JP7333562B2 - 光センサ及びその信号読み出し方法並びに光エリアセンサ及びその信号読み出し方法 - Google Patents
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Description
高感度・高速・広ダイナミックレンジ・広光波長帯域対応の光センサ・固体撮像装置の例としては、例えば、特許文献1に記載されている。
しかしながら上記の光センサは、受光素子の一つであるフォトダイオード(以後、「PD」と略記することもある)とフローティングディフュージョン(以後、「CFD」と略記することもある)の間に転送スイッチが設けてあり、この転送スイッチをON-OFFすることで前記フォトダイオード(PD)にある電荷を前記フローティングディフュージョン(CFD)に転送している。そのために、転送スイッチをONーOFFするのに必要な画素駆動パルスのセトリング期間が必要であり、そのための時間がかかることで、フレームレートの高速化に限界があった。また、複数の画素駆動パルスを高速に画素領域全体に伝搬させる必要があり、消費電力を押し上げていた。
尚、特に断りなく本件で「画素」と記す場合のその画素は、受光素子(PD)とフローティングディフュージョン(CFD)で構成されたものを意味する。
受光素子と該受光素子に電気的に直結され、該受光素子に入力する光によって発生する電荷を蓄積するフローティングディフュージョンと画素信号出力線、を有し、前記画素信号出力線に信号読出し経路が接続されており、
前記受光素子の容量(CPD)と前記フローティングディフュージョンの容量(CFD)とが、
0.0008 ≦(CPD)/(CFD)≦ 0.8・・・・・・・・・・・(1)
4.0×10-18 F ≦(CPD)≦ 4.0×10-16 F・・・・・(2)
5.0×10-16 F≦(CFD)≦ 5.0×10-15 F・・・・・・(3)
の関係にあり、
前記受光素子の半導体接合部は完全空乏化されかつ電子のポテンシャルカーブが前記フローティングディフュージョン方向に向かって負の傾斜をしており、その負の傾斜状態のままで、前記フローティングディフュージョンの電子ポテンシャル・ウェルの最上位に繋がっている、光センサ及びその信号読出し方法にある。
前記受光素子は、半導体接合部が完全に空乏化されかつ前記フローティングディフュージョン方向に向かって負の傾斜をしており、その負の傾斜状態のままで前記フローティングディフュージョンの電子ポテンシャル・ウェルの最上位に繋がっている電子のポテンシャルカーブを有し、
時間軸上で択一的に使用される二つの出力系統を有している光センサ画素回路;
一方の出力系統から出力される、光照射により前記受光素子内に生じた光電荷量に基づいた第一の出力(a1)と第二の出力(b1)とに基づいてノイズキャンセレーションして信号(ab1)を出力する画素内相関二重サンプリング回路;
と、を備えた光センサ画素回路部:
前記信号(ab1)、及び他方の出力系統から出力される第一の出力(a2)と第二の出力(b2)
との何れかの信号を保持するメモリセルの複数を行列配置したアナログメモリアレイ;
何れかのメモリセル配設行を選択するためのメモリセル行選択スイッチアレイ;
何れかのメモリセルに保持されている信号を読出すためのメモリ読出し回路;
と、を備えたアナログメモリ回路部:
を具備する光エリアセンサ及びその信号読出し方法にある。
図1に示される光センサ画素回路部100は、光センサ画素回路101aと画素内相間二重サンプリング回路(In-pixel CDS)101bとを備えている。
画素内相間二重サンプリング回路101bからは、次の電気的回路に信号を転送するための画素出力信号線(PIXEL_OUT)117が配線されている。
受光素子(PD)102の内部構造には、2つの異種の半導体型(P+型、P型、P―型、I型、N+型、N型、N―型)の半導体層領域が接合されて形成された半導体接合少なくとも一つ設けてある。
本発明において、「完全に空乏化されている」とは、図2A~2Cに示されるように、ポテンシャル区分201において、ポテンシャル変位(若しくは、傾斜或いは勾配)が図2の左端末から右端末に至るまで漸次減少していることを意味する。
