以下の実施形態は、基板を処理するために周波数同調と整合同調を重複させずに適用するためのシステムおよび方法を説明する。本実施形態は、これらの特定の詳細の一部またはすべてがなくても実施され得ることは明らかであろう。他の例では、本実施形態を不必要に不明瞭にしないために、周知のプロセス動作は詳細には説明されていない。
図1Aは、パルス信号104のデューティサイクルの一部、たとえば、パルス、の間に高周波数(RF)発生器のパラメータが同調され、デューティサイクルの残りの部分の間にインピーダンス整合が同調されることを説明するグラフ102、106、110、および144の実施形態を提供する。パラメータの例は、RF発生器の周波数および電力、またはRF発生器によって生成されたRF信号の周波数および電力を含む。パルス信号104のデューティサイクルは、およそ50%(45%から55%の範囲など)である。パルス信号104のデューティサイクルは、時間間隔taまたは時間間隔tcなどの時間間隔にわたって発生する。グラフ102は、パルス信号104のレベル間の遷移を時間tに対してプロットしている。例えば、パルス信号104は、高レベル、例えば、ビット1から低レベル、例えば、ビット0に遷移する。パルス信号104は、2つのレベルの間で周期的に遷移する。例えば、各クロックサイクル中、パルス信号104は、高レベルから低レベルに遷移する。パルス信号の高レベルは、時間間隔taにわたって発生し、パルス信号の低レベルは、時間間隔tbにわたって発生する。時間間隔tbは、時間間隔taから連続的に続いている。
パルス信号104の異なるそれぞれのレベルは、異なる状態を有する。例えば、パルス信号104の高レベルは、時間間隔taに状態S1を有し、パルス信号104の低レベルは、時間間隔tbに状態S2を有する。状態S1およびS2は、S2が状態S1の後に事前設定された時間期間発生し、それから、状態S2が状態S1の後に事前設定された時間期間発生するように周期的に繰り返される。例えば、状態S1は、時間間隔tbの後に再び繰り返される。状態S1は、時間間隔tbから連続的に続く時間間隔tcで繰り返される。さらに、状態S2は、時間間隔tcの後に再び繰り返される。状態S2は、時間間隔tcから連続的に続く時間間隔tdで繰り返される。
パルス信号104は、時間間隔taで高レベルを有し、時間間隔tbで低レベルを有する。さらに、パルス信号104は、時間間隔tcで高レベルを有し、時間間隔tdで低レベルを有する。時間間隔ta、tb、tc、およびtdの各々は、ほぼ同じ長さの時間を有することに留意されたい。例えば、各時間間隔ta、tb、tc、およびtdは、マイクロ秒またはミリ秒などの同じ単位時間数を有する。時間間隔taおよびtbが1つのクロックサイクルを形成し、時間間隔tcおよびtdが別のクロックサイクルを形成する。
時間間隔taは、実質的に等しい時間間隔t1およびt2に分割される。例えば、時間間隔taは、等しい時間間隔t1およびt2に分割される。別の例として、時間間隔t1は、時間間隔taの45%から55%の範囲であり、時間間隔t2は、時間間隔taの45%から55%の範囲である。同様に、時間間隔tcは、実質的に等しい時間間隔t3およびt4に分割される。時間間隔t1、t2、t3、およびt4の各々は、実質的に同じであることに留意されたい。例えば、各時間間隔t1、t2、t3、およびt4は、マイクロ秒またはミリ秒などの同じ単位時間数を有する。
いくつかの実施形態では、パルス信号104は、複数の論理ゲートから作られたデジタルクロック発振器などのクロックソースによって生成されるデジタルクロック信号である。デジタルクロック信号は、複数のクロックサイクルを有し、各クロックサイクルは、デジタルクロック信号が高レベルを有するデューティサイクルを有する。様々な実施形態において、デジタルクロック発振器は、中央処理装置(CPU)、マイクロプロセッサ、特定用途向け集積回路(ASIC)、またはプログラマブル論理デバイス(PLD)などのプロセッサ内に統合される。
グラフ106は、RF発生器によって生成されるRF電力を時間tに対してプロットしている。RF発生器は、RF信号108を生成する。RF信号108は、時間間隔taにおける電力レベルがP1であるRF電力を有し、時間間隔tbにおける電力レベルがほぼゼロである。例えば、RF信号108は、時間間隔tbにおける電力レベルがゼロ、またはP1の0%から10%の範囲である。状態S1における電力レベルP1は、状態S2におけるRF信号108の電力レベルよりも大きい。同様に、RF信号108は、時間間隔tcにおける電力レベルがP1であり、時間間隔tdにおける電力レベルがほぼゼロである。
グラフ110は、RFパラメータ同調信号112を時間tに対してプロットしている。RFパラメータ同調信号112は、RF発生器のパラメータが同調される時間間隔と、パラメータが同調されない時間間隔とを示すデジタルパルス信号である。RFパラメータ同調信号112は、パルス信号102を生成するのと同じデジタルクロック発振器、または別のデジタルクロック発振器によって生成される。そのようなデジタルクロック発振器の例は、前述の通りである。
RFパラメータ同調信号112は、オンレベル、例えば、ビット1とオフレベル、例えば、ビット0との間で周期的に遷移する。例えば、遷移時間tr1において、RFパラメータ同調信号112は、オフレベルからオンレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号112は、時間間隔t1の間、オンレベルである。さらに、遷移時間tr2において、RFパラメータ同調信号112は、オンレベルからオフレベルに遷移する。遷移時間tr2は、時間間隔t1と時間間隔t2との間に発生する。同様に、遷移時間tr1は、時間間隔t1と、時間間隔t1に先行するパルス信号102の時間間隔との間に発生する。したがって、パラメータは時間間隔t1の間に同調される。
時間間隔t2の間、パラメータは同調されない。さらに、時間間隔tbの間、パラメータは同調されない。例えば、時間間隔t2およびtbの間、RFパラメータ同調信号112はオフレベルである。
時間間隔t3の間、パラメータは同調される。例えば、遷移時間tr5において、RFパラメータ同調信号112は、オフレベルからオンレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号112は、時間間隔t3の間、オンレベルである。さらに、遷移時間tr6において、RFパラメータ同調信号112は、オンレベルからオフレベルに遷移する。遷移時間tr6は、時間間隔t3と時間間隔t4との間に発生する。同様に、遷移時間tr5は、時間間隔tbと時間間隔t3との間に発生する。したがって、パラメータは時間間隔t3の間に同調される。
時間間隔t4の間、パラメータは同調されない。さらに、時間間隔tdの間、パラメータは同調されない。例えば、時間間隔t4およびtdの間、RFパラメータ同調信号112はオフレベルである。
RFパラメータ同調信号112は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいて周期的に繰り返される。例えば、RFパラメータ同調信号112は、時間間隔t1においてオンレベルであり、連続的に続く時間間隔t2およびtbにおいてオフレベルであり、さらに連続的に続く時間間隔t3においてにオンレベルであり、連続的に続く時間間隔t4およびtdにおいてオフレベルである。
グラフ114は、整合同調信号116を時間tに対してプロットしている。整合同調信号116は、インピーダンス整合の変数、例えば、静電容量またはインダクタンスが同調される時間間隔と、インピーダンス整合の変数が同調されない時間間隔とを示すデジタルパルス信号である。整合同調信号116は、パルス信号102を生成するデジタルクロック発振器、またはRFパラメータ同調信号112を生成するデジタルクロック発振器、または別のデジタルクロック発振器によって生成される。そのようなデジタルクロック発振器の例は、前述の通りである。
整合同調信号116は、オンレベルとオフレベルとの間で周期的に遷移する。例えば、整合同調信号116は、時間間隔t1の間、オフレベルであり、遷移時間tr3においてオフレベルからオンレベルに遷移する。整合同調信号116は、時間間隔t2の間、オンレベルである。さらに、遷移時間tr4において、整合同調信号116は、オンレベルからオフレベルに遷移する。遷移時間tr4は、時間間隔t2と時間間隔tbとの間に発生する。同様に、遷移時間tr3は、時間間隔t1と時間間隔t2との間に発生する。したがって、インピーダンス整合の変数は、時間間隔t2の間に同調され、時間間隔t1の間は同調されない。
時間間隔tbの間、インピーダンス整合の変数は同調されない。さらに、時間間隔t3の間、変数は同調されない。例えば、時間間隔tbおよびt3の間、整合同調信号116はオフレベルである。
時間間隔t4の間、インピーダンス整合の変数は同調される。例えば、遷移時間tr7において、整合同調信号116は、オフレベルからオンレベルに遷移する。整合同調信号116は、時間間隔t4の間、オンレベルである。さらに、遷移時間tr8において、整合同調信号116は、オンレベルからオフレベルに遷移する。遷移時間tr8は、時間間隔t4と時間間隔tdとの間に発生する。同様に、遷移時間tr7は、時間間隔t3と時間間隔t4との間に発生する。したがって、変数は時間間隔t4の間に同調される。
時間間隔tdの間、インピーダンス整合の変数は同調されない。例えば、時間間隔tdの間、整合同調信号114はオフレベルである。
RF発生器のパラメータが同調されるとき、インピーダンス整合の変数は同調されず、変数が同調されるとき、パラメータは同調されない。例えば、RFパラメータ同調信号112は、時間間隔t1およびt3の間、オン、例えば、オンレベルである。時間間隔t1およびt3の各々の間、整合同調信号116はオフ、例えば、オフレベルである。さらに、RFパラメータ同調信号112は、時間間隔t2およびt4の間、オフである。時間間隔t2およびt4の各々の間、整合同調信号116はオンである。
整合同調信号116は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいて周期的に繰り返される。例えば、整合同調信号116は、時間間隔t1においてオフレベルであり、連続的に続く時間間隔t2においてオンレベルであり、さらに連続的に続く時間間隔tbおよびtcにおいてオフレベルであり、連続的に続く時間間隔t4においてオンレベルであり、連続的に続く時間間隔tdにおいてオフレベルである。
いくつかの実施形態では、本明細書で説明される同調信号、例えば、RFパラメータ同調信号または整合同調信号のオフレベルからオンレベルへの遷移は、その同調信号がオンレベルである時間期間の間に発生する。例示すると、遷移tr1およびtr2は、時間間隔t1の間に発生し、遷移tr3およびtr4は、時間間隔t2の間に発生する。
図1Bは、パルス信号104のデューティサイクルの半分よりも短い間、RF発生器が同調され、パルス信号104のデューティサイクルの半分よりも長い間、インピーダンス整合が同調されることを説明するグラフ102、グラフ106、グラフ118、およびグラフ122の実施形態を示している。グラフ118は、RFパラメータ同調信号120を時間tに対してプロットしている。さらに、グラフ122は、整合同調信号124を時間tに対してプロットしている。RFパラメータ同調信号120は、パルス信号104のデューティサイクルにおいてRFパラメータ同調信号120のオンレベル状態が時間間隔t1よりも短く、オフレベル状態が時間間隔t2よりも長いことを除いて、図1AのRFパラメータ同調信号110と同じである。例えば、時間間隔taを有するパルス信号102のデューティサイクルにおいて、RFパラメータ同調信号120は、遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t1よりも短い時間間隔t5の間、オンレベルを維持する。オンレベルに留まった後、RFパラメータ同調信号120は、時間間隔t1の終了よりも前の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。オフレベルに遷移した後、RFパラメータ同調信号120は、時間間隔t1の一部の間、時間間隔t2の間、および時間間隔tbの間、オフレベルを維持する。次に、RFパラメータ同調信号120は、時間間隔tbの終わりの遷移時間にオンレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号120は、時間間隔t3よりも短い時間間隔t5の間、オンレベルに留まる。次に、RFパラメータ同調信号120は、遷移間隔t3の終了よりも前の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号120は、時間間隔t3の一部の間、時間間隔t4の間、および時間間隔tdの間、オフレベルを維持する。したがって、RFパラメータ同調信号120は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルを周期的に繰り返す。
同様に、整合同調信号124は、パルス信号104の各デューティサイクルにおいて整合同調信号124のオフレベル状態が時間間隔t1よりも短く、オンレベル状態が時間間隔t2よりも長いことを除いて、図1Aの整合同調信号116と同じである。例えば、時間間隔taを有するパルス信号102のデューティサイクルにおいて、整合同調信号124は、時間間隔t1の一部の間、オフレベルに留まる。次に、整合同調信号124は、遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t2よりも長い時間間隔t6の間、オンレベルを維持する。オンレベルに留まった後、整合同調信号124は、時間間隔t2の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。オフレベルに遷移した後、整合同調信号124は、時間間隔tbの間および時間間隔t3の一部の間、オフレベルを維持する。次に、整合同調信号124は、時間間隔t3の終了よりも前の遷移時間にオンレベルに遷移し、時間間隔t4の間、オンレベルに留まる。したがって、整合同調信号124は、時間間隔t4よりも長い時間間隔t6の間、オンレベルに留まる。次に、整合同調信号124は、時間間隔t4の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。整合同調信号124は、時間間隔tdの間、オフレベルを維持する。したがって、整合同調信号124は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルを周期的に繰り返す。
なお、時間間隔ta、tb、およびtcの各々において、信号124の整合がオフレベルである時間間隔t5の間、RFパラメータ同調信号120はオンレベルであることに留意されたい。同様に、時間間隔ta、tb、およびtcの各々において、信号124の整合がオンレベルである時間間隔t6の間、RFパラメータ同調信号120はオフレベルである。
いくつかの実施形態では、本明細書で説明される遷移時間は、遷移時間間隔または遷移時間期間であることに留意されたい。
