エッジ電極は上側電極延長部である、方法。
[形態9]
形態1に記載の方法であって、前記第2RF発生器は、前記第1RF発生器の前記動作周波数の予め定められた範囲内にある動作周波数を有するように制御される、方法。
[形態10]
エッジ領域に関連する予め定められた要素を達成するためのシステムであって、
メイン電極およびエッジ電極を有するプラズマチャンバと、
前記メイン電極に接続された第1インピーダンス整合回路と、
前記エッジ電極に接続された第2インピーダンス整合回路と、
前記第1インピーダンス整合回路を介して前記メイン電極にRF信号を供給するために前記第1インピーダンス整合回路に接続された第1高周波(RF)発生器であって、前記RF信号は、前記第1RF発生器の動作周波数に基づいて生成される、第1RF発生器と、
前記第2インピーダンス整合回路を介して前記エッジ電極に別のRF信号を供給するために前記第2インピーダンス整合回路に接続された第2RF発生器であって、前記別のRF信号は、前記第1RF発生器の前記動作周波数に基づいて生成される、第2RF発生器と、
を備え、
前記第2RF発生器は、前記第1インピーダンス整合回路の出力に関連する変数の第1測定値を受信するよう構成され、
前記第2RF発生器は、前記第2インピーダンス整合回路の出力に関連する前記変数の第2測定値を受信するよう構成され、
前記第2RF発生器は、前記第1測定値および前記第2測定値に基づいて、前記別のRF信号の位相を修正するよう構成され、
前記第2RF発生器は、前記予め定められた要素を達成するように前記第2RF発生器に関連する変数の大きさを変更するよう構成される、システム。
[形態11]
形態10に記載のシステムであって、前記大きさは、前記別のRF信号が生成された後および前記別のRF信号の前記位相が修正された後に変更される、システム。
[形態12]
形態10に記載のシステムであって、前記第1測定値は、前記第1インピーダンス整合回路の前記出力から受信され、前記第2測定値は、前記第2インピーダンス整合回路の前記出力から受信される、システム。
[形態13]
形態10に記載のシステムであって、前記第2RF発生器は、前記第2測定値の位相から予め定められた範囲内にある前記第1測定値の位相を達成するように、前記別のRF信号の前記位相を修正するよう構成される、システム。
[形態14]
形態10に記載のシステムであって、前記第2RF発生器に関連する前記変数は、前記第1および第2インピーダンス整合回路の前記出力に関連する前記変数とは異なる、システム。
[形態15]
形態10に記載のシステムであって、前記第2RF発生器は、前記第1RF発生器の前記動作周波数の予め定められた範囲内にある動作周波数を有するように制御される、システム。
[形態16]
形態10に記載のシステムであって、前記メイン電極は、基板を支持して、前記プラズマチャンバ内の中央領域で前記基板を処理するようによう構成され、前記エッジ電極は、前記エッジ領域で前記基板を処理するよう構成される、システム。
[形態17]
形態10に記載のシステムであって、前記メイン電極はチャックであり、前記エッジ電極はエッジリングまたは結合リングである、システム。
[形態18]
形態10に記載のシステムであって、前記メイン電極は上側電極であり、前記エッジ電極は上側電極延長部である、システム。
[形態19]
プラズマチャンバ内のエッジ領域に関連する予め定められた要素を達成するためのプログラム命令を含む非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体であって、コンピュータシステムの1または複数のプロセッサによる前記プログラム命令の実行により、前記1または複数のプロセッサが、
第1インピーダンス整合回路を介して前記プラズマチャンバ内のメイン電極に高周波(RF)信号を供給する動作であって、前記RF信号は、第1RF発生器の動作周波数に基づいて生成される、動作と、
第2インピーダンス整合回路を介して前記プラズマチャンバ内のエッジ電極に別のRF信号を供給する動作であって、前記別のRF信号は、前記第1RF発生器の前記動作周波数に基づいて生成される、動作と、
前記第1インピーダンス整合回路の出力に関連する変数の第1測定値を受信する動作と、
前記第2インピーダンス整合回路の出力に関連する前記変数の第2測定値を受信する動作と、
前記第1測定値および前記第2測定値に基づいて、前記別のRF信号の位相を修正する動作と、
前記予め定められた要素を達成するように、第2RF発生器に関連する変数の大きさを変更する動作と、
を実行する、非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体。
[形態20]
形態19に記載の非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体であって、前記大きさを変更する動作は、前記別のRF信号が生成された後および前記別のRF信号の前記位相が修正された後に実行される、非一時的なコンピュータ読み取り可能媒体。
Claims (18)
- コントローラシステムであって、
プロセッサであって、
第1RF信号を生成して、前記第1RF信号を第1インピーダンス整合回路に供給するように第1高周波(RF)電源を制御し、前記第1RF電源は、第2RF信号を生成する第2RF電源の動作周波数に基づいて制御され、
プラズマチャンバのエッジ電極に接続された前記第1インピーダンス整合回路の第1出力から変数の第1測定値を受信し、
前記エッジ電極によって囲まれたメイン電極に接続された第2インピーダンス整合回路の第2出力に関連する前記変数の第2測定値を受信し、
前記第2インピーダンス整合回路は、前記第2RF電源に接続され、前記第2RF電源から前記第2RF信号を受信し、
