JP7335556B2 - 光学素子の製造方法及び光学素子 - Google Patents
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- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
Description
10nm≦TL≦350nm … (1)
50nm≦Tcat≦700nm … (2)
ここで、
TL:最上層10の膜厚
Tcat:最上層10に隣接した高屈折率層H又は機能層20の膜厚
50nm≦TL≦250nm … (1’)
50nm≦Tcat≦600nm … (2’)
1.35≦NL≦1.55 … (3)
ここで、
NL:低屈折率層Lの材料のd線での屈折率
1.6≦Ns≦2.2 … (4)
ここで、
Ns:ガラス基材GLのd線での屈折率
(1)最上層の通孔の形成条件と光学素子の評価
以下、本実施形態に係る光学素子100の具体的な実施例について説明する。以下の実施例及び比較例の多層膜を形成するうえで、成膜装置(BES-1300)(株式会社シンクロン製)を用い、IADのイオン源としてNIS-175を用いた。
(a)35℃±2℃の噴霧層内温度にて、25±2℃の塩水濃度5%の溶剤(NaCl、MgCl2、CaCl2、濃度(重量比)5%±1%)を試料に2時間噴霧する。
(b)噴霧終了後、40℃±2℃、95%RHの環境下に試料を22時間放置する。
(c)工程(a)及び(b)を4回繰り返した後、常温(20℃±15℃)及び常湿(45%RH~85%RH)の環境下に試料を72時間放置する。
上記試験後、試料の分光特性に変化がない(反射率変化が2%未満)場合、評価を符号○とし、反射率変化が4%未満である場合、評価を符号△とし、反射率変化が4%以上である場合、評価を符号×とした。
図6A~6Cに、光学素子のSEM画像を示す。図6Bは、図6Aの画像を拡大した図であり、図6Cは、図6Bの画像をさらに拡大した図である。
Claims (5)
- 光透過性を有する基板に2層以上の多層膜を成膜した光学素子の製造方法であって、
前記多層膜は、少なくとも1層の低屈折率層と、少なくとも1層の高屈折率層とを有し、
前記基板から最も遠い低屈折率層は、塩水噴霧耐性と超親水性とを有し、
前記基板から最も遠い低屈折率層となる最上層を一様に形成する最上層形成工程と、
前記最上層の下に、機能層として光触媒機能を有する金属酸化物を主成分とする前記高屈折率層を形成する機能層形成工程と、
前記最上層形成工程後、前記最上層の表面にランダムな形状及び配置の要素からなる島状の金属マスクを成膜するマスク形成工程と、
前記金属マスクを用いたエッチングにより、前記最上層において前記機能層の表面を露出させ前記金属マスクを反転したランダムな島状通孔構造を形成する通孔形成工程と、
を備え、
前記最上層形成工程で形成される前記最上層としての低屈折率層の膜密度は、98%以上であり、
前記金属マスクの膜厚は、1nm以上30nm以下である、
光学素子の製造方法。 - 前記最上層は、主にSiO2で形成される、請求項1に記載の光学素子の製造方法。
- 前記通孔形成工程において、SiO2と反応するガスを用いて通孔を形成する、請求項2に記載の光学素子の製造方法。
- 前記通孔形成工程後、前記金属マスクを除去するマスク除去工程をさらに備える、請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
- 前記金属マスクは、Agで形成される、請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の光学素子の製造方法。
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