図1Cは、パルス信号のデューティサイクルの半分よりも長い間、RF発生器が同調され、パルス信号のデューティサイクルの半分よりも短い間、インピーダンス整合が同調されることを説明するグラフ102、グラフ106、グラフ126、およびグラフ130の実施形態を示している。グラフ126は、RFパラメータ同調信号128を時間tに対してプロットしている。さらに、グラフ130は、整合同調信号132を時間tに対してプロットしている。RFパラメータ同調信号128は、パルス信号104の各デューティサイクルにおいてRFパラメータ同調信号128のオンレベル状態が時間間隔t1よりも長く、オフレベル状態が時間間隔t2よりも短いことを除いて、図1AのRFパラメータ同調信号110と同じである。例えば、時間間隔taを有するパルス信号102のデューティサイクルの開始時、RFパラメータ同調信号128は、遷移時間にオフレベルからオンレベルへに遷移し、時間間隔t1よりも長い時間間隔t6の間、オンレベルを維持する。オンレベルに留まった後、RFパラメータ同調信号128は、時間間隔t1の後かつ時間間隔t2の終了よりも前の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。オフレベルに遷移した後、RFパラメータ同調信号128は、時間間隔t2の一部の間および時間間隔tbの間、オフレベルを維持する。次に、RFパラメータ同調信号128は、時間間隔tcの開始時の遷移時間にオンレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号128は、時間間隔t3よりも長い時間間隔t6の間、オンレベルに留まる。次に、RFパラメータ同調信号128は、時間間隔t3の後の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号120は、時間間隔t4の一部の間および時間間隔tdの間、オフレベルを維持する。したがって、RFパラメータ同調信号128は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルを周期的に繰り返す。
同様に、整合同調信号132は、オフレベル状態が時間間隔t1よりも長く、オンレベル状態が時間間隔t2よりも短いことを除いて、図1Aの整合同調信号116と同じである。例えば、時間間隔taを有するパルス信号102のデューティサイクルにおいて、整合同調信号132は、時間間隔t1よりも長い間、オフレベルに留まる。次に、時間間隔t2において、整合同調信号124は、遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t2よりも短い時間間隔t5の間、オンレベルを維持する。オンレベルに留まった後、整合同調信号132は、時間間隔t2の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。オフレベルに遷移した後、整合同調信号132は、時間間隔tbの間、時間間隔t3の間、および時間間隔t4の一部の間、オフレベルを維持する。次に、整合同調信号132は、時間間隔t4において、時間間隔t4の終了よりも前の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移する。整合同調信号132は、時間間隔t5の間、オンレベルを維持する。次に、整合同調信号132は、時間間隔t4の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。整合同調信号132は、時間間隔tdの間、オフレベルを維持する。したがって、整合同調信号132は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルを周期的に繰り返す。
なお、時間間隔ta、tb、およびtcの各々において、信号132の整合がオフレベルである時間間隔t6の間、RFパラメータ同調信号128はオンレベルであることに留意されたい。同様に、時間間隔ta、tb、およびtcの各々において、整合同調信号132がオンレベルである時間間隔t5の間、RFパラメータ同調信号128はオフレベルである。
図2Aは、パルス信号104の各パルスにおいて、RF発生器を同調する前に、パルス信号104のデューティサイクルの半分の間、インピーダンス整合が同調されることを説明するグラフ102、グラフ106、グラフ202、およびグラフ206の実施形態を示している。グラフ202は、RFパラメータ同調信号204を時間tに対してプロットしている。さらに、グラフ206は、整合同調信号208を時間tに対してプロットしている。RFパラメータ同調信号204は、RFパラメータ同調信号208が時間間隔t1においてオフレベルであり、時間間隔t2においてオンレベルであり、時間間隔t3においてオフレベルであり、時間間隔t4においてオンレベルであることを除いて、図1AのRFパラメータ同調信号112と同じである。例えば、RFパラメータ同調信号208は、遷移時間tr3でオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t2の間、オンレベルを維持し、遷移時間tr4でオンレベルからオフレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号208は、時間間隔tbおよび時間間隔t3の間、オフレベルに留まり、次に遷移時間tr7でオフレベルからオンレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号208は、時間間隔t4の間、オンレベルに留まり、遷移時間tr8でオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔tdの間、オフレベルに留まる。
同様に、整合同調信号204は、時間間隔t1においてオンレベルであり、時間間隔t2においてオフレベルであり、時間間隔t3においてオンレベルであり、時間間隔t4においてオフレベルであることを除いて、図1Aの整合同調信号116と同じである。例えば、整合同調信号204は、遷移時間tr1でオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t1の間、オンレベルを維持し、遷移時間tr2でオンレベルからオフレベルに遷移する。整合同調信号204は、時間間隔t3および時間間隔tbの間、オフレベルに留まり、次に遷移時間tr5でオフレベルからオンレベルに遷移する。整合同調信号204は、時間間隔t3の間オンレベルに留まり、遷移時間tr6でオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t4およびtdの間、オフレベルに留まる。
なお、時間間隔taにおいて、信号204の整合がオンレベルである時間間隔t1の間、RFパラメータ同調信号208はオフレベルであることに留意されたい。同様に、時間間隔taにおいて、整合同調信号132がオフレベルである時間間隔t2の間、RFパラメータ同調信号208はオンレベルである。さらに、時間間隔tcにおいて、信号204の整合がオンレベルである時間間隔t3の間、RFパラメータ同調信号208はオフレベルであることに留意されたい。同様に、時間間隔tcにおいて、整合同調信号132がオフレベルである時間間隔t4の間、RFパラメータ同調信号208はオンレベルである。
図2Bは、パルス信号104の各パルスにおいて、RF発生器を同調する前に、パルス信号104のデューティサイクルの半分よりも短い間、インピーダンス整合が同調されることを説明するグラフ102、グラフ106、グラフ210、およびグラフ214の実施形態を示している。グラフ210は、整合同調信号212を時間tに対してプロットしている。さらに、グラフ214は、RFパラメータ同調信号214を時間tに対してプロットしている。整合同調信号212は、時間間隔t5においてオンレベルであり、時間間隔t6においてオフレベルであることを除いて、図1Bの整合同調信号124と同じである。例えば、時間間隔taを有するパルス信号102のデューティサイクルの開始時、整合同調信号212は、遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t1よりも短い時間間隔t5の間、オンレベルを維持する。オンレベルに留まった後、整合同調信号212は、時間間隔t1の終了よりも前の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。オフレベルに遷移した後、整合同調信号212は、時間間隔t1の一部の間、時間間隔t2の間、および時間間隔tbの間、オフレベルを維持する。次に、整合同調信号212は、時間間隔tbの終わりの遷移時間にオンレベルに遷移する。整合同調信号212は、時間間隔t3よりも短い時間間隔t5の間、オンレベルに留まる。次に、整合同調信号212は、時間間隔t4の開始前の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。整合同調信号212は、遷移間隔t3の終了よりも前の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。整合同調信号212は、時間間隔t3の一部の間、時間間隔t4の間、および時間間隔tdの間、オフレベルを維持する。したがって、整合同調信号212は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルを周期的に繰り返す。
同様に、RFパラメータ同調信号216は、パルス信号104の各デューティサイクルにおいてRFパラメータ同調信号216のオフレベル状態が時間間隔t1よりも短く、オンレベル状態が時間間隔t2よりも長いことを除いて、図1BのRFパラメータ同調信号120と同じである。例えば、時間間隔taを有するパルス信号104のデューティサイクルにおいて、RFパラメータ同調信号216は、時間間隔t1の一部の間(例えば、時間間隔t5の間)、オフレベルに留まる。次に、RFパラメータ同調信号216は、遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t2よりも長い時間間隔t6の間、オンレベルを維持する。オンレベルに留まった後、RFパラメータ同調信号216は、時間間隔t2の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。オフレベルに遷移した後、RFパラメータ同調信号216は、時間間隔t2の間、および時間間隔t3の一部の間、オフレベルを維持する。RFパラメータ同調信号216がオフレベルである時間間隔t3の一部とは、t5のことである。次に、RFパラメータ同調信号216は、時間間隔t3において、時間間隔t3の終了よりも前の遷移時間にオンレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号216は、時間間隔t4よりも長い時間間隔t6の間、オンレベルに留まる。次に、RFパラメータ同調信号216は、時間間隔t4の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号216は、時間間隔tdの間、オフレベルを維持する。したがって、RFパラメータ同調信号216は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルを周期的に繰り返す。
なお、時間間隔ta、tb、およびtcの各々において、整合同調信号212がオフレベルである時間間隔t6の間、RFパラメータ同調信号216はオンレベルであることに留意されたい。同様に、時間間隔ta、tb、およびtcの各々において、整合同調信号212がオンレベルである時間間隔t5の間、RFパラメータ同調信号216はオフレベルである。
図2Cは、パルス信号104の各パルスにおいて、RF発生器を同調する前に、パルス信号104のデューティサイクルの半分よりも長い間、インピーダンス整合が同調されることを説明するグラフ102、グラフ106、グラフ218、およびグラフ222の実施形態を示している。グラフ218は、整合同調信号220を時間tに対してプロットしている。さらに、グラフ222は、RFパラメータ同調信号224を時間tに対してプロットしている。整合同調信号220は、時間間隔t6においてオンレベルであり、時間間隔t5においてオフレベルであることを除いて、図1Cの整合同調信号132と同じである。例えば、時間間隔taを有するパルス信号102のデューティサイクルの開始時、整合同調信号220は、遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t1よりも長い時間間隔t6の間、オンレベルを維持する。オンレベルに留まった後、整合同調信号220は、時間間隔t1の後の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。オフレベルに遷移した後、整合同調信号220は、時間間隔t2の一部の間および時間間隔tbの間、オフレベルを維持する。次に、整合同調信号220は、時間間隔tcの開始時の遷移時間にオンレベルに遷移する。整合同調信号220は、時間間隔t3よりも長い時間間隔t6の間、オンレベルに留まる。次に、整合同調信号220は、時間間隔t3の後の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。整合同調信号220は、時間間隔t4の一部の間および時間間隔tdの間、オフレベルを維持する。したがって、整合同調信号220は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルを周期的に繰り返す。
同様に、RFパラメータ同調信号224は、時間間隔t6においてオフレベルであり、時間間隔t5においてオンレベルであることを除いて、図1CのRFパラメータ同調信号128と同じである。例えば、時間間隔taを有するパルス信号102のデューティサイクルにおいて、RFパラメータ同調信号224は、時間間隔t1よりも長い間および時間間隔t2の一部の間、オフレベルに留まる。次に、RFパラメータ同調信号224は、時間間隔t2において、時間間隔t2の終了よりも前の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t2よりも短い時間間隔t5の間、オンレベルを維持する。オンレベルに留まった後、RFパラメータ同調信号224は、時間間隔t2の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。オフレベルに遷移した後、RFパラメータ同調信号224は、時間間隔tbの間、時間間隔t3の間、および時間間隔t4の一部の間、オフレベルを維持する。次に、RFパラメータ同調信号224は、時間間隔t4において、時間間隔t4の終了よりも前の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号224は、時間間隔t5の間、オンレベルに留まる。次に、RFパラメータ同調信号224は、時間間隔t4の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移する。RFパラメータ同調信号224は、時間間隔tdの間、オフレベルを維持する。したがって、RFパラメータ同調信号224は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルの間で周期的に遷移する。