前記第1測定値および前記第2測定値に基づいて前記第1RF信号の位相を修正するように構成された、プロセッサと、
前記プロセッサに接続されたメモリデバイスと、
を備える、コントローラシステム。 - 請求項1に記載のコントローラシステムであって、
前記第1インピーダンス整合回路は、第3RF電源に接続され、前記第1RF電源は、前記第3RF電源の動作周波数よりも低い動作周波数を有する、コントローラシステム。 - 請求項2に記載のコントローラシステムであって、
前記第2インピーダンス整合回路は、第4RF電源に接続され、前記第2RF電源は、前記第4RF電源の動作周波数よりも低い動作周波数を有する、コントローラシステム。 - 請求項1に記載のコントローラシステムであって、
前記プロセッサは、前記第1RF信号の周波数が前記第2RF電源の前記動作周波数から予め定められた範囲内になるように決定するように構成されている、コントローラシステム。 - 請求項1に記載のコントローラシステムであって、
前記変数は、複素電力、または複素電圧、または複素電流、または複素インピーダンスであり、前記変数は、大きさおよび位相を含む、コントローラシステム。 - 請求項1に記載のコントローラシステムであって、
前記第1測定値は第1位相を含み、前記第2測定値は第2位相を含み、前記プロセッサは、前記第1位相を前記第2位相と比較して、前記第1位相が前記第2位相から予め定められた範囲内にあるか否かを決定するように構成され、前記第1RF信号の前記位相は、前記第1位相が前記第2位相から前記予め定められた範囲内にないことを前記プロセッサが決定したときに修正される、コントローラシステム。 - 請求項1に記載のコントローラシステムであって、
前記エッジ電極は、結合リングの上方に配置されている、コントローラシステム。 - 請求項1に記載のコントローラシステムであって、
前記プロセッサは、前記第1RF信号の前記位相が修正された後に、前記第1RF信号の振幅を修正するように構成されている、コントローラシステム。 - プラズマシステムであって、
第1RF信号を生成するように構成された第1高周波(RF)電源と、
第1RFケーブルを介して前記第1RF電源に接続された第1インピーダンス整合回路であって、前記第1RF電源は、前記第1RFケーブルを介して前記第1インピーダンス整合回路に前記第1RF信号を供給するように構成され、前記第1インピーダンス整合回路は、第1出力を有する、第1インピーダンス整合回路と、
前記第1出力に接続されたエッジ電極を有するプラズマチャンバと、
動作周波数を有し、第2RF信号を生成するように構成された第2RF電源と、
第2RFケーブルを介して前記第2RF電源に接続された第2インピーダンス整合回路であって、前記第2RF電源は、前記第2RFケーブルを介して前記第2インピーダンス整合回路に前記第2RF信号を供給するように構成され、前記第2インピーダンス整合回路は、第2出力を有し、前記プラズマチャンバは、前記第2出力に接続されたメイン電極を有する、第2インピーダンス整合回路と、
コントローラであって、
前記第2RF電源の前記動作周波数に基づいて前記第1RF信号の周波数を決定し、
前記第1インピーダンス整合回路の前記第1出力から変数の第1測定値を受信し、
前記第2インピーダンス整合回路の前記第2出力に関連する前記変数の第2測定値を受信し、
前記第1測定値および前記第2測定値に基づいて前記第1RF信号の位相を修正するように構成されたコントローラと、
を備える、プラズマシステム。 - 請求項9に記載のプラズマシステムであって、さらに、
前記第1インピーダンス整合回路に接続された第3RF電源を備え、
前記第1RF電源は、前記第3RF電源の動作周波数よりも低い動作周波数を有する、プラズマシステム。 - 請求項10に記載のプラズマシステムであって、
前記第2インピーダンス整合回路に接続された第4RF電源をまず備え、
前記第2RF電源は、前記第4RF電源の動作周波数よりも低い動作周波数を有する、プラズマシステム。 - 請求項9に記載のプラズマシステムであって、
前記コントローラは、前記第1RF信号の前記周波数が前記第2RF電源の前記動作周波数から予め定められた範囲内になるように決定するように構成されている、プラズマシステム。 - 請求項9に記載のプラズマシステムであって、
前記変数は、複素電力、または複素電圧、または複素電流、または複素インピーダンスであり、前記変数は、大きさおよび位相を含む、プラズマシステム。 - 請求項9に記載のプラズマシステムであって、
前記第1測定値は第1位相を含み、前記第2測定値は第2位相を含み、前記コントローラは、前記第1位相を前記第2位相と比較して、前記第1位相が前記第2位相から予め定められた範囲内にあるか否かを決定するように構成され、前記第1RF信号の前記位相は、前記第1位相が前記第2位相から前記予め定められた範囲内にないことを前記コントローラが決定したときに修正される、プラズマシステム。 - 請求項9に記載のプラズマシステムであって、
前記プラズマチャンバは、前記エッジ電極の下方に配置された結合リングを有する、プラズマシステム。 - 請求項9に記載のプラズマシステムであって、
前記コントローラは、前記第1RF信号の前記位相が修正された後に、前記第1RF信号の振幅を修正するように構成されている、プラズマシステム。 - 請求項9に記載のプラズマシステムであって、
前記コントローラは、前記第1RF電源に接続されている、プラズマシステム。 - 請求項9に記載のプラズマシステムであって、
前記コントローラは、前記第1RF電源に接続されたデジタル信号プロセッサである、プラズマシステム。
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