本発明において、「実質完全に空乏化されている」とは、受光することによって受光素子(PD)102の半導体接合の領域に発生した光電荷が、隣接するフローティングディフュージョン(CFD)103にスムーズに移送され得る形状のポテンシャル変位が形成されていることを意味する。
これらの詳細については、後述する。
0.0008 ≦(CPD)/(CFD)≦ 0.8・・・・・・・・・・・・・(1)
4.0×10-18 F ≦(CPD)≦ 4.0×10-16 F・・・・(2)
5.0×10-16 F≦(CFD)≦ 5.0×10-15 F・・・・・(3)
本発明の光センサの画素において、
飽和電荷量は、
「Vsat×(CFD+CPD)/q」・・・・・・(a)
であるから、
電荷電圧変換ゲインは、
「q/ (CFD+CPD)」・・・・・・・・・・・・(b)
で与えられる。
ここで、
「CPD」:完全空乏型受光素子(PD)102の容量
「CFD」:フローティングディフュージョン(CFD)103の容量
「Vsat」:フローティングディフュージョンン(CFD)103における飽和信号電圧
「q」:素電荷量
とする。
「接合面積」は、受光素子(PD)102の光入射側の面積(実際に光が当たる面積:受光面積)とは必ずしも同一ではなく、受光面積より大きい場合もある。
以後、「光入射側の面積」を単に「面積」と書く場合もある。
ここでいう「光電荷の最大移動距離」とは、受光素子(PD)102が外部からの光を受光することで受光素子(PD)102の半導体接合で発生した光電荷がフローティングディフュージョン(CFD)103に移動する距離(移動距離)の中の最大の移動距離のことをいう。
従って、受光素子(PD)102の容量(CPD)は、受光面積が5µm角に相当する4.0×10-18F以上から50µm角に相当する4.0×10-16 F以下の範囲にあるのが望ましい。
好ましくは、容量(CFD)は容量(CPD)より大きくすることが望ましく、より好適には容量(CPD)が無視できるほど容量(CFD)が容量(CPD)より大きく、(CFD+CPD)が容量(CFD)と一致若しくはほぼ一致するのが望ましい。
5.0×10-16 Fから 5.0×10-15 F
の範囲にあるのが望ましい。
一方、容量(CFD)が5.0×10-15 F以下で、「Vsat」が1V以上の場合には、飽和電荷数は3万個以上となり、局所的に強い光量が画素に照射された場合にも白飛びを抑制することが出来る。
(CPD/CFD)の値が、0.0008未満では、受光素子(PD)102の受光面積が実質的に小さくなり、本発明の目的を達成するには光感度が低く過ぎて高速読み取りセンサとして適正でなくなる場合がある。
(CPD/CFD)の値が、0.8を超えると、電荷電圧変換ゲインが小さくなり光感度が小さくなって本発明の目的を達成することが出来なくなる場合が生じる。
端子118は、画素リセット電圧(VR_FD)用、
端子119a及び端子119bは、電源電圧(AVDD)用、
端子120は、画素内相間二重サンプリング回路リセット電圧(VR_CDS)用、
端子121は、第1電流源バイアス電圧(VB1)用、
端子122は、第2電流源バイアス電圧(VB2)用、
端子123は、画素リセットパルス(ΦR)用、
端子124は、画素選択第1パルス(ΦX1)用、
端子125は、画素内相間二重サンプリング回路選択パルス(ΦCDS)用、
端子126は、画素内相間二重サンプリング回路バイパスパルス(ΦCDSb)用、
端子127は、画素選択第2パルス(ΦX2)用、
端子127aは、画素選択第2Aパルス(ΦX2`)用、
端子128は、画素内相間二重サンプリングリセットパルス(ΦNS)用、
である。
アナログメモリ回路部300は、アナログメモリアレイ(Analog Memories)301、メモリセル行選択スイッチアレイ301a、メモリ読出し回路(Memory Readout)302、を備えている。