なお、時間間隔ta、tb、およびtcの各々において、整合同調信号220がオフレベルである時間間隔t5の間、RFパラメータ同調信号224はオンレベルであることに留意されたい。同様に、時間間隔ta、tb、およびtcの各々において、整合同調信号220がオンレベルである時間間隔t6の間、RFパラメータ同調信号224はオフレベルである。
図3Aは、パルス信号104のデューティサイクルの半分の間およびパルス信号104がオフである時間間隔の半分の間、インピーダンス整合が同調されることを説明するグラフ102、グラフ302、グラフ306、およびグラフ310の実施形態を示している。パルス信号102の時間間隔tbは、2つの時間間隔t7およびt8に実質的に等しく分割される。例えば、時間間隔t7は、時間間隔t8とほぼ同じ単位時間数を有する。例示すると、時間間隔t7の長さは、時間間隔t8の長さの90から100パーセント以内である。別の例として、時間間隔t7は、時間間隔t8と同じ単位時間数を有する。同様に、パルス信号102の時間間隔tdは、2つの時間間隔t9およびt10に実質的に等しく分割される。例えば、時間間隔t9は、時間間隔t10とほぼ同じ単位時間数を有する。例示すると、時間間隔t9の長さは、時間間隔t10の長さの90から100パーセント以内である。別の例として、時間間隔t9は、時間間隔t10と同じ単位時間数を有する。
時間間隔t2は時間間隔t1から連続的に続いており、時間間隔t7は時間間隔t2から連続的に続いている。さらに、時間間隔t8は時間間隔t7から連続的に続いている。また、時間間隔t3は時間間隔t8から連続的に続いている。時間間隔t4は時間間隔t3から連続的に続いている。さらに、時間間隔t9は時間間隔t4から連続的に続いている。時間間隔t10は時間間隔t9から連続的に続いている。
グラフ302は、RF発生器によって生成されるRF信号304のRF電力を時間tに対してプロットしている。RF信号304は、時間間隔taにおける電力レベルがP1であり、時間間隔tbにおける電力レベルがP2である。例えば、RF信号304の電力レベルP2は、ゼロよりも大きく、電力レベルP1よりも小さい。同様に、RF信号108は、時間間隔tcにおける電力レベルがP1であり、時間間隔tdにおける電力レベルがP2である。RF信号304は、時間間隔tbおよびtdにおける電力レベルがほぼゼロではなく電力レベルP2であることを除いて、図1A~図2CのRF信号108と同じである。
電力レベルP1は電力レベルP2よりも大きい。例えば、電力レベルP1の値は2000ワットであり、P2の電力レベル値は400ワットである。別の例として、P1の電力レベル値は1000ワットであり、P2の電力レベル値は300ワットである。
さらに、グラフ306は、RF信号304を同調するためのRFパラメータ同調信号308を時間tに対してプロットしている。RFパラメータ同調信号308は、RF発生器のパラメータが同調される時間間隔と、パラメータが同調されない時間間隔とを示すデジタルパルス信号である。RFパラメータ同調信号308は、パルス信号102を生成するのと同じデジタルクロック発振器、または別のデジタルクロック発振器によって生成される。そのようなデジタルクロック発振器の例は、前述の通りである。
RFパラメータ同調信号308は、時間間隔t1の開始時の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t1の間、オンレベルを維持する。RFパラメータ同調信号308は、時間間隔t1の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t2の間および時間間隔t7の間、オフレベルを維持する。RFパラメータ同調信号308は、時間間隔t8の開始時の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t8およびt3の間、オンレベルを維持する。RFパラメータ同調信号308は、時間間隔t3の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t4およびt9の間、オフレベルを維持する。RFパラメータ同調信号308は、時間間隔t9の終わりにオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t10の間、オンレベルを維持する。したがって、RFパラメータ同調信号308は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルの間で周期的に遷移する。
さらに、グラフ310は、整合同調信号312を時間tに対してプロットしている。整合同調信号312は、インピーダンス整合の変数が同調される時間間隔と、インピーダンス整合の変数が同調されない時間間隔とを示すデジタルパルス信号である。整合同調信号312は、パルス信号102を生成するデジタルクロック発振器、またはRFパラメータ同調信号308を生成するデジタルクロック発振器、または別のデジタルクロック発振器によって生成される。そのようなデジタルクロック発振器の例は、前述の通りである。
整合同調信号312は、時間間隔t1の間、オフレベルである。整合同調信号312は、時間間隔t2の開始時の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t2およびt7の間、オンレベルを維持する。整合同調信号312は、時間間隔t7の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t8およびt3の間、オフレベルを維持する。整合同調信号312は、時間間隔t4の開始時の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t4およびt9の間、オンレベルを維持する。整合同調信号312は、時間間隔t9の終わりにオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t10の間オフレベルを維持する。したがって、整合同調信号312は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルの間で周期的に遷移する。
したがって、RFパラメータ同調信号308がオンレベルのとき、整合同調信号312はオフレベルであり、RFパラメータ同調信号308がオフレベルのとき、整合同調信号312はオンレベルである。例えば、時間間隔t1、t8、t3、およびt10では、RFパラメータ同調信号308がオンレベルであり、整合同調信号312はオフレベルである。さらに、時間間隔t2、t7、t4、およびt9では、RFパラメータ同調信号308がオフレベルであり、整合同調信号312はオンレベルである。
図3Bは、パルス信号104のデューティサイクルの半分の間およびパルス信号104がオフである時間間隔の半分の間、RF発生器が同調されることを説明するグラフ102、グラフ302、グラフ314、およびグラフ318の実施形態を示している。グラフ314は、整合同調信号316を時間tに対してプロットしており、グラフ318は、RFパラメータ同調信号320を時間tに対してプロットしている。
整合同調信号316は、図3Aの整合同調信号312がオフレベルであるときに整合同調信号316がオンレベルであり、整合同調信号312がオンレベルであるときに整合同調信号316がオフレベルであることを除いて、図3Aの整合同調信号312と同様に生成される。例えば、整合同調信号316は、時間間隔t1の開始時の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t1の間、オンレベルを維持する。整合同調信号316は、時間間隔t1の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t1の間および時間間隔t7の間、オフレベルを維持する。整合同調信号316は、時間間隔t8の開始時の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t8およびt3の間、オンレベルを維持する。整合同調信号316は、時間間隔t3の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t4およびt9の間、オフレベルを維持する。整合同調信号316は、時間間隔t9の終わりにオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t10の間、オンレベルを維持する。したがって、整合同調信号316は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルの間で周期的に遷移する。
同様に、RFパラメータ同調信号320は、図3AのRFパラメータ同調信号308がオフレベルであるときにRFパラメータ同調信号320がオンレベルであり、RFパラメータ同調信号308がオンレベルであるときにRFパラメータ同調信号320がオフレベルであることを除いて、図3AのRFパラメータ同調信号308と同様に生成される。例えば、RFパラメータ同調信号320は、時間間隔t1の間、オフレベルである。RFパラメータ同調信号320は、時間間隔t2の開始時の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t2およびt7の間、オンレベルを維持する。RFパラメータ同調信号320は、時間間隔t7の終わりの遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t8およびt3の間、オフレベルを維持する。RFパラメータ同調信号320は、時間間隔t4の開始時の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t4およびt9の間、オンレベルを維持する。RFパラメータ同調信号320は、時間間隔t9の終わりにオンレベルからオフレベルに移行し、時間間隔t10の間、オフレベルを維持する。したがって、RFパラメータ同調信号320は、時間間隔ta、tb、tc、およびtdにおいてオンレベルとオフレベルの間で周期的に遷移する。
したがって、RFパラメータ同調信号316がオンレベルのとき、整合同調信号320はオフレベルであり、RFパラメータ同調信号316がオフレベルのとき、整合同調信号320はオンレベルである。例えば、時間間隔t1、t8、t3、およびt10では、整合同調信号320がオンレベルであり、RFパラメータ同調信号316はオフレベルである。さらに、時間間隔t2、t7、t4、およびt9では、整合同調信号320がオフレベルであり、RFパラメータ同調信号316はオンレベルである。
図3Cは、パルス信号104がオフである時間間隔の半分の間、RF発生器が同調され、パルス信号104がオフである時間間隔の残りの半分の間、インピーダンス整合が同調されることを説明するグラフ102、グラフ302、グラフ322、およびグラフ326の実施形態を示している。グラフ322は、RFパラメータ同調信号324を時間tに対してプロットしており、グラフ326は、整合同調信号328を時間tに対してプロットしている。
RFパラメータ同調信号324は、RF発生器のパラメータが同調される時間間隔と、パラメータが同調されない時間間隔とを示すデジタルパルス信号である。RFパラメータ同調信号324は、パルス信号102を生成するのと同じデジタルクロック発振器、または別のデジタルクロック発振器によって生成される。そのようなデジタルクロック発振器の例は、前述の通りである。
RFパラメータ同調信号324は、時間間隔t1の開始時の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t1の間、オンレベルを維持する。時間間隔t1の終わりの遷移時間に、RFパラメータ同調信号324は、オンレベルからオフレベルへに遷移し、時間間隔t2の間、オフレベルを維持する。さらに、時間間隔t2の終わりの遷移時間に、RFパラメータ同調信号324は、オフレベルからオンレベルへに遷移し、時間間隔t7の間、オンレベルを維持する。また、時間間隔t7の終わりの遷移時間に、RFパラメータ同調信号324は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t8の間、オフレベルを維持する。時間間隔t8の終わりに、RFパラメータ同調信号320は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t3の間、オンレベルを維持する。さらに、時間間隔t3の終わりに、RFパラメータ同調信号320は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t4の間、オフレベルを維持する。時間間隔t4の終わりに、RFパラメータ同調信号320は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t9の間、オンレベルを維持する。時間間隔t9の終わりに、RFパラメータ同調信号320は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t10の間、オフレベルを維持する。時間間隔t10の終わりに、RFパラメータ同調信号320は、オフレベルからオンレベルに遷移する。
整合同調信号328は、インピーダンス整合の変数が同調される時間間隔と、インピーダンス整合の変数が同調されない時間間隔とを示すデジタルパルス信号である。整合同調信号328は、パルス信号102を生成するデジタルクロック発振器、またはRFパラメータ同調信号324を生成するデジタルクロック発振器、または別のデジタルクロック発振器によって生成される。そのようなデジタルクロック発振器の例は、前述の通りである。
整合同調信号328は、時間間隔t1の開始時の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t1の間、オフレベルを維持する。時間間隔t1の終わりの遷移時間に、整合同調信号328は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t2の間、オンレベルを維持する。さらに、時間間隔t2の終わりの遷移時間に、整合同調信号328は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t7の間、オフレベルを維持する。また、時間間隔t7の終わりの遷移時間に、整合同調信号328は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t8の間、オンレベルを維持する。時間間隔t8の終わりに、整合同調信号328は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t3の間、オフレベルを維持する。さらに、時間間隔t3の終わりに、整合同調信号328は、オンレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t4の間、オンレベルを維持する。時間間隔t4の終わりに、整合同調信号328は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t9の間、オフレベルを維持する。時間間隔t9の終わりに、整合同調信号328は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t10の間、オンレベルを維持する。時間間隔t10の終わりに、整合同調信号328は、オンレベルからオフレベルに遷移する。
