JP7333869B2 - 検査ソケット及びその製造方法 - Google Patents
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Description
49 第2同軸プローブ孔426は、同軸プローブ54の上部を収容する第2同軸プローブ収容孔4261、及び同軸プローブ54のフランジ5411を収容するフランジ孔4262含むことができる。
2:ベースフレーム
3:インサート
4:ソケットブロック
41:上部ブロック
411:第1ブロック本体
412:第1コーティング部
4121:第1外部膜
4122-1,4122-2:第1及び第2パワーホール内部膜
4123:第1接地ホール内部膜
4124-1,4124-2:第1及び第2信号ホール内部膜
4125:第1上面分離部
4126:第2上面分離部
4127:第1内面分離部
4128:第2内面分離部
413:第1パワープローブ孔
414:第1接地プローブ孔
415:第1信号プローブ孔
42:下部ブロック
421:第2ブロック本体
422:第2コーティング部
4221:第2外部膜
4222-1,4222-2:第3及び第4パワーホール内部膜
4223:第2接地ホール内部膜
4224-1,4224-2:第3及び第4信号ホール内部膜
4225:第1下面分離部
4226:第2下面分離部
4227:第3内面分離部
4228:第4内面分離部
5:プローブ
51:パワープローブ
52:接地プローブ
53:信号プローブ
Claims (6)
- 複数のプローブを支持する検査ソケットであって、
前記複数のプローブをそれぞれ収容する複数のプローブ孔が設けられた絶縁性の材質のソケットブロック;及び
前記ソケットブロックの外面に被覆された導電性材質の外部膜と前記プローブ孔の内面に被覆された導電性材質の内部膜を有するコーティング部を含み、
前記プローブ孔は、直径が異なる円筒を組み合わせた形状を有し、前記プローブを前記直径の大きい部分で収容する収容部と、前記プローブの一端を前記直径の小さい部分で支持する支持部を含み、
前記内部膜の少なくとも一部は、前記支持部を被覆した部分を含み、
前記複数のプローブ孔の少なくとも2つは、それぞれ、前記内部膜を前記外部膜から電気的に隔離する、前記プローブ孔の一方の出口から前記プローブ孔を取り囲むように前記外部膜が除去された外面分離部と、前記収容部の一端と前記支持部との境界部分が前記内部膜とともに除去された内面分離部とを有することを特徴とする検査ソケット。 - 前記ソケットブロックは、上部ソケットブロックと下部ソケットブロックを含み、前記上部ソケットブロックは、前記支持部、前記外面分離部、及び前記内面分離部を含み、前記下部ソケットブロックは、前記プローブの他端を前記直径の小さい部分で支持する第2支持部及び前記収容部の他端と前記第2支持部との境界部分が前記内部膜とともに除去された第2の内面分離部を含む、請求項1に記載の検査ソケット。
- 前記プローブは、パワーを印加するパワープローブ及び検査信号を印加する信号プローブを含む、請求項1又は2に記載の検査ソケット。
- 複数のプローブを支持する検査ソケットの製造方法であって、
絶縁材質のソケットブロックを準備する段階;
前記ソケットブロックに前記複数のプローブがそれぞれ挿入される複数のプローブ孔を形成する段階;
前記ソケットブロックの外面と前記プローブ孔の内面を導電性材質でそれぞれ被覆して、外部膜と内部膜を有するコーティング部を形成する段階;及び
前記内部膜の少なくとも一部を前記外部膜から電気的に隔離させる段階を含み、
前記プローブ孔は、直径が異なる円筒を組み合わせた形状を有し、前記プローブに比べても大きい直径を有する収容部と、前記プローブの一端部を小さい直径の部分で支持する支持部を含み、
前記隔離させる段階は、前記プローブ孔の一方の出口から前記プローブ孔を取り囲む前記外部膜を除去し、前記収容部の一端と前記支持部との境界部分上の前記内部膜を除去する段階を含む、検査ソケットの製造方法。 - 前記内部膜の少なくとも一部は、前記プローブの両端部が支持される部分を含む、請求項4に記載の検査ソケットの製造方法。
- 前記ソケットブロックは、上部ソケットブロックと下部ソケットブロックを含み、前記上部ソケットブロックは、前記支持部、前記プローブ孔を取り囲む前記外部膜が除去された部分、及び前記境界部分を含み、前記下部ソケットブロックは、前記プローブの他端部を小さい直径の部分で支持する第2支持部及び前記収容部の他端と前記第2支持部との前記内部膜が除去された第2境界部分を含む、請求項4に記載の検査ソケットの製造方法。
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