尚、図3においては、アナログメモリアレイ301は、(4Hx20V)個のメモリアレイとして説明されるが、実際は(4Hx2V)個のメモリセルが図示されているだけで、他のメモリセルは図示が省略されている。
301は、メモリセル307aが(4H×20V)個、アレイ状に配置されている。
ここで、「4H×20V」の表示は、メモリセルが、水平方向に(各行に)4個、垂直方向に(各列に)20個、配列されていることを意味する。
アナログメモリ回路部300は画素出力信号線(PIXEL_OUT)117の距離を短くして信号読出しに要する時間を短縮化するために光センサ画素回路部100に隣接して配置されることが望ましく、例えば、図7に示されるように光センサ画素回路部100に隣接して同一プレナー上に配置される。もしくは、図8に示されるように光センサ画素回路部100に積層して配置しても良い。図8に示される積層配置の場合には、フォトダイオード(PD)102の面積を相対的に大きくすることが出来るため、受光面積を広げてより高い感度を得るために好適である。
まず信号書き込みを行うメモリセルがある行を選択するために、行選択スイッチ305に行選択パルスを印加する。
以上の読出動作によって画素出力信号がアナログメモリアレイ301のメモリセルに書き込まれ保持される。
尚、フレーム期間(ΦFrame)中は光が照射されている。
(1) 画素内相間二重サンプリング回路101bを迂回する場合
先ず、画素内相間二重サンプリング迂回スイッチ(CDSb)109が端子126に信号(фCDSb)が印加されてON状態にあり、画素内相間二重サンプリング選択スイッチ(CDS)108がOFF状態となっている場合について説明する。尚、フレーム期間中は光が照射されている。
リセットトランジスタ(R)104の端子123に画素リセット用のリセットパルス(ΦR)が印加され、光センサ画素回路101a中の画素を構成する受光素子(PD)102とフローティングディフュージョン(CFD)103とがリセットされる。
リセットトランジスタ(R)104がOFF状態となるリセット完了時(t1)にリセットノイズ電圧信号(VN)がフローティンディフュージョン(CFD)103に誘起される。
リセット完了後に読画素出力信号線(PIXEL_OUT)117上に読み出す第1の電圧信号(A1)は、前記リセットノイズ電圧信号(VN)と、リセット完了後から第1の電圧信号(A1)の読出しまでの所定の期間(t2-t1)に受光素子(PD)102で収集されフローティングディフュージョン(CFD)103に輸送された光電荷による第一光電荷電圧信号(VsigA1)と、からなる電圧信号(A1-A)に基づくものである。
この状況下で、4つのメモリ列選択スイッチ305(WS1~WS4)の該当する一つ(WS1)と、4つの画素信号保持メモリ選択用の選択スイッチ306(SW1~SW4)の該当する一つ(SW1)をONさせ、画素信号転送用の信号線313-1を介して画素信号保持メモリアレイ303中のメモリセル307aを選択する。
その結果、電圧信号(A1-A)に応じた第1の電圧信号(A1)が、画素出力信号線117、画素信号転送用の信号線313-1を介して一つのメモリセル307aの画素信号保持容量(CAM)307に転送される。
蓄積期間(t3-t2)中に発生した光電荷は、図2に示されるポテンシャル区間201に示される受光素子(PD)102のポテンシャル勾配によりフローティングディフュージョン(CFD)103へドリフト輸送され、フローティングディフュージョン(CFD)103の容量(CFD)に蓄積される。
第2の電圧信号(A2)は、リセットノイズ電圧信号(VN)と、リセット完了後から第2の電圧信号(A2)の読出しまでに受光素子(PD)102で収集されフローティングディフュージョン(CFD)103に輸送された光電荷による第2の光電荷電圧信号(VsigA2)、とからなる電圧信号(A2-A)に基づくものである。
そうすることで、メモリ列選択スイッチ(WS1)305と、画素信号保持メモリ選択用の選択スイッチ306(SW1~SW4)の一つ、例えば、選択スイッチ306(SW1)をONさせ、画素信号転送用の信号線313ー1を介してメモリセル309aを選択する。