したがって、RFパラメータ同調信号324がオンレベルのとき、整合同調信号328はオフレベルであり、RFパラメータ同調信号324がオフレベルのとき、整合同調信号328はオンレベルである。例えば、時間間隔t2、t8、t4、およびt10では、整合同調信号328がオンレベルであり、RFパラメータ同調信号324はオフレベルである。さらに、時間間隔t1、t7、t3、およびt9では、整合同調信号328がオフレベルであり、RFパラメータ同調信号324はオンレベルである。
図3Dは、パルス信号104がオフである時間間隔の半分の間、インピーダンス整合が同調され、パルス信号104がオフである時間間隔の残りの半分の間、RF発生器が同調されることを説明するグラフ102、グラフ302、グラフ330、およびグラフ334の実施形態を示している。グラフ330は、RFパラメータ同調信号332を時間tに対してプロットしており、グラフ334は、整合同調信号336を時間tに対してプロットしている。
整合同調信号336は、図3Cの整合同調信号328がオフレベルであるときに整合同調信号336がオンレベルであり、整合同調信号328がオンレベルであるときに整合同調信号336がオフレベルであることを除いて、図3Cの整合同調信号328と同じである。例えば、整合同調信号336は、時間間隔t1の開始時の遷移時間にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t1の間、オンレベルを維持する。時間間隔t1の終わりの遷移時間に、整合同調信号336は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t2の間、オフレベルを維持する。さらに、時間間隔t2の終わりの遷移時間に、整合同調信号336は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t7の間、オンレベルを維持する。また、時間間隔t7の終わりの遷移時間に、整合同調信号336は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t8の間、オフレベルを維持する。時間間隔t8の終わりに、整合同調信号336は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t3の間、オンレベルを維持する。さらに、時間間隔t3の終わりに、整合同調信号336は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t4の間、オフレベルを維持する。時間間隔t4の終わりに、整合同調信号336は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t9の間、オンレベルを維持する。時間間隔t9の終わりに、整合同調信号336は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t10の間、オフレベルを維持する。時間間隔t10の終わりに、整合同調信号336は、オフレベルからオンレベルに遷移する。
RFパラメータ同調信号336は、図3CのRFパラメータ同調信号324がオフレベルである時にRFパラメータ同調信号336がオンレベルであり、RFパラメータ同調信号324がオンレベルである時にRFパラメータ同調信号336がオフレベルであることを除いて、図3CのRFパラメータ同調信号324と同じである。例えば、RFパラメータ同調信号336は、時間間隔t1の開始時の遷移時間にオンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t1の間、オフレベルを維持する。時間間隔t1の終わりの遷移時間に、RFパラメータ同調信号336は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t2の間、オンレベルを維持する。さらに、時間間隔t2の終わりの遷移時間に、RFパラメータ同調信号336は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t7の間、オフレベルを維持する。また、時間間隔t7の終わりの遷移時間に、RFパラメータ同調信号336は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t8の間、オンレベルを維持する。時間間隔t8の終わりに、RFパラメータ同調信号336は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t3の間、オフレベルを維持する。さらに、時間間隔t3の終わりに、RFパラメータ同調信号336は、オンレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t4の間、オンレベルを維持する。時間間隔t4の終わりに、RFパラメータ同調信号336は、オンレベルからオフレベルに遷移し、時間間隔t9の間、オフレベルを維持する。時間間隔t9の終わりに、RFパラメータ同調信号336は、オフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t10の間、オンレベルを維持する。時間間隔t10の終わりに、RFパラメータ同調信号336は、オンレベルからオフレベルに遷移する。
したがって、RFパラメータ同調信号336がオンレベルのとき、整合同調信号332はオフレベルであり、RFパラメータ同調信号336がオフレベルのとき、整合同調信号332はオンレベルである。例えば、時間間隔t2、t8、t4、およびt10では、整合同調信号332がオフレベルであり、RFパラメータ同調信号336はオンレベルである。さらに、時間間隔t1、t7、t3、およびt9では、整合同調信号332がオンレベルであり、RFパラメータ同調信号336はオフレベルである。
図4は、RFパラメータ同調信号404と整合同調信号408が重複しないことを説明するグラフ402およびグラフ406の実施形態を示す。グラフ402はRFパラメータ同調信号404を時間tに対してプロットしており、グラフ406は整合同調信号408を時間tに対してプロットしている。RFパラメータ同調信号404は、パルス信号102(図1A~図2C)を生成するのと同じデジタルクロック発振器、または別のデジタルクロック発振器によって生成されるデジタルパルス信号である。そのようなデジタルクロック発振器の例は、前述の通りである。RFパラメータ同調信号404は、RF信号108(図1A~図2C)またはRF信号308(図3A~図3D)のパラメータを同調するようにRF発生器のパラメータが同調される時間間隔と、RF発生器が同調されない時間間隔とを提供する。同様に、整合同調信号408は、インピーダンス整合の変数が同調される時間間隔と、インピーダンス整合の変数が同調されない時間間隔とを示すデジタルパルス信号である。整合同調信号328は、パルス信号102を生成するデジタルクロック発振器、またはRFパラメータ同調信号404を生成するデジタルクロック発振器、または別のデジタルクロック発振器によって生成される。そのようなデジタルクロック発振器の例は、前述の通りである。
RFパラメータ同調信号404を使用するRF発生器の同調と、整合同調信号408を使用するインピーダンス整合の同調との間には、ギャップが存在する。例えば、RFパラメータ同調信号404は、遷移時間間隔中にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t1の一部の間、オンレベルに留まる。RFパラメータ同調信号404のオフレベルからオンレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t1の前半の一部の間に見られる。時間間隔t1の終了よりも前(時間間隔t1のギャップg1の前など)に、RFパラメータ同調信号404は、遷移時間間隔中にオンレベルからオフレベルに遷移し、ギャップg1および時間間隔t2の間、オフレベルに留まる。RFパラメータ同調信号404のオンレベルからオフレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t1の後半の一部の間に見られる。ギャップg1は、時間間隔t1の後半の一部であることに留意されたい。
同様に、RFパラメータ同調信号404は、遷移時間間隔中にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t7の一部の間、オンレベルに留まる。RFパラメータ同調信号404のオフレベルからオンレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t7の前半の一部の間に見られる。時間間隔t7の終了よりも前(時間間隔t7のギャップg3の前など)に、RFパラメータ同調信号404は、遷移時間間隔中にオンレベルからオフレベルに遷移し、ギャップg3および時間間隔t8の間、オフレベルに留まる。RFパラメータ同調信号404のオンレベルからオフレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t7の後半の一部の間に見られる。ギャップg3は、時間間隔t7の後半の一部であることに留意されたい。
さらに、RFパラメータ同調信号404は、遷移時間間隔中にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t3の一部の間、オンレベルに留まる。RFパラメータ同調信号404のオフレベルからオンレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t3の前半の一部の間に見られる。時間間隔t3の終了よりも前(時間間隔t3のギャップg5の前など)に、RFパラメータ同調信号404は、遷移時間間隔中にオンレベルからオフレベルに遷移し、ギャップg5および時間間隔t4の間、オフレベルに留まる。RFパラメータ同調信号404のオンレベルからオフレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t3の後半の一部の間に見られる。ギャップg5は、時間間隔t3の後半の一部であることに留意されたい。
また、RFパラメータ同調信号404は、遷移時間間隔中にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t9の一部の間、オンレベルに留まる。RFパラメータ同調信号404のオフレベルからオンレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t9の前半の一部の間に見られる。時間間隔t9の終了よりも前(時間間隔t9のギャップg7の前など)に、RFパラメータ同調信号404は、遷移時間間隔中にオンレベルからオフレベルに遷移し、ギャップg7および時間間隔t10の間、オフレベルに留まる。RFパラメータ同調信号404のオンレベルからオフレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t9の後半の一部の間に見られる。ギャップg7は、時間間隔t9の後半の一部であることに留意されたい。
別の例として、整合同調信号408は、時間間隔t1の間オフレベルであり、遷移時間間隔中にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t2の一部の間、オンレベルに留まる。整合同調信号408のオフレベルからオンレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t2の前半の一部の間に見られる。時間間隔t2の終了よりも前(時間間隔t2のギャップg2の前など)に、整合同調信号408は、遷移時間間隔中にオンレベルからオフレベルに遷移し、ギャップg2および時間間隔t7の間、オフレベルに留まる。RF整合同調信号408のオンレベルからオフレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t2の後半の一部の間に見られる。ギャップg2は、時間間隔t2の後半の一部であることに留意されたい。
さらに、整合同調信号408は、遷移時間間隔中にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t8の一部の間、オンレベルに留まる。整合同調信号408のオフレベルからオンレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t8の前半の一部の間に見られる。時間間隔t8の終了よりも前(時間間隔t8のギャップg4の前など)に、整合同調信号408は、遷移時間間隔中にオンレベルからオフレベルに遷移し、ギャップg4および時間間隔t3の間、オフレベルに留まる。RF整合同調信号408のオンレベルからオフレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t8の後半の一部の間に見られる。ギャップg4は、時間間隔t8の後半の一部であることに留意されたい。
また、整合同調信号408は、遷移時間間隔中にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t4の一部の間、オンレベルに留まる。整合同調信号408のオフレベルからオンレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t4の前半の一部の間に見られる。時間間隔t4の終了よりも前(時間間隔t4のギャップg6の前など)に、整合同調信号408は、遷移時間間隔中にオンレベルからオフレベルに遷移し、ギャップg6および時間間隔t9の間、オフレベルに留まる。RF整合同調信号408のオンレベルからオフレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t4の後半の一部の間に見られる。ギャップg6は、時間間隔t4の後半の一部であることに留意されたい。
さらに、整合同調信号408は、遷移時間間隔中にオフレベルからオンレベルに遷移し、時間間隔t10の一部の間、オンレベルに留まる。整合同調信号408のオフレベルからオンレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t10の前半の一部の間に見られる。時間間隔t10の終了よりも前(時間間隔t10のギャップg8の前など)に、整合同調信号408は、遷移時間間隔中にオンレベルからオフレベルに遷移し、ギャップg8および時間間隔t10から連続的に続く時間間隔の間、オフレベルに留まる。RF整合同調信号408のオンレベルからオフレベルへの遷移時間間隔は、時間間隔t10の後半の一部の間に見られる。ギャップg8は、時間間隔t10の後半の一部であることに留意されたい。
したがって、RFパラメータ同調信号404および整合同調信号408は、代替的に、オンレベルとオフレベルとの間で遷移し、RFパラメータ同調信号404のオンレベルからオフレベルへの遷移と、整合同調信号408のオフレベルからオンレベルへの遷移との間にギャップがあり、かつ整合同調信号408のオンレベルからオフレベルへの遷移と、RFパラメータ同調信号404のオフレベルからオンレベルへの遷移との間にギャップがある。
様々な実施形態において、ギャップg1~g8のそれぞれは、時間間隔t1~t10のうち対応する時間間隔の半分(後半など)を超える長さの時間を有する。例えば、単位時間に測定されるギャップg1の長さは、時間間隔t1において時間間隔t1の半分を超える部分を占める。
本明細書で説明するRF信号の電力レベルは、RF信号の包絡線またはピークツーピークの大きさであることに留意されたい。例えば、RF信号は、正弦波信号であり、ピークツーピークの大きさを有する。さらに、インピーダンス整合の変数は、整合同調信号がオンレベルのときに同調され、整合同調信号がオフレベルのときには同調されないことにも留意されたい。同様に、RF発生器のパラメータは、RFパラメータ同調信号がオンレベルのときに同調され、RFパラメータ同調信号がオフレベルのときには同調されない。
いくつかの実施形態では、ギャップg1~g8は見られない。例えば、時間間隔t1はギャップg1を含まない。同様に、時間間隔t2はギャップg2を含まない。さらに別の例として、整合同調信号408は、RFパラメータ同調信号404のパルス化の直後にパルス化され、RFパラメータ同調信号404は、整合同調信号408のパルス化の直後にパルス化される。
様々な実施形態では、パルス信号104のデューティサイクル中にRFパラメータ同調信号404をパルス化する前に、そのデューティサイクルにおいて整合同調信号408をパルス化する。
図5Aは、システム500の一実施形態の図であり、パルス信号104、RFパラメータ同調信号508、および整合同調信号512の生成を説明するものである。RFパラメータ同調信号508の例は、RFパラメータ同調信号112(図1A)、RFパラメータ同調信号120(図1B)、RFパラメータ同調信号128(図1C)、RFパラメータ同調信号208(図2A)、RFパラメータ同調信号216(図2B)、RFパラメータ同調信号224(図2C)、RFパラメータ同調信号308(図3A)、RFパラメータ同調信号320(図3B)、RFパラメータ同調信号324(図3C)、RFパラメータ同調信号336(図3D)、RFパラメータ同調信号404(図4)、および本明細書で説明される任意の他のRFパラメータ同調信号を含む。整合同調信号512の例は、整合同調信号116(図1A)、整合同調信号124(図1B)、整合同調信号132(図1C)、整合同調信号204(図2A)、整合同調信号212(図2B)、整合同調信号220(図2C)、整合同調信号312(図3A)、整合同調信号316(図3B)、整合同調信号328(図3C)、整合同調信号332(図3D)、整合同調信号408(図4)、および本明細書で説明される任意の他の整合同調信号を含む。
システム500は、ホストコンピュータ502、RF発生器(RFG)514、およびインピーダンス整合ネットワーク(IMN)516、ならびにプラズマチャンバ524を含む。インピーダンス整合ネットワーク516は、インピーダンス整合の一例である。ホストコンピュータ502の例は、デスクトップコンピュータ、ラップトップコンピュータ、タブレット、またはスマートフォンを含む。ホストコンピュータ502は、プロセッサ504と、メモリデバイス506とを含む。プロセッサ504は、メモリデバイス506に結合される。本明細書で使用する場合、プロセッサは、特定用途向け集積回路(ASIC)、またはプログラマブル論理デバイス(PLD)、または中央処理装置(CPU)、またはマイクロプロセッサ、または同調器、またはデジタル信号プロセッサ、または論理回路、またはマイクロコントローラであり、いくつかの実施形態では、これらの用語は本明細書において互換的に使用される。論理回路は、本明細書で説明される方法を実行するための論理を実行するように構成されている。本明細書で使用する場合、コントローラは、ASIC、または論理回路、またはPLD、またはCPU、またはマイクロプロセッサ、またはマイクロコントローラ、またはプロセッサである。メモリデバイスの例は、ランダムアクセスメモリ(RAM)および読み取り専用メモリ(ROM)を含む。例示すると、メモリデバイスは、フラッシュメモリ、ハードディスク、またはストレージデバイスなどである。メモリデバイスは、コンピュータ可読媒体の一例である。
RF発生器514は、デジタル信号プロセッサ(DSP)、状態S1用の電力コントローラ(PWRS1)、状態S2用の電力コントローラ(PWRS2)、状態S1用の自動周波数同調器(AFTS1)、および状態S2用の自動周波数同調器(AFTS2)、ならびにRF電源536を含む。RF電源536の一例は、正弦波信号を生成するRF発振器である。
RF電源536は、RFケーブル532を介して、インピーダンス整合ネットワーク516の複数の回路構成要素518に結合される。回路構成要素518の例は、1つまたは複数のコンデンサ、または1つまたは複数のインダクタ、または1つまたは複数の抵抗器、またはそれらの組み合わせを含む。例示すると、1つまたは複数のコンデンサが直列に結合され、回路構成要素518の直列静電容量を生成する。別の例示として、1つのコンデンサがシャント構成で結合されており、そのコンデンサの一端が接地電位に接続されるとともに、そのコンデンサの他端が、RFケーブル532をRF伝送線534に結合する導体に結合される。さらに別の例示として、1つまたは複数のコンデンサが互いに直列に互いに結合されており、その一端がRFケーブル532に結合され、他端がRF伝送線534に結合される。さらに、この1つまたは複数のコンデンサには、1つのコンデンサの一端がシャント構成で結合され、その1つのコンデンサの他端が接地電位に結合される。回路構成要素518は、直列統合、または並列構成、またはそれらの組み合わせで互いに結合されることに留意されたい。
RFケーブル532は同軸ケーブルである。さらに、RF伝送線534は、RFロッドとRFシースとを有しており、このRFシースは、RFロッドとRFシースの間に絶縁体を配置した状態でRFロッドを取り囲んでいる。RF伝送線534は、いくつかの実施形態では、1つまたは複数のRFストラップと、RFシリンダとを有する。RFロッドは、1つまたは複数のRFストラップおよびRFシリンダを介してRFシリンダに結合される。RF伝送線534、例えば、RF伝送線534のRFシリンダは、プラズマチャンバ524のチャック526、例えば、静電チャックまたは台座に結合される。上部電極530は、下部電極を含むチャック526の反対側に対面して設けられる。例えば、チャック526は、下部電極の上面に取り付けられるセラミック層と、下部電極の底面に取り付けられる設備プレートとを含む。下部電極は、金属(例えば、陽極酸化アルミニウム、アルミニウム合金など)で作られる。下部電極の一例は、グリッドである。また、上部電極530も金属で作られる。上部電極530は、接地電位に結合される。
基板528、例えば、半導体ウエハは、基板528の処理のためにチャック526の上面に支持される。基板528上には集積回路、例えば、ASIC、PLDなどが現像される。このような集積回路は、多様なデバイス、例えば、携帯電話、タブレット、スマートフォン、コンピュータ、ラップトップ、ネットワーク機器などで使用される。
システム500は、モータ520を駆動するための1つまたは複数のトランジスタを有するドライバ522をさらに含む。ドライバ522は、モータ520に結合される。モータ520は、電気エネルギーを機械エネルギーに変換する電気機械である。モータ520は、直流(DC)モータまたは交流(AC)モータである。モータ520は、回転子と固定子を含む。
モータ520は、1つまたは複数のロッド、または1つまたは複数のギアと1つまたは複数のロッドの組み合わせなどの接続機構を介して回路構成要素518に結合され、回路構成要素518の変数、例えば、インダクタンス、または静電容量、または抵抗を制御する。プロセッサ504は、ドライバ522に結合される。
プロセッサ504は、パルス信号104を生成し、転送ケーブルTC1を介してパルス信号104をRF発生器514のデジタル信号プロセッサに送信する。本明細書における転送ケーブルの例は、シリアル転送ケーブル、パラレル転送ケーブル、およびユニバーサルシリアルバス(USB)ケーブルを含む。加えて、プロセッサ504は、RFパラメータ同調信号508を生成し、転送ケーブルを介してこのRFパラメータ同調信号508をRF発生器514のデジタル信号プロセッサに供給する。
パルス信号104に基づいて、デジタル信号プロセッサは、RF電源536を制御し、複数の異なる電力レベルを有するRF信号533を生成する。例えば、デジタル信号プロセッサは、パルス信号104の状態S1の間は、信号をRF電源536に送信して、電力レベルがP1(図1A~図2C)のRF信号533を生成し、状態S2の間は、信号をRF電源536に送信して、電力レベルがほぼゼロまたはP2(図3A~図3D)のRF信号533を生成する。RF信号533の例は、RF信号108(図1A~図2D)およびRF信号304(図3A~図3D)を含む。デジタル信号プロセッサから電力レベルP1またはほぼゼロもしくはP2の電力レベルを受信すると、RF電源536はRF信号533を生成する。
さらに、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S1の一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を電力コントローラPWRS1に送信する。例えば、時間間隔taまたはtbまたはtcまたはtd(図1A~図3D)の一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を電力コントローラPWRS1に送信する。別の例として、時間間隔tc(図1A~図3D)の一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を電力コントローラPWRS1に送信する。状態S1の一部の間にRF供給制御信号を受信すると、電力コントローラPWRS1は、信号をRF電源536に送信し、RF電源536によって生成されたRF信号533を同調する。RF電源536に送信される信号は、状態S1の一部に対するRF信号533の所定範囲の電力値を含む。状態S1の一部に対するRF信号533の所定範囲の電力値は、状態S1の一部の間にシステム500の1つまたは複数の場所で達成される係数(プラズマインピーダンス、反射電力、供給電力、電圧定在波比、または供給電力など)に対応する。1つまたは複数の場所の例は、RF電源536の出力O1、RFケーブル532上の点、インピーダンス整合ネットワーク516の入力I1、インピーダンス整合ネットワーク516の出力、RF伝送線534上の点、またはチャック526の上面もしくは底面、またはプラズマチャンバ524内の場所を含む。状態S1の一部についての係数と所定範囲の電力値との対応は、電力コントローラPWRS1のプロセッサによるアクセスのために電力コントローラPWRS1のメモリデバイスに格納される。電力コントローラPWRS1から信号を受信すると、RF電源536は、状態S1の一部の間、RF信号533の電力値を所定範囲内の電力値に修正し、RF信号533を同調する。状態S1の一部に対する所定範囲の電力値は、状態S1におけるRF信号533の電力値(ピークツーピーク値など)の0~10%など、事前設定されたパーセンテージ内にある。
さらに、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S1の残りの部分の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を電力コントローラPWRS1に送信しない。RF供給制御信号が電力コントローラPWRS1に送信されないとき、電力コントローラPWRS1は、状態S1の残りの部分の間、信号をRF電源536に送信せず、状態S1の残りの部分についてRF電源536の電力の同調を回避する。
同様に、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S2の一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を電力コントローラPWRS2に送信する。例えば、時間間隔tb(図1A~3D)の一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を電力コントローラPWRS2に送信する。別の例として、時間間隔td(図1A~図3D)の一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を電力コントローラPWRS2に送信する。状態S2の一部の間にRF供給制御信号を受信すると、電力コントローラPWRS2は、信号をRF電源536に送信し、RF電源536によって生成されたRF信号533を同調する。RF電源536に送信される信号は、状態S2の一部に対するRF信号533の所定範囲の電力値を含む。状態S2の一部に対するRF信号533の所定範囲の電力値は、状態S2の一部の間にシステム500の前記1つまたは複数の場所で達成される前記係数に対応する。状態S2の一部についての係数と所定範囲の電力値との対応は、電力コントローラPWRS2のプロセッサによるアクセスのために電力コントローラPWRS2のメモリデバイスに格納される。電力コントローラPWRS2から信号を受信すると、RF電源536は、状態S2の一部の間、RF信号533の電力値を所定範囲内の電力値に修正し、RF信号533を同調する。状態S2の一部に対する所定範囲の電力値は、状態S2におけるRF信号533の電力値、例えば、ピークツーピーク値の前記事前設定されたパーセンテージ内にある。
また、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S2の残りの部分の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を電力コントローラPWRS2に送信しない。RF供給制御信号が電力コントローラPWRS2に送信されないとき、電力コントローラPWRS2は、状態S2の残りの部分の間、信号をRF電源536に送信せず、状態S2の残りの部分についてRF電源536の電力の同調を回避する。