その結果、電圧信号(A2-A)に応じた第2の電圧信号(A2)が、画素出力信号線117、画素信号転送用の信号線313-1を介して一つのメモリセル309aの画素信号保持容量(CAM)309に保持される。
メモリセル307aに書き込まれた第1の電圧信号(A1)をメモリセル309aに書き込まれた第2の電圧信号(A2)から引き算する事でリセットノイズ電圧信号(VN)がキャンセルされた電圧信号(VsigA2―VsigA1)を得ることが出来る。
本実施態様では、この信号の差分である電圧信号(VsigA2―VsigA1)は後述する方法で第1の電圧信号(A1)と第2の電圧信号(A2)をチップ外部に読み出した後に、チップ外部にて引き算を行って得る。
上記の一連の動作を繰り返し、複数のフレーム期間分、撮像を行い、アナログメモリアレイ301の全てのメモリセルに信号書込みを行う。
全てのメモリセルに信号書込みを行った後は、選択するメモリセルを冒頭のアドレスに戻してカメラから撮像停止のトリガ信号が入力されるまで上書き動作を繰り返しても良い。
撮像動作終了後、メモリセルに書き込まれた信号を後述する方法で読み出す。
次に、画素内相間二重サンプリング選択スイッチ(CDS)108がON状態で、画素内相間二重サンプリング迂回スイッチ(CDSb)109がOFF状態となっている場合について説明する。
リセット完了後に光センサ画素回路101aから画素内相間二重サンプリング回路101bに読み出す第1の電圧信号(B1)は、リセット完了後にフローティングディフュージョン(CFD)103に取り込まれたリセットノイズ電圧信号(VN)とリセット完了後から第1の電圧信号(B1)の読出しまでの所定の期間(t2-t1)に受光素子(PD)102で収集されフローティングディフュージョン(CFD)103に輸送された光電荷による第1の光電荷電圧信号(VsigB1)と、からなる電圧信号(B1-A)に基づくものである。
同時に、画素内相間二重サンプリングリセットパルス(ΦNS)を端子128に印加して画素内相間二重サンプリングリセットスイッチ(NS)112をON・OFFさせ、画素内相間二重サンプリングカップリング容量(CC)110の対向電極側、即ち、画素内相間二重サンプリングサンプルホールド用容量(CSH)111を画素内相間二重サンプリング回路リセット電圧(VR_CDS)にリセットする。
蓄積期間(t3―t2)中に発生した光電荷は、受光素子(PD)102のポテンシャル勾配201によってフローティングディフュージョン(CFD)103へドリフト輸送され、フローティングディフュージョン(CFD)103の容量(CFD)に蓄積される。
蓄積期間(t3―t2)中、第1選択トランジスタ(X1)106はOFF状態とすることで、第1ソースフォロワトランジスタ(SF1)105で消費される電力を抑制することが出来る。
蓄積期間(t3―t2)終了後、第2の電圧信号(B2)を光センサ画素回路101aから画素内相間二重サンプリング回路101bに、次のようにして読み出す。
この時、画素内相間二重サンプリングカップリング容量(CC)110と容量結合されている画素内相間二重サンプリングサンプルホールド容量(CSH)111の電圧は、画素内相間二重サンプリング回路リセット電圧(VR_CDS)を基準として、第1の電圧信号(B1)から第2の電圧信号(B2)の電圧変化分(VsigB2-VsigB1)とCC/(CC+CSH)の積だけ変動する。
同時に、メモリ列選択スイッチアレイ301a中にある4つのメモリ列選択スイッチ(WS1~WS4)うちの1つをON状態として該当のメモリ列を選択すると共に、信号保持メモリ選択用のパルス信号線(311~320)に所定の組み合わせのパルス信号を印加し、画素出力信号線117と1つのメモリセル、例えばメモリセル307aの画素信号保持容量(CAM)307を電気的に結合させる。
以上の一連の動作を繰り返し、複数のフレーム期間(ΦFrame)、撮像を行う。アナログメモリアレイ301内の全てのメモリセルに信号書込みを行う。