同様に、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S1の一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を自動周波数同調器AFTS1に送信する。例えば、時間間隔taの一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を自動周波数同調器AFTS1に送信する。別の例として、時間間隔tcの一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を自動周波数同調器AFTS1に送信する。状態S1の一部の間にRF供給制御信号を受信すると、自動周波数同調器AFTS1は、信号をRF電源536に送信し、RF電源536によって生成されたRF信号533を同調する。RF電源536に送信される信号は、状態S1の一部に対するRF信号533の所定範囲の周波数値を含む。状態S1の一部に対するRF信号533の所定範囲の周波数値は、状態S1の一部の間にシステム500の前記1つまたは複数の場所で達成される前記係数に対応する。状態S1の一部についての係数と所定範囲の周波数値との対応は、自動周波数同調器AFTS1のプロセッサによるアクセスのために自動周波数同調器AFTS1のメモリデバイスに格納される。自動周波数同調器AFTS1から信号を受信すると、RF電源536は、状態S1の一部の間、RF信号533の周波数値を所定範囲内の周波数値に修正し、RF信号533を同調する。状態S1の一部に対する所定範囲の周波数値は、RF信号533の周波数値の0~10%など、事前設定されたパーセンテージ内にある。
さらに、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S1の残りの部分の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を自動周波数同調器AFTS1に送信しない。RF供給制御信号が自動周波数同調器AFTS1に送信されないとき、自動周波数同調器AFTS1は、状態S1の残りの部分の間、信号をRF電源536に送信せず、状態S1の残りの部分についてRF電源536の周波数の同調を回避する。
同様に、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S2の一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を自動周波数同調器AFTS2に送信する。例えば、時間間隔tbの一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を自動周波数同調器AFTS2に送信する。別の例として、時間間隔tdの一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を自動周波数同調器AFTS2に送信する。状態S2の一部の間にRF供給制御信号を受信すると、自動周波数同調器AFTS2は、信号をRF電源536に送信し、RF電源536によって生成されたRF信号533を同調する。RF電源536に送信される信号は、状態S2の一部に対するRF信号533の所定範囲の周波数値を含む。状態S2の一部に対するRF信号533の所定範囲の周波数値は、状態S2の一部の間にシステム500の前記1つまたは複数の場所で達成される前記係数に対応する。状態S2の一部についての係数と所定範囲の周波数値との対応は、自動周波数同調器AFTS2のプロセッサによるアクセスのために自動周波数同調器AFTS2のメモリデバイスに格納される。自動周波数同調器AFTS2から信号を受信すると、RF電源536は、状態S2の一部の間、RF信号533の周波数値を所定範囲内の周波数値に修正し、RF信号533を同調する。状態S2の一部に対する所定範囲の周波数値は、RF信号533の周波数値の前記事前設定されたパーセンテージ内にある。
さらに、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S2の残りの部分の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を自動周波数同調器AFTS2に送信しない。RF供給制御信号が自動周波数同調器AFTS2に送信されないとき、自動周波数同調器AFTS2は、状態S2の残りの部分の間、信号をRF電源536に送信せず、RF電源536の周波数の同調を回避する。
プロセッサ504は、整合同調信号512を生成してドライバ522に送信する。整合同調信号522を受信すると、状態S1の一部の間、ドライバ522はドライバ信号をモータ520に送信し、状態S1の一部の間、モータをオンにする。例えば、整合同調信号522を受信すると、時間間隔taの一部の間、ドライバ522はドライバ信号を生成してモータ520に送信する。別の例として、整合同調信号522を受信すると、時間間隔tcの一部の間、ドライバ522はドライバ信号を生成してモータ520に送信する。モータ520は、状態S1の一部の間にドライバ信号を受信するとオンになる。モータ520が状態S1の一部の間にオンになると、回転子は固定子に対して回転し、回路構成要素518の変数を変化させる。例えば、回転子が回転して回路構成要素518のコンデンサのプレート間の領域が変わると、回路構成要素518の静電容量が変化する。別の例として、回転子が回転してインダクタの巻線に対するコアの位置が変わると、回路構成要素518のインダクタンスが変化する。巻線は、コアを取り囲んでいる。変数が状態S1の一部で変化すると、状態S1のその部分について変数が同調される。状態S1において回路構成要素518の変数が同調される時間間隔部分では、RF電源536は同調されない。
RF信号533を同調するようにRF電源536が同調される状態S1の残りの部分の間、ドライバ522はドライバ信号をモータ520に送信しない。ドライバ信号が受信されないとき、モータ520は、状態S1の残りの部分の間、オフになる。モータ520が状態S1の残りの部分の間オフになると、状態S1の残りの部分の間、回路構成要素518の変数は同調されない。
同様に、整合同調信号522を受信すると、状態S2の一部の間、ドライバ522はドライバ信号をモータ520に送信し、状態S2の一部の間、モータをオンにする。例えば、整合同調信号522を受信すると、時間間隔tbの一部の間、ドライバ522はドライバ信号を生成してモータ520に送信する。別の例として、整合同調信号522を受信すると、時間間隔tdの一部の間、ドライバ522はドライバ信号を生成してモータ520に送信する。モータ520は、状態S2の一部の間にドライバ信号を受信するとオンになる。モータ520が状態S2の一部の間にオンになると、回転子は固定子に対して回転し、回路構成要素518の変数を変化させる。変数が状態S2の一部で変化すると、変数は同調される。状態S2において回路構成要素518の変数が同調される時間間隔部分では、RF電源536は同調されない。
RF信号533を同調するようにRF電源536が同調される状態S2の残りの部分の間、ドライバ522はドライバ信号をモータ520に送信しない。ドライバ信号が受信されないとき、モータ520は、状態S2の残りの部分の間、オフになる。モータ520が状態S2の残りの部分の間オフになると、状態S2の残りの部分の間、回路構成要素518の変数は同調されない。
RFパラメータ同調信号508に従って同調されたRF信号533は、RFケーブル532を介して、整合同調信号512に従って同調された変数を有する回路構成要素518に供給される。回路構成要素518は、インピーダンス整合の出力に結合される負荷のインピーダンスを、インピーダンス整合の入力I1に結合されるソースのインピーダンスと整合させる。負荷の例は、プラズマチャンバ524、プラズマチャンバ524内で点火されたときのプラズマ、およびRF伝送線534を含む。ソースの例は、RFケーブル532およびRF発生器514を含む。
変数を同調するように同調される回路構成要素518は、負荷のインピーダンスをソースのインピーダンスと整合させ、インピーダンス整合の出力で修正RF信号を生成する。修正RF信号は、RF伝送線534を介してチャック526に供給される。1つまたは複数のプロセスガスがガス供給源(図示せず)からプラズマチャンバ524内の上部電極530とチャック526との間のギャップに供給され、修正RF信号がプラズマチャンバ524に供給されると、プラズマは、プラズマチャンバ524内で衝突させられるか維持される。1つまたは複数のプロセスガスの例としては、O2などの酸素含有ガスが挙げられる。1つまたは複数のプロセスガスの他の例としては、フッ素含有ガスが挙げられ、例えば、テトラフルオロメタン(CF4)、六フッ化硫黄(SF6)、ヘキサフルオロエタン(C2F6)などが含まれる。プラズマチャンバ524内のプラズマは、基板528の処理、例えば、材料の堆積、エッチング、スパッタリング、または洗浄などに使用される。
いくつかの実施形態では、電力コントローラPWRS1およびPWRS2、ならびに自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2は、RF発生器514のデジタル信号プロセッサによって実行されるコンピュータプログラムのモジュール、例えば、論理モジュールである。様々な実施形態において、RF発生器514のデジタル信号プロセッサ、電力コントローラPWRS1およびPWRS2、ならびに自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2は、プロセッサまたはコントローラ内に統合される。いくつかの実施形態では、電力コントローラPWRS1、電力コントローラPWRS2、自動周波数同調器AFTS1、および自動周波数同調器AFTS2の各々は、論理を実行するコントローラであり、コントローラは、論理および/または論理を処理するためのデータを格納するメモリデバイスを有する。これらの実施形態では、RF発生器514はデジタル信号プロセッサを有さず、各々のコントローラがプロセッサ504に結合される。例えば、電力コントローラPWRS1が1つのコントローラであり、電力コントローラPWRS2が1つのコントローラであり、自動周波数同調器AFTS1が1つのコントローラであり、自動周波数同調器AFTS2が1つのコントローラである。
様々な実施形態において、ドライバ522はプロセッサ504内に統合される。例えば、ドライバ522はプロセッサ504の一部である。
いくつかの実施形態では、回路構成要素518がインピーダンス整合に結合された負荷のインピーダンスをソースのインピーダンスと整合させる時間期間の最中に、回路構成要素518の変数が整合同調信号512によって同調されていることに留意されたい。
いくつかの実施形態では、回路構成要素518が負荷のインピーダンスをソースのインピーダンスと整合させる前または後に、回路構成要素518の変数が整合同調信号512によって同調される。
いくつかの実施形態では、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S1の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を電力コントローラPWRS1に送信しない。RF供給制御信号が電力コントローラPWRS1に送信されないとき、電力コントローラPWRS1は、状態S1の間、信号をRF電源536に送信せず、状態S1についてRF電源536の電力の同調を回避する。
いくつかの実施形態では、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S1の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を自動周波数同調器AFTS1に送信しない。RF供給制御信号が自動周波数同調器AFTS1に送信されないとき、自動周波数同調器AFTS1は、状態S1の間、信号をRF電源536に送信せず、状態S1についてRF電源536の電力の同調を回避する。
同様に、いくつかの実施形態では、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S2の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を電力コントローラPWRS2に送信しない。RF供給制御信号が電力コントローラPWRS2に送信されないとき、電力コントローラPWRS2は、状態S2の間、信号をRF電源536に送信せず、状態S2についてRF電源536の電力の同調を回避する。
いくつかの実施形態では、RFパラメータ同調信号508に基づいて、パルス信号104の状態S2の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF供給制御信号を自動周波数同調器AFTS2に送信しない。RF供給制御信号が自動周波数同調器AFTS2に送信されないとき、自動周波数同調器AFTS2は、状態S2の間、信号をRF電源536に送信せず、状態S2についてRF電源536の電力の同調を回避する。
いくつかの実施形態では、RF信号533を同調するようにRF電源536が同調される状態S1の間、ドライバ522はドライバ信号をモータ520に送信しない。ドライバ信号が受信されないとき、モータ520は、状態S1の間、オフになる。モータ520が状態S1の間オフになると、状態S1の間、回路構成要素518の変数は同調されない。
様々な実施形態では、RF信号533を同調するようにRF電源536が同調される状態S2の間、ドライバ522はドライバ信号をモータ520に送信しない。ドライバ信号が受信されないとき、モータ520は、状態S2の間、オフになる。モータ520が状態S2の間オフになると、状態S2の間、回路構成要素518の変数は同調されない。
図5Bは、システム540の一実施形態の図であり、整合同調信号512を適用して回路構成要素518の変数を変更するためのインピーダンス整合ネットワーク542の論理回路544を説明するものである。インピーダンス整合ネットワーク542は、インピーダンス整合の一例である。システム540は、ホストコンピュータ502と、RF発生器514と、インピーダンス整合ネットワーク542と、プラズマチャンバ524とを含む。インピーダンス整合ネットワーク542は、ドライバ522とモータ520を含む。論理回路544の一例は、ASIC、またはPLD、またはプロセッサである。
プロセッサ504は、パルス信号104を転送ケーブルTC1を介してRF発生器514のデジタル信号プロセッサに送信する。RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、パルス信号104からRFパラメータ同調信号508を生成し、また、パルス信号104から整合同調信号512を生成する。例えば、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RFパラメータ同調信号508のパルスが整合同調信号512のパルスと一致せず、かつ、RFパラメータ同調信号508と信号512の整合の両方がパルス信号104と同期されるように、RFパラメータ同調信号508および整合同調信号512を生成する。例えば、パルス信号104の状態S1の一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサはRFパラメータ同調信号508のパルスを生成し、パルス信号104の状態S1の残りの部分の間、デジタル信号プロセッサは整合同調信号512のパルスを生成し、状態S2の間、RFパラメータ同調信号508のパルスおよび整合同調信号512のパルスは生成されない。別の例として、パルス信号104の状態S2の一部の間、RF発生器514のデジタル信号プロセッサはRFパラメータ同調信号508のパルスを生成し、パルス信号104の状態S2の残りの部分の間、デジタル信号プロセッサは整合同調信号512のパルスを生成する。
RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、上述の方法でRF電源536、電力コントローラPWRS1およびPWRS2、ならびに/または自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2を制御し、それによりRF電源536が、RFパラメータ同調信号508に基づいて同調されるRF信号533を生成する。さらに、インピーダンス整合ネットワーク546の論理回路544は、RF発生器514のデジタル信号プロセッサを論理回路544に結合する転送ケーブルTC2を介して整合同調信号512を受信する。論理回路544は、RF発生器514のデジタル信号プロセッサから整合同調信号512を受信する。論理回路544は、整合同調信号512をドライバ522に供給して回路構成要素518を制御し、上述の方法で回路構成要素518の変数をさらに同調する。例えば、論理回路544は、プロセッサ504がドライバ522およびモータ520を介して回路構成要素518を制御するのと同じ方法で、モータ520およびドライバ522を介して回路構成要素518を制御する。
図5Cは、システム550の一実施形態の図であり、論理回路544がパルス信号104から整合同調信号512を生成し、さらにパルス信号104からRFパラメータ同調信号508を生成することを説明するものである。システム550は、ホストコンピュータ502と、RF発生器514と、インピーダンス整合ネットワーク542と、プラズマチャンバ524とを含む。論理回路544は、転送ケーブルTC3を介してプロセッサ504に結合される。そのような転送ケーブルの例は、前述の通りである。
論理回路544は、プロセッサ504から転送ケーブルTC3を介してパルス信号104を受信し、RF発生器514のデジタル信号プロセッサがパルス信号104から信号508および512を生成するのと同じ方法で、パルス信号104からRFパラメータ同調信号508および整合同調信号512を生成する。論理回路544は、転送ケーブルTC2を介してRFパラメータ同調信号508をRF発生器514のデジタル信号プロセッサに供給する。論理回路544からRFパラメータ同調信号508を受信すると、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RFパラメータ同調信号508に基づいて、電力コントローラPWRS1およびPWRS2を介して、ならびに/または自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2を介して、RF信号533を同調する。さらに、論理回路544は、整合同調信号512に従って、ドライバ522およびモータ520を介して回路構成要素518の変数を同調する。
図5Dは、システム560の一実施形態の図であり、インピーダンス整合ネットワーク542の論理回路544によってパルス信号104から整合同調信号512を生成すること、およびRF発生器514のデジタル信号プロセッサによってパルス信号104からRFパラメータ同調信号508を生成することを説明するものである。システム516は、ホストコンピュータ502と、RF発生器514と、インピーダンス整合ネットワーク542と、プラズマチャンバ524とを含む。プロセッサ504は、転送ケーブルTC1を介してパルス信号104をRF発生器514のデジタル信号プロセッサに提供し、また、転送ケーブルTC2を介してパルス信号104を論理回路544に提供する。加えて、プロセッサ504は、命令をデジタル信号プロセッサに提供して、RFパラメータ同調信号508のパルスと整合同調信号512のパルスの重複を回避するようにRFパラメータ同調信号508を生成する。一例として、そのような命令は、整合同調信号512のパルスが生成される時間間隔および整合同調信号512のパルスが生成されない時間間隔、ならびに/またはRFパラメータ同調信号508のパルスが生成される時間間隔およびRFパラメータ同調信号508のパルスが生成されない時間間隔、またはそれらの組み合わせを含む。さらに、プロセッサは、重複を回避するための同じ命令を、転送ケーブルTC2を介して論理回路544に提供する。
プロセッサ504からパルス信号104および命令を受信すると、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RFパラメータ同調信号508および論理回路544を生成するか、または整合同調信号512を生成する。デジタル信号プロセッサは、電力コントローラPWRS1およびPWRS2、自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2、またはそれらの組み合わせを制御して、RF電源436を同調し、RF信号533をさらに同調する。加えて、論理回路544は、整合同調信号512に従って、ドライバ522およびモータ520を介して回路構成要素518の変数を同調する。
図5Eは、システム570の一実施形態の図であり、RF発生器514のデジタル信号プロセッサによる回路構成要素518の同調を説明するものである。システム570は、ホストコンピュータ502を含まないことに留意されたい。
システム570は、RF発生器514と、ドライバ522と、モータ520と、インピーダンス整合ネットワーク516と、プラズマチャンバ524とを含む。RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、転送ケーブルTC4を介してドライバ522に結合される。
RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、パルス信号104を生成し、パルス信号104に基づいて上述の方法でRFパラメータ同調信号508および整合同調信号512を生成する。デジタル信号プロセッサは、RF電源536を制御し、パルス信号104と同期してRF信号533を生成する。加えて、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、電力コントローラPWRS1およびPWRS2、または自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2、またはそれらの組み合わせを制御することによってRF信号533を同調する。
RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、整合同調信号512を転送ケーブルTC4を介してドライバ522に送信する。整合同調信号512を受信すると、ドライバ522はオンまたはオフになり、さらにモータ522をオンまたはオフにし、回路構成要素518の変数を同調するかまたは同調しない。
いくつかの実施形態では、ドライバ522は、RF発生器514のデジタル信号プロセッサの一部である。例えば、ドライバ522は、RF発生器514のデジタル信号プロセッサの回路内に統合される。
図5Fは、システム580の一実施形態の図であり、RF発生器514のデジタル信号プロセッサから論理回路544によって受信されるパルス信号104に基づいて整合同調信号512を生成することを説明するものである。システム580は、RF発生器514と、インピーダンス整合ネットワーク542と、プラズマチャンバ524とを含む。RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、パルス信号104を生成し、パルス信号104からRFパラメータ同調信号508を生成する。さらに、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、パルス信号104を転送ケーブルTC4を介して論理回路544に供給する。加えて、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、整合同調信号512のパルスがRFパラメータ同調信号508のパルスと一致しないように、パルス信号104から整合同調信号512を生成するための命令を転送ケーブルTC4によって論理回路544に提供する。命令およびパルス信号104を受信すると、論理回路544は、命令をパルス信号104に適用し、パルス信号104から整合同調信号512を生成する。
RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、電力コントローラPWRS1およびPWRS2、または自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2、またはそれらの組み合わせを介して、RFパラメータ同調信号508に従って、RF電源536によって生成されたRF信号533を同調する。さらに、論理回路504は、整合同調信号512に基づいてドライバ522およびモータ520を介して回路構成要素518の変数を同調する。
図5Gは、システム590の一実施形態の図であり、RF発生器514のデジタル信号プロセッサから受信されるパルス信号104に基づいて、インピーダンス整合ネットワーク542の論理回路544によって整合同調信号512およびRFパラメータ同調信号508を生成することを説明するものである。システム590は、RF発生器514と、インピーダンス整合ネットワーク542と、プラズマチャンバ524とを含む。
RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、パルス信号104を生成し、転送ケーブルTC4を介して論理回路544に送信する。パルス信号104を受信すると、論理回路104は、パルス信号104からRFパラメータ同調信号508および整合同調信号512を生成する。例えば、図1A~図3Dのいずれかを参照して上述したタイミング関係は、パルス信号104からRFパラメータ同調信号508および整合同調信号512を生成する間に保存される。論理回路544は、整合同調信号512に従って、ドライバ522およびモータ520を介して回路構成要素518の変数を同調する。
論理回路544は、RFパラメータ同調信号508を転送ケーブルTC4を介してRF発生器514のデジタル信号プロセッサに送信する。論理回路544からRFパラメータ同調信号508を受信すると、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、電力コントローラPWRS1およびPWRS2、または自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2、またはそれらの組み合わせを制御し、RF電源536によって生成されるRF信号533を同調する。
図5Hは、システム592の一実施形態の図であり、パルス信号104に基づいてRF信号533を同調するようにRF発生器514が同調される時間間隔の決定、すなわち、時間間隔t1(図1A、図3A~図3D、および図4)、または時間間隔t2(図2A、図3A~図3D、および図4)、または時間間隔t5(図1Bおよび図2C)、または時間間隔t6(図1Cおよび図2B)などの時間間隔の決定を説明するものである。システム592は、RF電源536の出力O1に結合される電力センサ594を含むことを除いて、図5Aのシステム500と同じである。RF電源536の出力O1は、RF発生器514の出力O1と同じであり、RFケーブル532を介してインピーダンス整合の入力I1に結合される。インピーダンス整合の入力I1は、インピーダンス整合の回路構成要素518の入力I1と同じである。電力センサ594の例は、RF発生器514の出力O1で反射される電力または出力O1での電力反射係数などの電力特性を測定するために使用されるセンサを含む。電力反射係数は、出力O1で回路構成要素518に供給されるRF信号533の電力に対する、出力O1で反射される電力の比である。出力O1で反射される電力は、RF伝送線534、インピーダンス整合、およびRFケーブル532を介して、プラズマチャンバ524からRF発生器514に向けて反射される電力である。
電力センサ594は、転送ケーブルTC5を介してプロセッサ504に結合される。パルス信号104の第1のパルスの開始時間間隔の間、転送ケーブルTC5を介して電力センサ594から電力特性を受信すると、プロセッサ504は、電力特性が所定の閾値よりも小さいか、そして、電力特性の変化率、例えば、減少が事前設定された限界値よりも大きいかを決定する。第1のパルスは、時間間隔taで発生する。パルス信号104の第1のパルスの開始時の時間間隔の一例は、時間間隔taの一部である(図1A~図3Dおよび図4)。電力特性が所定の閾値よりも大きく、電力特性の変化率が事前設定された限界値よりも小さいと決定すると、プロセッサ504は、RF発生器514のデジタル信号プロセッサならびに電力コントローラPWRS1およびPWRS2を介して、またはデジタル信号プロセッサならびに自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2を介して、またはデジタル信号プロセッサならびに電力コントローラPWRS1およびPWRS2と自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2を介してRF電源536を制御し、時間間隔t1、t5、またはt6の間、RF信号533を同調する。プロセッサ504は、パルス信号104の第1のパルスの開始時間間隔の間、RF発生器514を同調し続け、電力特性が所定の閾値よりも小さくなり、電力特性の変化率が事前設定された限界値よりも大きくなるまでRF信号533を同調する。
電力特性が所定の閾値よりも小さく、電力特性の変化率が事前設定された限界値よりも大きいと決定すると、これに応じて、プロセッサ504は、RF発生器514の同調を停止してRF信号533の同調を停止し、回路構成要素518の同調を開始して、パルス信号104の第1のパルスの残りの時間間隔の間に回路構成要素518の変数を同調する。例えば、プロセッサ504は、時間間隔t2またはt6またはt5の間、ドライバ522およびモータ520を介して回路構成要素518の変数を同調する。プロセッサ504は、第1のパルスに続く第2のパルスが開始したかどうかをパルス信号104から決定し、第2のパルスの開始中に電力特性を受信し、第1のパルス中に実施された手順を繰り返す。第2のパルスは、時間間隔tcで発生する。このようにして、RF信号532が同調され回路構成要素518の変数が同調される時間間隔は、パルス信号104のパルスごとに異なる。