又、全てのメモリセルに信号書込み後に、選択するメモリセルを冒頭のアドレスに戻してカメラから撮像停止のトリガ信号が入力されるまで上書き動作を繰り返しても良い。
撮像動作終了後、各メモリセルに書き込まれた信号は後述する方法で読み出す。
リセットトランジスタ(R)104の端子123に画素リセット用のリセットパルス(ΦR)が印加され、光センサ画素回路101a中の画素を構成する受光素子(PD)102とフローティングディフュージョン(CFD)103とがリセットされる。
リセットトランジスタ(R)104がOFF状態となるリセット完了時(t1)にリセットノイズ電圧信号(VN)がフローティンディフュージョン(CFD)103に誘起される。
リセット完了後に読画素出力信号線(PIXEL_OUT)117上に読み出す第1の電圧信号(C1)は、前記リセットノイズ電圧信号(VN)と、リセット完了後から第1の電圧信号(C1)の読出しまでの所定の期間(t2-t1)に受光素子(PD)102で収集されフローティングディフュージョン(CFD)103に輸送された光電荷による第一光電荷電圧信号(VsigC1)と、からなる電圧信号(C1-A)に基づくものである。
同時に、4つのメモリ列選択スイッチ305(WS1~WS4)のうちの1つをON状態として該当のメモリ列を選択すると共に、信号保持メモリセル選択用のパルス信号線(311~320)に所定の組み合わせのパルス信号を印加し、画素出力信号線(PIXEL_OUT)117と1つのメモリセル307aの中の画素信号保持容量(CAM)307を電気的に結合させ、電圧信号(C1-A)に応じた第1の電圧信号(C1)を画素信号保持容量(CAM)307に転送させ、メモリ読出し回路302の駆動によって読み出されるまでの期間、保持する。
蓄積期間1(t3-t2)中に発生した光電荷は、図2に示されるポテンシャル区間201に示される受光素子(PD)102のポテンシャル勾配によりフローティングディフュージョン(CFD)103へドリフト輸送され、フローティングディフュージョン(CFD)103の容量(CFD)に蓄積される。
第2の電圧信号(C2)は、リセットノイズ電圧信号(VN)と、リセット完了後から第2の電圧信号(C2)の読出しまでに受光素子(PD)102で収集されフローティングディフュージョン(CFD)103に輸送された光電荷による第2の光電荷電圧信号(VsigC2)、とからなる電圧信号(C2-A)に基づくものである。
まず、第1選択トランジスタ(X1)106がOFF状態の場合には、画素選択第1パルス(ΦX1)が端子124に印加されて第1ソースフォロワトランジスタ(SF1)105がアクティブ状態となり、電圧信号(C2-A)に応じた第2の電圧信号(C2)が画素出力信号線(PIXEL_OUT)117に出力される。
同時に4つのメモリ列選択スイッチ305(WS1~WS4)の中の1つをON状態とさせて該当のメモリ列を選択すると共に、信号保持メモリ選択用のパルス信号線(311~320)に所定の組み合わせのパルス信号を印加し、画素出力信号線(PIXEL_OUT)117と1つのメモリセル、例えばメモリセル309aの画素信号保持容量(CAM)309を電気的に結合させ、電圧信号(C2-A)に応じた第1の電圧信号(C2)を画素信号保持容量(CAM)307に転送させ、メモリ読出し回路302の駆動によって読み出されるまでの期間、保持する。
以上の動作の説明からも明らかな通り、画素内相間二重サンプリング回路101bを迂回した場合には、フレーム期間(ΦFrame)中のパルス動作が最小に抑えられ、高速動作には好適である。さらに、1フレーム期間に3回以上画素信号を読みだす場合には、フレーム期間内をさらに短く分割することが出来、さらに高い時間分解能を得るのには好適である。
このように、従来例と比べて、本発明ではフレームレートと記録コマ数の優先度に応じて動作モードを切り替えることが出来る優勢がある。
画素内相間二重サンプリング 回路101bは、連続記録コマ数を優先したい場合に使用するとその効果を最大限に発揮できるので好ましい。
連続記録コマ数を優先したい場合として、具体的には、比較的長く継続して生じる現象である自動車エンジンの燃焼噴射や火花放電、インクジェットプリンタのインク吐出等の撮影等が挙げられる。