図5Iは、システム596の一実施形態の図であり、図5Fのシステム580での電力センサ594の使用を説明するものである。システム596は、電力センサ594を使用することを除いて、システム580と同じである。電力センサ596は、転送ケーブルTC6を介してRF発生器514のデジタル信号プロセッサに結合される。パルス信号104の第1のパルスの開始時間間隔の間、転送ケーブルTC6を介して電力センサ594から電力特性を受信すると、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、電力特性が所定の閾値よりも小さいか、そして、電力特性の変化率が事前設定された限界値よりも大きいかを決定する。電力特性が所定の閾値よりも大きく、電力特性の変化率が事前設定された限界値よりも小さいと決定すると、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、電力コントローラPWRS1およびPWRS2を介して、または自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2を介して、または電力コントローラPWRS1およびPWRS2ならびに自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2を介してRF電源536を制御し、時間間隔t1、t5、またはt6の間、RF信号533を同調する。RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、パルス信号104の第1のパルスの開始時間間隔の間、RF電源536を同調し続け、電力特性が所定の閾値よりも小さくなり、電力特性の変化率が事前設定された限界値よりも大きくなるまでRF信号533を同調する。
電力特性が所定の閾値よりも小さく、電力特性の変化率が事前設定された限界値よりも大きいと決定すると、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、RF電源536の同調を停止してRF信号533の同調を停止し、転送ケーブルTC4を介してパルス信号104およびコマンド信号を論理回路544に送信して、パルス信号104の第1のパルスの残りの時間間隔の間に回路構成要素518の変数を同調する。コマンド信号およびパルス信号104を受信すると、論理回路544は、ドライバ522およびモータ524を介して回路構成要素518の同調を開始し、パルス信号104の第1のパルスの残りの時間間隔の間、同調を続ける。例えば、論理回路544は、第1のパルスが終了するまで時間間隔t2またはt5またはt6の間、ドライバ522およびモータ520を介して回路構成要素518の変数を同調する。RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、第1のパルスに続く第2のパルスが開始したかどうかをパルス信号104から決定し、第2のパルスの開始中に電力特性を受信し、第1のパルス中に実施された手順を繰り返す。このようにして、RF信号532が同調され回路構成要素518の変数が同調される時間間隔は、パルス信号104のパルスごとに異なる。
いくつかの実施形態では、電力特性と電力特性の変化率の両方を適用する代わりに、電力特性またはその変化率のいずれかが適用される。例えば、電力特性が所定の閾値よりも大きいか、または電力特性の変化率が事前設定された限界値よりも小さいと決定すると、RF電源536は、電力コントローラPWRS1およびPWRS2を介して、または自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2を介して、または電力コントローラPWRS1およびPWRS2ならびに自動周波数同調器AFTS1およびAFTS2を介して制御され、時間間隔t1、t5、またはt6の間、RF信号533を同調する。別の例として、電力特性が所定の閾値よりも小さいか、または電力特性の変化率が事前設定された限界値よりも大きいと決定すると、これに応じて、RF信号発生器514はそれ以上同調されず、パルス信号104の第1のパルスの時間間隔の後にRF信号533の同調を停止する。そして、回路構成要素518の同調を開始し、パルス信号104の第1のパルスの残りの時間間隔の間、回路構成要素518の変数を同調する。
いくつかの実施形態では、パルス信号1004およびコマンド信号を転送する代わりに、RF発生器514のデジタル信号プロセッサは、整合同調信号512を生成し、転送ケーブルTC4を介して整合同調信号512を論理回路544に送信する。整合同調信号512を受信すると、論理回路544は、ドライバ522およびモータ520を介して回路構成要素518を制御し、回路構成要素518の変数を同調する。
いくつかの実施形態では、時間間隔t1、またはt2、またはt5、またはt6、またはt7、またはt8、またはt9、またはt10など、本明細書で説明される任意の時間間隔は、RF発生器514のデジタル信号プロセッサのメモリデバイス、またはインピーダンス整合ネットワーク542の論理回路544のメモリデバイス、またはホストコンピュータ502のメモリデバイス506に格納される。
様々な実施形態において、チャック526の下部電極は接地電位に結合され、上部電極530はRF伝送線534に結合されることに留意されたい。
いくつかの実施形態では、上部電極530はRF伝送線、例えばRF伝送線534に結合される。さらに、RF伝送線はインピーダンス整合ネットワーク、例えば、インピーダンス整合ネットワーク516または542に結合される。インピーダンス整合ネットワークは、ホストコンピュータ502に結合されているRF発生器、例えば、RF発生器514に結合される。
ホストコンピュータ502が使用されないいくつかの実施形態では、インピーダンス整合ネットワークを介してRF信号を上部電極530に供給するRF発生器は、ホストコンピュータ502に結合されない。
本明細書で説明される実施形態は、ハンドヘルドハードウェアユニット、マイクロプロセッサシステム、マイクロプロセッサを使用した家電またはプログラム可能な家電、ミニコンピュータ、メインフレームコンピュータなどを含む様々なコンピュータシステム構成で実施され得る。本実施形態はまた、ネットワークを介してリンクされるリモート処理ハードウェアユニットによってタスクが実施される分散型コンピューティング環境で実施することもできる。
いくつかの実施形態では、コントローラはシステムの一部であり、そのようなシステムは上述した例の一部であってもよい。そのようなシステムは、1つまたは複数の処理ツール、1つまたは複数のチャンバ、1つまたは複数の処理用プラットフォーム、および/または特定の処理構成要素(ウエハ台座、ガス流システムなど)を含む半導体処理装置を含む。これらのシステムは、半導体ウエハまたは基板の処理前、処理中、および処理後のシステム動作を制御するための電子機器と一体化される。そのような電子機器は「コントローラ」と呼ばれ、1つまたは複数のシステムの様々な構成要素または副部品を制御してもよい。コントローラは、処理条件および/またはシステムのタイプに応じて、本明細書に開示されるプロセスのいずれかを制御するようにプログラムされる。そのようなプロセスとしては、処理ガスの供給、温度設定(例えば、加熱および/または冷却)、圧力設定、真空設定、電力設定、RF発生器設定、RF整合回路設定、周波数設定、流量設定、流体供給設定、位置および動作設定、ツールに対するウエハの搬入と搬出、ならびに、システムに接続または連動する他の搬送ツールおよび/またはロードロックに対するウエハの搬入と搬出が含まれる。
広義には、多様な構成要素において、コントローラは、命令を受信し、命令を発行し、動作を制御し、洗浄動作を可能にし、エンドポイント測定を可能にするなどの様々な集積回路、論理、メモリ、および/またはソフトウェアを有する電子機器として定義される。集積回路は、プログラム命令を記憶するファームウェアの形式のチップ、デジタル信号プロセッサ(DSP)、ASICとして定義されたチップ、PLD、および/または1つまたは複数のマイクロプロセッサ、またはプログラム命令(例えば、ソフトウェア)を実行するマイクロコントローラを含む。プログラム命令は、様々な個々の設定(またはプログラムファイル)の形式でコントローラに通信される命令であって、特定のプロセスを半導体ウエハ上で、または半導体ウエハ用に、またはシステムに対して実行するためのパラメータ、係数、変数などを定義する。プログラム命令は、いくつかの実施形態では、1つまたは複数の層、材料、金属、酸化物、ケイ素、二酸化ケイ素、表面、回路、および/またはウエハダイの製作における1つまたは複数の処理ステップを実現するためプロセスエンジニアによって定義されるレシピの一部である。
コントローラは、いくつかの実施態様では、システムと統合または結合されるか、他の方法でシステムにネットワーク接続されるコンピュータの一部であるか、またはそのようなコンピュータに結合されるか、またはそれらの組み合わせである。例えば、コントローラは、「クラウド」内にあるか、ファブホストコンピュータシステムのすべてもしくは一部であり、これによりウエハ処理のリモートアクセスが可能となる。コンピュータは、システムへのリモートアクセスを可能にして製作動作の現在の進捗状況を監視し、過去の製作動作の履歴を検討し、複数の製作動作から傾向または性能基準を検討し、現在の処理のパラメータを変更し、現在の処理に続く処理ステップを設定するか、または新しいプロセスを開始する。
いくつかの例では、リモートコンピュータ(例えば、サーバ)は、プロセスレシピをネットワークを通じてシステムに提供する。そのようなネットワークは、ローカルネットワークまたはインターネットを含む。リモートコンピュータは、パラメータおよび/または設定のエントリまたはプログラミングを可能にするユーザインターフェースを含み、そのようなパラメータおよび/または設定は、その後リモートコンピュータからシステムに通信される。いくつかの例では、コントローラは、命令をデータの形式で受信する。そのようなデータは、1つまたは複数の動作中に実施される処理ステップの各々のためのパラメータ、係数、および/または変数を特定する。パラメータ、係数、および/または変数は、実施されるプロセスのタイプ、およびコントローラが連動または制御するように構成されているツールのタイプに特有のものであることを理解されたい。したがって、上述したように、コントローラは、例えば、互いにネットワーク接続され共通の目的(本明細書で説明されるプロセスおよび制御など)に向けて協働する1つまたは複数の個別のコントローラを含むことによって分散される。このような目的のための分散型コントローラの一例として、チャンバ上の1つまたは複数の集積回路であって、(例えば、プラットフォームレベルで、またはリモートコンピュータの一部として)遠隔配置されておりチャンバにおけるプロセスを制御するよう組み合わせられる1つまたは複数の集積回路と通信するものが挙げられる。
限定はしないが、様々な実施形態において、方法が適用される例示的なシステムは、プラズマエッチングチャンバまたはモジュール、堆積チャンバまたはモジュール、スピンリンスチャンバまたはモジュール、金属めっきチャンバまたはモジュール、洗浄チャンバまたはモジュール、ベベルエッジエッチングチャンバまたはモジュール、物理気相堆積(PVD)チャンバまたはモジュール、化学気相堆積(CVD)チャンバまたはモジュール、原子層堆積(ALD)チャンバまたはモジュール、原子層エッチング(ALE)チャンバまたはモジュール、イオン注入チャンバまたはモジュール、追跡チャンバまたはモジュール、ならびに半導体ウエハの製作および/または製造に関連するか使用される任意の他の半導体処理システムを含む。
さらに、いくつかの実施形態では、上述の動作は、複数のタイプのプラズマチャンバ、例えば、誘導結合プラズマ(ICP)リアクタを含むプラズマチャンバ、トランス結合プラズマチャンバ、導体ツール、誘電体ツール、電子サイクロトロン共鳴(ECR)リアクタを含むプラズマチャンバなどに適用されることに留意されたい。例えば、1つまたは複数のRF発生器がICPリアクタ内のインダクタに結合される。インダクタの形状の例は、ソレノイド、ドーム型コイル、平板型コイルなどを含む。
上述のように、ツールによって実施される1つまたは複数のプロセスステップに応じて、ホストコンピュータは、1つまたは複数の他のツール回路もしくはモジュール、他のツール構成要素、クラスタツール、他のツールインターフェース、隣接するツール、近接するツール、工場全体に位置するツール、メインコンピュータ、別のコントローラ、または半導体製造工場内のツール場所および/もしくはロードポートに対してウエハの容器を搬入および搬出する材料搬送に使用されるツールと通信する。
上記の実施形態を念頭に置いて、実施形態のいくつかは、コンピュータシステムに格納されたデータを伴う様々なコンピュータ実装動作を用いることを理解されたい。これらの動作は、物理量を物理的に操作する動作である。本明細書で説明され実施形態の一部を形成する動作は、いずれも有用な機械動作である。
実施形態のいくつかはまた、これらの動作を実施するためのハードウェアユニットまたは装置に関する。装置は、専用コンピュータ用に特別に構築されている。専用コンピュータとして定義されるとき、コンピュータは、その専用の目的のために動作可能でありつつ、専用の目的の一部ではない他の処理、プログラム実行、またはルーチンを実施する。
いくつかの実施形態では、動作は、コンピュータメモリ、キャッシュに格納されるか、またはコンピュータネットワークを介して取得される1つまたは複数のコンピュータプログラムによって選択的にアクティブ化または構成されているコンピュータによって処理され得る。コンピュータネットワークを介してデータが取得される場合、そのデータは、コンピュータネットワーク上の他のコンピュータ、例えば、コンピューティングリソースのクラウドによって処理され得る。
1つまたは複数の実施形態は、非一時的コンピュータ可読媒体上のコンピュータ可読コードとして製作することもできる。非一時的コンピュータ可読媒体は、データを格納する任意のデータストレージハードウェアユニット(例えば、メモリデバイスなど)であり、データはその後コンピュータシステムによって読み取られる。非一時的コンピュータ可読媒体の例は、ハードドライブ、ネットワーク接続ストレージ(NAS)、ROM、RAM、コンパクトディスクROM(CD-ROM)、CDレコーダブル(CD-R)、CDリライタブル(CD-RW)、磁気テープ、ならびに他の光学および非光学データストレージハードウェアユニットを含む。いくつかの実施形態では、非一時的コンピュータ可読媒体は、コンピュータ可読コードが分散方式で格納および実行されるように、ネットワーク結合コンピュータシステム上に分散されたコンピュータ可読有形媒体を含む。
上記の方法動作は特定の順序で説明されたが、様々な実施形態において、各動作間に他のハウスキーピング動作が実施されるか、または各方法動作がわずかに異なる時間に発生するように調整されるか、または各方法動作を様々な間隔で発生可能にするシステムに分散されるか、または上述の順序とは異なる順序で実施されることを理解されたい。
さらに、一実施形態では、本開示で説明される様々な実施形態で説明される範囲から逸脱することなく、上述の任意の実施形態の1つまたは複数の特徴が任意の他の実施形態の1つまたは複数の特徴と組み合わされることに留意されたい。
前述の実施形態は、明確な理解のために多少詳しく説明されてきたが、一定の変更および修正が添付の特許請求の範囲の範囲内で実施されてもよいことは明らかであろう。したがって、本実施形態は、限定ではなく例示と見なされるべきであり、実施形態は本明細書に述べられる詳細に限定されるべきではない。