一方、回路101bを迂回するモード(B)は、撮影速度を優先したい場合に使用するとその効果を最大限に発揮できるので好ましい。
このモード(B)の使用は、具体的には、材料の破壊現象や、レーザーアブレーション、放電現象の撮影等の高速現象の撮影に適している。
例えば、回路101bを使用すると記録コマ数をより多くすることが出来るので、モード(A)で動作をさせておき、撮影対象の高速現象が起こるきっかけの時点からモード(B)でより高速に撮像するといったことができる。
この場合、アナログメモリアレイ301においては、回路101bを迂回してノイズがキャンセルされていない信号が保持される容量(CAM)Aと。回路101bを使用してノイズがキャンセルされた信号が保持される容量(CAM)Bと、が混在するので、保持されている信号を映像化する際には、以下の技術的手当てをする必要がある。
即ち、モードの切り替えを行う直前のフレーム番号を記録しておき、アナログメモリアレイ301に保持されている全ての信号を読み出してから、モード切替え前の信号はノイズがキャンセルされた信号として映像化し、モード切替え後の信号はフレーム毎に記録されていたノイズキャンセル用の第1の電圧信号(A1)と第2の電圧信号(A2)から引き算することでノイズキャンセルを行った後に映像化する。
本発明においては、メモリセル数としては10個以上とするのが好適であるが、記録コマ数を増やすためには40個以上が望ましく、より好適には128個以上が望ましい。さらに記録コマ数を増やすためには256個以上とするのが望ましい。
図6に示す例のイメージセンサ600は、複数の受光信号生成・保持要素601が二次元的に配列されている受光信号生成・保持要素アレイ602、メモリ選択回路603、画素駆動パルスバッファ列回路604、列選択回路605を備えている。
画素駆動パルスバッファ列回路604は、その信号伝達経路の下流側には出力バッファ606、信号出力端子607が設けられている。
受光信号生成・保持要素601は、光センサ画素回路部100とアナログメモリ回路部300で構成されている。
イメージセンサ600における信号出力期間では、各行の画素に対応するアナログメモリアレイ301毎に信号読出しを行う。すなわち、メモリ選択回路603を駆動させて、1画素行分のメモリ読出し回路302を選択し、メモリ読出し回路302の出力信号線302aと垂直信号線608とを結合する。
同様に、アナログメモリ301内の他の列を順次選択し、各列内のメモリセル全ての信号の読出しを行い、選択しているアナログメモリ301内の全てのメモリセルの信号をチップ外へ読み出す。
次いで、メモリ選択回路603を駆動させて次に読み出す画素列分のメモリセルを選択し、同様の動作を繰り返す。この信号読出し動作を全画素列分のメモリセルについて行う。
以上の動作によって全画素分のメモリセルの信号の読出しを行う。
(1)従来技術で必要であった、転送期間と転送ゲートをON・OFFするのに必要な画素駆動パルスのセトリング時間が不要となる。
(2)フレームレートの律則要因は受光素子における電荷収集・輸送時間のみとなり、125Mfpsとフレームレートを高速化することが出来る。
(3)画素内に最短距離で接続されたメモリに信号を読み出す構成であるため画素読出しに必要な回路駆動電流を低減することが出来る。また、画素駆動パルスが少ないことから画素駆動パルスに係る消費電力を低減することができる。そのため、低消費電力化された光センサの商品を市場に提供できる。
(4)画素駆動パルス種類が少ないことで、面積を犠牲にせずに画素駆動パルス回路を画素内乃至は画素ブロック内に配置することが出来る。
(5)容量密度の小さい完全空乏型受光素子とフローティングディフュージョンが結合されているため、電荷電圧変換ゲインに反比例するフローティングディフュージョン容量の増加を最小限に抑えられ、高い電荷電圧変換ゲインが得られると共に、フローティングディフュージョンのリセットノイズはキャンセルすることできるため、信号読出しノイズが小さい高感度な信号読出しを行える。
(5)受光素子とフローティングディフュージョンをリセット後にN回の信号を読出すことで、フローティングディフュージョンが飽和するまでの間ではあるが、さらに高速なフレームレートが得られる。
(6)変調された光照射と同期した信号読出しを行うことで、光飛行時間型の距離イメージングや蛍光寿命イメージングに適用することが出来る。
高速現象の可視化が可能なので、
・材料破壊現象の観察:破壊過程の解析と、材料の改良
・マイクロバブルの観察
・放電現象の観察
・がん細胞治療の観察
・インクジェットの観察
・MEMS駆動の観察
・衝撃波の観察
・エンジンルームへの燃料噴霧の観察
・レーザービーム加工
など、
いずれも2次元画像で連続したフレームの映像情報が必要であり、この要求に適した本発明に係わる高速カメラが有用である。
この他、本発明は、2次元画像で距離や生体反応のイメージングが必要な距離イメージングやバイオイメージングの分野で使用される高時間分解能なカメラにも有用である。
101a 光センサ画素回路
101b 画素内相間二重サンプリング回路 (In-pixel CDS)
102 フォトダイオード(PD)
103 フローティングディフュージョン(CFD)
104 リセットトランジスタ(R)
105 第1ソースフォロワトランジスタ(SF1)
106 第1選択トランジスタ(X1)
107 第1電流源トランジスタ(CS1)
108 画素内相間二重サンプリング選択スイッチ(CDS)
109 画素内相間二重サンプリング迂回スイッチ(CDSb)
110 画素内相関二重サンプリングカップリング容量(CC)
111 画素内相関二重サンプリングサンプルホールド容量(CSH)
112 画素内相間二重サンプリングリセットトランジスタ(NS)
113 第2ソースフォロワトランジスタ(SF2)
114 第2選択トランジスタ(X2)
115 第2選択トランジスタ(X2’)
116 第2電流源トランジスタCS2
117 画素出力信号線(PIXEL_OUT)
118 画素リセット電圧(VR_FD)印加用の電気的端子
119a,119b 電源電圧(AVDD)印加用の電気的端子
120 画素内相間二重サンプリング回路リセット電圧(VR_CDS)用の電気的端子
121 第1電流源バイアス電圧(VB1)印加用の電気的端子
122 第2電流源バイアス電圧(VB2)印加用の電気的端子
123 画素リセットパルス(ΦR)印加用の電気的端子
124 画素選択第1パルス(ΦX1)印加用の電気的端子
125 画素内相間二重サンプリング回路選択パルス(ΦCDS)入力用の電気的端子
126 画素内相間二重サンプリング回路バイパスパルス(ΦCDSb)入力用の電気的端子
127 画素選択第2パルス(ΦX2)入力用の電気的端子
128 画素内相間二重サンプリングリセットパルス(ΦNS)
201 完全空乏型受光素子(PD)102のポテンシャル区分
202 フローティングディフュージョン(CFD)103の容量(CFD)のポテンシャル区分
300 アナログメモリ回路部
301 アナログメモリアレイ(Analog Memories:4H x20V)
301a メモリセル行選択スイッチアレイ
302 メモリ読出し回路(Memory Readout Circuit)
302a 出力信号線
303,304 画素信号保持メモリアレイ
305 メモリセル行選択スイッチ(WS1~WS4)(1~4)
306 画素信号保持メモリ選択用スイッチ(SW1~SW4)
307 画素信号保持用容量(CAM)
307a メモリセル
308 画素信号保持メモリ選択用スイッチ
309 画素信号保持用容量
310 信号保持用メモリセル行選択用パルス信号線(1~4)
311,312~320 信号保持用メモリセル選択用パルス信号線(1~4)
313 画素信号転送用の信号線(1~4)
600 イメージセンサ
601 受光信号生成・保持要素
602 受光信号生成・保持要素アレイ
603 メモリ選択回路
604 画素駆動パルスバッファ列回路
605 列選択回路
606 出力バッファ
607 信号出力端子
608 垂直信号線
Claims (6)
- 半導体接合部が完全に空乏化されかつ電子のポテンシャルカーブがフローティングディフュージョン方向に向かって負の傾斜をしており、その負の傾斜状態のままで前記フローティングディフュージョンの電子ポテンシャル・ウェルの最上位に繋がっている受光素子で受光し、前記フローティングディフュージョンは、前記受光素子に電気的に直結され、前記受光素子に入力する光によって発生する電荷を蓄積して電圧信号に変換するものであり、前記受光に応じて前記受光素子内部に発生する電子を前記ポテンシャルカーブに従って移送して前記ポテンシャル・ウェルに蓄積して、電圧に変換された信号を読み出す工程を、前記受光の期間内に設けた同一フレーム期間中に、順次、前記フローティングディフュージョンの電位のリセット動作を間に入れずに少なくとも3回行ない、読み出された前記信号同士の差分を取ることにより、電荷蓄積期間が互いに重ならない2以上の信号を取り出す、ことを特徴とする光センサの信号読出方法。
- 前記蓄積する工程における蓄積期間が、1μs以下である請求項1に記載の光センサの信号読出方法。
- (1)受光素子と、一極が前記受光素子に電気的に直結されるとともに他極が信号読み出し経路に接続され、該受光素子に入力する光によって発生する電荷を蓄積して電圧信号に変換するフローティングディフュージョンとを備え、
前記受光素子は、半導体接合部が完全に空乏化されかつ前記フローティングディフュージョン方向に向かって負の傾斜をしており、その負の傾斜状態のままで前記フローティングディフュージョンの電子ポテンシャル・ウェルの最上位に繋がっている電子のポテンシャルカーブを有し、
時間軸上で択一的に使用される二つの出力系統を有している光センサ画素回路;
一方の出力系統から同一フレーム期間中に、順次、前記フローティングディフュージョンの電位のリセット動作を間に入れずに出力される、光照射により前記受光素子内に生じた光電荷量に基づいた第一の出力(a1)と第二の出力(b1)とに基づいてノイズキャンセレーションして信号(ab1)を出力する画素内相関二重サンプリング回路;
と、を備え
た光センサ画素回路部:
(2)前記信号(ab1)、及び他方の出力系統から出力される非ノイズキャンセル信号
との何れかの信号を保持するメモリセルの複数を行列配置したアナログメモリアレイ;
何れかのメモリセル配設行を選択するためのメモリセル行選択スイッチアレイ;
何れかのメモリセルに保持されている信号を読出すためのメモリ読出し回路;
と、を備えたアナログメモリ回路部:
を具備し、
前記一方の出力系統を選択したときは、前記信号(ab1)を、同一フレーム期間中に1回前記光センサ回路部から出力し、前記アナログメモリ回路部の1つのメモリセルに格納して読み出し、
前記他方の出力系統を選択したときは、前記非ノイズキャンセル信号を、同一フレーム期間中に、順次、前記フローティングディフュージョンの電位のリセット動作を間に入れずに少なくとも3回前記光センサ画素回路部から出力し、前記アナログメモリ回路部のそれぞれのメモリセルに格納して前記非ノイズキャンセル信号同士の差分を取ることにより、電荷蓄積期間が互いに重ならない2以上のノイズキャンセルされた信号を読み出す、ことを特徴とする光エリアセンサ。 - 前記受光素子の容量(C PD)と前記フローティングディフュージョンの容量(CFD)とが、
0.0008 ≦(C PD)/(C FD)≦ 0.8・・・・・・・・・・・・・(1)
4.0×10-18 F ≦(CPD)≦ 4.0×10-16 F・・・・・(2)
5.0×10-16 F≦(CFD)≦ 5.0×10-15 F・・・・・・(3)
の関係にある請求項3に記載の光エリアセンサ。 - 前記光センサ画素回路部と前記アナログメモリ回路部とは隣接して同一プレナー上に配置されている請求項3に記載の光エリアセンサ。
- 前記光センサ画素回路部と前記アナログメモリ回路部とは隣接して積層配置されている請求項3に記載の光エリアセンサ。
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